JPH08106814A - Dielectric ceramics for microwave - Google Patents

Dielectric ceramics for microwave

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Publication number
JPH08106814A
JPH08106814A JP6240939A JP24093994A JPH08106814A JP H08106814 A JPH08106814 A JP H08106814A JP 6240939 A JP6240939 A JP 6240939A JP 24093994 A JP24093994 A JP 24093994A JP H08106814 A JPH08106814 A JP H08106814A
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JP
Japan
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mol
sample
tio
oxide
coo
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Withdrawn
Application number
JP6240939A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Arai
徹 荒井
一年 ▲鮎▼沢
Kazutoshi Ayusawa
Hiroyo Katou
博代 加藤
Hideki Ono
英輝 小野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To make relative permittivity large and make no-load Q large even with a composition whose resonant frequency temperature coefficient is in the vicinity of 0ppm/ deg.C by adding a predetermined amount of titanium dioxide and magnesium oxide as accessory components to 1mol of main component. CONSTITUTION: Chemically high purity barium carbonate(BaCo3 ), cobalt oxide(CoO), niobium oxide(Nb2 O5 ), titanium dioxide(TiO2 ), and magnesium oxide(MgO) are used as starting raw material. The composition formula of a main component is expressed by (BaO)x.(CoO)y.(Nb2 O5 )z, and x, y, and z are respectively expressed in mol%, and stay in ranges as 59.5<=x<=61.8mol%, 19.1<=y<=20.6mol%, 19.1<=z<=20.1mol% (where, x+y+z=100mol%). 0.1mol or less (where, 0mol is not included) of titanium dioxide and 0.008mol or less (where, 0mol is not included) of magnesium oxide as accessory components are added to 1mol of this main component. Thereby, no-load Q can be made large.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波用誘電体セ
ラミックスに係り、大きな比誘電率(εr )を持ち、無
負荷Q(Qu)が大きく、かつ、組成を変化させること
によって共振周波数の温度係数(τf )を0ppm/℃
を中心に任意の値に変化させることができるようにした
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric ceramic for microwaves, has a large relative permittivity (ε r ), has a large unloaded Q (Qu), and has a resonant frequency by changing the composition. Temperature coefficient (τ f ) of 0ppm / ℃
It is designed so that it can be changed to any value centered on.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、第29回応用物理学関係連合講演会予稿集2a
−I−4P763(1982)等に記載されるものがあ
った。近年、マイクロ波用の誘電体共振器や誘電体フィ
ルタが、自動車電話、携帯電話、衛星放送の受信機に数
多く用いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, techniques in such a field include:
For example, Proceedings 2a of the 29th Joint Lecture on Applied Physics
-I-4P763 (1982) and the like. In recent years, a large number of dielectric resonators and filters for microwaves have been used in car phones, mobile phones, and receivers for satellite broadcasting.

【0003】このような用途に用いられる誘電体材料
は、比誘電率(εr )及び無負荷Q(Qu)が大きく、
かつ組成を変えることによって共振周波数の温度係数
(τf )が0ppm/℃を中心に正または負の値に設定
できるものが望まれており、従来のこのようなセラミッ
クスには、BaO−TiO2 系、ZrO2 −SnO−T
iO2 系があった。
Dielectric materials used for such applications have a large relative permittivity (ε r ) and no-load Q (Qu),
Moreover, it is desired that the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be set to a positive or negative value centered on 0 ppm / ° C. by changing the composition. Conventional ceramics such as BaO—TiO 2 System, ZrO 2 -SnO-T
There was an iO 2 system.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
のセラミックスでは、共振周波数の温度係数(τf )が
0ppm/℃付近の値を示すものでは、比誘電率
(εr )の値は満足できるが、無負荷Q(Qu)は、十
分大きいとはいえず、その結果、これらの材料を使用し
たデバイスを組み込んだ場合に、装置として十分満足で
きる特性を有しているとはいえなかった。
However, in the above-mentioned conventional ceramics, when the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency shows a value near 0 ppm / ° C., the relative permittivity (ε r ) value is satisfied. However, the unloaded Q (Qu) cannot be said to be sufficiently large, and as a result, when a device using these materials was incorporated, it could not be said to have sufficiently satisfactory characteristics as an apparatus. .

【0005】また、共振周波数の温度係数(τf )は、
任意の値とすることができず、他のデバイスの位相のず
れ等の関係上、0ppm/℃以外の値(例えば、+6p
pm/℃で要求された場合でも、要求された値に変える
ことはできなかった。本発明は、これらを改善するため
になされたものであり、比誘電率(εr )が大きく共振
周波数の温度係数(τf )が0ppm/℃付近となる組
成とした場合でも無負荷Q(Qu)が大きな値をするマ
イクロ波用誘電体セラミックスを提供することを目的と
する。
The temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is
It cannot be set to an arbitrary value, and due to the phase shift of other devices, a value other than 0 ppm / ° C (for example, + 6p
Even when required at pm / ° C, it could not be changed to the required value. The present invention has been made in order to improve these characteristics. Even when the composition is such that the relative dielectric constant (ε r ) is large and the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is around 0 ppm / ° C., no load Q ( It is an object of the present invention to provide a dielectric ceramic for microwaves having a large value of Qu).

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のマイクロ波用誘電体セラミックスは、酸化
バリウム(BaO)、酸化コバルト(CoO)、酸化ニ
オブ(Nb2 5 )より成り、主成分の組成式が、 (BaO)x・(CoO)y・(Nb2 5 )z で表され、x、y、zがそれぞれモル%で、59.5≦
x≦61.8モル%、19.1≦y≦20.6モル%、
19.1≦z≦20.1モル%(但し、x+y+z=1
00モル%)の範囲にあり、 (1)前記主成分1モルに対して、副成分として、0.
1モル以下(但し、0モルを含まず)の二酸化チタン
(TiO2 )及び0.008モル以下(但し、0モルを
含まず)の酸化マグネシウム(MgO)を添加してなる
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the microwave dielectric ceramics of the present invention comprises barium oxide (BaO), cobalt oxide (CoO) and niobium oxide (Nb 2 O 5 ). , The composition formula of the main component is represented by (BaO) x · (CoO) y · (Nb 2 O 5 ) z, and x, y, and z are each mol%, and 59.5 ≦.
x ≦ 61.8 mol%, 19.1 ≦ y ≦ 20.6 mol%,
19.1 ≦ z ≦ 20.1 mol% (however, x + y + z = 1
In the range of (00 mol%), and
Characterized by adding 1 mol or less (not including 0 mol) of titanium dioxide (TiO 2 ) and 0.008 mol or less (not including 0 mol) of magnesium oxide (MgO). .

