JPH0810195Y2 - 半導体ウエハ収納箱 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、半導体ウエハ収納箱に関するものであっ
て、特にそのランカードの収納構造に関するものであ
る。

［従来の技術］ 半導体ウエハの製造は一般に、例えばシリコン等の半
導体を200から300の工程において加工して行われる。す
なわち、シリコンを予め定められた多くの工程に順次移
動させ、所定の加工を施して半導体ウエハは製造され
る。

この移動には、半導体ウエハを収納する収納箱として
のキャリアボックスが用いられる。すなわち、キャリア
ボックスにシリコンを収納して次の工程へと移動させる
のである。このキャリアボックスはその移動が手作業で
行えるような大きさに形成されている。そしてキャリア
ボックス内には通常、同種の半導体ウエハに加工される
シリコンが20枚から24枚収納されている。

製造される半導体ウエハには種々のものがあり、その
種類に従って製造工程や加工の内容が決定されている。
この為キャリアボックス毎に、そのキャリアボックスが
経由すべき工程や、その工程で施される加工内容等が記
載された小冊子のマニュアルであるランカードが作成さ
れる。そしてこのランカードは、キャリアボックスとい
っしょに所定の工程へ移動する。

今、キャリアボックスがランカードと伴に所定の工程
へ移動してきたとする。この工程のオペレータは、まず
ランカードに記載されている加工内容を把握する。そし
てキャリアボックスに収納されているシリコンを取り出
し、ランカードに記載されている指示に基づいてシリコ
ンに加工を施す。キャリアボックスに収納されていた全
てのシリコンに加工を施した後、加工済のシリコンを再
びキャリアボックスに収納する。そしてオペレーター
は、この工程での加工を終えたことを示すサイン等をラ
ンカードに記載する こうして一つの工程における加工が終了する。そし
て、キャリアボックスはランカードと伴に次の工程へと
送られる。次に送られる工程箇所はこのランカードに記
載されている。そして以降の工程においても同様の加工
処理がなされて所望する半導体ウエハが製造される。

このようにランカードは製造段階において常にキャリ
アボックスと伴に移動する必要がある。この為従来は、
キャリアボックスの上側平面にランカードを載せてキャ
リアボックスと伴に所定の工程へと移動していた。

［考案が解決しようとする課題］ しかし、上記従来の技術には次のような問題があっ
た。

ランカードは単にキャリアボックスの上側平面に載せ
られた状態で、多くの所定の工程を順次移動する。この
為、移動時にランカードがキャリアボックスからすべり
落ちる等してランカードを紛失する虞がある。又、複数
のランカードが混ざり、入れ替わる虞がある。ランカー
ドには経由する工程、加工の内容が記載されている。従
って、ランカードが入れ替わるとシリコンに異なる処理
が施されてしまうという問題がある。

又、シリコンに加工を施す工程では複数のキャリアボ
ックスを留置しておき、作業を行う場合がある。この場
合、特に加工装置が大きいものについては、多数のキャ
リアボックスを留置しておくスペースに乏しい為、複数
のキャリアボックスを積み重ねておくことが多い。この
時、キャリアボックスの上側平面にランカードが載せら
れていれば、その上に積み重ねられるキャリアボックス
の積み重ね状態が不安定となる。すなわち、重ねられた
キャリアボックスが落下する虞がある。

キャリアボックスに収納されているシリコンは慎重な
扱いを要するものであり、落下等の衝撃があった場合は
損壊するという問題がある。一般にシリコンは高価なも
のであり、このシリコンが20枚から24枚単位で収納され
ているキャリアボックスを落下したときの損失は大き
い。

そこで、本考案は各キャリアボックス（各半導体ウエ
ハ収納箱）に所定のランカード（書類）を確実に対応さ
せ、ランカードの紛失を防止し、作業効率の向上および
作業の完全性の向上を図ることができ、さらにはシリコ
ン（半導体ウエハ）の品質低下を防止することができる
半導体ウエハ収納箱を提供することを目的とする。

