JPH0770787B2 - 半導体レーザ - Google Patents

半導体レーザ

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JPH0770787B2
JPH0770787B2 JP3259657A JP25965791A JPH0770787B2 JP H0770787 B2 JPH0770787 B2 JP H0770787B2 JP 3259657 A JP3259657 A JP 3259657A JP 25965791 A JP25965791 A JP 25965791A JP H0770787 B2 JPH0770787 B2 JP H0770787B2
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正信 渡辺
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は2本の平行導波路を有
するツインストライプレーザに関し、特に一方の導波路
から他方への光の結合により、両端面における出力光分
布が互いに鏡像となる交差モードを発生するという、希
な発振の仕方をする半導体レーザに関するものである。
【0002】この半導体レーザは交差モードを発生する
条件においては、それのほぼ対称な光分布を持つ交差モ
ードとの間で双安定となるため、光メモリ,光スイッ
チ,光論理素子として使用し得る。
【0003】
【従来の技術】通常の半導体レーザは、左右対称な注入
電流分布の場合、左右対称な光を出射する。これに対
し、2本の平行陽極を持つツインストライプレーザ(陰
極は広いものが一つである)において、左右対称な注入
電流にも係わらず出射光分布が非対象で、かつ両端面に
おける分布が互いに鏡像になる発振形態がある。これは
一方の導波路から他方の導波路へ交差して移って行くと
いう意味で、交差モードと名付けられている。この逆
に、一つの陽極と2本の陰極でも全く構わない。しか
し、2電極と呼ぶと、1陽極1陰極の通常のレーザとの
混同の恐れがあるので、本特許では便宜上2本の方を陽
極としておく。実際のレーザでは正孔の方が拡散が遅い
ため、陽極の方を2本にすることが普通である。
【0004】このモードは最初、不完全な形ではある
が、1983年WhiteとCarrollによって実
験的に発見された。その発生メカニズムは長らく不明で
あったが、7年後に、渡辺らにより理論的に明らかにさ
れ、双安定となることも示された(文献[1,2])。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らによる先の
出願、特願平2−78415号(文献[1])に開示さ
れた理論では、交差モードおよび双安定性が現われるの
は、非常に狭い範囲の光出力の場合に限られていた。本
発明は、この点を大幅に改善するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は2本の平行導波
路を有し、2つの共鳴モードの同時発振によって、両端
面における出射光分布が互いに鏡像となる交差モードを
発生し、かつ交差モード間で双安定性を有することを特
徴とする。
【0007】
【作用】本発明ではまず、特願平2−78415号にお
ける限界の理由が、奇類似または偶類似共鳴モードの一
方のみの発振しか考慮されていなかったためであること
を示し、両モードの同時発振を考慮して計算を行う。そ
の結果、従来の理論では存在しなかった安定解を見いだ
し、広い範囲の光出力に対して交差モード発生が可能な
ことを示す。
【0008】理論的考察および計算機シミュレーション
によって、従来安定解の存在しなかった領域では2モー
ド同時発振が起こること、非常に広い範囲の光出力、す
なわち、特願平2−78415号で求めた条件よりも強
い、任意の光出力において交差モードおよび双安定性が
現われることが示される。
【0009】
【実施例】ここでは奇類似モードが主たる役割を果たす
先の出願のモデルをもとにして例を示す。偶類似モード
が主たる役割を果たすモデルに基づく場合も、理論の筋
道は全く同じであり、ただ奇類似モードと偶類似モード
の役割が入れ替わるだけである。
【0010】(1)モデル 図1に計算モデルのレーザ構造模式図を示す。特願平2
−78415号と同じなので、簡単に説明を行う。図1
(a)はレーザの上面図で、活性導波路の領域を4つに
