JPH0776754B2 - IC lead bending detection method - Google Patents

IC lead bending detection method

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Publication number
JPH0776754B2
JPH0776754B2 JP61147066A JP14706686A JPH0776754B2 JP H0776754 B2 JPH0776754 B2 JP H0776754B2 JP 61147066 A JP61147066 A JP 61147066A JP 14706686 A JP14706686 A JP 14706686A JP H0776754 B2 JPH0776754 B2 JP H0776754B2
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JP
Japan
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lead
bending
image data
brightness
leads
Prior art date
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Application number
JP61147066A
Other languages
Japanese (ja)
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JPS635243A (en
Inventor
健二郎 藤井
健司 鈴木
Original Assignee
日立テクノエンジニアリング株式会社
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Publication date
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Publication of JPS635243A publication Critical patent/JPS635243A/en
Publication of JPH0776754B2 publication Critical patent/JPH0776754B2/en
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95684Patterns showing highly reflecting parts, e.g. metallic elements

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

〔産業上の利用分野〕 本発明は、面付け用フラットパッケージ型ICのリード曲
りの検出に係り、特にこのようなICの基板への自動搭載
用視覚センサと組合わせて使用するのに好適なICリード
曲り検出方法に関する。
[Field of Industrial Application] The present invention relates to detection of lead bending of a flat package type IC for imposition, and is particularly suitable for use in combination with a visual sensor for automatically mounting such an IC on a substrate. IC lead bending detection method.

【従来の技術】[Prior art]

従来から、各種電子回路については、プリント配線基板
を用いた構成が広く採用されているが、このような基板
も、初期の頃を除いて近年は、自動化機器による製造が
一般的になってきており、ICの自動搭載装置が種々提案
され、実用化されている。 ところで、このような場合、基板に搭載すべきICのリー
ドに曲りがあると、基板上での配線パターンとの接続が
正確に得られなくなってしまうから、これを防止するた
め、予め、このリードの曲りを検査しておき、正しいリ
ード状態のICだけが、基板上にもたらされるようにする
必要がある。 ここで、このICのリードの曲りについて、第6図によっ
て説明すると、まず、この第6図の(a)はフラットパ
ッケージ型ICの平面図で、図において、1はICの本体
で、2がリードを表わす。そして、2a、2bが曲りを持っ
たリードである。 また、同図(b)は、同じく側面図で、2c、2dが曲りを
持ったリードである。なお、以下、この第6図(a)に
示すリード2の曲り、つまり、リード列の配列方向に沿
った曲りを横方向曲りと呼び、第6図(b)に示すリー
ドの曲り、つまり、リード列の配列方向と直角な法降雨
の曲りを縦方向曲りと呼ぶことにする。 一方、ICの自動搭載装置では、予め所定の場所に用意さ
れている、基板に搭載すべきICを、基板上に搬送して位
置決めする為の吸着ハンドを備えているが、このとき、
吸着ハンドでICを保持したところで、一旦、この吸着ハ
ンドを所定の位置に止め、ここで、吸着ハンドによるIC
の保持位置を検出し、この検出結果により基板上での吸
着ハンドの位置決めを制御し、これによりICの搭載位置
精度が充分に得られるようにしている。 そして、このときの保持位置の検出のために、この吸着
ハンドに保持されたICをテレビカメラで撮像して画像デ
ータを得、この画像データからICの保持位置の検出を行
なうようにする方法が従来から知られている。 そこで、この画像データを利用して、上記したリードの
曲りの検出も同じに行なうようにした方法が、種々考え
られる。 なお、これらの方法の一例としては、上記した画像デー
タを二値化し、この二値化データにより各リードの重心
を求め、それらの重心間距離をリードピッチとして検出
し、予め設定してある値と比較することにより検出を行
なうものが考えられる。 しかしながら、対象とするICのリードピッチが狭くリー
ド本数も多くなっている場合に、二値化による方法を適
用するためには、画像データとして、かなりの分解能を
必要とし、このため、拡大視野による画像データの撮像
や、画素数の多い画像データを必要とし、この結果、各
ICごとに複数回の撮像操作が不可欠になったり、データ
処理時間の増大をきたしたりして基板搭載処理時間が長
くなってしまうという問題点があった。 なお、この種の技術として関連するものには、例えば、
特開昭60−1900号公報を挙げることがけきる。
Conventionally, for various electronic circuits, a structure using a printed wiring board has been widely adopted, but in recent years, except for the early days, such a board has been generally manufactured by an automated device. Therefore, various automatic IC mounting devices have been proposed and put into practical use. By the way, in such a case, if the lead of the IC to be mounted on the board is bent, the connection with the wiring pattern on the board cannot be accurately obtained. Bend should be inspected to ensure that only ICs in the correct lead state are brought to the board. Here, the bending of the leads of this IC will be described with reference to FIG. 6. First, FIG. 6 (a) is a plan view of a flat package type IC, in which 1 is the body of the IC and 2 is Represents a lead. And, 2a and 2b are leads having a bend. Further, FIG. 2B is also a side view, in which leads 2c and 2d are bent leads. In addition, hereinafter, the bending of the lead 2 shown in FIG. 6 (a), that is, the bending along the arrangement direction of the lead rows is called lateral bending, and the bending of the lead shown in FIG. 6 (b), that is, The bending of the normal rainfall, which is perpendicular to the arrangement direction of the lead rows, is called the vertical bending. On the other hand, in the automatic IC mounting device, an IC hand to be mounted on the board, which is prepared in advance at a predetermined location, is provided with a suction hand for transporting and positioning on the board.
After holding the IC with the suction hand, temporarily stop this suction hand at a predetermined position,
The holding position of the IC is detected, and the positioning of the suction hand on the substrate is controlled based on the detection result, so that the mounting accuracy of the IC can be sufficiently obtained. Then, in order to detect the holding position at this time, there is a method in which the IC held by the suction hand is imaged by a TV camera to obtain image data, and the holding position of the IC is detected from the image data. Known from the past. Therefore, various methods are conceivable in which this image data is used to detect the bending of the lead in the same manner. As an example of these methods, the image data described above is binarized, the center of gravity of each lead is obtained from this binarized data, the distance between the centers of gravity is detected as the lead pitch, and a preset value is set. It is considered that the detection is performed by comparing with. However, when the target IC has a narrow lead pitch and a large number of leads, in order to apply the method by binarization, a considerable resolution is required as the image data. Image data needs to be captured and image data with many pixels is required.
There is a problem in that it is necessary to perform multiple imaging operations for each IC, and the data processing time increases, resulting in a long board mounting processing time. It should be noted that related to this kind of technology, for example,
Reference can be made to JP-A-60-1900.

