JPH0773462A - 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法及びその装置Info
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- JPH0773462A JPH0773462A JP5220993A JP22099393A JPH0773462A JP H0773462 A JPH0773462 A JP H0773462A JP 5220993 A JP5220993 A JP 5220993A JP 22099393 A JP22099393 A JP 22099393A JP H0773462 A JPH0773462 A JP H0773462A
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- magnetic
- recording medium
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造歩留り良く
提供することを目的とする。 【構成】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法で
あって、非磁性の支持体上に磁性材料を堆積して金属磁
性薄膜を形成した後、導電性部材に当接させ、磁気記録
媒体に帯電している電荷を逃がす磁気記録媒体の製造方
法。
提供することを目的とする。 【構成】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法で
あって、非磁性の支持体上に磁性材料を堆積して金属磁
性薄膜を形成した後、導電性部材に当接させ、磁気記録
媒体に帯電している電荷を逃がす磁気記録媒体の製造方
法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造方
法及びその装置に関するものである。
法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させ、この後巻取
側ロール２２ｂに巻き取られ、そしてこの後カッティン
グなどの工程を経て磁気テープなどが作製されているの
である。
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させ、この後巻取
側ロール２２ｂに巻き取られ、そしてこの後カッティン
グなどの工程を経て磁気テープなどが作製されているの
である。
【０００４】しかしながら、このような製造工程におい
て、巻取側ロール２２ｂの巻取作業に支障が起き、例え
ば巻き乱れが起きたり、皺が出来たりし、これに起因し
て磁性薄膜の形成が上手く行えなくなることがあり、改
善が待たれている。
て、巻取側ロール２２ｂの巻取作業に支障が起き、例え
ば巻き乱れが起きたり、皺が出来たりし、これに起因し
て磁性薄膜の形成が上手く行えなくなることがあり、改
善が待たれている。
【０００５】
【発明の開示】前記の問題点に対する検討を鋭意押し進
めて行くうちに、蒸発磁性粒子が堆積した後のＰＥＴフ
ィルム２３には電子が過剰に帯電していることが判り、
これによってＰＥＴフィルム２３の走行性が低下するの
であろうとの知見を得るに至った。
めて行くうちに、蒸発磁性粒子が堆積した後のＰＥＴフ
ィルム２３には電子が過剰に帯電していることが判り、
これによってＰＥＴフィルム２３の走行性が低下するの
であろうとの知見を得るに至った。
【０００６】すなわち、電子銃によってルツボ２４内の
磁性金属２５を蒸発させていることから、磁性粒子の堆
積に伴って電子も帯電することになり、ＰＥＴフィルム
２３が静電気を帯びることになるので、これによってＰ
ＥＴフィルム２３の走行性が低下するのであることが判
って来たのである。このような知見に基づいて本発明が
達成されたものであり、本発明は、金属薄膜型の磁気記
録媒体を製造歩留り良く提供することを目的とする。
磁性金属２５を蒸発させていることから、磁性粒子の堆
積に伴って電子も帯電することになり、ＰＥＴフィルム
２３が静電気を帯びることになるので、これによってＰ
ＥＴフィルム２３の走行性が低下するのであることが判
って来たのである。このような知見に基づいて本発明が
達成されたものであり、本発明は、金属薄膜型の磁気記
録媒体を製造歩留り良く提供することを目的とする。
【０００７】この本発明の目的は、金属薄膜型の磁気記
録媒体を製造する方法であって、非磁性の支持体上に磁
性材料を堆積して金属磁性薄膜を形成した後、導電性部
材に当接させ、磁気記録媒体に帯電している電荷を逃が
すことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達
成される。尚、この磁気記録媒体の製造方法において、
磁性材料を堆積させた非磁性の支持体を巻き取るまでの
間に導電性部材に当接させることが好ましい。
録媒体を製造する方法であって、非磁性の支持体上に磁
性材料を堆積して金属磁性薄膜を形成した後、導電性部
材に当接させ、磁気記録媒体に帯電している電荷を逃が
すことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によって達
成される。尚、この磁気記録媒体の製造方法において、
磁性材料を堆積させた非磁性の支持体を巻き取るまでの
間に導電性部材に当接させることが好ましい。
【０００８】又、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する
装置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成
する金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜の形成され
た磁気記録媒体を当接させる導電性部材とを具備し、こ
の導電性部材を介して磁気記録媒体に帯電している電荷
を逃がすように構成したことを特徴とする磁気記録媒体
