JPH0790354A - Roll for transporting high-temperature steel products - Google Patents
Roll for transporting high-temperature steel productsInfo
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- JPH0790354A JPH0790354A JP23476193A JP23476193A JPH0790354A JP H0790354 A JPH0790354 A JP H0790354A JP 23476193 A JP23476193 A JP 23476193A JP 23476193 A JP23476193 A JP 23476193A JP H0790354 A JPH0790354 A JP H0790354A
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- coating layer
- roll
- cermet
- heat
- spraying coating
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- Heat Treatment Of Strip Materials And Filament Materials (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ステンレス鋼板等、
高い温度での処理が必要とされる高温鋼材の熱処理炉内
に設置される搬送用ロールに関し、とくに該ロールの耐
熱性、断熱性、耐ビルドアップ性等の諸特性の改善を図
り、長期間にわたる安定操業を実現しようとするもので
ある。This invention relates to a stainless steel plate, etc.
Concerning the transport roll installed in the heat treatment furnace for high-temperature steel materials that require treatment at high temperature, in particular, the various properties such as heat resistance, heat insulation and build-up resistance of the roll are improved, The goal is to achieve stable operation over a long period of time.
【０００２】[0002]
【従来の技術】熱処理ラインにおいて高温のステンレス
鋼板等を搬送する熱処理炉用ハースロール (以下、搬送
用ロールという。) は、搬送すべき材料 (以下、搬送材
という。) の表面品質に悪影響を与えないものであるこ
とが望まれ、そのために通常はロール表面に耐熱性材料
を被覆したものが使用されていた。2. Description of the Related Art Hearth rolls for heat treatment furnaces (hereinafter referred to as conveyance rolls) for conveying high temperature stainless steel plates and the like in a heat treatment line have a bad influence on the surface quality of materials to be conveyed (hereinafter referred to as conveyance materials). It is desired that it is not given, and for that purpose, a roll surface coated with a heat resistant material is usually used.
【０００３】ところで、搬送材の処理雰囲気温度が1200
℃を超えるような熱処理炉内の加熱帯後半部や均熱帯に
設置されている搬送用ロールにおいては、搬送材が軟化
しているためにロール表面のわずかな変化でもその影響
を受けやすく、材料品質が劣化する傾向にあった。By the way, the processing atmosphere temperature of the carrier material is 1200.
Conveyor rolls installed in the latter half of the heating zone in the heat treatment furnace that exceeds ℃ or in the soaking zone are easily affected by even slight changes in the roll surface due to softening of the conveyer material. The quality tended to deteriorate.
【０００４】一方、搬送用ロールそれ自体について着目
した場合、高温の雰囲気下で使用されるものであるか
ら、そのロールの本体 (基体) 部分は内部水冷式になっ
ているのが普通である。したがって、搬送材の通板面と
なるロール表面には搬送材の温度低下を防止するため断
熱材料等を被覆する必要があり、しかも、このような目
的の下に使用される断熱被覆材料は、搬送材に傷をつけ
ない物質であることが要件とされ、従来は、アスベス
ト、シリカ・アルミナ繊維等が使用されていた。On the other hand, when attention is paid to the transport roll itself, since it is used in a high temperature atmosphere, the main body (base body) of the roll is usually internally water-cooled. Therefore, it is necessary to coat a heat insulating material or the like on the roll surface, which is the passing surface of the conveying material, in order to prevent the temperature of the conveying material from lowering, and moreover, the heat insulating coating material used under such a purpose is It is required to be a substance that does not damage the conveying material, and asbestos, silica / alumina fiber, etc. have been used conventionally.
【０００５】上記のような搬送用被覆ロールに関する先
行技術としては、「ドーナツ状円板に打抜き加工した耐
熱シート材を鉄芯に挿入し、圧縮成形してなるローラー
ハース型加熱炉用搬送ロール」に関する、特開平1-2907
12号公報、特開平1-301818号公報に開示されたようなも
のが知られている。As the prior art relating to the above-mentioned transport rolls, "roller hearth type heating roll transport rolls obtained by inserting a heat-resistant sheet material punched into a donut-shaped disc into an iron core and compression-molding it" Japanese Patent Laid-Open No. 1-2907
The ones disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 12-301818 and Japanese Patent Laid-Open No. 1-301818 are known.
