JPH0760462A - Laser marking device - Google Patents
Laser marking deviceInfo
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- JPH0760462A JPH0760462A JP5211407A JP21140793A JPH0760462A JP H0760462 A JPH0760462 A JP H0760462A JP 5211407 A JP5211407 A JP 5211407A JP 21140793 A JP21140793 A JP 21140793A JP H0760462 A JPH0760462 A JP H0760462A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明はレ−ザ光によって被加
工物にマ−クを形成するレ−ザマ−キング装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser marking device for forming a mark on a workpiece by laser light.
【０００２】[0002]
【従来の技術】被加工物にレ−ザ光によって所定のパタ
−ンをマ−キングする場合、たとえば特公平４−３１７
９７号公報に示されるように、所定のパタ−ンが形成さ
れたマスクをレ−ザ光によって照射し、そのパタ−ンを
透過したレ−ザ光を結像レンズで集束して被加工物に照
射する方法が知られている。2. Description of the Related Art When a predetermined pattern is marked on a workpiece by laser light, for example, Japanese Patent Publication No. 4-317.
As disclosed in Japanese Patent Publication No. 97, a mask on which a predetermined pattern is formed is irradiated with laser light, and the laser light transmitted through the pattern is focused by an imaging lens to be processed. There is a known method of irradiating the skin.
【０００３】上記公報に示された従来のレ−ザマ−キン
グ装置を図３に基いて説明する。同図中１はレ−ザ発振
器である。このレ−ザ発振器１から出力されたレ−ザ光
Ｌは集光レンズ２で集束されて第１のミラ−３と第２の
ミラ−４とで順次反射される。上記第１のミラ−３は第
１のガルバノメ−タスキャナ５によって所定方向（この
方向をＸ方向とする）に揺動駆動され、上記第２のミラ
−４は第２のガルバノメ−タスキャナ６によって上記第
１のミラ−３と直交するＹ方向に揺動駆動されるように
なっている。The conventional laser marking apparatus disclosed in the above publication will be described with reference to FIG. In the figure, 1 is a laser oscillator. The laser light L output from the laser oscillator 1 is focused by the condenser lens 2 and sequentially reflected by the first mirror-3 and the second mirror-4. The first mirror-3 is swingably driven by a first galvanometer scanner 5 in a predetermined direction (this direction is referred to as an X direction), and the second mirror-4 is driven by a second galvanometer scanner 6 by the second galvanometer scanner 6. It is designed to be swingably driven in the Y direction orthogonal to the first mirror-3.
【０００４】上記第２のミラ−４から出射したレ−ザ光
Ｌはリレ−レンズ８を経てマスク９に入射し、このマス
ク９をラスタスキャンする。したがって、マスク９から
出射したレ−ザ光Ｌを結像レンズ１１で被加工物１２上
に結像すれば、この被加工物１２にマスク９の像をマ−
キングすることができる。The laser light L emitted from the second mirror 4 enters the mask 9 through the relay lens 8 and raster-scans the mask 9. Therefore, if the laser light L emitted from the mask 9 is imaged on the workpiece 12 by the imaging lens 11, the image of the mask 9 is imaged on the workpiece 12.
Can be king.
【０００５】上記マスク９の入射側にリレ−レンズ８を
配置したことで、レ−ザ光Ｌがマスク９上をラスタスキ
ャンする範囲を拡大しても、レ−ザ光Ｌを結像レンズ１
１に入射させることが可能となる。そのため、リレ−レ
ンズ８がない場合に比べてマ−キングエリアを拡大する
ことができる。By arranging the relay lens 8 on the incident side of the mask 9, even if the range in which the laser light L raster-scans the mask 9 is enlarged, the laser light L is focused on the imaging lens 1.
It becomes possible to make it enter 1. Therefore, the marking area can be enlarged as compared with the case where the relay lens 8 is not provided.