の製造装置によって達成される。
装置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成
する金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜の形成され
た磁気記録媒体を当接させる導電性部材とを具備し、こ
の導電性部材を介して磁気記録媒体に帯電している電荷
を逃がすように構成したことを特徴とする磁気記録媒体
の製造装置によって達成される。
【０００９】又、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する
装置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成
する金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜の形成され
た磁気記録媒体を当接させる導電性部材と、この導電性
部材の電子を少なくさせておく減電手段とを具備し、前
記導電性部材を介して磁気記録媒体に帯電している電荷
を逃がすように構成したことを特徴とする磁気記録媒体
の製造装置によって達成される。
装置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成
する金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜の形成され
た磁気記録媒体を当接させる導電性部材と、この導電性
部材の電子を少なくさせておく減電手段とを具備し、前
記導電性部材を介して磁気記録媒体に帯電している電荷
を逃がすように構成したことを特徴とする磁気記録媒体
の製造装置によって達成される。
【００１０】又、非磁性の支持体の供給手段及び巻取手
段と、前記供給手段と巻取手段との間の走行経路におい
て設けられた非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成す
る金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜の形成された
磁気記録媒体を当接させる導電性部材と、この導電性部
材の電子を少なくさせておく減電手段と、前記非磁性の
支持体を供給手段から導電性部材を経由して巻取手段に
至る走行経路を走行させる走行手段とを備えてなり、前
記導電性部材を介して磁気記録媒体に帯電している電荷
を逃がすように構成したことを特徴とする磁気記録媒体
の製造装置によって達成される。
段と、前記供給手段と巻取手段との間の走行経路におい
て設けられた非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成す
る金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜の形成された
磁気記録媒体を当接させる導電性部材と、この導電性部
材の電子を少なくさせておく減電手段と、前記非磁性の
支持体を供給手段から導電性部材を経由して巻取手段に
至る走行経路を走行させる走行手段とを備えてなり、前
記導電性部材を介して磁気記録媒体に帯電している電荷
を逃がすように構成したことを特徴とする磁気記録媒体
の製造装置によって達成される。
【００１１】尚、この磁気記録媒体の製造装置におい
て、減電手段としては光電効果を利用したものを用いる
ことが出来る。以下、具体的な実施例を挙げて説明す
る。
て、減電手段としては光電効果を利用したものを用いる
ことが出来る。以下、具体的な実施例を挙げて説明す
る。
【００１２】
〔実施例１〕図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造
装置の一実施例を示す概略図である。同図中、１は冷却
キャン、２ａは非磁性の支持体３の供給側ロール、２ｂ
は支持体３の巻取側ロール、４は防着板、５はルツボ、
６は磁性金属、７は電子銃、８は真空容器である。尚、
真空容器８内を高真空度のものにする為の真空ポンプは
図示していない。
装置の一実施例を示す概略図である。同図中、１は冷却
キャン、２ａは非磁性の支持体３の供給側ロール、２ｂ
は支持体３の巻取側ロール、４は防着板、５はルツボ、
６は磁性金属、７は電子銃、８は真空容器である。尚、
真空容器８内を高真空度のものにする為の真空ポンプは
図示していない。
【００１３】支持体３は非磁性のものであり、この支持
体３はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料が
用いられる。そして、支持体３面上には、必要に応じて
磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダー
コート層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適
度に粗すことにより、例えば斜め蒸着法により構成され
る磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表
面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、
例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５
〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコー
ト層が構成されている。
体３はＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラスやセラミッ
ク等の無機系材料、アルミニウム合金などの金属材料が
用いられる。そして、支持体３面上には、必要に応じて
磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のアンダー
コート層が設けられている。すなわち、表面の粗さを適