区分してWG1 〜WG4 、それぞれのキャリア密度をN
1 〜N4 と名付け、N1 =N4 かつN2 =N3 の場合を
調べた。N0 は平均キャリア密度であり、Δcは(N1
−N2 )/N0 で定義される、左右のキャリア密度差を
表わすパラメータである。P1 〜P4 はそれぞれWG1
〜WG4 から出てくるパワーであり、キャリアが上記の
ように斜めの分布をもっていると、両端面から出射され
る光パターンが互いに鏡像となる(P1 =P4 ,P2
3 )。電極も同様に4つに区分して考え、WG1 〜W
4 に注入される電流をそれぞれCu1 〜Cu4 とす
る。注入電流は光パワーに比例する誘導再結合項と、キ
ャリア密度のみに依存する自然再結合項との和で表され
るので、Cu1 =Cu4 ,Cu2 =Cu3 が成り立つ。
【0011】図1(b)は断面図である。活性導波路は
上下だけでなく横方向にも作り付けの屈折率閉じ込め構
造をもつものとする(埋め込みダブルヘテロ構造と呼ば
れる)。εa ,ε1 ,εt はそれぞれ活性(activ
e)導波路,横方向(x方向;lateral dir
ection)クラッド,縦方向(y方向;trans
verse direction)クラッドの誘電率
で、Re(εa )>Re(ε1 )≫Re(εt )なる関
係をもたせてある。この条件を満たすためにはAlx
1-x As材料の場合、Gaに対するAlの割合を示す
xを導波路では小さく、横方向クラッドではやや大き
く、縦方向クラッドではさらにもっと大きくなるように
すればよい。本実施例ではキャリアのないときの誘電率
をεa =13.1−0.023i(GaAsバルクの
値),ε1 =12.9,εt =11.4,活性層幅0.
1μm,導波路幅2μm,導波路間隔1μmとした例に
ついて計算した。計算を複雑にしないため、まずキャリ
ア分布固定の条件で電界分布を求め、次にこれらを保持
するに必要な電流分布を求めるという順序を取る。電流
分布は、光パワーに比例する項と、キャリア密度のみに
依存する項の和になる。詳しい計算方法は文献[1,
2]に述べられている。
【0012】(2)共鳴モード 対称電流注入において、ある時、両端面の光出力が互い
に鏡像となるような非対称光出力が発生したとすると、
誘導再結合によって、光の強い部分のキャリアが少なく
なる(図1参照)。これによって一時的に非対称なキャ
リア分布が発生したとしても、通常は次の瞬間に、キャ
リアの多いところの光を強め、キャリアの少ないところ
を弱める作用が起こり、元の対称なパターンに戻ってし
まう。しかしながらこれとは逆に、図1のような非対称
なキャリア分布が、キャリアの少ない部分に強いパワー
を持つ光分布を支持する条件であれば、これらの非対称
な光分布と非対称なキャリア分布は互いに支え合って、
対称注入電流の下で共存できる。
【0013】上記のことから、交差モード発生の条件
は、図1のような斜めのキャリア分布があったときに、
キャリアの少ない導波路に大きなピークを持つモードが
最大利得を持つことであることがわかる。文献[1,
2]に示されているように、実際にそのような条件は存
在する。利得の低いところに強い光が現われる理由は複
雑なので、キャリアの存在が利得を上げると同時に屈折
率を下げることに関連するということを述べておくにと
どめる。
【0014】このようにキャリアが斜めの分布を持つと
きには、一往復しても形の変わらない共鳴横モードの光
の分布も、図2のように斜めの分布を持つ。これはL=
0.95Lc(<Lc),Δc=0.024の場合の例
である。2つの共鳴モードの形は屈折率分布でほぼ決定
され、利得分布によって、このモードのどちら(あるい
は両方)が選ばれるかが決定される。(a)は導波路間
で光強度がほぼ零になる場所があるので奇類似モード、
(b)はそのような場所が無いので偶類似共鳴モードと
呼ぶ。±z方向に伝搬する光のパワーを足し合わせてあ
る。このように、L<Lcでは奇類似モードがキャリア
の少ない側の導波路に、偶類似モードがキャリアの多い
側の導波路に大きいピークを持っている。これがL<L
cの時にはちょうど逆になり、偶類似モードがキャリア
の少ない側に、奇類似モードがキャリアの多い側に大き
いピークを持つ。
【0015】(3)2モード発振を考慮した計算結果 図3に、L/Lc=0.95の場合の、P1 /P2 とC
1 /Cu2 の関係を、−0.026≦Δc≦0.02
6の範囲について計算した結果を示す。実線は単一モー
