JPH0770866B2 - Collet exchange device for electronic component mounting device - Google Patents

Collet exchange device for electronic component mounting device

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JPH0770866B2
JPH0770866B2 JP63122325A JP12232588A JPH0770866B2 JP H0770866 B2 JPH0770866 B2 JP H0770866B2 JP 63122325 A JP63122325 A JP 63122325A JP 12232588 A JP12232588 A JP 12232588A JP H0770866 B2 JPH0770866 B2 JP H0770866B2
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JP
Japan
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suction
collet
mounting
stocker
pellet
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JP63122325A
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Japanese (ja)
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JPH01291492A (en
Inventor
龍一 小松
広照 秋山
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は、電子部品の種類に応じて吸着コレットを自動
的に交換する電子部品装着装置のコレット交換装置に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to a collet exchange device for an electronic component mounting device that automatically exchanges a suction collet according to the type of electronic component.

(ロ) 従来の技術 従来の此種のコレット交換装置は、特開昭62−145899号
公報に開示されている。この交換装置によれば、板バネ
が吸着ノズルの凹部に係合し該ノズルを保持しており、
ノズルの交換時には予備ノズルをストックしておくノズ
ルホルダーに置く際に爪でノズルのフックを押えた状態
で移載ヘッドを上昇させて前記板バネを開くようにして
いる。またノズルホルダーにストックしてある吸着ノズ
ルを移載ヘッドに装着する際に、当該ストックしてある
吸着ノズルにより板バネを強制的に開かせて、前記凹部
に板バネを係合させている。
(B) Conventional Technology A conventional collet exchange device of this type is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 62-145899. According to this exchange device, the leaf spring is engaged with the concave portion of the suction nozzle and holds the nozzle,
When replacing the nozzle, when the spare nozzle is placed on the stock nozzle holder, the transfer head is raised while the hook of the nozzle is held by the claw to open the leaf spring. Further, when the suction nozzle stocked in the nozzle holder is mounted on the transfer head, the stock spring is forcibly opened by the stocked suction nozzle to engage the flat spring with the recess.

(ハ) 発明が解決しようとする課題 しかしながら従来技術によれば板バネを吸着ノズルにこ
すりつけながら開閉するようにしているから、板バネ及
び吸着ノズルの凹部が摩耗してノズルの保持が不確実で
部品装着精度が悪くなったり、またノズルを確実保持す
るために板バネの付勢力を強めねばならずこのため吸着
ノズルの凹部に係合しにくく強制的に係合しようとする
と板バネが破損することがある。
(C) Problems to be Solved by the Invention However, according to the prior art, since the leaf spring is rubbed against the suction nozzle to open and close, the recesses of the leaf spring and the suction nozzle are worn and the holding of the nozzle is uncertain. The component mounting accuracy becomes poor, and the urging force of the leaf spring must be increased in order to securely hold the nozzle. Therefore, it is difficult to engage with the concave portion of the suction nozzle and the leaf spring will be damaged if it is forcibly engaged. Sometimes.

(ニ) 課題を解決するための手段 このため、本発明は電子部品の種類に応じて吸着コレッ
トを自動的に交換する電子部品装着装置のコレット交換
装置に於いて、前記吸着コレットの上部と着脱可能に嵌
合しあう嵌合部が形成されると共に該吸着コレットに形
成された係合部に係合することにより該コレットを保持
する開閉可能な爪を有する装着ヘッドと、予備の吸着コ
レットを保管するもので前記吸着コレットを交換する際
に前記爪に当接して該爪を開くことにより前記係合部と
当該爪との係合を解除する当接部材を有すると共に交換
されるべき吸着コレットを保持して前記装着ヘッドとの
相対的移動時に該装着ヘッドと吸着コレットとを離反さ
せる保持部材を備えたストッカーとを設けたものであ
る。
(D) Means for Solving the Problems For this reason, the present invention is a collet exchange device for an electronic component mounting device that automatically exchanges a suction collet according to the type of electronic component. A mounting head having an openable claw for holding the collet by engaging with an engaging portion formed on the suction collet, and a spare suction collet. A suction collet to be stored, which has a contact member for abutting against the claw and opening the claw when the suction collet is to be exchanged and which is to be stored and which releases the engagement between the engaging portion and the claw. And a stocker provided with a holding member for holding the above-mentioned head and moving the mounting head away from the suction collet when moving relative to the mounting head.

(ホ) 作用 以上の構成から、吸着コレットを交換する際に装着ヘッ
ドをストッカー上方に位置させた後、該ヘッド及びスト
ッカーを相対移動させて、ヘッドの爪にストッカーの当
接部材が当接することにより、爪が開く。そして、スト
ッカー内に装着ヘッドに装着された交換されるべき吸着
コレットを位置せしめて、保持部材で当該コレットを保
持状態とし、装着ヘッドから吸着コレットを抜く。
(E) Operation With the above configuration, when the suction collet is replaced, the mounting head is positioned above the stocker, and then the head and the stocker are relatively moved so that the abutment member of the stocker comes into contact with the claw of the head. Opens the nail. Then, the suction collet mounted on the mounting head to be replaced is positioned in the stocker, the collet is held by the holding member, and the suction collet is removed from the mounting head.

次に、装着ヘッドに装着すべき予備のコレット上方に装
着ヘッドを移動させた後、該ヘッド及びストッカーを相
対移動させて、前記当接部材で再び爪を開いた状態にし
て、装着ヘッドの嵌合部と当該コレットの上部とを嵌合
させ、保持部材を解除した状態で、爪を閉じてヘッドの
係合部に爪を係合させた後、ヘッドとストッカーとを離
反させる。
Next, after moving the mounting head above the spare collet to be mounted on the mounting head, the head and the stocker are moved relatively to each other, and the pawl is opened again by the contact member to fit the mounting head. After fitting the mating part and the upper part of the collet and releasing the holding member, the claw is closed and the claw is engaged with the engaging part of the head, and then the head and the stocker are separated from each other.

(ヘ) 実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。(F) Example An example of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第2図に示す(1)は電子部品装着装置の本体で、該本
体(1)にはプリント基板(厚膜基板含む)(P)、リ
ードフレーム等を搬送するコンベア(2)と、該コンベ
ア(2)に於ける上流側に設けられる反転装置(3)
と、該反転装置(3)の下流側に設けられる一対の位置
決め装置(4)(5)と、第1図に示すように取付台
(6)上に固定される吸着コレット交換装置(7)
(8)と、4個のウェハーテーブル(9)(10)を有し
てXY方向への移動及び平面方向で回転可能なウェハー支
持台(11)(12)と、天板(13)に吊持されてXY方向に
移動可能な装着ヘッド(14)(15)とが設けられてい
る。(第2図参照)。
FIG. 2 shows a main body (1) of the electronic component mounting apparatus, in which the main body (1) is a conveyer (2) that conveys a printed circuit board (including a thick film substrate) (P), a lead frame and the like, and the conveyer. Inversion device (3) provided on the upstream side in (2)
A pair of positioning devices (4) and (5) provided on the downstream side of the reversing device (3), and a suction collet exchange device (7) fixed on a mounting base (6) as shown in FIG.
(8), a wafer support (11) (12) having four wafer tables (9) (10) and movable in XY directions and rotatable in a plane direction, and suspended on a top plate (13). Mounting heads (14, 15) that are held and movable in the XY directions are provided. (See Figure 2).

前記コンベア(2)は、一対の駆動スプロケット(16)
(16)、従動スプロケット(17)(17)間に張設された
一対のチェーン(18A)(18B)から成り、該チェーン
(18A)(18B)上に載置してプリント基板(P)を上流
側から下流側へ搬送する。このときチェーン(18A)(1
8B)には所定間隔を存して基板(P)の送り方向の後端
部に係止する係合片(19)が立設され(第4図参照)、
基板(P)は両チェーン(18A)(18B)上に載置し且つ
各係合片(19)で係止された状態で上流側から下流側に
間欠的に搬送される。
The conveyor (2) has a pair of drive sprockets (16).
(16) consists of a pair of chains (18A) and (18B) stretched between the driven sprockets (17) and (17), and the printed circuit board (P) is placed on the chains (18A) and (18B). Transport from upstream to downstream. At this time, the chain (18A) (1
8B) is provided with an engaging piece (19) standing at a predetermined interval at the rear end of the substrate (P) in the feeding direction (see FIG. 4).
The board (P) is placed on both chains (18A) and (18B) and is intermittently conveyed from the upstream side to the downstream side while being locked by the engagement pieces (19).

尚各係合片(19)が設けられるその相互間隔は、チェー
ンピッチの整数倍となっており、この間隔内に収まる基
板(P)は全て搬送動作に関しては、段取りなしで共通
に送ることができる。
The mutual intervals at which the engagement pieces (19) are provided are an integral multiple of the chain pitch, and all the substrates (P) that fit within this interval can be sent in common without any setup regarding the transfer operation. it can.

次にコンベア(2)及び可動シュート(20A)の移動に
ついて述べる。第2図及び第3図に示す駆動モータ(2
1)が通電されると、ベルト(23)を介してその駆動が
伝達されてインデックス装置(22)の出力軸が間欠駆動
し、その出力軸に取付けられた出力軸プーリ(24)とプ
ーリ(25)との間に張設されたベルト(26)によりスプ
ライン軸(27)が間欠回転するので両プーリ(28A)(2
8B)(29A)(29B)間に張設されたベルト(30)(31)
により支軸(32)(33)を介して両駆動スプロケット
(16)(16)が間欠回転する。これにより両スプロケッ
ト(16)(16)、(17)(17)が回転するので、チェー
ン(18A)(18B)上のプリント基板(P)は間欠的に定
まった距離搬送されることになる。
Next, the movement of the conveyor (2) and the movable chute (20A) will be described. The drive motor shown in FIGS. 2 and 3 (2
When (1) is energized, its drive is transmitted via the belt (23) and the output shaft of the index device (22) is driven intermittently, and the output shaft pulley (24) and pulley ( Since the spline shaft (27) rotates intermittently by the belt (26) stretched between the pulleys (28A) and (2),
Belts (30) (31) stretched between 8B) (29A) and (29B)
As a result, both drive sprockets (16, 16) rotate intermittently via the support shafts (32, 33). As a result, both sprockets (16), (16), (17) and (17) rotate, so that the printed circuit board (P) on the chains (18A) and (18B) is intermittently conveyed by a fixed distance.

一方可動シュート(20A)の両端に設けられたナット体
(34)(35)にボールネジ体(36)(37)が嵌合し、第
1図の駆動モータ(38)によりベルト(39)及びプーリ
(40)(41)を介して該ネジ体(36)(37)が回転する
と、可動シュート(20A)が固定シュート(20B)に対し
て進退動することになる。即ち基板(P)の流れ方向と
直交する方向の幅寸法に対応して、両シュート(20A)
(20B)間の距離を拡げたり狭めたりすることができ
る。このとき、可動シュート(20A)は第3図のスプラ
イン軸受(42)によってスプライン軸(27)に沿って移
動することになる。
On the other hand, the ball screws (36) (37) are fitted to the nut bodies (34) (35) provided at both ends of the movable chute (20A), and the belt (39) and pulley are driven by the drive motor (38) of FIG. When the screw bodies (36) and (37) rotate via the (40) and (41), the movable chute (20A) moves back and forth with respect to the fixed chute (20B). That is, both chutes (20A) corresponding to the width dimension of the substrate (P) in the direction orthogonal to the flow direction.
The distance between (20B) can be increased or decreased. At this time, the movable chute (20A) is moved along the spline shaft (27) by the spline bearing (42) shown in FIG.

第1図に示す(43)は前記コンベア(2)による送りが
停止している状態での位置決め装置(4)より1ピッチ
分上流に位置する係合片(19)の存在を検知する一対の
光学的手段から成るセンサーで、間欠移動するコベンア
(2)の位置ずれを検知する。即ち経時変化等でチェー
ン(18A)が伸びて係合片(19)の停止位置がずれて、
ある許容範囲を越えた場合には、前記センサー(43)が
「無し」と検知すると、電子部品装着装置全体を停止さ
せる。この場合、作業者は手動でもってインデックス装
置(22)の軸を回し、ずれ量を補正する。
Reference numeral (43) shown in FIG. 1 is a pair for detecting the presence of the engagement piece (19) located one pitch upstream from the positioning device (4) in the state where the feeding by the conveyor (2) is stopped. A sensor composed of optical means detects a positional deviation of the covener (2) which moves intermittently. That is, the chain (18A) stretches due to changes over time and the stop position of the engaging piece (19) shifts,
If the allowable range is exceeded, if the sensor (43) detects "none", the entire electronic component mounting device is stopped. In this case, the operator manually rotates the shaft of the index device (22) to correct the deviation amount.

反転装置(3)は、前記コンベア(2)に於ける上流側
の前記チェーン(18A)(18B)間の下方位置に配置さ
れ、必要に応じ前記基板(P)の流れ方向の向きを反転
させるものである。該反転装置(3)は、X軸用モータ
(44)、Y軸用モータ(45)によりX方向及びY方向に
移動可能なXYテーブル(46)と、種々のものが取付けら
れるものであってXYテーブル(46)上に設けられる取付
台(47)(第2図参照)とから構成される。第2図に示
す(48)は取付台(47)に固定され上下杆(49)を上下
動可能に案内するガイド、(50)は前記上下杆(49)の
頂部に設けられてコンベア(2)より上方へ突出可能な
押上体、(51)は上記上下杆(49)の下部に設けられた
プーリ(52)とモータ(53)の出力軸プーリ(54)間に
張設されたベルト、(55)は一端がシリンダー(56)の
作動杆と回転可能に連結され他端が上下杆(49)の下端
部の支持部(57)間に嵌合され中間部を支点として揺動
可能な揺動部材である。
The reversing device (3) is arranged at a lower position between the chains (18A) and (18B) on the upstream side of the conveyor (2) and reverses the flow direction of the substrate (P) as necessary. It is a thing. The reversing device (3) is provided with an XY table (46) which can be moved in the X and Y directions by an X-axis motor (44) and a Y-axis motor (45), and various other devices. It is composed of a mount (47) (see FIG. 2) provided on the XY table (46). A guide (48) shown in FIG. 2 is fixed to the mount (47) and vertically guides the upper and lower rods (49), and (50) is provided on the top of the upper and lower rods (49) to convey the conveyor (2). ) Is a push-up body that can project upward, (51) is a belt stretched between a pulley (52) provided on the lower portion of the upper and lower rods (49) and an output shaft pulley (54) of the motor (53), One end of (55) is rotatably connected to the operating rod of the cylinder (56), and the other end is fitted between the supporting portions (57) at the lower ends of the upper and lower rods (49) and can swing about the intermediate portion as a fulcrum. It is a rocking member.

そして、該反転装置(3)の押上体(50)には、所定間
隔を存して複数の吸引路(58)が形成され、上下杆(4
9)には該吸引炉(58)に連通する真空通路(59)が形
成され、更に該通路(59)にはロータリジョイント(6
0)及びチューブ(61)を介して図示しな真空源に連通
する。
Then, a plurality of suction paths (58) are formed at a predetermined interval in the push-up body (50) of the reversing device (3), and the vertical rod (4
A vacuum passage (59) communicating with the suction furnace (58) is formed in 9), and a rotary joint (6) is further provided in the passage (59).
0) and a tube (61) to communicate with a vacuum source (not shown).

