JPH08113345A - Transfer device for thin plate-like work - Google Patents
Transfer device for thin plate-like workInfo
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- JPH08113345A JPH08113345A JP24981694A JP24981694A JPH08113345A JP H08113345 A JPH08113345 A JP H08113345A JP 24981694 A JP24981694 A JP 24981694A JP 24981694 A JP24981694 A JP 24981694A JP H08113345 A JPH08113345 A JP H08113345A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルに使用され
るガラス基板等の薄板状ワークの移送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for a thin plate-like work such as a glass substrate used in a liquid crystal panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術とその課題】従来、液晶パネルに使用され
るガラス基板を、加工部位から収納部位である収納カセ
ットへ移送したり、あるいは、収納カセットから所定の
加工部位等へ移送する場合には、板状のハンドの上面に
載置させ、ハンドを移動させて移送していた。2. Description of the Related Art Conventionally, when a glass substrate used for a liquid crystal panel is transferred from a processing site to a storage cassette, which is a storage site, or from a storage cassette to a predetermined processing site, etc. It was placed on the upper surface of a plate-shaped hand, and the hand was moved and transferred.
【０００３】しかし、ハンドの移動中にガラス基板の位
置がずれれば、収納カセットの棚の支柱等にガラス基板
が当接し、ガラス基板を破損させたり、あるいは、移送
中にガラス基板を落下させてしまう場合を生じさせてし
まう。However, if the position of the glass substrate shifts during the movement of the hand, the glass substrate may come into contact with the support columns of the shelf of the storage cassette, damaging the glass substrate, or dropping the glass substrate during transfer. In some cases, it will happen.
【０００４】本発明は、上述の課題を解決するものであ
り、移送中のガラス基板等の薄板状ワークが位置ずれを
生じさせた場合、速やかにそれを検知して移送を中止さ
せ、ワークの破損を防止することができる薄板状ワーク
の移送装置を提供することを目的する。The present invention is to solve the above-mentioned problems, and when a thin plate-like work such as a glass substrate being transferred causes a positional deviation, it is promptly detected to stop the transfer, and the work is moved. An object of the present invention is to provide a thin plate-shaped workpiece transfer device capable of preventing breakage.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明に係る薄板状ワー
クの移送装置は、薄板状ワークを上面に載置させるハン
ドと、前記ハンドを移動させる駆動装置と、を備えた薄
板状ワークの移送装置であって、前記ハンドの後部側上
面には、前記ワークの後部側端面と略平行にベース部
が、突設され、前記ハンドの後部側上面における前記ベ
ース部の前方側には、後方へ延びて前記ベース部を挿通
する挿通杆を備え、前方側へ付勢されるとともに後方側
へ移動可能に前方側への移動を規制されて、前記ワーク
後部側端面と当接可能なずれ検知板が、配置され、前記
挿通杆の後部の周囲には、前記挿通杆の後方側への移動
を検知して、前記駆動装置を停止させるためのセンサ
が、配設されていることを特徴とする。A transfer device for a thin plate-like work according to the present invention comprises a hand for placing the thin plate-like work on an upper surface and a drive device for moving the hand. In the device, a base portion is provided on a rear side upper surface of the hand so as to project substantially parallel to a rear side end surface of the work, and a front side of the base portion on the rear side upper surface of the hand is rearward. A shift detection plate that includes an insertion rod that extends and inserts the base portion, is biased to the front side, is restricted from moving to the front side so as to be movable to the rear side, and can come into contact with the end surface of the work rear side. However, a sensor for detecting the rearward movement of the insertion rod and stopping the drive device is disposed around the rear portion of the insertion rod. .
【０００６】前記ハンドの前部側上面には、前記ハンド
上面に載置されたワークの前部側端面のずれを検知して
前記駆動装置を停止させるためのセンサを、配置させて
も良い。A sensor for detecting the deviation of the front end surface of the work placed on the upper surface of the hand and stopping the driving device may be arranged on the upper surface of the front side of the hand.
【０００７】[0007]
【発明の作用・効果】本発明に係る移送装置では、ま
ず、ハンドの上面におけるずれ検知板の直前にワークの
後部側端面を配置させるように、ハンドの上面にワーク
を載置して、駆動装置を作動させれば、ハンドの移動に
伴なって、ワークを移送することができる。In the transfer apparatus according to the present invention, first, the work is placed on the upper surface of the hand and driven so that the rear end face of the work is arranged immediately before the deviation detection plate on the upper surface of the hand. If the device is operated, the work can be transferred as the hand moves.
