JPH0771928A - 画像処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検体間の距離を高精度に計測可能な画像処理
装置を提供する。 【構成】 画像データ生成手段１０は、視野２０内にお
ける実画像について、画素毎のデータである実画像デー
タを生成する。第１の記憶手段２４は、実画像データを
記憶する。第２の記憶手段２６は、第１の記憶手段２４
において構成される論理平面上へ重合可能な閉ループ状
の論理ループウインドの形状、サイズ等の構成データが
記憶する。制御手段３０は、画像データ生成手段１０が
生成した実画像データを第１の記憶手段２４へ記憶し、
第２の記憶手段２６に記憶されている構成データを基
に、論理的に構成された論理ループウインドを論理平面
上で２個の検体１２の論理画像を跨ぐように重合させ、
論理ループウインドと重合した検体１２の論理画像が２
個の場合、個々の当該論理画像の端部同士を結んで形成
される２本の線分の間の距離を計測する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は画像処理装置に関し、一
層詳細には視野内における２個の検体同士の間隔を計測
する画像処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体装置用リードフレームのイ
ンナーリード（検体の一例）間の間隔を計測すべく、画
像処理技術が利用されている。画像処理技術を利用した
従来のインナーリードの間隔計測方法について図９と共
に説明する。インナーリード１００ａと１００ｂとの間
の距離Ｘを求めるために、まずインナーリード１００ａ
と１００ｂを含む周辺の実画像を取り込む。取り込んだ
実画像について、画素毎のデータである実画像データを
生成し、記憶装置へ記憶する。この記憶装置内におい
て、論理平面が構成される。なお、図９は論理平面を示
す。１０２は論理放射ウインドであり、４本のリニアサ
ブウインド１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ、１０４ｄか
ら成る。論理放射ウインド１０２は論理平面へ論理的に
重合することができる。

【０００３】画像処理はコンピュータシステム（不図
示）により制御される。その動作は、まずカメラでイン
ナーリード１００ａ、１００ｂを含む実画像を捕らえ、
実画像データを記憶装置へ記憶する。コンピュータシス
テムは、論理放射ウインド１０２を論理平面上でインナ
ーリード１００ａと１００ｂの論理画像へ跨ぐように重
合させる。 次に、リニアサブウインド１０４ａ、１０
４ｂ、１０４ｃ、１０４ｄのうち両端にインナーリード
１００ａと１００ｂの論理画像と重合しているリニアサ
ブウインド１０４ａ、１０４ｂを検出する。リニアサブ
ウインド１０４ａ、１０４ｂが検出されたら、リニアサ
ブウインド１０４ａ内における論理画像間の距離Ｙ、お
よびリニアサブウインド１０４ｂ内における論理画像間
の距離Ｚを求める。この距離計測は、リニアサブウイン
ド１０４ａ、１０４ｂ内における論理画像間の画素数を
カウントし、画素数に画素サイズを乗ずることにより求
めることができる。距離Ｙ、Ｚが計測されたらＹとＺの
値を比較する。この比較の結果、小さい方の値をインナ
ーリード１００ａと１００ｂの距離とする。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の画像処理装置には次のような課題がある。図９に
おいて、リニアサブウインド１０４ａ、１０４ｂはイン
ナーリード１００ａと１００ｂのエッジ１０６に対して
直角になるとは限らない。また、インナーリード１００
ａと１００ｂのエッジ１０６同士も平行であるとは限ら
ない。そのため、図９の例では実際の距離Ｘと、計測さ
れた距離Ｙ、Ｚは異なり、正確な距離が計測できないと
いう課題がある。従って、本発明は検体間の距離を高精
度に計測可能な画像処理装置を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、第１の基本
構成は、視野内における実画像について、画素毎のデー
タである実画像データを生成する画像データ生成手段
と、前記実画像データを記憶するための第１の記憶手段
と、該第１の記憶手段において構成される論理平面上へ
重合可能な閉ループ状の論理ループウインドの形状、サ
イズ等の構成データが記憶される第２の記憶手段と、前
記画像データ生成手段が生成した前記実画像データを前
記第１の記憶手段へ記憶し、前記第２の記憶手段に記憶
されている前記構成データを基に、論理的に構成された
前記論理ループウインドを前記論理平面上で２個の検体
の論理画像を跨ぐように重合させ、論理ループウインド
と重合した前記検体の論理画像が２個の場合、個々の当
該論理画像の端部同士を結んで形成される２本の線分の
間の距離を計測する制御手段とを具備することを特徴と
する。