度に粗すことにより、例えば斜め蒸着法により構成され
る磁性薄膜の密着性を向上させ、さらに磁気記録媒体表
面の表面粗さを適度なものとして走行性を改善する為、
例えばＳｉＯ2 等の粒子を含有させた厚さが０．００５
〜０．１μｍの塗膜を設けることによってアンダーコー
ト層が構成されている。
【００１４】ルツボ５に充填される磁性金属としては、
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
【００１５】９ａは仕事関数の小さな金属、例えばＡ
ｕ，Ｐｔ，Ｗなどの金属でメッキされてなる導電性ゴム
ローラー、９ｂは導電性ゴムローラー、１０は紫外線発
生器、１１は導電性ゴムローラー９ａの表面から放出さ
れた自由電子を補足する為の集電板である。１２はガイ
ドローラであり、真空容器８内における供給側ロール２
ａから冷却キャン１に添接され、導電性ゴムローラー９
ａ，９ｂとの間の経路を経て巻取側ロール２ｂに至る所
定のパス路に設けられたものである。
ｕ，Ｐｔ，Ｗなどの金属でメッキされてなる導電性ゴム
ローラー、９ｂは導電性ゴムローラー、１０は紫外線発
生器、１１は導電性ゴムローラー９ａの表面から放出さ
れた自由電子を補足する為の集電板である。１２はガイ
ドローラであり、真空容器８内における供給側ロール２
ａから冷却キャン１に添接され、導電性ゴムローラー９
ａ，９ｂとの間の経路を経て巻取側ロール２ｂに至る所
定のパス路に設けられたものである。
【００１６】上記のように構成させた装置において、真
空容器８内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度、例えば２×
１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した後、電子銃７により
ルツボ５内の磁性金属６を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等
の支持体３に対して０．０４〜２μｍ厚さ磁性金属６を
蒸着させることによって金属薄膜型の磁気記録媒体が製
造される。
空容器８内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度、例えば２×
１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した後、電子銃７により
ルツボ５内の磁性金属６を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等
の支持体３に対して０．０４〜２μｍ厚さ磁性金属６を
蒸着させることによって金属薄膜型の磁気記録媒体が製
造される。
【００１７】尚、この磁性薄膜の形成に際しては、ノズ
ルから酸素ガスが磁性金属６の蒸着部分に吹き付けら
れ、磁性薄膜の表層部分が強制酸化させられる。このよ
うにして磁性薄膜が形成され、そして酸化処理が施さ
れ、巻取側ロール２ｂに巻き取られる途中の過程におい
て、支持体３は導電性ゴムローラー９ａと９ｂとに圧接
しながら通過する。この為、支持体３の磁性薄膜に電子
が帯電していたとしても、導電性ゴムローラー９ａによ
って除電されるようになり、電荷の帯電による走行特性
の低下はなくなり、支持体３は供給側ロール２ａから冷
却キャン１を経て巻取側ロール２ｂに良好に巻き取られ
るようになる。
ルから酸素ガスが磁性金属６の蒸着部分に吹き付けら
れ、磁性薄膜の表層部分が強制酸化させられる。このよ
うにして磁性薄膜が形成され、そして酸化処理が施さ
れ、巻取側ロール２ｂに巻き取られる途中の過程におい
て、支持体３は導電性ゴムローラー９ａと９ｂとに圧接
しながら通過する。この為、支持体３の磁性薄膜に電子
が帯電していたとしても、導電性ゴムローラー９ａによ
って除電されるようになり、電荷の帯電による走行特性
の低下はなくなり、支持体３は供給側ロール２ａから冷
却キャン１を経て巻取側ロール２ｂに良好に巻き取られ
るようになる。
【００１８】尚、導電性ゴムローラー９ａには紫外線発
生器１０からの紫外線が照射されており、導電性ゴムロ
ーラー９ａ表面における自由電子を光電効果により放出
させ、自由電子が常に少ないように構成してあるから、
支持体３の磁性薄膜に帯電している電子は導電性ゴムロ
ーラー９ａにスムーズに移行する。又、図示していない
が、導電性ゴムローラー９ｂはアースされており、支持
体３に帯電している電子も導電性ゴムローラー９ｂにス
ムーズに移行する。この結果、磁性金属６の蒸着時に帯
電した電荷を巻取側ロール２ｂに巻き取る前に導電性ゴ
ムローラーを介して逃がすことが出来る。
生器１０からの紫外線が照射されており、導電性ゴムロ
ーラー９ａ表面における自由電子を光電効果により放出
させ、自由電子が常に少ないように構成してあるから、
支持体３の磁性薄膜に帯電している電子は導電性ゴムロ
ーラー９ａにスムーズに移行する。又、図示していない
が、導電性ゴムローラー９ｂはアースされており、支持
体３に帯電している電子も導電性ゴムローラー９ｂにス
ムーズに移行する。この結果、磁性金属６の蒸着時に帯
電した電荷を巻取側ロール２ｂに巻き取る前に導電性ゴ
ムローラーを介して逃がすことが出来る。
【００１９】そして、支持体３の走行特性が良好である
から、金属磁性薄膜の形成が良好に行われ、製造歩留り
良く磁気記録媒体の原反が得られるようになる。この
後、巻取側ロール２ｂを取り出し、そして平均粒径２０
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側の支持体３に塗布し、乾燥厚さが０．
５μｍのバックコート層を設ける。
から、金属磁性薄膜の形成が良好に行われ、製造歩留り
良く磁気記録媒体の原反が得られるようになる。この
後、巻取側ロール２ｂを取り出し、そして平均粒径２０
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側の支持体３に塗布し、乾燥厚さが０．