尚第3図に示すインデックス装置(22)の出力側には出
力軸プーリ(24)との間にトルクリミッタ(62)が設け
られ、その端部に過負荷検出板(63)が設けられてい
る。従って、プリント基板搬送中に異常が起き、過負荷
状態になって、前記検出板(63)が軸方向に移動した場
合に、一対の光センサー(64)で過負荷状態を検出する
ことができる。
A torque limiter (62) is provided between the output side of the index device (22) shown in FIG. 3 and the output shaft pulley (24), and an overload detection plate (63) is provided at the end thereof. There is. Therefore, when an abnormality occurs during conveyance of the printed circuit board and the detection plate (63) moves in the axial direction, the pair of optical sensors (64) can detect the overload condition. .

第1図及び第2図に示す(65A)(65B)は前記シュート
(20A)(20B)の上流側端部に夫々対向する如く内側に
設けられたブレーキ部材で、夫々上面には真空源に連通
する吸引口(66)が複数開設されている。(67A)はロ
ーダで、複数のプリント基板(P)を棚上に収納すると
共に図示しないエレベータにより昇降可能な収納箱(68
A)と該箱(68A)内の最下位にある基板(P)を前記コ
ンベア(18A)(18B)上に押出す押出部材(69)とより
成る。この押出部材(69)より収納箱(68A)内の基板
(P)が押出された際に、コンベア(18A)(18B)上に
スムーズに乗り移らず、勢い余ってコンベア(18A)(1
8B)から落下したりしないように、前記ブレーキ部材
(65A)(65B)によって吸引され確実に安定した状態で
乗り移れるようにされている。即ち押出部材(69)の押
出動作開始時に真空源による吸引を開始し、押出動作が
終了したら吸引を解除する。
The brake members (65A) and (65B) shown in FIGS. 1 and 2 are provided inside so as to face the upstream end portions of the chutes (20A) and (20B), respectively. There are multiple suction ports (66) communicating with each other. A loader (67A) stores a plurality of printed circuit boards (P) on a shelf and can be moved up and down by an elevator (not shown) (68A).
A) and an extruding member (69) for extruding the lowest substrate (P) in the box (68A) onto the conveyors (18A) (18B). When the substrate (P) in the storage box (68A) is extruded from the extruding member (69), it does not transfer smoothly onto the conveyors (18A) (18B), and the conveyor (18A) (1A)
The brake members (65A) and (65B) are sucked by the brake members (65A) and (65B) so that they do not fall from 8B) so that they can be transferred reliably and stably. That is, the suction by the vacuum source is started when the pushing operation of the pushing member (69) is started, and the suction is released when the pushing operation is completed.

次に第1図、第2図等に示す一対の基板位置決め装置
(4)(5)について説明するが、両者は同様な構成で
あるため、一方(5)についてのみ説明する。該位置決
め装置(4)(5)は、基板(P)の送り方向、これと
直交する幅方向及び基板(P)の厚さ方向の各方向の位
置決めを行なうものであり、以下説明する。
Next, the pair of substrate positioning devices (4) and (5) shown in FIGS. 1 and 2 will be described, but since both have the same configuration, only one (5) will be described. The positioning devices (4) and (5) perform positioning in the feed direction of the substrate (P), the width direction orthogonal thereto, and the thickness direction of the substrate (P), and will be described below.

第2図に示す一対の軸受(70)(71)を貫通する軸杆
(72)には、第1図及び第2図の左から幅寄せカム(7
3)、リフトカム(74)及びクランプカム(75)が設け
られ、該軸杆(72)左端部のプーリ(76)とモータ(7
7)の出力軸プーリ(78)間にはベルト(79)が張設さ
れている。従ってモータ(77)の通電により軸杆(72)
が回転すると、各カム(73)(74)(75)が回転し、各
カムフォロワー(80)(81)(82)を介して各上下部材
(86)(87)(88)が上下動し、これに伴ない各カムレ
バー(89)(90)(91)(第2図、第6図、第11図乃至
第14図参照)も上下動する。
The shaft rod (72) penetrating the pair of bearings (70) (71) shown in FIG. 2 has a width adjusting cam (7) from the left in FIGS. 1 and 2.
3), a lift cam (74) and a clamp cam (75) are provided, and the pulley (76) and the motor (7) at the left end of the shaft rod (72).
A belt (79) is stretched between the output shaft pulleys (78) of 7). Therefore, by energizing the motor (77), the shaft rod (72)
When is rotated, each cam (73) (74) (75) is rotated and each up-down member (86) (87) (88) is moved up and down via each cam follower (80) (81) (82). Along with this, the cam levers (89) (90) (91) (see FIGS. 2, 6, 11 to 14) also move up and down.

先ず基板(P)の送り方向の規制位置決めを行なう装置
(92)について第7図を基に説明する。
First, a device (92) for restricting and positioning the substrate (P) in the feed direction will be described with reference to FIG.

(93)(94)は前記基板(P)の流れ方向の端部に接触
する基準クランプ、可動クランプで、夫々支軸(95)
(96)を支点として回転可能である。そしてバネ(97)
により基準クランプ(93)は外方に回動するように付勢
され、可動クランプ(94)はバネ(98)により内方へ回
動するように付勢されている。(91)は前述の如く前記
上下部材(88)の頂部に設けられたカムレバーで、前記
クランプ(93)(94)に突出したピン(99)(100)に
係合して、該クランプ(93)(94)の揺動を制御する。
Reference numerals (93) and (94) are a reference clamp and a movable clamp which come into contact with the end of the substrate (P) in the flow direction, and each of them is a support shaft (95).
It can rotate around (96) as a fulcrum. And springs (97)
The reference clamp (93) is biased so as to rotate outward, and the movable clamp (94) is biased so as to rotate inward by a spring (98). (91) is a cam lever provided at the top of the upper and lower members (88) as described above, and engages with the pins (99) (100) protruding from the clamps (93) (94) to cause the clamp (93 ) Control the swing of (94).

一方基板(P)の流れ方向に延びたリニアガイド(10
1)によりXテーブル(102)が水平移動可能であり、該
テーブル(102)には前記可動クランプ(94)を回動可
能に支持する可動体(103)が固定されると共に、駆動
源(図示せず)により回転するネジ軸(104)が嵌合す
るボールネジ体(105)と一体化された連結体(106)が
固定される。(107)(108)は軸受である。
On the other hand, a linear guide (10
1) allows the X table (102) to move horizontally, and a movable body (103) for rotatably supporting the movable clamp (94) is fixed to the table (102), and a drive source (Fig. A connecting body (106) integrated with a ball screw body (105) into which a rotating screw shaft (104) is fitted is fixed by a not-shown. (107) and (108) are bearings.

従って駆動源によりネジ軸(104)が回転することによ
り連結体(106)を介してXテーブル(102)が流れ方向
に移動するため、可動体(103)も移動し、基準クラン
プ(93)に対して可動クランプ(94)が遠近移動するこ
とができ、種々の基板(P)の送り方向の長さに対応で
きる。
Therefore, as the screw shaft (104) is rotated by the drive source, the X table (102) moves in the flow direction via the connecting body (106), so that the movable body (103) also moves and the reference clamp (93) is moved. On the other hand, the movable clamp (94) can move far and near, and can cope with various lengths of the substrate (P) in the feed direction.

またカムレバー(91)が上動すると、可動クランプ(9
4)はピン(100)を介して外方向に回動し、基準クラン
プ(93)もバネ(97)により外方向に回動し、両クラン
プ(93)(94)は基板(P)より下方に位置することに
なる。
When the cam lever (91) moves upward, the movable clamp (9
4) rotates outward through the pin (100), the reference clamp (93) also rotates outward by the spring (97), and both clamps (93) (94) are below the substrate (P). Will be located in.

以上のように、上下部材(88)は、第6図に示すように
ガイド(85)を介して上下動可能であり、固定シュート
(20B)に突出したピン(110)と上下部材(88)に突出
したピン(111)との間にはバネ(112)が張架され、該
上下部材(88)を上方へ付勢している。従って上下部材
(88)端部のカムフォロワー(82)は、クランプカム
(75)に圧接するので、該カム(75)の形状に合わせて
上下部材(88)は上下することになる。
As described above, the upper and lower members (88) can move up and down via the guide (85) as shown in FIG. 6, and the pin (110) protruding from the fixed chute (20B) and the upper and lower members (88). A spring (112) is stretched between the protruding pin (111) and the upper and lower members (88). Therefore, since the cam follower (82) at the end of the upper and lower members (88) is in pressure contact with the clamp cam (75), the upper and lower members (88) move up and down according to the shape of the cam (75).

次に基板(P)の送り方向と直交する幅方向の規制につ
いて述べる。先ず固定シュート(20B)の上部には、固
定板(115)が設けられ(第10図乃至第12図参照)、固
定板(115)上には所定間隔を存して可動ベアリング体
(116)及び基準ベアリング体(117)が設けられる。一
方可動シュート(20A)に設けられる軸受(118)(11
8)に回転可能に支持される支軸(119)には、複数個の
幅寄せ部材(120)を取付け、図示しない軸により回転
可能なその円筒部分の周縁が基板(P)に当接可能であ
る。そして一対の支持部(121)(121)間に支持された
取付杆(122)に付勢体としてのバネ(123)の一端が固
定され、前記幅寄せ部材(120)は夫々基板(P)方向
に回動するように付勢されている。また一対の支持部
(121)(121)間に支持された支軸(124)により回動
可能とされた伝達アーム(125)の上部には、係合ロッ
ド(126)が設けられ、前記幅寄せ部材(120)の夫々を
基板(P)から遠ざけるように作動する。前記伝達アー
ム(125)の他端部にはカムフォロワー(127)が設けら
れ、前記幅寄せカム(73)と係合するカムフォロワー
(80)を有する上下部材(86)の上下動に伴うカムレバ
ー(89)の上下動によって、該レバー(89)により前記
カムフォロワー(127)を介して前記伝達アーム(125)
は回動されることになる。
Next, the regulation in the width direction orthogonal to the feeding direction of the substrate (P) will be described. First, a fixed plate (115) is provided on an upper portion of the fixed chute (20B) (see FIGS. 10 to 12), and a movable bearing body (116) is arranged on the fixed plate (115) at a predetermined interval. And a reference bearing body (117). On the other hand, bearings (118) (11) provided on the movable chute (20A)
A plurality of width-shifting members (120) are attached to a support shaft (119) rotatably supported by 8), and the peripheral edge of the cylindrical portion rotatable by a shaft (not shown) can abut the substrate (P). Is. Then, one end of a spring (123) as an urging body is fixed to a mounting rod (122) supported between a pair of supporting portions (121) (121), and the width-shifting member (120) is respectively provided on the substrate (P). It is biased to rotate in the direction. Further, an engaging rod (126) is provided above the transmission arm (125) which is rotatable by a support shaft (124) supported between a pair of support portions (121) (121), and has the width of The pulling members (120) are operated to move away from the substrate (P). A cam follower (127) is provided at the other end of the transmission arm (125), and a cam lever associated with the vertical movement of a vertical member (86) having a cam follower (80) that engages with the width-shifting cam (73). The vertical movement of (89) causes the lever (89) to move the transmission arm (125) through the cam follower (127).
Will be rotated.

次に基板(P)への部品実装面の位置を、該基板(P)
の厚さ如何に係わらず一定とするための規制装置(13
0)について第13図及び第14図を基に説明する。固定シ
ュート(20B)及び可動シュート(20A)には、夫々リニ
アガイド(84)(84)により吸着用上下部材(87A)(8
7A)が上下動可能とされている。また両シュート(20
B)(20A)から突設したピン(131)(131)と各上下部
材(87A)(87A)下部に突設したピン(132)(132)と
の間にはバネ(133)(133)が張架され、上下部材(8
7)(87)を夫々上方へ付勢している。
Next, the position of the component mounting surface on the board (P) is determined by
Regulating device (13 to keep it constant regardless of the thickness of
0) will be described with reference to FIGS. 13 and 14. The fixed chute (20B) and the movable chute (20A) are attached to the suction upper and lower members (87A) (8) by the linear guides (84) (84), respectively.
7A) can be moved up and down. Both shoots (20
B) Springs (133) (133) between the pins (131) (131) protruding from (20A) and the pins (132) (132) protruding below the upper and lower members (87A) (87A). Is stretched and the upper and lower members (8
7) (87) are urged upward respectively.

一方上下部材(87A)(87A)端部に設けられたカムフォ
ロワー(134)(134)は、カムレバー(90)により押下
げられる。即ち、前述したように第2図に示すリフトカ
ム(74)に係合するカムフォロワー(81)を有する上下
部材(87)の上端部に前記カムレバー(90)を設けてい
るので、リフトカム(74)により吸着用上下部材(87
A)(87A)は夫々上下動することになる。
On the other hand, cam followers (134) (134) provided at the ends of the upper and lower members (87A) (87A) are pushed down by the cam lever (90). That is, as described above, the cam lever (90) is provided at the upper end of the upper and lower members (87) having the cam followers (81) that engage with the lift cam (74) shown in FIG. The suction upper and lower members (87
A) (87A) will move up and down respectively.

また(135)(135)は前記シュート(20A)(20B)の上
部に設けられる基板押えで、前記基板(P)の上面と係
合可能な係合部(136)(136)を有している。
Further, reference numerals (135) and (135) denote substrate retainers provided on the tops of the chutes (20A) and (20B), and have engaging portions (136) and (136) engageable with the upper surface of the substrate (P). There is.

更に、前記吸着用上下部材(87A)(87A)の上流寄りの
吸着部(138)には、第15図に示すように複数の吸着孔
(137)が開設され、真空パイプ(139)(139)を介し
て図示しない真空源に連通している。従って前記上下部
材(87A)(87A)の上部にプリント基板(P)の下面が
吸着可能である。
Further, as shown in FIG. 15, a plurality of suction holes (137) are formed in the suction part (138) on the upstream side of the suction upper and lower members (87A) (87A), and vacuum pipes (139) (139) are formed. ) Through a vacuum source (not shown). Therefore, the lower surface of the printed circuit board (P) can be sucked onto the upper and lower members (87A) (87A).

また前記上下部材(87A)(87A)の上部面は、コンベア
(2)搬送面よりわずかに高いレベルに設定されてお
り、チェーン(18A)(18B)の係合片(19)(19)によ
り基板(P)は、コンベア(2)搬送面から前記上下部
材(87A)(87A)に乗り移り、その時点で、真空吸着を
開始する。そしてコンベア(2)が停止したときにその
吸着を停止するが、この吸着によりコンベア(2)が停
止したときの慣性によってプリント基板(P)が移動す
ることはない。従って大きな位置ずれを起すことなく、
該上下部材(87A)(87A)によってリフトアップされ、
プリント基板(P)はその送り方向及びこの送り方向と
直交する幅方向の位置決めがなされた状態で、基板押え
(135)(135)の係合部(136)(136)に押しつけられ
る。
Moreover, the upper surfaces of the upper and lower members (87A) (87A) are set to a level slightly higher than the conveyor (2) conveying surface, and the upper and lower members (87A) (87A) are set by the engaging pieces (19) (19) of the chains (18A) (18B). The substrate (P) is transferred from the convey surface of the conveyor (2) to the upper and lower members (87A) (87A), and vacuum suction is started at that time. The suction is stopped when the conveyor (2) is stopped, but the printed circuit board (P) does not move due to the inertia when the conveyor (2) is stopped due to this suction. Therefore, without causing a large displacement,
Lifted up by the upper and lower members (87A) (87A),
The printed board (P) is pressed against the engaging portions (136) (136) of the board retainers (135) (135) while being positioned in the feeding direction and in the width direction orthogonal to the feeding direction.

