JPH0790211B2 - 超純水製造装置における多重効用蒸留器 - Google Patents
超純水製造装置における多重効用蒸留器Info
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- JPH0790211B2 JPH0790211B2 JP1170597A JP17059789A JPH0790211B2 JP H0790211 B2 JPH0790211 B2 JP H0790211B2 JP 1170597 A JP1170597 A JP 1170597A JP 17059789 A JP17059789 A JP 17059789A JP H0790211 B2 JPH0790211 B2 JP H0790211B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、半導体工業等の電子工業で使用される超純
水製造装置における多重効用蒸留器に関する。
水製造装置における多重効用蒸留器に関する。
［従来技術およびその問題点］ 従来この種多重効用蒸留器は、たとえば第４図に示すよ
うに、原水を処理して１次純水を得る１次純水系多重効
用蒸留装置（51）の多重効用蒸留器（61）と、１次純水
を処理して２次純水を得る２次純水系多重効用蒸留装置
（51′）の多重効用蒸留器（61′）は別置され、両多重
効用蒸留器（61）（61′）は２次純水系多重効用蒸留器
（61′）内で予熱された原水を１次純水多重効用蒸留器
（61）に移送する原水連絡配管（64）、および１次純水
系多重効用器（61）の最低温の第ｎ効用段で発生した１
次純水蒸気を２次純水系多重効用蒸留器（61′）に移送
せしめる１次純水蒸気連絡配管（63）、および２次純水
系多重効用蒸留器（61′）の最高温の第１′効用段凝縮
室（70′）内の複数の蒸発伝熱管（67′）および予熱管
（62′）の外面で１次純水蒸気が凝縮してできた１次純
水を１次純水系多重効用蒸留器（61）の１次純水溜部
（72）内に移送せしめる１次純水連絡配管（73）、およ
び１次純水溜部（72）の１次純水を２次純水系多重効用
蒸留器（61′）の第１′効用段下部の純水溜部（71′）
に移送せしめる１次純水連絡配管（74）で主として接続
されていた。しかしながら、このように多数の配管によ
って各流体を移送すると管路上で熱が逃げるので純水化
するための熱効率が悪く、また多数の配管類を配置する
から配管類の製作が面倒で製作費が高くつく欠点があっ
た。
うに、原水を処理して１次純水を得る１次純水系多重効
用蒸留装置（51）の多重効用蒸留器（61）と、１次純水
を処理して２次純水を得る２次純水系多重効用蒸留装置
（51′）の多重効用蒸留器（61′）は別置され、両多重
効用蒸留器（61）（61′）は２次純水系多重効用蒸留器
（61′）内で予熱された原水を１次純水多重効用蒸留器
（61）に移送する原水連絡配管（64）、および１次純水
系多重効用器（61）の最低温の第ｎ効用段で発生した１
次純水蒸気を２次純水系多重効用蒸留器（61′）に移送
せしめる１次純水蒸気連絡配管（63）、および２次純水
系多重効用蒸留器（61′）の最高温の第１′効用段凝縮
室（70′）内の複数の蒸発伝熱管（67′）および予熱管
（62′）の外面で１次純水蒸気が凝縮してできた１次純
水を１次純水系多重効用蒸留器（61）の１次純水溜部
（72）内に移送せしめる１次純水連絡配管（73）、およ
び１次純水溜部（72）の１次純水を２次純水系多重効用
蒸留器（61′）の第１′効用段下部の純水溜部（71′）
に移送せしめる１次純水連絡配管（74）で主として接続
されていた。しかしながら、このように多数の配管によ
って各流体を移送すると管路上で熱が逃げるので純水化
するための熱効率が悪く、また多数の配管類を配置する
から配管類の製作が面倒で製作費が高くつく欠点があっ
た。
また、１次純水系では、これら配管を構成する配管、継
手類、ガスケットの使用材質中の不純物が１次純水中に
溶出したり、継手部から器外中の微粒子、生菌類等の不
純物が１次純水中に流入したりして１次純水を汚染する
欠点があった。
手類、ガスケットの使用材質中の不純物が１次純水中に