【０００６】第２の基本構成は、視野内における実画像
について、画素毎のデータである実画像データを生成す
る画像データ生成手段と、前記実画像データを記憶する
ための第１の記憶手段と、該第１の記憶手段において構
成される論理平面上へ重合可能であり、３本以上の直線
状のリニアサブウインドが交差して形成される論理放射
ウインドの形状、サイズ等の構成データが記憶される第
２の記憶手段と、前記画像データ生成手段が生成した前
記実画像データを前記第１の記憶手段へ記憶し、前記第
２の記憶手段に記憶されている前記構成データを基に、
論理的に構成された前記論理放射ウインドを前記論理平
面上で２個の検体の論理画像へ跨ぐように重合させ、少
なくとも１本の前記リニアサブウインドの両端が前記検
体の論理画像と重合せず、当該リニアサブウインドに対
して両端側に論理放射ウインドと重合した検体の論理画
像が２個づつの場合、検体の論理画像と重合していない
リニアサブウインドの一方側に在る論理放射ウインドと
重合した２個の検体の論理画像同士を結ぶ線分と、他方
側に在る論理放射ウインドと重合した２個の検体の論理
画像同士を結ぶ線分との間の距離を計測する制御手段と
を具備することを特徴とする。

【０００７】第３の基本構成は、視野内における実画像
について、画素毎のデータである実画像データを生成す
る画像データ生成手段と、前記視野内において、２個の
検体へ跨ぐように重合可能な閉ループ状のループウイン
ドを有するウインド部材と、前記実画像データを記憶す
るための第１の記憶手段と、前記画像データ生成手段が
生成した前記検体と検体へ重合された前記ウインド部材
を含む前記実画像データを前記第１の記憶手段へ記憶
し、実画像データを検索してループウインドと重合した
検体の論理画像が２個の場合、個々の当該論理画像の端
部同士を結んで形成される２本の線分の間の距離を計測
する制御手段とを具備することを特徴とする。

【０００８】第４の基本構成は、視野内における実画像
について、画素毎のデータである実画像データを生成す
る画像データ生成手段と、前記視野内において２個の検
体へ跨ぐように重合可能であり、３本以上の直線状のリ
ニアサブウインドが交差して形成される放射ウインドを
有するウインド部材と、前記実画像データを記憶するた
めの第１の記憶手段と、前記画像データ生成手段が生成
した前記検体と検体へ重合された前記ウインド部材を含
む前記実画像データを前記第１の記憶手段へ記憶し、実
画像データを検索して少なくとも１本の前記リニアサブ
ウインドの両端が検体の論理画像と重合せず、当該リニ
アサブウインドに対して両側に放射ウインドと重合した
検体の論理画像が２個づつの場合、検体の論理画像と重
合していないリニアサブウインドの一方側に在る放射ウ
インドと重合した検体の２個の論理画像同士を結ぶ線分
と、他方側に在る放射ウインドと重合した２個の検体の
論理画像同士を結ぶ線分との間の距離を計測する制御手
段とを具備することを特徴とする。

【０００９】

【作用】作用について説明する。第１〜第４のいずれの
基本構成においても、制御手段が２個の検体のエッジに
相当する２本の論理的な線分を正確に作成し、予め定め
られたルールに則り計測するので、たとえ検体のエッジ
同士が平行でなくても高精度な距離計測が可能となる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面と共に詳述する。なお、本実施例では画像処理装置と
してリードフレームのインナーリード（検体の一例）同
士の間隔を計測するための画像処理装置を例に挙げて説
明する。

