JPH0777195A - 腐食性ガス用排気ポンプ - Google Patents
腐食性ガス用排気ポンプInfo
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- JPH0777195A JPH0777195A JP22373593A JP22373593A JPH0777195A JP H0777195 A JPH0777195 A JP H0777195A JP 22373593 A JP22373593 A JP 22373593A JP 22373593 A JP22373593 A JP 22373593A JP H0777195 A JPH0777195 A JP H0777195A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- corrosive gas
- protective liner
- introduction pipe
- gas
- Prior art date
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ケーシングの導入管部の内面腐食を防いでケ
ーシングの寿命を延長する。 【構成】 この腐食性ガス用排気ポンプは、腐食性ガス
導入路Ｔに接続されるべき導入管部２２およびガス排出
口を有するケーシング２０と、ケーシング内に設けられ
腐食性ガスを導入管部２２から吸入し排出口から吐出す
る液封式のポンプ機構とを有する。導入管部２２の内部
には筒状の保護ライナー３０が挿入され、保護ライナー
３０の上端フランジ部３２はケーシング内側への脱落を
防止するために導入管部２２の先端段部２６に着脱可能
に係合し、保護ライナー３０の下端３４は、導入管部２
２を通ってケーシング２０内の上部気相領域Ｎに突出し
ている。
ーシングの寿命を延長する。 【構成】 この腐食性ガス用排気ポンプは、腐食性ガス
導入路Ｔに接続されるべき導入管部２２およびガス排出
口を有するケーシング２０と、ケーシング内に設けられ
腐食性ガスを導入管部２２から吸入し排出口から吐出す
る液封式のポンプ機構とを有する。導入管部２２の内部
には筒状の保護ライナー３０が挿入され、保護ライナー
３０の上端フランジ部３２はケーシング内側への脱落を
防止するために導入管部２２の先端段部２６に着脱可能
に係合し、保護ライナー３０の下端３４は、導入管部２
２を通ってケーシング２０内の上部気相領域Ｎに突出し
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、化学蒸着装置等に接続
されて腐食性ガス等の排気を行うためのポンプに関す
る。
されて腐食性ガス等の排気を行うためのポンプに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】砥粒等として使用されるＴｉＣ，Ａｌ2
Ｏ3等の硬質セラミックス粒子の製造方法として、最近
では化学蒸着法（ＣＶＤ法）を用いた合成方法が実施さ
れている。図３はそのための装置の一例を示す概略図で
あり、符号１は内部で粒子を合成するためのチャンバー
である。このチャンバー１内にはバルブ２，６を介して
ＴｉＣｌ4容器４およびＡｌＣｌ3容器８がそれぞれ接続
されるとともに、バルブ１０，１２を介してＣＨ4ガス
およびＣＯ2，Ｈ2ガスがそれぞれ供給されるようになっ
ている。
Ｏ3等の硬質セラミックス粒子の製造方法として、最近
では化学蒸着法（ＣＶＤ法）を用いた合成方法が実施さ
れている。図３はそのための装置の一例を示す概略図で
あり、符号１は内部で粒子を合成するためのチャンバー
である。このチャンバー１内にはバルブ２，６を介して
ＴｉＣｌ4容器４およびＡｌＣｌ3容器８がそれぞれ接続
されるとともに、バルブ１０，１２を介してＣＨ4ガス
およびＣＯ2，Ｈ2ガスがそれぞれ供給されるようになっ
ている。
【０００３】この装置によってＴｉＣ粒子を合成する場