溶出したり、継手部から器外中の微粒子、生菌類等の不
純物が１次純水中に流入したりして１次純水を汚染する
欠点があった。
この発明は、上記従来の多重効用蒸留器の問題点をすべ
て解決することができる多重効用蒸留器を提供すること
を目的とする。
て解決することができる多重効用蒸留器を提供すること
を目的とする。
［問題点の解決手段］ この発明は、上記目的達成のために、１つのケーシング
内を実質的に２つのユニットに区分し、１つのユニット
内を１次純水系多重効用蒸留部に形成しせめ、残りのユ
ニット内を２次純水系多重効用蒸留部に形成せしめ、原
水および１次純水を純水化するための熱エネルギーをケ
ーシング内で最大限に利用することができるとともに、
ケーシング内の空間を最大限に利用することができ、し
たがって、原水から２次純水を非常に効率よく安価に製
造し得、しかも構造が簡単でその製作を容易かつ安価に
なし得る多重効用蒸留器を提供するものである。
内を実質的に２つのユニットに区分し、１つのユニット
内を１次純水系多重効用蒸留部に形成しせめ、残りのユ
ニット内を２次純水系多重効用蒸留部に形成せしめ、原
水および１次純水を純水化するための熱エネルギーをケ
ーシング内で最大限に利用することができるとともに、
ケーシング内の空間を最大限に利用することができ、し
たがって、原水から２次純水を非常に効率よく安価に製
造し得、しかも構造が簡単でその製作を容易かつ安価に
なし得る多重効用蒸留器を提供するものである。
［実 施 例］ この発明を、以下第１図〜第３図に示す実施例に基づい
て説明する。
て説明する。
なお、この説明書において前後および左右は第１図を基
準とし、前とは同図右側を、後とは同図左側をそれぞれ
いうものとし、また左とは同図上側を、右とは同図下側
をそれぞれいうものとする。
準とし、前とは同図右側を、後とは同図左側をそれぞれ
いうものとし、また左とは同図上側を、右とは同図下側
をそれぞれいうものとする。
第１図〜第３図において、ケーシング（１）は垂直仕切
板（14）（15）によって２つのユニットＡ、Ｂに区分せ
られている。各ユニットＡ、Ｂは垂直仕切板（14）（1
5）（14′）（15′）により多数の効用段に区分せられ
ている。各効用段内には垂直仕切板（15）（15′）、垂
直伝熱管（７）（７′）の固定用上板（19a）（19
a′）、下板（19b）（19b′）、凝縮液収集板（17）（1
7′）およびケーシング（１）によって形成される凝縮
室（10）（10′）、各凝縮室（10）（10′）に連続する
小室（8a）（8a′）が形成せられ、各小室（8a）（8
a′）内部に複数本の垂直伝熱管（７）（７′）の固定
用上板（19a）（19a′）が水平に配置せられ、この上板
（19a）（19a′）より上方の小室（8a）（8a′）内が原
水導入部（8b）あるいは１次純水導入部（8b′）となさ
れている。各凝縮室（10）（10′）内には複数本の垂直
伝熱管（７）（７′）と共に原水予熱管（２）（２′）
が水平に配置されている。原水予熱管（２）（２′）の
下方には凝縮液収集板（17）（17′）、管束側板（18）
（18′）、垂直仕切板（15）（15′）、およびケーシン
グ（１）によって凝縮液収集部（30）（30′）が各凝縮
室（10）（10′）内に形成せられている。また各効用段
内には、各凝縮室（10）（10′）に連続して、垂直伝熱
管（７）（７′）の固定用下板（19b）（19b′）、凝縮
液収集板（17）（17′）、垂直仕切板（14）（14′）お
よびケーシング（１）によって実質的に形成される原水
濃縮液溜室（11）および１次純水濃縮液溜室（11′）が
形成され、各濃縮液溜部（11）（11′）の上部で垂直仕
切板（14）（14′）および（15）（15′）間に不純物除
去装置（４）（４′）が取り付けられている。各凝縮液
収集部（30）（30′）内の垂直仕切板（15）（15′）の
下部には開口部（31）（31′）が設けられ、各効用段で
得られた凝縮液が次効用段内の凝縮液収集部（30）（3
0′）内に流入するようになされているが、ユニットＢ
内の最高温の第１′効用段の凝縮液収集部（30′）の垂
直仕切板（15′）の下部には開口部（31′）がなく、凝
縮液収集板（17′）に開口部（22）が設けられ、ユニッ