５μｍのバックコート層を設ける。
【００２０】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、１００℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、１００℃で乾燥させる。
【００２１】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プなどにする。
プなどにする。
【００２２】
【効果】本発明によれば、高性能な磁気記録媒体が製造
歩留り良く得られる。
歩留り良く得られる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の一実施
例の概略説明図
例の概略説明図
【図２】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
１ 冷却キャン ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 支持体 ５ ルツボ ６ 磁性金属 ７ 電子銃 ８ 真空容器 ９ａ 導電性ゴムローラー ９ｂ 導電性ゴムローラー １０ 紫外線発生器 １１ 集電板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方
法であって、非磁性の支持体上に磁性材料を堆積して金
属磁性薄膜を形成した後、導電性部材に当接させ、磁気
記録媒体に帯電している電荷を逃がすことを特徴とする
磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】 磁性材料を堆積させた非磁性の支持体を
巻き取るまでの間に導電性部材に当接させることを特徴
とする請求項１の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項３】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する装
置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成す
る金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜の形成された
磁気記録媒体を当接させる導電性部材とを具備し、この
導電性部材を介して磁気記録媒体に帯電している電荷を
逃がすように構成したことを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置。 - 【請求項４】 金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する装
置であって、非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成す
る金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜の形成された
磁気記録媒体を当接させる導電性部材と、この導電性部
材の電子を少なくさせておく減電手段とを具備し、前記
導電性部材を介して磁気記録媒体に帯電している電荷を
逃がすように構成したことを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置。 - 【請求項５】 非磁性の支持体の供給手段及び巻取手段
と、前記供給手段と巻取手段との間の走行経路において
設けられた非磁性の支持体上に金属磁性薄膜を形成する
金属磁性薄膜形成手段と、金属磁性薄膜の形成された磁
気記録媒体を当接させる導電性部材と、この導電性部材
の電子を少なくさせておく減電手段と、前記非磁性の支
持体を供給手段から導電性部材を経由して巻取手段に至
る走行経路を走行させる走行手段とを備えてなり、前記
導電性部材を介して磁気記録媒体に帯電している電荷を
逃がすように構成したことを特徴とする磁気記録媒体の
製造装置。 - 【請求項６】 減電手段が光電効果を利用したものであ
る請求項４または請求項５の磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5220993A JPH0773462A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5220993A JPH0773462A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0773462A true JPH0773462A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16759790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5220993A Pending JPH0773462A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0773462A (ja) |
-
1993
- 1993-09-06 JP JP5220993A patent/JPH0773462A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20041112 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061110 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Effective date: 20070124 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
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| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |