JPH0777210A - 電気−油圧サーボシリンダ - Google Patents
電気−油圧サーボシリンダInfo
- Publication number
- JPH0777210A JPH0777210A JP5224096A JP22409693A JPH0777210A JP H0777210 A JPH0777210 A JP H0777210A JP 5224096 A JP5224096 A JP 5224096A JP 22409693 A JP22409693 A JP 22409693A JP H0777210 A JPH0777210 A JP H0777210A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 重負荷を電動シリンダのように正確な位置決
め精度で制御できる高出力の電気−油圧サーボシリンダ
を提供すること 【構成】 流体圧でシリンダケース１内を往復動するピ
ストン２と一体の該シリンダケースから出没するピスト
ンロッド３に、ボールねじ７のねじ溝８を形成し、該ピ
ストンロッドが出没する側のシリンダケース面に、該ボ
ールねじのナット９を備えた電動機１３により回転され
る回転部材１０を設けた 【効果】 油圧が電動機の出力不足を補い、電動機とボ
ールねじが速度と位置決めを高精度で制御し、電動シリ
ンダでは駆動できない重負荷を従来の油圧サーボよりも
高精度で制御でき、比較的安価に製作できる
め精度で制御できる高出力の電気−油圧サーボシリンダ
を提供すること 【構成】 流体圧でシリンダケース１内を往復動するピ
ストン２と一体の該シリンダケースから出没するピスト
ンロッド３に、ボールねじ７のねじ溝８を形成し、該ピ
ストンロッドが出没する側のシリンダケース面に、該ボ
ールねじのナット９を備えた電動機１３により回転され
る回転部材１０を設けた 【効果】 油圧が電動機の出力不足を補い、電動機とボ
ールねじが速度と位置決めを高精度で制御し、電動シリ
ンダでは駆動できない重負荷を従来の油圧サーボよりも
高精度で制御でき、比較的安価に製作できる
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、油圧プレス機、射出成
形機、圧延機等の重荷重を直線的に駆動する装置の作動
制御を精密に行なうに適した電気−油圧サーボシリンダ
に関する。
形機、圧延機等の重荷重を直線的に駆動する装置の作動
制御を精密に行なうに適した電気−油圧サーボシリンダ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、直線的な運動を精密に行なうアク
チュエータとして、例えば図１に示すような電動機ａの
回転を歯車ｂを介してねじ軸ｃに伝え、該ねじ軸ｃに螺
合させたロッドｄを往復動させる電動シリンダｅが知ら
れている。該ロッドｄにセンサーを取付けて電動機ａの
回転を制御することにより、精密に位置決めすることが
できる。また、精密な作動制御を行なえる油圧シリンダ
として、例えば図２に示すように、油圧シリンダｋのロ
ッドｆを中空に形成してこれに磁石ｇを取付けておき、
該ロッドｆの中空内へ進入させて設けたセンサーｈで該
磁石ｇの位置を検出してその検出信号をコントローラｉ
に入力させ、該コントローラｉで電気−油圧制御弁ｊを
制御することによりシリンダ室への圧力流体の給排を制
御するようにしたものも知られている。
チュエータとして、例えば図１に示すような電動機ａの
回転を歯車ｂを介してねじ軸ｃに伝え、該ねじ軸ｃに螺
合させたロッドｄを往復動させる電動シリンダｅが知ら
れている。該ロッドｄにセンサーを取付けて電動機ａの
回転を制御することにより、精密に位置決めすることが
できる。また、精密な作動制御を行なえる油圧シリンダ
として、例えば図２に示すように、油圧シリンダｋのロ
ッドｆを中空に形成してこれに磁石ｇを取付けておき、
該ロッドｆの中空内へ進入させて設けたセンサーｈで該
磁石ｇの位置を検出してその検出信号をコントローラｉ
に入力させ、該コントローラｉで電気−油圧制御弁ｊを
制御することによりシリンダ室への圧力流体の給排を制
御するようにしたものも知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記電動シリンダｅの
電動機ａとしては、ＡＣ又はＤＣサーボモータが使用さ
れることが多く、これのパワーは比較的小さいので、Ｘ
−Ｙテーブルのような比較的軽負荷の精密位置決め制御
には利用でき、正確な制御を行なえるが、プレス機のよ
うな重荷重の精密位置決め制御には利用できない。一
方、上記の油圧シリンダｋは、電気−油圧制御弁ｊを使
用して多少とも圧縮性のある流体を媒体として制御する
ことになるため、また、ロッドｆが中空で圧力により膨
縮するため、例えば油圧プレス機のような重負荷で高圧
