JPH07772B2 - Pressure sensitive adhesive composition - Google Patents
Pressure sensitive adhesive compositionInfo
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- JPH07772B2 JPH07772B2 JP4073489A JP4073489A JPH07772B2 JP H07772 B2 JPH07772 B2 JP H07772B2 JP 4073489 A JP4073489 A JP 4073489A JP 4073489 A JP4073489 A JP 4073489A JP H07772 B2 JPH07772 B2 JP H07772B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は感圧接着剤組成物に関する。さらに詳しくは、
紫外線照射によって接着力を低減させることができる感
圧接着剤組成物に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive composition. For more details,
The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive composition capable of reducing the adhesive force by irradiation with ultraviolet rays.
[従来の技術・発明が解決しようとする課題] 一般に、基材シート上に感圧接着剤を塗布した感圧接着
性シートまたは粘着シートは、一般家庭および各種産業
分野において種々の用途に使用されている。したがっ
て、感圧接着性シートに対する要求特性も多様になって
おり、多岐の用途に応じて種々の機能が要求されるに至
っている。[Problems to be Solved by Conventional Techniques and Inventions] Generally, pressure-sensitive adhesive sheets or pressure-sensitive adhesive sheets obtained by coating a pressure-sensitive adhesive on a base sheet are used for various purposes in general households and various industrial fields. ing. Therefore, the required characteristics of the pressure-sensitive adhesive sheet have been diversified, and various functions have been required according to various uses.
たとえば、集積回路の製作に際して、シリコンウエハー
を所定の寸法に裁断して(ダイシングを行なって)ダイ
スをうるためには、いわゆるダイシングフィルムと呼ば
れる感圧接着性シート上にシリコンウエハーを載置し、
感圧接着により固定して裁断したのち、これをダイシン
グフィルムから剥離させてピックアップされる。したが
って、シリコンウエハーを正確にダイシングするために
は、ダイシング時にはダイシングフィルムがシリコンウ
エハーに対して強い接着力を有し、一方、えられたダイ
スをダイシングフィルムからピックアップするに際して
は、ダイシングフィルムの接着力が弱いことが必要であ
る。たとえばシリコンウエハーのダイシングに際して
は、一般にダイシングフィルムは100〜800g/25mm程度の
接着力を有し、一方、ダイスのピックアップに際して
は、ダイシングフィルムは数十g/25mm程度またはこれ以
下の接着力を有することが望ましいといわれている。For example, in manufacturing an integrated circuit, in order to obtain a dice by cutting the silicon wafer into a predetermined size (by dicing), the silicon wafer is placed on a pressure-sensitive adhesive sheet called a dicing film,
After fixing by pressure-sensitive adhesion and cutting, this is peeled off from the dicing film and picked up. Therefore, in order to accurately dice a silicon wafer, the dicing film has a strong adhesive force to the silicon wafer during dicing, while the dicing film has an adhesive force when picking up the obtained dice from the dicing film. Need to be weak. For example, when dicing a silicon wafer, the dicing film generally has an adhesive force of about 100 to 800 g / 25 mm, while when picking up a dice, the dicing film has an adhesive force of about several tens g / 25 mm or less. It is said that it is desirable.
また、ピックアップ前に粘着シートを延伸(エキスパン
ド)することにより、裁断したシリコンウエハー間の間
隔を拡げ、ピックアップしやすくする技術が近年採用さ
れてきている。このばあいには、その接着剤の基材とな
るシートの延伸に耐えうる特性も重要となる。Also, a technique has recently been adopted in which the pressure-sensitive adhesive sheet is stretched (expanded) before being picked up to increase the distance between the cut silicon wafers to facilitate picking up. In this case, the property of withstanding the stretching of the sheet as the base material of the adhesive is also important.
このように被着面に適用後に接着力を低減させることが
必要な際には、かかる特性を備えた感圧接着剤組成物
が、またピックアップ前に粘着シートをエキスパンドす
ることが必要な際には、かかる特性を備えた粘着シート
が必要とされ、これらについて種々の検討がなされてき
ている。In this way, when it is necessary to reduce the adhesive force after application to the adherend, a pressure-sensitive adhesive composition having such characteristics is used, and when it is necessary to expand the pressure-sensitive adhesive sheet before pickup. Requires a pressure-sensitive adhesive sheet having such characteristics, and various studies have been made on these.
たとえば特開昭62-153376号公報にはウレタンアクリレ
ートオリゴマーを使用する方法が開示されているが、ウ
レタンアクリレートオリゴマーが高分子量であり、紫外
線照射により接着力を低減させるためには長時間の照射
が必要であり、そのうえ接着力がそれほど低減せず、人
為的な剥離が必要であったりする。さらに被着物から剥
離させたばあいに、被着物に接着剤が残存(糊残り)す
ることがあり、その除去のために洗浄操作などが必要に
なる。とくに硬化後の接着剤層にフレキシビリティーが
ないと割れの現象が生じ、被着物への糊残りがおこりや
すくなる。For example, Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 62-153376 discloses a method using a urethane acrylate oligomer. However, since the urethane acrylate oligomer has a high molecular weight, it is necessary to irradiate it for a long time in order to reduce the adhesive strength by ultraviolet irradiation. In addition, the adhesive strength is not significantly reduced, and artificial peeling may be necessary. Further, when the adhesive is peeled off from the adherend, the adhesive may remain (adhesive residue) on the adherend, and a cleaning operation or the like is required to remove the adhesive. In particular, if the adhesive layer after curing does not have flexibility, the phenomenon of cracking occurs, and adhesive residue on the adherend easily occurs.
以上のように、被着面に適用後に接着力を低減させるこ
とが必要な際には、かかる特性を備えた感圧接着剤組成
物が必要とされているが、充分な性能を有するものが未
だ知られていないというのが実情である。As described above, when it is necessary to reduce the adhesive force after application to the adherend, a pressure-sensitive adhesive composition having such characteristics is required, but one having sufficient performance is required. The reality is that it is not known yet.
[課題を解決するための手段] 本発明者らは、最初は強い接着力を有し、必要に応じて
その接着力を低減させうる感圧接着剤をうるために鋭意
研究を重ねた結果、予期しないことに、弾性重合体と紫
外線架橋性アクリル酸エステルとを主成分として含有す
る混合物からなる感圧接着剤組成物が、これに紫外線を
照射するとき、その接着力が著しく低減することを見出
した。さらにポリイソシアネートを用いた感圧接着剤組
成物にすると、初期接着力は強いが、これに紫外線を照
射すると接着力が一層顕著に低減または実質的に消滅す
ること、さらに、かかる感圧接着剤組成物に含有させる
紫外線架橋性アクリル酸エステルとして、特定構造を有
するウレタン基含有(メタ)アクリル酸エステルを用い
ることにより、形成された接着剤層がフレキシビリティ
ーを有し、エキスパンド性にもすぐれることを見出し
て、本発明を完成するに至った。[Means for Solving the Problems] The inventors of the present invention have conducted intensive studies to obtain a pressure-sensitive adhesive that initially has a strong adhesive force and can reduce the adhesive force as needed. Unexpectedly, a pressure-sensitive adhesive composition comprising a mixture containing an elastic polymer and an ultraviolet-crosslinkable acrylic ester as a main component, when the composition is irradiated with ultraviolet rays, its adhesive force is significantly reduced. I found it. Further, when a pressure-sensitive adhesive composition using a polyisocyanate is used, the initial adhesive force is strong, but when it is irradiated with ultraviolet rays, the adhesive force is more significantly reduced or substantially disappears. By using a urethane group-containing (meth) acrylic acid ester having a specific structure as the UV-crosslinkable acrylic acid ester contained in the composition, the formed adhesive layer has flexibility and is immediately expandable. The present invention has been completed, and the present invention has been completed.
すなわち本発明は、 (a)弾性重合体 (b)紫外線架橋性(メタ)アクリル酸エステル (c)ポリイソシアネートおよび (d)一般式(1): (Bn1U−AmUB)n2 (1) (式中、Aは (R1、R2はいずれも飽和炭化水素基、不飽和炭化水素
基、2価の芳香族基およびそれらにオキシアルキレン基
が付加した2価の基から選ばれた基、またpは1〜10)
で示されるポリエステル基含有ジオール残基または‐OR
1O-(R1は前記に同じ)で示されるアルキレンジオール
残基、Bは (R3はHまたはCH3、R4は炭素数1〜5で(q+1)価
の炭化水素基、qは1〜5、q個のR3は同じである必要
はない)で示される(メタ)アクリル酸エステル含有
基、Uは (R1は前記に同じ)で示されるウレタン基、mは1〜1
0、n1およびn2はそれぞれ1以上であり、一般式(1)
で表わされる化合物の平均分子量が700〜2500となる
数)で示されるウレタン基含有紫外線架橋性(メタ)ア
クリル酸エステル を主成分として含有し、かつ(d)成分であるウレタン
基含有紫外線架橋性(メタ)アクリル酸エステルが、
(a)成分の弾性重合体100(重量部、以下同様)に対
して1〜150部使用されることを特徴とする紫外線照射
によって接着力を低減しうる感圧接着剤組成物 に関する。That is, the present invention provides (a) an elastic polymer, (b) a UV-crosslinkable (meth) acrylic acid ester, (c) a polyisocyanate, and (d) a general formula (1): (Bn 1 U-AmUB) n 2 (1) (In the formula, A is (Each of R 1 and R 2 is a saturated hydrocarbon group, an unsaturated hydrocarbon group, a divalent aromatic group or a divalent group obtained by adding an oxyalkylene group thereto, and p is 1 to Ten)
Polyester group-containing diol residue or -OR
An alkylenediol residue represented by 1 O- (R 1 is the same as above), and B is (R 3 is H or CH 3 , R 4 is a (q + 1) -valent hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, q is 1 to 5, and q R 3 s are not necessarily the same). (Meth) acrylic acid ester-containing group, U is (R 1 is the same as above), m is 1 to 1
0, n 1 and n 2 are each 1 or more and represented by the general formula (1)
Urethane compound-containing UV-crosslinkable compound represented by the formula (average number of 700 to 2500) (urethane group-containing UV-crosslinkable compound which contains (meth) acrylic acid ester as a main component and is (d) component) (Meth) acrylic acid ester
The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive composition capable of reducing the adhesive force by ultraviolet irradiation, which is used in an amount of 1 to 150 parts with respect to 100 parts (part by weight) of the elastic polymer (a).