【００１１】（第１実施例）第１実施例について図１〜
図５と共に説明する。図１において、１０は検査用テー
ブルであり、上面の検査位置に検査するリードフレーム
１２を載置可能になっている。検査用テーブル１０は透
明に形成されている。１４は光源であり、例えばハロゲ
ンランプを内蔵する照明装置である。光源１４は検査用
テーブル１０の下方に設置され、下方から検査用テーブ
ル１０を照射する。光源１４から照射された平行光１６
は検査用テーブル１０を透過する。その際、リードフレ
ーム１２に透過を遮られた光１６は下方へ反射され、リ
ードフレーム１２の形状に倣った影を作りだす。この影
の画像を基に画像処理が行われる。

【００１２】１８は画像データ生成手段であるＣＣＤカ
メラであり、視野２０内における実画像について、画素
毎のデータである実画像データを生成する。２２はＲＡ
Ｍであり、記憶エリアを第１メモリ２４、第２メモリ２
６、第３メモリ２８、・・・・・に分割されている。第
１メモリ２４は、第１の記憶手段としてカメラ１８から
送られて来た実画像データを一時的に記憶する。この第
１メモリ２４の論理空間内に画像処理用の論理平面が形
成され、この論理平面上に実画像データに基づく論理画
像が構成される。なお、第１の記憶手段としてはＲＡＭ
２２の他、書込、読出可能な外部メモリ（例えば磁気デ
ィスク）を用いることも可能である。第２メモリ２６
は、第２の記憶手段として第１メモリ２４内の論理平面
上へ重合可能な閉ループ状の論理ループウインド（後
述）の形状、サイズ等の構成データが一時的に記憶され
る。なお、第２の記憶手段としてもＲＡＭ２２の他、書
込、読出可能な外部メモリ（例えば磁気ディスク）を用
いることが可能である。第３メモリ２８にはインナーリ
ード同士の間隔についての計測（演算）結果が一時的に
記憶される。

【００１３】３０は制御手段の機能を備えるマイクロプ
ロセッサ（ＭＰＵ）であり、画像処理装置全体を制御プ
ログラムおよびユーザコマンドに従ってコントロールす
る。ＭＰＵ３０は、制御手段としてカメラ１８が生成し
た実画像データを第１メモリ２４へ記憶する。また、Ｍ
ＰＵ３０は、詳しくは後述するが、第２メモリ２６に記
憶されている構成データを基に、論理的に構成された論
理ループウインドを、第１メモリ２４内の論理平面上で
２個のインナーリード（後述）の論理画像を跨ぐように
重合させる。重合の結果、論理ループウインドと重合し
ているインナーリードの論理画像が２個の場合、個々の
当該論理画像の端部同士を結んで論理的な線分を２本形
成する。その後、ＭＰＵ３０は形成された２本の論理的
な線分の間の距離を、インナーリード同士の間隔として
予め定められたルールに則り計測する。

【００１４】３２はＲＯＭであり、ＭＰＵ３０のオペレ
ーティングシステム、インナーリード同士の間隔計測用
のアプリケーション制御プログラム、論理ループウイン
ドの形状、サイズ等の構成データを始めとする制御デー
タ等が予め記憶されている。本実施例の場合、前記構成
データはＲＯＭ３２から一端ＲＡＭ２２の第２メモリ２
６へ転送するが、これはユーザが構成データを変更可能
にし、汎用性を高めるためである。なお、制御プログラ
ム、制御データはＲＯＭ３２ではなく、外部メモリ（例
えば磁気ディスク）に記憶しておくようにしてもよい。
３４は入力部であり、例えばキーボードが用いられる。
ユーザのコマンドや制御データをＭＰＵ３０へ入力可能
になっている。また、構成データを始めとする制御デー
タ等の変更も入力部３４から入力可能になっている。３
６は出力手段の一例であるモニタであり、ＣＲＴやＬＣ
Ｄが用いられる。モニタ３６は実画像や論理ループウイ
ンドを含む論理画像を表示可能である。

