JPH08105443A - 不浸透性黒鉛材料を用いた静圧空気軸受 - Google Patents
不浸透性黒鉛材料を用いた静圧空気軸受Info
- Publication number
- JPH08105443A JPH08105443A JP6263239A JP26323994A JPH08105443A JP H08105443 A JPH08105443 A JP H08105443A JP 6263239 A JP6263239 A JP 6263239A JP 26323994 A JP26323994 A JP 26323994A JP H08105443 A JPH08105443 A JP H08105443A
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- JP
- Japan
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- bearing
- air
- air bearing
- graphite material
- graphite
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- Pending
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【発明の目的】 多数孔形の空気軸受の軸受部材を
自己潤滑性に富む半黒鉛質または黒鉛質の不浸透性黒鉛
材料とすることにより、軸受けの高剛性と焼付防止がで
き空気軸受の大型化を容易にする。 【発明の構成】 空気軸受の軸受部材を、自己潤滑
性に富む半黒鉛質又は黒鉛質基材に金属、合金または樹
脂を含浸して不浸透性黒鉛材料とし、軸受面への空気供
給孔を軸受面側直径０．０８〜１．０ｍｍで空気供給側
２〜５ｍｍとした貫通孔とし多数配置する。空気供給孔
は軸受面に対し多数均等分散配置する。
自己潤滑性に富む半黒鉛質または黒鉛質の不浸透性黒鉛
材料とすることにより、軸受けの高剛性と焼付防止がで
き空気軸受の大型化を容易にする。 【発明の構成】 空気軸受の軸受部材を、自己潤滑
性に富む半黒鉛質又は黒鉛質基材に金属、合金または樹
脂を含浸して不浸透性黒鉛材料とし、軸受面への空気供
給孔を軸受面側直径０．０８〜１．０ｍｍで空気供給側
２〜５ｍｍとした貫通孔とし多数配置する。空気供給孔
は軸受面に対し多数均等分散配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静圧空気軸受及びその
製造方法に関し、高剛性を実現し、焼付を回避できる静
圧空気軸受を提供する。
製造方法に関し、高剛性を実現し、焼付を回避できる静
圧空気軸受を提供する。
【０００２】
【従来の技術】静圧空気軸受は、絞りを通過させた圧縮
空気を軸受すきまへ導き気体膜を形成して軸を支持し、
気体圧力分布で負荷荷重と軸受剛性を得るもので、高精
度の軸受として精密機械等に利用されている。空気軸受
は、均一な気体膜を形成するために軸受部材に多数の孔
を貫通させた多数孔形、多孔質材を用いる多孔質形、浅
く細い溝を利用する表面絞り形等の種類がある。
空気を軸受すきまへ導き気体膜を形成して軸を支持し、
気体圧力分布で負荷荷重と軸受剛性を得るもので、高精
度の軸受として精密機械等に利用されている。空気軸受
は、均一な気体膜を形成するために軸受部材に多数の孔
を貫通させた多数孔形、多孔質材を用いる多孔質形、浅
く細い溝を利用する表面絞り形等の種類がある。
【０００３】多数孔形の静圧空気軸受は、ステンレス
鋼、機械構造用炭素鋼等にメッキを行ったものを軸受部
材に使用しているものと、軸受部材がカーボン又はグラ
ファイトからなる多孔質体に樹脂又は金属が含浸された
もの並びに金属とカーボン又はグラファイトとの焼結体
を用いて絞り部材に多孔質材を用いた例えば特開平３−
２４４８２７号公報がある。
鋼、機械構造用炭素鋼等にメッキを行ったものを軸受部
材に使用しているものと、軸受部材がカーボン又はグラ
ファイトからなる多孔質体に樹脂又は金属が含浸された
もの並びに金属とカーボン又はグラファイトとの焼結体
を用いて絞り部材に多孔質材を用いた例えば特開平３−
２４４８２７号公報がある。
【０００４】多孔質形の静圧空気軸受は軸受部材が多孔
質グラファイトを用いたもの例えば特開昭６３−１８６
０３０号公報がある。また多孔質形の静圧空気軸受で軸
受部材が多孔質のカーボン又はグラファイト焼結体に封
孔材を含浸して表層の空孔率を減じたもの例えば特開平
２−２５６９１５号公報がある。