本発明の組成物は、紫外線を照射しないときは強い接着
力を有し、これに紫外線を照射することにより、接着力
を著しく低減させることができ、エキスパンド性にもす
ぐれた性質を示す感圧接着剤組成物である。The composition of the present invention has a strong adhesive force when it is not irradiated with ultraviolet rays, and by irradiating it with ultraviolet rays, the adhesive force can be remarkably reduced, and the pressure-sensitive property exhibiting excellent expandability is exhibited. It is an adhesive composition.
[実施例] 従来、たとえば「接着ハンドブック(第2版)」(日本
接着協会編集、日刊工業新聞社発行、1980年)第398〜4
14頁に記載されているように、種々の感圧接着剤組成物
が知られている。[Examples] Conventionally, for example, "Adhesion Handbook (2nd Edition)" (edited by Japan Adhesive Association, published by Nikkan Kogyo Shimbun, 1980) Nos. 398-4
Various pressure sensitive adhesive compositions are known, as described on page 14.
代表的な感圧接着剤組成物は弾性重合体を主成分とし、
これに相溶性の良好な粘着付与剤や可塑剤、さらには、
必要に応じて充填剤、老化防止剤、着色剤などを配合
し、均一に混合した組成物である。A typical pressure sensitive adhesive composition is mainly composed of an elastic polymer,
Tackifiers and plasticizers with good compatibility with this, further,
A composition in which a filler, an antiaging agent, a colorant, and the like are blended as necessary and the components are uniformly mixed.
本発明においては、(a)成分の弾性重合体として、た
とえば飽和共重合ポリエステル樹脂、(メタ)アクリル
酸エステルの単独重合体、(メタ)アクリル酸エステル
の共重合体などが好ましいものとしてあげられるが、こ
れらに限定されるものではない。これらは単独で用いて
もよく、2種以上併用してもよい。In the present invention, as the elastic polymer as the component (a), for example, a saturated copolyester resin, a homopolymer of (meth) acrylic acid ester, a copolymer of (meth) acrylic acid ester and the like are preferable. However, it is not limited thereto. These may be used alone or in combination of two or more.
前記飽和共重合ポリエステル樹脂の具体例としては、た
とえば「工業材料」第25巻、第11号、第101〜106頁に記
載されているように、通常、異なる2種以上の飽和2価
カルボン酸と飽和2価アルコールとを重縮合させてえら
れるガラス転移点の比較的低い飽和共重合樹脂があげら
れる。通常、飽和2価カルボン酸として芳香族2価カル
ボン酸と脂肪族2価カルボン酸とが併用され、飽和2価
アルコールとして脂肪族または脂環式2価アルコール、
すなわち、グリコールが用いられるが、これらに限定さ
れるものではない。とくに、本発明に使用する飽和共重
合ポリエステル樹脂としては、芳香族2価カルボン酸/
脂肪族2価カルボン酸がモル比で80/20〜20/80、好まし
くは70/30〜50/50である飽和2価カルボン酸混合物とグ
リコールとを等モルにて重縮合させてえられる飽和共重
合ポリエステル樹脂が好ましく用いられる。Specific examples of the saturated copolyester resin are usually two or more kinds of different saturated divalent carboxylic acids, as described in "Industrial Materials", Vol. 25, No. 11, pp. 101-106. And a saturated copolymer resin having a relatively low glass transition point obtained by polycondensation of a saturated dihydric alcohol with a saturated dihydric alcohol. Usually, an aromatic divalent carboxylic acid and an aliphatic divalent carboxylic acid are used in combination as the saturated divalent carboxylic acid, and an aliphatic or alicyclic dihydric alcohol is used as the saturated dihydric alcohol.
That is, glycol is used, but is not limited thereto. In particular, the saturated copolyester resin used in the present invention includes aromatic divalent carboxylic acid /
Saturated obtained by polycondensation of a saturated divalent carboxylic acid mixture in which the aliphatic divalent carboxylic acid is in a molar ratio of 80/20 to 20/80, preferably 70/30 to 50/50 in an equimolar amount. Copolymerized polyester resin is preferably used.
前記芳香族2価カルボン酸としては、たとえばテレフタ
ル酸など、脂肪族2価カルボン酸としては、たとえばセ
バシン酸、アジピン酸など、グリコールとしては、たと
えばエチレングリコール、1,4-ブタンジオール、プロピ
レングリコールなどがあげられ、これらを用いてえられ
る飽和共重合ポリエステル樹脂が好ましく用いられる。
なお、飽和共重合ポリエステル樹脂を製造する際に、必
要に応じてカルボン酸成分として3価以上の飽和多価カ
ルボン酸や、3価以上の飽和多価アルコールが一部採用
されてもよい。Examples of the aromatic divalent carboxylic acid include terephthalic acid, examples of the aliphatic divalent carboxylic acid include sebacic acid and adipic acid, and examples of the glycol include ethylene glycol, 1,4-butanediol and propylene glycol. The saturated copolymerized polyester resin obtained by using these is preferably used.
In addition, when producing a saturated copolyester resin, a trivalent or more saturated polyvalent carboxylic acid or a trivalent or more saturated polyhydric alcohol may be partially used as a carboxylic acid component, if necessary.
前記(メタ)アクリル酸エステルの単独重合体または
(メタ)アクリル酸エステルの共重合体の具体例として
は、従来より(メタ)アクリル酸エステル系粘着剤とし
て知られている粘着剤がとくに限定なく使用されうる。
前記(メタ)アクリル酸エステル系粘着剤において弾性
重合体として用いられている重合体は、通常は単独重合
体および共重合体が使用できるが、(メタ)アクリル酸
エステルの共重合体が使用されるばあいが多い。この共
重合体は、通常、粘着性を有せしめるために低いガラス
転移点を有する重合体を形成するアクリル酸エチル、ア
クリル酸ブチル、アクリル酸‐2-エチルヘキシルなどの
アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、凝集性
を有せしめるために高いガラス転移点を有する硬い重合
体を形成するコモノマー、たとえば酢酸ビニル、アクリ
ロニトリル、スチレン、アクリル酸メチル、メタクリル
酸メチルなど、および架橋性や接着性の改良のためにカ
ルボン酸基、水酸基、アミド基、グリシジル基、ヒドロ
キシルメチル基などの官能基を有する単量体、たとえば
アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、ヒドロキシル
エチルメタクリレート、ヒドロキシルプロピルメタクリ
レート、アクリルアミド、グリシジルメタクリレートな
どのモノマーを共重合させてなる共重合体である。Specific examples of the (meth) acrylic acid ester homopolymer or (meth) acrylic acid ester copolymer include, but are not particularly limited to, pressure-sensitive adhesives conventionally known as (meth) acrylic acid ester-based pressure-sensitive adhesives. Can be used.
As the polymer used as the elastic polymer in the (meth) acrylic ester-based pressure-sensitive adhesive, a homopolymer or a copolymer can be usually used, but a copolymer of a (meth) acrylic ester is used. There are many cases. This copolymer usually contains an acrylic acid alkyl ester such as ethyl acrylate, butyl acrylate, and 2-ethylhexyl acrylate, which forms a polymer having a low glass transition point for imparting tackiness, as a main monomer. , Comonomers that form hard polymers with a high glass transition point to impart cohesiveness, such as vinyl acetate, acrylonitrile, styrene, methyl acrylate, methyl methacrylate, etc., and for improving crosslinkability and adhesion. Monomers having functional groups such as carboxylic acid group, hydroxyl group, amide group, glycidyl group, and hydroxylmethyl group, such as monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, hydroxylethyl methacrylate, hydroxylpropyl methacrylate, acrylamide, glycidyl methacrylate. Which is a copolymer comprising copolymerized.