【発明が解決しようとする問題点】[Problems to be Solved by the Invention]

上記従来技術では、白か黒、又は1と0として処理した
二値化画像データを利用しているため、リードのエッジ
部分に関しては、白でも黒でない中間のデータは中間部
分としてでなく白か黒のいずれかと判定して処理される
ため、検出したエッジ部分の位置は不安定になり易く、
ICのリードとして一般的な0.3mm幅程度のリードピッチ
における微小な曲りの計測を高精度で行なうのは困難
で、このため、上記したように、拡大視野などによる画
素数の多い画像データを必要とするのであり、ICの自動
搭載装置への適用は、IC1個当りの処理時間の増大とい
う問題点を生じてしまうのである。 本発明の目的は、上記した従来例の問題点に充分に対処
し、曲り検出専用の画像データ取込装置を設けることな
く、面付け用フラットパッケージ型ICの自動搭載装置用
の画像データを利用して、高速で、かつ高精度で容易に
リード曲りの検出を行なうことが出来るようにしたICリ
ード曲り検出方法を提供することにある。
In the above-mentioned conventional technique, since the binarized image data processed as white or black or 1 and 0 is used, regarding the edge portion of the lead, the intermediate data which is neither white nor black is white instead of being the intermediate portion. The position of the detected edge is liable to be unstable because it is determined to be black and processed.
It is difficult to measure minute bends with a high lead pitch of about 0.3 mm width, which is generally used for IC leads, with high precision. Therefore, as described above, image data with a large number of pixels due to the expanded field of view is required. Therefore, the application of the IC to the automatic mounting device causes a problem that the processing time per IC increases. An object of the present invention is to sufficiently deal with the above-mentioned problems of the conventional example, and to use the image data for the automatic mounting device of the flat package IC for imposition without providing the image data capturing device exclusively for the bend detection. Another object of the present invention is to provide an IC lead bend detecting method capable of easily detecting lead bend at high speed and with high accuracy.