【０００６】しかしながら、これらの既知被覆ロールは
以下に述べるような種々の問題を抱えていた。However, these known coating rolls have various problems as described below.
【０００７】すなわち、円板状の耐熱断熱シートを使う
方法にあっては、かかるシートをロールに嵌挿する作業
に多大な労力と時間が必要であって、しかも、実際の熱
処理炉で使用した結果によれば、被覆構成部であるアス
ベスト層や無機質繊維層の劣化や硬化が激しく、シート
が短時間のうちにロールから脱落し、使用不能になって
操業を停止せざるを得ない事態に陥ることがあった。That is, in the method of using a disc-shaped heat-resistant heat-insulating sheet, a great amount of labor and time are required for the work of inserting such a sheet into a roll, and moreover, it was used in an actual heat treatment furnace. According to the results, the asbestos layer and the inorganic fiber layer, which are the coating components, are severely deteriorated and hardened, and the sheet falls off the roll in a short time, and the sheet becomes unusable and the operation must be stopped. There was a fall.
【０００８】また、搬送材の表面に発生するスケールが
ロール表面に付着し、その付着スケールによって後続の
搬送材の表面を傷つける、いわゆるビルドアップ発生の
問題も依然として残されたままになっていた。[0008] Further, the problem of so-called build-up, in which the scale generated on the surface of the conveying material adheres to the surface of the roll and the surface of the succeeding conveying material is damaged by the adhered scale, still remains.
【０００９】なお、ビルドアップの軽減を図ることに関
しては、無機質繊維を主材とするシート材を積層してい
く従来構造のものに代え、被削性のよいサーメットを溶
射被覆する、特開平4-99813 号公報に開示のようなロー
ルが知られているが、このロールは、時として溶射被覆
層が剥離し、安定した操業が実現し難い不具合があっ
た。In order to reduce buildup, a cermet having good machinability is spray-coated in place of the conventional structure in which sheet materials having inorganic fibers as a main material are laminated. Although a roll as disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication No. -99813 is known, this roll has a defect that the sprayed coating layer sometimes peels off and stable operation cannot be realized.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、上
述したような従来技術が抱えている諸問題を解消し、耐
熱性、断熱性、耐ビルドアップ性等の諸特性に優れる高
温鋼材搬送用ロールを提案するところにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems of the prior art described above and to convey high-temperature steel materials which are excellent in various properties such as heat resistance, heat insulation and build-up resistance. I am proposing a roll for use.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】この発明は、ロールの外
周に耐熱性・断熱性の溶射被覆層を有する内部水冷式の
搬送用ロールにおいて、 上記の耐熱性・断熱性の溶射
被覆層を、ロールを構成する基体外周に設けられた耐熱
合金とジルコニアとからなる下地混合溶射被覆層と、こ
の下地混合溶射被覆層上に設けられた被削性の優れたサ
ーメット溶射被覆層との２層構造とした、ことを特徴と
する高温鋼材搬送用ロールであり、そして、上記の下地
混合溶射被覆層としては、耐熱合金の混合比率が、ロー
ルを構成する基体側では100 ％、上層のサーメット溶射
被覆層側では40〜60％であり、しかもその混合比率は、
サーメット溶射被覆層に向けて漸減するものを用いるこ
とが望ましい。The present invention provides an internal water-cooled transport roll having a heat-resistant and heat-insulating spray coating layer on the outer periphery of the roll, wherein the heat-resistant and heat-insulating spray coating layer is Two-layer structure of a base mixed thermal spray coating layer made of a heat-resistant alloy and zirconia provided on the outer periphery of a substrate forming a roll, and a cermet thermal spray coating layer provided on the base mixed thermal spray coating layer and having excellent machinability The above-mentioned base mixed thermal spray coating layer has a mixing ratio of the heat-resistant alloy of 100% on the substrate side constituting the roll, and the cermet thermal spray coating of the upper layer is characterized in that On the layer side, it is 40-60%, and the mixing ratio is
It is desirable to use a material that gradually decreases toward the cermet spray coating layer.