次にウェハー支持台(11)(12)について詳述するが、
両者は同一構造であり支持台(11)についてのみ説明す
る。第1図に示す(140)はXYテーブルで、X軸モータ
(141)、Y軸モータ(142)により、X軸方向ガイド
(143)及びY軸方向ガイド(144)に沿って、平面方向
に移動可能である。また該XYテーブル(140)上に載置
したウェハーテーブル(9)は、図示しない駆動源によ
り正逆回転可能である。
Next, the wafer support (11) (12) will be described in detail.
Both have the same structure, and only the support base (11) will be described. Reference numeral (140) shown in FIG. 1 is an XY table, which is moved in the plane direction by the X-axis motor (141) and the Y-axis motor (142) along the X-axis direction guide (143) and the Y-axis direction guide (144). Can be moved. Further, the wafer table (9) placed on the XY table (140) can be rotated forward and backward by a drive source (not shown).

従って、突き上げ針装置(145)の上方位置に、所望の
ウェハーシート(146)が位置することになる。ウェハ
ーテーブル(9)は、4個あるために、少なくとも1種
以上4種以下の例えば夫々大きさが異なるウェハーを扱
えることになる。
Therefore, the desired wafer sheet (146) is located above the push-up needle device (145). Since there are four wafer tables (9), at least one type and four types or less, for example, wafers of different sizes can be handled.

次に一方の装着ヘッド(14)について詳述する。第2
図、第16図に示す該ヘッド(14)は、天板(13)に支持
された支持部材(150)に支持されたボールネジ(151)
に沿って第43図に示す駆動モータ(154A)によりX方向
の移動が可能であり、またガイド体(152)(152)に沿
って駆動モータ(154B)によりY方向の移動が可能とな
る。略箱状を呈した第17図に示すヘッド本体(153)内
に配設された駆動モータ(154C)の出力軸プーリ(15
5)とネジ軸(156)端部のプーリ(157)との間にはベ
ルト(158)が張設され、上下移動体(159)がナット体
(160)により第18図に示すガイド体(161)を介して上
下移動可能となる。
Next, one mounting head (14) will be described in detail. Second
The head (14) shown in FIG. 16 and FIG. 16 has a ball screw (151) supported by a support member (150) supported by a top plate (13).
The drive motor (154A) shown in FIG. 43 can move in the X direction, and the drive motor (154B) can move in the Y direction along the guide bodies (152) and (152). The output shaft pulley (15) of the drive motor (154C) disposed in the head body (153) shown in FIG.
A belt (158) is stretched between the pulley (157) at the end of the screw shaft (156) and the vertical moving body (159) is guided by the nut body (160) shown in FIG. 161) and can be moved up and down.

そして上下移動体(159)には、第18図に示すように加
圧用モータ(162)とロックソレノイド(163)が固定さ
れており、該モータ(162)の出力軸にはバネ取付ピン
(164)を有するレバー(165)が設けられている。前記
ソレノイド(163)のプランジャ(166)(第17図参照)
には取付ピン(167)が突設され、上下移動体(159)に
固定されたL字形状の支持体(168)に突設した取付ピ
ン(169)との間にはバネA(170)が張架されている。
A pressurizing motor (162) and a lock solenoid (163) are fixed to the vertical moving body (159) as shown in FIG. 18, and a spring mounting pin (164) is attached to the output shaft of the motor (162). A lever (165) is provided. Plunger (166) of the solenoid (163) (see FIG. 17)
A mounting pin (167) is projected on the spring, and a spring A (170) is provided between the mounting pin (169) projected on the L-shaped support (168) fixed to the vertical moving body (159). Is stretched.

上下移動体(159)の軸受部(171)には支軸(172)に
より揺動体(173)が回転可能とされ、該揺動体(173)
の上端部にはU字溝が切欠されて該溝に前記取付ピン
(167)が嵌合し、また揺動体(173)の他端部には加圧
ベアリング体(174)が設けられている。
An oscillating body (173) is rotatable by a support shaft (172) on a bearing portion (171) of the up-and-down moving body (159).
Has a U-shaped groove cut out at the upper end thereof, and the mounting pin (167) is fitted in the groove, and a pressure bearing body (174) is provided at the other end of the rocking body (173). .

第16図に示す(175)はロータリジョイント(176)に突
設した鍔体(177)を、前記加圧ベアリング体(174)と
で挟持する固体ベアリング体であり、第17図に示す前記
支持体(168)の端部に設けられている。前記揺動体(1
73)に突設した取付ピン(178)と加圧用モータ(162)
の出力軸に固定されたレバー(165)に突設した取付ピ
ン(164)との間に張架されたバネB(179)により前記
加圧ベアリング体(174)を下方へ付勢している。そし
てこの加圧用モータ(162)の回転角度を制御すること
により、加圧ベアリング体(174)によるロータリジョ
イント(176)及び固定ベアンリング体(175)への押圧
力を可変とすることができる。このバネB(179)は、
ペレット(180A),(180B)を基板(P)に装着する際
の押しつけ圧力を加えるためのものである。
Reference numeral (175) shown in FIG. 16 is a solid bearing body for sandwiching the flange body (177) protruding from the rotary joint (176) with the pressure bearing body (174). It is provided at the end of the body (168). The oscillator (1
Mounting pin (178) protruding from 73) and pressurizing motor (162)
The pressure bearing body (174) is urged downward by a spring B (179) stretched between the lever (165) fixed to the output shaft of the lever and a mounting pin (164) protruding from the lever. . By controlling the rotation angle of the pressurizing motor (162), the pressing force of the pressurizing bearing body (174) on the rotary joint (176) and the fixed vane ring body (175) can be made variable. This spring B (179)
This is for applying a pressing pressure when mounting the pellets (180A) and (180B) on the substrate (P).

また前記上下移動体(159)に突設した第17図の取付ピ
ン(181)とロータリジョイント(176)から突設した取
付ピン(182)との間には、バランスバネC(183)が張
架され、該バネB(183)の弾性力と吸着ノズル体(18
4)及び吸着コレット(185)の自重が略等しくなるよう
にこの弾性力が設定されており、前記自重の影響を除去
している。
A balance spring C (183) is stretched between the mounting pin (181) of FIG. 17 projecting from the vertical moving body (159) and the mounting pin (182) projecting from the rotary joint (176). The spring B (183) and the suction nozzle body (18
This elastic force is set so that the self weights of 4) and the suction collet (185) are substantially equal to each other, thereby eliminating the influence of the self weight.

前記ロータリジョイント(176)には第16図に示すよう
にピン(186)が突設しており、このピン(186)に嵌合
する係止片(187)により該ジョイント(176)自身の回
転は防止されている。
As shown in FIG. 16, a pin (186) is provided on the rotary joint (176) so that the joint (176) is rotated by a locking piece (187) fitted to the pin (186). Are prevented.

吸着ノズル体(184)は、ロータリジョイント(176)、
ホース(190)(第17図、第19(A)図参照)、大きな
ペレット(180B)(第38図参照)の吸着有無検出に使用
する真空スイッチ(191)等を介して図示しない真空源
と連結している。該吸着ノズル体(184)は、第16図に
示すように上下ガイド体(192)内の上下動可能である
が、該ノズル体(184)の上部には面取部(193)が形成
されて規制ベアリング(194)により上下ガイド体(19
2)内でのθ回転はできない。前記真空スイッチ(191)
は、真空源による吸引圧力が一定値以上になった場合に
作動し、吸着コレット(185)がペレットを吸着してい
ないものと判断する。
The suction nozzle body (184) is a rotary joint (176),
A vacuum source (not shown) is connected via a hose (190) (see FIGS. 17 and 19 (A)) and a vacuum switch (191) used for detecting the adsorption of large pellets (180B) (see FIG. 38). It is connected. The suction nozzle body (184) can move up and down in the vertical guide body (192) as shown in FIG. 16, but a chamfered portion (193) is formed on the upper part of the nozzle body (184). The upper and lower guide bodies (19
2) θ rotation is not possible. Vacuum switch (191)
Operates when the suction pressure of the vacuum source exceeds a certain value, and determines that the adsorption collet (185) does not adsorb the pellet.

また前記ヘッド本体(153)内には、第17図に示すよう
に駆動モータ(195)が配設されその出力軸プーリ(19
6)と前記上下ガイド体(192)(第16図参照)周囲に固
定されたプーリ(197)間にはベルト(198)が張設さ
れ、前記モータ(195)の通電によりベルト(198)を介
して上下ガイド体(192)がベアリング体(199)に案内
されつつ回転し吸着ノズル体(184)をもθ回転させる
ことになる。
A drive motor (195) is provided in the head body (153) as shown in FIG.
A belt (198) is stretched between the pulley (197) fixed around the upper and lower guides (192) (see FIG. 16) and the belt (198) is energized by the motor (195). The upper and lower guide bodies (192) rotate while being guided by the bearing body (199), and the suction nozzle body (184) also rotates by θ.

該吸着ノズル体(184)の下端には、吸着コレット(18
5)が第16図に示すようにロック機構(200)の施錠、解
錠により着脱可能に設けられている。
At the lower end of the suction nozzle body (184), a suction collet (18
As shown in FIG. 16, the lock mechanism (200) is detachably provided by locking and unlocking the lock mechanism (200).

第19(A)、(B)図に示す(201)は前記ヘッド本体
(153)の側面に取付けられたDCソレノイドで、そのプ
ランジャ(202)には中間部が枢支された作動レバー(2
03)が回転可能に連結している。第8図に示す(204)
はヘッド本体(153)に上下に延びたガイドレール(20
5)に沿って上下動可能な上下スライダーで、該スライ
ダー(204)に突設したピン(206)(第19(A)、
(B)図参照)とヘッド本体(153)上部に突設したピ
ン(207)との間にはバネD(208)が張架され、該スラ
イダー(204)を上方へ付勢している。
Reference numeral (201) shown in FIGS. 19 (A) and 19 (B) is a DC solenoid mounted on the side surface of the head body (153), and an actuating lever (2) having an intermediate portion pivotally supported by the plunger (202).
03) is rotatably connected. Shown in Figure 8 (204)
Is a guide rail (20
5) is a vertical slider that can move up and down along with a pin (206) protruding from the slider (204) (19th (A),
A spring D (208) is stretched between the pin (207) projecting from the upper part of the head body (153) and urges the slider (204) upward.

そしてこのスライダー(204)には、カムフォロワー(2
10)が設けられており、ヘッド本体(153)には上限ス
トッパ(211)及び下限ストッパ(212)が設けられ前記
作動レバー(203)がカムフォロワー(210)に当接して
いるので、前記ソレノイド(201)が励磁すると作動レ
バー(203)は第19(A)図に実線で示すように反時計
方向へ回転してスライダー(204)を押下げカムフォロ
ワー(210)がストッパ(212)に当接して停止し同様に
消磁すると作動レバー(203)が第19(B)図に示すよ
うに時計方向へ回転し該レバー(203)が上限ストッパ
(211)に当接するまでバネD(208)によりスライダー
(204)を押上げる。
And this slider (204) has a cam follower (2
10) is provided, the head body (153) is provided with an upper limit stopper (211) and a lower limit stopper (212), and the operating lever (203) is in contact with the cam follower (210). When (201) is excited, the actuating lever (203) rotates counterclockwise as shown by the solid line in Fig. 19 (A) to push down the slider (204) and the cam follower (210) contacts the stopper (212). When they come into contact with each other and demagnetize in the same manner, the operating lever (203) rotates clockwise as shown in FIG. 19 (B) and the spring D (208) rotates until the lever (203) contacts the upper limit stopper (211). Push up the slider (204).

従って発光素子(213)及び受光素子(214)を備え且つ
厚さが厚いが小さなペレット(180A)(第36図参照)の
吸着検出に使用する光電検知装置(215)を下端部に備
えているので、この上下スライダー(204)の上下によ
り光電検知装置(215)も上下することになる。
Therefore, a photoelectric detection device (215), which is provided with a light emitting element (213) and a light receiving element (214) and is used for the adsorption detection of a thick pellet but a small pellet (180A) (see FIG. 36), is provided at the lower end portion. Therefore, the photoelectric detection device (215) is also moved up and down by moving the up and down sliders (204).

このため、検知装置(215)が下方位置にあるとき、吸
着コレット(185)が吸着しているペレット(180A)(1
80B)の有無状態を検知でき、上方位置にあるとき、吸
着コレット(185)自体の有無状態を検知できる。
Therefore, when the detection device (215) is in the lower position, the adsorption collet (185) is adsorbed on the pellets (180A) (1).
The presence / absence state of the suction collet (185) itself can be detected when it is in the upper position.

第43図に示す(284A)(284B)は保持形のの連動する切
換スイッチで、使用者が任意に切換えられる。(285)
(286)は夫々オア回路、アンド回路で、制御装置であ
るマイクロ・コンピュータ(287)に接続されている。
従って切換スイッチ(284A)(284B)が、第43図に示す
ように設定してある状態では、前記真空スイッチ(19
1)か光電検知装置(215)かのいずれかが、ペレット
「無し」を検知したら、予めペレット無しカウンター
(図示せず)に設定された回数Nだけピックアップ動作
を繰り返し、N回を越えると、マイクロ・コンピュータ
(287)はモータ駆動回路(288)を介して各モータ(15
4A)(154B)(154C)を制御して、蒸着ヘッド(14),
(15)を復帰させた後当該装着装置の運転を停止すると
共に報知手段(289)により表示灯、ブザー等の視覚か
聴覚に訴えて使用者に知らせる。然る後使用者は、ペレ
ット「無し」が事実か否かの確認をし、事実でなければ
真空スイッチ(191)の作動レベルを調整したり、光電
検知装置(215)の高さ位置調整を行なって一回試運転
させるか再運転させればよい。
Reference numerals (284A) and (284B) shown in FIG. 43 are holding type interlocking changeover switches, which can be arbitrarily changed by the user. (285)
Reference numeral (286) is an OR circuit and an AND circuit, respectively, which are connected to a microcomputer (287) which is a control device.
Therefore, when the changeover switches (284A) and (284B) are set as shown in FIG. 43, the vacuum switch (19
When either 1) or the photoelectric detection device (215) detects the pellet "absence", the pickup operation is repeated N times, which is set in advance in the pellet no-counter (not shown), and when it exceeds N times, The microcomputer (287) is connected to each motor (15) via the motor drive circuit (288).
4A) (154B) (154C) by controlling the vapor deposition head (14),
After returning (15), the operation of the mounting device is stopped, and at the same time, the notifying means (289) notifies the user by appealing to the visual or auditory sense of the indicator lamp, buzzer, etc. After that, the user confirms whether or not the pellet "absent" is true, and if not, adjust the operation level of the vacuum switch (191) or adjust the height position of the photoelectric detection device (215). You can go and try it once or restart it.