【問題点を解決するための手段】[Means for solving problems]

上記目的は、本発明によれば、ICの平面を一視野で撮像
した画像データから、そのリードの配列方向に並行にし
てリードの列を横切る測定線を設定し、測定線上の1次
元画像データから明るさデータを抽出し、この抽出した
明るさデータからリードのエッジの位置座標を算出し、
隣り合うリードの座標からリードピッチを算出し、さら
に複数のリードピッチを比較することにより、リードの
曲りの有無を検出するようにした点を特徴とする。 さらに、1次元画像データから抽出した明るさデータの
なかの所定の値より明るいデータの数をチェックするこ
とにより、リードの本数を把握することができるので、
対象とするICのリード本数と比較することにより、リー
ドの曲りの有無を検出することができる。
According to the present invention, according to the present invention, one-dimensional image data on a measurement line is set by setting a measurement line that crosses a row of leads in parallel with the arrangement direction of the leads from image data obtained by imaging the plane of an IC in one field The brightness data is extracted from, and the position coordinate of the lead edge is calculated from the extracted brightness data,
It is characterized in that the lead pitch is calculated from the coordinates of the adjacent leads and the lead pitch is detected by comparing a plurality of lead pitches. Further, by checking the number of pieces of data which are brighter than a predetermined value among the brightness data extracted from the one-dimensional image data, the number of leads can be grasped,
Whether or not the lead is bent can be detected by comparing the number of leads of the target IC.

【作用】[Action]

検出対象となるフラットパッケージ型ICのリード列は、
それを反射光で撮像した場合、背景に対して明るい部分
として、ある程度のコントラストを持つが、リードの反
射面の角度によっては、反射光の光量に変化を生じ、背
景とのコントラスト差が小さくなる。そこで、このよう
な性質を持つリード列に対して、その配列方向に沿って
これらのリード列を横切るように設定した測定線(直
線)上の明るさの濃淡分布は、リードの配列状態に応じ
て周期的な変化を示す。そこで、この変化からリードピ
ッチを算出して隣り合うリードピッチと比較したり、明
るさの変化から所定の明るさを越える数をチェックする
ことにより、容易にリードの曲りの有無を検出すること
が出来る。
The lead line of the flat package type IC to be detected is
When it is imaged with reflected light, it has some contrast as a bright part with respect to the background, but the amount of reflected light changes depending on the angle of the reflective surface of the lead, and the contrast difference with the background becomes small. . Therefore, for lead rows with such characteristics, the brightness distribution on the measurement line (straight line) set so as to cross these lead rows along the array direction depends on the lead array state. And shows periodic changes. Therefore, the lead pitch can be easily detected by calculating the lead pitch from this change and comparing it with the adjacent lead pitch, or by checking the number exceeding the predetermined brightness from the change in brightness. I can.