本発明において用いる(b)成分となる紫外線架橋性
(メタ)アクリル酸エステルは、紫外線の照射によって
架橋するオリゴマーまたはモノマーとしてのアクリル酸
エステルまたはメタクリル酸エステルをいい、分子内に
少なくとも2つのアクリロイル基またはメタクリロイル
基を有する。具体的には、かかるオリゴマーとしては、
たとえばオリゴエステルアクリレートなどを、またモノ
マーとしては、たとえば1,6-ヘキサンジオールジアクリ
レート、トリメチロールプロパントリアクリレート、テ
トラメチロールメタンテトラアクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレートなどの多価アルコール
とアクリル酸のエステル、または1,6-ヘキサンジオール
ジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタク
リレート、テトラメチロールメタンテトラメタクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレートなど
の多価アルコールとメタクリル酸のエステルなどをあげ
ることができる。The UV-crosslinkable (meth) acrylic acid ester, which is the component (b) used in the present invention, means an acrylic acid ester or a methacrylic acid ester as an oligomer or a monomer which is crosslinked by irradiation of ultraviolet rays, and has at least two acryloyl groups in the molecule. Or it has a methacryloyl group. Specifically, as such an oligomer,
For example, oligoester acrylate and the like, and as the monomer, for example, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylolmethane tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and other polyhydric alcohol esters of acrylic acid, Alternatively, there may be mentioned esters of methacrylic acid with polyhydric alcohols such as 1,6-hexanediol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolmethane tetramethacrylate, and dipentaerythritol pentamethacrylate.
(b)成分である紫外線架橋性(メタ)アクリル酸エス
テルの使用量としては、(a)成分の弾性重合体100部
に対して一般に15〜200部程度が好ましく、50〜150部程
度がさらに好ましい。(b)成分の使用量が15部未満に
なるとえられる接着剤組成物に紫外線を照射してもその
接着力は実質的に変化せず、200部をこえると紫外線照
射によって、その接着力を低減させることはできるが、
たとえばシリコーンウェハーのダイシング後のダイスの
ピックアップ時にダイスに接着剤が残留することがあり
好ましくない。The amount of the UV-crosslinkable (meth) acrylic acid ester which is the component (b) is generally preferably about 15 to 200 parts, more preferably about 50 to 150 parts per 100 parts of the elastic polymer of the component (a). preferable. When the amount of the component (b) used is less than 15 parts, the adhesive strength of the adhesive composition is not substantially changed by irradiating the adhesive composition with ultraviolet rays. Can be reduced,
For example, the adhesive may remain on the dice when picking up the dice after dicing a silicone wafer, which is not preferable.
本発明に用いる(c)成分であるポリイソシアネートに
は、とくに限定はなく、ポリイソシアネートである限り
使用しうるが、ジイソシアネートおよびトリイソシアネ
ートが工業的に入手容易であり、使用される。The polyisocyanate which is the component (c) used in the present invention is not particularly limited and any polyisocyanate can be used, but diisocyanates and triisocyanates are industrially readily available and used.
前記ジイソシアネートの具体例としては、たとえば2,4-
トルエンジイソシアネート、m-フェニレンジイソシアネ
ート、m-キシリレンジイソシアネート、4,4′‐ジフェ
ニルジイソシアネート、4,4′‐ジフェニルメタンジイ
ソシアネート、1,5-ナフタレンジイソシアネート、イソ
ホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネ
ートなどがあげられる。Specific examples of the diisocyanate include 2,4-
Examples thereof include toluene diisocyanate, m-phenylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, 4,4'-diphenyl diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 1,5-naphthalene diisocyanate, isophorone diisocyanate, and hexamethylene diisocyanate.
トリイソシアネートも種々のものが市販されており、た
とえば住友化学工業(株)より「スミジュールL」とし
て市販されているトリメチロールプロパントルエントリ
イソシアネートなどが、本発明に用いるトリイソシアネ
ートの好適な具体例の一例としてあげることができる。Various triisocyanates are also commercially available, for example, trimethylolpropane toluentisocyanate commercially available as "Sumijour L" from Sumitomo Chemical Co., Ltd. is a preferred specific example of the triisocyanate used in the present invention. Can be given as an example.
また、ジイソシアネートとポリオールとをジイソシアネ
ートの過剰量の存在下で反応させてえられる末端イソシ
アネート化合物、たとえば一般式(1)で示される化合
物の中間体としてえられるウレタンオリゴマーもポリイ
ソシアネートとして用いることができる。Further, a terminal isocyanate compound obtained by reacting a diisocyanate and a polyol in the presence of an excessive amount of diisocyanate, for example, a urethane oligomer obtained as an intermediate of a compound represented by the general formula (1) can also be used as the polyisocyanate. .
(c)成分であるポリイソシアネートの使用量として
は、(a)成分の弾性重合体100部に対して0.1〜20部が
好ましく、1〜15部がさらに好ましい。The amount of the polyisocyanate used as the component (c) is preferably 0.1 to 20 parts, more preferably 1 to 15 parts, per 100 parts of the elastic polymer of the component (a).
本発明においては、(d)成分として一般式(1): (Bn1U−AmUB)n2 (1) (式中、Aは (R1、R2はいずれも飽和炭化水素基、不飽和炭化水素
基、2価の芳香族基およびそれらにオキシアルキレン基
が付加した2価の基から選ばれた基、またpは1〜10)
で示されるポリエステル基含有ジオール残基または‐OR
1O-(R1は前記に同じ)で示されるアルキレンジオール
残基、Bは (R3はHまたはCH3、R4は炭素数1〜5で(q+1)価
の炭化水素基、qは1〜5、qが2以上のばあいq個の
R3は同じである必要はない)で示される(メタ)アクリ
ル酸エステル含有基、Uは (R1は前記に同じ)で示されるウレタン基、mは1〜1
0、n1およびn2はそれぞれ1以上であり、一般式(1)
で表わされる化合物の平均分子量が700〜2500となる
数)で示されるウレタン基含有紫外線架橋性(メタ)ア
クリル酸エステルが使用される。In the present invention, as the component (d), the general formula (1): (Bn 1 U-AmUB) n 2 (1) (wherein A is (Each of R 1 and R 2 is a saturated hydrocarbon group, an unsaturated hydrocarbon group, a divalent aromatic group or a divalent group obtained by adding an oxyalkylene group thereto, and p is 1 to Ten)
Polyester group-containing diol residue or -OR
An alkylenediol residue represented by 1 O- (R 1 is the same as above), and B is (R 3 is H or CH 3 , R 4 is a (q + 1) -valent hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, q is 1 to 5, and when q is 2 or more, q
R 3 does not have to be the same), a (meth) acrylic acid ester-containing group represented by (R 1 is the same as above), m is 1 to 1
0, n 1 and n 2 are each 1 or more and represented by the general formula (1)
The urethane group-containing UV-crosslinkable (meth) acrylic acid ester represented by the formula (7), which has an average molecular weight of 700 to 2500, is used.
(d)成分は紫外線硬化後の接着剤層のフレキシビリテ
ィーおよびエキスパンド性を改良するために使用される
成分であり、一般式(1)中のAの部分は主として他成
分との相溶性向上、硬化物物性の向上、Bの部分は主と
して紫外線硬化性、Uの部分は主として樹脂のフレキシ
ビリティー、エキスパンド性の向上としての作用をはた
す。The component (d) is a component used to improve the flexibility and expandability of the adhesive layer after UV curing, and the portion A in the general formula (1) mainly improves the compatibility with other components. , The physical properties of the cured product are improved, the B part is mainly UV curable, and the U part is mainly the flexibility and expandability of the resin.
一般式(1)におけるAは、 で示されるポリエステル基含有ジオール残基または‐OR
1O-で示されるアルキレンジオール残基であり、前記残
基中のR1、R2がいずれも飽和炭化水素基、不飽和炭化水
素基、2価の芳香族基およびそれらにオキシアルキレン
基が1個以上、好ましくは2〜10個程度付加した2価の
基から選ばれた基であり、pが1〜10であり、式(1)
の分子量700〜2500の範囲内になるように変更可能であ
り、実質上、分子量が大きいほどフレキシビリティー、
エキスパンド性は向上するが、大きすぎると紫外線硬化
速度が遅くなり、紫外線照射後の接着力が低下しない原
因となる。A in the general formula (1) is Polyester group-containing diol residue or -OR
1 O- is an alkylene diol residue, wherein R 1 and R 2 in the residue are both saturated hydrocarbon group, unsaturated hydrocarbon group, divalent aromatic group and oxyalkylene group It is a group selected from divalent groups in which one or more, preferably about 2 to 10 are added, and p is 1 to 10, and has the formula (1)
The molecular weight can be changed to be in the range of 700 to 2500, and in practice, the larger the molecular weight, the greater flexibility,
The expandability is improved, but if it is too large, the ultraviolet curing speed becomes slow, which causes the adhesive strength after the irradiation of ultraviolet rays not to decrease.
また、一般式(1)におけるBは で示される(メタ)アクリル酸エステル基であり、該基
中のR3はHまたはCH3、R4は炭素数1〜5で(q+1)
価の炭化水素基であり、qが1〜5であるため、紫外線
硬化時の硬化が速く、糊残りが少なくなる。B in the general formula (1) is Is a (meth) acrylic acid ester group, wherein R 3 is H or CH 3 , and R 4 has 1 to 5 carbon atoms (q + 1)
Since it is a valent hydrocarbon group and q is 1 to 5, the curing at the time of ultraviolet curing is fast and the adhesive residue is small.