合には、バルブ２，１０を交互に開いて液体状のＴｉＣ
ｌ4（チャンバー１内で気化）およびＣＨ4ガスを交互に
チャンバー１内に供給する。チャンバー１内で混合され
たこれら気体は、７００〜８００℃の反応温度で次式の
反応を生じ、ＴｉＣ粒子が合成される。 ＴｉＣｌ4＋ＣＨ4→ＴｉＣ＋４ＨＣｌ
合には、バルブ２，１０を交互に開いて液体状のＴｉＣ
ｌ4（チャンバー１内で気化）およびＣＨ4ガスを交互に
チャンバー１内に供給する。チャンバー１内で混合され
たこれら気体は、７００〜８００℃の反応温度で次式の
反応を生じ、ＴｉＣ粒子が合成される。 ＴｉＣｌ4＋ＣＨ4→ＴｉＣ＋４ＨＣｌ
【０００４】一方、Ａｌ2Ｏ3粒子を合成する場合には、
バルブ６，１２を交互に開いて固体状のＡｌＣｌ3（チ
ャンバー１内で気化）およびＣＯ2，Ｈ2ガスを交互にチ
ャンバー１内に供給する。チャンバー１内で混合された
これら気体は、前記同様の反応温度で次式の反応を生
じ、Ａｌ2Ｏ3粒子が合成される。 ２ＡｌＣｌ3＋３ＣＯ2＋３Ｈ2→Ａｌ2Ｏ3＋６ＨＣｌ＋
３ＣＯ
バルブ６，１２を交互に開いて固体状のＡｌＣｌ3（チ
ャンバー１内で気化）およびＣＯ2，Ｈ2ガスを交互にチ
ャンバー１内に供給する。チャンバー１内で混合された
これら気体は、前記同様の反応温度で次式の反応を生
じ、Ａｌ2Ｏ3粒子が合成される。 ２ＡｌＣｌ3＋３ＣＯ2＋３Ｈ2→Ａｌ2Ｏ3＋６ＨＣｌ＋
３ＣＯ
【０００５】いずれの場合にも、チャンバー１内で合成
された粒子は、定期的にチャンバー１を開けて回収す
る。また、チャンバー１内の未反応ガスを回収するため
に、チャンバー１には回収用ポンプ１４を介して未反応
ガス処理系１６が接続されている。そして、連続的にポ
ンプ１４を作動して１０-2Ｔｏｒｒ程度に減圧し、チャ
ンバー１内の未反応ガスを未反応ガス処理系１６に送る
ようにしている。
された粒子は、定期的にチャンバー１を開けて回収す
る。また、チャンバー１内の未反応ガスを回収するため
に、チャンバー１には回収用ポンプ１４を介して未反応
ガス処理系１６が接続されている。そして、連続的にポ
ンプ１４を作動して１０-2Ｔｏｒｒ程度に減圧し、チャ
ンバー１内の未反応ガスを未反応ガス処理系１６に送る
ようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の用
途に使用されるポンプ１４としては、コストが比較的安
く、複雑形状が得られ、強度も高い鋳鉄またはＳＵＳ製
ケーシングを有するものが一般的である。このようなケ
ーシングには、ガスの導入管部および排出管部が形成さ
れ、導入管部には前記チャンバー１に連通する高耐食性
のチューブが接続されると共に、排出管部には処理系１
６に通じるチューブが接続される。また、ケーシング内
の下部には液封用の液体（酸を中和するため、アルカリ
水溶液が一般に使用される）が満たされ、上部には気相
領域が形成されるとともに、回転羽根が収容されてい
る。
途に使用されるポンプ１４としては、コストが比較的安
く、複雑形状が得られ、強度も高い鋳鉄またはＳＵＳ製
ケーシングを有するものが一般的である。このようなケ
ーシングには、ガスの導入管部および排出管部が形成さ
れ、導入管部には前記チャンバー１に連通する高耐食性
のチューブが接続されると共に、排出管部には処理系１
６に通じるチューブが接続される。また、ケーシング内
の下部には液封用の液体（酸を中和するため、アルカリ
水溶液が一般に使用される）が満たされ、上部には気相
領域が形成されるとともに、回転羽根が収容されてい
る。
【０００７】しかし、ＣＶＤ法における未処理ガスに
は、前記反応式から明らかなようにＨＣｌ等の腐食性ガ
スが含まれ、しかもケーシング内部の上部気相領域では
１００％近い水蒸気に満たされた状態にあるため、この
腐食性ガスが水蒸気にとけ込んで濃塩酸の滴となり、導
入管部の内面に付着し、導入管部を内面から腐食すると
いう問題があった。導入管部は、強度上の理由からケー
シングと一体的に形成されているので、導入管部が腐食