【０００６】ところで、上記構成のレ−ザマ−キング装
置においては、第１のミラ−３と第２のミラ−４とで異
なる方向に走査されるレ−ザ光Ｌを、１つのリレ−レン
ズ８によって集束しなければならない。そのため、どち
らか一方の走査方向に対しては上記リレ−レンズ８によ
り集束されるレ−ザ光Ｌが結像レンズ１１上で振れるこ
とになる。By the way, in the laser marking device having the above-mentioned structure, the laser light L scanned by the first mirror 3 and the second mirror 4 in different directions is used as one re-lens lens. Must be focused by 8. Therefore, the laser light L focused by the relay lens 8 sways on the imaging lens 11 in either one of the scanning directions.
【０００７】この状態を図４（ａ）、（ｂ）を参照して
説明する。つまり、２つのミラ−３、４に対して１つの
リレ−レンズ８と１つの結像レンズ１１とを、同時に共
役な関係とすることができないから、従来はどちらか一
方、この場合にはレ−ザ光ＬをＸ方向に走査する、第１
のミラ−３とリレ−レンズ８と結像レンズ１１は共役な
位置関係に設定され、レ−ザ光ＬをＹ方向に走査する、
第２のミラ−４とリレ−レンズ８と結像レンズ１１は共
役な位置関係になっていない。This state will be described with reference to FIGS. 4 (a) and 4 (b). In other words, one relay lens 8 and one imaging lens 11 cannot be made to have a conjugate relationship at the same time with respect to the two mirrors 3 and 4, and thus either one of them is conventionally used. -The light L is scanned in the X direction, the first
The mirror 3, the relay lens 8 and the imaging lens 11 are set in a conjugate positional relationship, and the laser light L is scanned in the Y direction.
The second mirror-4, the relay lens 8 and the imaging lens 11 are not in a conjugate positional relationship.
【０００８】その場合、第１のミラ−３を駆動してレ−
ザ光ＬをＸ方向に走査させたときには、図４（ａ）に示
すように上記結像レンズ１１上におけるレ−ザ光Ｌの位
置が動くことがない。しかしながら、第２のミラ−４を
駆動してレ−ザ光ＬをＹ方向に走査させた場合、このミ
ラ−４、リレ−レンズ８および結像レンズ１１が共役な
位置関係にないため、結像レンズ１１上においてレ−ザ
光Ｌが振られることになる。In this case, the first mirror-3 is driven to drive the laser.
When the laser light L is scanned in the X direction, the position of the laser light L on the imaging lens 11 does not move as shown in FIG. However, when the second mirror -4 is driven to scan the laser light L in the Y direction, the mirror -4, the relay lens 8 and the imaging lens 11 are not in a conjugate positional relationship, so The laser light L is swung on the image lens 11.
【０００９】そのため、上記第２のミラ−４の振り角が
大きくなると、レ−ザ光Ｌが結像レンズ１１から外れて
しまう、いわゆる“けられ”が発生する。けられを防止
するためには、上記第２のミラ−４の振れ角を小さくし
なければならないから、マ−キングエリアを十分に拡大
することができなくなるということがあった。Therefore, when the swing angle of the second mirror-4 becomes large, so-called "vignetting" occurs in which the laser light L deviates from the imaging lens 11. In order to prevent the vignetting, the deflection angle of the second mirror-4 has to be made small, so that the marking area cannot be expanded sufficiently in some cases.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】このように、レ−ザ光
を２つのミラ−によって二方向に走査させる場合、１つ
のリレ−レンズと結像レンズとを、２つのミラ−に対し
てともに共役な関係になるよう、設定できない。そのた
め、どちらか１つのミラ−による走査方向に対しては、
そのミラ−の振れ角を大きくすると、レ−ザ光が結像レ
ンズから外れてしまうから、それによってマ−キングエ
リアが制限を受けるということがあった。As described above, when the laser light is scanned in two directions by the two mirrors, one relay lens and an imaging lens are used for the two mirrors. It cannot be set so that it has a conjugate relationship. Therefore, for the scanning direction by either one of the mirrors,
When the deflection angle of the mirror is increased, the laser light is deviated from the imaging lens, which sometimes limits the marking area.