［課題を解決する為の手段］ 本考案に係る半導体ウエハ収納箱は、 半導体ウエハを収納する収納箱、 上面、下面に対向する下面、前面、前面に対向する背
面、両側面からなる中空状の直方体において、下面と前
面の全部が開口すると共に背面の一部が開口したもの
を、全部開口した下面と収納箱の所定の面とが対向する
ように載置することにより、直方体の上面、全部開口し
た前面、一部開口した背面、両側面が、ホルダー平面
部、全部開口したホルダー前面、一部開口したホルダー
背面、両ホルダー側面部に対応するように構成された書
類ホルダー、 書類ホルダーが載置されている前記所定の面に位置し
ており、書類ホルダーのホルダー前面に近接して設けら
れた抜け止め突起、 を備えており、 書類ホルダーの全部開口したホルダー前面は、書類を
挿入するための挿入口として機能すると共に、書類ホル
ダーの一部開口したホルダー背面の開口していない部分
は止め部として機能し、 書類ホルダーは、ホルダー平面部、両ホルダー側面
部、止め部によって、挿入された書類を保持し、 抜け止め突起の突起高さは、全部開口したホルダー前
面の開口高さよりも低く構成されている、 ことを特徴としている。

［作用］ 本考案に係る半導体ウエハ収納箱においては、書類ホ
ルダーの全部開口したホルダー前面は、書類を挿入する
ための挿入口として機能すると共に、書類ホルダーの一
部開口したホルダー背面の開口していない部分は止め部
として機能する。そして、書類ホルダーは、平面部、両
側面部、止め部によって、挿入された書類を保持する。

このように、挿入口から挿入された書類は、書類ホル
ダーのホルダー平面部、両ホルダー側面部、止め部によ
って収納箱の所定の面上で保持され、当該書類は半導体
ウエハ収納箱から容易に落下することはない。

また、ホルダー背面は一部開口して構成されているた
め、書類ホルダー内に集積した塵介はこの開口部分を通
じて排除される。したがって、書類ホルダー内の塵介を
確実に排除し、収納箱に収納される半導体ウエハに塵介
が付着することを回避できる。

さらに、書類ホルダーが載置されている収納箱の所定
の面には、ホルダー前面に近接して抜け止め突起が設け
られている。

したがって、半導体ウエハ収納箱の振動等により、書
類ホルダーに挿入されている書類が挿入口から露出した
場合でも、抜け止め突起と接触してそれ以上書類が露出
することはない。

また、抜け止め突起の突起高さは、全部開口したホル
ダー前面の開口高さよりも低く構成されている。

したがって、挿入口として機能するホルダー前面から
書類を挿入する場合、抜け止め突起が障害にならず容易
に挿入することができ、かつ一旦挿入された書類は上記
のように抜け止め突起によって落下が防止される。

［実施例］ 本考案の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図に示すものは、収納箱としてのキャリアボック
ス４の側面図である。キャリアボックス４はボックス本
体42とボックス蓋40とから形成されており、第２図（キ
ャリアボックス４の平面図）に示すように接続軸4bによ
って接続されている。そして、ボックス蓋40はこの接続
軸4bを中心に自在に開閉するすることができるようにな
っている。ボックス蓋40には、貫通穴32aを有する閉じ
部材32が固定されている。この貫通穴32aにはボックス
本体42が備える凸部30がはまり込み、ボックス蓋40が閉
じられた状態でボックス本体42に固定されるようになっ
ている。

キャリアボックス４にはシリコンが20枚から24枚収納
されている。そしてこのキャリアボックス４は所定の製
造工程を順次移動して、各工程でキャリアボックス４に
収納されているシリコンに加工が施され、半導体ウエハ
が製造される。キャリアボックス４が経由する工程、又
各工程で施される加工の内容は、ランカードに記載され
ている。このランカードは小冊子状の書類である。