トＡで得られた凝縮液（１次純水）が第ｎ効用段の凝縮
液収集部（30）内の垂直仕切板（15）下部の開口部（3
1）より第１′効用段の凝縮液収集部（30′）に流入
し、この１次純水全量がオリフィス開口部（22）より第
１′効用段内下部の１次純水濃縮液溜室（11′）に入流
するようにせられている。また、各濃縮液溜室（11）
（11′）内の垂直仕切板（14）（14′）下部には開口部
（13）（13′）が設けられ、各濃縮液溜室（11）（1
1′）内の、原水濃縮液の一部は取出口（32）より一端
器外に取り出されて同じ効用段内上部の原水導入部（8
b）内に循環され、残部は開口部（13）より次効用段内
の原水濃縮液溜室（11）に流入するようになされ、ま
た、１次純水濃縮液の一部は取出口（32′）より取り出
されて同じ効用段内上部の１次純水導入部（8b′）内に
循環させると共に開口部（13′）より次効用段内の１次
純水濃縮液溜室（11′）内に流入するようにされてい
る。各原水濃縮液溜室（11）を順次移行した原水濃縮液
は第ｎ効用段内の垂直仕切板（14）下部に開口部（13）
を設けていないため、第ｎ効用段内の原水濃縮液溜室
（11）の取出口（32）より全量器外に取り出され、一部
が原水導入部（8b）内に循環されると共に残部は排出さ
れる。同様に１次純水濃縮液は、最低温の第ｎ′効用段
内の１次純水濃縮液溜室（11′）の取出口（32′）より
全量取り出され、一部が１次純水導入部（8b′）内に循
環され、残部が排出される。
板（14）（15）によって２つのユニットＡ、Ｂに区分せ
られている。各ユニットＡ、Ｂは垂直仕切板（14）（1
5）（14′）（15′）により多数の効用段に区分せられ
ている。各効用段内には垂直仕切板（15）（15′）、垂
直伝熱管（７）（７′）の固定用上板（19a）（19
a′）、下板（19b）（19b′）、凝縮液収集板（17）（1
7′）およびケーシング（１）によって形成される凝縮
室（10）（10′）、各凝縮室（10）（10′）に連続する
小室（8a）（8a′）が形成せられ、各小室（8a）（8
a′）内部に複数本の垂直伝熱管（７）（７′）の固定
用上板（19a）（19a′）が水平に配置せられ、この上板
（19a）（19a′）より上方の小室（8a）（8a′）内が原
水導入部（8b）あるいは１次純水導入部（8b′）となさ
れている。各凝縮室（10）（10′）内には複数本の垂直
伝熱管（７）（７′）と共に原水予熱管（２）（２′）
が水平に配置されている。原水予熱管（２）（２′）の
下方には凝縮液収集板（17）（17′）、管束側板（18）
（18′）、垂直仕切板（15）（15′）、およびケーシン
グ（１）によって凝縮液収集部（30）（30′）が各凝縮
室（10）（10′）内に形成せられている。また各効用段
内には、各凝縮室（10）（10′）に連続して、垂直伝熱
管（７）（７′）の固定用下板（19b）（19b′）、凝縮
液収集板（17）（17′）、垂直仕切板（14）（14′）お
よびケーシング（１）によって実質的に形成される原水
濃縮液溜室（11）および１次純水濃縮液溜室（11′）が
形成され、各濃縮液溜部（11）（11′）の上部で垂直仕
切板（14）（14′）および（15）（15′）間に不純物除
去装置（４）（４′）が取り付けられている。各凝縮液
収集部（30）（30′）内の垂直仕切板（15）（15′）の
下部には開口部（31）（31′）が設けられ、各効用段で
得られた凝縮液が次効用段内の凝縮液収集部（30）（3
0′）内に流入するようになされているが、ユニットＢ
内の最高温の第１′効用段の凝縮液収集部（30′）の垂
直仕切板（15′）の下部には開口部（31′）がなく、凝
縮液収集板（17′）に開口部（22）が設けられ、ユニッ
トＡで得られた凝縮液（１次純水）が第ｎ効用段の凝縮
液収集部（30）内の垂直仕切板（15）下部の開口部（3
1）より第１′効用段の凝縮液収集部（30′）に流入
し、この１次純水全量がオリフィス開口部（22）より第
１′効用段内下部の１次純水濃縮液溜室（11′）に入流
するようにせられている。また、各濃縮液溜室（11）
（11′）内の垂直仕切板（14）（14′）下部には開口部
（13）（13′）が設けられ、各濃縮液溜室（11）（1