【実施例】【Example】

以下、本発明によるICリード曲りの検出方法について、
図示の実施例により詳細に説明する。 第2図は本発明の一実施例で、図において、1はフラッ
トパッケージ型のIC、3は吸着ハンド、4は粗位置決め
用のチャック、5はテレビカメラ、6はレンズ、7は撮
像素子、そして8は照明装置である。 この実施例は、ICの自動搭載装置に本発明を適用したも
ので、吸着ハンド3はチャック4を備え、予め所定の位
置に用意されているIC1を吸着して保持しては、それ
を、これも予め所定の位置に設置されている基板の所定
の場所に運び、位置決めする働きをする。ここで、チャ
ック4は吸着ハンド3に対するIC1の吸着姿勢を粗く位
置決めする働きをするものである。 そして、このとき、この吸着ハンド3は、上記した所定
の位置から基板の上にIC1を運ぶ途中で、前述の通り、
予め定められている位置に一旦、停止する。 一方、テレビカメラ5は、この吸着ハンド3が一旦、停
止させられる位置に対応して、その真下に据付けてあ
り、ここで、レンズ6により、このIC1の平面の全体像
を視野に収めた画像が撮像素子7に丁度結像されるよう
にしてある。そして、この吸着ハンド3が丁度、停止し
たタイミングで、吸着保持状態にあるIC1の撮像を行な
い、その画像データの取込み、それを図示していないメ
モリ(フレームメモリ)に記憶する。 そして、このメモリに記憶された画像データの処理によ
り、このときでの吸着ハンド3に対するIC1の吸着位置
と姿勢を検出して、その後での基板上での位置決め補正
制御を行なうと共に、この実施例では、さらに、このメ
モリに記憶された画像データの処理により、IC1のリー
ド2の曲りの検出を行ない、そのICが不良品か否かを判
定し、不良品と判定されたときには、このICを取除くよ
うな制御を行なう。 つぎに、この画像データ処理によるICリードの曲り検出
について説明する。 既に第6図で説明したように、ICのリードの曲りには、
横方向曲り(第6図(a))と縦方向曲り(同(b))
とがある。 そこで、まず、横方向曲りの検出について説明する。 第2図のようにして撮像したICの画像を、図示していな
いCRTの画面上に表示すると、第3図に示すようになっ
ている。そこで、この画面の中に、予め所定の位置に測
定線Lを設定しておき、この測定線Lに沿って明るさデ
ータDを抽出する。 この明るさデータDは1次元画像データであるが、説明
のため2次元で示すと、第1図(b)のようなパターン
になっている。 まずICのリードの座標の算出について説明する。尚、算
出方法については、同一出願人による発明「面付け部品
自動搭載方式」(特願昭60−224852号)、及び「ICのプ
リント基板への搭載装置」(特願昭61−113586号)にも
述べられている。 フレームメモリに格子状に配列して格納されている画像
データの中から、この測定線Lに対応する部分のデータ
Dを次式にしたがって加重平均をとり、その値をリード
2のエッジ部座標Xkとする。 但し、Xk:測定線L方向のエッジ座標値 m:明るさ濃度単調増加、減少開始点 n:明るさ濃度単調増加、減少終了点 f(i):i座標における明るさデータ このときの単調増加、減少範囲は、同方向成分の明るさ
変化をもつ範囲で次の(2)式の条件により決定する。 |f(n)−f(m)|≧Dth …(2) 但し、Dth:明るさしきい値 このとき、上述の(1)式で求められたエッジ座標は、
1画素以下の単位で、高精度に検出される。 以上は、同一出願人による前記の発明にも示されてい
る。 本発明を次に説明する。 (1)式により求まったエッジ座標から、隣り合ったリ
ード間の距離であるリードピッチLp、Lp+1を求め、こ
れによりリード曲りの存在を検出し、その大小によりIC
の良否判定を行なう。このときの判定は、次の(3)に
より行ない、この(3)式の条件を満さない場合を不良
品と判定する。 |Lp−L(p+1)|<Nth …(3) 但し、Nth:判定しない値 L1:1/2|X3+X4−X1−X2| : : Lp:1/2|X(k+2)+X(k+3)−Xk−X(k+1)| L(p+1):1/2|X(k+5)+X(k+4)−X(k
2)−X(k+3)| 従って、この実施例によれば、上述のように、隣り合っ
たリード間でのリードピッチの差の絶対値|Lp−L(p
1)|を判定することにより、リード曲りの大小を求
めることができ、ICの基板への自動搭載処理時での撮像
による画像データをそのまま用いて、容易にリード曲り
の検出を行なうことができる。 次に、縦方向曲りの検出について説明する。 第2図に戻り、この実施例では、照明装置8として、撮
像用のレンズ6の周辺に、このレンズを囲んで連続する
ようにして配置した、ほぼ点光源と見倣すことができ
る、小さな光源列から上方に光が照射されるように、光
ファイバを用いたリング光源装置8を用い、これによる
照明の下でIC1の撮像が行なわれるように構成されてい
る。 そこで、この実施例の光学系によるリード2の結像状態
を示すと、第4図のようになる。 ここで、10は照明装置8の光ファイバリングによる光照
射口、11はレンズ6の光心、12はレンズ光軸、13は撮像
素子8の撮像面、14はレンズ8の前主点、15は同じく後
主点である。 まず、光射出口10からの照射光線α、βは、リード2の
裏面で正反射し、その反射光はレンズ6を通って撮像面
13に到達し、そこに結像する。 従って、このとのきの撮像面でのリード2の像の明るさ
は、照射口10が充分に小さくて、点光源と見倣せること
から、このリード2の水平面からの角度Θ、つまり、こ
のリード2の曲りの大小によつて変化する。 そして、このときに、撮像面13でのリードの像が最大光
量となるための角度Θは次式で決定される。 Θα=1/2〔2π−Tan-1d/a−Tan-1b/(a+c)〕 …
(4) Θβ=1/2〔π−Tan-1d/a+Tan-1(a−c)/b〕 …
(5) 但し、a:レンズ光軸からリードの反射面(点)までの距
離 b:照射口からリードの反射面(点)までの距離 c:レンズ光軸から照射口までの距離 d:リード反射面(点)からレンズの光軸までの距離 従って、この実施例によれば、これら(4)、(5)式
における定数a、b、c、dとして、適当な値が与えら
れるように各部の構成を定めてやることにより、角度Θ
の値が所定値を越えていて、リード曲りにより不良品と
判定すべきICによる反射光の光量だけが所定値以下にな
るようにすることができ、縦方向曲りが検出できる。 この検出は、上記の(2)式における明るさしきい値Dt
hを所定値に定めることにより行なわれ、このしきい値D
th以上の明るさを示した光量部分の回数を、予め与えら
れているリードの本数と比較し、それらが一致すること
により良品と判定することができる。 なお、以上の説明から明らかな如く、上記の光量の減少
は、第7図に示すリードが存在しない場合にも現われ
る。従って、この実施例によれば、本来、あるべきリー
ドが、欠損などによって失なわれているICについての良
否判定も同時に得ることができる。 第5図に、以上の実施例におけるリード曲り検出処理の
概略フローチャートを示す。 まず、処理500では、フレームメモリに格納してある画
像データの中から、或るリード群の測定線Lに沿ったデ
ータを所定のバッファに移しかえる処理を行なう。 処理504、処理506では、処理502での判定により、上記
の(1)、(2)の式に基づくエッジ座標の検出を行な
い、その結果を順次、テーブル化してゆく処理を繰り返
す。 処理508では、上記(3)式に基づき、ピッチ間距離の
算出処理を行ない、その結果を次の処理510により判定
し、横方向曲りの検出を行なう。 処理512では、この実施例が適用されている自動搭載装
置が本来、必要としている、ICの基板に対する位置決め
制御のための処理を行なう。 処理514では、以上の処理がICの全てのリード列につい
て終了したか否かの判定を行なう。つまり、ICには、例
えば、第3図に示すICでは4列となっているように、一
般に複数のリード列がある。そこで、これら複数のリー
ド列に対応して、それぞれの測定線ごとに処理を繰り返
えすのである。なお、一般には、リード列は2列と4列
がほとんどである。 処理516では、上記の(4)、(5)式により得られる
光量変化を(2)式のしきい値で判別し、それに基づい
てリードの本数のチェックを行ない、良否判定処理を行
なう。 処理518では、上記の512の処理によって得られている結
果に基づいて、基板搭載時での位置決め制御に必要な、
ICの吸着ハンド3(第2図)に対する保持位置、姿勢の
検出処理を行なう。 従って、この実施例によれば、ICの自動搭載処理に際し
て、この処理での制御に用いられている画像データを共
用するだけで、リード曲りの検出を行なうことができる
から、自動搭載装置に適用して、1個のICの基板上えの
取り付けに必要な一連の処理に要する時間、いわゆるタ
クトタイムを、ほとんど増加させることなく、確実にリ
ード曲りの検出を行なうことができる。 なお、以上の実施例では、第3図に示すように、ICの各
リード列ごとに1本の測定線Lを設定しているが、これ
に代え、各リード列ごとに複数本の測定線を設定し、こ
の複数の測定線に基づいて、複数回の測定を行ない、こ
れらの測定線のデータによる検出結果のうち、最大のリ
ード本数を示したデータを用いて最終的な検出を行なう
ようにしてもよく、この方式によれば、さらに信頼性を
向上されることができる。 ところで、ICの中には、そのリードの配列ピッチが一様
ではなくて、第7図に示すように、その一部に異なった
ピッチを持ったものもある。 そこで、このようなICに対しては、このピッチが異なる
部分での検出結果を無視するように構成することによ
り、容易に本発明を適用することができる。なお、この
無視すべき部分に関しては、予め、それに対応したデー
タを設定しておくことになるが、これは、適用すべきIC
が決まれば、それから簡単に設定することができるか
ら、全く何の問題もなく、容易に実施することができ
る。 〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、検査すべきICの
平面全体を視野とする、唯1回の撮像によって得た画像
データを用いるだけで、容易に高信頼性を保ってのリー
ド曲りの検出を行なうことができるので、従来技術の問
題点に充分に対処でき、自動搭載装置に適用して、タク
トタイムのの増大をもたらすことなく、常に確実な検出
を高速で行なうことができるICリード曲り検出方法を提
供することができる。
Hereinafter, regarding the method for detecting the IC lead bending according to the present invention,
This will be described in detail with reference to the illustrated embodiment. FIG. 2 shows an embodiment of the present invention, in which 1 is a flat package type IC, 3 is a suction hand, 4 is a chuck for rough positioning, 5 is a television camera, 6 is a lens, 7 is an image sensor, 8 is a lighting device. In this embodiment, the present invention is applied to an automatic IC mounting device. The suction hand 3 is provided with a chuck 4, and the IC 1 prepared in advance at a predetermined position is sucked and held. This also serves to carry and position the substrate at a predetermined position which is previously installed at a predetermined position. Here, the chuck 4 serves to roughly position the suction attitude of the IC 1 with respect to the suction hand 3. Then, at this time, the suction hand 3 is carrying the IC1 on the substrate from the above-mentioned predetermined position, as described above.