【０００８】そして、移送中に、収納カセットの支柱等
の部材にワークが干渉したり等して、ワークがハンドの
後部側へ位置ずれを生じさせた場合には、ワークの後部
側端面がずれ検知板を押して、ずれ検知板を後方側に移
動させることから、ずれ検知板に設けられた挿通杆が、
後方側へ移動することとなる。When the work interferes with a member such as a support column of the storage cassette during the transfer, causing the work to be displaced toward the rear side of the hand, the rear end face of the work is displaced. By pushing the detection plate and moving the displacement detection plate to the rear side, the insertion rod provided on the displacement detection plate,
It will move to the rear side.
【０００９】すると、挿通杆の後部の周囲に配置されて
いるセンサが、挿通杆の後方側への移動を検知するた
め、駆動装置が停止され、ワークの位置ずれを停止させ
ることとなって、ワークの破損を防止することができ
る。Then, the sensor arranged around the rear portion of the insertion rod detects the rearward movement of the insertion rod, so that the drive device is stopped and the displacement of the work is stopped. Workpiece damage can be prevented.
【００１０】したがって、本発明に係る薄板状ワークの
移送装置では、移送中のガラス基板等の薄板状ワークが
位置ずれを生じさせた場合、速やかにそれを検知して移
送を中止させ、ワークの破損を防止することができる。Therefore, in the thin plate-like work transfer device according to the present invention, when a thin plate-like work such as a glass substrate being transferred causes a position shift, it is promptly detected to stop the transfer and the work is transferred. It is possible to prevent damage.
【００１１】また、ハンドの前部側上面に、ハンド上面
に載置されたワークの前部側端面のずれを検知して駆動
装置を停止させるためのセンサを、配置させれば、ワー
クが前部側へ位置ずれした場合にも、駆動装置を停止さ
せることができるため、一層、移送中のワークの破損を
防止することができる。If a sensor for detecting the deviation of the front end surface of the work placed on the upper surface of the hand and stopping the driving device is arranged on the front upper surface of the hand, the work is moved forward. The drive device can be stopped even when the position is deviated to the side of the unit, so that it is possible to further prevent damage to the work during transfer.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１３】図１〜２に示す実施例の移送装置Ｍは、薄
板状ワークとしての透明体若しくは半透明体のガラス基
板Ｗを移送するものであり、ガラス基板Ｗを載せるハン
ド１８を、アーム１１の上部に配置させて、３つの駆動
装置２・８・１３によって、ハンド１８を上下移動・旋
回移動・水平移動させることにより、ガラス基板Ｗを所
定位置まで移送するものである。The transfer device M of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 is for transferring a transparent or semi-transparent glass substrate W as a thin plate-like work, and a hand 18 on which the glass substrate W is placed is moved by an arm 11. It is arranged on the upper part of the glass substrate W, and the hand 18 is vertically moved, swung, and horizontally moved by the three driving devices 2, 8, and 13 to transfer the glass substrate W to a predetermined position.
【００１４】移送装置Ｍの下部には、ケース１が配置さ
れ、このケース１の内部には、ピストンロッド２ａを上
部側に配置させて、駆動装置２としての油圧シリンダ２
が固定されている。ピストンロッド２ａの上端には、円
板状の支持板３が固着されている。油圧シリンダ２は、
ピストンロッド２ａを出し入れすることにより、支持板
３や後述する回動板７・支柱１０・アーム１１ごと、ハ
ンド１８を上下移動させるものである。A case 1 is arranged in the lower part of the transfer device M, and a piston rod 2a is arranged in the upper part of the case 1 so that a hydraulic cylinder 2 as a drive device 2 is provided.
Has been fixed. A disc-shaped support plate 3 is fixed to the upper end of the piston rod 2a. The hydraulic cylinder 2
By moving the piston rod 2a in and out, the support plate 3, the rotating plate 7, the support column 10 and the arm 11, which will be described later, together with the hand 18, are moved vertically.
【００１５】支持板３は、下方へ延びる複数本の案内ロ
ッド４を突設させており、各案内ロッド４は、ケース１
の内周壁に固定された案内板５の案内孔５ａを嵌挿して
いる。The support plate 3 is provided with a plurality of guide rods 4 extending downward, and each of the guide rods 4 includes a case 1.