さらに、一般式(1)におけるUが で示されるウレタン基であるため、紫外線硬化後の接着
剤層のフレキシビリティー、エキスパンド性の向上に寄
与する。Furthermore, U in the general formula (1) is Since it is a urethane group represented by, it contributes to the improvement of flexibility and expandability of the adhesive layer after ultraviolet curing.
一般式(1)におけるmはフレキシビリティー、エキス
パンド性の向上の意味からは、大きいほど好ましいが、
大きすぎるとpと同様に紫外線硬化速度が遅く、接着力
が低減しにくくなるという点から1〜10、好ましくは1
〜2であり、n1およびn2はいずれも1以上でn1+n2≧
2、好ましくは4≧n1+n2≧1であるのが、一般式
(1)で示されるウレタン基含有(メタ)アクリル酸エ
ステルの平均分子量が700〜2500、好ましくは1000〜250
0のものが使用されるということもあわせて好ましい。
なお、一般式(1)で示されるウレタン基含有(メタ)
アクリル酸エステルの平均分子量が700よりも小さいば
あいは糊残りが多くなり、2500よりも大きいばあいには
紫外線照射後の接着力が低下しなくなり、好ましくな
い。From the viewpoint of improving flexibility and expandability, m in the general formula (1) is preferably as large as possible.
If it is too large, the ultraviolet curing rate is slow like p and it becomes difficult to reduce the adhesive strength, so that 1 to 10, preferably 1
˜2, both n 1 and n 2 are 1 or more, and n 1 + n 2 ≧
2, preferably 4 ≧ n 1 + n 2 ≧ 1, the average molecular weight of the urethane group-containing (meth) acrylic acid ester represented by the general formula (1) is 700 to 2500, preferably 1000 to 250.
It is also preferable that 0 is used.
The urethane group-containing (meth) represented by the general formula (1)
If the average molecular weight of the acrylic ester is less than 700, the adhesive residue will be large, and if it is more than 2500, the adhesive strength after ultraviolet irradiation will not decrease, which is not preferable.
一般式(1)で示される化合物は、ジオール成分とイソ
シアネート成分との反応によって合成される末端イソシ
アネート化ウレタンオリゴマーと、(メタ)アクリロイ
ルオキシ基含有ヒドロキシル化合物との反応によってえ
られる末端(メタ)アクリル酸エステル化ウレタン化合
物である。The compound represented by the general formula (1) is a terminal (meth) acryl obtained by reacting a terminal isocyanate isocyanate urethane synthesized by a reaction between a diol component and an isocyanate component with a (meth) acryloyloxy group-containing hydroxyl compound. It is an acid esterified urethane compound.
一般式(1)で示される化合物の合成に用いるジオール
成分は、前記のごとくアルキレンジオールであってもよ
く、ポリエステル基含有ジオール、ポリオキシアルキレ
ン基含有ジオールなどであってもよい。たとえば1,4-ブ
タンジオール、1,6-ヘキサンジオールなどの脂肪族ジオ
ール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコ
ール、ポリテトラエチレングリコールなどのポリオキシ
アルキレングリコール、脂肪族ジオールのアルキレンオ
キサイド付加物、ビスフェノールAアルキレンオキサイ
ド付加体などの芳香族基含有ポリオキシアルキレングリ
コールなどの両末端ヒドロキシ化合物、さらには前記ヒ
ドロキシ化合物とコハク酸、フマル酸、アジピン酸、フ
タル酸などのジカルボン酸化合物とのエステル化によっ
てえられる両末端ヒドロキシポリエスル化合物などをあ
げることができる。The diol component used in the synthesis of the compound represented by the general formula (1) may be an alkylene diol as described above, a polyester group-containing diol, a polyoxyalkylene group-containing diol, or the like. For example, 1,4-butanediol, 1,6-hexanediol and other aliphatic diols, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetraethylene glycol and other polyoxyalkylene glycols, aliphatic diol alkylene oxide adducts, bisphenol A alkylene oxides. Both ends hydroxy compound such as an aromatic group-containing polyoxyalkylene glycol such as an adduct, and further both ends obtained by esterification of the hydroxy compound with a dicarboxylic acid compound such as succinic acid, fumaric acid, adipic acid or phthalic acid Examples thereof include hydroxypolyester compounds.
また、イソシアネート成分としては、ジイソシアネート
やトリイソシアネートが好適であり、ジイソシアネート
としては、たとえば2,4-トルエンジイソシアネート、m-
フェニレンジイソシアネート、m-キシリレンジイソシア
ネート、4,4′‐ジフェニルジイソシアネート、4,4′‐
ジフェニルメタンジイソシアネート、1,5-ナフタレンジ
イソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジアニ
シジンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネ
ートなどを例示することができる。The isocyanate component is preferably diisocyanate or triisocyanate, and examples of the diisocyanate include 2,4-toluene diisocyanate and m-
Phenylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, 4,4'-diphenyl diisocyanate, 4,4'-
Examples thereof include diphenylmethane diisocyanate, 1,5-naphthalene diisocyanate, isophorone diisocyanate, dianisidine diisocyanate and hexamethylene diisocyanate.
また、トリイソシアネートとしては、たとえばトリフェ
ニルメタントリイソシアネート、トリメチロールプロパ
ンのトリレントリイソシアネート付加体(たとえば日本
ポリウレタン工業(株)製のコロネートL)などがあげ
られる。Examples of triisocyanates include triphenylmethane triisocyanate and tolylene triisocyanate adducts of trimethylolpropane (for example, Coronate L manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.).
(メタ)アクリロイルオキシ基含有ヒドロキシル化合物
の具体例としては、たとえばヒドロキシエチルアクリレ
ート、ヒドロキシプロピルアクリレート、トリメチロー
ルプロパンジアクリレート、グリセリンジアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリアクリレート、さらには
これらのアクリレートがメタクリレートになったメタク
リレート類などがあげられる。Specific examples of the (meth) acryloyloxy group-containing hydroxyl compound include, for example, hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl acrylate, trimethylolpropane diacrylate, glycerin diacrylate, pentaerythritol triacrylate, and methacrylates obtained by converting these acrylates into methacrylates. Kind and the like.
一般式(1)で示されるウレタン基含有紫外線架橋性
(メタ)アクリル酸エステルの具体例としては、たとえ
ばビスフェノールAのエチレンオキシド4モル付加物
(1モル)とキシレンジイソシアネート(2モル)およ
びヒドロキシエチルアクリレート(2モル)の反応物;
ビスフェノールAのエチレンオキシド4モル反応物(2
モル)とイソホロンジイソシアネート(3モル)および
ヒドロキシエチルアクリレート(2モル)の反応物;1,6
-ヘキサンジオール(5モル)とアジピン酸(4モル)
とのエステル化でできるポリエステルジオール(1モ
ル)と2,4-トルエンジイソシアネート(2モル)、グリ
セリンジアクリレート(1モル)、ヒドロキシプロピル
アクリレート(1モル)の反応物;ジエチレングリコー
ル(6モル)とコハク酸(5モル)とのエステル化でで
きるポリエステルジオール(1モル)とキシリレンジイ
ソシアネート(2モル)、ヒドロキシプロピルアクリレ
ート(2モル)との反応物;ビスフェノールAのエチレ
ンオキシド4モル付加物(2モル)とキシリレンジイソ
シアネート(3モル)、ヒドロキシエチルアクリレート
(1モル)、ペンタエリスリトールトリアクリレート
(1モル)の反応物などがあげられる。Specific examples of the urethane group-containing UV-crosslinkable (meth) acrylic acid ester represented by the general formula (1) include, for example, 4 mol of ethylene oxide adduct of bisphenol A (1 mol), xylene diisocyanate (2 mol) and hydroxyethyl acrylate. (2 mol) reactant;
Bisphenol A ethylene oxide 4 mol reaction product (2
Reaction product of isophorone diisocyanate (3 mol) and hydroxyethyl acrylate (2 mol); 1,6
-Hexanediol (5 mol) and adipic acid (4 mol)
Reaction product of polyester diol (1 mol) formed by esterification with 2,4-toluene diisocyanate (2 mol), glycerin diacrylate (1 mol), hydroxypropyl acrylate (1 mol); diethylene glycol (6 mol) and amber Reaction product of polyester diol (1 mol) formed by esterification with acid (5 mol), xylylene diisocyanate (2 mol) and hydroxypropyl acrylate (2 mol); 4 mol ethylene oxide adduct of bisphenol A (2 mol) And a reaction product of xylylene diisocyanate (3 mol), hydroxyethyl acrylate (1 mol), pentaerythritol triacrylate (1 mol), and the like.
(d)成分である一般式(1)で示されるウレタン基含
有紫外線架橋性(メタ)アクリル酸エステルは、(a)
成分の弾性重合体100部に対して5〜150部使用するの
が、初期接着力が強く、紫外線照射による接着力の低減
が大きく、紫外線照射後にピックアップしたときの糊残
りが少なく、エキスパンド性が良好になるなどの点から
好ましく、10〜130部であるのがさらに好ましい。The urethane group-containing UV-crosslinkable (meth) acrylic acid ester represented by the general formula (1), which is the component (d), is (a)
Using 5 to 150 parts per 100 parts of the elastic polymer of the component, the initial adhesive strength is strong, the adhesive strength is greatly reduced by UV irradiation, the adhesive residue when picked up after UV irradiation is small, and the expandability is high. It is preferable in terms of goodness, and more preferably 10 to 130 parts.