It temporarily stops at a predetermined position. On the other hand, the television camera 5 is installed right below the suction hand 3 corresponding to the position where the suction hand 3 is once stopped, and here, the lens 6 is an image in which the entire image of the plane of the IC 1 is included in the visual field. Is just imaged on the image sensor 7. Then, when the suction hand 3 has just stopped, the IC 1 in the suction holding state is imaged, the image data is fetched, and the image data is stored in a memory (frame memory) not shown. Then, by processing the image data stored in this memory, the suction position and the posture of the IC1 with respect to the suction hand 3 at this time are detected, and the positioning correction control on the substrate is performed thereafter, and at the same time, this embodiment is performed. Then, by further processing the image data stored in this memory, the bending of the lead 2 of the IC1 is detected, and it is determined whether or not the IC is a defective product. Control to remove. Next, detection of bending of the IC lead by this image data processing will be described. As already explained in Fig. 6, the bending of the IC leads is
Horizontal bending (Fig. 6 (a)) and vertical bending (same (b))
There is. Therefore, first, detection of lateral bending will be described. When the image of the IC imaged as shown in FIG. 2 is displayed on the screen of the CRT (not shown), it becomes as shown in FIG. Therefore, the measurement line L is set in advance at a predetermined position on this screen, and the brightness data D is extracted along this measurement line L. The brightness data D is one-dimensional image data, but if it is shown two-dimensionally for the sake of explanation, it has a pattern as shown in FIG. First, calculation of IC lead coordinates will be described. As for the calculation method, the invention of the same applicant, “Automatic mounting method for imposition components” (Japanese Patent Application No. 60-224852) and “Device for mounting IC on printed circuit board” (Japanese Patent Application No. 61-113586). Is also described. From the image data arrayed and stored in the frame memory in a grid pattern, the data D of the portion corresponding to this measurement line L is weighted averaged according to the following formula, and the value is taken as the edge coordinate Xk of the lead 2. And However, Xk: Edge coordinate value in the direction of measurement line L m: Brightness density monotonous increase, decrease start point n: Brightness density monotone increase, decrease end point f (i): Brightness data at i coordinate Monotonic increase at this time The decrease range is a range having the brightness change of the same direction component, and is determined by the condition of the following expression (2). | f (n) −f (m) | ≧ Dth (2) However, Dth: brightness threshold value At this time, the edge coordinates obtained by the above equation (1) are
It is detected with high accuracy in units of one pixel or less. The above is also shown in the above invention by the same applicant. The present invention will be described below. The lead pitches Lp and Lp + 1, which are the distances between adjacent leads, are found from the edge coordinates found by equation (1), and the presence of lead bends is detected by this, and the IC
The pass / fail judgment is made. The determination at this time is performed by the following (3), and when the condition of the expression (3) is not satisfied, it is determined as a defective product. | Lp−L (p + 1) | <Nth (3) However, Nth: value that is not judged L 1 : 1/2 | X 3 + X 4 −X 1 −X 2 | :: Lp: 1/2 | X (k + 2 ) + X (k + 3 ) -Xk-X (k + 1 ) | L (p + 1 ): 1/2 | X (k + 5 ) + X (k + 4 ) -X (k
+ 2) -X (k + 3 ) | Thus, according to this embodiment, as described above, the absolute value of the difference between the lead pitch between adjacent leads | Lp-L (p
+ 1) | by determining, it is possible to determine the magnitude of the lead bending, the image data by the imaging at the time of automatic mounting process to the substrate of the IC used as it is, is possible to easily lead bending detection it can. Next, the detection of the vertical bending will be described. Returning to FIG. 2, in this embodiment, the illumination device 8 is arranged in the vicinity of the imaging lens 6 so as to surround the lens and is continuous. A ring light source device 8 using an optical fiber is used so that light is emitted upward from the light source array, and the IC 1 is imaged under illumination by the ring light source device 8. Then, the image formation state of the lead 2 by the optical system of this embodiment is shown in FIG. Here, 10 is a light irradiation port formed by an optical fiber ring of the illuminating device 8, 11 is an optical center of the lens 6, 12 is an optical axis of the lens, 13 is an image pickup surface of the image pickup element 8, 14 is a front principal point of the lens 8, 15 Is also a posterior point. First, the light rays α and β emitted from the light exit 10 are specularly reflected on the back surface of the lead 2, and the reflected light passes through the lens 6 and the imaging surface.