キャリアボックス４の平面40Hには、ランカードホル
ダー２が固定されている。このランカードホルダー２は
中空状の直方体によって構成されており、第１図、第２
図に示されているように、ホルダー平面部としての上部
2H、両ホルダー側面部としての側面部53、54、全部開口
したホルダー前面および一部開口したホルダー背面を備
えている。

そして、全部開口したホルダー前面がランカード10を
挿入するための挿入口2aとして機能する。また、第４図
（ランカードホルダーの背面図）に示されるように、一
部開口したホルダー背面の開口していない部分は、止め
部55、56として機能する。なお、止め部55、56の間の開
口部分が背面貫通孔2bとして形成される。

挿入口2aから挿入されたランカード10は、上部2H、側
面部53、54、および止め部55、56によって保持される。
すなわち、平面40Hに固定されたランカードホルダー２
にランカードを挿入、保持することによりランカードが
容易に落下することはない。ランカードホルダー２にラ
ンカード10が挿入された状態を第２図に示す。第２図に
示すように、ランカードホルダー２は、挿入されたラン
カード10の少なくとも側辺および角部を覆ってランカー
ド10を保持する。

又、ランカードホルダー２の上部2Hは、ほぼ平に形成
されている。この為、キャリアボックス４を複数積み重
ねた場合でも高い安定性を得ることができ、キャリアボ
ックス４が落下することはない。

ボックス蓋40の平面40Hには抜け止め突起6,7が設けら
れており、抜け止め突起6,7はランカードホルダー２の
挿入口2aの近辺に位置している（第２図参照）。すなわ
ち、ランカードホルダー２の挿入口2aに近接した位置に
抜け止め突起６、７が設けられている。そして、この抜
け止め突起6,7の端部6T,7Tの間の長さ72はランカード10
の幅長さ74よりも短く設けられている。

抜け止め突起6,7のキャリアボックス４を移動すると
き等、移動の振動に伴ってランカードホルダー２内のラ
ンカード10が第１図に示す矢印100の方向にずれて、徐
々にランカードホルダー２内部から突出することがあ
る。しかしこの実施例に係るキャリアボッックス４にお
いては、突出するランカード10の端部が抜け止め突起６
に接して、ランカード10が抜け落ちることはない。

第３図にランカードホルダー２の拡大正面図を示す。
ランカードホルダー２の挿入口2aは、高さ82の空間をも
って形成されている。一方、挿入口2a近辺に位置する抜
け止め突起６の高さ84は、挿入口2aの高さ82よりも低く
なっている。すなわち、ランカード10の挿入又は取り出
しは、挿入口の上部空間86から行われる。

こうして本考案に係る実施例では、ランカード10は容
易にランカードホルダー２に挿入又は取り出すことがで
きるが、キャリアボックス４の移動等の際には落下する
ことはない。

キャリアボックス４に収納されるシリコンに、塵介等
が付着すると製品特性が変化し、信頼性の低下を招く。
従って、シリコンの製造に関連した容器や機械等につい
ても、可能な限り塵介を排除する必要がある。

そこで、この実施例においては第４図（ランカードホ
ルダー２の拡大背面図）に示すように、ランカードホル
ダー２の背面に貫通孔としての背面貫通孔2bが設けられ
ている。背面貫通孔2bが設けられていることにより、ラ
ンカードホルダー２内部に集積する塵介が排除され、シ
リコン製品の品質低下を防止する効果を得ることができ
る。

又、ランカードホルダー２の材質として、デルリンを
用いるとよい。デルリンは表面が堅いため摩擦等により
塵介が発生しにくい性質を有している。従って、ランカ
ードホルダー２の材質としてデルリンを使用すれば、シ
リコンの品質低下防止がより完全となる。

尚、この実施例においてはランカードホルダー２はキ
ャリアボックス４の平面40Hに位置しているが、キャリ
アボックス４の側面又は背面等の他の面に取り付けても
よい（図示せず）。