【００１１】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、レ−ザ光を２つのミラ−
によって二方向に走査させる場合であっても、レ−ザ光
が結像レンズから外れてマ−キングエリアが制限を受け
ることがないようにしたレ−ザマ−キング装置を提供す
ることにある。The present invention has been made in view of the above circumstances. The object of the present invention is to provide a laser beam with two mirrors.
It is an object of the present invention to provide a laser marking device in which the laser light does not deviate from the imaging lens and the marking area is not limited even when scanning is performed in two directions.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明は、レ−ザ発振器と、このレ−ザ発振器から
出力されたレ−ザ光を直交するＸ方向とＹ方向のうちの
一方の方向に走査させる第１のミラ−および他方の方向
に走査させる第２のミラ−と、上記第１のミラ−で走査
されるレ−ザ光を集束する第１のシリンドリカルレンズ
および上記第２のミラ−で走査されるレ−ザ光を集束す
る第２のシリンドリカルレンズと、上記第１のシリンド
リカルレンズと第２のシリンドリカルレンズの出射側に
配置されたマスクと、このマスクを透過したレ−ザ光を
被加工物上に集束する結像レンズとを具備し、上記第１
のシリンドリカルレンズと第２のシリンドリカルレンズ
とは、上記結像レンズと上記第１のミラ−および第２の
ミラ−に対し、それぞれ共役な位置関係になるようそれ
ぞれの焦点距離が設定されいなることを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is directed to a laser oscillator and a laser light output from the laser oscillator. A first mirror for scanning in one direction, a second mirror for scanning in the other direction, a first cylindrical lens for converging the laser light scanned by the first mirror, and the above-mentioned first lens. A second cylindrical lens for focusing laser light scanned by the second mirror, a mask arranged on the emission side of the first cylindrical lens and the second cylindrical lens, and a laser transmitted through this mask. An image forming lens that focuses the light on a workpiece,
The respective focal lengths of the cylindrical lens and the second cylindrical lens are so set as to have a conjugate positional relationship with the imaging lens and the first mirror and the second mirror. Is characterized by.
【００１３】[0013]
【作用】上記構成によれば、第１のミラ−、第１のシリ
ンドリカルレンズおよび結像レンズが共役な位置関係で
あり、第２のミラ−、第２のシリンドリカルレンズおよ
び結像レンズが共役な位置関係であるから、レ−ザ光を
第１のミラ−と第２のミラ−とによって二方向に走査し
ても、結像レンズ上で振れることがない。According to the above construction, the first mirror, the first cylindrical lens and the imaging lens have a conjugate positional relationship, and the second mirror, the second cylindrical lens and the imaging lens have a conjugate relationship. Because of the positional relationship, even if the laser light is scanned in two directions by the first mirror and the second mirror, it does not shake on the imaging lens.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１と図２
（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。図１に示すレ−ザ
マ−キング装置はレ−ザ発振器２１を備えている。この
レ−ザ発振器２１から出力されたレ−ザ光Ｌは集光レン
ズ２２で集束されて第１のミラ−２３に入射する。この
第１のミラ−２３から出射したレ−ザ光Ｌは第２のミラ
−２４に入射する。上記第１のミラ−２３は第１のガル
バノメ−タスキャナ２５によって所定方向（この方向を
Ｘとする。）に揺動駆動され、上記第２のミラ−２４は
第２のガルバノメ−タスキャナ２６によって上記Ｘ方向
と直交するＹ方向に揺動駆動されるようになっている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
This will be described with reference to (a) and (b). The laser marking device shown in FIG. 1 includes a laser oscillator 21. The laser light L output from the laser oscillator 21 is focused by the condenser lens 22 and is incident on the first mirror 23. The laser light L emitted from the first mirror 23 enters the second mirror 24. The first mirror 23 is oscillated by a first galvanometer scanner 25 in a predetermined direction (this direction is X), and the second mirror 24 is driven by a second galvanometer scanner 26. It is designed to be swingably driven in the Y direction orthogonal to the X direction.