【００１２】[0012]
【作用】以下、図面を用いてこの発明をより詳細に説明
する。The present invention will be described in more detail below with reference to the drawings.
【００１３】図１は、この発明に従う高温鋼材搬送用ロ
ールの構成を示したものであり、１は、ロール本体を構
成している、内部に冷却水の流通経路１ａを有する基
体、２は、ロールの外周に形成された耐熱性・断熱性の
溶射被覆層である。この溶射被覆層２は、基体１の外周
面に対して直接形成される、耐熱合金とジルコニアとの
混合物を溶射してなる下地混合溶射被覆層２ａと、この
下地混合溶射被覆層２ａ上にサ−メットを溶射して積層
させてなる被削性の良好なサーメット溶射被覆層２ｂと
の２層構造からなるものである。FIG. 1 shows the structure of a roll for conveying high-temperature steel material according to the present invention, wherein 1 is a roll body, a substrate having a cooling water flow passage 1a therein, and 2 are: It is a heat-resistant and heat-insulating thermal spray coating layer formed on the outer periphery of the roll. The thermal spray coating layer 2 is formed directly on the outer peripheral surface of the base 1, and is formed on the base mixed thermal spray coating layer 2a by spraying a mixture of a heat-resistant alloy and zirconia. A cermet thermal sprayed coating layer 2b having a good machinability, which is formed by thermal spraying and stacking a MET, and has a two-layer structure.
【００１４】この発明においては、図１に示すように、
ロール基体１の表面に対しまず下地層として、熱の衝撃
に強くて熱膨張や収縮に対してもよく追従できる特性を
示す、耐熱合金と断熱性に優れ高温で熱的に安定したジ
ルコニアとの混合物を溶射してなる下地混合溶射被覆層
２ａを形成する一方、この下地混合溶射被覆層２のうえ
にさらに、被削性に対して優れた特性を示すサーメット
を溶射被覆してなるサーメット溶射被覆層２ｂを積層
し、２層の溶射被覆構造となるようにしたものであっ
て、このような溶射被覆構造とすることによって、該ロ
ールは耐熱性、断熱性のみならず耐ビルドアップ性に優
れた改善できる。In the present invention, as shown in FIG.
First, as a base layer on the surface of the roll substrate 1, a heat-resistant alloy and a zirconia excellent in heat insulating property and thermally stable at high temperature, which has characteristics of being resistant to thermal shock and capable of following well to thermal expansion and contraction. A cermet thermal spray coating obtained by thermal spray coating a cermet having excellent machinability on the primary mixed thermal spray coating layer 2 while forming an underlying mixed thermal spray coating layer 2a formed by thermal spraying a mixture. The layer 2b is laminated so as to have a two-layer thermal spray coating structure. By having such a thermal spray coating structure, the roll is excellent in heat resistance and heat insulation as well as build-up resistance. Can be improved.
【００１５】前記下地混合溶射被覆層２ａについて、基
体１側の耐熱合金の混合比率を100％にし、被削性に優
れたサーメット溶射被覆層２ｂの側で40〜60％になるよ
うにし、その間で耐熱合金の混合比率をなめらかに変化
（漸減）させるようにしたのは、以下の理由による。With respect to the base mixed spray coating layer 2a, the mixing ratio of the heat-resistant alloy on the base 1 side is set to 100%, and the cermet spray coating layer 2b side, which is excellent in machinability, is set to 40 to 60%. The reason why the mixing ratio of the heat-resistant alloy is changed (gradually decreased) smoothly is as follows.