1′）内の、原水濃縮液の一部は取出口（32）より一端
器外に取り出されて同じ効用段内上部の原水導入部（8
b）内に循環され、残部は開口部（13）より次効用段内
の原水濃縮液溜室（11）に流入するようになされ、ま
た、１次純水濃縮液の一部は取出口（32′）より取り出
されて同じ効用段内上部の１次純水導入部（8b′）内に
循環させると共に開口部（13′）より次効用段内の１次
純水濃縮液溜室（11′）内に流入するようにされてい
る。各原水濃縮液溜室（11）を順次移行した原水濃縮液
は第ｎ効用段内の垂直仕切板（14）下部に開口部（13）
を設けていないため、第ｎ効用段内の原水濃縮液溜室
（11）の取出口（32）より全量器外に取り出され、一部
が原水導入部（8b）内に循環されると共に残部は排出さ
れる。同様に１次純水濃縮液は、最低温の第ｎ′効用段
内の１次純水濃縮液溜室（11′）の取出口（32′）より
全量取り出され、一部が１次純水導入部（8b′）内に循
環され、残部が排出される。
原水予熱管（２）（２′）内の原水は、ユニットＡ、ユ
ニットＢ内の原水濃縮液および１次純水濃縮液の移行方
向と逆の方向に流れて、加熱蒸気可効用段で発生した１
次純水蒸気および２次純水蒸気の一部の凝縮潜熱を受け
て予熱され、ユニットＡの最高温の第１効用段内の流入
口（33）を通って原水濃縮液溜室（11）内に導入せられ
る。ここで垂直伝熱管（７）内で蒸発・濃縮された原水
濃縮液と混合し、一部は取出口（32）より一端器外に出
て同一効用段上部の原水導入部（8b）内に導入される。
ここで複数本の垂直伝熱管（７）内を分れて薄膜状に流
下し、器外より導入された加熱蒸気の大部分の凝縮潜熱
を受けて蒸気を発生させながら自身は濃縮されて原水濃
縮液溜室（11）に流下する。ここで前述のとおり予熱さ
れた原水と混合すると同時に一部は循環水として取出口
（32）より取り出され、残部は垂直仕切板（14）下部に
設けられたオリフィス開口部（13）を通って第２効用段
内の濃縮液溜室（11）に導入される。予熱管（２）およ
び垂直伝熱管（７）の各管外面で凝縮した加熱蒸気の濃
縮液は、予熱管（２）の下部の凝縮液収集部（30）に集
められ垂直仕切板（15）下部に設けられたオリフィス開
口部（31）より第２効用段内の凝縮収集部（30）に導入
される。導入された凝縮液は、原水濃縮液と同じく、第
１効用段と第２効用段の蒸発温度差分自己蒸発し、自己
蒸発で発生した蒸気は第１段効用段の垂直伝熱管（７）
内で発生した蒸気の一部と共に第２効用段用段内の原水
予熱管（２）の管外面で凝縮し原水を予熱する。発生蒸
気中の非凝縮ガスは非凝縮ガス取出口（16）より器外に
排出される。
ニットＢ内の原水濃縮液および１次純水濃縮液の移行方
向と逆の方向に流れて、加熱蒸気可効用段で発生した１
次純水蒸気および２次純水蒸気の一部の凝縮潜熱を受け
て予熱され、ユニットＡの最高温の第１効用段内の流入
口（33）を通って原水濃縮液溜室（11）内に導入せられ
る。ここで垂直伝熱管（７）内で蒸発・濃縮された原水
濃縮液と混合し、一部は取出口（32）より一端器外に出
て同一効用段上部の原水導入部（8b）内に導入される。
ここで複数本の垂直伝熱管（７）内を分れて薄膜状に流
下し、器外より導入された加熱蒸気の大部分の凝縮潜熱
を受けて蒸気を発生させながら自身は濃縮されて原水濃
縮液溜室（11）に流下する。ここで前述のとおり予熱さ
れた原水と混合すると同時に一部は循環水として取出口
（32）より取り出され、残部は垂直仕切板（14）下部に
設けられたオリフィス開口部（13）を通って第２効用段
内の濃縮液溜室（11）に導入される。予熱管（２）およ
び垂直伝熱管（７）の各管外面で凝縮した加熱蒸気の濃
縮液は、予熱管（２）の下部の凝縮液収集部（30）に集
められ垂直仕切板（15）下部に設けられたオリフィス開
口部（31）より第２効用段内の凝縮収集部（30）に導入
される。導入された凝縮液は、原水濃縮液と同じく、第
１効用段と第２効用段の蒸発温度差分自己蒸発し、自己
蒸発で発生した蒸気は第１段効用段の垂直伝熱管（７）
内で発生した蒸気の一部と共に第２効用段用段内の原水
予熱管（２）の管外面で凝縮し原水を予熱する。発生蒸
気中の非凝縮ガスは非凝縮ガス取出口（16）より器外に
