JPH0790494B2 - 視覚センサのキャリブレ−ション方法 - Google Patents

視覚センサのキャリブレ−ション方法

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JPH0790494B2
JPH0790494B2 JP62207393A JP20739387A JPH0790494B2 JP H0790494 B2 JPH0790494 B2 JP H0790494B2 JP 62207393 A JP62207393 A JP 62207393A JP 20739387 A JP20739387 A JP 20739387A JP H0790494 B2 JPH0790494 B2 JP H0790494B2
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    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/401Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes
    • G05B19/4015Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes going to a reference at the beginning of machine cycle, e.g. for calibration
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16Programme controls
    • B25J9/1694Programme controls characterised by use of sensors other than normal servo-feedback from position, speed or acceleration sensors, perception control, multi-sensor controlled systems, sensor fusion
    • B25J9/1697Vision controlled systems

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ロボットにおける視覚を形成する視覚センサ
に関し、特に、複数のカメラによって得られる画像を合
成し、対象物の位置や姿勢を認識する視覚センサのキャ
リブレーション方法に関する。
従来の技術 ロボットなどを用いて、例えば車体のスポット溶接,シ
ーリング作業等を自動化することが増加している。この
場合、車体等の大型対象物の位置や姿勢を認識する必要
がある。そのため、複数のカメラを用いて、各カメラか
ら得られる対象物の位置から対象物全体の位置,姿勢を
計算し、対象物を認識する方法がとられている。
複数のカメラから得られる対象物の位置より、対象物全
体の位置,姿勢を得るためには、これら複数のカメラの
座標系を1つに統合する必要がある。即ち、複数のカメ
ラを1つの座標系へキャリブレーションする必要があ
る。
従来、このキャリブレーションは、カメラの取付器具自
体を精密に製造し、カメラを該取付器具に取付けること
によって、各カメラの位置、及び姿勢を正確に位置決め
し、各カメラの座標系を1つの座標系に統合する方法が
採用されている。
発明が解決しようとする問題点 カメラ取付器具にカメラを取付け、各カメラの位置を決
定し、各カメラの座標系を統合するには、カメラ取付器
具自体を精密に製造する必要があり、又取付器具自体へ
のカメラの取付けも精密に位置決めされねばならなく、
これは非常に困難な作業で、精度良い1つの座標系を得
ることが難しかった。又、視覚センサの検出対象である
対象物が変ったとき、その対象物に合わせカメラ取付器
具自体を変えたり、又はカメラ取付位置を変えねばなら
ず、複数のカメラを1つの座標系へ統合することは困難
な作業であった。
そこで、本発明の目的は、複数のカメラの各カメラから
得られる画像の座標系を1つの座標系に精度良くかつ、
簡単に統合できる視覚センサのキャリブレーション方法
を提供することにある。
問題点を解決するための手段 本発明は、対象物上の各カメラに対応する各特定位置が
視野に入る位置及び方向に各カメラを配設し、上記対象
物上の各特定位置関係と同一位置関係にある検出対象を
有する部材と該部材を少なくとも直交する2軸方向に駆
動する軸駆動手段を有するキャリブレーション治具を用
い、該キャリブレーション治具の各検出対象画像の中心
点が各カメラ画面のほぼ中心となるように各カメラの位
置,方向を調整した後、該検出対象中心点の画像位置を
各カメラ毎に座標原点として視覚センサに教示し、その
後、該位置よりキャリブレーション治具の軸駆動手段を
各軸毎に駆動して上記部材をきめられた所定量移動さ
せ、そのときの検出対象中心点の各カメラ画面位置を移
動させた軸の基準位置として各カメラ毎に視覚センサに
教示し、各軸毎の基準位置を順に教示することによっ
て、各カメラ画像の座標原点,各軸の基準位置より、各
カメラ画像の座標原点,各軸の方向、及び各軸の距離尺
度を求め座標系を一致させることにより、複数のカメラ
のキャリブレーションを行うようにした。
作 用 キャリブレーション治具の各検出対象画像の中心点が各
カメラ画面のほぼ中心となるように各カメラの位置,方
向を調整した後、この検出対象画像の中心点位置を各カ
メラ毎に座標原点として視覚センサに教示すると、キャ
リブレーション治具が、ある特定位置,特定姿勢にある
とき、各カメラの画面には各検出対象物の画像の中心点
が各カメラの上記座標原点にあることを意味し(以下、
このときのキャリブレーション治具の位置,姿勢を原点
位置という)、各カメラ画面の画像の原点はこのキャリ
ブレーション治具の原点位置によって統一されたことと
なる。
一方、キャリブレーション治具の軸駆動手段を駆動し、
キャリブレーション治具の原点位置から検出対象を有す
る部材をある1軸方向に決められた所定量移動させ、そ
のときの各検出対象画像の中心点をその軸の基準位置と
して各カメラ毎に教示すると、各カメラ毎の座標原点か
ら基準位置への方向は、各カメラ画像における、キャリ
ブレーション治具のある1軸方向の方向を意味し、又座
標原点から基準位置までの画面上の長さ(画素数)は、
軸を移動させた決められた所定量を意味することとな
り、各カメラ毎のこの軸の方向、及びその距離尺度が得
られることとなる。かくして、同様な操作、即ち、キャ
リブレーション治具の原点位置から直交する座標系の各
軸毎に決められた所定量、上記検出対象を有する部材を
移動させ、そのときの各検出対象画像中心点を各カメラ
毎に教示することによって、キャリブレーション治具の
座標系に各カメラ画像の座標系を統一したキャリブレー
ションができる。
実施例 第2図は、本発明のキャリブレーション方法を実施する
一例を示す図で、搬送手段3によって搬送されてきた対
象物である車体の位置、及び車体の姿勢を3台のカメラ
C1,C2,C3を有する視覚センサで検出しようとするもの
で、2は該視覚センサの画像処理装置であり、該画像処