The guide hole 5a of the guide plate 5 fixed to the inner peripheral wall of the is inserted.
【００１６】支持板３の上面には、スラストベアリング
６を介在させて、回動板７が配置され、回動板７は、外
周縁に下方へ延びる円筒状の筒部７ａを備え、筒部７ａ
の外周面には、後述するウォームギヤ９に噛合する歯部
７ｂが形成されている。A rotating plate 7 is arranged on the upper surface of the support plate 3 with a thrust bearing 6 interposed therebetween. The rotating plate 7 has a cylindrical cylindrical portion 7a extending downward at the outer peripheral edge thereof. 7a
A tooth portion 7b that meshes with a worm gear 9 described later is formed on the outer peripheral surface of the.
【００１７】また、支持板３の上面における回動板７の
周囲には、駆動装置８としての旋回用モータ８が固定さ
れ、旋回用モータ８の水平方向に突出した駆動軸８ａに
は、先端に、歯部７ｂに噛合するウォームギヤ９が固着
されている。この旋回用モータ８は、駆動軸８ａを回転
駆動させることにより、回動板７を回転させ、後述する
支柱１０・アーム１１ごと、ハンド１８を水平面上で旋
回移動させるものである。A turning motor 8 as a driving device 8 is fixed around the turning plate 7 on the upper surface of the support plate 3, and a tip end is attached to a driving shaft 8a of the turning motor 8 protruding in the horizontal direction. A worm gear 9 that meshes with the tooth portion 7b is fixed to the. The turning motor 8 rotates the drive shaft 8a to rotate the rotating plate 7, and causes the hand 18 including the support column 10 and the arm 11 to be described later to rotate on a horizontal plane.
【００１８】回動板７の中央には、ケース１から突出す
る支柱１０が固定され、支柱１０の上端には、水平方向
に延びるアーム１１が固定されている。A column 10 protruding from the case 1 is fixed to the center of the rotating plate 7, and an arm 11 extending in the horizontal direction is fixed to the upper end of the column 10.
【００１９】アーム１１の内部には、アーム１１の軸方
向に沿うレール１２が固定され、レール１２の前端側に
は、プーリ１４を駆動軸１３ａに固定させた水平移動用
モータ１３が配設され、レール１２の後端側には、従動
プーリ１５が回動可能に保持されている。プーリ１４・
１５には、ワイヤ１６が巻き掛けられ、ワイヤ１６に
は、レール１２に嵌合されるガイドブロック１７が連結
固定されている。A rail 12 extending along the axial direction of the arm 11 is fixed inside the arm 11, and a horizontal movement motor 13 having a pulley 14 fixed to a drive shaft 13a is arranged on the front end side of the rail 12. A driven pulley 15 is rotatably held on the rear end side of the rail 12. Pulley 14
A wire 16 is wound around 15, and a guide block 17 fitted to the rail 12 is connected and fixed to the wire 16.
【００２０】そして、このガイドブロック１７に、ガラ
ス基板Ｗを上面に載置させるハンド１８が接続固定され
ている。A hand 18 for mounting the glass substrate W on the upper surface is connected and fixed to the guide block 17.
【００２１】なお、既述の水平移動用モータ１３は、作
動時、プーリ１４によりワイヤ１６を牽引して、ガイド
ブロック１７をレール１２上で摺動させて、ハンド１８
を水平移動させる駆動装置であり、水平移動用モータ１
３を含めたハンド１８の駆動装置２・８・１３は、ケー
ス１に設けられた制御装置３０により、作動を制御され
るように構成されている。When the horizontal moving motor 13 is operated, the wire 16 is pulled by the pulley 14 so that the guide block 17 slides on the rail 12 and the hand 18 moves.
Is a drive device for horizontally moving the
The drive devices 2, 8 and 13 of the hand 18 including the device 3 are configured to be controlled in operation by the control device 30 provided in the case 1.
【００２２】そして、実施例のハンド１８の後部側の上
面には、図３・４に示すように、適正な載置時における
ガラス基板Ｗの後部側端面と平行に、ベース部１９が突
設されている。Then, as shown in FIGS. 3 and 4, a base portion 19 is provided on the upper surface of the rear side of the hand 18 of the embodiment in parallel with the rear side end surface of the glass substrate W at the time of proper mounting. Has been done.
