JPH0792247A - Squid magnetometer - Google Patents

Squid magnetometer

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Publication number
JPH0792247A
JPH0792247A JP5257494A JP25749493A JPH0792247A JP H0792247 A JPH0792247 A JP H0792247A JP 5257494 A JP5257494 A JP 5257494A JP 25749493 A JP25749493 A JP 25749493A JP H0792247 A JPH0792247 A JP H0792247A
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JP
Japan
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squid
loops
magnetic field
loop
coil
Prior art date
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Pending
Application number
JP5257494A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Naoki Matsuda
直樹 松田
Gen Uehara
弦 上原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CHODENDO SENSOR KENKYUSHO KK
Original Assignee
CHODENDO SENSOR KENKYUSHO KK
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0792247A publication Critical patent/JPH0792247A/en
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Abstract

PURPOSE:To reduce the number of parts, miniaturize an element, improve a detecting accuracy by connecting a plurality of SQUID loops in parallel. CONSTITUTION:The SQUAD magnetometer 1 is constituted of four SQUAD loops 11a-11d, an APF coil 13, an APF resistance, a feedback coil 18, a tunnel bonding, and a shunt/damping, resistance. Each of loops 11a-11d is an approximately 2X2mm square. A line width of the loop is approximately 0.1mm. A bias current is injected from a pad 12. In this constitution, an inductance of the whole of the SQUID loops is made small, so that a magnetic field-magnetic flux sensitivity is improved. Even when an external magnetic field is directly coupled to the SQUAD loops 11a-11d, a magnetic flux can be detected satisfactorily. Moreover, since the bias current is injected from an asymmetric position to that of the other loop and the SQUID loops 11a-11d are arranged mutually adjacently and also a summing positive feedback is carried out, etc., the magnetic field-magnetic flux sensitivity is furthermore improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、心磁波、脳磁波、眼筋
磁場等の生体磁場計測、または、地磁気計測、あるいは
物質の帯磁率計測、さらには磁気的信号を伝送する通信
装置用のインターフェイス等に適したSQUID(Supe
rconducting Quantum Interference Device :超伝導量
子干渉デバイス)マグネトメータに関する。ここに、S
QUIDとは、液体ヘリウムや液体窒素等により断熱容
器(クライオスタット等)内で低温状態に維持され、ル
ープ内に1又は複数のジョセフソン接合を含む超伝導ル
ープであるSQUIDループに直流電流をバイアス電流
として印加して駆動し、このSQUIDループ内に、ピ
ックアップコイル(検出コイル)や入力コイル等を介し
て外部からの磁束を結合して印加すると、SQUIDル
ープに周回電流が誘起され、ループ内のジョセフソン接
合における量子的な干渉効果により、印加された外部磁
束の微弱な変化を出力電圧の大きな変化に変換するトラ
ンスデューサとして動作することを利用して、微小磁束
変化を測定する素子である。また、マグネトメータ(ma
gnetometer)とは、磁界あるいは特定の方向の磁界成分
の強さあるいは方向、あるいはこれらの両方を測定する
計器をいう。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a biomagnetic field measurement such as a magnetocardiogram wave, an electroencephalogram wave, an eye muscle magnetic field, a geomagnetism measurement, a magnetic susceptibility measurement of a substance, and a communication device for transmitting a magnetic signal. SQUID (Supe
rconducting Quantum Interference Device: superconducting quantum interference device). Where S
A QUID is a superconducting loop that is maintained at a low temperature in a heat-insulating container (such as a cryostat) with liquid helium or liquid nitrogen, and a DC current is biased to the SQUID loop, which is a superconducting loop containing one or more Josephson junctions. When a magnetic flux from the outside is coupled and applied to this SQUID loop via a pickup coil (detection coil), an input coil, etc., a circulating current is induced in the SQUID loop, and the Josephson It is an element that measures a minute change in magnetic flux by utilizing the fact that it operates as a transducer that converts a weak change in the applied external magnetic flux into a large change in the output voltage due to the quantum interference effect in the Son junction. Also, the magnetometer (ma
gnetometer) is an instrument that measures the strength and / or direction of the magnetic field or the magnetic field component in a particular direction, or both.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、SQUIDマグネトメータは、図