すれば、他の部分に異常がなくともケーシング全体を交
換しなければならず、交換のためのコストと日数を要し
た。また、交換中はポンプが使用できないので、予備ポ
ンプが必要で、この点からも維持コストがかかった。
は、前記反応式から明らかなようにＨＣｌ等の腐食性ガ
スが含まれ、しかもケーシング内部の上部気相領域では
１００％近い水蒸気に満たされた状態にあるため、この
腐食性ガスが水蒸気にとけ込んで濃塩酸の滴となり、導
入管部の内面に付着し、導入管部を内面から腐食すると
いう問題があった。導入管部は、強度上の理由からケー
シングと一体的に形成されているので、導入管部が腐食
すれば、他の部分に異常がなくともケーシング全体を交
換しなければならず、交換のためのコストと日数を要し
た。また、交換中はポンプが使用できないので、予備ポ
ンプが必要で、この点からも維持コストがかかった。
【０００８】なお、本発明者らは、前記ケーシングの導
入管部の内面をテフロン樹脂等の耐酸性に優れた樹脂で
被覆することも検討したが、チャンバー１内の未反応ガ
スには微細な硬質粒子も混入しているため、その摩擦に
よりライナーの損傷が予想以上に早く進行し、十分な延
命効果は得られなかった。
入管部の内面をテフロン樹脂等の耐酸性に優れた樹脂で
被覆することも検討したが、チャンバー１内の未反応ガ
スには微細な硬質粒子も混入しているため、その摩擦に
よりライナーの損傷が予想以上に早く進行し、十分な延
命効果は得られなかった。
【０００９】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、ケーシングの導入管部の内面腐食を防いでケーシン
グの寿命を延長することができる腐食性ガス用排気ポン
プを提供することを課題としている。
で、ケーシングの導入管部の内面腐食を防いでケーシン
グの寿命を延長することができる腐食性ガス用排気ポン
プを提供することを課題としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る腐食性ガス用排気ポンプは、腐食性ガ
ス導入路に接続されるべき導入管部およびガス排出口を
有するケーシングと、このケーシングの内部に設けられ
て腐食性ガスを前記導入管部から吸入し前記排出口から
吐出するためのポンプ機構とを有し、ケーシングの内部
空間の下部には液封用の液体が満たされた腐食性ガス用
排気ポンプにおいて、前記導入管部の内部には筒状の保
護ライナーが挿入され、この保護ライナーのケーシング
外側端部は、保護ライナーのケーシング内側への脱落を
防止するために前記導入管部の先端部に着脱可能に係合
しているとともに、保護ライナーのケーシング内側端部
は、導入管部を通ってケーシングの内側空間の上部気相
領域内に突出していることを特徴とする。
に、本発明に係る腐食性ガス用排気ポンプは、腐食性ガ
ス導入路に接続されるべき導入管部およびガス排出口を
有するケーシングと、このケーシングの内部に設けられ
て腐食性ガスを前記導入管部から吸入し前記排出口から
吐出するためのポンプ機構とを有し、ケーシングの内部
空間の下部には液封用の液体が満たされた腐食性ガス用
排気ポンプにおいて、前記導入管部の内部には筒状の保
護ライナーが挿入され、この保護ライナーのケーシング
外側端部は、保護ライナーのケーシング内側への脱落を
防止するために前記導入管部の先端部に着脱可能に係合
しているとともに、保護ライナーのケーシング内側端部
は、導入管部を通ってケーシングの内側空間の上部気相
領域内に突出していることを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明に係る腐食性ガス用排気ポンプでは、ポ
ンプの導入管部に挿入された保護ライナーを通してポン
プ内の上部気相領域に腐食性ガスが流入するので、腐食
性ガスの濃水溶液が導入管部の内面に直接接触すること
が低減でき、導入管部の内面が腐食されることが少な
く、ケーシングの使用寿命を大幅に延長できる。また、