【0007】(2)前記主成分1モルに対して、副成分
として、0.1モル以下(但し、0モルを含まず)の二
酸化チタン(TiO2 )及び0.008モル以下(但
し、0モルを含まず)の酸化ジルコニウム(ZrO2
を添加してなることを特徴とする。 (3)前記主成分1モルに対して、副成分として、0.
1モル以下(但し、0モルを含まず)の二酸化チタン
(TiO2 )及び0.008モル以下(但し、0モルを
含まず)の酸化亜鉛(ZnO)を添加してなることを特
徴とする。
(2) 0.1 mol or less (not including 0 mol) of titanium dioxide (TiO 2 ) and 0.008 mol or less (however, 0 Zirconium oxide (not containing moles) (ZrO 2 )
Is added. (3) As a subcomponent, 0.
It is characterized in that 1 mol or less (not including 0 mol) of titanium dioxide (TiO 2 ) and 0.008 mol or less (not including 0 mol) of zinc oxide (ZnO) are added. .

【0008】[0008]

【作用】[Action]

(1)上記(1)記載の誘電体セラミックスによれば、 マイクロ波領域において比誘電率(εr )及び無負
荷Q(Qu)が大きく、共振周波数の温度係数(τf
を正または、負の任意の値に容易に変化させることがで
きる。
(1) According to the dielectric ceramics described in (1) above, the dielectric constant (ε r ) and the unloaded Q (Qu) are large in the microwave region, and the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is large.
Can be easily changed to any positive or negative value.

【0009】 更に、共振周波数の温度係数(τf
を0ppm/℃付近となる組成とした場合でも、無負荷
Q(Qu)が大きな値を有している。このためマイクロ
波帯の誘電体共振器、誘電体フィルタの小型化、低損失
化にとって有効である。 また、共振周波数の温度係数(τf )を正または、
負の任意の値に容易に変化させることができるため、他
のデバイスの位相のずれなどの関係から、共振周波数の
温度係数(τf )が0ppm/℃以外の値を要求された
場合でも、TiO2 及びMgOの添加量を変えることに
より、共振周波数の温度係数(τf )を負から正へと任
意の値とすることが可能である。
Further, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency
Even when the composition is set to be near 0 ppm / ° C., the unloaded Q (Qu) has a large value. For this reason, it is effective for downsizing and low loss of microwave dielectric resonators and dielectric filters. Also, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is positive or
Since it can be easily changed to an arbitrary negative value, even if a temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is required to be a value other than 0 ppm / ° C due to the phase shift of other devices, etc. By changing the addition amounts of TiO 2 and MgO, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be set to any value from negative to positive.

【0010】(2)上記(2)記載の誘電体セラミック
スによれば、上記(1)の及びの効果に加えて、更
に、共振周波数の温度係数(τf )を正または、負の任
意の値に容易に変化させることができるため、他のデバ
イスの位相のずれなどの関係から、共振周波数の温度係
数(τf )が0ppm/℃以外の値を要求された場合で
も、TiO2 及びZrO2 の添加量を変えることによ
り、共振周波数の温度係数(τf )を負から正へと任意
の値とすることが可能である。
(2) According to the dielectric ceramics described in (2) above, in addition to the effects of (1) and (1), the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is positive or negative. Since it can be easily changed to a value, even if a temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is required to be a value other than 0 ppm / ° C. due to the phase shift of other devices, TiO 2 and ZrO By changing the amount of addition of 2 , it is possible to make the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency any value from negative to positive.

【0011】(3)上記(3)記載の誘電体セラミック
スによれば、上記(1)の及びの効果に加えて、更
に、共振周波数の温度係数(τf )を正または、負の任
意の値に容易に変化させることができるため、他のデバ
イスの位相のずれなどの関係から、共振周波数の温度係
数(τf )が0ppm/℃以外の値を要求された場合で
も、TiO2 及びZnOの添加量を変えることにより、
共振周波数の温度係数(τf )を負から正へと任意の値
とすることが可能である。
(3) According to the dielectric ceramics described in (3) above, in addition to the effect of and in (1) above, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be any positive or negative value. Since it can be easily changed to a value, even if a temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is required to be a value other than 0 ppm / ° C. due to the phase shift of other devices, TiO 2 and ZnO By changing the addition amount of
The temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be set to any value from negative to positive.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の実施例について詳細に説明す
る。本発明の第1実施例について説明する。出発原料に
は、化学的に高純度の炭酸バリウム(BaCO3 )、酸
化コバルト(CoO)、酸化ニオブ(Nb2 5 )、二
酸化チタン(TiO2 )、酸化マグネシウム(MgO)
を使用し、表1に示すような組成になるように正確に評
量した。これをプラスチック製のポットミルとジルコニ
アボールを用い、純水と共に20時間湿式混合した。こ
の混合物を脱水、乾燥後、マグネシア容器を用いて空気
中で1200℃の温度で3時間仮焼した。この仮焼物を
混合工程と同様な方法で湿式粉砕した後、脱水、乾燥し
て微粒子の粉体を得た。この粉体にバインダを添加して
十分に粉体と混合して造粒粉を得た。この造粒粉を金型
と油圧プレスを用い、成形圧力1〜3t/cm2 で直径
20mm、厚さ12mmの円盤状の成形体を作製した。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described in detail below. A first embodiment of the present invention will be described. The starting material is chemically high-purity barium carbonate (BaCO 3 ), cobalt oxide (CoO), niobium oxide (Nb 2 O 5 ), titanium dioxide (TiO 2 ), magnesium oxide (MgO).
Was used to accurately evaluate the composition as shown in Table 1. This was wet mixed with pure water for 20 hours using a plastic pot mill and zirconia balls. The mixture was dehydrated and dried, and then calcined in a magnesia container in air at a temperature of 1200 ° C. for 3 hours. The calcined product was wet pulverized in the same manner as in the mixing step, then dehydrated and dried to obtain fine particle powder. A binder was added to this powder and sufficiently mixed with the powder to obtain a granulated powder. A disk-shaped compact having a diameter of 20 mm and a thickness of 12 mm was produced from the granulated powder using a mold and a hydraulic press at a molding pressure of 1 to 3 t / cm 2 .