［考案の効果］ 本考案に係る半導体ウエハ収納箱においては、書類ホ
ルダーの全部開口したホルダー前面は、書類を挿入する
ための挿入口として機能すると共に、書類ホルダーの一
部開口したホルダー背面の開口していない部分は止め部
として機能する。そして、書類ホルダーは、平面部、両
側面部、止め部によって、挿入された書類を保持する。

このように、挿入口から挿入された書類は、書類ホル
ダーのホルダー平面部、両ホルダー側面部、止め部によ
って収納箱の所定の面上で保持され、当該書類は半導体
ウエハ収納箱から容易に落下することはない。したがっ
て、各半導体ウエハ収納箱に所定の書類を確実に対応さ
せ、書類の紛失を防止し、作業効率の向上および作業の
完全性の向上を図ることができる。

また、ホルダー背面は一部開口して構成されているた
め、書類ホルダー内に集積した塵介はこの開口部分を通
じて排除される。したがって、書類ホルダー内の塵介を
確実に排除し、収納箱に収納される半導体ウエハに塵介
が付着することを回避することによって、半導体ウエハ
の品質低下を防止することができる。

さらに、書類ホルダーが載置されている収納箱の所定
の面には、ホルダー前面に近接して抜け止め突起が設け
られている。

すなわち、半導体ウエハ収納箱の振動等により、書類
ホルダーに挿入されている書類が挿入口から露出した場
合でも、抜け止め突起と接触してそれ以上書類が露出す
ることはない。したがって、より確実に書類が半導体ウ
エハ収納箱から落下することを防止できる。このため、
各半導体ウエハ収納箱に所定の書類をより確実に対応さ
せ、書類の紛失を防止し、作業効率の向上および作業の
完全性の向上を図ることができる。

また、抜け止め突起の突起高さは、全部開口したホル
ダー前面の開口高さよりも低く構成されている。

すなわち、挿入口として機能するホルダー前面から書
類を挿入する場合、抜け止め突起が障害にならず容易に
挿入することができ、かつ一旦挿入された書類は上記の
ように抜け止め突起によって落下が防止される。したが
って、より確実に作業効率の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例に係るキャリアボッックス
及びランカードホルダーの側面図、 第２図は、本考案の一実施例に係るキャリアボッックス
及びランカードホルダーの平面図、 第３図は、本考案の一実施例に係るランカードホルダー
の拡大正面図、 第４図は、本考案の一実施例に係るランカードホルダー
の拡大背面図である。 ２……ランカードホルダー 2a……挿入口 ４……キャリアボックス ６……抜け止め突起 40H……キャリアボックスの平面

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ウエハを収納する収納箱、 上面、下面に対向する下面、前面、前面に対向する背
   面、両側面からなる中空状の直方体において、下面と前
   面の全部が開口すると共に背面の一部が開口したもの
   を、全部開口した下面と収納箱の所定の面とが対向する
   ように載置することにより、直方体の上面、全部開口し
   た前面、一部開口した背面、両側面が、ホルダー平面
   部、全部開口したホルダー前面、一部開口したホルダー
   背面、両ホルダー側面部に対応するように構成された書
   類ホルダー、 書類ホルダーが載置されている前記所定の面に位置して
   おり、書類ホルダーのホルダー前面に近接して設けられ
   た抜け止め突起、 を備えており、 書類ホルダーの全部開口したホルダー前面は、書類を挿
   入するための挿入口として機能すると共に、書類ホルダ
   ーの一部開口したホルダー背面の開口していない部分は
   止め部として機能し、 書類ホルダーは、ホルダー平面部、両ホルダー側面部、
   止め部によって、挿入された書類を保持し、 抜け止め突起の突起高さは、全部開口したホルダー前面
   の開口高さよりも低く構成されている、 ことを特徴とする半導体ウエハ収納箱。