排出される。
第１効用段の凝縮室（10）内の複数本の垂直伝熱管
（７）内で発生した蒸気は、１次純水蒸気として原水濃
縮液溜室（11）の上部に設けられた不純物除去装置
（４）で蒸気と同伴した不純物を含むミストの大半が除
去されて、第２効用段内の凝縮室（10）内に導入され
る。導入された蒸気は、その大半が複数本の垂直伝熱管
（７）外面で凝縮し、その凝縮液は１次純水として凝縮
室（10）内の凝縮液収集部（30）に導入される。残部の
蒸発蒸気は、前述のとおり第１効用段より流入した凝縮
液の自己蒸発蒸気と混合し、原水予熱管（２）の管外面
で凝縮し、凝縮液は１次純水として垂直伝熱管（７）外
面で凝縮した凝縮液と混合し、オリフィス開口部（31）
を通って第３効用段内の凝縮液収集部（30）内に流入さ
れる。
（７）内で発生した蒸気は、１次純水蒸気として原水濃
縮液溜室（11）の上部に設けられた不純物除去装置
（４）で蒸気と同伴した不純物を含むミストの大半が除
去されて、第２効用段内の凝縮室（10）内に導入され
る。導入された蒸気は、その大半が複数本の垂直伝熱管
（７）外面で凝縮し、その凝縮液は１次純水として凝縮
室（10）内の凝縮液収集部（30）に導入される。残部の
蒸発蒸気は、前述のとおり第１効用段より流入した凝縮
液の自己蒸発蒸気と混合し、原水予熱管（２）の管外面
で凝縮し、凝縮液は１次純水として垂直伝熱管（７）外
面で凝縮した凝縮液と混合し、オリフィス開口部（31）
を通って第３効用段内の凝縮液収集部（30）内に流入さ
れる。
第２効用段より第３効用段の原水濃縮液溜室（11）に流
入した原水濃縮液は一部自己蒸発し、発生蒸気は垂直伝
熱管（７）内で発生した蒸気と混合して原水濃縮液溜室
（11）の上部の不純物除去装置（４）を通って第３効用
段の凝縮室（10）内に流入すると共に、残部の原水濃縮
液は垂直伝熱管（７）内から流下した原水濃縮液と混合
し、一部が取出口（32）より取り出されて同一効用段上
部の原水導入部（8b）に循環され、残部はオリレフィス
開口部（13）を通って第３効用段の原水濃縮液溜室（1
1）に流入する。
入した原水濃縮液は一部自己蒸発し、発生蒸気は垂直伝
熱管（７）内で発生した蒸気と混合して原水濃縮液溜室
（11）の上部の不純物除去装置（４）を通って第３効用
段の凝縮室（10）内に流入すると共に、残部の原水濃縮
液は垂直伝熱管（７）内から流下した原水濃縮液と混合
し、一部が取出口（32）より取り出されて同一効用段上
部の原水導入部（8b）に循環され、残部はオリレフィス
開口部（13）を通って第３効用段の原水濃縮液溜室（1
1）に流入する。
このようにして原水濃縮液はユニットＡの最低温の第ｎ
効用段の濃縮液溜室（11）の取出口（32）より取り出さ
れ、一部は同一効用段上部の原水導入部（8b）に循環さ
れ、残部は器外に排出される。
効用段の濃縮液溜室（11）の取出口（32）より取り出さ
れ、一部は同一効用段上部の原水導入部（8b）に循環さ
れ、残部は器外に排出される。
また凝縮してできた１次純水は第ｎ効用段の凝縮液収集
部（30）よりユニットＢの第１′効用段の凝縮液収集部
（30′）にオリフィス開口部（31）を通して流入し、垂
直伝熱管（７）外面で凝縮してできた凝縮液と混合し、
凝縮液収集板（17′）に設けられたオリフィス開口部
（22）より第１′効用段の１次純水濃縮液溜室（11′）
に流入する。
部（30）よりユニットＢの第１′効用段の凝縮液収集部
（30′）にオリフィス開口部（31）を通して流入し、垂
直伝熱管（７）外面で凝縮してできた凝縮液と混合し、
凝縮液収集板（17′）に設けられたオリフィス開口部
（22）より第１′効用段の１次純水濃縮液溜室（11′）
に流入する。
また第ｎ効用段の複数本の垂直伝熱管（７）内で発生し
た１次純水蒸気は不純物除去装置（４）を通ってユニッ
トＢの加熱蒸気として、また当該発生蒸気量で不足する
場合は器外から流入した加熱蒸気と混合し、ユニットＢ
の第１′効用段の凝縮室（10′）に入り、一部は複数本
の垂直伝熱管（７′）の管外面上で凝縮し管内１次純水
濃縮液に熱を与えて２次純水蒸気を発生せしめ残部は原
水予熱管（27）内の原水を予熱し、自身は１次純水とし
て第ｎ効用段の凝集収集部（30）より流入の凝縮液と混