質グラファイトを用いたもの例えば特開昭６３−１８６
０３０号公報がある。また多孔質形の静圧空気軸受で軸
受部材が多孔質のカーボン又はグラファイト焼結体に封
孔材を含浸して表層の空孔率を減じたもの例えば特開平
２−２５６９１５号公報がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の静圧空気
軸受では、カーボン又はグラファイトからなる多孔質材
を軸受部材に用いたものは、材質自体の機械的強度が低
いことから、大きさに限度があり、小型の静圧空気軸受
に限られる。加えて多孔質部材は、焼結体であるため均
一に分散した孔径の均一な大きさの孔を持つ材料が得に
くく、コストアップの原因となっている。
軸受では、カーボン又はグラファイトからなる多孔質材
を軸受部材に用いたものは、材質自体の機械的強度が低
いことから、大きさに限度があり、小型の静圧空気軸受
に限られる。加えて多孔質部材は、焼結体であるため均
一に分散した孔径の均一な大きさの孔を持つ材料が得に
くく、コストアップの原因となっている。
【０００６】一方多数孔形又は表面絞り形の静圧空気軸
受はステンレス鋼、機械構造用炭素鋼等にメッキをした
ものを軸受部材に使用しているため軸受の焼付事故が多
いという問題点がある。又特開平３−２４４８２７号公
報のものは絞り部材を取付けるため部品点数が多く絞り
部材の加工寸法の制約を生じ理想配置の空気供給孔の数
と均一分散が得難い。
受はステンレス鋼、機械構造用炭素鋼等にメッキをした
ものを軸受部材に使用しているため軸受の焼付事故が多
いという問題点がある。又特開平３−２４４８２７号公
報のものは絞り部材を取付けるため部品点数が多く絞り
部材の加工寸法の制約を生じ理想配置の空気供給孔の数
と均一分散が得難い。
【０００７】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するため本出願の発明は、耐摩耗性、自己潤滑性に優
れた半黒鉛質又は黒鉛質の黒鉛材料に金属、合金又は樹
脂を含浸してなる通気率１０-7ｃｍ2 ／ｓｅｃ以下であ
る不浸透性黒鉛材料を軸受部材に用いた静圧空気軸受で
あって、気体を供給する細孔を軸受面に均等配置したこ
とにより、従来の多孔質部材の強度不足を解消し潤滑性
と耐摩耗性が向上し、軸受の焼付事故を防止できる。
成するため本出願の発明は、耐摩耗性、自己潤滑性に優
れた半黒鉛質又は黒鉛質の黒鉛材料に金属、合金又は樹
脂を含浸してなる通気率１０-7ｃｍ2 ／ｓｅｃ以下であ
る不浸透性黒鉛材料を軸受部材に用いた静圧空気軸受で
あって、気体を供給する細孔を軸受面に均等配置したこ
とにより、従来の多孔質部材の強度不足を解消し潤滑性
と耐摩耗性が向上し、軸受の焼付事故を防止できる。
【０００８】細孔を軸受面に均等配置するために、金
属、合金又は樹脂を含浸した不浸透黒鉛材料は硬度が高
くなり、細孔の穴明加工が困難となる。本発明では軸受
面まで細孔を同一直径とせずに軸受材の空気供給源側か
ら直径２〜５ｍｍの下穴加工し、この下穴部を案内に軸
受面のみ直径０．０８〜１．０ｍｍとなる穴明加工を行
うことにより、細孔を軸受面に均等配置した。
属、合金又は樹脂を含浸した不浸透黒鉛材料は硬度が高
くなり、細孔の穴明加工が困難となる。本発明では軸受
面まで細孔を同一直径とせずに軸受材の空気供給源側か
ら直径２〜５ｍｍの下穴加工し、この下穴部を案内に軸
受面のみ直径０．０８〜１．０ｍｍとなる穴明加工を行
うことにより、細孔を軸受面に均等配置した。
【０００９】このことによってカーボン又は黒鉛の多孔
質部材の欠点である均一な気孔径と均一な気孔率を得る
ためのコストアップをまねく工程が省略され、強度アッ
プし、軸受面への空気量及び空気圧力への影響が小さく
てすみ、安定した軸受剛性が得られる。
質部材の欠点である均一な気孔径と均一な気孔率を得る
ためのコストアップをまねく工程が省略され、強度アッ
プし、軸受面への空気量及び空気圧力への影響が小さく
てすみ、安定した軸受剛性が得られる。
【００１０】以上のような本発明により、軸受面におけ
る気体流量を一定に制御でき空気軸受として好ましい通
気量が容易に得られ、作業者の経験や熟練度に大きく影
響される作業時間や工数も多く必要としコストの高い流
量調整作業を極く容易にする。
る気体流量を一定に制御でき空気軸受として好ましい通
気量が容易に得られ、作業者の経験や熟練度に大きく影
響される作業時間や工数も多く必要としコストの高い流
量調整作業を極く容易にする。
【００１１】又自己潤滑性と耐摩耗性に富む半黒鉛質又
は黒鉛質の黒鉛材料を基材としているため焼付事故を防