【００１５】次に、上記の構成を有する画像処理装置に
おけるインナーリード同士の間隔を計測する手順につい
て図２および図３をさらに参照して説明する。図２には
第１メモリ２４内に構成された論理平面と論理画像を示
す。ＭＰＵ３０は、２本のインナーリード３８ａ、３８
ｂの間隔Ａを求めるために、第２メモリ２６に記憶され
ている構成データを基に論理ループウインド４０を論理
的に構成し、論理平面上で論理ループウインド４０を、
インナーリード３８ａ、３８ｂの論理画像を跨ぐように
重合させる（図２の状態）。なお、論理ループウインド
４０の内径は、予め設計段階で設定された理想的なイン
ナーリード３８ａと３８ｂの間隔を十分越える大きさに
設定されている。論理ループウインド４０を重合後、Ｍ
ＰＵ３０は論理ループウインド４０に重合する論理画像
を検出する。図３に論理ループウインド４０に重合する
論理画像４２ａ、４２ｂを示す。論理画像４２ａ、４２
ｂは、論理ループウインド４０が閉じたループ状なの
で、弧状になる。

【００１６】ＭＰＵ３０は、個々の論理画像４２ａ、４
２ｂについて、弧状の一方の端部と他方の端部とを結ぶ
論理的な線分４４ａ、４４ｂを論理平面上に形成する。
この２本の線分４４ａ、４４ｂはインナーリード３８
ａ、３８ｂのエッジ４６ａ、４６ｂに相当する。２本の
線分４４ａ、４４ｂが形成されたら、ＭＰＵ３０は線分
４４ａと４４ｂの間の距離を、インナーリード３８ａ、
３８ｂ（エッジ４６ａ、４６ｂ）間の距離として計測す
る。この計測（演算）は、前述のとおり制御プログラム
に従い、予め定められたルールに則り計測される。

【００１７】このルールの一例について説明する。図３
において、まず一方の線分４４ａから他方の線分４４ｂ
方向へ垂線を伸ばし、垂線の距離を計測する。この距離
は画素数を基に演算処理で計測可能である。前記垂線の
距離を線分４４ａについて複数箇所で計測を行い、全て
の値が等しいか、等しいと判断される許容範囲に在れば
線分４４ａ、４４ｂは平行と判断される。平行であると
判断された場合は、前記垂線の長さをもってインナーリ
ード３８ａ、３８ｂ（エッジ４６ａ、４６ｂ）間の距離
とする。

【００１８】一方、複数箇所における前記垂線の距離が
異なる場合（図３に図示する場合）、線分４４ａと４４
ｂを論理平面上で延長して交点Ｂを求める。続いて線分
４４ａと４４ｂの延長線４６ａと４６ｂの成す角Ｃの二
等分線Ｄを論理平面上に形成する。そこで二等分線Ｄか
ら複数箇所（本実施例では３箇所）において線分４４
ａ、４４ｂへ垂線４８ａ、４８ｂ、４８ｃを伸ばし、垂
線４８ａ、４８ｂ、４８ｃの距離を計測する。計測され
た垂線４８ａ、４８ｂ、４８ｃの距離の平均値や中央値
を適宜選択し、当該値をインナーリード３８ａ、３８ｂ
（エッジ４６ａ、４６ｂ）間の距離とする。このように
して計測されたインナーリード３８ａ、３８ｂ間の距離
は、第３メモリ２８へ記憶され、モニタ３６ヘ出力表示
される。