流体を使用する装置の精密位置決め制御には不向きで、
その制御精度も電動シリンダに比べて劣る。
電動機ａとしては、ＡＣ又はＤＣサーボモータが使用さ
れることが多く、これのパワーは比較的小さいので、Ｘ
−Ｙテーブルのような比較的軽負荷の精密位置決め制御
には利用でき、正確な制御を行なえるが、プレス機のよ
うな重荷重の精密位置決め制御には利用できない。一
方、上記の油圧シリンダｋは、電気−油圧制御弁ｊを使
用して多少とも圧縮性のある流体を媒体として制御する
ことになるため、また、ロッドｆが中空で圧力により膨
縮するため、例えば油圧プレス機のような重負荷で高圧
流体を使用する装置の精密位置決め制御には不向きで、
その制御精度も電動シリンダに比べて劣る。
【０００４】本発明は、重負荷を電動シリンダのように
正確な位置決め精度で制御できる高出力の電気−油圧サ
ーボシリンダを提供することを目的とするものである。
正確な位置決め精度で制御できる高出力の電気−油圧サ
ーボシリンダを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、流体圧でシ
リンダケース内を往復動するピストンと一体の該シリン
ダケースから出没するピストンロッドに、ボールねじの
ねじ溝を形成し、該ピストンロッドが出没する側のシリ
ンダケース面に、該ボールねじのナットを備えた電動機
により回転される回転部材を設けることにより、上記の
目的を達成するようにした。該シリンダケース内のピス
トンヘッド側の室を電気−油圧制御弁を介して油圧源に
接続し、該電気−油圧制御弁を作動制御するコントロー
ラに該ピストンロッドに加わる負荷量を検出する検出装
置を接続して本発明の電気−油圧サーボシリンダの作動
制御が行なわれる。
リンダケース内を往復動するピストンと一体の該シリン
ダケースから出没するピストンロッドに、ボールねじの
ねじ溝を形成し、該ピストンロッドが出没する側のシリ
ンダケース面に、該ボールねじのナットを備えた電動機
により回転される回転部材を設けることにより、上記の
目的を達成するようにした。該シリンダケース内のピス
トンヘッド側の室を電気−油圧制御弁を介して油圧源に
接続し、該電気−油圧制御弁を作動制御するコントロー
ラに該ピストンロッドに加わる負荷量を検出する検出装
置を接続して本発明の電気−油圧サーボシリンダの作動
制御が行なわれる。
【０００６】
【作動】本発明の電気−油圧サーボシリンダのピストン
ロッドに例えばプレススライドのような重負荷を接続し
てプレス作動を行なうとき、該プレススライドが下降し
てワークに当たり、ワークをプレスしたのち上昇する作
動を行なうが、プレススライドが下降するときは低負荷
であるので該ピストンロッドは電動機により駆動される
ボールねじによりピストンを引張り、プレススライドが
ワークをプレスする高負荷時には、電動機の出力不足分
をピストンヘッド側の室に導入した圧力流体により前進
するピストンにより補い、後退時は低負荷で済むので電
動機で駆動されるボールねじによりピストンを押し、該
室内の流体をタンクに排除しながら後退する。高負荷時
には電動機と流体圧力の両方で作動するので、電動機に
よる出力不足を補え、流体により作動するピストンの欠
点である速度と位置制御の不正確さが電動機で駆動され
るボールねじにより補償される。
ロッドに例えばプレススライドのような重負荷を接続し
てプレス作動を行なうとき、該プレススライドが下降し
てワークに当たり、ワークをプレスしたのち上昇する作
動を行なうが、プレススライドが下降するときは低負荷
であるので該ピストンロッドは電動機により駆動される
ボールねじによりピストンを引張り、プレススライドが
ワークをプレスする高負荷時には、電動機の出力不足分
をピストンヘッド側の室に導入した圧力流体により前進
するピストンにより補い、後退時は低負荷で済むので電
動機で駆動されるボールねじによりピストンを押し、該
室内の流体をタンクに排除しながら後退する。高負荷時
には電動機と流体圧力の両方で作動するので、電動機に
よる出力不足を補え、流体により作動するピストンの欠
点である速度と位置制御の不正確さが電動機で駆動され
るボールねじにより補償される。
【０００７】
【実施例】本発明の電気−油圧サーボシリンダの実施例
を図３に基づき説明すると、符号１はシリンダケース、
２は該シリンダケース１内を往復動するピストンを示
し、該ピストン２にはこれと一体でシリンダケース１か
ら出没するピストンロッド３が設けられる。該シリンダ
ケース１のヘッドカバー４とピストン２との間のピスト
ンヘッド側の室５には、該ヘッドカバー４に設けた流体
流通口６を介して圧力流体が給排される。該ピストンロ
ッド３にはボールねじ７のねじ溝８を形成し、該ピスト
ンロッド３が出没する側のシリンダケース面に、該ボー
ルねじ７のナット９を備えた回転部材１０を軸受１１で