ド安定解、点線は単一モード不安定解、破線は2モード
安定解である。図3(a),(b),(c),(e)の
単一モード解は、既出力の特願平2−78415号に示
してあるものとする。
【0016】注入電流は、光パワーに比例する誘導再結
合項と、キャリア密度のみに依存する自然再結合項との
和でほぼ表される。出力光電力が零である図3(a)に
おいては、電流分布はキャリア分布のみによって決ま
り、Δcに対して電流比Cu1/Cu2 は単調に増え
る。光パワー比P1 /P2 はΔcが0から0.024ま
で増加する間は単調に減少する。これは、奇類似モード
の方が高い利得をもち、そのパワーがWG2 (およびW
3 )に偏って行くからである。この間、利得の低い
(従って現われない)偶類似モードのパワーはWG1
(およびWG4 )に偏って行く。Δc=0.024にお
いて、P1 /P2 は不連続に1より大きい値に変化す
る。これは、Δc=0.024を境として、奇類似モー
ド(図2(a))よりも偶類似モード(図2(c))の
利得の方が高くなり、後者へスイッチするためのであ
る。したがって出力光が非常に小さいとき、Cu1 /C
2 =1.05付近における僅かな電流比変化が、共鳴
モードのスイッチとそれによる大きな光電力比変化をも
たらす。
【0017】光の存在が上記のグラフに与える影響を調
べてみよう。次の図3(b)はPo=0.22mWの場
合である。光電力が大きいほど誘導再結合の効果は大き
い。したがって、P1 /P2 >1である上半分は右へ、
1 /P2 <1である下半分は左へ、P1 /P2 が1よ
り離れている点ほど大きく移動する。その結果、どちら
の共鳴モードも単独では光電力比を与えない電流比の領
域(図3(b)においては1.03<|Cu1 /Cu2
|<1.07)が現われる。従来は、この領域での解が
得られておらず、これを求めるのが本発明の主題であ
る。
【0018】不連続になるΔc=0.024においては
2つの共鳴モードの利得は等しいため、2モードが共存
する可能性がある。しかし従来、この可能性は考慮の外
に置かれていた。その理由は、光の周波数を固定(2つ
の共鳴モードの周波数が同じ)して考えており、2つの
共鳴モードの電界を重ねたものは、干渉によって一往復
後に形が変化し、安定な発振状態になるとは理解されな
かったためである。
【0019】今回さらに理論的検討を行った結果、2つ
の共鳴モードに対して異なる周波数を許すことにより、
次に述べるように、2モード共存が可能であることが判
明した。すなわち、従来解のなかった電流領域における
光パワー比を、破線のように求めることができた。ある
電磁界が共鳴モードとなるためには、一往復後に形が変
わらないのみでなく、位相も変わらないことが必要であ
る。現実には後者の条件によって、ある横モードに対す
る周波数が決定される。したがって異なる横モードに対
する周波数は一般にはわずかではあるが、異なる。
【0020】これに対し、横モードに関する理論解析に
おいては、通常、周波数をまず与えるため、位相条件は
満たされない。ただし、横モードが1つの場合には、わ
ずかな周波数の修正によって位相ずれが補償されるの
で、ほぼ気にする必要がない。ところで、横モードが2
つ以上存在するときは、それぞれに対して周波数が異な
ることを考慮にいれる必要がある。これを考慮すると、
2つの共鳴モードの間には干渉がないため、共存状態の
光分布は、単純にパワーを重ね合わせたものとなり、安
定な発振状態となり得る。このような理論的検討に基づ
いて、計算されたのが、図3中の破線の部分である。
【0021】これらの動作点においてはΔcの増加(減
少)に対して、その状態を保持するに必要なCu1 /C
2 は増加(減少)するので安定である。以上の考慮に
よって、任意のCu1 /Cu2 に対してP1 /P2 が得
られる。
【0022】図3(c)はPo=0.55mWの場合で
ある。単一モード解の一部は不安定になり、点線で示し
てある。この図は非常に狭い双安定領域(0.997<
Cu1 /Cu2 <1.003)を持つ。特に、もし注入
電流が一様(Cu1 =Cu2)であったとしても、P1
/P2 =3または1/3という非対称な光出力が現われ
る。このときキャリア分布も非対称である。したがっ
て、これらの存在によって起こる自然再結合と誘導再結
合によるキャリアの減少を補うために必要な、それぞれ
の電流もまた非対称である。しかしながら、キャリアと