7に示すような構成をとっていた。図7において、31
はバイアス電流源、32は低温状態(約4K)のSQU
ID21と室温状態にある前置増幅器33とのインピー
ダンスマッチングをとるためのインピーダンス整合回
路、35はPSD(Phase Sensitive Detector:位相弁
別器)、29は発振器を示している。図のような構成に
より、測定すべき磁場は、ピックアップコイル23によ
って検出され、入力コイル24を通じてSQUIDルー
プ21に結合される。入力コイル23に隣接するコイル
28は帰還コイルであり、この帰還コイル28により、
発振器29でドライブされた変調磁束がSQUIDルー
プ21に帰還(フィードバック)される。この場合、S
QUIDループ21,入力コイル24および変調コイル
28は、超低温格納容器等の内部に格納され、超低温状
態(約4K)に維持されている。SQUIDの出力電圧
は、インピーダンス整合回路32および前置増幅器33
を経てPSD(Phase Sensitive Detector:位相弁別
器)35においてロックイン検波され、Φ−V曲線の1
次微分が得られる。この出力を上記の変調コイル28に
加算してネガティブフィードバックすると、Φ−V曲線
の1次微分が零になる点(山あるいは谷)に安定し、測
定すべき磁場は、上記のフィードバック量を出力Vout
でモニターすることにより得ることができる。この状態
を「ロックされた」と表現する。上記の方法は、FLL
(Flux Locked Loop:磁束ロックループ)法と呼ばれ、
いわゆる「零位法」の一種であり、入出力の関係が線形
になるのが特徴である。この場合、SQUIDループ2
1は、磁束に対する磁場の感度である磁場−磁束感度が
悪いため、ピックアップコイル23と入力コイル24を
SQUIDループ25に付加して構成していた。従っ
て、素子の部品点数が多くなってしまう、という問題点
があった。この問題点を解決するため、PTB Berlin
のDrung らは、図8に示すような8個のループから成る
SQUIDマグネトメータを提案している。
2. Description of the Related Art Conventionally, an SQUID magnetometer has a structure as shown in FIG. In FIG. 7, 31
Is a bias current source, and 32 is a low temperature (about 4K) SQU
An impedance matching circuit for impedance matching between the ID 21 and the preamplifier 33 at room temperature, 35 is a PSD (Phase Sensitive Detector), and 29 is an oscillator. With the configuration as shown, the magnetic field to be measured is detected by the pickup coil 23 and coupled to the SQUID loop 21 via the input coil 24. The coil 28 adjacent to the input coil 23 is a feedback coil.
The modulated magnetic flux driven by the oscillator 29 is fed back to the SQUID loop 21. In this case, S
The QUID loop 21, the input coil 24, and the modulation coil 28 are stored inside an ultra-low temperature storage container or the like and are maintained in an ultra-low temperature state (about 4K). The output voltage of the SQUID is the impedance matching circuit 32 and the preamplifier 33.
After that, lock-in detection is performed in a PSD (Phase Sensitive Detector) 35, and 1 of the Φ-V curve is detected.
The second derivative is obtained. When this output is added to the modulation coil 28 and negatively fed back, it stabilizes at the point (peak or valley) where the first derivative of the Φ-V curve becomes zero, and the magnetic field to be measured outputs the above feedback amount. Vout
It can be obtained by monitoring at. This state is referred to as "locked". The above method is FLL
(Flux Locked Loop) method,
It is a kind of so-called "zero method" and is characterized by the linear relationship between input and output. In this case, SQUID loop 2
In No. 1, since the magnetic field-magnetic flux sensitivity, which is the sensitivity of the magnetic field to the magnetic flux, is poor, the pickup coil 23 and the input coil 24 are added to the SQUID loop 25. Therefore, there is a problem that the number of parts of the element increases. In order to solve this problem, PTB Berlin
Drung et al. Propose a SQUID magnetometer consisting of eight loops as shown in FIG.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のDrung
らの提案によるSQUIDマグネトメータは、素子の寸
法が7.2mm角と大きく、量産に不向きである。さら
に、サイズが大きいため、実装した場合にセンサ部分が
大きくなり過ぎる、という欠点があった。本発明は、上
記の問題点を解決するためになされたものであり、部品
点数が少なく、かつ素子サイズも小さいSQUIDマグ
ネトメータを提供することを目的とする。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-mentioned Drung
The SQUID magnetometer proposed by them is not suitable for mass production because the element size is as large as 7.2 mm square. Furthermore, since the size is large, there is a drawback that the sensor portion becomes too large when mounted. The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide an SQUID magnetometer having a small number of parts and a small element size.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係るSQUIDマグネトメータは、SQU
IDループを偶数個並列接続し、計測しようとする磁場
を直接当該SQUIDループに結合させて磁場計測を行
なうように構成される。
In order to solve the above problems, the SQUID magnetometer according to the present invention is an SQUID.
An even number of ID loops are connected in parallel, and the magnetic field to be measured is directly coupled to the SQUID loop to perform magnetic field measurement.