合し、オリフィス開口部（22）より同一効用段の１次純
水凝縮液溜（11′）に流入する。
た１次純水蒸気は不純物除去装置（４）を通ってユニッ
トＢの加熱蒸気として、また当該発生蒸気量で不足する
場合は器外から流入した加熱蒸気と混合し、ユニットＢ
の第１′効用段の凝縮室（10′）に入り、一部は複数本
の垂直伝熱管（７′）の管外面上で凝縮し管内１次純水
濃縮液に熱を与えて２次純水蒸気を発生せしめ残部は原
水予熱管（27）内の原水を予熱し、自身は１次純水とし
て第ｎ効用段の凝集収集部（30）より流入の凝縮液と混
合し、オリフィス開口部（22）より同一効用段の１次純
水凝縮液溜（11′）に流入する。
オリフィス開口部（22）より１次純水濃縮液溜室（1
1′）に流入した１次純水は凝縮室（10′）内の複数本
の垂直伝熱管（７′）内より流下の１次純水濃縮液と混
合し取出口（32′）より一部取り出され第１′効用段上
部の１次純水導入部（8b′）に導入され、複数本の垂直
伝熱管（７′）内に分かれて薄膜状に流下し、前述のと
おり、管外１次純水蒸気の凝縮潜熱を受けて一部蒸発
し、発生した２次純水蒸気とともに１次純水濃縮液溜室
（11′）に流下する。残部の１次純水濃縮液は垂直仕切
板（14′）下部に設けられたオリフィス開口部（13′）
より第２′効用段の１次純水濃縮液溜室（11′）に流入
し、一部温度差により自己蒸発し２次純水蒸気を発生す
るとともに残部は垂直伝熱管（７′）内を流下した１次
純水濃縮液と混合する。
1′）に流入した１次純水は凝縮室（10′）内の複数本
の垂直伝熱管（７′）内より流下の１次純水濃縮液と混
合し取出口（32′）より一部取り出され第１′効用段上
部の１次純水導入部（8b′）に導入され、複数本の垂直
伝熱管（７′）内に分かれて薄膜状に流下し、前述のと
おり、管外１次純水蒸気の凝縮潜熱を受けて一部蒸発
し、発生した２次純水蒸気とともに１次純水濃縮液溜室
（11′）に流下する。残部の１次純水濃縮液は垂直仕切
板（14′）下部に設けられたオリフィス開口部（13′）
より第２′効用段の１次純水濃縮液溜室（11′）に流入
し、一部温度差により自己蒸発し２次純水蒸気を発生す
るとともに残部は垂直伝熱管（７′）内を流下した１次
純水濃縮液と混合する。
第１′段効用段の複数本の垂直伝熱管（７′）内で発生
した２次純水蒸気は、濃縮液溜室（11′）上部に配置さ
れた不純物除去装置（４′）で不純物を含む同伴ミスト
の大半が除去され第２′効用段の凝縮室（10′）内に流
入し、大半は複数本の垂直伝熱管（７′）外面で凝縮し
２次純水になり、残部は凝縮室（11′）内の原水読熱間
（２′）外面で凝縮し２次純水として凝縮液収集部（3
0′）に集められ、全部の62次純水は垂直仕切板（1
5′）下部に設けられたオリフィス開口部（31′）を通
って第３′効用段の凝縮液収集部（30′）に流入し、一
部自己蒸発するとともに残部は第３′効用段で凝縮によ
りできた２次純水と混合する。このように第２′効用段
凝縮室（10′）内の２次純水は１次純水の蒸発蒸気であ
り、かつ、不純物除去装置（４′）で大半の不純物を含
む同伴ミストを除去したものであるから１次純水よりも
更に純度が高められている。このようにして、結局１次
純水濃縮液はユニットＢの最低温の第ｎ′効用段の１次
純水濃縮液溜室（11′）の取出口（32′）より取り出さ
れ、一部は同一効用段上部の１次純水導入部（8b′）に
循環され、残部は器外に排出される。また各効用段で凝
縮してできた２次純水は、第ｎ′効用段凝縮室（10′）
内の凝縮液収集部（30′）よりオリフィス開口部（3
1′）を通って２次純水溜室（12′）に入り一部自己蒸
発するとともに復水伝熱管（33′）外面で凝縮してでき
た２次純水と混合し、２次純水取出口（40）より器外に
送られる。
した２次純水蒸気は、濃縮液溜室（11′）上部に配置さ
れた不純物除去装置（４′）で不純物を含む同伴ミスト
の大半が除去され第２′効用段の凝縮室（10′）内に流
入し、大半は複数本の垂直伝熱管（７′）外面で凝縮し
２次純水になり、残部は凝縮室（11′）内の原水読熱間
（２′）外面で凝縮し２次純水として凝縮液収集部（3
0′）に集められ、全部の62次純水は垂直仕切板（1