腐食性ガス中の成分または混入物により保護ライナーの
内面が腐食または損傷したとしても、保護ライナーを導
入管部から引き出して新しいライナーと交換するだけで
再び操業が可能であるから、ポンプの稼働効率を著しく
高めることができる。
ンプの導入管部に挿入された保護ライナーを通してポン
プ内の上部気相領域に腐食性ガスが流入するので、腐食
性ガスの濃水溶液が導入管部の内面に直接接触すること
が低減でき、導入管部の内面が腐食されることが少な
く、ケーシングの使用寿命を大幅に延長できる。また、
腐食性ガス中の成分または混入物により保護ライナーの
内面が腐食または損傷したとしても、保護ライナーを導
入管部から引き出して新しいライナーと交換するだけで
再び操業が可能であるから、ポンプの稼働効率を著しく
高めることができる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明に係る腐食性ガス用排気ポンプ
の一実施例の要部を示す断面図である。符号２０は腐食
性ガス用排気ポンプのケーシングであり、このケーシン
グ２０には、上方に突出した円筒状の導入管部２２およ
びガス排出口（図示略）が一体的に形成されている。ま
た、ケーシング２０の内部には、腐食性ガスを導入管部
２２から吸入し前記排出口から吐出するための、従来よ
り周知の回転羽根等のポンプ機構（図示略）が設けら
れ、さらに液封用の液体Ｗ（アルカリ水溶液が好まし
い）が上部気相領域Ｎを残して満たされている。導入管
部２２は開口部２８を介してケーシング２０の上部気相
領域Ｎに連通しており、この開口部２８の周縁は面取り
されている。なお、ケーシング２０は一般にＳＵＳ等の
材質で形成されるが、それに限定されることはない。
の一実施例の要部を示す断面図である。符号２０は腐食
性ガス用排気ポンプのケーシングであり、このケーシン
グ２０には、上方に突出した円筒状の導入管部２２およ
びガス排出口（図示略）が一体的に形成されている。ま
た、ケーシング２０の内部には、腐食性ガスを導入管部
２２から吸入し前記排出口から吐出するための、従来よ
り周知の回転羽根等のポンプ機構（図示略）が設けら
れ、さらに液封用の液体Ｗ（アルカリ水溶液が好まし
い）が上部気相領域Ｎを残して満たされている。導入管
部２２は開口部２８を介してケーシング２０の上部気相
領域Ｎに連通しており、この開口部２８の周縁は面取り
されている。なお、ケーシング２０は一般にＳＵＳ等の
材質で形成されるが、それに限定されることはない。
【００１３】導入管部２２の上端には円環状のフランジ
部２４が同心状に形成され、このフランジ部２４には、
腐食性ガス導入路Ｔの先端のフランジ部Ｆが、Ｏリング
等のシール材（図示略）を介在して接合され、ボルト等
の締結手段（図示略）により気密的に固定されている。
腐食性ガス導入路Ｔの基端部はＣＶＤ装置のチャンバー
などのような腐食性ガスの発生源に接続されている。
部２４が同心状に形成され、このフランジ部２４には、
腐食性ガス導入路Ｔの先端のフランジ部Ｆが、Ｏリング
等のシール材（図示略）を介在して接合され、ボルト等
の締結手段（図示略）により気密的に固定されている。
腐食性ガス導入路Ｔの基端部はＣＶＤ装置のチャンバー
などのような腐食性ガスの発生源に接続されている。
【００１４】上記構成は従来品と同様であり、本発明の
特徴点は、導入管部２２の内部に保護ライナー３０が挿
入されていることにある。この保護ライナー３０は導入
管部２２とほぼ平行に若干湾曲した円筒状をなし、その
外径は導入管部２２の内径よりも小さい。また、保護ラ
イナー３０の全長は導入管部２２よりも長く、その下端
３４は開口部２８を通過してケーシング２０内の上部気
相領域Ｎ中に突出し、保護ライナー３０の内面を伝わる
液滴が導入管部２２の内面２８Ａに接触しないようにな
っている。
特徴点は、導入管部２２の内部に保護ライナー３０が挿
入されていることにある。この保護ライナー３０は導入