【００２３】また、ベース部１９の前方側には、ハンド
１８の上面に載置されたガラス基板Ｗの後部側端面と当
接可能なずれ検知板２０が配置されている。Further, on the front side of the base portion 19, there is arranged a shift detecting plate 20 which can come into contact with the rear end face of the glass substrate W placed on the upper surface of the hand 18.
【００２４】このずれ検知板２０は、前方側へ突出する
横板部２０ａと、横板部２０ａの後部から上方へ延びる
縦板部２０ｂと、を備えた断面Ｌ字形として、縦板部２
０ｂには、後方へ延びて、ベース部１９に設けられた挿
通孔１９ａを挿通する挿通杆２１が固着されている。The displacement detecting plate 20 has a horizontal plate portion 20a protruding forward and a vertical plate portion 20b extending upward from a rear portion of the horizontal plate portion 20a, and has an L-shaped cross section, and thus the vertical plate portion 2 is provided.
An insertion rod 21 that extends rearward and is inserted through an insertion hole 19a provided in the base portion 19 is fixed to the 0b.
【００２５】ベース部１９とずれ検知板２０の縦板部２
０ｂとの間には、ずれ検知板２０を前方側に付勢する圧
縮コイルばね２３・２３が介在されている。また、挿通
杆２１には、ベース部１９の後面側の挿通孔１９ａ周縁
に当接するＣリング２２が固着されている。これらのば
ね２３とＣリング２２とによって、ずれ検知板２０は、
ハンド１８上で、前方側へ付勢されるとともに、後方側
へ移動可能に前方側への移動を規制されることとなる。Vertical plate portion 2 of base portion 19 and displacement detection plate 20
The compression coil springs 23, 23 for biasing the deviation detection plate 20 to the front side are interposed between 0b and 0b. Further, a C-ring 22 that is in contact with the peripheral edge of the insertion hole 19a on the rear surface side of the base portion 19 is fixed to the insertion rod 21. Due to the spring 23 and the C ring 22, the deviation detection plate 20 is
On the hand 18, while being urged to the front side, the movement to the front side is regulated so as to be movable to the rear side.
【００２６】また、ベース部１９から後方へ突出した挿
通杆２１の後部２１ａの周囲には、近接スイッチ２５が
配置され、この近接スイッチ２５は、ベース部１９に固
着されたブラケット２４に保持されており、挿通杆２１
の後方側への移動時に、挿通杆２１の後部２１ａを検知
して、制御装置３０に駆動装置２・８・１３の作動停止
信号を出力することとなる。A proximity switch 25 is arranged around the rear portion 21a of the insertion rod 21 protruding rearward from the base portion 19. The proximity switch 25 is held by a bracket 24 fixed to the base portion 19. Cage, insertion rod 21
When moving to the rear side, the rear portion 21a of the insertion rod 21 is detected and an operation stop signal of the drive devices 2, 8 and 13 is output to the control device 30.
【００２７】また、実施例では、ハンド１８の前部側上
面に、ハンド１８の上面に載置されたガラス基板Ｗの前
部側端面のずれを検知するセンサとしての反射型の光電
スイッチ２６・２６が配置されている。これらの光電ス
イッチ２６は、ハンド１８の上面から突出しないように
配置されるとともに、近接スイッチ２５と同様に、ガラ
ス基板Ｗの前部側端面を検知した際、制御装置３０に駆
動装置２・８・１３の作動停止信号を出力するように構
成されている。なお、ずれ検知板２０の横板部２０ａの
前端面から光電スイッチ２６までの前後方向の距離は、
ハンド１８上に載置するガラス基板Ｗの前後方向の寸法
より、僅かに大きく設定されている。Further, in the embodiment, on the upper surface of the front side of the hand 18, a reflection type photoelectric switch 26 as a sensor for detecting the deviation of the front end surface of the glass substrate W placed on the upper surface of the hand 18. 26 are arranged. These photoelectric switches 26 are arranged so as not to project from the upper surface of the hand 18, and like the proximity switch 25, when the front end surface of the glass substrate W is detected, the control device 30 is driven by the drive devices 2.8. -It is comprised so that the operation stop signal of 13 may be output. The distance in the front-rear direction from the front end surface of the lateral plate portion 20a of the deviation detection plate 20 to the photoelectric switch 26 is
It is set to be slightly larger than the front-back dimension of the glass substrate W placed on the hand 18.