また切換スイッチ(284A)(284B)を切り換えた場合に
は、真空スイッチ(191)及び光電検知装置(215)の両
方がペレット「無し」を検知した場合に、アンド回路
(286)を介してマイクロ・コンピュータ(287)が検知
出力を受けて前述と同様に制御する。
Further, when the changeover switches (284A) (284B) are switched, and when both the vacuum switch (191) and the photoelectric detection device (215) detect the “absence” of the pellet, the AND circuit (286) is used to operate the micro switch. -The computer (287) receives the detection output and controls as described above.

尚前記切換スイッチ(284A)(284B)、オア回路(28
5)、アンド回路(286)に代えて、同等の機能をキー入
力装置及びランダム・アクセス・メモリ(RAM)によっ
て置換えることも可能であることは勿論である。
The changeover switch (284A) (284B), OR circuit (28
Of course, instead of the AND circuit (286), the equivalent function can be replaced by a key input device and a random access memory (RAM).

次に前記吸着コレット(185)について説明すると、該
ノズル体(184)の下端部には、第20図、第21図に示す
ロック機能取付部(216)を形成し、該取付部(216)に
ロック機構(200)を設ける。そして該取付部(216)に
は、中空の取付空間(218)が形成され前記吸着コレッ
ト(185)のアダプタ(219)が嵌合する。また取付部
(216)の両側部には軸受体(220)(220)間に夫々ロ
ック爪体(221)を配設してこれらを支軸(222)が貫通
し、ロック爪体(221)の夫々を対向するように配設し
てバネ(223)によりその下端が互いに近づくように付
勢している。(224)は取付部(216)下面に突設した位
置決めピンであり、後述のU字溝(225)(第23図参
照)に嵌合可能である。
Explaining the suction collet (185), the lock function mounting portion (216) shown in FIGS. 20 and 21 is formed at the lower end of the nozzle body (184), and the mounting portion (216) is formed. The lock mechanism (200) is installed in the. A hollow mounting space (218) is formed in the mounting portion (216), and the adapter (219) of the suction collet (185) is fitted therein. Further, lock claw bodies (221) are respectively arranged between the bearing bodies (220) (220) on both sides of the mounting portion (216), and the support shaft (222) penetrates through these lock claw bodies (221). Are arranged so as to face each other and are urged by a spring (223) so that their lower ends approach each other. Reference numeral (224) is a positioning pin projectingly provided on the lower surface of the mounting portion (216), and can be fitted into a U-shaped groove (225) (see FIG. 23) described later.

吸着コレット(185)は、第20図に示すように前記取付
部(216)の取付空間(218)に嵌合するアダプタ(21
9)と、該アダプタ(219)の下部には前記嵌合した際に
前記取付体(216)下面に当接するアダプタフランジ部
(226)と、ペレット(180A)(180B)を直接吸着する
吸着部(227)とから構成される。前記フランジ部(22
6)の両側部には、下部が内方へ凹んだ係止部(228)が
形成され、前記ロック爪体(221)の下端が該係止部(2
28)に入り込んでロックすることになる。
As shown in FIG. 20, the suction collet (185) is fitted with an adapter (21) that fits into the mounting space (218) of the mounting portion (216).
9), an adapter flange portion (226) that comes into contact with the lower surface of the mounting body (216) when fitted and a suction portion that directly sucks the pellets (180A) (180B) at the bottom of the adapter (219). (227) and. The flange portion (22
At both sides of 6), a locking portion (228) whose lower portion is recessed inward is formed, and the lower end of the lock claw body (221) is at the locking portion (2).
28) I will enter and lock.

次に吸着コレット交換装置(7),(8)について述べ
るが、両者は同一構造であるため、一方(7)について
のみ第1図及び第22図を基に述べる。該交換装置(7)
は、第22図に示すように大きく分けて取付板(230)に
対して図示しない駆動源により上下動可能なツールスト
ッカー(231)及びストッカー台(232)と、所定間隔を
存して複数のロック解除ピン(233)を有するピン取付
台(234)とから構成される。
Next, the suction collet exchange devices (7) and (8) will be described. Since both of them have the same structure, only one (7) will be described with reference to FIGS. 1 and 22. The exchange device (7)
As shown in FIG. 22, the tool stocker (231) and the stocker base (232) can be roughly divided into a mounting plate (230) and vertically moved by a drive source (not shown), and a plurality of them are arranged at a predetermined interval. And a pin mount (234) having a lock release pin (233).

前記ストッカー(231)及びストッカー台(232)とは、
略同形状であり、両者は所定間隔を存して互いに合致す
る取付孔(235)(236)が複数穿設されている。そして
ストッカー(231)及びストッカー台(232)に穿設した
孔には2本のコンプライアンスピン(237)が遊嵌し、
頭部(238)とコイルスプリング(239)によりストッカ
ー(231)及びストッカー台(232)は、該ストッカー台
(232)の上面に開設した溝内にあるスチールボール(2
29)(第24図参照)を介して互いに圧接される。このボ
ール(229)によってストッカー台(232)上をストッカ
ー(231)が転がれるようになる。前記コンプライアン
スピン(237)の径より該ピン(237)が嵌合する孔径を
やや大きくとることによって、吸着コレット(185)の
着脱時の吸着ノズル体(184)のセンターとストッカー
(231)に収納された吸着コレット(185)のアダプタ
(219)のセンターの芯ずれを吸収できる。
With the stocker (231) and the stocker stand (232),
The mounting holes (235) (236), which have substantially the same shape and are aligned with each other at a predetermined interval, are formed. Then, the two compliance pins (237) are loosely fitted in the holes formed in the stocker (231) and the stocker base (232),
The stocker (231) and the stocker stand (232) are formed by the head (238) and the coil spring (239) so that the steel ball (2) located in the groove formed on the upper surface of the stocker stand (232) is
29) (see Fig. 24). The ball (229) allows the stocker (231) to roll on the stocker table (232). The compliance pin (237) is accommodated in the center of the suction nozzle body (184) and the stocker (231) when attaching and detaching the suction collet (185) by making the diameter of the hole into which the pin (237) fits slightly larger. The center misalignment of the center of the adapter (219) of the sucked collet (185) can be absorbed.

第22図に示す前記ピン取付台(234)から立設した夫々
同長のロック解除ピン(233)は、前記ストッカー(23
1)及びストッカー台(232)を貫通している。
The lock release pins (233) of the same length erected from the pin mount (234) shown in FIG.
1) and through the stocker stand (232).

ストッカー(231)の取付孔(235)の上面側開口周縁部
の前後部には、吸着コレット支持台(240)が立設さ
れ、夫々位置決めピン(241)(241)が突設している。
従って該交換装置(7)に吸着コレット(185)が置か
れている場合には、前記支持台(240)上に前記フラン
ジ部(226)が当接し、然も該フランジ部(226)の長手
方向側の端部にはU字溝(225)(225)が形成され、夫
々位置決めピン(241)(241)が該溝(225)(225)に
嵌合し、該コレット(185)のθ回転を阻止する(第23
図参照)。
Adsorption collet support bases (240) are erected on the front and rear portions of the peripheral edge of the upper surface side of the mounting hole (235) of the stocker (231), and positioning pins (241) (241) project from the suction collet support base (240).
Therefore, when the suction collet (185) is placed on the exchange device (7), the flange portion (226) abuts on the support base (240), and the length of the flange portion (226) still remains. U-shaped grooves (225) (225) are formed at the ends on the direction side, and the positioning pins (241) (241) are fitted in the grooves (225) (225), respectively, and the θ of the collet (185) is set. Prevent rotation (23rd
See figure).

前記ピン取付台(234)は第22図に示すように取付板(2
30)に取付けられたシリンダー(242)により、ガイド
(243)(243)に軸杆(244)(244)が案内されながら
上下動が可能である。第23図、第24図に示す(245)(2
45)は前記ストッカー台(232)に設けられた軸受体
で、該軸受体(245)に所定間隔を存して複数の押え部
材(247)が固定された軸杆(246)が回転自在に支持さ
れている。該押え部材(247)は略クランク形状を呈し
て一端部が前記アダプタフランジ部(226)に上面から
係合するもので、任意の押え部材(247)の他端部には
回動用駆動源としてのシリンダー(248)が連結してい
る。
The pin mount (234) is attached to the mounting plate (2) as shown in FIG.
A cylinder (242) attached to the 30) allows vertical movement while the shafts (244) (244) are guided by the guides (243) (243). As shown in FIGS. 23 and 24, (245) (2
Reference numeral 45) is a bearing body provided on the stocker base (232), and a shaft rod (246) to which a plurality of holding members (247) are fixed at a predetermined interval is rotatably provided on the bearing body (245). It is supported. The holding member (247) has a substantially crank shape, and one end of the holding member (247) engages with the adapter flange portion (226) from the upper surface. The other end of the holding member (247) serves as a rotation drive source. Cylinders (248) are connected.

尚前記ツールストッカー(231)及びストッカー台(23
2)に開設した複数の取付孔(235)(236)の開設ピッ
チ、同じくロック解除ピン(233)が嵌合する孔(図示
せず)の開設ピッチ、ロック解除ピン(233)の取付ピ
ンは全て同ピッチである。
The tool stocker (231) and stocker stand (23
2) The opening pitch of the mounting holes (235) (236), the opening pitch of the holes (not shown) where the lock release pin (233) fits, and the mounting pin of the lock release pin (233) All have the same pitch.

次に突き上げ針装置(145)について第1図、第33図乃
至第35図を基に詳述する。
Next, the push-up needle device (145) will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 33 to 35.

先ず図示しない駆動モータ及びその出力軸に設けられた
歯車と第34図に示す歯車(250)とが噛合しており、該
歯車(250)により回転ガイド(251)及び回転板(25
2)が90度正逆回転可能である。(254)は第33図、第35
図に示すシリンダー(253)により上下動するベース体
で、該ベース体(254)に取付けられた回転ガイド軸受
(255)に案内されつつ前記回転ガイド(251)は回転可
能である。
First, a gear (250) shown in FIG. 34 meshes with a gear (not shown) provided on the drive motor and its output shaft, and the gear (250) causes the rotation guide (251) and the rotation plate (25).
2) can be rotated 90 degrees forward and backward. (254) is Fig. 33, Fig. 35
With a base body that moves up and down by a cylinder (253) shown in the figure, the rotation guide (251) is rotatable while being guided by a rotation guide bearing (255) attached to the base body (254).

そして回転板(252)には、90度異なった位置に夫々第
1のガイドレール(256)(257)に沿って移動可能な第
1の作動レバー(258)(259)及び夫々第2のガイドレ
ール(260)(261)に沿って移動可能な第2の作動レバ
ー(262)(263)が設けられる(第33図参照)。第2の
作動レバー(262)(263)には、ガイド体(264)(26
5)が設けられている。一方ガイド体(264)は、小さい
ペレット(180A)に対応するもので、そのステージ面
(266)の外径は小さく、吸着孔(267)の孔径も小さい
(第37図参照)。該ガイド体(264)には、第36図に示
すように突き上げ針(268)を上下動可能とする案内通
路(269)が中央部に形成され、また4個開設された吸
着孔(267)は夫々1つの集合室(270)に連通した後1
つの連通路(271)及び導管(272)を介して真空源に連
通している。
Then, the rotary plate (252) has first actuating levers (258) (259) and second guides that are movable along the first guide rails (256) (257) at positions different by 90 degrees. A second actuating lever (262) (263) movable along the rails (260) (261) is provided (see FIG. 33). The second actuating levers (262) (263) have guide bodies (264) (26
5) is provided. On the other hand, the guide body (264) corresponds to a small pellet (180A), the stage surface (266) has a small outer diameter, and the suction hole (267) has a small hole diameter (see FIG. 37). As shown in FIG. 36, the guide body (264) is formed with a guide passage (269) in the central portion for allowing the push-up needle (268) to move up and down, and four suction holes (267) are formed. 1 after connecting to each meeting room (270)
It communicates with a vacuum source through two communication passages (271) and a conduit (272).

また他方のガイド体(265)は、第38図に示すように大
きいペレット(180B)に対応するもので、そのステージ
面(273)の外径は前記ステージ面(266)のそれより大
きく、吸着孔(274)の孔径も前記吸着孔(267)のそれ
よりも大きい(第39図参照)。そしてガイド体には、例
えば4本の突き上げ針(275)を上下動可能とする案内
通路(276)及び前記針(275)を支持する支持杆(27
6)を上下動可能とする案内通路(277)が形成され、ま
た8個開設された吸着孔(274)は夫々1つの集合室(2
79)に連通した後1つの連通路(280)及び導管(281)
を介して真空源に連通している。従って、該ガイド体
(265)の総吸引力は、ガイド体(264)のそれよりも大
きく設定してある。
The other guide body (265) corresponds to a large pellet (180B) as shown in Fig. 38, and the outer diameter of its stage surface (273) is larger than that of the stage surface (266), and the suction The diameter of the holes (274) is also larger than that of the adsorption holes (267) (see FIG. 39). The guide body has, for example, a guide passage (276) capable of vertically moving four push-up needles (275) and a support rod (27) for supporting the needles (275).
A guide passage (277) that allows the vertical movement of 6) is formed, and eight suction holes (274) are provided for each collecting chamber (2).
One communication passage (280) and conduit (281) after communicating with 79)
Through a vacuum source. Therefore, the total suction force of the guide body (265) is set to be larger than that of the guide body (264).

そして、前記突き上げ針(268)及び支持杆(277)の下
部には、第33図乃至第35図に示すように夫々コイルバネ
(282)(283)が巻装された状態で第1の作動レバー
(258)(259)に夫々取付けられる。従ってこれらバネ
(282)(283)によって、両レバー(258)(259),
(262)(263)が離反するように付勢される。
Then, as shown in FIGS. 33 to 35, coil springs (282) (283) are respectively wound around the lower portions of the push-up needle (268) and the support rod (277), and the first operating lever is wound. They are attached to (258) and (259) respectively. Therefore, by these springs (282) (283), both levers (258) (259),
(262) (263) are urged to separate.

第33図及び第35図に示す(290)(291)は下限ストッパ
で、第1の作動レバー(258)(259)の係合部(292)
(293)が当接することにより該レバー(258)(259)
の下限が決定される。即ち、前記針(268)(275)の下
限が決定されることになる。
33 and 35, reference numerals (290) and (291) are lower limit stoppers, which are the engaging portions (292) of the first operating levers (258) (259).
The lever (258) (259) is brought into contact with (293).
The lower limit of is determined. That is, the lower limit of the needles (268) (275) is determined.

そして、後述の上下ローラー(294)により夫々第1の
作動レバー(258),(259)が上動したときに、バネ
(282),(283)によって第2の作動レバー(262),
(263)も上動するが、上限ストッパーボルト(295)
(296)が上限ストッパ(297)(298)に当接すると上
動は制限される。更に第1のレバー(258),(259)が
バネ(282),(283)に抗して上動すると、針(268)
(275)は上昇し、ウェハーシート(146)のペレット
(180A),(180B)を突き上げることになる。
Then, when the first operating levers (258) and (259) are respectively moved upward by the up-and-down rollers (294) described later, the springs (282) and (283) cause the second operating levers (262),
(263) also moves up, but upper limit stopper bolt (295)
When (296) contacts the upper limit stoppers (297) (298), the upward movement is restricted. Further, when the first levers (258) and (259) move upward against the springs (282) and (283), the needle (268)
(275) rises and pushes up the pellets (180A) and (180B) of the wafer sheet (146).