【００１５】上記第２のミラ−２４から出射したレ−ザ
光Ｌは第１のシリンドリカルレンズ２７と第２のシリン
ドリカルレンズ２８とを通過してマスク２９に入射す
る。上記第１のシリンドリカルレンズ２７は、Ｘ方向に
揺動するレ−ザ光Ｌを集束するよう、その曲面が位置決
め配置され、上記第２のシリンドリカルレンズ２８は、
Ｙ方向に揺動するレ−ザ光Ｌを集束するよう、その曲面
が位置決め配置されている。The laser light L emitted from the second mirror 24 passes through the first cylindrical lens 27 and the second cylindrical lens 28 and is incident on the mask 29. The curved surface of the first cylindrical lens 27 is positioned and arranged so as to focus the laser light L oscillating in the X direction, and the second cylindrical lens 28 is
The curved surface is positioned and arranged so as to focus the laser light L swinging in the Y direction.
【００１６】上記マスク２９から出射したレ−ザ光Ｌは
結像レンズ３１で集束され、その焦点位置に配置された
被加工物３２を照射する。上記第１のシリンドリカルレ
ンズ２７の焦点距離ｆ1 と、上記第２のシリンドリカル
レンズ２８の焦点距離ｆ2 は下記のごとく設定されてい
る。すなわち、図２（ａ）に示すように第１のミラ−２
３と第２のミラ−２４との間隔をＡ、第２のミラ−２４
と第１のシリンドリカルレンズ２７との間隔をＢ、第１
のシリンドリカルレンズ２７と第２のシリンドリカルレ
ンズ２８との間隔をＣ、第２のシリンドリカルレンズ２
８と結像レンズ３１との間隔をＤとすると、The laser light L emitted from the mask 29 is focused by the image forming lens 31 and irradiates the work 32 placed at the focal position thereof. The focal length f 1 of the first cylindrical lens 27, the focal length f 2 of the second cylindrical lens 28 is set as described below. That is, as shown in FIG. 2A, the first mirror-2
The distance between the third mirror 24 and the third mirror A is A, and the second mirror 24 is
The distance between the first cylindrical lens 27 and the
The distance between the cylindrical lens 27 and the second cylindrical lens 28 is C, and the second cylindrical lens 2 is
If the distance between 8 and the imaging lens 31 is D,
【００１７】[0017]
【数１】 に設定されている。つまり、第１のシリンドリカルレン
ズ２７と第１のミラ−２３と結像レンズ３１とは共役な
位置関係に設定され、第２のシリンドリカルレンズ２８
と第２のミラ−２４と結像レンズ３１とは共役な位置関
係に設定されている。[Equation 1] Is set to. That is, the first cylindrical lens 27, the first mirror 23, and the imaging lens 31 are set in a conjugate positional relationship, and the second cylindrical lens 28.
The second mirror 24 and the imaging lens 31 are set in a conjugate positional relationship.
【００１８】このように、レ−ザ光ＬをＸ方向に走査す
る光学系である、第１のシリンドリカルレンズ２７と第
１のミラ−２３と結像レンズ３１とを共役な位置関係に
設定し、またレ−ザ光ＬをＹ方向に走査する光学系であ
る、第２のシリンドリカルレンズ２８と第２のミラ−２
４と結像レンズ３１とを共役な位置関係に設定したこと
により、レ−ザ光ＬをＸ、Ｙのどちらの方向に走査して
も、結像レンズ３１上で振れることがなくなる。As described above, the first cylindrical lens 27, the first mirror 23 and the imaging lens 31, which are optical systems for scanning the laser light L in the X direction, are set in a conjugate positional relationship. Also, a second cylindrical lens 28 and a second mirror-2, which are an optical system for scanning the laser light L in the Y direction.
By setting 4 and the imaging lens 31 in a conjugate positional relationship, the laser light L does not shake on the imaging lens 31 even when the laser light L is scanned in either X or Y direction.