【0013】このようにして得られた成形体をマグネシ
ア製の容器に入れて、1500℃の温度で5時間空気中
で焼成して、誘電体セラミックスを得た。このセラミッ
クスを所定の周波数になるように研磨した後、誘電特性
を次の方法で測定した。誘電体セラミックスの比誘電率
(εr )及び無負荷Q(Qu)は、ハッキ・コールマン
法により測定した。また、共振周波数の温度係数
(τf )は、20℃における共振周波数f(20)を基
準とし、−40℃と80℃の温度におけるそれぞれの共
振周波数f(−40)、f(80)と温度差△T(ここ
では、−40℃と80℃で△T=120℃)から下記の
(1)式に従い求めた。なお、これらの測定における測
定周波数は、約5GHzであった。
The molded body thus obtained was placed in a magnesia container and fired in air at a temperature of 1500 ° C. for 5 hours to obtain a dielectric ceramic. After polishing this ceramic to a predetermined frequency, the dielectric characteristics were measured by the following method. The relative permittivity (ε r ) and the unloaded Q (Qu) of the dielectric ceramics were measured by the Hacky-Coleman method. Further, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is based on the resonance frequency f (20) at 20 ° C. and the resonance frequencies f (−40) and f (80) at −40 ° C. and 80 ° C., respectively. The temperature difference ΔT (here, ΔT = 120 ° C. at −40 ° C. and 80 ° C.) was calculated according to the following equation (1). The measurement frequency in these measurements was about 5 GHz.

【0014】 τf ={f(80)−f(40)}/{f(20)×120} …(1) 各組成の誘電特性の測定結果を表1に示す。Τ f = {f (80) −f (40)} / {f (20) × 120} (1) Table 1 shows the measurement results of the dielectric properties of each composition.

【0015】[0015]

【表1】 [Table 1]

【0016】なお、表1において、*印を付けた試料N
o.は、本発明の範囲外の比較例であり、それ以外の試
料No.が本発明の実施例の範囲のものである。表1の
結果によれば、BaOが59.5モル%以下になると、
試料No.1、No.15のように無負荷Q(Qu)が
小さくなり、61.8モル%を超えると、試料No.7
のようにやはり無負荷Q(Qu)が小さくなり、不適当
である。
In Table 1, sample N marked with *
o. Are comparative examples outside the scope of the present invention, and other sample Nos. Are within the scope of the embodiments of the present invention. According to the results of Table 1, when BaO is 59.5 mol% or less,
Sample No. 1, No. As shown in No. 15, when the unloaded Q (Qu) becomes small and exceeds 61.8 mol%, the sample No. 7
However, the no-load Q (Qu) becomes small as shown in FIG.

【0017】また、CoOは、19.1モル%以下にな
ると、試料No.7のように無負荷Q(Qu)が小さく
なり、20.6モル%を超えると、試料No.15のよ
うにやはり無負荷Q(Qu)が小さくなり不適当であ
る。更に、Nb2 5 は、19.1モル%以下になる
と、試料No.7のように無負荷Q(Qu)が小さくな
り、20.1モル%を超えると、試料No.1のように
やはり無負荷Q(Qu)が小さくなり不適当である。
When CoO is 19.1 mol% or less, the sample No. When the unloaded Q (Qu) becomes small as in Example 7 and exceeds 20.6 mol%, the sample No. As in No. 15, the unloaded Q (Qu) is still small, which is inappropriate. Further, when the Nb 2 O 5 content was 19.1 mol% or less, the sample No. When the unloaded Q (Qu) becomes small as in Example 7 and exceeds 20.1 mol%, the sample No. As in No. 1, the unloaded Q (Qu) is still small, which is inappropriate.

【0018】従って、BaOは、59.5〜61.8モ
ル%の範囲、CoOは、19.1〜20.6モル%の範
囲、Nb2 5 は、19.1〜20.1モル%の範囲
が、それぞれ好適な範囲である。また、主成分に対する
副成分としてのTiO2 については、試料No.8〜1
2に示すように、添加量が増していくと比誘電率
(εr )は、増加傾向を示し、30以上の十分に大きな
値である。
Therefore, BaO is in the range of 59.5 to 61.8 mol%, CoO is in the range of 19.1 to 20.6 mol%, and Nb 2 O 5 is in the range of 19.1 to 20.1 mol%. The ranges are preferable ranges. Further, regarding TiO 2 as a sub-component with respect to the main component, Sample No. 8 to 1
As shown in FIG. 2, the relative permittivity (ε r ) tends to increase as the added amount increases, and is a sufficiently large value of 30 or more.

【0019】更に、共振周波数の温度係数(τf )は、
TiO2 添加量0.005モル(試料No.8)での−
10.5ppm/℃から、0.5モル(試料No.1
2)での59.8ppm/℃へとTiO2 の添加量の増
加と共に大きくなる。更に、無負荷Q(Qu)は、Ti
2 添加量0.005モル(試料No.8)での620
0から、0.1モル(試料No.11)での3800へ
と小さくなり、TiO2 添加量が0.5モル(試料N
o.12)になると1600と急激に小さくなり、本発
明の目的に合わなくなる。
Further, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is
When the added amount of TiO 2 is 0.005 mol (Sample No. 8)-
From 10.5 ppm / ° C., 0.5 mol (Sample No. 1
It increased to 59.8 ppm / ° C. in 2) as the amount of TiO 2 added increased. Furthermore, the unloaded Q (Qu) is Ti
620 when the amount of O 2 added is 0.005 mol (Sample No. 8)
It decreased from 0 to 3800 at 0.1 mol (Sample No. 11), and the addition amount of TiO 2 was 0.5 mol (Sample N).
o. In the case of 12), it becomes as small as 1600, which is not suitable for the purpose of the present invention.

【0020】このように、TiO2 添加量は、0.1モ
ルまでが適切である。また、主成分に対する副成分とし
てのMgOは、試料No.2〜試料No.7に示すよう
に、添加量が増していくと、比誘電率(εr )は、Mg
O添加量0.001モル(試料No.2)の32.7か
ら、MgO添加量0.008モル(試料No.6)の3
2.5へと僅かに小さくなるが、MgO添加量0.00
1モル〜0.008モルの範囲で30以上の十分大きな
値である。また、共振周波数の温度係数(τf )は、M
gO添加量0.001モル(試料No.2)の−4.0
ppm/℃から0.008モル(試料No.6)の−
6.8ppm/℃へと小さなマイナスの包配をもって変
化する。
As described above, the addition amount of TiO 2 is appropriately up to 0.1 mol. In addition, the sample No. 2 to sample No. As shown in Fig. 7, as the added amount increases, the relative dielectric constant (ε r ) becomes
From 32.7 of O addition amount of 0.001 mol (Sample No. 2) to 3 of MgO addition amount of 0.008 mol (Sample No. 6)
Slightly reduced to 2.5, but added MgO 0.00
It is a sufficiently large value of 30 or more in the range of 1 mol to 0.008 mol. The temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is M
gO addition amount 0.001 mol (sample No. 2) -4.0
ppm / ° C. to 0.008 mol (Sample No. 6) −
Change to 6.8 ppm / ° C with small negative inclusion.