(299),(300)は押下げピンで、第1の作動レバー
(258),(259)が下降するときに第2の作動レバー
(262)(263)も下降することになる。
(299) and (300) are push-down pins, and when the first operating levers (258) and (259) descend, the second operating levers (262) and (263) also descend.

一方、ベース体(254)の上部には第34図に示すように
駆動モータ(301)が取付けられ、その出力軸プーリ(3
02)とネジ軸(303)の上部のプーリ(304)との間にベ
ルト(305)が張設される。(306)は前記ネジ軸(30
3)を支持する支持体で、(307)は前記ネジ軸(303)
が嵌合し該ネジ軸(303)の回転により上下する上下バ
ーである。該上下バー(307)は回転ガイド(251)の中
空部に遊挿され、該バー(307)端部の上下ローラー(2
94)が該バー(307)の上動に伴ない第1の作動レバー
(258),(259)のいずれかを前述の如く上動させるも
のである。
On the other hand, a drive motor (301) is attached to the upper part of the base body (254) as shown in Fig. 34, and its output shaft pulley (3
A belt (305) is stretched between the 02) and the pulley (304) above the screw shaft (303). (306) is the screw shaft (30
3) is a support for supporting the screw shaft (303).
Is an upper and lower bar that fits and moves up and down by rotation of the screw shaft (303). The upper and lower bars (307) are loosely inserted in the hollow portion of the rotation guide (251), and the upper and lower rollers (2) at the ends of the bars (307) are attached.
Reference numeral 94) is for moving one of the first actuating levers (258) and (259) along with the upward movement of the bar (307) as described above.

第33図、第35図に示す(308)、(309)は回転板ストッ
パで、夫々回転板(252)に当接して、該回転板(252)
の停止位置を確実なものとしており、このストッパ(30
8),(309)に回転板(252)が当接する際の衝撃を緩
和するためにショックアブソーバが設けられている。
33 and 35, (308) and (309) are rotary plate stoppers, which come into contact with the rotary plate (252), respectively.
The stop position of is ensured, and this stopper (30
A shock absorber is provided to alleviate the impact when the rotary plate (252) comes into contact with (8) and (309).

そして第40図に示すように、前記ガイド体(264),(2
65)と真空源との間には、第1のフィルター(310),
(311)と、切換弁(312),(313)と、該切換弁(31
2),(313)と真空源との間に並列に接続される二又絞
り弁(314)(315),(316)(317)、第2のフィルタ
ー(318)(319),(320)(321)及びバルブ(322)
(323),(324)(325)とが設けられる。
Then, as shown in FIG. 40, the guide bodies (264), (2
65) between the vacuum source and the first filter (310),
(311), switching valves (312), (313), and the switching valve (31
2), (313) and bifurcated throttle valves (314) (315), (316) (317), and second filters (318) (319), (320) connected in parallel between the vacuum source. (321) and valve (322)
(323), (324) and (325) are provided.

尚真空圧の調整は、二又絞り弁(314)(315),(31
6)(317)の一方の大気に解放している弁(326)(32
7),(328)(329)の絞り具合により決まる。
The vacuum pressure is adjusted by the two-pronged throttle valve (314) (315), (31
Valves (326) (32) open to one atmosphere of (6) (317)
7), (328) (329) determined by the degree of aperture.

前記第1のフィルター(310),(311)は、吸着孔(26
7),(274)から吸い込んだ塵埃を除塵して、切換弁
(312),(313)及び二又絞り弁(326)(327),(32
8)(329)を保護し、第2のフィルター(318),(31
9),(320),(321)は、前記二又絞り弁(326)(32
7),(328)(329)から吸い込んだ塵埃を除塵し、夫
々バルブ(322)(323),(324)(325)を保護する。
The first filters (310) and (311) have suction holes (26
The dust sucked from 7) and (274) is removed, and the switching valves (312) and (313) and the bifurcated throttle valves (326) (327) and (32).
8) Protects (329) and the second filter (318), (31
9), (320), (321) are the two-pronged throttle valves (326) (32
The dust sucked from 7), (328) and (329) is removed to protect the valves (322) (323), (324) and (325), respectively.

以上の構成により以下動作について説明する。The operation will be described below with the above configuration.

(i) コンベア(2)幅の調整動作 固定シュート(20B)に対する可動シュート(20A)の移
動動作について以下述べる。種々の大きさのプリント基
板(P)をコンベア(2)を搬送できるようにするため
に、先ず第1図に示す駆動モータ(38)によりベルト
(39)及び各プーリ(40)(41)を介してボールネジ体
(36)(37)を回転させる。するとナット体(35)(3
6)が可動シュート(20A)と共に進退動するが、このと
き可動シュート(20A)はスプライン軸(27)に案内さ
れながら移動することになる。従って両スプロケット
(16),(17)間に張設されたチェーン(18B)も移動
することになり、プリント基板(P)の送り方向と直交
する方向の幅に対応できることになる。
(I) Conveyor (2) width adjustment operation The movement operation of the movable chute (20A) with respect to the fixed chute (20B) is described below. In order to convey the printed circuit boards (P) of various sizes on the conveyor (2), first, the belt (39) and the pulleys (40) (41) are driven by the drive motor (38) shown in FIG. The ball screw bodies (36) and (37) are rotated through. Then the nut body (35) (3
6) moves back and forth with the movable chute (20A), but at this time the movable chute (20A) moves while being guided by the spline shaft (27). Therefore, the chain (18B) stretched between the sprockets (16) and (17) also moves, and the width of the printed board (P) in the direction orthogonal to the feeding direction can be accommodated.

(ii) プリント基板(P)の搬送動作 第2図に示す駆動モータ(21)が通電されると、ベルト
(23)を介してインデックス装置(22)が働らき、その
出力軸プーリ(24)とプーリ(25)との間に張設された
ベルト(26)により支軸(32)(33)を介して駆動スプ
ロケット(16)(16)が回転する。このため従動スプロ
ケット(17)(17)も回転し、チェーン(18A)(18B)
上のプリント基板(P)は間欠的に搬送されることにな
る。このとき、プリント基板(P)は、第4図に示すよ
うに各係合片(19)にその下流側端部が係合した状態
で、間欠的に搬送される。
(Ii) Conveyance operation of the printed circuit board (P) When the drive motor (21) shown in Fig. 2 is energized, the index device (22) operates via the belt (23), and its output shaft pulley (24). The drive sprocket (16) (16) is rotated via the support shafts (32) (33) by the belt (26) stretched between the pulley and the pulley (25). Therefore, the driven sprockets (17) (17) also rotate and the chains (18A) (18B)
The upper printed circuit board (P) is intermittently transported. At this time, as shown in FIG. 4, the printed circuit board (P) is intermittently conveyed in a state where its downstream end is engaged with each engaging piece (19).

尚、駆動スプロケット(16)の加工上の寸法誤差が送り
精度のバラツキにならないようインデックス装置(22)
の1割出しによって、該スプロケット(16)が1回転す
るようにし、このスプロケット(16)の1回転が間欠搬
送の1ピッチとなるように該スプロケット(16)、プー
リの歯数が決めてある。
The index device (22) prevents the dimensional error of the drive sprocket (16) during machining from causing variations in feed accuracy.
The sprocket (16) and the number of teeth of the pulley are determined so that one rotation of the sprocket (16) corresponds to one pitch for intermittent conveyance by indexing 1 .

また第2図に示すローダ(67A)から前記チェーン(18
A)(18B)上へプリント基板(P)の橋渡しは、先ず収
納箱(68A)内の最下位にある基板(P)を押出部材(6
9)により押出すことにより行なわれる。即ち押出部材
(69)は、前記各係合片(19)間に各基板(P)が位置
するように作動する。
Further, from the loader (67A) shown in FIG.
For bridging the printed circuit board (P) onto the (A) and (18B), first, the lowermost board (P) in the storage box (68A) is pushed to the extrusion member (6).
It is carried out by extruding according to 9). That is, the push-out member (69) operates so that the substrates (P) are located between the engaging pieces (19).

前記押出部材(69)が基板(P)を押出すと、この押出
動作開始に同期して各ブレーキ部材(65A)(65B)によ
り各吸引口(66)を介して基板(P)の動きに真空によ
ってブレーキをかけるので、コンベア(18A)(18B)上
に確実に安定した状態で乗り移れる。而してこの乗り移
った後は、前記押出動作終了に同期して真空源による吸
引を解除する。
When the pushing member (69) pushes the substrate (P), the brake members (65A) (65B) move the substrate (P) through the suction ports (66) in synchronization with the start of the pushing operation. Since the brake is applied by vacuum, you can transfer onto the conveyor (18A) (18B) reliably and stably. After this transfer, suction by the vacuum source is released in synchronization with the end of the pushing operation.

尚基板(P)の搬送中に何らかの事故が起きて、過負荷
状態となると、第3図に示すトルクリミッタ(62)が働
きその検出板(63)が軸方向に移動することになるの
で、一対の光センサー(64)で過負荷状態を検出するこ
とができる。このときには、当該駆動モータ(21)を非
通電すると共に図示しない報知手段で使用者にその旨を
報知する。従って使用者は、その事故の原因を取除けば
よい。
If an accident occurs during the transfer of the substrate (P) and an overload occurs, the torque limiter (62) shown in FIG. 3 operates and the detection plate (63) moves axially. An overload state can be detected by the pair of optical sensors (64). At this time, the drive motor (21) is de-energized, and the user is notified of that fact by notifying means (not shown). Therefore, the user should remove the cause of the accident.

またこのようにしてプリント基板(P)の搬送は行なわ
れるが、経時変化等でチェーン(18A)が伸びて係合片
(19)の停止位置がずれてある許容範囲を越えた場合に
は、第1図に示すセンサー(43)が係合片(19)に遮光
されず係合片(19)の存在を「無し」と検知すると、電
子部品装着装置全体を停止させる。この場合、作業者
は、手動でもってインデックス装置(22)の軸を回し、
ずれ量を補正し、正規の位置に戻せばよい。
The printed circuit board (P) is conveyed in this way, but if the chain (18A) extends due to changes over time and the stop position of the engaging piece (19) deviates beyond the allowable range, When the sensor (43) shown in FIG. 1 detects the presence of the engagement piece (19) as not being shielded by the engagement piece (19) as "absence", the entire electronic component mounting apparatus is stopped. In this case, the operator manually rotates the shaft of the index device (22),
It suffices to correct the deviation amount and return it to the normal position.

(iii) プリント基板(P)の位置決め動作 そしてチェーン(18A)(18B)により、位置決め装置
(4)の位置に到達したのが検知されると、駆動モータ
(21)の通電は断たれプリント基板(P)の搬送は停止
する。
(Iii) Positioning operation of the printed circuit board (P) When the chain (18A) (18B) detects that the position of the positioning device (4) has been reached, the drive motor (21) is de-energized and the printed circuit board is disconnected. The conveyance of (P) is stopped.

すると、第2図に示すモータ(77)が通電されベルト
(79)を介して軸杆(72)が回転するので、各カム(7
3)(74)(75)も回転し、該カムの形状に合わせてカ
ムフォロワー(80)(81)(82)を介して、各上下部材
(86)(87)(88)は上下動することになる。これによ
りプリント基板(P)の送り方向、この送り方向と直交
する軸方向、これらの方向と直交する垂直方向の位置規
制を行なう。
Then, the motor (77) shown in FIG. 2 is energized and the shaft rod (72) is rotated via the belt (79), so that each cam (7
3) (74) (75) also rotate, and the vertical members (86) (87) (88) move up and down via the cam followers (80) (81) (82) in accordance with the shape of the cam. It will be. This regulates the position of the printed circuit board (P) in the feed direction, the axial direction orthogonal to this feed direction, and the vertical direction orthogonal to these directions.

プリント基板(P)の送り方向の位置規制 基板(P)がこの位置決め位置に到達する前は、カムレ
バー(91)が上昇位置にあるため第8図に示す状態にあ
る。
Position Restriction of Printed Circuit Board (P) in Feeding Direction Before the circuit board (P) reaches this positioning position, the cam lever (91) is in the raised position and is in the state shown in FIG.

そして、モータ(77)の通電により回転するクランプカ
ム(75)に合わせて、第6図に示す上下部材(88)がバ
ネ(112)に抗して下降すると、バネ(98)により可動
クランプ(94)がバネ(97)に抗して基準クランプ(9
3)が夫々回動してプリント基板(P)の送り方向の位
置規制が行なわれる。
Then, when the upper and lower members (88) shown in FIG. 6 are lowered against the spring (112) in accordance with the clamp cam (75) which is rotated by energization of the motor (77), the movable clamp (88) is moved by the spring (98). 94) resists the spring (97) and the reference clamp (9
3) respectively rotate to regulate the position of the printed circuit board (P) in the feeding direction.

即ち、ガイド(85)に沿って上下部材(88)が下降する
と、可動クランプ(94)は支軸(96)を支点とし基準ク
ランプ(93)は支軸(95)を支点として夫々回動する。
このため、各クランプが基板(P)の上流側端面及び下
流側端面に当接することになる。
That is, when the upper and lower members (88) descend along the guide (85), the movable clamp (94) rotates around the support shaft (96) as a fulcrum, and the reference clamp (93) rotates around the support shaft (95) as a fulcrum. .
Therefore, each clamp comes into contact with the upstream end face and the downstream end face of the substrate (P).

尚プリント基板(P)の送り方向の寸法が変更する場合
には、チェーン(18A)(18B)に載置する前に、図示し
ない駆動源により第7図に示すネジ軸(104)を回転さ
せることにより行なう。このネジ軸(104)が回転する
と、ボールネジ体(105)及び連結体(106)を介してリ
ニアガイド(101)に沿ってXテーブル(102)が移動す
る。このXテーブル(102)には、可動クランプ(94)
を支持する可動体(103)が固定されているので、基準
クランプ(93)に対して可動クランプ(94)が遠ざかっ
たり近づいたりすることができる。これにより、プリン
ト基板(P)の送り方向の寸法が変っても、対処できる
ことになる。
When the size of the printed circuit board (P) in the feed direction is changed, the screw shaft (104) shown in FIG. 7 is rotated by a drive source (not shown) before being placed on the chains (18A) and (18B). By doing. When the screw shaft (104) rotates, the X table (102) moves along the linear guide (101) via the ball screw body (105) and the connecting body (106). This X table (102) has a movable clamp (94)
Since the movable body (103) supporting the is fixed, the movable clamp (94) can move away from or approach the reference clamp (93). As a result, even if the dimension of the printed circuit board (P) in the feeding direction changes, it can be dealt with.

プリント基板(P)の送り方向と直交する幅方向の
位置規制 基板(P)がこの位置決め位置に到達する前は、上下部
材(86)及びカムレバー(89)が上昇位置にあるので、
バネ(123)に抗して幅寄せ部材(120)は第11図に示す
ような状態にある。
Position regulation in the width direction orthogonal to the feed direction of the printed board (P) Before the board (P) reaches this positioning position, the up-down member (86) and the cam lever (89) are in the raised position,
The width-shifting member (120) is in the state shown in FIG. 11 against the spring (123).