【００２８】さらに、実施例では、ハンド１８の後部側
上面におけるずれ検知板２０の前端面の左右に、ガラス
基板Ｗの後部側端面のずれを検知する反射型の光電スイ
ッチ２７・２７が配置されている。これらの光電スイッ
チ２７も、近接スイッチ２５と同様に、ガラス基板Ｗの
後部側端面を検知した際、制御装置３０に駆動装置２・
８・１３の作動停止信号を出力することとなる。Further, in the embodiment, reflection type photoelectric switches 27, 27 for detecting the deviation of the rear end surface of the glass substrate W are arranged on the upper surface of the rear side of the hand 18 to the left and right of the front end surface of the deviation detecting plate 20. ing. Like the proximity switch 25, these photoelectric switches 27 also cause the control device 30 to drive the driving device 2 when the rear end face of the glass substrate W is detected.
The operation stop signal of 8 · 13 will be output.
【００２９】なお、２８は、ベース部１９から前方に突
出するとともに、圧縮コイルばね２９を外装させて、後
方へ移動可能にベース部１９に保持される押圧ロッドで
ある。これらの押圧ロッド２８は、ガラス基板Ｗを収納
カセットから取り出す際、ハンド１８を下方へ移動させ
た後、ハンド１８を前方へ移動させて、押圧ロッド２８
・２８の前端部２８ａをガラス基板Ｗの後部側端面に当
接させて、取り出すガラス基板Ｗの姿勢を調整するもの
である。Reference numeral 28 denotes a pressing rod which projects forward from the base portion 19 and which is covered with a compression coil spring 29 and is movably held backward by the base portion 19. These pressing rods 28 move the hand 18 downward and then move the hand 18 forward to take out the pressing rod 28 when the glass substrate W is taken out from the storage cassette.
The position of the glass substrate W to be taken out is adjusted by bringing the front end portion 28a of 28 into contact with the rear end surface of the glass substrate W.
【００３０】この実施例の移送装置Ｍでは、まず、ガラ
ス基板Ｗを、ハンド１８の上面におけるずれ検知板２０
と光電スイッチ２６との間に、載置させた後、制御装置
３０の所定の始動スイッチをオンさせれば、駆動装置２
・８・１３が作動して、ハンド１８が所定の軌跡を経て
移動するため、ガラス基板Ｗを所定の移送終了地点まで
移送することとなる。In the transfer device M of this embodiment, first, the glass substrate W is moved to the displacement detecting plate 20 on the upper surface of the hand 18.
Between the photoelectric switch 26 and the photoelectric switch 26, if a predetermined start switch of the control device 30 is turned on, the drive device 2
Since 8 and 13 operate and the hand 18 moves along a predetermined locus, the glass substrate W is transferred to a predetermined transfer end point.
【００３１】そして、移送中に、収納カセットの支柱等
の部材にガラス基板Ｗが干渉したり等して、ガラス基板
Ｗが、図３に二点鎖線に示すように、ハンド１８の後部
側へ位置ずれを生じさせた場合には、ガラス基板Ｗの後
部側端面ｂがずれ検知板２０の横板部２０ａの前端面を
押して、ずれ検知板２０を後方側に移動させることか
ら、ずれ検知板２０に設けられた挿通杆２１が、後方側
へ移動する。During the transfer, the glass substrate W interferes with a member such as a column of the storage cassette, and the glass substrate W is moved to the rear side of the hand 18 as shown by a chain double-dashed line in FIG. When the positional deviation occurs, the rear end surface b of the glass substrate W pushes the front end surface of the lateral plate portion 20a of the deviation detection plate 20 to move the deviation detection plate 20 to the rear side. The insertion rod 21 provided at 20 moves to the rear side.
【００３２】すると、挿通杆２１の後部２１ａの周囲に
配置されている近接スイッチ２５が、挿通杆後部２１ａ
の後方側への移動を検知し、制御装置３０へ駆動装置２
・８・１３の作動停止信号を出力するため、制御装置３
０が、電源オフや電磁弁の閉弁操作等によって、駆動装
置２・８・１３を停止させる。Then, the proximity switch 25 arranged around the rear portion 21a of the insertion rod 21 is moved to the rear portion 21a of the insertion rod.