理装置2は、従来の画像処理装置と同一であり、ホスト
プロセッサ,画像処理プロセッサ,CRT表示装置付手動デ
ータ入力装置(以下、CRT/MDIという),画像フレーム
メモリ,データメモリ等を有するものである。
各カメラC1,C2,C3は、検出しようとする車体(対象物)
1上の特定位置、例えば車体上の3個のゲージホールに
対し各々設けられており、カメラ1個に対しゲージホー
ルが1個対応し、各カメラC1,C2,C3は各々のゲージホー
ルを検出するように配設されるものである。
第1図は、キャリブレーションを行うために用意された
キャリブレーション治具4と各カメラC1,C2,C3の関係を
示す図で、該キャリブレーション治具4は、各カメラC
1,C2,C3が検出しようとする車体上の特定位置、即ち各
ゲージホールの位置関係と同一位置関係に例えば穴P1,P
2,P3等の検出対象が設けられた部材5と、該部材5を直
交するX,Y,Z軸方向に駆動する駆動手段であるX,Y,Zテー
ブル6を有している。
そこで、第2図に示すような対象物である車体1の位置
姿勢を認識するシステムの本発明のキャリブレーション
方法について以下説明する。
まず、各カメラC1,C2,C3を各カメラが検出しようとする
車体上の特定位置、即ちゲージホールを視野にとられる
位置,方向に目視で設定し、配設する。
次に、第1図に示すキャリブレーション治具を車体1の
代りに配置し、治具4に設けられた検出対象の穴P1,P2,
P3が各々対応する各カメラC1,C2,C3の視野に入るように
各カメラの方向(必要ならば位置も)を調整し、各穴P
1,P2,P3の画像が各々対応する各カメラC1,C2,C3の画面
内のほぼ中心位置となるようにする。即ち、画像処理装
置2のCRT表示装置の画面を各カメラC1,C2,C3から取込
まれる画像画面に順次切替え、第3図に示すように穴P
1,P2,P3の画像の中心点P1′,P2′P3′が各カメラ画面C1
S,C2S,C3Sのほぼ中心となるように各カメラC1,C2,C3の
方向を順次調整する。そして、穴P1,P2,P3の画像中心点
P1′,P2′,P3′が各カメラ画面C1S,C2S,C3Sのぼぼ中心
位置にすべて位置づけられると、手動データ入力装置
(教示操作盤)より、各カメラ画像における穴の画像中
心点P1′,P2′,P3′を、センサ座標系の座標原点として
各カメラ画像毎に視覚センサに教示し、画像処理装置内
のメモリ内に各カメラ毎の座標原点(H0,V0)として各
々記憶させる。なお、Hは各カメラC1,C2,C3の画像の水
平方向軸を、Vは垂直方向軸を表す。
次に、キャリブレーション治具の原点位置よりキャリブ
レーション治具4のX,Y,Zテーブル6をX軸方向に決め
られた所定量Lだけ移動させて、第4図に示すように、
このとき得られる穴P1,P2,P3の画像中心点P1′,P2′,P
3′をX軸基準点として各カメラ画像毎に教示し、画像
処理装置2内のメモリ内に各カメラ毎のX軸基準位置
(Hx,Vx)として記憶させる。
次にX,Y,Zテーブル6を最初の位置、即ちキャリブレー
ション治具の原点位置に移動させて、穴の画像中心点P
1′,P2′,P3′を各座標原点(H0,V0)に移動させた後、
X,Y,Zテーブル6をY軸方向に決められた所定量L(X
軸を移動させたときと同じ量)移動させて、そのときの
各カメラ画面上の各穴P1,P2,P3の画像中心点P1′,P2′,
P3′をY軸基準点として各カメラ画像毎に教示し、画像
処理装置2内のメモリ内に各カメラ毎のY軸基準点(H
Y,VY)として記憶させる。
同様にキャリブレーション治具の原点位置より、X,Y,Z
テーブルをZ軸方向に決められた所定量Lだけ移動さ
せ、そのときの穴の画像中心点をZ軸基準位置(HZ,V
Z)として各カメラ毎に画像処理装置2内のメモリ内に
記憶させる。
その結果、第5図に示されるように各カメラ画面C1S,C2
S,C3Sに対し、各々座標原点(H0,V0),X軸基準点(Hx,V
x),Y軸基準点(HY,VY),Z軸基準点(HZ,VZ)が各々
設定記憶されたことになる。そして、視覚センサの画像
処理装置2にX,Y,ZテーブルをX軸,Y軸,Z軸方向に各々
移動決められた所定量Lをパラメータとして設定記憶さ
せる。その結果、各カメラ画面における座標原点(H0,V
0)に統一され、X,Y,Z軸の方向は各カメラ画面毎に該座
標原点からX軸基準点(Hx,Vx),Y軸基準点(HY,VY),
Z軸基準点(HZ,VZ)方向と決まり、又各軸の距離尺度
も各カメラ画面毎に座標原点(H0,V0)から、各基準点
(HX,VX),(HY,VY),(HZ,VZ)までの距離が上記
キャリブレーション治具2のX,Y,Zテーブルの移動量L
に等しいことから、これによって計算されて導き出され
る。
このようにして、3台のカメラC1,C2,C3で撮影される画
像における座標系は、キャリブレーション治具の持つ1
つの座標系に統一されキャリブレーションされたことと
なる。
そして、キャリブレーションされた後は、各カメラC1,C
2,C3が各々検出するゲージホールの位置により、車体の
位置,姿勢、即ち、X,Y,Z軸3次元空間における位置及
びこれらX,Y,Z軸の各々を中心とする回転度を検出でき
ることとなる。
なお、上記実施例では、キャリブレーション治具の軸駆
動手段、即ちX,Y,Zテーブル6をX,Y,Z軸の3軸方向に移
動し、3次元空間の座標系を各カメラに教示しキャリブ
レーションを行ったが、例えばX,Y軸の2軸のみ駆動で
きる軸駆動手段でもよく、この場合はX,Y軸平面の2次
元の座標系を各カメラに教示することとなる。
又、キャリブレーション治具4の検出対象P1,P2,P3を有
する部材5はその検出対象P1,P2,P3の距離を自由に変更
できるように構成しておけば、視覚センサの対象物が変
ったときでも、その対象物に合わせ検出対象位置を設定
して使用すればよい。
発明の効果 本発明は、キャリブレーション治具を使用して、精度良
く簡単に複数のカメラ画像座標系を1つの座標系に統一
するキャリブレーションが行える。その結果、一般に難
しい技術とされていた複合カメラ視覚センサをより簡単
に構築することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明一実施例を実施するために用いるキャリ
ブレーション治具の一例と各カメラとの関係を示す説明
図、第2図は、本発明の方法を適用しようとする視覚セ
ンサシステムの一例を示す図、第3図は発明の一実施例
において、各カメラ画面のほぼ中心に検出対象画像をと
らえたときの説明図、第4図は同実施例において、キャ
リブレーション治具をX軸方向に移動させたときの各カ
メラ画面の説明図、第5図は同実施例において、キャリ
ブレーション治具を各軸毎移動させることによって、各
カメラ画面に形成された座標系を説明する説明図であ
る。 1……車体、2……画像処理装置、C1,C2,C3……カメ
ラ、4……キャリブレーション治具、5……検出対象を
有する部材、6……X,Y,Zテーブル、P1,P2,P3……穴。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G05B 19/42 G06T 1/00 H04N 5/222 Z G06F 15/64 325 H