It reaches 13 and forms an image there. Therefore, the brightness of the image of the lead 2 on the image pickup surface at this time is the angle Θ of the lead 2 from the horizontal plane, that is, since the irradiation port 10 is sufficiently small and can be regarded as a point light source. It changes depending on the size of the bend of the lead 2. Then, at this time, the angle Θ for the lead image on the imaging surface 13 to have the maximum light amount is determined by the following equation. Θα = 1/2 [2π-Tan -1 d / a-Tan -1 b / (a + c)] ...
(4) Θβ = 1/2 [π-Tan -1 d / a + Tan -1 (ac) / b] ...
(5) where a: Distance from lens optical axis to lead reflection surface (point) b: Distance from irradiation opening to lead reflection surface (point) c: Distance from lens optical axis to irradiation opening d: Lead Distance from the reflecting surface (point) to the optical axis of the lens Therefore, according to this embodiment, appropriate values can be given as the constants a, b, c and d in the expressions (4) and (5). By determining the configuration of each part, the angle Θ
Is greater than the predetermined value, only the amount of light reflected by the IC that should be determined to be defective due to bending of the lead can be set to a predetermined value or less, and vertical bending can be detected. This detection is performed by the brightness threshold Dt in the above formula (2).
This is done by setting h to a predetermined value.
The number of times of the light amount portion showing the brightness of th or more is compared with the number of leads given in advance, and if they match, it can be determined as a good product. As is clear from the above description, the above-mentioned decrease in the amount of light also appears when the leads shown in FIG. 7 are not present. Therefore, according to this embodiment, it is possible to simultaneously obtain a pass / fail judgment for an IC in which an originally intended lead is lost due to a defect or the like. FIG. 5 shows a schematic flowchart of the lead bending detection processing in the above embodiment. First, in the process 500, the process of transferring the data along the measurement line L of a certain lead group from the image data stored in the frame memory to a predetermined buffer is performed. In processing 504 and processing 506, the edge coordinates are detected based on the above equations (1) and (2) according to the determination in processing 502, and the results are sequentially tabulated and the processing is repeated. In process 508, the inter-pitch distance calculation process is performed based on the above equation (3), and the result is determined in the next process 510, and lateral bending is detected. In process 512, a process for positioning control of the IC with respect to the substrate, which is originally required by the automatic mounting apparatus to which this embodiment is applied, is performed. In process 514, it is determined whether or not the above process has been completed for all read columns of the IC. That is, the IC generally has a plurality of lead rows, for example, four rows in the IC shown in FIG. Therefore, the processing is repeated for each measurement line corresponding to the plurality of lead rows. In general, most of the lead rows are 2 rows and 4 rows. In process 516, the change in the light amount obtained by the equations (4) and (5) is discriminated by the threshold value of the equation (2), and the number of leads is checked based on the discriminant, and the pass / fail judgment process is performed. In process 518, based on the result obtained by the above process 512, necessary for positioning control when mounting the board,
The holding position and posture of the IC suction hand 3 (Fig. 2) are detected. Therefore, according to this embodiment, when the IC automatic mounting process is performed, the lead bending can be detected only by sharing the image data used for the control in this process. As a result, lead bending can be reliably detected with almost no increase in the time required for a series of processes required to mount one IC on the substrate, that is, the so-called tact time. In the above embodiment, one measurement line L is set for each lead row of the IC as shown in FIG. 3, but instead of this, a plurality of measurement lines L is set for each lead row. Is set, the measurement is performed multiple times based on these multiple measurement lines, and the final detection is performed using the data showing the maximum number of leads among the detection results of the data of these measurement lines. However, according to this method, the reliability can be further improved. By the way, in some ICs, the arrangement pitch of the leads is not uniform, and some of them have different pitches, as shown in FIG. Therefore, the present invention can be easily applied to such an IC by configuring the IC so as to ignore the detection result in the portion where the pitch is different. For this part that should be ignored, the corresponding data should be set in advance.
If you decide, you can easily set it, and you can easily implement it without any problems. [Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, high reliability can be easily achieved by using image data obtained by a single image pickup with the entire plane of the IC to be inspected as a field of view. Since it is possible to detect the lead bend while keeping it, it is possible to sufficiently deal with the problems of the conventional technology and to apply it to an automatic mounting device to always perform reliable detection at high speed without increasing the tact time. An IC lead bending detection method that can be performed can be provided.