【００１９】第１実施例では論理ループウインド４０の
内径は、予め設計段階で設定された理想的なインナーリ
ード３８ａと３８ｂの間隔を十分越える大きさに設定さ
れていたが、検査するインナーリードが変更になった場
合、論理ループウインド４０の内径が不適当なサイズに
なることがある。例えば、図４に示すようにインナーリ
ード３８ｃ、３８ｄに対して論理ループウインド４０を
重合させると４個の論理画像４２ｃ、４２ｄ、４２ｅ、
４２ｆが検出されてしまう。すると、線分は４本とな
り、インナーリード３８ｃ、３８ｄのエッジ４６ｃ、４
６ｄに相当しないため、インナーリード３８ｃ、３８ｄ
（エッジ４６ｃ、４６ｄ）間の距離を画像処理技術で計
測することが不可能である。

【００２０】この場合、第１実施例のＭＰＵ３０は、論
理的に論理ループウインド４０の内径を縮小し、重合す
る論理画像の数が２個になるまで縮小を続ける。縮小さ
れた論理ループウインド４０ａに重合する２個の論理画
像４２ｇ、４２ｈについて上述の計測を行うと、インナ
ーリード３８ｃ、３８ｄ（エッジ４６ｃ、４６ｄ）間の
距離を計測することが可能となる。なお、論理ループウ
インド４０を縮小する作業は、モニタ３６に論理平面上
の画像および論理ループウインド４０の画像を表示し、
当該画像を見ながら入力部３４を介して論理ループウイ
ンド４０に関する構成データの変更入力を行うことでも
可能である。

【００２１】第１実施例では論理ループウインド４０
は、閉ループ状のリング形のループウインドであった
が、論理ループウインドの形状はリング形に限定されな
い。図５に示すような矩形状の論理ループウインド４０
ｂでもよい。すなわち、論理ループウインド４０ｂに重
合する論理画像４２ｉ、４２ｊが曲線（折線を含む）状
に形成され、端部同士が離間可能であれば論理ループウ
インドの形状は任意である。但し、論理ループウインド
は、例えば図８に示すように論理ループウインド４３の
輪郭が周囲よりへこんだ凹部４５があってはならない。

【００２２】（第２実施例）第２実施例について説明す
る。第１実施例では論理ループウインド４０を用いて曲
線状の論理画像４２ａ、４２ｂを形成したが、第２実施
例では論理的にウインドを掛けるのではなく、実体有る
ウインド部材を用いた実施例である。第２実施例におけ
る計測は、基本的には第１実施例における論理ループウ
インド４０を前記ウインド部材に置換したものであり、
基本的な処理は第１実施例と同一である。そこで、第２
実施例も図１〜図３を参照して説明する。第２実施例に
おいても、ＣＣＤカメラ１８を介して視野２０内におけ
る実画像について、画素毎のデータである実画像データ
が生成される。前記ウインド部材５０は、視野２０内に
おいて、２本のインナーリード３８ａ、３８ｂへ跨ぐよ
う機械的に重合可能である。ウインド部材５０には論理
ループウインド４０と同様な閉ループ状のループウイン
ドが透設されている。

【００２３】カメラ１８で生成された実画像データは第
１メモリ２４に記憶される。ＭＰＵ３０は、制御手段と
して、カメラ１８が生成したインナーリード３８ａ、３
８ｂと跨ぐように重合されたウインド部材５０を含む実
画像データを第１メモリ２４へ記憶する。さらにＭＰＵ
３０は、実画像データを検索してループウインドと重合
したインナーリード３８ａ、３８ｂの論理画像が２個の
場合、個々の当該論理画像４２ａ、４２ｂの端部同士を
結んで形成される２本の線分４４ａ、４４ｂの間の距離
を予め定められたルールに則り計測する。