【0005】[0005]

【作用】上記構成を有する本発明によれば、SQUID
ループを偶数個並列接続することによりSQUIDルー
プ全体のインダクタンスを小さくすることができ、磁場
−磁束感度が向上して、ピックアップコイルや入力コイ
ル等を用いず外部磁場を直接SQUIDループに結合し
ても十分検出することが可能となる。また、ピックアッ
プコイル等バイアス電流の注入位置を非対称位置とする
こと、各SQUIDループを相互に近接配置すること、
あるいは加算正帰還を行なうことにより、磁場−磁束感
度をさらに向上することができる。
According to the present invention having the above structure, the SQUID
By connecting an even number of loops in parallel, the inductance of the entire SQUID loop can be reduced, the magnetic field-flux sensitivity is improved, and even if an external magnetic field is directly coupled to the SQUID loop without using a pickup coil or an input coil. It becomes possible to detect sufficiently. In addition, the injection position of the bias current such as the pickup coil is asymmetrical, the SQUID loops are arranged close to each other,
Alternatively, magnetic field-magnetic flux sensitivity can be further improved by performing addition positive feedback.

【0006】[0006]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面にもとづいて説
明する。図1は、本発明の一実施例であるSQUIDマ
グネトメータ1の構成を示した平面図であり、図2は、
図1の部分Aをさらに拡大した図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing the configuration of an SQUID magnetometer 1 which is an embodiment of the present invention, and FIG.
It is the figure which expanded the part A of FIG. 1 further.

【0007】図に示すように、このSQUIDマグネト
メータ1は、4個のSQUIDループ11a〜11d
と、APFコイル13と、APF抵抗14と、帰還コイ
ル18と、トンネル接合15,16と、シャント・ダン
ピング抵抗17とを備えて構成されている。また、バイ
アス電流IB は、パッド12から注入される。
As shown in the figure, this SQUID magnetometer 1 has four SQUID loops 11a to 11d.
, An APF coil 13, an APF resistor 14, a feedback coil 18, tunnel junctions 15 and 16, and a shunt damping resistor 17. Further, the bias current I B is injected from the pad 12.

【0008】上記において、SQUIDループ11a〜
11dは、それぞれ1辺が2ミリメートル角の角形ルー
プである。また、各SQUIDループ11a〜11dの
線幅は約0.1ミリメートルである。
In the above, the SQUID loops 11a ...
Each of 11d is a square loop having a side of 2 mm. The line width of each SQUID loop 11a-11d is about 0.1 millimeter.

【0009】上記のAPFコイルとは、このSQUID
マグネトメータ1によって計測される磁場のΦ−V曲線
(Φ:磁場,V:電圧)において、磁束−電圧変換係数
(伝達係数)と呼ばれる
The above APF coil is the SQUID
In the Φ-V curve (Φ: magnetic field, V: voltage) of the magnetic field measured by the magnetometer 1, it is called a magnetic flux-voltage conversion coefficient (transfer coefficient).

【数1】 を積極的に大きくして、磁場検知の感度を向上させるた
めの対策であり、図3の等価回路図に示すように、バイ
アス電流IB の一部を、SQUIDループ11をシャン
トしているコイル13に分流させ、このコイル13がつ
くる磁束がSQUIDループ11に相互インダクタンス
Mを通じて結合することにより実現する加算正帰還(A
PF:Additional Positive Feedback)のためのコイル
である。
[Equation 1] Is a measure for positively increasing the magnetic field detection sensitivity, and as shown in the equivalent circuit diagram of FIG. 3, a part of the bias current I B is a coil shunting the SQUID loop 11. 13 and the magnetic flux generated by this coil 13 is coupled to the SQUID loop 11 through the mutual inductance M.
It is a coil for PF: Additional Positive Feedback.