止できる。
は黒鉛質の黒鉛材料を基材としているため焼付事故を防
止できる。
Claims (4)
- 【請求項１】気体を供給する細孔を軸受面に均等配置し
た静圧空気軸受であって、半黒鉛質又は黒鉛質の黒鉛材
料に金属、合金又は樹脂を含浸してなる不浸透性黒鉛材
料を軸受部材に用いたことを特徴とする静圧空気軸受。 - 【請求項２】細孔の大きさは軸受面が直径０．０８〜
１．０ｍｍ、空気供給源側が直径２〜５ｍｍとしたノズ
ル形状の貫通孔であることを特徴とする請求項１の静圧
空気軸受。 - 【請求項３】不浸透性黒鉛材料の通気率は１０-7ｃｍ2
／ｓｅｃ以下であることを特徴とする請求項１の静圧空
気軸受。 - 【請求項４】樹脂を含浸してなる不浸透性黒鉛材料は、
樹脂含浸後硬化処理と３００〜３５０℃の熱処理をして
なることを特徴とする請求項１の静圧空気軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6263239A JPH08105443A (ja) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | 不浸透性黒鉛材料を用いた静圧空気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6263239A JPH08105443A (ja) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | 不浸透性黒鉛材料を用いた静圧空気軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08105443A true JPH08105443A (ja) | 1996-04-23 |
Family
ID=17386715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6263239A Pending JPH08105443A (ja) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | 不浸透性黒鉛材料を用いた静圧空気軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08105443A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000008345A1 (de) * | 1998-08-05 | 2000-02-17 | Jaeger Alfred | Luftlager, insbesondere für die welle einer motorspindel |
| WO2013065268A1 (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-10 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
-
1994
- 1994-10-04 JP JP6263239A patent/JPH08105443A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6328475B1 (en) | 1998-05-08 | 2001-12-11 | JäGER ALFRED | Air bearing, in particular for the shaft of a motor spindle |
| WO2000008345A1 (de) * | 1998-08-05 | 2000-02-17 | Jaeger Alfred | Luftlager, insbesondere für die welle einer motorspindel |
| WO2013065268A1 (ja) * | 2011-10-31 | 2013-05-10 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 |
| TWI504821B (zh) * | 2011-10-31 | 2015-10-21 | Oiles Industry Co Ltd | Static pressure gas bearings and the use of the static pressure gas bearing linear motion guide device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010220 |