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のカメラを有する視覚センサにおい
    て、対象物上の各カメラに対応する各特定位置が視野に
    入る位置及び方向に各カメラを配設し、上記対象物上の
    各特定位置関係と同一位置関係にある検出対象を有する
    部材と該部材を少なくとも直交する2軸方向に駆動する
    軸駆動手段を有するキャリブレーシヨン治具を用い、該
    キャリブレーション治具の各検出対象画像の中心点が各
    カメラ画面のほぼ中心となるように各カメラの位置,方
    向を調整した後、該検出対象中心点の画像位置を各カメ
    ラ毎に座標原点として視覚センサに教示し、その後、該
    位置よりキャリブレーション治具の軸駆動手段を各軸毎
    に駆動して上記部材をきめられた所定量移動させ、その
    ときの検出対象中心点の各カメラ画面位置を移動させた
    軸の基準位置として各カメラ毎に視覚センサに教示し、
    各軸毎の基準位置を順に教示することによって、各カメ
    ラ画像の座標原点,各軸の基準位置より、各カメラ画像
    の座標原点,各軸の方向、及び各軸の距離尺度を求め座
    標系を一致させるようにした視覚センサのキャリブレー
    ション方法。
  2. 【請求項2】上記キャリブレーション治具の軸駆動手段
    は直交する3軸方向に上記検出対象を有する部材を駆動
    できる軸駆動手段である特許請求の範囲第1項記載の視
    覚センサのキャリブレーション方法。
JP62207393A 1987-08-22 1987-08-22 視覚センサのキャリブレ−ション方法 Expired - Lifetime JPH0790494B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004503926A (ja) * 2000-06-13 2004-02-05 バークレー・プロセス・コントロール・インコーポレーテッド 自己学習式ロボット・キャリア・ハンドリング・システム