本発明による感圧接着剤組成物には、通常光重合開始剤
が含有され、さらに光増感剤を含有せしめてもよく、ま
た重合禁止剤を含有せしめてもよい。The pressure-sensitive adhesive composition according to the present invention usually contains a photopolymerization initiator, and may further contain a photosensitizer and may also contain a polymerization inhibitor.
前記光重合開始剤は、前記紫外線架橋性アクリル酸エス
テルの紫外線照射による架橋重合のために用いられる。
このような光重合開始剤は、一般に紫外線架橋重合の技
術分野においてよく知られており、本発明においては従
来より一般によく知られている光重合開始剤を用いるこ
とができる。かかる重合開始剤の具体例としては、たと
えばベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピ
ルエーテルなどのベンゾインアルキルエーテル類や、ベ
ンゾイン、ベンジル、ベンゾフェノンなどの芳香族オキ
シケトン類や芳香族ケトン類をあげることができるが、
これらに限定されるものではない。The photopolymerization initiator is used for cross-linking polymerization of the UV-crosslinkable acrylic ester by UV irradiation.
Such a photopolymerization initiator is generally well known in the technical field of ultraviolet crosslinking polymerization, and in the present invention, a photopolymerization initiator generally well known from the past can be used. Specific examples of such a polymerization initiator include benzoin alkyl ethers such as benzoin methyl ether and benzoin isopropyl ether, and aromatic oxyketones and aromatic ketones such as benzoin, benzyl and benzophenone.
It is not limited to these.
前記重合禁止剤は、(d)成分である一般式(1)で表
わされる化合物およひ(b)成分である紫外線架橋性
(メタ)アクリル酸エステルが紫外線照射によらず、た
とえば熱によって重合することを防止するために添加さ
れるものであり、かかる重合禁止剤として従来より知ら
れている通常の重合禁止剤を用いることができる。この
ような重合禁止剤としては、たとえばハイドロキノン、
ハイドロキノンモノメチルエーテルなどをあげることが
できる。As the polymerization inhibitor, the compound represented by the general formula (1) which is the component (d) and the UV-crosslinkable (meth) acrylic acid ester which is the component (b) are polymerized by, for example, heat without being irradiated with UV rays. It is added in order to prevent this, and a conventional polymerization inhibitor conventionally known as such a polymerization inhibitor can be used. Examples of such a polymerization inhibitor include hydroquinone,
Examples thereof include hydroquinone monomethyl ether.
前記光重合開始剤および重合禁止剤の配合量は、紫外線
重合の技術分野において一般に使用されているところに
従えばよく、たとえば重合開始剤のばあい、(b)およ
び(d)成分の合計量100部に対して1〜20部程度が好
ましく、重合禁止剤のばあい、必要に応じて0.01〜1部
の範囲で用いられる。The photopolymerization initiator and the polymerization inhibitor may be blended in the amounts generally used in the technical field of ultraviolet polymerization. For example, in the case of a polymerization initiator, the total amount of the components (b) and (d) may be used. About 1 to 20 parts is preferable with respect to 100 parts, and in the case of a polymerization inhibitor, it is used in the range of 0.01 to 1 part if necessary.
本発明の感圧接着剤組成物は、前記配合量にて弾性重合
体、紫外線架橋性(メタ)アクリル酸エステル、一般式
(1)で表わされるウレタン基含有紫外線架橋性アクリ
ル酸エステルおよびポリイソシアネートを、必要に応じ
て重合開始剤、アクリル酸エステル系粘着付与剤、重合
禁止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤などとともに、こ
れらを溶解する適当な有機溶剤、たとえば芳香族炭化水
素類、ケトン類、これらの混合溶剤などに溶解させるこ
とによって均一な溶液状組成物としてうることができ
る。具体的な溶剤としては、たとえばトルエンとメチル
エチルケトンとの混合溶剤が好ましく用いられるが、こ
れに限定されるものではない。The pressure-sensitive adhesive composition of the present invention comprises an elastic polymer, a UV-crosslinkable (meth) acrylic acid ester, a urethane group-containing UV-crosslinkable acrylic acid ester represented by the general formula (1) and a polyisocyanate in the above-mentioned blending amount. A polymerization initiator, an acrylic acid ester-based tackifier, a polymerization inhibitor, a filler, an antioxidant, a colorant, etc., if necessary, and a suitable organic solvent that dissolves these, for example, an aromatic hydrocarbon, A homogeneous solution composition can be obtained by dissolving it in a ketone, a mixed solvent thereof, or the like. As a specific solvent, for example, a mixed solvent of toluene and methyl ethyl ketone is preferably used, but the solvent is not limited thereto.
また、感圧接着剤組成物における弾性重合体の含有量
は、用途などに応じて適宜に選べばよいが、通常、10〜
50%(重量%、以下同様)の範囲である。しかし、この
範囲に限定されるものではない。The content of the elastic polymer in the pressure-sensitive adhesive composition may be appropriately selected depending on the application etc., but is usually 10 to
It is in the range of 50% (% by weight, the same applies hereinafter). However, it is not limited to this range.
本発明の感圧接着剤組成物の調製方法には何ら制限はな
いが、通常、弾性重合体および粘着付与剤は溶液の形態
にて市販されており、これらを使用することが便利であ
るので、たとえばこれらの溶液を混合し、これに紫外線
架橋性(メタ)アクリル酸エステル、一般式(1)で表
わされるウレタン基含有紫外線架橋性アクリル酸エステ
ルおよびポリイソシアネート、さらに必要に応じて重合
開始剤、アクリル酸エステル重合禁止剤、充填剤、老化
防止剤、着色剤などを添加混合し、溶解させればよい。There is no limitation on the method for preparing the pressure-sensitive adhesive composition of the present invention, but normally, the elastic polymer and the tackifier are commercially available in the form of a solution, and it is convenient to use these. For example, a mixture of these solutions is added thereto, and an ultraviolet crosslinkable (meth) acrylic acid ester, a urethane group-containing ultraviolet crosslinkable acrylic acid ester represented by the general formula (1) and a polyisocyanate, and, if necessary, a polymerization initiator The acrylic ester polymerization inhibitor, the filler, the antiaging agent, the colorant and the like may be added and mixed and dissolved.
さらに、本発明の感圧接着剤組成物には、必要に応じ
て、液状ポリアクリル酸エステル、液状ポリフテン、鉱
油、ラノリンなどの可塑剤などを適宜に含有せしめても
よい。Further, the pressure-sensitive adhesive composition of the present invention may optionally contain a plasticizer such as liquid polyacrylic acid ester, liquid polyphthene, mineral oil, lanolin, and the like.
本発明の感圧接着剤組成物は、たとえば紫外線を透過さ
せうる基材シート上に感圧接着剤組成物の層が形成さ
れ、感圧接着性シートとして使用される。したがって、
たとえば前述のごとき液状の感圧性接着剤組成物が基材
シート上に塗布され、乾燥せしめられることによって前
記感圧接着性シートが製造される。The pressure-sensitive adhesive composition of the present invention is used, for example, as a pressure-sensitive adhesive sheet by forming a layer of the pressure-sensitive adhesive composition on a base sheet that allows transmission of ultraviolet rays. Therefore,
For example, the pressure-sensitive adhesive sheet is produced by applying the liquid pressure-sensitive adhesive composition as described above onto the substrate sheet and drying it.
前記基材シートとしては、紫外線を透過しうるシートで
ある限りとくに制限はなく、種々のシートを用いること
ができるが、通常は、透明〜半透明の合成樹脂シートが
用いられる。このような合成樹脂シートの具体例として
は、たとえば塩化ビニル樹脂、塩化ビニル‐塩化ビニリ
デン共重合体、塩化ビニル‐酢酸ビニル共重合体、塩化
ビニリデン樹脂、ポリオレフィン、アセチルセルロー
ス、ポリビニルアルコール、ポリアミド、ポリエステ
ル、ポリカーボネートなどからなる厚さ50〜300μm程
度の樹脂シートが好適に用いられる。The base sheet is not particularly limited as long as it is a sheet that can transmit ultraviolet rays, and various sheets can be used, but normally a transparent to translucent synthetic resin sheet is used. Specific examples of such synthetic resin sheet include, for example, vinyl chloride resin, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinylidene chloride resin, polyolefin, acetyl cellulose, polyvinyl alcohol, polyamide, polyester. A resin sheet having a thickness of about 50 to 300 μm and made of polycarbonate or the like is preferably used.
基材シートとして用いる前記樹脂シートのなかでも、ポ
リ塩化ビニルまたは塩化ビニル‐塩化ビニリデン共重合
体、塩化ビニル‐酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル‐ア
クリル酸エステル共重合体などの塩化ビニル共重合体か
らなる樹脂シートは、柔軟であり、さらに廉価であるの
で、とくに好ましい。Among the resin sheets used as the base sheet, polyvinyl chloride or vinyl chloride copolymers such as vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride-acrylic acid ester copolymer, etc. The resin sheet made of is particularly preferable because it is flexible and inexpensive.