【0010】また、上記のシャント・ダンピング抵抗1
7は、SQUIDループ11a〜11dをシャントする
ための抵抗と、SQUIDループの「共振」を防止する
ためにSQUIDループに並列に挿入するダンピング抵
抗の役割とを兼用する抵抗である。このようなダンピン
グ抵抗の挿入によっても、磁場検出精度が向上する。
The shunt damping resistor 1 described above is also used.
Reference numeral 7 is a resistor that also serves as a resistor for shunting the SQUID loops 11a to 11d and as a damping resistor that is inserted in parallel with the SQUID loop to prevent "resonance" of the SQUID loop. The insertion of such a damping resistor also improves the magnetic field detection accuracy.

【0011】また、上記の帰還コイル18は、上記の4
個のSQUIDループ11a〜11dのうちのいずれか
一つに近接して配置され、1ターン又は複数ターン巻回
して構成されている。
Further, the feedback coil 18 is the same as the feedback coil 18 described above.
It is arranged close to any one of the SQUID loops 11a to 11d and is wound by one turn or a plurality of turns.

【0012】また、上記のSQUIDループ11は、図
4の等価回路図に示すように、インダクタンスM1 ,M
2 と、ジョセフソン接合15,16とを有し、その一部
が接地されたSQUIDループであり、インダクタンス
に関して非対称となる位置12にバイアス電流IB が注
入されるように構成されている。
The SQUID loop 11 has inductances M 1 and M 1 as shown in the equivalent circuit diagram of FIG.
2 and Josephson junctions 15 and 16, part of which is an SQUID loop grounded, and is configured to inject the bias current I B into the position 12 which is asymmetric with respect to the inductance.

【0013】このように、バイアス電流注入位置をSQ
UIDループのインダクタンスに関して非対称になるよ
うに構成すると、バイアス電流を変えると、磁束−電圧
特性(Φ−V特性)が、磁束軸(Φ軸)の方向にシフト
し、結局、バイアス電流の変動に対し電圧の変動が鈍く
なり、バイアス電流の変動がキャンセルされることにな
り、バイアス電流の変動に伴う磁束雑音成分を有効に低
減できるのである。
As described above, the bias current injection position is set to SQ.
If it is configured to be asymmetrical with respect to the inductance of the UID loop, when the bias current is changed, the magnetic flux-voltage characteristic (Φ-V characteristic) shifts in the direction of the magnetic flux axis (Φ axis), and eventually the bias current changes. The fluctuation of the voltage becomes dull, the fluctuation of the bias current is canceled, and the magnetic flux noise component accompanying the fluctuation of the bias current can be effectively reduced.

【0014】さらに、上記の4項のSQUIDループ1
1a〜11dは相互に近接配置されている。このため、
計測しようとする外部磁場Φext を与えた場合にそれぞ
れのSQUIDループに発生する遮蔽磁場が相互に影響
しあうので、雑音成分がキャンセルされ、磁場検出精度
がより向上する。
Further, the SQUID loop 1 of the above item 4
1a to 11d are arranged close to each other. For this reason,
When the external magnetic field Φ ext to be measured is applied, the shield magnetic fields generated in the respective SQUID loops affect each other, so that the noise component is canceled and the magnetic field detection accuracy is further improved.

【0015】次に、図5に、本実施例のSQUIDマグ
ネトメータの磁束−電圧特性を示す。図5において、横
軸である磁束軸の1目盛は0.63Φo (Φo :磁束量
子)を、縦軸である電圧軸の1目盛は20μV(マイク
ロボルト)を示す。この図5から、出力電圧値として約
50μVを明確に検出でき、本実施例のSQUIDマグ
ネトメータが、SQUIDとしての動作を十分果たして
いることが立証される。
Next, FIG. 5 shows the magnetic flux-voltage characteristics of the SQUID magnetometer of this embodiment. In FIG. 5, one scale of the magnetic flux axis, which is the horizontal axis, is 0.63Φ oo : magnetic flux quantum), and one scale of the voltage axis, which is the vertical axis, is 20 μV (microvolt). From this FIG. 5, about 50 μV can be clearly detected as the output voltage value, and it is proved that the SQUID magnetometer of this embodiment sufficiently performs the operation as the SQUID.