そして前記モータ(77)の通電により回転する幅寄せカ
ム(73)(第2図参照)の形状に合わせて上下部材(8
6)が下降する。このためバネ(123)によって幅寄せ部
材(120)は支軸(119)を支点として上部が基板(P)
側に回動する。この回動により基板(P)を可動ベアリ
ング体(116)とで挟持することになる(第12図参
照)。従って基板(P)の幅方向の位置が規制されるこ
とになる。
Then, the upper and lower members (8) are fitted to the shape of the width-shifting cam (73) (see FIG. 2) which is rotated by energization of the motor (77).
6) descends. For this reason, the width adjusting member (120) is supported by the spring (123) with the support shaft (119) as a fulcrum, and the upper portion is the substrate (P).
Rotate to the side. By this rotation, the substrate (P) is sandwiched between the movable bearing body (116) (see FIG. 12). Therefore, the position of the board (P) in the width direction is restricted.

尚このプリント基板(P)の送り方向と直交する幅方向
の寸法が変った場合には、前述の如く、駆動モータ(3
8)により可動シュート(20A)を移動させ、固定シュー
ト(20B)との関係を拡開したり、狭めることによって
結果的にこれら幅寄せ部材(120)を移動させればよ
い。
When the dimension of the printed circuit board (P) in the width direction orthogonal to the feeding direction is changed, the drive motor (3
The movable chute (20A) is moved by 8) and the relationship between the fixed chute (20B) and the movable chute (20B) is expanded or narrowed, so that these width-shifting members (120) are moved.

プリント基板(P)の垂直方向の規制 基板(P)がこの位置決め位置に到達する前は、上下部
材(87)及びカムレバー(90)は第13図に示すように下
降位置にあって、吸着用上下部材(87A)(87B)の上面
はチェーン(18A)(18B)の上面よりわずかに高いレベ
ルにあり、各チェーン(18A)(18B)の係合片(19)に
より基板(P)はチェーンから各上下部材(87A)(87
B)の上面に乗り移って吸着される。そしてコンベア
(2)が停止したときにその吸着を停止することになる
が、この吸着によりコンベア(2)が停止したときの慣
性によってプリント基板(P)が移動することは少な
い。
Vertical regulation of the printed board (P) Before the board (P) reaches this positioning position, the upper and lower members (87) and the cam lever (90) are in the lowered position as shown in FIG. The upper surfaces of the upper and lower members (87A) (87B) are at a slightly higher level than the upper surfaces of the chains (18A) (18B), and the board (P) causes the chains (18A) (18B) to engage the board (P) with the engaging pieces (19) of the chains (18A) (18B). From each upper and lower member (87A) (87
It is transferred to the upper surface of B) and adsorbed. Then, when the conveyor (2) is stopped, its adsorption is stopped, but the printed board (P) rarely moves due to the inertia when the conveyor (2) is stopped by this adsorption.

そして前記モータ(77)の通電により回転するリフトカ
ム(74)の形状に合わせて、上下部材(87)及びカムレ
バー(90)が上昇すると、プリント基板(P)は、バネ
(133)(133)により上昇する前記上下部材(87A)(8
7A)によって押上げられる。このため基板(P)は、送
り方向及びこの送り方向と直交する幅方向の位置規制が
なされた状態で、基板押え(135)(135)の係合部(13
6)(136)の下面に当接した状態となる(第14図参
照)。
Then, when the upper and lower members (87) and the cam lever (90) are raised in conformity with the shape of the lift cam (74) which is rotated by energization of the motor (77), the printed circuit board (P) is moved by the springs (133) and (133). The upper and lower members (87A) (8
It is pushed up by 7A). Therefore, the board (P) is engaged with the engaging portions (13) of the board retainers (135) (135) in a state where the position of the board is regulated in the feeding direction and the width direction orthogonal to the feeding direction.
6) It comes into contact with the lower surface of (136) (see Fig. 14).

従って、この規制装置(130)によって、基板(P)へ
の部品実装面の位置を、該基板(P)の厚さに影響され
ず常に一定とすることができる。
Therefore, the position of the component mounting surface on the board (P) can be made constant by the restricting device (130) without being influenced by the thickness of the board (P).

以上の基板(P)の各位置規制は、モータ(77)の通電
により略同時に開始されることになるが、送り方向の位
置規制、この送り方向とは直交する幅方向の位置規制、
これらの方向と直交する垂直方向の位置規制の順に終了
する。
The above-mentioned position regulation of the board (P) is started at approximately the same time when the motor (77) is energized. However, position regulation in the feed direction, position regulation in the width direction orthogonal to this feed direction,
The order of position regulation in the vertical direction orthogonal to these directions ends.

(iV) ウェハーテーブル(9)等の動作 前述のように位置規制された状態にあるプリント基板
(P)にペレットを装着するわけである。この装着前に
ウェハーテーブル(9)上の所望ウェハーシート(14
6)がステーション(A)(第1図参照)に移動するよ
うに、ウェハー支持台(11)を図示しない駆動源により
正逆いずれかに回転させる。
(IV) Operation of Wafer Table (9), etc. Pellets are mounted on the printed circuit board (P) whose position is regulated as described above. Before this mounting, the desired wafer sheet (14
The wafer support base (11) is rotated in either forward or reverse directions by a drive source (not shown) so that 6) moves to the station (A) (see FIG. 1).

次にX軸用モータ(141)、Y軸用モータ(142)により
各ガイド(143)(144)に沿って、XYテーブル(140)
及び支持台(111)を平面方向に移動させて、突き上げ
針装置(145)のガイド体(264)の上方位置に所望のウ
ェハーシート(146)上のペレット(180A)が位置する
ようにする。
Next, the XY table (140) is moved along the guides (143) (144) by the X-axis motor (141) and the Y-axis motor (142).
Also, the support base (111) is moved in the plane direction so that the pellet (180A) on the desired wafer sheet (146) is located above the guide body (264) of the push-up needle device (145).

そして、第33図に示すシリンダー(253)によりベース
体(254)を上動させ、前記ガイド体(264)をウェハー
シート(146)に近接させる。その後駆動モータ(301)
を通電させ、各プーリ(302)(304)及びベルト(30
5)を介してネジ軸(303)を回転させ上下バー(307)
を上昇させる。すると該バー(307)は、第1の作動レ
バー(258)を上昇させるので、バネ(282)によって第
2のレバー(262)も上昇するが、ボルト(295)が上限
ストッパ(297)に当接するので、この上動は制限され
る。
Then, the base body (254) is moved upward by the cylinder (253) shown in FIG. 33 to bring the guide body (264) close to the wafer sheet (146). Then drive motor (301)
Energize each pulley (302) (304) and belt (30
5) Rotate the screw shaft (303) via the upper and lower bars (307)
Raise. Then, since the bar (307) raises the first actuating lever (258), the spring (282) also raises the second lever (262), but the bolt (295) hits the upper limit stopper (297). This movement is limited because it touches.

しかし、更に第1のレバー(258)は上動するので、突
き上げ針(268)は上昇する。従って第36図に示すよう
に、真空源により導管(272)、連通路(271)及び吸着
孔(267)を介して、ステージ面(266)上に吸着したシ
ート(146)を突き上げ、シート(146)面からペレット
(180A)を剥がすようにして装着ヘッド(4)の吸着部
(227)とで保持する状態として該吸着部(227)が確実
にペレット(180A)を吸着する。
However, since the first lever (258) further moves upward, the push-up needle (268) moves up. Therefore, as shown in FIG. 36, the sheet (146) adsorbed on the stage surface (266) is pushed up by the vacuum source through the conduit (272), the communication path (271) and the adsorption hole (267), and the sheet ( The pellet (180A) is peeled from the surface (146) so that the pellet (180A) is securely held by the suction head (4) and the suction portion (227) of the mounting head (4).

但し、このとき突き上げ針(268)は、その下限停止位
置から一気に突き上げるのではなく、ペレット吸着後の
吸着コレット(185)の上昇タイミングと同期をとるた
めに、先ず突き上げ針(268)上端がステージ面(266)
と同一レベルで待機して、しかるべきタイミング信号で
もって上昇して前記シート(146)を突き上げる(第36
図参照)。このとき降下している吸着コレット(185)
の吸着部(227)の下端部とでペレット(180A)を挟持
しても、更に針(268)は上昇するので、装着ヘッド(1
4)の上下移動体(159)が停止状態にあっても第16図に
示すバネB(179)に抗して吸着ノズル体(184)を上昇
させる。
However, at this time, the push-up needle (268) does not push up from the lower limit stop position at once, but in order to synchronize with the rising timing of the suction collet (185) after the pellet suction, the upper end of the push-up needle (268) first moves to the stage. Surface (266)
Stand by at the same level as above, and rise with the appropriate timing signal to push up the seat (146) (36th
See figure). Adsorption collet (185) descending at this time
Even if the pellet (180A) is pinched with the lower end of the suction part (227) of the, the needle (268) further rises, so the mounting head (1
Even if the vertical moving body (159) of 4) is stopped, the suction nozzle body (184) is raised against the spring B (179) shown in FIG.

この後突き上げ針(268)と吸着ノズル体(184)は、同
期してペレット(180A)を挟持した状態で共に上昇す
る。そして、所定の上昇に到達した後は、前記ノズル体
(184)のみ上昇し、前記針(268)は下降し待機位置に
戻る。
After that, the push-up needle (268) and the suction nozzle body (184) ascend together with the pellet (180A) sandwiched in synchronization. Then, after reaching the predetermined rise, only the nozzle body (184) rises, the needle (268) descends, and returns to the standby position.

この吸着後は、前記駆動モータ(301)の回転を逆転さ
せ、上下バー(307)を下動させバネ(282)により第1
の作動レバー(258)を下降させるので前記針(268)は
下降し、更に上下バー(307)が下動すると、第2の作
動レバー(262)も下降し、この突き上げ針装置(145)
はシリンダー(253)によって下降することによって初
期状態となる。
After this adsorption, the rotation of the drive motor (301) is reversed, the upper and lower bars (307) are moved downward, and the first spring is moved by the spring (282).
The operating lever (258) is moved down to lower the needle (268), and when the upper and lower bars (307) are further moved downward, the second operating lever (262) is also moved down to push the needle device (145).
Becomes the initial state by descending by the cylinder (253).

次に大きなペレット(180B)を装着したい場合には、そ
のウェハーシート(146)がステーション(A)に位置
するように支持台(11)を回転させると共にXYテーブル
(140)及び支持台(11)を平面方向に移動させて、次
の装着動作に備える。また突き上げ針装置(145)の回
転板(252)を90度回転させる。即ち、図示しない駆動
モータに通電して、その出力軸に設けられた歯車に噛合
する歯車(250)により回転ガイド(251)及び回転板
(252)を回転させ、回転板ストッパ(308)に当接して
停止位置を確実なものにしている(第35図参照)。
When mounting a next large pellet (180B), the support base (11) is rotated so that the wafer sheet (146) is located at the station (A), and the XY table (140) and the support base (11) are rotated. Is moved in the plane direction to prepare for the next mounting operation. Further, the rotary plate (252) of the push-up needle device (145) is rotated by 90 degrees. That is, the drive motor (not shown) is energized, and the rotation guide (251) and the rotary plate (252) are rotated by the gear (250) meshing with the gear provided on the output shaft of the drive motor, and the rotation plate stopper (308) is contacted. The stop position is secured by contact (see Fig. 35).

従って、大きなペレット(180B)用のガイド体(265)
がウェハーシート(146)の直下方に位置することにな
る。
Therefore, the guide body (265) for the large pellet (180B)
Will be located immediately below the wafer sheet (146).

尚第40図に示すように、ペレッをウェハーシート(14
6)から剥離する際に、ウェハーシート(146)をステー
ジ面(266)に吸着するための真空圧も変更することが
できる。即ち比較的小さなペレット(180A)の場合に
は、切換弁(312)を切換えることによって、二又絞り
弁(314),(315)のいずれかを選択して異なる真空圧
で吸引でき、また比較的大きなペレット(180B)の場合
には、切換弁(313)を切換えることによって、二又絞
り弁(316),(317)のいずれかを選択して異なる真空
圧で吸引できる。
As shown in FIG. 40, the pellet is placed on the wafer sheet (14
The vacuum pressure for adsorbing the wafer sheet (146) to the stage surface (266) can be changed when the wafer sheet (146) is peeled off. That is, in the case of a relatively small pellet (180A), by switching the switching valve (312), either of the two-pronged throttle valves (314) and (315) can be selected and suction can be performed at different vacuum pressures. In the case of a relatively large pellet (180B), by switching the switching valve (313), one of the bifurcated throttle valves (316) and (317) can be selected and suction can be performed at different vacuum pressures.

従って、各ガイド体(264),(265)につき2種類の真
空圧を選択調整でき、各ウェハーテーブル(9)(10)
上のウェハーの大きさの異なる種類に応じて対応するこ
とができる。
Therefore, two kinds of vacuum pressure can be selectively adjusted for each guide body (264), (265), and each wafer table (9) (10)
It is possible to deal with different types of upper wafers.

例えば、前述の小さなペレット(180A)を扱う場合に
は、切換弁(312)を切換えて、二又絞り弁(314)を選
択し、各バルブ(323),(324),(325)を閉じ、バ
ルブ(322)を開く。すると真空圧は、例えば250mmHgと
なる。またこのとき、ガイド体(264)の吸着孔(267)
を介して吸い込んだ塵埃は第1のフィルター(310)で
除塵され、切換弁(312)及び二又絞り弁(314)は保護
される。更には、二又絞り弁(314)の弁(326)から吸
い込んだ塵埃は第2のフィルター(318)で除塵され、
バルブ(322)は保護される。このペレット(180A)よ
り少許大きなペレットを扱う場合には、切換弁(312)
を切換えて二又絞り弁(315)を選択して、真空圧を例
えば350mmHgとする。
For example, when handling the above-mentioned small pellet (180A), the switching valve (312) is switched, the two-pronged throttle valve (314) is selected, and the valves (323), (324), and (325) are closed. , Open the valve (322). Then, the vacuum pressure becomes, for example, 250 mmHg. At this time, the suction holes (267) of the guide body (264)
Dust sucked in through is removed by the first filter (310), and the switching valve (312) and the bifurcated throttle valve (314) are protected. Furthermore, the dust sucked from the valve (326) of the bifurcated throttle valve (314) is removed by the second filter (318),
The valve (322) is protected. When handling pellets that are slightly larger than this pellet (180A), switch valve (312)
To change the vacuum pressure to, for example, 350 mmHg by selecting the bifurcated throttle valve (315).

勿論大きなペレット(180B)を扱う場合には、切換弁
(313)を切換えて、二又絞り弁(328),(329)のい
ずれかを選択して、真空圧を例えば300mmHg,400mmHgの
いずれかに設定することができる。
Of course, when handling large pellets (180B), switch the switching valve (313) and select either the two-pronged throttle valve (328) or (329) to set the vacuum pressure to, for example, 300 mmHg or 400 mmHg. Can be set to.