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2690603B2 (ja) * 1990-05-30 1997-12-10 ファナック株式会社 視覚センサのキャリブレーション方法
DE4115846A1 (de) * 1991-05-15 1992-11-19 Ameling Walter Verfahren zur beruehrungslosen raeumlichen positionsmessung in roboterarbeitsraeumen
FR2706999A1 (en) * 1993-06-21 1994-12-30 Peugeot Calibration method for determining a transfer matrix between sensor means and an object, such as one or more hinges of a motor vehicle body, and device for implementing this method
WO2001000370A1 (de) 1999-06-26 2001-01-04 Kuka Schweissanlagen Gmbh Verfahren und vorrichtung zum kalibrieren von robotermessstationen, manipulatoren und mitgeführten optischen messeinrichtungen
DE20003381U1 (de) * 2000-02-24 2001-07-05 Kuka Schweissanlagen Gmbh Prüfeinrichtung für bewegliche optische Messeinrichtungen
US6542840B2 (en) 2000-01-27 2003-04-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Calibration system, target apparatus and calibration method
US8111904B2 (en) 2005-10-07 2012-02-07 Cognex Technology And Investment Corp. Methods and apparatus for practical 3D vision system
AT506865B1 (de) * 2008-05-20 2010-02-15 Siemens Vai Metals Tech Gmbh Vorrichtung zum verbessern von genauigkeitseigenschaften von handhabungsgeräten
CN103878773B (zh) * 2014-02-25 2015-08-12 西安航天精密机电研究所 一种基于全自动换电机器人的调试方法
CZ307714B6 (cs) * 2017-12-22 2019-03-06 Ĺ KODA AUTO a.s. Systém pro svařování karoserie automobilu
JP6608977B2 (ja) 2018-01-25 2019-11-20 ファナック株式会社 物品搬送システム
EP3844432A4 (en) * 2018-08-30 2022-06-15 Veo Robotics, Inc. SYSTEMS AND METHODS FOR AUTOMATIC SENSOR ALIGNMENT AND CONFIGURATION
CN111591474B (zh) * 2020-02-28 2021-12-07 上海航天控制技术研究所 一种航天器在轨操作系统对准式手眼标定方法
CN115026840B (zh) * 2022-08-10 2022-12-16 艾斯特国际安全技术(深圳)有限公司 自动校准方法、机械手及计算机可读存储介质

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60151711A (ja) * 1984-01-19 1985-08-09 Hitachi Ltd ロボツト手先視覚座標系較正方式
JPS60252914A (ja) * 1984-05-30 1985-12-13 Fanuc Ltd 視覚センサ座標情報とロボツト基準座標情報の換算方式
JPS61131887A (ja) * 1984-11-30 1986-06-19 富士通株式会社 視覚付ロボツトのキヤリブレ−シヨン方式
JPS62214403A (ja) * 1986-03-17 1987-09-21 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 視覚センサ付ロボツトシステムにおけるキヤリブレ−シヨン方法
JPH06257892A (ja) * 1993-03-08 1994-09-16 Hitachi Ltd ヒートポンプ用パラレルフロー熱交換器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004503926A (ja) * 2000-06-13 2004-02-05 バークレー・プロセス・コントロール・インコーポレーテッド 自己学習式ロボット・キャリア・ハンドリング・システム

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Publication number Publication date
WO1989001849A1 (en) 1989-03-09
JPS6451289A (en) 1989-02-27
EP0328687A1 (en) 1989-08-23

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