塩化ビニル系樹脂シートのほかにも、柔軟性を有する基
材シートとして、たとえばポリ塩化ビニリデン、アセチ
ルセルロースなど製のシートが好適に使用されうる。In addition to the vinyl chloride resin sheet, as a flexible base sheet, for example, a sheet made of polyvinylidene chloride, acetyl cellulose, or the like can be preferably used.
感圧接着性シートの基材樹脂シートとして、可塑剤を含
有する樹脂シートを用いるばあいは、この樹脂シートか
ら可塑剤が感圧接着剤組成物中に移行し、また、樹脂シ
ートによっては紫外線架橋性アクリル酸エステルとは相
溶性がよいために、感圧接着剤組成物に含まれる紫外線
架橋性アクリル酸エステルが樹脂シート中に移行し、こ
のような相互移行によって、感圧接着性シートの紫外線
照射後の接着力の低減効果が著しく減少する。When a resin sheet containing a plasticizer is used as the base resin sheet of the pressure-sensitive adhesive sheet, the plasticizer migrates from this resin sheet into the pressure-sensitive adhesive composition, and, depending on the resin sheet, ultraviolet rays Since it has good compatibility with the crosslinkable acrylic ester, the UV crosslinkable acrylic ester contained in the pressure-sensitive adhesive composition migrates into the resin sheet, and by such mutual migration, the pressure-sensitive adhesive sheet The effect of reducing the adhesive strength after ultraviolet irradiation is significantly reduced.
したがって、本発明においては、感圧接着性シートの基
材シートとして、この基材シートと感圧接着性シートと
の間に可塑剤および紫外線架橋性アクリル酸エステルを
透過させない樹脂層からなるバリヤー層を介在させるこ
とが好ましい。ただし、このバリヤー層は、紫外線の透
過を妨げるものであってはならない。Therefore, in the present invention, as the base material sheet of the pressure-sensitive adhesive sheet, a barrier layer made of a resin layer that does not allow the plasticizer and the UV-crosslinkable acrylic ester to pass between the base material sheet and the pressure-sensitive adhesive sheet. Is preferably interposed. However, this barrier layer must not prevent the transmission of ultraviolet rays.
すなわち、このバリヤー層は、紫外線の透過は何ら妨げ
ないが、基材樹脂シートに含まれている可塑剤が感圧接
着剤組成物中に移行するのを阻止するとともに、感圧接
着剤組成物に含まれている紫外線架橋性アクリル酸エス
テルが基材樹脂シートに移行するのを阻止し、このよう
にして、基材樹脂シートに含まれている可塑剤をこの基
材中に保持し、感圧接着剤組成物に含まれている紫外線
架橋性アクリル酸エステルを接着剤組成物中に保持す
る。That is, this barrier layer does not hinder the transmission of ultraviolet rays at all, but prevents the plasticizer contained in the base resin sheet from migrating into the pressure-sensitive adhesive composition, and at the same time, the pressure-sensitive adhesive composition. The UV-crosslinkable acrylic acid ester contained in the base resin sheet is prevented from migrating to the base resin sheet, and thus, the plasticizer contained in the base resin sheet is retained in the base material, The UV-crosslinkable acrylic ester contained in the pressure-sensitive adhesive composition is retained in the adhesive composition.
前記バリヤー層としては、ポリエチレン、ポリプロピレ
ンなどのポリ‐α‐オレフィン、ポリエチレンテレフタ
レートなどのポリアルキレンテレフタレートのフィルム
や、樹脂塗膜、たとえば変性ポリアクリル樹脂などの樹
脂塗膜層が好適に用いられる。したがって、バリヤー層
は、基材樹脂シート上に前記例示した樹脂からなるフィ
ルムを圧着し、またはこの樹脂の溶融液を塗布して冷却
し、または上記樹脂の溶液を塗布し、乾燥することによ
って、形成することができる。また、たとえば変性ポリ
アクリル樹脂溶液を塗布し、必要に応じて加熱乾燥させ
て、塗膜を形成させることによっても、バリヤー層をう
ることができる。As the barrier layer, a film of poly-α-olefin such as polyethylene or polypropylene, a polyalkylene terephthalate such as polyethylene terephthalate, or a resin coating film such as a modified polyacrylic resin coating film layer is preferably used. Therefore, the barrier layer is obtained by pressure-bonding a film made of the above-exemplified resin on the base resin sheet, or by applying a melt of the resin and cooling, or by applying a solution of the above resin and drying, Can be formed. The barrier layer can also be obtained by, for example, applying a modified polyacrylic resin solution and heating and drying it as necessary to form a coating film.
前記変性ポリアクリル樹脂としては、従来、種々のもの
が知られているが、本発明においては、一般に耐溶剤性
にすぐれ、したがって、紫外線架橋性アクリル酸エステ
ルや基材樹脂シートに含まれる可塑剤に溶解、膨潤しな
いアルキド変性ポリアクリル樹脂や、熱硬化型ポリアク
リル樹脂が好適である。熱硬化ポリアクリル樹脂として
は、たとえば酸型、水酸基型、エポキシ型、アミド型な
どが好適に用いられる。As the modified polyacrylic resin, various kinds have been conventionally known, but in the present invention, generally, they are excellent in solvent resistance, and therefore, a plasticizer contained in the ultraviolet-crosslinkable acrylic ester or the base resin sheet. An alkyd-modified polyacrylic resin that does not dissolve and swell in water and a thermosetting polyacrylic resin are preferable. As the thermosetting polyacrylic resin, for example, acid type, hydroxyl type, epoxy type, amide type and the like are preferably used.
しかし、本発明においては、バリヤー層は前述したよう
に感圧接着剤組成物に含まれる紫外線架橋性アクリル酸
エステルおよび基材樹脂シートに含まれる可塑剤を実質
的に透過させない限りは、とくにその素材において制限
されるものではないことは容易に理解されるところであ
って、本発明において用いられる個々の具体的な紫外線
架橋性アクリル酸エステルおよび可塑剤に応じて選択さ
れる。However, in the present invention, as long as the barrier layer does not substantially permeate the UV-crosslinkable acrylic acid ester contained in the pressure-sensitive adhesive composition and the plasticizer contained in the base resin sheet as described above, the barrier layer is particularly preferable. It will be readily understood that the materials are not limiting and will be selected according to the particular UV-crosslinkable acrylic ester ester and plasticizer used in the present invention.
つぎに実施例に基づき本発明の組成物をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。Next, the composition of the present invention will be described in more detail based on examples, but the present invention is not limited to these examples.
合成例1(ウレタンアクリレートAの合成例) 2-ヒドロキシエチルアクリレート116g(1モル)および
重合禁止剤であるハイドロキノンモノメチルエーテル0.
25gを1容四つ口フラスコに入れ、攪拌した。内温を6
0℃まで加温して、キシリレンジイソシアネート188g
(1モル)を添加した。発熱するので、必要に応じて冷
却し、内温を80℃以下に押さえるようにした。添加後2
時間で発熱はおさまったが、さらに75〜80℃にて1時間
攪拌を続けた。Synthesis Example 1 (Synthesis Example of Urethane Acrylate A) 116 g (1 mol) of 2-hydroxyethyl acrylate and hydroquinone monomethyl ether which is a polymerization inhibitor.
25 g was put into a 1-volume four-necked flask and stirred. Inner temperature 6
After heating to 0 ℃, xylylene diisocyanate 188g
(1 mol) was added. Since it generates heat, it was cooled as necessary to keep the internal temperature below 80 ° C. After addition 2
The exotherm subsided over time, but stirring was continued at 75-80 ° C for 1 hour.
つぎにグリセリンジアクリレート(ヒドロキシル価28
0、ケン化価562、臭素価160)200g(1モル)を添加
し、75〜80℃で攪拌した。4時間後、ジブチル錫ジラウ
レート1gを添加し、さらに1時間後2-ヒドロキシエチル
アクリレート11.6g(0.1モル)を追加した。遊離イソシ
アネート量が0.2%(重量%、以下同様)以下になるま
で反応をつづけ、反応を終了させた。Next, glycerin diacrylate (hydroxyl value 28
200 g (1 mol) of 0, saponification number 562, and bromine number 160) were added, and the mixture was stirred at 75 to 80 ° C. After 4 hours, 1 g of dibutyltin dilaurate was added, and after 1 hour, 11.6 g (0.1 mol) of 2-hydroxyethyl acrylate was added. The reaction was continued until the amount of free isocyanate was 0.2% (% by weight, the same applies below), and the reaction was terminated.
反応物をゲルクロマトグラフにて分析したところ、比較
的分子量分布幅は狭く、平均分子量は500であった。When the reaction product was analyzed by gel chromatography, the width of the molecular weight distribution was relatively narrow and the average molecular weight was 500.
合成例2(ウレタンアクリレートBの合成例) 2-ヒドロキシエチルアクリレート232g(2モル)および
重合禁止剤であるハイドロキノンモノメチルエーテル0.