【００１９】この状態を図２（ａ）、（ｂ）に示す。図
２（ａ）は第１のミラ−２３を駆動してレ−ザ光ＬをＸ
方向に揺動させた場合であり、図２（ｂ）は第２のミラ
−２４を駆動してレ−ザ光ＬをＹ方向に揺動させた場合
である。レ−ザ光ＬをＸ方向に走査する光学系と、Ｙ方
向に走査する光学系とがそれぞれ共役の位置関係に設定
されているので、いずれの揺動方向においても、レ−ザ
光Ｌが結像レンズ３１上で振れることなく、この結像レ
ンズ３１で集束されて被加工物３２をマ−キングする。This state is shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b). In FIG. 2A, the first mirror 23 is driven to drive the laser light L to the X-axis.
2B shows the case where the second mirror 24 is driven and the laser light L is swung in the Y direction. Since the optical system that scans the laser light L in the X direction and the optical system that scans the laser light L in the Y direction are set in a conjugate positional relationship, the laser light L can be detected in any swing direction. The object 32 to be focused is marked by the image forming lens 31 without swinging on the image forming lens 31 to mark the workpiece 32.
【００２０】レ−ザ光Ｌが結像レンズ３１上で振れなけ
れば、第１のミラ−２３と第２のミラ−２４との振り角
を大きくしても、そのレ−ザ光Ｌが結像レンズ３１から
外れる、いわゆる“けられ”が生じることがない。その
ため、その“けられ”により、マ−キングエリアが制限
を受けるということがなくなる。つまり、マ−キングエ
リアを拡大することができる。If the laser light L does not shake on the imaging lens 31, the laser light L will be connected even if the swing angle between the first mirror 23 and the second mirror 24 is increased. There is no occurrence of so-called "vignetting" that occurs when the image lens 31 comes off. Therefore, the marking area does not limit the marking area. That is, the marking area can be expanded.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上述べたようにこの発明は、レ−ザ光
をＸ方向とＹ方向とに走査してマ−キング行う装置にお
いて、上記レ−ザ光をＸ方向に走査させる光学系であ
る、第１のシリンドリカルレンズと第１のミラ−と結像
レンズとを共役な位置関係に設定し、またレ−ザ光をＹ
方向に走査する光学系である、第２のシリンドリカルレ
ンズと第２のミラ−と結像レンズとを共役な位置関係に
設定した。As described above, the present invention is an optical system for scanning the laser light in the X direction in an apparatus for marking the laser light in the X and Y directions. The first cylindrical lens, the first mirror, and the imaging lens are set in a conjugate positional relationship, and the laser light is set to Y.
The second cylindrical lens, the second mirror, and the imaging lens, which are optical systems for scanning in the direction, are set in a conjugate positional relationship.
【００２２】そのため、レ−ザ光ＬをＸ、Ｙのどちらの
方向に走査しても、結像レンズ上で振れ、その結像レン
ズから外れるということがなくなるから、その分、上記
第１のミラ−と第２のミラ−との振れ角を大きくし、マ
−キングエリアを拡大することができる。Therefore, even if the laser light L is scanned in either the X or Y direction, the laser light L will not be shaken on the imaging lens and will not deviate from the imaging lens. The deflection angle between the mirror and the second mirror can be increased to enlarge the marking area.
【図１】この発明の一実施例を示すレ−ザマ−キング装
置の全体構成図。FIG. 1 is an overall configuration diagram of a laser marking device showing an embodiment of the present invention.
【図２】（ａ）は同じくレ−ザ光をＸ方向に走査させる
場合の光学系の説明図、（ｂ）は図２（ａ）のＸ−Ｘ方
向から見たレ−ザ光をＹ方向に走査させる場合の光学系
の説明図。2A is an explanatory view of an optical system in the case of scanning laser light in the X direction in the same manner, and FIG. 2B is a diagram illustrating the laser light viewed from the XX direction in FIG. Explanatory drawing of the optical system at the time of making it scan in a direction.