【００２４】（第３実施例）第３実施例について図６お
よび図７を参照して説明する。なお、先行実施例と同一
の構成部材については先行実施例と同一の符号を附し、
説明は省略する。なお、第３実施例における画像処理装
置の機械的な構成は図１と同一である。第３実施例で
は、第１実施例と同様論理的なウインドを用いる。第３
実施例の論理的ウインドは、図６に明示されるように論
理放射ウインド５２である。論理放射ウインド５２は、
第１メモリ２４内において構成される論理平面（図６は
論理平面を示している）上へ論理的に重合可能である。
論理放射ウインド５２は、３本以上（第３実施例では４
本）の直線状のリニアサブウインド５４ａ、５４ｂ、５
４ｃ、５４ｄが交差して形成されている。この論理放射
ウインド５２の形状、サイズ等の構成データは第２メモ
リ２６へ記憶される。

【００２５】ＭＰＵ３０は、制御手段としてカメラ１８
が生成した実画像データを第１メモリ２４へ記憶し、第
２メモリ２６に記憶されている前記構成データを基に、
論理的に構成された論理放射ウインド５２を第１メモリ
２４内の論理平面上で２本のインナーリード３８ａ、３
８ｂの論理画像へ跨ぐように重合させる。そこで、少な
くとも１本のリニアサブウインド５４ｃ、５４ｄがイン
ナーリード３８ａ、３８ｂの論理画像と重合せず、リニ
アサブウインド５４ｃ、５４ｄに対して両側がインナー
リード３８ａ、３８ｂと重合したリニアサブウインド５
４ｃ、５４ｄの論理画像５６ａ、５６ｂと５６ｃ、５６
ｄの場合、すなわちリニアサブウインド５４ａ、５４ｂ
と重合した論理画像が２個づつの場合にインナーリード
３８ａと３８ｂ間の計測を行う。ＭＰＵ３０は、インナ
ーリード３８ａ、３８ｂの論理画像と重合していないリ
ニアサブウインド５４ｃ、５４ｄの一方側に在る論理放
射ウインド５２と重合した２個の論理画像５６ａ、５６
ｂ同士を結ぶ線分４４ａと、他方側に在る論理放射ウイ
ンド５２と重合した２個の検体の論理画像５６ｃ、５６
ｄ同士を結ぶ線分４４ｂとの間の距離を予め定められた
ルールに則り計測する．

【００２６】このルールの一例について説明する。図７
において、まず一方の線分４４ａから他方の線分４４ｂ
方向へ垂線を伸ばし、垂線の距離を計測する。この距離
は画素数を基に演算処理で計測可能である。前記垂線の
距離を線分４４ａについて複数箇所で計測を行い、全て
の値が等しいか、等しいと判断される許容範囲に在れば
線分４４ａ、４４ｂは平行と判断される。平行であると
判断された場合は、前記垂線の長さをもってインナーリ
ード３８ａ、３８ｂ（エッジ４６ａ、４６ｂ）間の距離
とする。

【００２７】一方、複数箇所における前記垂線の距離が
異なる場合（図７に図示する場合）、線分４４ａと４４
ｂを論理平面上で延長して交点Ｐを求める。続いて線分
４４ａと４４ｂの延長線４６ａと４６ｂの成す角の二等
分線Ｑを論理平面上に形成する。そこで二等分線Ｑから
複数箇所（本実施例では２箇所）において線分４４ａ、
４４ｂへ垂線４８ａ、４８ｂを伸ばし、垂線４８ａ、４
８ｂの距離を計測する。計測された垂線４８ａ、４８ｂ
の距離の平均値や中央値等を適宜選択し、当該値をイン
ナーリード３８ａ、３８ｂ（エッジ４６ａ、４６ｂ）間
の距離とする。このようにして計測されたインナーリー
ド３８ａ、３８ｂ間の距離は、第３メモリ２８へ記憶さ
れ、モニタ３６ヘ出力表示される。