【0021】更に、無負荷Q(Qu)は、MgO添加量
0.001モル(試料No.2)の5700から、0.
008モル(試料No.6)の2500へと小さくな
り、0.01モル(試料No.7)になると500と急
激に小さくなり、本発明の目的に合わなくなる。このよ
うに、MgO添加量は、0.003モルまでが適切であ
る。
Further, the unloaded Q (Qu) was 0. 0 from the MgO addition amount of 5700 of 0.001 mol (sample No. 2).
It becomes as small as 008 mol (Sample No. 6) to 2500, and when it becomes 0.01 mol (Sample No. 7), it becomes as small as 500, which is not suitable for the purpose of the present invention. Thus, the appropriate amount of addition of MgO is 0.003 mol.

【0022】以上のように、この(BaO)x・(Co
O)y・(Nb2 5 )zに、TiO2 とMgOを添加
した誘電体セラミックスは、x=60モル%、y=20
モル%、z=20モル%付近、特に、BaOがやや過剰
のx=60.7モル%、y=19.6モル%、z=1
9.6モル%に、TiO2 を0.005モル、MgOを
0.001モル添加した組成において、最も大きな無負
荷Q(Qu)を得ることができる。また、TiO2 及び
MgOの添加量を変えることにより、共振周波数の温度
係数(τf )を負から正へと任意の値に変化させること
ができる。
As described above, this (BaO) x. (Co
Dielectric ceramics obtained by adding TiO 2 and MgO to O) y · (Nb 2 O 5 ) z have x = 60 mol%, y = 20.
Mol%, z = 20 mol% or so, in particular, x = 60.7 mol% with a slight excess of BaO, y = 19.6 mol%, z = 1
The largest unloaded Q (Qu) can be obtained in the composition in which 0.005 mol of TiO 2 and 0.001 mol of MgO are added to 9.6 mol%. Further, by changing the addition amounts of TiO 2 and MgO, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be changed to any value from negative to positive.

【0023】次に、本発明の第2実施例について詳細に
説明する。出発原料には、化学的に高純度の炭酸バリウ
ム(BaCO3 )、酸化コバルト(CoO)、酸化ニオ
ブ(Nb2 5 )、二酸化チタン(TiO2 )、酸化ジ
ルコニウム(ZrO2 )を使用し、表2に示したような
組成になるように正確に評量した。これをプラスチック
製のポットミルとジルコニアボールを用い、純水と共に
20時間湿式混合した。この混合物を脱水、乾燥後、マ
グネシア容器を用いて空気中で1200℃の温度で3時
間仮焼した。この仮焼物を混合工程と同様な方法で湿式
粉砕した後、脱水、乾燥して微粒子の粉体を得た。この
粉体にバインダを添加して十分に粉体と混合して造粒粉
を得た。この造粒粉を金型と油圧プレスを用い、成形圧
力1〜3t/cm2 で直径20mm、厚さ12mmの円
盤状の成形体を作製した。
Next, the second embodiment of the present invention will be described in detail. Chemically high-purity barium carbonate (BaCO 3 ), cobalt oxide (CoO), niobium oxide (Nb 2 O 5 ), titanium dioxide (TiO 2 ), and zirconium oxide (ZrO 2 ) are used as starting materials. The composition was accurately evaluated so that the composition shown in Table 2 was obtained. This was wet mixed with pure water for 20 hours using a plastic pot mill and zirconia balls. The mixture was dehydrated and dried, and then calcined in a magnesia container in air at a temperature of 1200 ° C. for 3 hours. The calcined product was wet pulverized in the same manner as in the mixing step, then dehydrated and dried to obtain fine particle powder. A binder was added to this powder and sufficiently mixed with the powder to obtain a granulated powder. A disk-shaped compact having a diameter of 20 mm and a thickness of 12 mm was produced from the granulated powder using a mold and a hydraulic press at a molding pressure of 1 to 3 t / cm 2 .

【0024】このようにして得られた成形体をマグネシ
ア製の容器に入れて、1500℃の温度で5時間空気中
で焼成して、誘電体セラミックスを得た。このセラミッ
クスを所定の周波数になるように研磨した後、誘電特性
を次の方法で測定した。誘電体セラミックスの比誘電率
(εr )及び無負荷Q(Qu)は、ハッキ・コールマン
法により測定した。また、共振周波数の温度係数
(τf )は、20℃における共振周波数f(20)を基
準とし、−40℃と80℃の温度におけるそれぞれの共
振周波数f(−40)、f(80)と温度差△T(ここ
では、−40℃と80℃で△T=120℃)から下記の
(2)式に従い求めた。なお、これらの測定における測
定周波数は、約5GHzであった。
The molded body thus obtained was placed in a magnesia container and fired in air at a temperature of 1500 ° C. for 5 hours to obtain a dielectric ceramic. After polishing this ceramic to a predetermined frequency, the dielectric characteristics were measured by the following method. The relative permittivity (ε r ) and the unloaded Q (Qu) of the dielectric ceramics were measured by the Hacky-Coleman method. Further, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is based on the resonance frequency f (20) at 20 ° C. and the resonance frequencies f (−40) and f (80) at −40 ° C. and 80 ° C., respectively. It was determined from the temperature difference ΔT (here, ΔT = 120 ° C. at −40 ° C. and 80 ° C.) according to the following equation (2). The measurement frequency in these measurements was about 5 GHz.

【0025】 τf ={f(80)−f(40)}/{f(20)×120} …(2) 各組成の誘電特性の測定結果を表2に示す。Τ f = {f (80) −f (40)} / {f (20) × 120} (2) Table 2 shows the measurement results of the dielectric properties of each composition.