【図３】従来のレ−ザマ−キング装置の構成図。FIG. 3 is a block diagram of a conventional laser marking device.
【図４】（ａ）は同じくレ−ザ光をＸ方向に走査させる
場合の光学系の説明図、（ｂ）は図４（ａ）のＸ−Ｘ方
向から見たレ−ザ光をＹ方向に走査させる場合の光学系
の説明図。4A is an explanatory view of an optical system in the case of scanning laser light in the X direction in the same manner, and FIG. 4B is a diagram showing the laser light in the Y-axis direction seen from the XX direction in FIG. Explanatory drawing of the optical system at the time of making it scan in a direction.
２１…レ−ザ発振器、２３…第１のミラ−、２４…第２
のミラ−、２７…第１のシリンドリカルレンズ、２８…
第２のシリンドリカルレンズ、２９…マスク、３１…結
像レンズ、３２…被加工物。21 ... Laser oscillator, 23 ... First mirror, 24 ... Second
Mira, 27 ... 1st cylindrical lens, 28 ...
Second cylindrical lens, 29 ... Mask, 31 ... Imaging lens, 32 ... Work piece.
Claims (1)
出力されたレ−ザ光を直交するＸ方向とＹ方向のうちの
一方の方向に走査させる第１のミラ−および他方の方向
に走査させる第２のミラ−と、上記第１のミラ−で走査
されるレ−ザ光を集束する第１のシリンドリカルレンズ
および上記第２のミラ−で走査されるレ−ザ光を集束す
る第２のシリンドリカルレンズと、上記第１のシリンド
リカルレンズと第２のシリンドリカルレンズの出射側に
配置されたマスクと、このマスクを透過したレ−ザ光を
被加工物上に集束する結像レンズとを具備し、上記第１
のシリンドリカルレンズと第２のシリンドリカルレンズ
とは、上記結像レンズと上記第１のミラ−および第２の
ミラ−に対し、それぞれ共役な位置関係になるようそれ
ぞれの焦点距離が設定されてなることを特徴とするレ−
ザマ−キング装置。1. A laser oscillator, a first mirror for scanning laser light output from the laser oscillator in one of the X-direction and the Y-direction, and the other direction for scanning the laser light. A second mirror for scanning the laser beam, a first cylindrical lens for focusing the laser beam scanned by the first mirror, and a laser beam for scanning the second mirror. A second cylindrical lens, a mask arranged on the emission side of the first cylindrical lens and the second cylindrical lens, and an imaging lens that focuses the laser light transmitted through the mask onto the workpiece. And the first
The cylindrical lens and the second cylindrical lens have respective focal lengths set so as to have a conjugate positional relationship with the imaging lens and the first mirror and the second mirror. Characterized by
The marking device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5211407A JPH0760462A (en) | 1993-08-26 | 1993-08-26 | Laser marking device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5211407A JPH0760462A (en) | 1993-08-26 | 1993-08-26 | Laser marking device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0760462A true JPH0760462A (en) | 1995-03-07 |
Family
ID=16605451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5211407A Pending JPH0760462A (en) | 1993-08-26 | 1993-08-26 | Laser marking device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760462A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8455790B2 (en) | 2005-12-16 | 2013-06-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and manufacturing method of semiconductor device |
| CN106862757A (en) * | 2017-03-20 | 2017-06-20 | 广东省焊接技术研究所（广东省中乌研究院） | A kind of double laser beam complex welding method |
-
1993
- 1993-08-26 JP JP5211407A patent/JPH0760462A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8455790B2 (en) | 2005-12-16 | 2013-06-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and manufacturing method of semiconductor device |
| KR101371265B1 (en) * | 2005-12-16 | 2014-03-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method and manufacturing method of semiconductor device |
| CN106862757A (en) * | 2017-03-20 | 2017-06-20 | 广东省焊接技术研究所（广东省中乌研究院） | A kind of double laser beam complex welding method |
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