管部２２とほぼ平行に若干湾曲した円筒状をなし、その
外径は導入管部２２の内径よりも小さい。また、保護ラ
イナー３０の全長は導入管部２２よりも長く、その下端
３４は開口部２８を通過してケーシング２０内の上部気
相領域Ｎ中に突出し、保護ライナー３０の内面を伝わる
液滴が導入管部２２の内面２８Ａに接触しないようにな
っている。
【００１５】保護ライナー３０の上端には円環状に広が
るフランジ部３２が形成されるとともに、保護ライナー
３０の上端開口部の周縁には面取り面３６が形成されて
いる。この実施例のフランジ部３２はその外径が腐食性
ガス導入路Ｔの内径よりも小さく形成されている。一
方、フランジ部３２に対応する導入管部２２の上端開口
部の周縁には、円環状の係止段部２６が形成されてお
り、この係止段部２６の深さおよび内径は、フランジ部
３２の厚さおよび外径とほぼ等しくされている。これに
より、フランジ部３２は係止段部２６内にほぼ隙間なく
はまりこみ、保護ライナー３０のケーシング内側への脱
落を防止するようになっている。このはまりこんだ状態
で、フランジ部３２の下面と係止段部２６の上面との間
は隙間なく当接する。
るフランジ部３２が形成されるとともに、保護ライナー
３０の上端開口部の周縁には面取り面３６が形成されて
いる。この実施例のフランジ部３２はその外径が腐食性
ガス導入路Ｔの内径よりも小さく形成されている。一
方、フランジ部３２に対応する導入管部２２の上端開口
部の周縁には、円環状の係止段部２６が形成されてお
り、この係止段部２６の深さおよび内径は、フランジ部
３２の厚さおよび外径とほぼ等しくされている。これに
より、フランジ部３２は係止段部２６内にほぼ隙間なく
はまりこみ、保護ライナー３０のケーシング内側への脱
落を防止するようになっている。このはまりこんだ状態
で、フランジ部３２の下面と係止段部２６の上面との間
は隙間なく当接する。
【００１６】保護ライナー３０の材質としては、ポリ塩
化ビニルやテフロン等のプラスチック、ＳＵＳ３１６等
のステンレス鋼、Ｔｉ合金等の高耐食性金属などが耐食
性の点から好適であるが、保護ライナー３０は容易に交
換可能でありそれ自体の耐食性はそれほど高くなくても
よいので、上記のような高耐食性材料のみに限定される
ことはない。
化ビニルやテフロン等のプラスチック、ＳＵＳ３１６等
のステンレス鋼、Ｔｉ合金等の高耐食性金属などが耐食
性の点から好適であるが、保護ライナー３０は容易に交
換可能でありそれ自体の耐食性はそれほど高くなくても
よいので、上記のような高耐食性材料のみに限定される
ことはない。
【００１７】上記構成からなる腐食性ガス用排気ポンプ
を作動させると、腐食性ガス導入路Ｔからの腐食性ガス
は、導入管部２２に挿入された保護ライナー３０を通じ
てポンプ内に流入するので、腐食性ガスの濃水溶液が保
護ライナー３０の内面に付着したとしても、その液滴は
保護ライナー３０の下端部３４から導入管部２２の内面
に触れることなくケーシング２０内に落下するため、最
も腐食し易い導入管部２２の腐食を防ぐことができ、ケ
ーシング２０の使用寿命を大幅に延長できる。ケーシン
グ２０内に直接落下した液滴は、アルカリ水溶液Ｗによ
り中和される。
を作動させると、腐食性ガス導入路Ｔからの腐食性ガス
は、導入管部２２に挿入された保護ライナー３０を通じ
てポンプ内に流入するので、腐食性ガスの濃水溶液が保
護ライナー３０の内面に付着したとしても、その液滴は
保護ライナー３０の下端部３４から導入管部２２の内面
に触れることなくケーシング２０内に落下するため、最
も腐食し易い導入管部２２の腐食を防ぐことができ、ケ
ーシング２０の使用寿命を大幅に延長できる。ケーシン
グ２０内に直接落下した液滴は、アルカリ水溶液Ｗによ
り中和される。
【００１８】また、腐食性ガス中の成分または硬質粒子
等の混入物により保護ライナー３０の内面が腐食または
損傷したとしても、腐食性ガス導入路Ｔを導入管部２２
から一旦外し、保護ライナー３０を導入管部２２から引