【００１６】まず、基体１側の耐熱合金の混合比率を10
0 ％にしたのは、耐熱合金の線膨張係数は図２に示すよ
うにロール基体とほぼ同程度であって、ロール基体１の
側で下地混合溶射被覆層２ａの耐熱合金比率を100 ％に
することでロール基体粗化面に、熱衝撃に強く熱膨張収
縮に追随できる性能を有する溶射被覆層を形成すること
ができるからである。First, the mixing ratio of the heat-resistant alloy on the base 1 side is set to 10
The coefficient of linear expansion of the heat-resistant alloy was set to 0%, as shown in FIG. 2, to be approximately the same as that of the roll base, and the heat-resistant alloy ratio of the base mixed spray coating layer 2a on the roll base 1 side was set to 100%. By doing so, it is possible to form the thermal spray coating layer on the roughened surface of the roll substrate, which is resistant to thermal shock and capable of following thermal expansion and contraction.
【００１７】また、サーメット溶射層側で下地混合溶射
被覆層２ａの耐熱合金の混合比率を40〜60％にしたの
は、耐熱合金の混合比率をこの範囲に規定することによ
って、ロールの断熱性を確保しつつ、下地混合溶射被覆
層２ａとサーメット溶射被覆層２ｂとの剥離 (ジルコニ
アの線膨張率は耐熱合金や被削性に優れたサーメットよ
りも小さく、熱応力による剥離は起きやすい。) を防止
することができるからである。Further, the mixing ratio of the heat-resistant alloy of the base mixed spray-coating layer 2a on the cermet sprayed layer side is set to 40 to 60% because the heat-insulating property of the roll is set by defining the mixture ratio of the heat-resistant alloy in this range. While ensuring the above, peeling between the undercoating mixed thermal spray coating layer 2a and the cermet thermal spray coating layer 2b (the linear expansion coefficient of zirconia is smaller than that of heat-resistant alloys and cermets having excellent machinability, and peeling due to thermal stress is likely to occur). This is because it can be prevented.
【００１８】上記ジルコニア形セラミックスの混合比率
が60％以上では、混合溶射層としての線膨張係数がサー
メット溶射層の線膨張係数より小さくなり( 線膨張係数
13×10-6／℃以下) 、熱応力によって混合溶射層、サー
メット溶射層間での剥離は避けられず、40％未満では、
ジルコニア系セラミックスの断熱性能が低下 (熱伝導率
0.05cal/cm・ｇ・℃以上）し、ロールの曲がりが発生す
る他、時にはステンレス鋼板の表面温度低下を招く危険
もある。最も好ましいジルコニア形セラミックスの混合
比率は50％と言える。When the mixing ratio of the zirconia-type ceramics is 60% or more, the linear expansion coefficient of the mixed sprayed layer becomes smaller than that of the cermet sprayed layer (the linear expansion coefficient
13 x 10 -6 / ° C or less), peeling between the mixed sprayed layer and the cermet sprayed layer cannot be avoided due to thermal stress, and if less than 40%,
Insulation performance of zirconia-based ceramics deteriorates (thermal conductivity
(0.05 cal / cm · g · ° C or more), the roll may bend, and at the same time, there is a risk of lowering the surface temperature of the stainless steel plate. It can be said that the most preferable mixing ratio of zirconia-type ceramics is 50%.
【００１９】前記下地混合溶射被覆層２ａの１部を構成
しているアンダーコート材である耐熱合金は、「MCrAl
Y」（ただし、ＭはNi, Coなど）で示される、例えばNi-
Cr-Al-Y合金、Co-Cr-Al-Y合金あるいは、Co-Ni-Cr-Al-Y
合金などがよく適合する。また、ジルコニアとして
は、ZrO2-Y2O3 、ZrO2-CeO等の部分安定化ジルコニアが
よく適合する。The heat-resistant alloy as an undercoat material forming a part of the above-mentioned base mixed spray coating layer 2a is "MCrAl".
Y "(where M is Ni, Co, etc.), for example, Ni-
Cr-Al-Y alloy, Co-Cr-Al-Y alloy or Co-Ni-Cr-Al-Y
Alloys are well suited. Further, as the zirconia, partially stabilized zirconia such as ZrO 2 —Y 2 O 3 and ZrO 2 —CeO is well suited.