光の最大ピークは互いに反対側の導波路にあるため、こ
の2つの電流の総和は対称になり得るのである。単一奇
類似モードによるこのような双安定性が得られる条件
は、電流比のみでなく光出力も狭い範囲に限られている
(0.5mW<Po<0.7mW)。
【0023】図3(d)にPo=0.88mWの場合の
結果を示す。光出力がこれくらい大きいと、Cu1 /C
2 =1における安定単一モード解は消失する。その代
わり、それぞれの安定状態が2つの共鳴モードよりなる
双安定性が現われる。この2モード双安定性は、Po>
0.7mW(上限は無い)において現われる。
【0024】光出力をさらに2.2mWまで増加する
と、図3(e)に示したように、Cu1 /Cu2 =1付
近の単一モード解は全て不安定になる。この場合の2モ
ード双安定の電流比範囲は0.9<Cu1 /Cu2
1.1であり、単一モード双安定の場合よりもはるかに
広い。Poの増加とともにこの電流範囲は広くなるが、
光電力比が1に近づいてしまうという欠点も生ずる。
【0025】図4にCu1 /Cu2 =1の時の、一端面
における近視野像を示す。図4(a)はPo<0.5m
Wの場合、図4(b)〜(d)はそれぞれPo=0.5
5,0.88,2.2mWの双安定状態の一方を示して
いる。他方はこれらの左右を入れ替えた鏡像である。
(c)と(d)の光パワー分布(実線)は奇類似モード
(破線)と偶類似モード(点線)の両方で構成されてい
る。
【0026】従来の単一モード双安定性を与える出力光
電力の値は、2モードも含めた双安定条件の下限になっ
ており、これ以上の光出力ならば交差モードが得られる
ことが明らかになった。
【0027】本例の場合、従来は光出力が0.5〜0.
7mWという狭い領域でのみ、交差モード双安定性が得
られると考えられていたが、今回の発明により、それよ
りも大きな任意の光出力(全体の電流レベルを上げるこ
とにより得られる)において、交差モード双安定性が得
られることが明らかになった。
【0028】図5にフリップ・フロップとしての応用例
を示す。交差モード発生状態にあるツインストライプレ
ーザは、単体で電子回路におけるセット・リセット・フ
リップ・フロップに類似なものになっている。図5は、
電流注入が一様(Cu1 /Cu2 =1)でPo=0.5
5mWの場合(単一奇類似モード双安定状態)の例を示
している。下側の導波路端面“1”と“2”をそれぞれ
セットおよびリセット信号の入り口、上側の導波路端面
と“4”と“3”をそれぞれ出力と補出力の出口と定義
する。最初、共鳴モードの最大ピークは実線で示したよ
うに“2”と“3”にあるとする。この状態は出力Qが
小さいのでオフ状態である。小さな光信号(セットパル
ス)を“1”に入射すると、光の分布は破線で示したも
う一方の安定状態(Qが大きいオン状態)にスイッチす
ることが期待される。この状態はリセットパルスが
“2”に入射されるまでは保持される。このようにし
て、電子回路の場合と同様に補出力をもつ光フリップ・
フロップが、ただ一つのツインストライプレーザによっ
て実現される。
【0029】このスイッチは図3(a)のCu1 /Cu
2 〜1.05付近における、電流比を微小に変化させる
ことによる、奇類似モードと偶類似モードとの間のスイ
ッチ(双安定ではない)とは違うことに注意が必要であ
る。図5の双安定スイッチでは全ての最初の量はその鏡
像に変化する。すなわち、電流比は1に固定されたまで
あり、一時的な(パルスの)光入力による双安定スイッ
チであり、Δcは0.016から−0.016に変化
し、実線と破線の光分布はどちらも奇類似モードであ
る。
【0030】光出力をPo>0.7mWにして2モード
にした場合も、同様な機能を得る。本発明により、この
ような有用な機能が、広い光出力範囲において可能とな
る。
【0031】[参考文献] [1]渡辺正信,I.H.White,J.E.Car
roll、「半導体レーザ」、平成2年特願第7841
5号 [2]M.Watanabe,I.H.White,a
nd J.E.Carroll,“Analysis
of the cross−coupled late
ral mode in a twin−stripe
four−contact laser with
diagonal current injectio
n”,IEEE J.Quantum Electro
n,vol.26,pp.1942−1953,199
0.