【0016】次に、図6に、本実施例のSQUIDマグ
ネトメータの磁場−磁束感度特性を示す。この図6か
ら、検出しうる磁場−磁束感度が0.43nT/Φo
(nT:ナノテスラ)であることが読み取れる。これに
対し、Drung らの素子では、検出しうる磁場−磁束感度
は0.47nT/Φo (nT:ナノテスラ)であると報
告されており、この点において、Drung らの素子を凌駕
する磁場検知精度を有している。
Next, FIG. 6 shows the magnetic field-magnetic flux sensitivity characteristics of the SQUID magnetometer of this embodiment. From FIG. 6, the detectable magnetic field-magnetic flux sensitivity is 0.43 nT / Φ o.
It can be read that it is (nT: nanotesla). On the other hand, in the device of Drung et al., It is reported that the detectable magnetic field-magnetic flux sensitivity is 0.47 nT / Φ o (nT: nanotesla), and in this respect, the magnetic field detection superior to that of Drung et al. Has accuracy.

【0017】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではない。上記実施例は、例示であり、本発明の特
許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な
構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる
ものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
The present invention is not limited to the above embodiment. The above-mentioned embodiment is an exemplification, has substantially the same configuration as the technical idea described in the scope of the claims of the present invention, and has any similar effect to the present invention. It is included in the technical scope of the invention.

【0018】例えば、上記実施例においては、SQUI
Dループの個数を4個とした場合を例に挙げて説明した
が、これは、2以上の複数個であれば何個であってもよ
い。また、バイアス電流注入に関しては、インダクタン
スがアンバランス(非平衡、すなわち非対称)になるよ
うにバイアス電流を注入する構成であれば、どのような
構成であってもよい。
For example, in the above embodiment, SQUI
The case where the number of D loops is four has been described as an example, but this may be any number as long as it is two or more. As for the bias current injection, any configuration may be used as long as the bias current is injected so that the inductance is unbalanced (unbalanced, that is, asymmetric).

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように、上記構成を有する
本発明によれば、SQUIDループを偶数個並列接続す
ることによりSQUIDループ全体のインダクタンスを
小さくすることができ、磁場−磁束感度が向上して、ピ
ックアップコイルや入力コイル等を用いず外部磁場を直
接SQUIDループに結合しても十分検出することが可
能となる。また、ピックアップコイル等バイアス電流の
注入位置を非対称位置とすること、各SQUIDループ
を相互に近接配置すること、あるいは加算正帰還を行な
うことにより、磁場−磁束感度をさらに向上することが
できる、という利点も有している。
As described above, according to the present invention having the above-described structure, the inductance of the entire SQUID loop can be reduced by connecting an even number of SQUID loops in parallel, and the magnetic field-magnetic flux sensitivity is improved. Thus, even if the external magnetic field is directly coupled to the SQUID loop without using a pickup coil, an input coil, etc., it can be sufficiently detected. Further, the magnetic field-magnetic flux sensitivity can be further improved by setting the injection position of the bias current such as the pickup coil to an asymmetrical position, arranging the SQUID loops in close proximity to each other, or by performing addition positive feedback. It also has advantages.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例であるSQUIDマグネトメ
ータの構成を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of an SQUID magnetometer which is an embodiment of the present invention.

【図2】図1における部分Aをさらに拡大した図であ
る。
FIG. 2 is an enlarged view of part A in FIG.

【図3】図1におけるAPFコイルの構成を説明する等
価回路図である。
3 is an equivalent circuit diagram illustrating a configuration of an APF coil in FIG.

【図4】図1におけるバイアス電流注入位置の構成を説
明する等価回路図である。
FIG. 4 is an equivalent circuit diagram illustrating a configuration of a bias current injection position in FIG.

【図5】図1に示すSQUIDマグネトメータの磁束−
電圧特性を示す図である。
5 is a magnetic flux of the SQUID magnetometer shown in FIG.
It is a figure which shows a voltage characteristic.

【図6】図1に示すSQUIDマグネトメータの磁場−
磁束感度特性を示す図である。
6 is a magnetic field of the SQUID magnetometer shown in FIG.
It is a figure which shows a magnetic flux sensitivity characteristic.

【図7】従来のSQUIDマグネトメータの構成を示す
等価回路図である。
FIG. 7 is an equivalent circuit diagram showing a configuration of a conventional SQUID magnetometer.