【００２０】ロールの表面層を形成する被削性に優れた
サーメット溶射被覆層としては、BNを４〜10wt％含み、
残部がNi, Co, Cr, Fe, Alを含む各種の耐熱合金よりな
る溶射材料が好適であり、そしてそのサーメット溶射被
覆層の厚さは0.5 〜５mmの層厚とするのが好適である。The cermet thermal spray coating layer having excellent machinability for forming the surface layer of the roll contains 4 to 10 wt% of BN,
A thermal spray material made of various heat-resistant alloys containing the balance of Ni, Co, Cr, Fe and Al is preferable, and the cermet thermal spray coating layer has a thickness of 0.5 to 5 mm.
【００２１】サーメット溶射被覆層を形成するに当たっ
ては、ガス燃焼方式による溶射被覆法を適用するのが好
適であり、その被覆厚さは0.5 mm未満では摩耗による使
用期間が短く、寿命の延長を図ることができず、一方、
５mmを超えると被膜内応力が強くなり剥離することにな
るので、被膜厚さは0.5 〜５mmの範囲内の厚さに規制す
るのが好ましい。In forming the cermet thermal spray coating layer, it is preferable to apply a thermal spray coating method by a gas combustion method. If the coating thickness is less than 0.5 mm, the period of use due to abrasion is short and the life is extended. Can't, on the other hand,
When the thickness exceeds 5 mm, the stress in the film becomes strong and the film peels off. Therefore, it is preferable to regulate the film thickness to a thickness within the range of 0.5 to 5 mm.
【００２２】基体１の表面に下地混合溶射被覆層２ａを
形成する際、溶射での投描効果による層の密着力を高め
るために、基体１の表面に予めブラスト処理を施して粗
化面(Ｒa ：２〜４μm 程度) としておくのが望まし
い。また、サーメット溶射被覆層の表面粗度について
は、Ｒa ：10μm 以下となるように研磨するのが望まし
い。When forming the base mixed thermal spray coating layer 2a on the surface of the substrate 1, the surface of the substrate 1 is preliminarily blasted in order to enhance the adhesion of the layer due to the projection effect of thermal spraying. Ra : 2 to 4 μm) is desirable. The surface roughness of the cermet sprayed coating layer is preferably polished so that Ra : 10 μm or less.
【００２３】[0023]
【実施例】生産能力30,000トン／月のステンレス鋼板用
熱処理炉に、図１に示したような搬送用ロールを配置し
て、そのロールの使用状況について調査した。その結果
を表１に示す。[Example] In a heat treatment furnace for a stainless steel plate having a production capacity of 30,000 tons / month, a roll for conveyance as shown in Fig. 1 was arranged, and the usage of the roll was investigated. The results are shown in Table 1.
【００２４】[0024]
【表１】 [Table 1]
【００２５】被覆材料としてアスベストあるいはシリカ
・アルミナ繊維を使用した従来のロールでは、ともに生
産量が6000トンになると被覆材料が脱落したりビルドア
ップが発生するようになり、ステンレス鋼板の品質劣化
(きずの発生) が懸念され、かかるロールの取り替えを
必要とした。In the conventional roll using asbestos or silica / alumina fiber as the coating material, when the production amount reaches 6000 tons, the coating material comes off and buildup occurs, which deteriorates the quality of the stainless steel sheet.
There was concern about the occurrence of scratches and it was necessary to replace such rolls.
【００２６】これに対して、この発明に従うロール (ア
ンダーコートの混合比率がロール基体側で Ni-Co-Cr-Al
-Y 100％、サーメット側で50％ととしたもの。) では 3
6000トン生産した段階 (約1.2 カ月使用した段階) で取
り外すこととなり、従来のロールよりも大幅な寿命延長
が可能であることが確認できた。On the other hand, the roll according to the present invention (where the mixing ratio of the undercoat is Ni-Co-Cr-Al on the roll substrate side)
-Y 100% and 50% on the cermet side. ) Then 3
It was confirmed that the roll had to be removed at the stage when 6,000 tons were produced (when it was used for about 1.2 months), and that the life could be extended significantly compared to the conventional roll.