回転自在に取付け、該回転部材１０の周面に形成した歯
車１２を該シリンダケース１の側方に設けたサーボモー
タ等の回転制御可能な電動機１３で回転される歯車１４
と係合させた。１５はカバーである。
を図３に基づき説明すると、符号１はシリンダケース、
２は該シリンダケース１内を往復動するピストンを示
し、該ピストン２にはこれと一体でシリンダケース１か
ら出没するピストンロッド３が設けられる。該シリンダ
ケース１のヘッドカバー４とピストン２との間のピスト
ンヘッド側の室５には、該ヘッドカバー４に設けた流体
流通口６を介して圧力流体が給排される。該ピストンロ
ッド３にはボールねじ７のねじ溝８を形成し、該ピスト
ンロッド３が出没する側のシリンダケース面に、該ボー
ルねじ７のナット９を備えた回転部材１０を軸受１１で
回転自在に取付け、該回転部材１０の周面に形成した歯
車１２を該シリンダケース１の側方に設けたサーボモー
タ等の回転制御可能な電動機１３で回転される歯車１４
と係合させた。１５はカバーである。
【０００８】本発明の電気−油圧サーボシリンダは、重
負荷を高精度で制御するために好都合に使用され、油圧
プレス機に適用した場合、図４に示すようにピストンロ
ッド３にプレススライド１６を取付けする。そして、ピ
ストンヘッド側の室５にプレフィル弁１７を介してタン
ク１８に接続すると共にアンロード弁から成る電気−油
圧制御弁１９で制御された油圧ポンプ２０の吐出回路２
１を接続する。該電気−油圧制御弁１９はコントローラ
２２により作動制御され、該コントローラ２２は入力す
る指令電気信号２３と圧力検出器２４を介して検出され
る圧力電気信号２５とが一致するように該電気−油圧制
御弁１９を作動制御して該吐出回路２１の圧力を制御す
る。該電気−油圧サーボシリンダの負荷量を検出するた
めに、例えばピストンロッド３にロードセル等の検出装
置２６を設け、これで検出した電気信号が設定値以上に
なると、コントローラ２２は、それまで吐出回路２１の
流体をタンク１８へ放出するように制御していた電気−
油圧制御弁１９に、吐出回路２１を設定圧とするように
制御作動を行なわせる。２７はワーク、２８はプレフィ
ル弁１７のパイロット回路である。
負荷を高精度で制御するために好都合に使用され、油圧
プレス機に適用した場合、図４に示すようにピストンロ
ッド３にプレススライド１６を取付けする。そして、ピ
ストンヘッド側の室５にプレフィル弁１７を介してタン
ク１８に接続すると共にアンロード弁から成る電気−油
圧制御弁１９で制御された油圧ポンプ２０の吐出回路２
１を接続する。該電気−油圧制御弁１９はコントローラ
２２により作動制御され、該コントローラ２２は入力す
る指令電気信号２３と圧力検出器２４を介して検出され
る圧力電気信号２５とが一致するように該電気−油圧制
御弁１９を作動制御して該吐出回路２１の圧力を制御す
る。該電気−油圧サーボシリンダの負荷量を検出するた
めに、例えばピストンロッド３にロードセル等の検出装
置２６を設け、これで検出した電気信号が設定値以上に
なると、コントローラ２２は、それまで吐出回路２１の
流体をタンク１８へ放出するように制御していた電気−
油圧制御弁１９に、吐出回路２１を設定圧とするように
制御作動を行なわせる。２７はワーク、２８はプレフィ
ル弁１７のパイロット回路である。
【０００９】この実施例の作動を説明すると、上方位置
していたプレススライド１６を下降させる場合、電動機
１３を回転させる。プレススライド１６はその自重によ
り自然落下しようとするので、該電動機１３で回転部材
１０の回転を制御することにより降下速度を制御しなが
ら下降させる。この時、ピストンロッド側の室５にはプ
レフィル弁１７を介してタンク１８から流体が流入す
る。プレススライド１６がワーク２７に当ると、これを
検出装置２６が検知し、その負荷量が電動機１３の適正
制御トルクよりも大きくなると、その差の出力分を油圧
シリンダにより出力する。即ち、検出装置２６からの検
出信号に応じてコントローラ２２に指令電気信号２３が
入力され、吐出回路２１の圧力および室５内の圧力が該
指令電気信号２３に応じた圧力に制御される。プレスス
ライド１６の位置は、ボールねじ７の回転により制御さ
れるので精密な制御を行なえる。プレスを終えてプレス
スライド１６を上昇させるときは、室５内が無負荷にな
るように電気−油圧制御弁１９で圧抜きをしたのちプレ
フィル弁１７を開き、電動機１３を逆転させることによ
り行なわれる。ピストンロッド３と回転部材１０はボー
ルねじ７で係合しているので、摩擦抵抗も少なくバック
ラッシも小さく、精密な制御を行なえる。
していたプレススライド１６を下降させる場合、電動機
１３を回転させる。プレススライド１６はその自重によ
り自然落下しようとするので、該電動機１３で回転部材
１０の回転を制御することにより降下速度を制御しなが