(v) ペレットの装着動作 装着ヘッド(14)は、第43図に示す駆動モータ(154A)
によって回転される第16図に示すボールネジ(151A)に
よりX方向の移動ができ、駆動モータ(154B)によって
回転されるボールネジ(151B)によりガイド体(152)
(152)に沿ってY方向の移動が可能となる。
(V) Pellet mounting operation The mounting head (14) has a drive motor (154A) shown in FIG.
16 can be moved in the X direction by the ball screw (151A) shown in FIG. 16 that is rotated by the guide body (152) by the ball screw (151B) that is rotated by the drive motor (154B).
It is possible to move in the Y direction along (152).

従って、装着ヘッド(14)は、ステーション(A)に位
置するウェハーシート(146)の吸着すべきペレット(1
80A)の上方位置まで移動でき、次いで吸着コレット(1
85)を降下させることにより所望のペレット(180A)を
吸着できる。この点につき以下詳述する。
Therefore, the mounting head (14) is attached to the pellet (1) to be adsorbed on the wafer sheet (146) located at the station (A).
80A) and then the suction collet (1
The desired pellet (180A) can be adsorbed by lowering 85). This point will be described in detail below.

先ず第17図に示す駆動モータ(154C)に通電して、各プ
ーリ(155),(157)、ベルト(158)を介してネジ軸
(156)を回転させ、上下移動体(159)を降下させる。
すると、第16図に示す加圧用モータ(162)によりバネ
B(179)によって、加圧ベアリング体(174)がロータ
リジョイント(176)及び固定ベアリング体(175)に押
圧しているので、吸着ノズル体(184)は上下ガイド体
(192)に沿ってウェハーシート(146)まで降下する。
このため、前述の如く突き上げ針装置(145)の針(26
8)と相俟ってペレット(180A)を確実に吸着できる。
First, the drive motor (154C) shown in FIG. 17 is energized to rotate the screw shaft (156) via the pulleys (155), (157) and the belt (158), and the vertical moving body (159) is lowered. Let
Then, the pressurizing motor (162) shown in FIG. 16 causes the spring B (179) to press the pressurizing bearing body (174) against the rotary joint (176) and the fixed bearing body (175). The body (184) descends along the upper and lower guide bodies (192) to the wafer sheet (146).
For this reason, as described above, the needle (26
Combined with 8), the pellet (180A) can be securely adsorbed.

そして、この吸着後は前記モータ(154C)の回転を逆転
させて、ネジ軸(156)により上下移動体(159)を上昇
させるが、この上昇後は第17図に示すロックソレノイド
(163)を励磁させる。このため吸引されたプランジャ
(166)によりバネ(170)に抗して揺動体(173)を支
軸(172)を支点として回動させる。従って上下移動体
(159)に固定された支持体(168)に設けられた固定ベ
アリング体(175)と加圧ベアリング体(174)とで、ロ
ータリジョイント(176)の鍔体(177)を挟持した状態
にロックする(第16図参照)。勿論このロック動作は、
装着ヘッド(14)の水平移動中に行なわれ、このロック
動作後必要あらば吸着ノズル体(184)のθ回転を行な
い、ペレット(180A)の平面方向における向きを基板
(P)への装着向きに合わせる。
After this suction, the rotation of the motor (154C) is reversed and the vertical moving body (159) is raised by the screw shaft (156). After this rise, the lock solenoid (163) shown in FIG. Energize. For this reason, the swinging body (173) is rotated about the support shaft (172) as a fulcrum against the spring (170) by the sucked plunger (166). Therefore, the flange body (177) of the rotary joint (176) is sandwiched between the fixed bearing body (175) and the pressure bearing body (174) provided on the support body (168) fixed to the up-and-down moving body (159). Lock in the locked state (see Fig. 16). Of course, this locking action
This is performed during the horizontal movement of the mounting head (14), and if necessary after this locking operation, the suction nozzle body (184) is rotated by θ so that the direction of the pellet (180A) in the plane direction is mounted on the substrate (P). To match.

即ち、第17図に示す駆動モータ(195)の通電により各
プーリ(196),(197)、ベルト(198)を介して、上
下ガイド体(192)及び規制ベアリング(194)によって
吸着ノズル体(184)はθ回転することになる。
That is, when the driving motor (195) shown in FIG. 17 is energized, the suction nozzle body (192) and the restriction bearing (194) are used to feed the suction nozzle body (192) through the pulleys (196), (197) and the belt (198). 184) will rotate θ.

この吸着ノズル体(184)は、装着ヘッド(14)の水平
方向の移動によって、前述のように位置規制された状態
にあるプリント基板(P)の上方位置まで移動し、該基
板(P)の所望位置にペレット(180A)を装着すること
ができる。
The suction nozzle body (184) moves to a position above the printed circuit board (P) in the position-regulated state as described above by the horizontal movement of the mounting head (14), and The pellet (180A) can be mounted at a desired position.

即ち、前述の如く、モータ(154C)に通電して、上下移
動体(159)を降下させ、吸着ノズル体(184)を基板
(P)まで降下させるがその途中で、前記ロックソレノ
イド(163)を消磁させてロック動作を解除する。
That is, as described above, the motor (154C) is energized to lower the vertical moving body (159) and lower the suction nozzle body (184) to the substrate (P). Demagnetize and release the lock operation.

この装着時には、バネB(179)によってペレット(180
A)はプリント基板(P)に押圧されることになる。従
っての押圧力を変更したい場合には、加圧用モータ(16
2)の回転角度を希望の値にデータ設定することにより
行なえる。
At the time of this mounting, the pellet (180
A) will be pressed against the printed circuit board (P). Therefore, if you want to change the pressing force of, pressurizing motor (16
This can be done by setting the rotation angle in 2) to the desired value.

尚、前記吸着コレット(185)による吸着動作時に、図
示しない真空源による真空吸引動作が開始した場合に、
当該装着装置の全てを統括制御する第43図に示すマイク
ロ・コンピュータ(287)は、前記真空スイッチ(19
1)、光電検知装置(215)からの検知データをオア回路
(285)かアンド回路(286)を介して取り込む。そし
て、切換スイッチ(284A)(284B)の状態により少なく
とも一方の検知データか両方の検知データの内容がペレ
ット「無し」であれば、予めペレット無しカウンター
(図示せず)に設定された回数Nだけ、ピックアップ動
作を繰り返し、N回を越えると、装着ヘッド(14),
(15)を原点に復帰させて、当該装着装置の運転を停止
すると共に使用者に報知手段(289)によって視覚か聴
覚により使用者にその旨を報知する。従って使用者は、
ペレット「無し」が事実か否かの確認をし、事実でなけ
れば真空スイッチ(191)の作動レベルを調整したり、
光電検知装置(215)の高さ位置調整を行なって一回試
運転させるか再運転させて、その調整が適切か否かを確
認する。適切でなければ、再度調整し、適切であれば通
常運転を続行すればよい。
When the suction operation by the suction collet (185) starts a vacuum suction operation by a vacuum source (not shown),
The microcomputer (287) shown in FIG. 43, which controls all of the mounting devices, controls the vacuum switch (19).
1), the detection data from the photoelectric detection device (215) is taken in via the OR circuit (285) or the AND circuit (286). If the content of at least one of the detection data or both of the detection data depends on the state of the changeover switches (284A) and (284B), the pellet is “none”, the number of times N is set in advance in the pellet-less counter (not shown). , The pickup operation is repeated, and when the number of times exceeds N, the mounting head (14),
(15) is returned to the origin, the operation of the mounting device is stopped, and the user is notified by the notifying means (289) visually or audibly. Therefore, the user
Check if the pellet “none” is true, and if not, adjust the operating level of the vacuum switch (191),
The height position of the photoelectric detection device (215) is adjusted and the test operation is performed once or restarted to confirm whether the adjustment is appropriate. If it is not appropriate, readjust it, and if appropriate, continue normal operation.

また装着ヘッド(14)(15)は、前記チェーン(18A)
(18B)の各係合片(19)の間隔の整数倍の間隔を存し
て配設してあり、このためタイミング上同時に両ヘッド
がボンディング動作ができる。
The mounting heads (14) and (15) are the same as the chain (18A).
Since the engaging pieces (19) of (18B) are arranged at an interval that is an integral multiple of the interval of the engaging pieces (19), both heads can simultaneously perform the bonding operation in terms of timing.

(vi) 吸着コレット(185)の交換動作 以上のように装着動作が行なわれることになるが、例え
ば次に装着したいペレットが大きなペレット(180B)の
場合には、それに合った吸着コレット(185)に交換し
なければならない。以下その交換動作について、第25図
〜第32図に基づいて説明する。
(Vi) Replacement operation of the suction collet (185) The mounting operation is performed as described above. For example, when the next pellet to be mounted is a large pellet (180B), the suction collet (185) suitable for it Must be replaced. The exchange operation will be described below with reference to FIGS. 25 to 32.

先ず第22図に示すように、前述の如く吸着ノズル体(18
4)及び吸着コレット(185)を降下させ、吸着コレット
交換装置(7)の吸着コレットが収納されていないシー
ルストッカー(231)の取付孔(235)上方位置に移動さ
せる。
First, as shown in FIG. 22, as described above, the suction nozzle body (18
4) and the suction collet (185) are lowered and moved to a position above the mounting hole (235) of the seal stocker (231) in which the suction collet of the suction collet exchange device (7) is not housed.

次にシリンダー(242)の駆動によりピン取付台(234)
及び図示しない駆動源によりシールストッカー(231)
を上昇させる(第25図参照)。
Next, by driving the cylinder (242), the pin mount (234)
And a seal stocker (231) by a drive source (not shown)
(See Fig. 25).

この後、前記ノズル体(184)及びコレット(185)を更
に降下させると、ロック爪体(221),(221)がロック
解除ピン(233)に当接して支軸(222),(222)を支
点として回動して開く(第26図参照)。このため、ロッ
クが解除されることになるが、シリンダー(248)によ
って外方に回動していた押え部材(247)がこのシリン
ダー(248)の駆動により内方に回動してアダプタフラ
ンジ部(226)を押える。
After that, when the nozzle body (184) and the collet (185) are further lowered, the lock claw bodies (221) and (221) come into contact with the lock release pin (233) and the support shafts (222) and (222). Rotate with the fulcrum as a fulcrum to open (see Fig. 26). For this reason, the lock is released, but the holding member (247) that has been rotated outward by the cylinder (248) is rotated inward by the driving of the cylinder (248), and the adapter flange portion is then rotated. Hold down (226).

勿論、このときアダプタフランジ部(226)に形成され
たU字溝(225)内に支持台(240)上の位置決めピン
(241)(241)が夫々嵌合し、吸着コレット(185)の
θ回転は防止される(第23図参照)。
Of course, at this time, the positioning pins (241) (241) on the support base (240) are fitted in the U-shaped groove (225) formed in the adapter flange portion (226), respectively, and the θ of the suction collet (185) is set. Rotation is prevented (see Figure 23).

そして、第27図に示すように駆動源によりストッカー
(231)を降下させると、アダプタ(219)は取付空間
(218)から抜けて下がる。次に吸着ノズル体(184)は
前述にように上昇し、ピン取付台(234)及びロック解
除ピン(233)が下降する(第28図参照)。この後、吸
着ノズル体(184)は、大きなペレット(180A)用の吸
着コレット(185)の上方位置まで移動して下降し、一
方前記ピン(233)も上昇する。従って、該ピン(233)
によってロック爪体(221)(221)が開く(第29図参
照)。
Then, as shown in FIG. 27, when the stocker (231) is lowered by the drive source, the adapter (219) is pulled out from the mounting space (218). Next, the suction nozzle body (184) rises as described above, and the pin mount (234) and the lock release pin (233) descend (see FIG. 28). Thereafter, the suction nozzle body (184) moves to a position above the suction collet (185) for the large pellet (180A) and descends, while the pin (233) also rises. Therefore, the pin (233)
The lock claws (221) (221) are opened by this (see FIG. 29).

そしてシールストッカー(231)及びストッカー台(23
2)が上昇し(第30図参照)、吸着コレット(185)のア
ダプタ(219)を前記取付空間(218)内に挿入する。こ
のとき取付部(216)下面の位置決めピン(224)がアダ
プタフランジ部(226)のU字溝(225)内に嵌合するこ
とにより、この挿入時のθずれを防止している。然る
後、第24図に示すシリンダー(248)の駆動によって、
押え部材(247)を外方へ回動させる。
And seal stocker (231) and stocker stand (23
2) rises (see FIG. 30), and the adapter (219) of the suction collet (185) is inserted into the mounting space (218). At this time, the positioning pin (224) on the lower surface of the mounting portion (216) is fitted into the U-shaped groove (225) of the adapter flange portion (226) to prevent the θ deviation during the insertion. Then, by driving the cylinder (248) shown in FIG. 24,
Rotate the holding member (247) outward.

この後前記解除ピン(233)を降下させるので、ロック
爪体(221)(221)がバネ(223)(223)により内方へ
回動し、係止部(228)内に入り込んでロックすること
になる(第31図参照)。そして吸着ノズル体(184)及
び吸着コレット(185)は上昇し、前記押え部材(247)
を今度は内方へ回動させ、ストッカー(231)及びスト
ッカー台(232)を下降させることによって、吸着コレ
ット(185)の交換動作が終了する(第32図参照)。
After that, since the release pin (233) is lowered, the lock claws (221) (221) are rotated inward by the springs (223) (223) and enter the locking portion (228) to be locked. (See Figure 31). Then, the suction nozzle body (184) and the suction collet (185) rise, and the pressing member (247).
Then, by rotating inwardly and lowering the stocker (231) and the stocker base (232), the exchange operation of the suction collet (185) is completed (see FIG. 32).

この吸着コレット(185)の交換により、大きなペレッ
ト(180B)の装着に対応できることになる。
By exchanging the suction collet (185), it becomes possible to mount large pellets (180B).

次にこの吸着コレット(185)の交換が確実に行なわれ
たか否かの確認動作について述べる。
Next, an operation of confirming whether or not the suction collet (185) is exchanged surely will be described.

先ず第19(A)図に示すようにDCソレノイド(201)が
励磁している状態では、バネD(208)に抗して作動レ
バー(203)がカムフォロワー(210)を介して上下スラ
イダ(204)を下方に押圧しており、前記フォロワー(2
10)が下限ストッパ(212)に当接して係止している状
態にあるため、光電検知装置(215)は吸着コレット(1
85)がペレット(180A),(180B)(便宜上省略してあ
る。)を吸着しているか否かの検知を行なっている。し
かし、前述のコレット(185)の交換が行なわれたか否
かの確認をする場合には、前記ソレノイド(201)を消
磁させればよい。即ち、この消磁によって上下スライダ
(204)はバネD(208)により上昇し、作動レバー(20
3)が上限ストッパ(211)に当接して係止する状態とな
り、第19B図に示すように光電検知装置(215)は吸着コ
レット(185)の存在を確認できる。仮に、存在「無」
を検知すると、以後の動作を中止すると共に、使用者に
図示しない報知手段により報知する。
First, as shown in FIG. 19 (A), when the DC solenoid (201) is excited, the actuating lever (203) resists the spring D (208) and the vertical slider () via the cam follower (210). 204) is pressed downward, and the follower (2
Since the lower limit stopper (212) is in contact with and locked by the lower limit stopper (212), the photoelectric detection device (215) is attached to the suction collet (1).
85) detects whether the pellets (180A) and (180B) (omitted for convenience) are adsorbed. However, in order to confirm whether or not the collet (185) has been replaced, the solenoid (201) may be demagnetized. That is, due to this demagnetization, the upper and lower sliders (204) are raised by the spring D (208), and the operating lever (20
3) is brought into contact with and locked by the upper limit stopper (211), and the photoelectric detector (215) can confirm the existence of the suction collet (185) as shown in FIG. 19B. If there is no existence
When this is detected, the subsequent operation is stopped and the user is notified by a notifying means (not shown).