The movement of the rear side of the vehicle is detected, and the drive device 2
.Control device 3 for outputting the operation stop signal of 8.13
0 stops the drive devices 2, 8 and 13 by turning off the power supply or closing the solenoid valve.
【００３３】その後、周囲の作業者が、ガラス基板Ｗの
位置ずれを修整し、再度、制御装置３０の移動スイッチ
等を操作して、駆動装置２・８・１３を作動させれば、
ガラス基板Ｗが支障無く移送終了地点まで移送されるこ
ととなる。After that, if the surrounding worker corrects the displacement of the glass substrate W and operates the movement switch of the control device 30 again to operate the drive devices 2, 8 and 13,
The glass substrate W is transferred to the transfer end point without any trouble.
【００３４】したがって、実施例の移送装置Ｍでは、移
送中にガラス基板Ｗが位置ずれを生じさせた場合、速や
かにそれを検知して移送を中止させることから、ガラス
基板Ｗの破損を防止することができる。Therefore, in the transfer device M of the embodiment, when the glass substrate W is displaced during the transfer, the displacement is promptly detected and the transfer is stopped, so that the glass substrate W is prevented from being damaged. be able to.
【００３５】また、実施例の移送装置Ｍでは、ハンド１
８の前部側上面にも、ガラス基板Ｗの前部側端面のずれ
を検知する光電スイッチ２６が配置されており、ガラス
基板Ｗが前部側へ位置ずれした場合にも、駆動装置を停
止させることができるため、一層、移送中のワークの破
損を防止することができる。Further, in the transfer device M of the embodiment, the hand 1
The photoelectric switch 26 for detecting the deviation of the front end face of the glass substrate W is also arranged on the front side upper surface of 8, and the driving device is stopped even when the glass substrate W is displaced to the front side. Therefore, it is possible to further prevent damage to the work during transfer.
【００３６】さらに、実施例の移送装置Ｍでは、ガラス
基板Ｗの後部側端面のずれを検知する光電スイッチ２７
・２７が配置されて、近接スイッチ２５と光電スイッチ
２７との２種類のセンサにより、ガラス基板Ｗの後方側
へのずれを検知する構成としているため、ガラス基板Ｗ
の後方側への位置ずれを正確に検知することができる。Further, in the transfer device M of the embodiment, the photoelectric switch 27 for detecting the deviation of the rear end face of the glass substrate W.
Since 27 is arranged and two types of sensors, the proximity switch 25 and the photoelectric switch 27, detect the shift of the glass substrate W to the rear side, the glass substrate W
It is possible to accurately detect the displacement of the rear of the vehicle.
【００３７】ちなみに、光電スイッチ２７だけを配置さ
せては、ガラス基板Ｗが透明体や半透明体であれば、乱
反射等によって、誤認する場合があるが、実施例の場合
には、ガラス基板Ｗの後方への位置ずれを挿通杆２１の
後退移動に変換させて、その透明材料でない挿通杆２１
の後部２１ａの移動を検知するように構成していること
から、ワークＷが透明体若しくは半透明体であっても、
位置ずれ検知時の誤認を極力避けることができる。した
がって、後部２１ａの後方移動を検出するセンサとして
は、ワークＷが透明体等であっても、近接スイッチ２５
の他、光電スイッチやリミットスイッチを利用しても良
い。By the way, if only the photoelectric switch 27 is arranged, if the glass substrate W is a transparent body or a semi-transparent body, it may be mistakenly recognized due to irregular reflection, but in the case of the embodiment, the glass substrate W is The rearward displacement of the insertion rod 21 is converted into the backward movement of the insertion rod 21 so that the insertion rod 21 which is not the transparent material is moved.
Since it is configured to detect the movement of the rear portion 21a, even if the work W is a transparent body or a semi-transparent body,
It is possible to avoid erroneous recognition when detecting a position shift. Therefore, even if the workpiece W is a transparent body or the like, the proximity switch 25 is used as a sensor for detecting the rearward movement of the rear portion 21a.
Alternatively, a photoelectric switch or a limit switch may be used.
【００３８】また、ガラス基板Ｗの前方側への位置ずれ
を検知する光電スイッチ２６の変わりとしては、既述の
誤認防止の点から光を利用しないセンサの使用が望まし
いが、ガラス基板Ｗと干渉しないように、ハンド１８の
上面に突出せずに配置可能なセンサが前提となるため、
光を利用した他のセンサが好ましい。Further, as a substitute for the photoelectric switch 26 for detecting the displacement of the glass substrate W toward the front side, it is desirable to use a sensor that does not use light from the viewpoint of preventing misidentification as described above, but it interferes with the glass substrate W. In order not to project, a sensor that can be arranged without protruding on the upper surface of the hand 18 is a prerequisite,
Other light-based sensors are preferred.
【００３９】さらに、実施例では、移送するワークとし
て、ガラス基板Ｗを例に取って説明したが、勿論、ガラ
ス基板に限定されず、他の薄板状のワークを移送する場
合にも、本発明を利用することができる。Further, in the embodiment, the glass substrate W is described as an example of the work to be transferred, but it is needless to say that the present invention is not limited to the glass substrate and can be applied to the case of transferring another thin plate-like work. Can be used.
【図１】本発明の一実施例を示す移送装置の正面図であ
る。FIG. 1 is a front view of a transfer device according to an embodiment of the present invention.
【図２】同実施例の側面図である。FIG. 2 is a side view of the embodiment.
【図３】同実施例の要部を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a main part of the embodiment.
【図４】同実施例の要部を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a main part of the embodiment.
２・８・１３…駆動装置 ２…油圧シリンダ、 ８…旋回用モータ、 １３…水平移動用モータ、 １８…ハンド、 １９…ベース部、 ２０…ずれ検知板、 ２１…挿通杆、 ２５…（センサ）近接スイッチ、 ２６…（センサ）光電スイッチ、 ３０…制御装置、 Ｍ…移送装置、 Ｗ…（ワーク）ガラス基板。 2 ... 8 ... Drive device 2 ... Hydraulic cylinder, 8 ... Rotation motor, 13 ... Horizontal movement motor, 18 ... Hand, 19 ... Base part, 20 ... Displacement detection plate, 21 ... Insertion rod, 25 ... (Sensor) ) Proximity switch, 26 ... (Sensor) photoelectric switch, 30 ... Control device, M ... Transfer device, W ... (Work) glass substrate.
Claims (2)
と、前記ハンドを移動させる駆動装置と、を備えた薄板
状ワークの移送装置であって、 前記ハンドの後部側上面には、前記ワークの後部側端面
と略平行にベース部が、突設され、 前記ハンドの後部側上面における前記ベース部の前方側
には、後方へ延びて前記ベース部を挿通する挿通杆を備
え、前方側へ付勢されるとともに後方側へ移動可能に前
方側への移動を規制されて、前記ワーク後部側端面と当
接可能なずれ検知板が、配置され、 前記挿通杆の後部の周囲には、前記挿通杆の後方側への
移動を検知して、前記駆動装置を停止させるためのセン
サが、配設されていることを特徴とする薄板状ワークの
移送装置。1. A transfer device for a thin plate-shaped work, comprising: a hand for placing a thin plate-like work on an upper surface; and a drive device for moving the hand, wherein the work is provided on a rear side upper surface of the hand. A base portion is provided so as to project substantially parallel to the rear side end face, and a front side of the base portion on the rear side upper surface of the hand is provided with an insertion rod that extends rearwardly and inserts the base portion, and to the front side. A displacement detection plate that is urged and whose movement toward the rear side is regulated so as to be movable toward the rear side and that can come into contact with the work rear side end surface is arranged, and around the rear portion of the insertion rod, A transporting device for a thin plate-shaped work, wherein a sensor for detecting the rearward movement of the insertion rod and stopping the drive device is provided.
ド上面に載置されたワークの前部側端面のずれを検知し
て前記駆動装置を停止させるためのセンサが、配置され
ていることを特徴とする請求項１記載の薄板状ワークの
移送装置。2. A sensor for detecting a deviation of a front end face of a work placed on the upper surface of the hand and stopping the driving device is disposed on the front upper surface of the hand. The thin plate workpiece transfer device according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24981694A JPH08113345A (en) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | Transfer device for thin plate-like work |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24981694A JPH08113345A (en) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | Transfer device for thin plate-like work |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08113345A true JPH08113345A (en) | 1996-05-07 |
Family
ID=17198626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24981694A Pending JPH08113345A (en) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | Transfer device for thin plate-like work |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08113345A (en) |
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-
1994
- 1994-10-14 JP JP24981694A patent/JPH08113345A/en active Pending
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