き出して新しいライナー３０と交換するだけで、再び操
業が可能であるから、ポンプの稼働効率を著しく高める
ことができ、予備ポンプも不要である。
等の混入物により保護ライナー３０の内面が腐食または
損傷したとしても、腐食性ガス導入路Ｔを導入管部２２
から一旦外し、保護ライナー３０を導入管部２２から引
き出して新しいライナー３０と交換するだけで、再び操
業が可能であるから、ポンプの稼働効率を著しく高める
ことができ、予備ポンプも不要である。
【００１９】次に、図２は本発明の他の実施例を示す図
であり、この実施例が先の実施例と異なる点は、保護ラ
イナー３０の上部３０Ａの外径を、下部３０Ｂよりも大
きくした点にある。上部３０Ａと下部３０Ｂの境界は段
差部４０となっており、この段差部４０の上面は液滴が
溜まらないように傾斜している。このように上部３０Ａ
の内径を拡大すると吸引抵抗を減らすことができ、しか
も保護ライナー３０の装着容易性を阻害しない。また、
下部３０Ｂの外径を小さくすることにより、回転羽根と
の干渉のおそれを低減できる。
であり、この実施例が先の実施例と異なる点は、保護ラ
イナー３０の上部３０Ａの外径を、下部３０Ｂよりも大
きくした点にある。上部３０Ａと下部３０Ｂの境界は段
差部４０となっており、この段差部４０の上面は液滴が
溜まらないように傾斜している。このように上部３０Ａ
の内径を拡大すると吸引抵抗を減らすことができ、しか
も保護ライナー３０の装着容易性を阻害しない。また、
下部３０Ｂの外径を小さくすることにより、回転羽根と
の干渉のおそれを低減できる。
【００２０】また、図２の実施例では、フランジ部３２
の外径が腐食性ガス導入路Ｔの内径よりも大きくされて
おり、保護ライナー３０のフランジ部３２は、段部２６
の上面と腐食性ガス導入路Ｔの下端面との間で挟まれて
固定されている。これにより保護ライナー３０は上方へ
の移動も阻止されている。
の外径が腐食性ガス導入路Ｔの内径よりも大きくされて
おり、保護ライナー３０のフランジ部３２は、段部２６
の上面と腐食性ガス導入路Ｔの下端面との間で挟まれて
固定されている。これにより保護ライナー３０は上方へ
の移動も阻止されている。
【００２１】なお、本発明は上記２つの実施例に限定さ
れるものではなく、ポンプ各部の形状などは任意に変更
してよい。また、保護ライナーの形状も必要に応じて適
宜変更してよいのは勿論である。
れるものではなく、ポンプ各部の形状などは任意に変更
してよい。また、保護ライナーの形状も必要に応じて適
宜変更してよいのは勿論である。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る腐食
性ガス用排気ポンプによれば、腐食性ガス導入路からの
腐食性ガスは、導入管部に挿入された保護ライナーを通
じてポンプ内に流入するので、腐食性ガスが導入管部の
内面に直接接触することはないうえ、腐食性ガスの濃水
溶液の液滴が保護ライナーの内面に付着したとしても、
その液滴は保護ライナーの下端部から導入管部の内面に
触れることなくケーシング内に落下する。したがって、
最も腐食し易い導入管部の腐食を防ぐことができ、ケー
シングの使用寿命を大幅に延長できる。
性ガス用排気ポンプによれば、腐食性ガス導入路からの
腐食性ガスは、導入管部に挿入された保護ライナーを通
じてポンプ内に流入するので、腐食性ガスが導入管部の
内面に直接接触することはないうえ、腐食性ガスの濃水
溶液の液滴が保護ライナーの内面に付着したとしても、
その液滴は保護ライナーの下端部から導入管部の内面に
触れることなくケーシング内に落下する。したがって、
最も腐食し易い導入管部の腐食を防ぐことができ、ケー
シングの使用寿命を大幅に延長できる。
【００２３】また、腐食性ガス中の腐食成分または混入
物により保護ライナーの内面が腐食または損傷したとし
ても、保護ライナーを導入管部から引き出して新しいラ
イナーと交換するだけで、再び操業が可能であるから、
ポンプの稼働効率を著しく高めることができ、予備ポン