以上のように装着動作が行なわれると、位置決め装置
(4)の各動作を停止する。即ち、前記モータ(77)を
再び通電して、幅寄せカム(73)、リフトカム(74)及
びクランプカム(75)を回転させ、カムレバー(91)
(89)を上昇させると共にカムレバー(90)を降下さ
せ、また吸着用上下部材(87A),87A)の第10図に示す
吸着孔(137)を介するプリント基板(P)の吸着を止
めるように真空源による吸引を止めて大気圧に戻し前記
モータ(77)を非通電とし、初期状態に戻す。また然る
後、駆動モータ(21)に通電してプリント基板(P)を
チェーン(18A)(18B)によって下流に搬送する。
When the mounting operation is performed as described above, each operation of the positioning device (4) is stopped. That is, the motor (77) is re-energized to rotate the width-shifting cam (73), the lift cam (74) and the clamp cam (75), and the cam lever (91).
(89) is raised and the cam lever (90) is lowered, and the suction of the printed board (P) through the suction holes (137) of the suction upper and lower members (87A), 87A shown in FIG. 10 is stopped. The suction by the vacuum source is stopped, the atmospheric pressure is restored, and the motor (77) is de-energized to restore the initial state. After that, the drive motor (21) is energized to convey the printed circuit board (P) downstream by the chains (18A) and (18B).

(vii) プリント基板(P)の反転動作 このようにして、装着後のプリント基板(P)は下流に
搬送されて、第41図に示すように図示しないエレベータ
により昇降可能な収納箱(68B)に逐次収納される。こ
の収納箱(68B)は前述のローダ(67A)の収納箱(68
A)と全く同一構造である。従ってローダ(67A)の収納
箱(68A)内のプリント基板(P)の全てが、装着し終
ってアンローダ(67B)の収納箱(68B)内に収納される
ことになる。
(Vii) Reversing operation of the printed circuit board (P) In this way, the mounted printed circuit board (P) is transported to the downstream side, and as shown in FIG. 41, a storage box (68B) that can be moved up and down by an elevator (not shown). Sequentially stored in. This storage box (68B) is the storage box (68) for the loader (67A) described above.
It has exactly the same structure as A). Therefore, all of the printed circuit boards (P) in the storage box (68A) of the loader (67A) are stored in the storage box (68B) of the unloader (67B) after mounting.

ここで、プリント基板(P)によっては、多数のペレッ
トを装着しなければならないものがあり、この場合再度
チェーン(18A)(18B)に載せて装着する必要がある。
この場合、プリント基板(P)が収納されている収納箱
(68B)と収納されていない収納箱(68A)とを交換し、
夫々ローダ(67A)、アンローダ(67B)にセットすれば
よい。
Here, depending on the printed circuit board (P), a large number of pellets must be mounted, and in this case, it is necessary to mount them again on the chains (18A) and (18B) and mount them.
In this case, the storage box (68B) in which the printed circuit board (P) is stored and the storage box (68A) in which the printed circuit board (P) is not stored are replaced,
Set them in the loader (67A) and unloader (67B), respectively.

この場合、プリント基板(P)の位置決めの際の基準側
が反対側となってしまうが、反転装置(3)により平面
方向に於いて反転させればよい。以下詳述する。
In this case, the reference side at the time of positioning the printed circuit board (P) becomes the opposite side, but it may be reversed in the plane direction by the reversing device (3). This will be described in detail below.

前述のようにローダ(67A)からチェーン(18A)(18
B)上に基板(P)が載置して、間欠搬送されて、反転
装置(3)の直上方位置に来たら、搬送の駆動源である
駆動モータ(21)の通電を停止して第2図に示すシリン
ダー(56)を駆動する。すると揺動部材(55)が回動し
ガイド(48)によって上下杆(49)を上動させると共
に、図示しない真空源によりチューブ(61)、上下杆
(49)の真空通路(59)及び押上体(50)の吸引路(5
8)を介して、押上体(50)の上面にプリント基板
(P)を吸着しつつ上昇させる。然る後、モータ(53)
に通電してプーリ(54),(52)及びベルト(51)を介
して平面方向に於いて180度分押上体(50)を回転させ
る。
As mentioned above, loader (67A) to chain (18A) (18
When the substrate (P) is placed on B) and is intermittently transported and reaches a position directly above the reversing device (3), the drive motor (21), which is the drive source for the transport, is stopped from energizing. 2. Drive the cylinder (56) shown in FIG. Then, the swinging member (55) rotates to move the upper and lower rods (49) upward by the guide (48), and at the same time, the tube (61), the vacuum passage (59) and the uplift of the upper and lower rods (49) by a vacuum source not shown. Body (50) suction path (5
The printed board (P) is suctioned and raised to the upper surface of the push-up body (50) via 8). After that, the motor (53)
Is energized to rotate the pusher body (50) by 180 degrees in the plane direction via the pulleys (54), (52) and the belt (51).

この後前記シリンダー(56)の駆動を停止して、前記揺
動部材(55)を初期状態に戻して押上体(50)を降下さ
せる。このとき、前記真空源による吸引を解除して大気
圧に戻すから、プリント基板(P)はチェーン(18A)
(18B)上に載置され、再び搬送用の駆動モータ(21)
に通電して、180度反転させたプリント基板(P)を再
び搬送して、前述のように位置決めし、所望のペレット
を装着すればよい。
After that, the driving of the cylinder (56) is stopped, the swinging member (55) is returned to the initial state, and the push-up body (50) is lowered. At this time, since the suction by the vacuum source is released and the atmospheric pressure is restored, the printed circuit board (P) is connected to the chain (18A).
Placed on (18B), again drive motor for transportation (21)
The printed circuit board (P) which has been turned over 180 degrees is conveyed again, positioned as described above, and the desired pellets are mounted.

従って、プリント基板(P)の位置決めの際の基準側
が、最初に搬送位置決めしたときと同じ側となるから、
装着精度が向上する。
Therefore, the reference side at the time of positioning the printed circuit board (P) is the same side as that at the time of first carrying and positioning,
The mounting accuracy is improved.

尚プリント基板(P)の搬送方向と直交する幅寸法が変
更した基板(P)を流す場合には、X軸用モータ(4
4)、Y軸用モータ(45)を駆動して、XYテーブル(4
6)を移動させ、その相互の間隔が変更したチェーン(1
8A)(18B)のその丁度中間位置に前記押上体(50)を
移動することにより対処できる。
When the printed board (P) having a changed width dimension orthogonal to the conveying direction is flowed, the X-axis motor (4
4), drive the Y-axis motor (45) to move the XY table (4
6) Move the chain and change its mutual spacing (1
This can be dealt with by moving the push-up body (50) to the exact intermediate position between 8A) and 18B.

(ト)発明の効果 以上、本発明によれば電子部品の種類の応じて装着ヘッ
ドに装着されている吸着コレットを着脱交換する際、交
換されるべきコレットの係合部に係合していた爪による
係合を解除した状態で該コレットをストッカーに位置さ
せた後、保持部材により該コレットを保持した状態で、
装着ヘッドとストッカーとを離反させるようにしたの
で、装着ヘッドとコレットの嵌合が確実に解消できる。
(G) Effect of the Invention As described above, according to the present invention, when the suction collet mounted on the mounting head is detached and replaced according to the type of electronic component, the suction collet is engaged with the engaging portion of the collet to be replaced. After positioning the collet on the stocker with the engagement by the claws released, with the holding member holding the collet,
Since the mounting head and the stocker are separated from each other, the fitting between the mounting head and the collet can be reliably eliminated.

【図面の簡単な説明】 第1図は電子部品装着装置の平面図、第2図は同装着装
置の固定シュートの内側から奥行方向を見た正面図、第
3図は同装着装置の搬送部の右側面図、第4図はチェー
ン(18A)の部分正面図、第5図は第1図のX−X′断
面図、第6図は第1図のY−Y′断面図、第7図は送り
方向の規制位置決めを行なう装置(92)の正面図、第8
図は同装置(92)の作動待機状態の正面図、第9図は同
装置(92)による送り方向の寸法が長いプリント基板
(P)の位置決め状態を示す正面図、第10図は位置決め
装置(4)の平面図、第11図は第1図のZ−Z′断面図
でプリント基板(P)の幅方向の位置決め前の状態を示
す要部断面図、第12図は同じくプリント基板(P)の幅
方向の位置決め状態を示す要部断面図、第13図は第1図
のV−V′断面図で規制装置(130)による位置決め前
の状態を示す要部断面図、第14図は同じく規制装置(13
0)による位置決め状態を示す要部断面図、第15図は基
板の送り方向とは直交する幅方向の位置を規制する装置
を取除いた状態の部分平面図、第16図は装着ヘッドの一
部断面せる正面図、第17図は装着ヘッドの縦断右側面
図、第18図は装着ヘッドの一部切欠せる平面図、第19A
図は装着ヘッドの一部切欠せる右側面図、第19B図は上
下スライダーが上昇した状態の装着ヘッドの一部切欠せ
る右側面図、第20図は吸着ノズル下端部を縦断した状態
及び吸着コレットの正面図、第21図は吸着ノズル下端部
の左側面図、第22図は吸着ノズル交換装置の縦断正面
図、第23図は同交換装置の平面図、第24図は同交換装置
の左側面図、第25図乃至第32図は吸着コレットの交換動
作を示す図、第33図は小さいペレットを扱う場合の突き
上げ針装置の正面図、第34図は第33図の右側面図、第35
図は大きいペレットを扱う場合の同装置の正面図、第36
図は小さいペレット用の突き上げガイドの縦断面図、第
37図は同ガイドの平面図、第38図は大きいペレットを扱
う場合の突き上げガイドの縦断面図、第39図は同ガイド
の平面図、第40図は突き上げに必要な吸引回路図、第41
図は本発明装着装置の模式図であって反転装置の動作を
示す図、第42図反転装置の動作説明図、第43図は吸着コ
レットがペレットを吸着したか否かの検出に係るブロッ
ク図を夫々示す。 (180A)(180B)……ペレット、(185)……吸着コレ
ット、(218)……取付空間、(219)……アダプタ、
(221)……ロック爪体、(223)……バネ、(228)…
…係止部、(231)……ストッカー、(233)……ロック
解除ピン、(247)……押部材。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a plan view of an electronic component mounting apparatus, FIG. 2 is a front view of the mounting apparatus as seen from the inside of a fixed chute in the depth direction, and FIG. 3 is a conveyance section of the mounting apparatus. FIG. 4 is a right side view, FIG. 4 is a partial front view of the chain (18A), FIG. 5 is a sectional view taken along the line XX ′ in FIG. 1, FIG. 6 is a sectional view taken along the line YY ′ in FIG. The figure shows the front view of the device (92) for regulating and positioning the feed direction.
FIG. 9 is a front view of the device (92) in a standby state, FIG. 9 is a front view showing a positioning state of a printed circuit board (P) having a long dimension in the feed direction by the device (92), and FIG. 10 is a positioning device. FIG. 11 is a plan view of (4), FIG. 11 is a sectional view taken along line ZZ ′ of FIG. 1, showing a state before positioning the printed board (P) in the width direction, and FIG. P) is a cross-sectional view of a main part showing a positioning state in the width direction, and FIG. 13 is a cross-sectional view of the main part showing a state before positioning by the regulating device (130) in the VV 'cross-sectional view of FIG. 1, FIG. Is also a regulating device (13
Fig. 15 is a partial plan view showing the positioning state according to (0), Fig. 15 is a partial plan view of a state in which a device for restricting the position in the width direction orthogonal to the substrate feeding direction is removed, and Fig. 16 is one of the mounting heads. Partial cross-sectional front view, FIG. 17 is a right side view in vertical section of the mounting head, FIG. 18 is a partially cutaway plan view of the mounting head, FIG. 19A
Fig. 19 is a right side view of the mounting head with a part cut away. Fig. 19B is a right side view of the mounting head with a vertical slider raised. 21 is a left side view of the lower end of the suction nozzle, FIG. 22 is a vertical sectional front view of the suction nozzle exchange device, FIG. 23 is a plan view of the exchange device, and FIG. 24 is a left side of the exchange device. FIGS. 25 to 32 are views showing the operation of exchanging the suction collet, FIG. 33 is a front view of the push-up needle device when handling small pellets, and FIG. 34 is a right side view of FIG. 33. 35
The figure shows the front view of the device when handling large pellets, No. 36
The illustration shows a vertical section of the push-up guide for small pellets,
Fig. 37 is a plan view of the guide, Fig. 38 is a vertical sectional view of the push-up guide when handling large pellets, Fig. 39 is a plan view of the guide, Fig. 40 is a suction circuit diagram required for push-up, and Fig. 41.
The figure is a schematic view of the mounting device of the present invention, showing the operation of the reversing device, FIG. 42 is an operation explanatory view of the reversing device, and FIG. 43 is a block diagram relating to detection of whether or not the suction collet has adsorbed the pellets. Are shown respectively. (180A) (180B) …… Pellet, (185) …… Suction collet, (218) …… Mounting space, (219) …… Adapter,
(221) …… Lock claw body, (223) …… Spring, (228)…
... Locking part, (231) ... Stocker, (233) ... Lock release pin, (247) ... Push member.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】電子部品の種類に応じて吸着コレットを自
動的に交換する電子部品装着装置のコレット交換装置に
於いて、前記吸着コレットの上部と着脱可能に嵌合しあ
う嵌合部が形成されると共に該吸着コレットに形成され
た係合部に係合することにより該コレットを保持する開
閉可能な爪を有する装着ヘッドと、予備の吸着コレット
を保管するもので前記吸着コレットを交換する際に前記
爪に当接して該爪を開くことにより前記係合部と当該爪
との係合を解除する当接部材を有すると共に交換される
べき吸着コレットを保持して前記装着ヘッドとの相対的
移動時に該装着ヘッドと吸着コレットとを離反させる保
持部材を備えたストッカーとを設けたことを特徴とする
電子部品装着装置のコレット交換装置。
1. In a collet exchange device of an electronic component mounting device for automatically exchanging a suction collet according to the type of an electronic component, a fitting portion which detachably fits with an upper portion of the suction collet is formed. And a suction head having a claw that can be opened and closed to hold the collet by engaging with an engaging portion formed on the suction collet, and a spare suction collet for storing the suction collet. Has a contact member for releasing the engagement between the engaging portion and the claw by contacting the claw and opening the claw, and holding the suction collet to be replaced relative to the mounting head. A collet exchange device for an electronic component mounting device, comprising: a stocker having a holding member that separates the mounting head and the suction collet during movement.
JP63122325A 1988-05-19 1988-05-19 Collet exchange device for electronic component mounting device Expired - Lifetime JPH0770866B2 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS609200A (en) * 1983-06-29 1985-01-18 株式会社日立製作所 Electronic part inserting device
JPS6177000U (en) * 1984-10-26 1986-05-23
JPS62145900A (en) * 1985-12-20 1987-06-29 松下電器産業株式会社 Nozzle changer

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