【図8】Drung らによって提案されたSQUIDマグネ
トメータの構成を示す平面図である。
FIG. 8 is a plan view showing the configuration of the SQUID magnetometer proposed by Drung et al.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 SQUIDマグネトメータ 11a〜11d SQUIDループ 12 バイアス電流注入位置 13 APFコイル 14 APF抵抗 15,16 トンネル接合 17 シャント・ダンピング抵抗 18 帰還コイル 20 SQUIDマグネトメータ 21 SQUIDループ 22 バイアス電流注入位置 23 ピックアップコイル 24 入力コイル 25,26 トンネル接合 27 接地位置 28 帰還コイル 29 発振器 30 フェーズシフタ 31 バイアス電流源 32 インピーダンス整合回路 33 前置増幅器 34 積分増幅器 35 PSD 40 SQUIDマグネトメータ 41a〜41h SQUIDループ 42 バイアス電流注入位置 43 APFコイル 44 APF抵抗 45,46 トンネル接合 47 シャント抵抗 48 帰還コイル 49 ダンピング抵抗 IB バイアス電流 Ic 臨界電流 Li ピックアップコイルインダクタンス Ls 超伝導ループインダクタンス R シャント抵抗 Rf 帰還抵抗1 SQUID magnetometer 11a-11d SQUID loop 12 Bias current injection position 13 APF coil 14 APF resistance 15,16 Tunnel junction 17 Shunt damping resistance 18 Feedback coil 20 SQUID magnetometer 21 SQUID loop 22 Bias current injection position 23 Pickup coil 24 Input Coil 25,26 Tunnel junction 27 Grounding position 28 Feedback coil 29 Oscillator 30 Phase shifter 31 Bias current source 32 Impedance matching circuit 33 Preamplifier 34 Integral amplifier 35 PSD 40 SQUID magnetometer 41a to 41h SQUID loop 42 Bias current injection position 43 APF Coil 44 APF resistance 45,46 Tunnel junction 47 Shunt resistance 48 Feedback coil 49 Damping resistance I B Bias current I c Critical current L i Pickup coil inductance L s Superconducting loop inductance R Shunt resistance R f Feedback resistance

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 SQUIDループを複数個並列接続し、
計測しようとする磁場を直接当該SQUIDループに結
合させて磁場計測を行なうことを特徴とするSQUID
マグネトメータ。
1. A plurality of SQUID loops are connected in parallel,
SQUID characterized in that the magnetic field to be measured is directly coupled to the SQUID loop to measure the magnetic field.
Magnetometer.
【請求項2】 前記並列接続されるSQUIDループの
個数は、4個であることを特徴とする請求項1に記載し
たSQUIDマグネトメータ。
2. The SQUID magnetometer according to claim 1, wherein the number of SQUID loops connected in parallel is four.
【請求項3】 前記並列接続されるSQUIDループの
各々は、一辺が2ミリメートルの角形ループであること
を特徴とする請求項2に記載したSQUIDマグネトメ
ータ。
3. The SQUID magnetometer according to claim 2, wherein each of the SQUID loops connected in parallel is a square loop having a side of 2 millimeters.
【請求項4】 前記SQUIDマグネトメータは変調磁
束を帰還させるための帰還コイルを有し、当該帰還コイ
ルは、前記複数個のSQUIDループのうちのいずれか
一つに近接して配置され、1ターン又は複数ターン巻回
したことを特徴とする請求項1に記載したSQUIDマ
グネトメータ。
4. The SQUID magnetometer has a feedback coil for feeding back the modulated magnetic flux, and the feedback coil is arranged close to any one of the plurality of SQUID loops and has one turn. Alternatively, the SQUID magnetometer according to claim 1, wherein the SQUID magnetometer is wound a plurality of turns.
【請求項5】 前記SQUIDループはバイアス電流を
注入するバイアス電流注入位置を有し、当該バイアス電
流注入位置は非対称位置となるように設けられることを
特徴とする請求項1に記載したSQUIDマグネトメー
タ。
5. The SQUID magnetometer according to claim 1, wherein the SQUID loop has a bias current injection position for injecting a bias current, and the bias current injection position is provided in an asymmetrical position. .
【請求項6】 前記複数個のSQUIDループは相互に
近接配置され、計測しようとする外部磁場を与えた場合
の遮蔽磁場が相互に影響しあうように構成したことを特
徴とする請求項1に記載したSQUIDマグネトメー
タ。
6. The plurality of SQUID loops are arranged close to each other, and are configured so that shield magnetic fields influence each other when an external magnetic field to be measured is applied. The SQUID magnetometer described.
【請求項7】 前記複数個のSQUIDループに対し、
加算正帰還を行なうことを特徴とする請求項1に記載し
たSQUIDマグネトメータ。
7. For the plurality of SQUID loops,
The SQUID magnetometer according to claim 1, wherein positive feedback is performed.
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