50gを1容四つ口フラスコに入れ、撹拌した。内温を6
0℃まで加温し、キシリレンジイソシアネート376g(2
モル)を添加した。合成例1と同様な反応条件にて反応
させた。キシリレンジイソシアネート添加3時間後にビ
スフェノールA酸化エチレン4モル付加体(ヒドロキシ
ル価277)405g(1モル)を添加し、75〜80℃にて撹拌
した。以後、合成例1と同様に反応させ、遊離イソシア
ネート量が0.2%以下になってから反応を終了させた。Synthesis Example 2 (Synthesis Example of Urethane Acrylate B) 232 g (2 mol) of 2-hydroxyethyl acrylate and hydroquinone monomethyl ether which is a polymerization inhibitor.
50 g was placed in a 1-volume four-necked flask and stirred. Inner temperature 6
Heat to 0 ° C, and xylylene diisocyanate 376g (2
Mol) was added. The reaction was performed under the same reaction conditions as in Synthesis Example 1. Three hours after the addition of xylylene diisocyanate, 405 g (1 mol) of a 4 mol adduct of bisphenol A ethylene oxide (hydroxyl number 277) was added, and the mixture was stirred at 75 to 80 ° C. Thereafter, the reaction was carried out in the same manner as in Synthesis Example 1, and the reaction was terminated when the amount of free isocyanate was 0.2% or less.
反応物をゲルクロマトグラフにて分析したところ、比較
的狭い分子量分布幅を有し、平均分子料は1010であっ
た。When the reaction product was analyzed by gel chromatography, it had a relatively narrow molecular weight distribution range and the average molecular weight was 1010.
合成例3(ウレタンアクリレートCの合成例) ジエチレングリコールとアジピン酸とのエステル化によ
り合成された両末端にヒドロキシル基を有するポリエス
テルジオール(ヒドロキシル価93)603.5g(0.5モル)
を1容四つ口フラスコに入れ、60℃に加温し、キシリ
レンジイソシアネート188g(1モル)を添加した。発熱
するので、必要に応じて冷却し、内温を80℃以下に押さ
えるようにした。添加後2時間で発熱はおさまったが、
75〜80℃にてさらに2時間撹拌を続けた。Synthesis Example 3 (Synthesis Example of Urethane Acrylate C) 603.5 g (0.5 mol) of polyester diol (hydroxyl number 93) having hydroxyl groups at both ends synthesized by esterification of diethylene glycol and adipic acid
Was placed in a 1-volume four-necked flask, heated to 60 ° C., and 188 g (1 mol) of xylylene diisocyanate was added. Since it generates heat, it was cooled as necessary to keep the internal temperature below 80 ° C. The exotherm subsided 2 hours after the addition,
Stirring was continued for another 2 hours at 75-80 ° C.
つぎに、2-ヒドロキシエチルアクリレート63.8g(0.55
モル)、トリメチロールプロパンジアクリレート(ガス
クロマトグラフ分析での純度は60%、他はトリメチロー
ルプロパントリアクリレート、ヒドロキシル価139)202
g、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.53gを添加し、
75〜80℃にて撹拌した。4時間後、ジブチル錫ジラウレ
ート1.0gを添加し、さらに加温撹拌を続け、遊離イソシ
アネート量が0.2%以下になってから反応を終了させ
た。Next, 2-hydroxyethyl acrylate 63.8 g (0.55
Mol), trimethylolpropane diacrylate (purity by gas chromatography is 60%, others are trimethylolpropane triacrylate, hydroxyl number 139) 202
g, add hydroquinone monomethyl ether 0.53g,
Stir at 75-80 ° C. After 4 hours, 1.0 g of dibutyltin dilaurate was added, and the mixture was further stirred with heating, and the reaction was terminated when the amount of free isocyanate was 0.2% or less.
反応物をゲルクロマトグラフにて分析したところ、不純
物として含まれるトリメチロールプロパントリアクリレ
ートを除いた平均分子量は1950であった。When the reaction product was analyzed by gel chromatography, the average molecular weight excluding trimethylolpropane triacrylate contained as an impurity was 1950.
合成例4(ウレタンアクリレートDの合成例) 合成例3で用いたポリエステルジオール(ヒドロキシル
価93)482.7g(0.4モル)を1容四つ口フラスコに入
れ、60℃に加温して撹拌した。キシリレンジイソシアネ
ート112.8g(0.6モル)を加え、必要に応じて冷却して
内温を80℃以下に保った。添加後3時間、75〜80℃に保
持して撹拌したのち、2-ヒドロキシエチルアクリレート
25.6g(0.22モル)、トリメチロールプロパンジアクリ
レート(ガスクロマトグラフ分析純度60%、ヒドロキシ
ル価139)80.8g、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.
35gを添加し、75〜80℃に保持して撹拌した。Synthesis Example 4 (Synthesis Example of Urethane Acrylate D) 482.7 g (0.4 mol) of the polyester diol (hydroxyl number 93) used in Synthesis Example 3 was placed in a one-volume four-necked flask and heated to 60 ° C. and stirred. 112.8 g (0.6 mol) of xylylene diisocyanate was added, and the mixture was cooled if necessary to keep the internal temperature at 80 ° C or lower. After adding and stirring at 75-80 ° C for 3 hours, add 2-hydroxyethyl acrylate.
25.6 g (0.22 mol), trimethylolpropane diacrylate (gas chromatographic analysis purity 60%, hydroxyl number 139) 80.8 g, hydroquinone monomethyl ether 0.
35 g was added, and the mixture was maintained at 75 to 80 ° C and stirred.
4時間後、ジブチル錫ジラウレート1.0gを添加し、さら
に加温撹拌を続け、遊離イソシアネート量が0.2%以下
になってから反応を終了させた。After 4 hours, 1.0 g of dibutyltin dilaurate was added, and the mixture was further stirred with heating, and the reaction was terminated when the amount of free isocyanate was 0.2% or less.
反応物をゲルクロマトグラフ分析したところ、平均分子
量は3300であった。Gel chromatography analysis of the reaction product revealed that the average molecular weight was 3,300.
実施例1〜4および比較例1〜6 第1表に示す配合物に第2表に示すウレタンアクリレー
トを、第1表に示す弾性重合体100部に対して第2表に
示すウレタンアクリレートが第2表に示す部数になるよ
うに配合して感圧接着剤組成物を調製した。えられた組
成物を離型紙上に塗布し、120℃で1分間乾燥させ、固
形分として10μmの厚さの関圧接着剤組成物の層を形成
した。Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 6 In the formulations shown in Table 1, urethane acrylates shown in Table 2 were added, and with 100 parts of the elastic polymer shown in Table 1, urethane acrylates shown in Table 2 were added. The pressure-sensitive adhesive composition was prepared by blending so as to have the number of parts shown in Table 2. The obtained composition was applied onto a release paper and dried at 120 ° C. for 1 minute to form a layer of the pressure-sensitive adhesive composition having a solid content of 10 μm.
つぎに、平均重合度1300のポリ塩化ビニル100部、可塑
剤としてジオクチルフタレート35部および適宜量の安定
剤からなる塩化ビニル樹脂組成物から成形した厚さ0.1m
mのシート上に、変性アクリル樹脂溶液を塗布し、乾燥
させて、バリヤー層を形成させた。こののち、この基材
樹脂シートのバリヤー層の表面に離型紙上に形成した前
記感圧接着剤層を重ねて貼り合わせて、感圧接着性シー
トをえた。Next, 100 parts of polyvinyl chloride having an average degree of polymerization of 1300, 35 parts of dioctyl phthalate as a plasticizer and a thickness of 0.1 m formed from a vinyl chloride resin composition comprising an appropriate amount of a stabilizer.
The modified acrylic resin solution was applied onto the sheet of m and dried to form a barrier layer. After that, the pressure-sensitive adhesive layer formed on the release paper was laminated on the surface of the barrier layer of the base resin sheet and laminated to obtain a pressure-sensitive adhesive sheet.
このようにしてえられたそれぞれの感圧接着性シートを
室温で20分間放置したのち、離型紙を剥離して、そのま
ま接着力を測定した。また、別に塩化ビニル樹脂シート
側から主波長365mμ、120W/cmにて紫外線を7秒間照射
したのち、接着力を測定した。また、糊残り性、エキス
パンド性を下記方法により評価した。結果を第2表に示
す。Each pressure-sensitive adhesive sheet thus obtained was allowed to stand at room temperature for 20 minutes, the release paper was peeled off, and the adhesive strength was measured as it was. Separately, ultraviolet rays were irradiated from the vinyl chloride resin sheet side at a main wavelength of 365 mμ and 120 W / cm for 7 seconds, and then the adhesive strength was measured. In addition, the adhesive residue property and the expandability were evaluated by the following methods. The results are shown in Table 2.
(接着力) 感圧接着性シートを幅25mm、長さ100mmに裁断して試験
片とし、これを被着体であるステンレス板(SUS-304)
上に重ね、3kgローラにて5回往復して押圧したのち、
ショッパーを用いて引張速度300mm/分にて180゜剥離試
験を行なった。(Adhesive strength) A pressure-sensitive adhesive sheet is cut into a width of 25 mm and a length of 100 mm to form a test piece, which is an adherend stainless steel plate (SUS-304)
After stacking it on top and pressing it back and forth 5 times with a 3 kg roller,
A 180 ° peel test was performed using a shopper at a pulling speed of 300 mm / min.