プも不要であるという利点を有する。
物により保護ライナーの内面が腐食または損傷したとし
ても、保護ライナーを導入管部から引き出して新しいラ
イナーと交換するだけで、再び操業が可能であるから、
ポンプの稼働効率を著しく高めることができ、予備ポン
プも不要であるという利点を有する。
【図１】本発明に係る腐食性ガス用排気ポンプの一実施
例の要部を示す断面図である。
例の要部を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施例の要部を示す断面図であ
る。
る。
【図３】ＣＶＤ装置に従来の腐食性ガス用排気ポンプを
接続した状態の概略図である。
接続した状態の概略図である。
２０ ケーシング ２２ 導入管部 ２４ 導入管部のフランジ部 ２６ 係止段部 ３０ 保護ライナー ３２ 保護ライナーのフランジ部（係止部） ３４ 保護ライナーの下端 Ｔ 腐食性ガス導入路 Ｗ 液封用の液体 Ｎ ケーシング内の上部気相領域
Claims (1)
- 【請求項１】腐食性ガス導入路に接続されるべき導入管
部およびガス排出口を有するケーシングと、このケーシ
ングの内部に設けられて腐食性ガスを前記導入管部から
吸入し前記排出口から吐出するためのポンプ機構とを有
し、ケーシングの内部空間の下部には液封用の液体が満
たされた腐食性ガス用排気ポンプにおいて、 前記導入管部の内部には筒状の保護ライナーが挿入さ
れ、この保護ライナーのケーシング外側端部は、保護ラ
イナーのケーシング内側への脱落を防止するために前記
導入管部の先端部に着脱可能に係合しているとともに、
保護ライナーのケーシング内側端部は、導入管部を通っ
てケーシングの内側空間の上部気相領域内に突出してい
ることを特徴とする腐食性ガス用排気ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22373593A JPH0777195A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 腐食性ガス用排気ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22373593A JPH0777195A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 腐食性ガス用排気ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0777195A true JPH0777195A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16802876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22373593A Withdrawn JPH0777195A (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 腐食性ガス用排気ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777195A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014004523A (ja) * | 2012-06-25 | 2014-01-16 | Ricoh Co Ltd | 流体浄化装置 |
-
1993
- 1993-09-08 JP JP22373593A patent/JPH0777195A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014004523A (ja) * | 2012-06-25 | 2014-01-16 | Ricoh Co Ltd | 流体浄化装置 |
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