【図面の簡単な説明】 第1図は本発明によるICリード曲り検出方法の一実施例
における検出原理の説明図、第2図は同じく一実施例に
おける撮像動作の説明図、第3図は本発明における測定
線の説明図、第4図は同じく一実施例における撮像時で
の光学系の説明図、第5図は同じく一実施例における動
作説明用のフローチャート、第6図はICパッケージの一
例を示す平面図、第7図はICパッケージの他の一例を示
す説明図である。 1……IC、2……リード、3……吸着ハンド、4……チ
ャック、5……テレビカメラ、6……レンズ、7……撮
像素子、8……照明装置、
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory view of a detection principle in an embodiment of an IC lead bending detection method according to the present invention, FIG. 2 is an explanatory view of an image pickup operation in the same embodiment, and FIG. FIG. 4 is an explanatory view of a measurement line in the invention, FIG. 4 is an explanatory view of an optical system at the time of image pickup in the same embodiment, FIG. 5 is a flowchart for explaining the operation in the same embodiment, and FIG. 6 is an example of an IC package. And FIG. 7 is an explanatory view showing another example of the IC package. 1 ... IC, 2 ... Lead, 3 ... Suction hand, 4 ... Chuck, 5 ... TV camera, 6 ... Lens, 7 ... Imaging element, 8 ... Illumination device,