紫外線照射前は接着力は高いほどよい。しかし、接着剤
層が凝集破壊し、接着剤としての作用をなさないばあい
には判定として×を印した。The higher the adhesive strength, the better before irradiation with ultraviolet rays. However, when the adhesive layer was cohesively broken and did not function as an adhesive, X was marked as a judgment.
紫外線照射後は100g/25mm以下ならば使用に耐えるが、5
0g/25mm未満は○、50〜100g/25mmは△、100g/25mmこえ
るばあいは×と判定した。After UV irradiation, it can be used if it is 100g / 25mm or less, but 5
Less than 0 g / 25 mm was evaluated as O, 50-100 g / 25 mm as Δ, and 100 g / 25 mm as ×.
(糊残り性) ウエハーをダイシングマシーン(DISCO社製)を用いて
切断し、UV照射後ピックアップマシーン(ニチデン機械
(株)製)でウエハーチップをピックアップし、えられ
たウエハーチップの裏面を観察し、裏面に糊が残ってい
ないものを○、わずかに残っているものを△、裏面全面
に数多く残っているものを×として評価した。(Adhesive residue) The wafer is cut using a dicing machine (manufactured by DISCO), and after UV irradiation, the wafer chip is picked up by a pickup machine (manufactured by Nichiden Machinery Co., Ltd.) and the back surface of the obtained wafer chip is observed. The case where no paste remained on the back surface was evaluated as ◯, the case where the paste remained slightly was evaluated as Δ, and the case where a large amount remained on the entire back surface was evaluated as x.
(エキスパンド性) ウエハーを当感圧性接着シートに貼り、ダイシングマシ
ーン(DISCO社製)にて切断し、そののちUV照射してか
らエキスパンドマシーン(ニチデン機械(株)製)にて
約25%エキスパンドし、チップの乱れ、テープの切れな
どを観察し、チップの淫れがなく、テープの切れもな
く、等間隔にチップが開いているものを○、そうでない
ものを×として評価した。(Expandability) A wafer is attached to a pressure-sensitive adhesive sheet, cut with a dicing machine (manufactured by DISCO), irradiated with UV, and then expanded by about 25% with an expand machine (manufactured by Nichiden Machine Co., Ltd.). When the chips were not distorted, the tape was not broken, and the chips were opened at regular intervals, the chip was evaluated as ◯, and the other was evaluated as x.
本発明の感圧接着剤組成物を用いて製造した感圧接着性
シートは、長期間保存後も紫外線照射による接着力の低
下がとくに顕著であり、適当な配合設計によって、当初
数百g/25mmの接着力を有せしめ、紫外線照射後は数十g/
25mm程度にまで接着力を減少または実質的に消滅させる
ことができるので、前述したように、シリコンウエハー
のダイシングに好適に用いることができる。 The pressure-sensitive adhesive sheet produced using the pressure-sensitive adhesive composition of the present invention is particularly remarkable in the reduction of the adhesive force due to ultraviolet irradiation even after storage for a long period of time. It has an adhesive strength of 25 mm, and after irradiation with ultraviolet rays it is several tens of g /
Since the adhesive strength can be reduced or substantially eliminated to about 25 mm, it can be suitably used for dicing a silicon wafer as described above.
第2表の結果から、添加するウレタンアクリレートの種
類によって性能は大きく異なり、平均分子量が700未満
であるウレタンアクリレートAおよび分子量が2500超で
あるウレタンアクリレートDでは、紫外線照射後の接着
力、糊残り、エキスパンド性が著しく劣ることがわか
る。From the results shown in Table 2, the performance greatly varies depending on the type of urethane acrylate to be added. For urethane acrylate A having an average molecular weight of less than 700 and urethane acrylate D having an average molecular weight of more than 2500, the adhesive strength and adhesive residue after ultraviolet irradiation , The expandability is remarkably inferior.
なお、ウレタンアクリレートの添加量が多過ぎたり、少
な過ぎても接着力において劣り好ましくない。It should be noted that if the amount of urethane acrylate added is too large or too small, the adhesive strength will be poor and this is not preferable.
[発明の効果] 本発明の感圧接着剤組成物は、当初は強い接着力を有す
るが、これに紫外線を照射するとその接着力が著しく低
減する。したがって、この感圧接着剤組成物を紫外線を
透過させうる基材シート上に塗布して感圧接着性シート
を製造すると紫外線の照射により接着力が著しく減少
し、この感圧接着性シートを被着面から容易に剥離させ
ることが可能となり、糊残り(被着面への接着層の残
存)が少なく、被着面の剥離後の洗浄操作などが不要と
なる。[Effect of the Invention] The pressure-sensitive adhesive composition of the present invention initially has a strong adhesive force, but when it is irradiated with ultraviolet rays, the adhesive force is significantly reduced. Therefore, when the pressure-sensitive adhesive composition is applied onto a base sheet which can transmit ultraviolet rays to produce a pressure-sensitive adhesive sheet, the adhesive force is remarkably reduced by the irradiation of ultraviolet rays, and the pressure-sensitive adhesive sheet is covered. It can be easily peeled off from the surface to be adhered, the amount of adhesive residue (remaining adhesive layer on the surface to be adhered) is small, and the washing operation after the separation of the surface to be adhered becomes unnecessary.
したがって、本発明の組成物を用いて製造した前記のご
とき感圧接着性シートは、たとえば前述したようにシリ
コーンウエハーのダイシング用フィルムとして好適に用
いることができる。Therefore, the pressure-sensitive adhesive sheet as described above produced by using the composition of the present invention can be suitably used as a dicing film for a silicone wafer as described above.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−54779(JP,A) 特開 昭62−54778(JP,A) 特開 昭62−153376(JP,A) 特開 昭63−210182(JP,A) 特開 平1−271408(JP,A) 特開 昭62−138572(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP 62-54779 (JP, A) JP 62-54778 (JP, A) JP 62-153376 (JP, A) JP 63- 210182 (JP, A) JP-A 1-271408 (JP, A) JP-A-62-138572 (JP, A)
Claims (2)
基、2価の芳香族基およびそれらにオキシアルキレン基
が付加した2価の基から選ばれた基、またpは1〜10)
で示されるポリエステル基含有ジオール残基または‐OR
1O-(R1は前記に同じ)で示されるアルキレンジオール
残基、Bは (R3はHまたはCH3、R4は炭素数1〜5で(q+1)価
の炭化水素基、qは1〜5、q個のR3は同じである必要
はない)で示される(メタ)アクリル酸エステル含有
基、Uは (R1は前記に同じ)で示されるウレタン基、mは1〜1
0、n1およびn2はそれぞれ1以上であり、一般式(1)
で表わされる化合物の平均分子量が700〜2500となる
数)で示されるウレタン基含有紫外線架橋性(メタ)ア
クリル酸エステル を主成分として含有し、かつ(d)成分であるウレタン
基含有紫外線架橋性(メタ)アクリル酸エステルが、
(a)成分の弾性重合体100重量部に対して5〜150重量
部使用されることを特徴とする紫外線照射によって接着
力を低減る感圧接着剤組成物。1. An elastic polymer (a) (b) UV-crosslinkable (meth) acrylic acid ester (c) polyisocyanate and (d) general formula (1): (Bn 1 U-AmUB) n 2 (1) (In the formula, A is (Each of R 1 and R 2 is a saturated hydrocarbon group, an unsaturated hydrocarbon group, a divalent aromatic group or a divalent group obtained by adding an oxyalkylene group thereto, and p is 1 to Ten)
Polyester group-containing diol residue or -OR
An alkylenediol residue represented by 1 O- (R 1 is the same as above), and B is (R 3 is H or CH 3 , R 4 is a (q + 1) -valent hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms, q is 1 to 5, and q R 3 s are not necessarily the same). (Meth) acrylic acid ester-containing group, U is (R 1 is the same as above), m is 1 to 1
0, n 1 and n 2 are each 1 or more and represented by the general formula (1)
Urethane compound-containing UV-crosslinkable compound represented by the formula (average number of 700 to 2500) (urethane group-containing UV-crosslinkable compound which contains (meth) acrylic acid ester as a main component and is (d) component) (Meth) acrylic acid ester
A pressure-sensitive adhesive composition, which is used in an amount of 5 to 150 parts by weight, based on 100 parts by weight of the elastic polymer as the component (a), to reduce the adhesive force by ultraviolet irradiation.
合ポリエステル樹脂、(メタ)アクリル酸エステルの単
独重合体および(メタ)アクリル酸エステルの共重合体
から選ばれた重合体である請求項1記載の組成物。2. The elastic polymer as the component (a) is a polymer selected from saturated copolymerized polyester resins, homopolymers of (meth) acrylic acid esters and copolymers of (meth) acrylic acid esters. 2. The composition of claim 1, which is:
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JPH02218783A JPH02218783A (en) | 1990-08-31 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007056210A (en) * | 2005-08-26 | 2007-03-08 | Emulsion Technology Co Ltd | Adhesive resin composition for back grinding, adhesive sheet for back grinding, and its manufacturing method |
JP2007302797A (en) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Nitto Denko Corp | Pressure-sensitive adhesive sheet for processing semiconductor wafer or semiconductor substrate |
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1989
- 1989-02-20 JP JP4073489A patent/JPH07772B2/en not_active Expired - Lifetime
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