【００２７】また、この実施例では、下地混合溶射被覆
層においてサーメット溶射被覆層側での耐熱合金の混合
比率を各々40％、60％としたロールについても調査を行
ったが、それぞれ 12000トン、9000トン処理した段階で
剥離やロールの曲がりにより取り外しを要し、混合比率
が50％の場合よりやや性能の低下は見られるものの、従
来のロールよりもロールの寿命を格段に延長することが
できた。Further, in this embodiment, the rolls in which the mixing ratio of the heat-resistant alloy on the cermet thermal spray coating layer side was 40% and 60% respectively in the underlayer thermal spray coating layer were also investigated. At the stage of processing 9,000 tons, removal is required due to peeling and bending of the roll, and although the performance is slightly lower than when the mixing ratio is 50%, the life of the roll can be extended significantly compared to the conventional roll. It was
【００２８】[0028]
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
温度の比較的高い条件下であっても、搬送用ロールの表
面状態を、初期状態のまま長期間維持できるので、かか
るロールに起因した搬送材の品質劣化を引き起こすこと
がなく、生産性の高い操業を行うことができる。As described above, according to the present invention,
Even if the temperature is relatively high, the surface state of the transport roll can be maintained in the initial state for a long period of time, so that the quality of the transport material caused by the roll is not deteriorated and the productivity is high. Can operate.
【図１】この発明に従う搬送用ロールの断面構造を示し
た図である。FIG. 1 is a view showing a sectional structure of a transport roll according to the present invention.
【図２】耐熱合金とロールの基体の線膨張係数を比較し
て示した図である。FIG. 2 is a diagram showing a comparison of linear expansion coefficients of a heat resistant alloy and a roll substrate.
１ ロールの基体 2a 下地混合溶射被覆層 2b サーメット溶射被覆層 1 roll substrate 2a Underlayer sprayed coating layer 2b Cermet sprayed coating layer
Claims (2)
覆層を有する内部水冷式の搬送用ロールにおいて、 上記の耐熱性・断熱性の溶射被覆層を、ロールを構成す
る基体外周に設けられた耐熱合金とジルコニアとからな
る下地混合溶射被覆層と、この下地混合溶射被覆層上に
設けられた被削性の優れたサーメット溶射被覆層との２
層構造とした、ことを特徴とする高温鋼材搬送用ロー
ル。1. An internal water-cooled transport roll having a heat-resistant and heat-insulating spray coating layer on the outer periphery of the roll, wherein the heat-resistant and heat-insulating spray coating layer is provided on the outer periphery of a substrate constituting the roll. Of the heat-resistant alloy and zirconia prepared, and a cermet spray-coated layer having excellent machinability provided on the ground-mixed sprayed coating layer.
A roll for transporting high-temperature steel, which has a layered structure.
を形成する耐熱合金の混合比率が、ロールを構成する基
体側で100 ％であり、サーメット溶射被覆層側で40〜60
％であり、その混合比率が、サーメット溶射被覆層に向
けて漸減するものである請求項１記載のロール。2. The base mixed thermal spray coating layer, wherein the mixing ratio of the heat-resistant alloy forming the coating layer is 100% on the side of the substrate constituting the roll and 40 to 60 on the side of the cermet thermal spray coating layer.
%, And the mixing ratio thereof is gradually reduced toward the cermet sprayed coating layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23476193A JPH0790354A (en) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | Roll for transporting high-temperature steel products |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23476193A JPH0790354A (en) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | Roll for transporting high-temperature steel products |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0790354A true JPH0790354A (en) | 1995-04-04 |
Family
ID=16975946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23476193A Pending JPH0790354A (en) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | Roll for transporting high-temperature steel products |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0790354A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101022089B1 (en) * | 2007-10-16 | 2011-03-17 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | Substrate cooling method and substrate cooling apparatus |
| JP2020090710A (en) * | 2018-12-05 | 2020-06-11 | 日本特殊陶業株式会社 | Thermal spraying member and manufacturing method thereof |
-
1993
- 1993-09-21 JP JP23476193A patent/JPH0790354A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101022089B1 (en) * | 2007-10-16 | 2011-03-17 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | Substrate cooling method and substrate cooling apparatus |
| JP2020090710A (en) * | 2018-12-05 | 2020-06-11 | 日本特殊陶業株式会社 | Thermal spraying member and manufacturing method thereof |
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