【0032】
【発明の効果】2モード発振の考慮により、単一交差モ
ードを発生する光出力を下限とする任意の光出力(上限
は無い)において、交差モード双安定性の発生が可能と
なった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明実施例の計算モデルを示す図である。
【図2】L=0.95Lc(<Lc),Δc=0.02
4とした場合の、共鳴横モードの光パワー分布の例を示
す図である。(a)は奇類似モード、(b)は偶類似モ
ードで、±z方向に伝搬する光のパワーを足し合わせて
ある。
【図3】L/Lc=0.95の時の、−0.026≦Δ
c≦0.026における光パワー比と電流比の関係を示
す図である。各グラフの光出力は(a)0mW,(b)
0.22mW,(c)0.55mW,(d)0.88m
W,(e)2.2mWである。実線は単一モード安定
解、点線は単一モード不安定解、破線は2モード安定解
を示す。
【図4】Cu1 /Cu2 =1の場合の、一端面における
出力光分布を示す図である。各グラフの光出力は(a)
0.5mW以下,(b)0.55mW,(c)0.88
mW,(d)2.2mWである。(b)〜(d)では双
安定解の一方を示しており、他方はその鏡像になる。実
線が出力光分布で、(c)と(d)における破線と実線
は奇類似および偶類似モード成分である。
【図5】セット・リセット光フリップ・フロップとして
の働きの説明図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2本の平行導波路を有し、2つの共鳴モ
    ードの同時発振によって、両端面における出射光分布が
    互いに鏡像となる交差モードを発生し、かつ交差モード
    間で双安定性を有することを特徴とする半導体レーザ。
JP3259657A 1991-09-11 1991-09-11 半導体レーザ Expired - Lifetime JPH0770787B2 (ja)

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JP3259657A JPH0770787B2 (ja) 1991-09-11 1991-09-11 半導体レーザ

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JP3259657A JPH0770787B2 (ja) 1991-09-11 1991-09-11 半導体レーザ

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JPH0613714A JPH0613714A (ja) 1994-01-21
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FR2722381B1 (fr) 1994-07-12 1997-02-28 Oreal Applicateur pour l'application d'un produit liquide et ensemble de maquillage muni d'un tel applicateur
FR2759872B1 (fr) * 1997-02-21 1999-03-26 Oreal Ensemble de conditionnement et d'application d'un produit de maquillage de fibres keratiniques
FR2759873B1 (fr) * 1997-02-21 1999-04-23 Oreal Dispositif d'application d'un produit de maquillage de fibres keratiniques, notamment des cils, et ensemble de conditionnement et d'application utilisant un tel dispositif
DE60215965T2 (de) * 2001-09-13 2007-03-01 Japan Science And Technology Agency, Kawaguchi FLIP-FLOP in vollständig optischer Bauweise
US7077592B2 (en) 2002-02-19 2006-07-18 L'oreal S.A. Applicator including an applicator element configured to apply substance to skin

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