【００２８】（第４実施例）第４実施例について説明す
る。第３実施例では論理放射ウインド５２を用いて４個
の論理画像５６ａ、５６ｂ、５６ｃ、５６ｄを形成した
が、第４実施例では論理的にウインドを掛けるのではな
く、実体有るウインド部材を用いた実施例である。第４
実施例における計測は、基本的には第３実施例における
論理ループウインド４０を前記ウインド部材に置換した
ものであり、基本的な処理は第３実施例と同一である。
そこで、第４実施例も図１、図６および図７を参照して
説明する。第４実施例においても、ＣＣＤカメラ１８
が、視野２０内における実画像について、画素毎のデー
タである実画像データを生成する。前記ウインド部材５
０は、視野２０内において２本のインナーリード３８
ａ、３８ｂへ機械敵に跨ぐように重合可能である。ウイ
ンド部材５０には、第３実施例のリニアサブウインド５
４ａ、５４ｂ、５６ｃ、５６ｄと同様な３本以上の直線
状のリニアサブウインドが交差するよう配置された放射
ウインドが透設されている。

【００２９】カメラ１８で生成された実画像データは第
１メモリ２４へ記憶される。ＭＰＵ３０は、カメラ１８
が生成したインナーリード３８ａ、３８ｂとインナーリ
ード３８ａ、３８ｂへ機械的に重合されたウインド部材
５０を含む実画像データを第１メモリ２４へ記憶する。
さらに、ＭＰＵ３０は実画像データを検索して少なくと
も１本のリニアサブウインドがインナーリード３８ａ、
３８ｂの論理画像と重合せず、当該リニアサブウインド
に対して両側にウインド部材５０に透設された放射ウイ
ンドと重合した検体の論理画像が２個づつ存在する場
合、インナーリード３８ａ、３８ｂの論理画像と重合し
ていないリニアサブウインドの一方側に在る放射ウイン
ドと重合した２個の論理画像５６ａ、５６ｂ同士を結ぶ
線分４４ａと、他方側に在る論理放射ウインドと重合し
た２個の論理画像５６ｃ、５６ｄ同士を結ぶ線分４４ｂ
との間の距離を予め定められたルールに則り計測する。
以上、本発明の好適な実施例について種々述べてきた
が、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、例
えば検体はリードフレームのインナーリードに限定され
ない等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施
し得るのはもちろんである。

【００３０】

【発明の効果】本発明に係る画像処理装置を用いると、
請求項１〜４のいずれの構成においても、制御手段が２
個の検体のエッジに相当する２本の論理的な線分を正確
に作成し、予め定められたルールに則り計測するので、
ウインドの形状や検体のエッジ同士が平行度に関わら
ず、高精度な距離計測が可能となる等の著効を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施例の画像処理装置のブロック
ダイアグラム。

【図２】第１実施例および第２実施例における論理画像
を示した説明図。

【図３】第１実施例および第２実施例におけるインナー
リード間の距離を計測する方法を示した説明図。

【図４】論理ループウインドのサイズ設定について示し
た説明図。

【図５】他の論理ループウインドについて示した説明
図。

【図６】第３実施例および第４実施例における論理画像
を示した説明図。

【図７】第３実施例および第４実施例におけるインナー
リード間の距離を計測する方法を示した説明図。

【図８】不適当な論理ループウインドの形状を示した説
明図。

【図９】従来の画像処理装置におけるインナーリード間
の距離を計測する方法を示した説明図。

【符号の説明】

１８ ＣＣＤカメラ ２０ 視野 ２４ 第１メモリ ２６ 第２メモリ ３０ ＭＰＵ ３８ａ〜３８ｄ インナーリード ４０、４０ａ、４０ｂ 論理ループウインド ４２ａ〜４２ｊ、５６ａ〜５６ｄ 論理画像 ４４ａ、４４ｂ 線分 ５０ ウインド部材 ５２ 論理放射ウインド ５４ａ〜５４ｄ リニアサブウインド