【0026】[0026]

【表2】 [Table 2]

【0027】なお、表2において、*印を付けた試料N
o.は本発明の範囲外の比較例であり、それ以外の試料
No.が本発明の実施例の範囲のものである。表2の結
果によれば、主成分の組成に関して、BaOは59.5
モル%以下になると(試料No.10)、無負荷Q(Q
u)が小さくなり、61.8モル%を超えると(試料N
o.2)やはり無負荷Q(Qu)が小さくなるため、不
適当である。
In Table 2, sample N marked with *
o. Is a comparative example outside the scope of the present invention, and other sample Nos. Are within the scope of the embodiments of the present invention. According to the results of Table 2, regarding the composition of the main component, BaO was 59.5.
When it is less than mol% (Sample No. 10), no load Q (Q
u) becomes small and exceeds 61.8 mol% (Sample N
o. 2) It is also unsuitable because the unloaded Q (Qu) is small.

【0028】また、CoOは、19.1モル%未満にな
ると(試料No.2)、無負荷Q(Qu)が小さくな
り、20.6モル%を超えると(試料No.10)、や
はり無負荷Q(Qu)が小さくなり不適当である。更
に、Nb2 5 は、19.1モル未満になると(試料N
o.2)、無負荷Q(Qu)が小さくなり、20.1モ
ル%を超えると(試料No.9)、やはり無負荷Q(Q
u)が小さくなり不適当である。
Further, when CoO is less than 19.1 mol% (Sample No. 2), the unloaded Q (Qu) becomes small, and when it exceeds 20.6 mol% (Sample No. 10), it is also completely absent. The load Q (Qu) is small and unsuitable. Furthermore, when Nb 2 O 5 is less than 19.1 mol (Sample N
o. 2), unloaded Q (Qu) becomes small, and when it exceeds 20.1 mol% (Sample No. 9), unloaded Q (Q)
u) is small and unsuitable.

【0029】従って、BaOは、59.5〜61.8モ
ル%の範囲、CoOは、19.1〜20.6モル%の範
囲、Nb2 5 は、19.1〜20.1モル%の範囲
が、それぞれ好適な範囲である。ここで、BaO、Co
C、Nb2 5 のモル%を合計すると100モル%とな
る。また、主成分に対する副成分としてのTiO2 につ
いては、試料No.16〜19に示すように、添加量が
増していくと、比誘電率(εr )は、増加傾向を示し、
30以上の十分に大きな値である。また、共振周波数の
温度係数(τf )は、TiO2 添加量0.005モル
(試料No.16)での−0.8ppm/℃から、0.
5モル(試料No.19)での46.0ppm/℃へと
TiO2 の添加量の増加と共に大きくなる。
Therefore, BaO is in the range of 59.5 to 61.8 mol%, CoO is in the range of 19.1 to 20.6 mol%, and Nb 2 O 5 is in the range of 19.1 to 20.1 mol%. The ranges are preferable ranges. Where BaO, Co
The total of the mol% of C and Nb 2 O 5 is 100 mol%. Further, regarding TiO 2 as a sub-component with respect to the main component, Sample No. As shown in 16 to 19, as the added amount increases, the relative dielectric constant (ε r ) shows an increasing tendency,
It is a sufficiently large value of 30 or more. Moreover, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is from 0.8 ppm / ° C. when the added amount of TiO 2 is 0.005 mol (Sample No. 16) to 0.
The value increases to 46.0 ppm / ° C. at 5 mol (Sample No. 19) with an increase in the amount of TiO 2 added.

【0030】更に、無負荷Q(Qu)は、TiO2 添加
量0.005モル(試料No.16)での6800か
ら、0.1モル(試料No.18)での3400へと小
さくなり、TiO2 添加量が0.5モル(試料No1
9)になると、2000と急激に小さくなり、本発明の
目的に合わなくなる。このように、TiO2 添加量は、
0.1モルまでが適切である。
Further, the unloaded Q (Qu) decreases from 6800 when the amount of TiO 2 added is 0.005 mol (Sample No. 16) to 3400 when 0.1 mol (Sample No. 18), The amount of TiO 2 added is 0.5 mol (Sample No. 1
When it becomes 9), it becomes as small as 2000, which is not suitable for the purpose of the present invention. Thus, the amount of TiO 2 added is
Up to 0.1 mol is suitable.

【0031】また、主成分に対する副成分としてのZr
2 は、試料No.11〜試料No.14に示すよう
に、比誘電率(εr )に関しては、大きな値の変動はな
く、ZrO2 添加量0.001モル〜0.01モルの範
囲で30以上の十分大きな値である。また、共振周波数
の温度係数(τf )に関しては、ZrO2 添加量0.0
01モル(試料No.11)の0.5ppm/℃から
0.008モル(試料No.14)の2.7ppm/℃
へとZrO2 の添加量の増加と共に大きくなる。
Further, Zr as an accessory component to the main component
O 2 is the sample No. 11 to Sample No. As shown in 14, the relative dielectric constant (ε r ) does not fluctuate significantly, and is a sufficiently large value of 30 or more in the range of 0.001 mol to 0.01 mol of ZrO 2 addition. Further, regarding the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency, the added amount of ZrO 2 is 0.0
01 mol (Sample No. 11) of 0.5 ppm / ° C. to 0.008 mol (Sample No. 14) of 2.7 ppm / ° C.
It increases as the amount of ZrO 2 added increases.

【0032】更に、無負荷Q(Qu)は、ZrO2 添加
量0.001モル(試料No.11)の6500から、
0.008モル(試料No.14)の4200へと小さ
くなり、0.01モル(試料No.15)になると10
00と急激に小さくなり、本発明の目的に合わなくな
る。このように、ZrO2 添加量は、0.008モルま
でが適切である。
Further, the unloaded Q (Qu) was 6500 with the ZrO 2 addition amount of 0.001 mol (Sample No. 11).
It decreased to 0.008 mol (Sample No. 14) to 4200, and became 0.01 mol (Sample No. 15) to 10
00, which is too small to meet the purpose of the present invention. Thus, the ZrO 2 addition amount is appropriately up to 0.008 mol.

【0033】以上のように、この(BaO)x・(Co
O)y・(Nb2 5 )zにTiO 2 とZrO2 を添加
した誘電体セラミックスは、x=60モル%、y=20
モル%、z=20モル%付近で、主成分1モルに対して
TiO2 を0.005モル、ZrO2 を0.002モル
添加した組成において、最も大きな無負荷Q(Qu)を
得ることができる。また、TiO2 及びZrO2 の添加
量を変えることにより、共振周波数の温度係数(τf
を負から正へと任意の値に変化させることができる。
As described above, this (BaO) x. (Co
O) y ・ (Nb2OFive) TiO in z 2And ZrO2Add
The dielectric ceramics produced were x = 60 mol% and y = 20.
Mol% and z = 20 mol% or so with respect to 1 mol of the main component
TiO20.005 mol, ZrO20.002 mol
The highest unloaded Q (Qu) in the added composition
Obtainable. Also, TiO2And ZrO2Addition of
By changing the amount, the temperature coefficient (τf)
Can be changed to any value from negative to positive.

【0034】なお、この実施例では、直径20mm、厚
さ12mmの円盤上の成形体を用いて、特性を測定して
いるが、誘電体共振器や誘電体フィルタに適用する場合
に、直径、厚さの異なる円板状の成形体あるいは直方体
などの他の形状の成形体を用いても良い。また、加工、
研磨により形状を変えても良い。次に、本発明の第3実
施例について詳細に説明する。
In this embodiment, the characteristics are measured by using a disk-shaped molded body having a diameter of 20 mm and a thickness of 12 mm. However, when applied to a dielectric resonator or a dielectric filter, the diameter, A disk-shaped molded body having a different thickness or a molded body having another shape such as a rectangular parallelepiped may be used. Also, processing,
The shape may be changed by polishing. Next, the third embodiment of the present invention will be described in detail.

【0035】出発原料には、化学的に高純度の炭酸バリ
ウム(BaCO3 )、酸化コバルト(CoO)、酸化ニ
オブ(Nb2 5 )、二酸化チタン(TiO2 )、酸化
亜鉛(ZnO)を使用し、表3に示したような組成にな
るように正確に評量した。これをプラスチック製のポッ
トミルとジルコニアボールを用い、純水と共に20時間
湿式混合した。この混合物を脱水、乾燥後、マグネシア
容器を用いて空気中で1200℃の温度で3時間仮焼し
た。この仮焼物を混合工程と同様な方法で湿式粉砕した
後、脱水、乾燥して微粒子の粉体を得た。この粉体にバ
インダを添加して十分に粉体と混合して造粒粉を得た。
この造粒粉を金型と油圧プレスを用い、成形圧力1〜3
t/cm2 で直径20mm、厚さ12mmの円盤状の成
形体を作製した。
Chemically high-purity barium carbonate (BaCO 3 ), cobalt oxide (CoO), niobium oxide (Nb 2 O 5 ), titanium dioxide (TiO 2 ), and zinc oxide (ZnO) are used as starting materials. Then, the composition was accurately evaluated so that the composition shown in Table 3 was obtained. This was wet mixed with pure water for 20 hours using a plastic pot mill and zirconia balls. The mixture was dehydrated and dried, and then calcined in a magnesia container in air at a temperature of 1200 ° C. for 3 hours. The calcined product was wet pulverized in the same manner as in the mixing step, then dehydrated and dried to obtain fine particle powder. A binder was added to this powder and sufficiently mixed with the powder to obtain a granulated powder.
This granulated powder is molded with a mold and a hydraulic press at a molding pressure of 1 to 3.
A disk-shaped compact having a diameter of 20 mm and a thickness of 12 mm at t / cm 2 was produced.

【0036】このようにして得られた成形体をマグネシ
ア製の容器に入れて、1500℃の温度で5時間空気中
で焼成して、誘電体セラミックスを得た。このセラミッ
クスを所定の周波数になるように研磨した後、誘電特性
を次の方法で測定した。誘電体セラミックスの比誘電率
(εr )及び無負荷Q(Qu)は、ハッキ・コールマン
法により測定した。また、共振周波数の温度係数
(τf )は、20℃における共振周波数f(20)を基
準とし、−40℃と80℃の温度におけるそれぞれの共
振周波数f(−40)、f(80)と温度差△T(ここ
では、−40℃と80℃で△T=120℃)から下記の
(3)式に従い求めた。なお、これらの測定における測
定周波数は、約5GHzであった。
The molded body thus obtained was placed in a magnesia container and fired in air at a temperature of 1500 ° C. for 5 hours to obtain a dielectric ceramic. After polishing this ceramic to a predetermined frequency, the dielectric characteristics were measured by the following method. The relative permittivity (ε r ) and the unloaded Q (Qu) of the dielectric ceramics were measured by the Hacky-Coleman method. Further, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is based on the resonance frequency f (20) at 20 ° C. and the resonance frequencies f (−40) and f (80) at −40 ° C. and 80 ° C., respectively. The temperature difference ΔT (here, ΔT = 120 ° C. at −40 ° C. and 80 ° C.) was calculated according to the following equation (3). The measurement frequency in these measurements was about 5 GHz.

【0037】 τf ={f(80)−f(40)}/{f(20)×120} …(3) 各組成の誘電特性の測定結果を表3に示す。Τ f = {f (80) −f (40)} / {f (20) × 120} (3) Table 3 shows the measurement results of the dielectric properties of each composition.

【0038】[0038]

【表3】 [Table 3]

【0039】なお、表3において、*印を付けた試料N
o.は本発明の範囲外の比較例であり、それ以外の試料
No.が本発明の実施例の範囲のものである。表3の結
果によれば、BaOが59.5モル%以下になると、試
料No.1、No.15のように無負荷Q(Qu)が小
さくなり、61.8モル%を超えると、試料No.7の
ようにやはり無負荷Q(Qu)が小さくなり、不適当で
ある。
In Table 3, sample N marked with *
o. Is a comparative example outside the scope of the present invention, and other sample Nos. Are within the scope of the embodiments of the present invention. According to the result of Table 3, when BaO is 59.5 mol% or less, the sample No. 1, No. As shown in No. 15, when the unloaded Q (Qu) becomes small and exceeds 61.8 mol%, the sample No. As shown in No. 7, the unloaded Q (Qu) is still small, which is inappropriate.

【0040】また、CoOは、19.1モル%以下にな
ると、試料No.7のように無負荷Q(Qu)が小さく
なり、20.6モル%を超えると、試料No.15のよ
うにやはり無負荷Q(Qu)が小さくなり不適当であ
る。更に、Nb2 5 は、19.1モル%以下になる
と、試料No.7のように無負荷Q(Qu)が小さくな
り、20.1モル%を超えると、試料No.1のように
やはり無負荷Q(Qu)が小さくなり不適当である。
When the CoO content was 19.1 mol% or less, the sample No. When the unloaded Q (Qu) becomes small as in Example 7 and exceeds 20.6 mol%, the sample No. As in No. 15, the unloaded Q (Qu) is still small, which is inappropriate. Further, when the Nb 2 O 5 content was 19.1 mol% or less, the sample No. When the unloaded Q (Qu) becomes small as in Example 7 and exceeds 20.1 mol%, the sample No. As in No. 1, the unloaded Q (Qu) is still small, which is inappropriate.

【0041】従って、BaOは、59.5〜61.8モ
ル%の範囲、CoOは、19.1〜20.6モル%の範
囲、Nb2 5 は、19.1〜20.1モル%の範囲
が、それぞれ好適な範囲である。また、主成分に対する
副成分としてのTiO2 については、試料No.8〜N
o.12に示すように、添加量が増していくと、比誘電
率(εr )は、増加傾向を示し、30以上の十分に大き
な値である。また、共振周波数の温度係数(τf)は、
TiO2 添加量0.005モル(試料No.8)での−
9.4ppm/℃から、0.5モル(試料No.12)
での60.5ppm/℃へとTiO2 の添加量の増加と
共に大きくなる。
Therefore, BaO is in the range of 59.5 to 61.8 mol%, CoO is in the range of 19.1 to 20.6 mol%, and Nb 2 O 5 is in the range of 19.1 to 20.1 mol%. The ranges are preferable ranges. Further, regarding TiO 2 as a sub-component with respect to the main component, Sample No. 8 to N
o. As shown in 12, as the added amount increases, the relative permittivity (ε r ) tends to increase, which is a sufficiently large value of 30 or more. Also, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is
When the added amount of TiO 2 is 0.005 mol (Sample No. 8)-
From 9.4 ppm / ° C, 0.5 mol (Sample No. 12)
60.5 ppm / ° C. and increases with an increase in the amount of TiO 2 added.

【0042】更に、無負荷Q(Qu)は、TiO2 添加
量0.005モル(試料No.8)での6800から、
0.1モル(試料No.11)での3800へと小さく
なり、TiO2 添加量が0.5モル(試料No.12)
になると2000と急激に小さくなり、本発明の目的に
合わなくなる。このように、TiO2 添加量は、0.1
モルまでが適切である。
Further, the unloaded Q (Qu) was calculated from 6800 when the added amount of TiO 2 was 0.005 mol (sample No. 8),
It decreased to 3800 at 0.1 mol (Sample No. 11), and the addition amount of TiO 2 was 0.5 mol (Sample No. 12).
Then, it becomes as small as 2000, which is not suitable for the purpose of the present invention. Thus, the amount of TiO 2 added is 0.1
Up to moles are suitable.

【0043】また、主成分に対する副成分としてのZn
Oは、試料No.2〜試料No.7に示すように、比誘
電率(εr )に関しては大きな変化はなく、ZnO添加
量0.001モル〜0.008モルの範囲で30以上の
十分大きな値である。また、共振周波数の温度係数(τ
f )に関しては、ZnO添加量0.001モル(試料N
o.2)の−2.2ppm/℃から0.008モル(試
料No.6)の−6.8ppm/℃へと小さなマイナス
の包配をもって変化する。
In addition, Zn as an accessory component to the main component
O is the sample No. 2 to sample No. 7, the relative dielectric constant (ε r ) does not change significantly, and is a sufficiently large value of 30 or more in the range of 0.001 mol to 0.008 mol of ZnO added. Also, the temperature coefficient of resonance frequency (τ
f ) is 0.001 mol of ZnO added (sample N
o. It changes from -2.2 ppm / ° C of 2) to -6.8 ppm / ° C of 0.008 mol (Sample No. 6) with a small negative inclusion.

【0044】更に、無負荷Q(Qu)は、ZnO添加量
0.001モル(試料No.2)の5700から、0.
008モル(試料No.6)の3300へと小さくな
り、0.01モル(試料No.7)になると600と急
激に小さくなり、本発明の目的に合わなくなる。このよ
うに、ZnO添加量は、0.008モルまでが適切であ
る。
Further, the unloaded Q (Qu) was 0. 0 from 0700 of ZnO addition amount of 5700 (sample No. 2).
It becomes as small as 008 mol (Sample No. 6) to 3300, and when it becomes 0.01 mol (Sample No. 7), it becomes as small as 600, which is not suitable for the purpose of the present invention. As described above, the appropriate amount of ZnO added is 0.008 mol.

【0045】上記したように、この(BaO)x・(C
oO)y・(Nb2 5 )zにTiO2 とZnOを添加
した誘電体セラミックスは、x=60モル%、y=20
モル%、z=20モル%付近、特にBaOがやや過剰の
x=60.7モル%、y=19.6モル%、z=19.
6モル%にTiO2 を0.005モル、ZnOを0.0
01モル添加した組成において最も大きな無負荷Q(Q
u)を得ることができ、またTiO2 及びZnOの添加
量を変えることにより、共振周波数の温度係数(τf
を負から正へと任意の値に変化させることができる。
As described above, this (BaO) x. (C
The dielectric ceramics obtained by adding TiO 2 and ZnO to oO) y · (Nb 2 O 5 ) z have x = 60 mol%, y = 20.
Mol%, z = 20 mol% or so, especially x = 60.7 mol% with a slight excess of BaO, y = 19.6 mol%, z = 19.
0.005 mol of TiO 2 and 0.0 of ZnO in 6 mol%
The largest unloaded Q (Q
u) can be obtained, and the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be changed by changing the addition amounts of TiO 2 and ZnO.
Can be changed to any value from negative to positive.

【0046】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiment, but various modifications are possible based on the spirit of the present invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (1)請求項1記載の発明によれば、 マイクロ波領域において比誘電率(εr )及び無負
荷Q(Qu)が大きく、共振周波数の温度係数(τf
を正または、負の任意の値に容易に変化させることがで
きる。
As described in detail above, according to the present invention, the following effects can be achieved. (1) According to the invention of claim 1, the relative dielectric constant (ε r ) and the no-load Q (Qu) are large in the microwave region, and the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is large.
Can be easily changed to any positive or negative value.

【0048】 更に、共振周波数の温度係数(τf
を0ppm/℃付近となる組成とした場合でも、無負荷
Q(Qu)が大きな値を有している。このためマイクロ
波帯の誘電体共振器、誘電体フィルタの小型化、低損失
化にとって有効である。 また、共振周波数の温度係数(τf )を正または、
負の任意の値に容易に変化させることができるため、他
のデバイスの位相のずれなどの関係から、共振周波数の
温度係数(τf )が0ppm/℃以外の値を要求された
場合でも、TiO2 及びMgOの添加量を変えることに
より、共振周波数の温度係数(τf )を負から正へと任
意の値とすることが可能である。
Further, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency
Even when the composition is set to be near 0 ppm / ° C., the unloaded Q (Qu) has a large value. For this reason, it is effective for downsizing and low loss of microwave dielectric resonators and dielectric filters. Also, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is positive or
Since it can be easily changed to an arbitrary negative value, even if a temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is required to be a value other than 0 ppm / ° C due to the phase shift of other devices, etc. By changing the addition amounts of TiO 2 and MgO, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be set to any value from negative to positive.

【0049】(2)請求項2記載の発明によれば、上記
(1)の及びの効果に加えて、更に、共振周波数の
温度係数(τf )を正または、負の任意の値に容易に変
化させることができるため、他のデバイスの位相のずれ
などの関係から、共振周波数の温度係数(τf )が0p
pm/℃以外の値を要求された場合でも、TiO2 及び
ZrO2 の添加量を変えることにより、共振周波数の温
度係数(τf )を負から正へと任意の値とすることが可
能である。
(2) According to the invention of claim 2, in addition to the effect of and of (1) above, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be easily set to a positive or negative arbitrary value. The temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is 0p due to the phase shift of other devices.
Even if a value other than pm / ° C is required, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be changed from negative to positive by changing the addition amount of TiO 2 and ZrO 2. is there.

【0050】(3)請求項3記載の発明によれば、上記
(1)の及びの効果に加えて、更に、共振周波数の
温度係数(τf )を正または、負の任意の値に容易に変
化させることができるため、他のデバイスの位相のずれ
などの関係から、共振周波数の温度係数(τf )が0p
pm/℃以外の値を要求された場合でも、TiO2 及び
ZnOの添加量を変えることにより、共振周波数の温度
係数(τf )を負から正へと任意の値とすることが可能
である。
(3) According to the invention of claim 3, in addition to the effect of and of (1), the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be easily set to a positive or negative arbitrary value. The temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency is 0p due to the phase shift of other devices.
Even when a value other than pm / ° C. is required, the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency can be set to an arbitrary value from negative to positive by changing the addition amounts of TiO 2 and ZnO. .

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野 英輝 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Hideki Ono 1-7-12 Toranomon, Minato-ku, Tokyo Oki Electric Industry Co., Ltd.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 酸化バリウム(BaO)、酸化コバルト
(CoO)、酸化ニオブ(Nb2 5 )より成り、主成
分の組成式が、 (BaO)x・(CoO)y・(Nb2 5 )z で表され、x、y、zがそれぞれモル%で、 59.5≦x≦61.8モル%、 19.1≦y≦20.6モル%、 19.1≦z≦20.1モル%(但し、x+y+z=1
00モル%)の範囲にあり、 前記主成分1モルに対して、副成分として、0.1モル
以下(但し、0モルを含まず)の二酸化チタン(TiO
2 )及び0.008モル以下(但し、0モルを含まず)
の酸化マグネシウム(MgO)を添加してなることを特
徴とするマイクロ波用誘電体セラミックス。
1. Barium oxide (BaO), cobalt oxide (CoO), and niobium oxide (Nb 2 O 5 ), the composition formula of the main component is (BaO) x. (CoO) y. (Nb 2 O 5). ) Z, where x, y, and z are each mol%, 59.5 ≦ x ≦ 61.8 mol%, 19.1 ≦ y ≦ 20.6 mol%, 19.1 ≦ z ≦ 20.1 Mol% (however, x + y + z = 1
The amount of titanium dioxide (TiO 2) is 0.1 mol or less (excluding 0 mol) as an auxiliary component with respect to 1 mol of the main component.
2 ) and 0.008 mol or less (excluding 0 mol)
2. A dielectric ceramic for microwaves, characterized in that the magnesium oxide (MgO) is added.
【請求項2】 酸化バリウム(BaO)、酸化コバルト
(CoO)、酸化ニオブ(Nb2 5 )より成り、主成
分の組成式が、 (BaO)x・(CoO)y・(Nb2 5 )z で表され、x、y、zがそれぞれモル%で、 59.5≦x≦61.8モル%、 19.1≦y≦20.6モル%、 19.1≦z≦20.1モル%(但し、x+y+z=1
00モル%)の範囲にあり、 前記主成分1モルに対して、副成分として、0.1モル
以下(但し、0モルを含まず)の二酸化チタン(TiO
2 )及び0.008モル以下(但し、0モルを含まず)
の酸化ジルコニウム(ZrO2 )を添加してなることを
特徴とするマイクロ波用誘電体セラミックス。
2. Barium oxide (BaO), cobalt oxide (CoO), and niobium oxide (Nb 2 O 5 ), whose composition formula is (BaO) x. (CoO) y. (Nb 2 O 5). ) Z, where x, y, and z are each mol%, 59.5 ≦ x ≦ 61.8 mol%, 19.1 ≦ y ≦ 20.6 mol%, 19.1 ≦ z ≦ 20.1 Mol% (however, x + y + z = 1
The amount of titanium dioxide (TiO 2) is 0.1 mol or less (excluding 0 mol) as an auxiliary component with respect to 1 mol of the main component.
2 ) and 0.008 mol or less (excluding 0 mol)
Zirconium oxide (ZrO 2 ) is added to the dielectric ceramics for microwaves.
【請求項3】 酸化バリウム(BaO)、酸化コバルト
(CoO)、酸化ニオブ(Nb2 5 )より成り、主成
分の組成式が、 (BaO)x・(CoO)y・(Nb2 5 )z で表され、x、y、zがそれぞれモル%で、 59.5≦x≦61.8モル%、 19.1≦y≦20.6モル%、 19.1≦z≦20.1モル%(但し、x+y+z=1
00モル%)の範囲にあり、 前記主成分1モルに対して、副成分として、0.1モル
以下(但し、0モルを含まず)の二酸化チタン(TiO
2 )及び0.008モル以下(但し、0モルを含まず)
の酸化亜鉛(ZnO)を添加してなることを特徴とする
マイクロ波用誘電体セラミックス。
3. Barium oxide (BaO), cobalt oxide (CoO), and niobium oxide (Nb 2 O 5 ), whose composition formula is (BaO) x. (CoO) y. (Nb 2 O 5). ) Z, where x, y, and z are each mol%, 59.5 ≦ x ≦ 61.8 mol%, 19.1 ≦ y ≦ 20.6 mol%, 19.1 ≦ z ≦ 20.1 Mol% (however, x + y + z = 1
The amount of titanium dioxide (TiO 2) is 0.1 mol or less (excluding 0 mol) as an auxiliary component with respect to 1 mol of the main component.
2 ) and 0.008 mol or less (excluding 0 mol)
2. A dielectric ceramic for microwaves, characterized in that the above zinc oxide (ZnO) is added.
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