5′）下部に設けられたオリフィス開口部（31′）を通
って第３′効用段の凝縮液収集部（30′）に流入し、一
部自己蒸発するとともに残部は第３′効用段で凝縮によ
りできた２次純水と混合する。このように第２′効用段
凝縮室（10′）内の２次純水は１次純水の蒸発蒸気であ
り、かつ、不純物除去装置（４′）で大半の不純物を含
む同伴ミストを除去したものであるから１次純水よりも
更に純度が高められている。このようにして、結局１次
純水濃縮液はユニットＢの最低温の第ｎ′効用段の１次
純水濃縮液溜室（11′）の取出口（32′）より取り出さ
れ、一部は同一効用段上部の１次純水導入部（8b′）に
循環され、残部は器外に排出される。また各効用段で凝
縮してできた２次純水は、第ｎ′効用段凝縮室（10′）
内の凝縮液収集部（30′）よりオリフィス開口部（3
1′）を通って２次純水溜室（12′）に入り一部自己蒸
発するとともに復水伝熱管（33′）外面で凝縮してでき
た２次純水と混合し、２次純水取出口（40）より器外に
送られる。
本実施例に示される超純水製造システムでは原水あるい
は１次純水を垂直伝熱管の管内に膜状に流下させて蒸発
せしめているが、この発明はこれに限定されることな
く、垂直伝熱管の管内を上昇させて蒸発せしめてもよ
い。また、原水あるいは１次純水と水平伝熱管の管外面
に流し蒸発せしめる多重効用蒸留器を用いてもよい。ま
た、原水あるいは１次純水中の伝熱管内に１次純水蒸気
あるいは２次純水蒸気を流し管内で各蒸気を凝集せし
め、管外の原水あるいは１次純水を蒸発せしめる浸管式
多重効用蒸留器を用いてもよい。
は１次純水を垂直伝熱管の管内に膜状に流下させて蒸発
せしめているが、この発明はこれに限定されることな
く、垂直伝熱管の管内を上昇させて蒸発せしめてもよ
い。また、原水あるいは１次純水と水平伝熱管の管外面
に流し蒸発せしめる多重効用蒸留器を用いてもよい。ま
た、原水あるいは１次純水中の伝熱管内に１次純水蒸気
あるいは２次純水蒸気を流し管内で各蒸気を凝集せし
め、管外の原水あるいは１次純水を蒸発せしめる浸管式
多重効用蒸留器を用いてもよい。
［発明の効果］ この発明によれば、１つのケーシング内を実質的に２つ
のユニットに区分し、１つのユニット内を１次純水系多
重効用蒸留に形成せしめ、残りのユニット内を２次純水
系多重効用蒸留部に形成せしめ、ケーシング内の空間を
最大限に利用し、原水および１次純水を蒸留し、その純
度を上げ２次純水を得るものである。したがって、この
発明の純水製造システムによれば、１次純水系と２次純
水系の多重効用蒸留器と連絡せしめる原水連絡配管、１
次純水蒸気連絡配管、１次純水連絡配管等の多数の配管
が不要となり、各配管上から大気へ熱が逃げることなく
純水化するため熱効率が良く、また、これら配管を構成
する配管、継手類ガスケットの使用材質中の不純物が１
次純水あるいは１次純水蒸気中に溶出したり、継手類か
ら器外中の微粒子、生菌類等の不純物の流入を防止で
き、またこれら多数の配管類を配置する必要がないため
製作費が安くなる。
のユニットに区分し、１つのユニット内を１次純水系多
重効用蒸留に形成せしめ、残りのユニット内を２次純水
系多重効用蒸留部に形成せしめ、ケーシング内の空間を
最大限に利用し、原水および１次純水を蒸留し、その純
度を上げ２次純水を得るものである。したがって、この
発明の純水製造システムによれば、１次純水系と２次純
水系の多重効用蒸留器と連絡せしめる原水連絡配管、１
次純水蒸気連絡配管、１次純水連絡配管等の多数の配管
が不要となり、各配管上から大気へ熱が逃げることなく
純水化するため熱効率が良く、また、これら配管を構成
する配管、継手類ガスケットの使用材質中の不純物が１
次純水あるいは１次純水蒸気中に溶出したり、継手類か
ら器外中の微粒子、生菌類等の不純物の流入を防止で
き、またこれら多数の配管類を配置する必要がないため
製作費が安くなる。
第１図〜第３図はこの発明の実施例を示し、第１図は水
平縦断面図、第２図は垂直縦断面図、第３図は第１図の
III−IIIにそう横断面図、第４図は従来例を示す第１図
相当の断面図である。
平縦断面図、第２図は垂直縦断面図、第３図は第１図の
III−IIIにそう横断面図、第４図は従来例を示す第１図