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 視野内における実画像について、画素毎
   のデータである実画像データを生成する画像データ生成
   手段と、 前記実画像データを記憶するための第１の記憶手段と、 該第１の記憶手段において構成される論理平面上へ重合
   可能な閉ループ状の論理ループウインドの形状、サイズ
   等の構成データが記憶される第２の記憶手段と、 前記画像データ生成手段が生成した前記実画像データを
   前記第１の記憶手段へ記憶し、前記第２の記憶手段に記
   憶されている前記構成データを基に、論理的に構成され
   た前記論理ループウインドを前記論理平面上で２個の検
   体の論理画像を跨ぐように重合させ、論理ループウイン
   ドと重合した前記検体の論理画像が２個の場合、個々の
   当該論理画像の端部同士を結んで形成される２本の線分
   の間の距離を計測する制御手段とを具備することを特徴
   とする画像処理装置。
2. 【請求項２】 視野内における実画像について、画素毎
   のデータである実画像データを生成する画像データ生成
   手段と、 前記実画像データを記憶するための第１の記憶手段と、 該第１の記憶手段において構成される論理平面上へ重合
   可能であり、３本以上の直線状のリニアサブウインドが
   交差して形成される論理放射ウインドの形状、サイズ等
   の構成データが記憶される第２の記憶手段と、 前記画像データ生成手段が生成した前記実画像データを
   前記第１の記憶手段へ記憶し、前記第２の記憶手段に記
   憶されている前記構成データを基に、論理的に構成され
   た前記論理放射ウインドを前記論理平面上で２個の検体
   の論理画像へ跨ぐように重合させ、少なくとも１本の前
   記リニアサブウインドの両端が前記検体の論理画像と重
   合せず、当該リニアサブウインドに対して両端側に論理
   放射ウインドと重合した検体の論理画像が２個づつの場
   合、検体の論理画像と重合していないリニアサブウイン
   ドの一方側に在る論理放射ウインドと重合した２個の検
   体の論理画像同士を結ぶ線分と、他方側に在る論理放射
   ウインドと重合した２個の検体の論理画像同士を結ぶ線
   分との間の距離を計測する制御手段とを具備することを
   特徴とする画像処理装置。
3. 【請求項３】 視野内における実画像について、画素毎
   のデータである実画像データを生成する画像データ生成
   手段と、 前記視野内において、２個の検体へ跨ぐように重合可能
   な閉ループ状のループウインドを有するウインド部材
   と、 前記実画像データを記憶するための第１の記憶手段と、 前記画像データ生成手段が生成した前記検体と検体へ重
   合された前記ウインド部材を含む前記実画像データを前
   記第１の記憶手段へ記憶し、実画像データを検索してル
   ープウインドと重合した検体の論理画像が２個の場合、
   個々の当該論理画像の端部同士を結んで形成される２本
   の線分の間の距離を計測する制御手段とを具備すること
   を特徴とする画像処理装置。
4. 【請求項４】 視野内における実画像について、画素毎
   のデータである実画像データを生成する画像データ生成
   手段と、 前記視野内において２個の検体へ跨ぐように重合可能で
   あり、３本以上の直線状のリニアサブウインドが交差し
   て形成される放射ウインドを有するウインド部材と、 前記実画像データを記憶するための第１の記憶手段と、 前記画像データ生成手段が生成した前記検体と検体へ重
   合された前記ウインド部材を含む前記実画像データを前
   記第１の記憶手段へ記憶し、実画像データを検索して少
   なくとも１本の前記リニアサブウインドの両端が検体の
   論理画像と重合せず、当該リニアサブウインドに対して
   両側に放射ウインドと重合した検体の論理画像が２個づ
   つの場合、検体の論理画像と重合していないリニアサブ
   ウインドの一方側に在る放射ウインドと重合した検体の
   ２個の論理画像同士を結ぶ線分と、他方側に在る放射ウ
   インドと重合した２個の検体の論理画像同士を結ぶ線分
   との間の距離を計測する制御手段とを具備することを特
   徴とする画像処理装置。