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】検査すべきICの平面全体を撮像した画像デ
ータから、該ICのリードの曲りを検出する方法であっ
て、 前記画像データの中で、前記リードの配列方向に沿って
該リードの列を横切る測定線を設定し、 該設定線上から得られる1次元画像データから明るさデ
ータを抽出し、 該明るさデータの変化に基づいて前記リードのそれぞれ
のエッジの位置座標を算出し、 該エッジの位置座標から隣合うリード間の距離であるリ
ードピッチをそれぞれのリード毎に算出し、 これら各リード毎のリードピッチが、隣接するリード間
で予め設定してある所定値を越えて変化したとき、リー
ド曲り有りと判定することを特徴とするIC曲り検出方
法。
1. A method for detecting bending of a lead of an IC from image data obtained by picking up an entire plane of an IC to be inspected, wherein the lead in the image data is arranged along the arrangement direction of the lead. Setting a measurement line that crosses the column, extracting the brightness data from the one-dimensional image data obtained from the setting line, and calculating the position coordinates of each edge of the lead based on the change in the brightness data, The lead pitch, which is the distance between adjacent leads, is calculated from the position coordinates of the edge for each lead, and the lead pitch for each lead changes beyond a predetermined value set between adjacent leads. IC bending detection method characterized by determining that there is a bending in the lead.
【請求項2】特許請求の範囲第1項において、 前記明るさデータから、その変化回数を算出し、 該変化回数が予め設定してある所定値と比較する処理が
設けられていることを特徴とするICリード曲り検出方
法。
2. The method according to claim 1, further comprising a process of calculating the number of changes of the brightness data from the brightness data and comparing the number of changes with a predetermined value set in advance. IC lead bending detection method.
JP61147066A 1986-06-25 1986-06-25 IC lead bending detection method Expired - Lifetime JPH0776754B2 (en)

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