ら下降させる。この時、ピストンロッド側の室５にはプ
レフィル弁１７を介してタンク１８から流体が流入す
る。プレススライド１６がワーク２７に当ると、これを
検出装置２６が検知し、その負荷量が電動機１３の適正
制御トルクよりも大きくなると、その差の出力分を油圧
シリンダにより出力する。即ち、検出装置２６からの検
出信号に応じてコントローラ２２に指令電気信号２３が
入力され、吐出回路２１の圧力および室５内の圧力が該
指令電気信号２３に応じた圧力に制御される。プレスス
ライド１６の位置は、ボールねじ７の回転により制御さ
れるので精密な制御を行なえる。プレスを終えてプレス
スライド１６を上昇させるときは、室５内が無負荷にな
るように電気−油圧制御弁１９で圧抜きをしたのちプレ
フィル弁１７を開き、電動機１３を逆転させることによ
り行なわれる。ピストンロッド３と回転部材１０はボー
ルねじ７で係合しているので、摩擦抵抗も少なくバック
ラッシも小さく、精密な制御を行なえる。
【００１０】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、流体
圧でシリンダケースから出没するピストンロッドに、ボ
ールねじを介して電動機により回転される回転部材を設
けたので、油圧が電動機の出力不足を補い、電動機とボ
ールねじが速度と位置決めを高精度で制御し、電動シリ
ンダでは駆動できない重負荷を従来の油圧サーボよりも
高精度で制御でき、粉末成形プレス、プレスブレーキ、
樹脂成形プレス等の精密制御の必要な機械に好都合に適
用でき、比較的安価に製作できる等の効果がある。
圧でシリンダケースから出没するピストンロッドに、ボ
ールねじを介して電動機により回転される回転部材を設
けたので、油圧が電動機の出力不足を補い、電動機とボ
ールねじが速度と位置決めを高精度で制御し、電動シリ
ンダでは駆動できない重負荷を従来の油圧サーボよりも
高精度で制御でき、粉末成形プレス、プレスブレーキ、
樹脂成形プレス等の精密制御の必要な機械に好都合に適
用でき、比較的安価に製作できる等の効果がある。
【図１】 従来の電動シリンダの断面図
【図２】 従来の油圧サーボシリンダの断面図
【図３】 本発明の実施例の一部截断側面図
【図４】 図３の電気−油圧サーボシリンダを油圧プレ
ス機に適用した実施例の説明図
ス機に適用した実施例の説明図
１ シリンダケース ２ ピストン ３
ピストンロッド ５ 室 ７ ボールねじ ８
ねじ溝 ９ ナット １０ 回転部材 １
２、１４ 歯車 １３ 電動機 １７ プレフィル弁 １
８ タンク １９ 電気−油圧制御弁 ２０ 油圧ポンプ ２
２ コントローラ ２６ 負荷量の検出装置 ２７ ワーク
ピストンロッド ５ 室 ７ ボールねじ ８
ねじ溝 ９ ナット １０ 回転部材 １
２、１４ 歯車 １３ 電動機 １７ プレフィル弁 １
８ タンク １９ 電気−油圧制御弁 ２０ 油圧ポンプ ２
２ コントローラ ２６ 負荷量の検出装置 ２７ ワーク
Claims (4)
- 【請求項１】 流体圧でシリンダケース内を往復動する
ピストンと一体の該シリンダケースから出没するピスト
ンロッドに、ボールねじのねじ溝を形成し、該ピストン
ロッドが出没する側のシリンダケース面に、該ボールね
じのナットを備えた電動機により回転される回転部材を
設けたことを特徴とする電気−油圧サーボシリンダ。 - 【請求項２】 上記電動機はサーボモータであり、該サ
ーボモータの回転軸に設けた歯車を上記回転部材の外周
に形成した歯車に係合させて該回転部材に回転を与える
ことを特徴とする電気−油圧サーボシリンダ。 - 【請求項３】 上記シリンダケース内のピストンヘッド
側の室を電気−油圧制御弁を介して油圧源に接続し、該
電気−油圧制御弁を作動制御するコントローラに上記ピ
ストンロッドに加わる負荷量を検出する検出装置を接続
したことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気−油
圧サーボシリンダ。 - 【請求項４】 上記シリンダケース内のピストンヘッド
側の室にプレフィル弁を介してタンクを接続したことを
特徴とする請求項３に記載の電気−油圧サーボシリン
ダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5224096A JPH0777210A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 電気−油圧サーボシリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5224096A JPH0777210A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 電気−油圧サーボシリンダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0777210A true JPH0777210A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16808486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5224096A Pending JPH0777210A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 電気−油圧サーボシリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777210A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7086851B2 (en) | 2001-04-19 | 2006-08-08 | Demag Ergotech GmbH & L & T-Demag Plastics Machinery | Injection molding machine with an electromotive spindle drive and a spring-based energy storage device for supporting the electric motor |
| WO2008126222A1 (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-23 | Pascal Engineering Corporation | ロータリーアクチュエータ |
| KR101235732B1 (ko) * | 2011-04-12 | 2013-02-21 | 삼성탈레스 주식회사 | 볼스크류 장치 |
| CN103133452A (zh) * | 2013-03-14 | 2013-06-05 | 西安电子科技大学 | 一体式小行程重载荷可精密数字化的无站式液压缸 |
| KR101530694B1 (ko) * | 2013-08-12 | 2015-06-22 | 제이모션 주식회사 | 전동 실린더 |
| WO2022246957A1 (zh) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | 苏州施米特机械有限公司 | 带气动活塞的伺服电缸 |
-
1993
- 1993-09-09 JP JP5224096A patent/JPH0777210A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7086851B2 (en) | 2001-04-19 | 2006-08-08 | Demag Ergotech GmbH & L & T-Demag Plastics Machinery | Injection molding machine with an electromotive spindle drive and a spring-based energy storage device for supporting the electric motor |
| US7112056B2 (en) | 2001-04-19 | 2006-09-26 | Demag Ergotech Gmbh | Plasticizing unit with an electromotive spindle drive for an injection molding machine |
| WO2008126222A1 (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-23 | Pascal Engineering Corporation | ロータリーアクチュエータ |
| KR101235732B1 (ko) * | 2011-04-12 | 2013-02-21 | 삼성탈레스 주식회사 | 볼스크류 장치 |
| CN103133452A (zh) * | 2013-03-14 | 2013-06-05 | 西安电子科技大学 | 一体式小行程重载荷可精密数字化的无站式液压缸 |
| KR101530694B1 (ko) * | 2013-08-12 | 2015-06-22 | 제이모션 주식회사 | 전동 실린더 |
| WO2022246957A1 (zh) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | 苏州施米特机械有限公司 | 带气动活塞的伺服电缸 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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