相当の断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 末松 日出雄 大阪府大阪市西区江戸堀１丁目６番14号 日立造船株式会社内 (56)参考文献 特開 昭52−11169（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−115493（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】１次純水系として多重効用蒸留装置を使用 し、２次純水系として別の多重効用蒸留装置を使用する
超純水製造装置において、ケーシング内が実質的に２つ
のユニットＡ、Ｂに区分され、各ユニットＡ、Ｂは複数
個の効用段に区分されて多重効用蒸留部を形成し、２つ
のユニットＡ、Ｂの１つのユニットＡが１次純水系多重
効用蒸留部となり、残りのユニットＢが２次純水系多重
効用蒸留部となり、ユニットＡの最低温の効用段から後
続のユニットＢの最高温効用段へ１次純水を導入する１
次純水導入手段を設け、かつ、ユニットＡの最低温効用
室で発生した１次純水蒸気を後続のユニットＢの最高温
効用段へ導入する１次純水蒸気導入手段およびユニット
Ｂの最高温効用段へ外部からの加熱蒸気を導入する加熱
蒸気導入手段の少なくとも１つの手段を設け、かつ、ユ
ニットＡの最低温効用段から器外へ原水濃縮液を排出す
る原水濃縮排出手段とユニットＢの最低温効用段から器
外へ１次純水濃縮液を排出する１次純水濃縮液排出手段
を設け、かつ、ユニットＢの最低温効用段または最低温
効用段近傍より２次純水を器外に取り出す２次純水取出
手段を設けたことを特徴とする多重効用蒸留器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170597A JPH0790211B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 超純水製造装置における多重効用蒸留器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1170597A JPH0790211B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 超純水製造装置における多重効用蒸留器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332791A JPH0332791A (ja) | 1991-02-13 |
| JPH0790211B2 true JPH0790211B2 (ja) | 1995-10-04 |
Family
ID=15907793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1170597A Expired - Lifetime JPH0790211B2 (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 超純水製造装置における多重効用蒸留器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0790211B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5211169A (en) * | 1975-07-18 | 1977-01-27 | Babcock Hitachi Kk | Pure water producing apparatus |
| JPS59115493U (ja) * | 1983-01-22 | 1984-08-04 | 石川島播磨重工業株式会社 | 多重効用蒸発装置 |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP1170597A patent/JPH0790211B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0332791A (ja) | 1991-02-13 |
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