JP2003287692A - Light beam scanner - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光線束走査装置に
関し、特に光線束を2次元方向に走査することができる
走査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light beam scanning device, and more particularly to a scanning device capable of scanning a light beam in a two-dimensional direction.
【0002】[0002]
【従来の技術】一対のガルバノミラーを使用して、レー
ザビームを2次元方向に走査することができる。2. Description of the Related Art A pair of galvanometer mirrors can be used to scan a laser beam in a two-dimensional direction.
【0003】図3(A)に示すように、1段目のガルバ
ノミラー100がレーザビームを1次元方向(紙面に平
行な方向)に走査し、走査されたレーザビームが2段目
のガルバノミラー101に入射する。2段目のガルバノ
ミラー101が、1段目のガルバノミラー100の走査
方向と直交する方向(紙面に垂直な方向)にレーザビー
ムを走査することにより、レーザビームが2次元方向に
走査される。As shown in FIG. 3A, the first-stage galvanometer mirror 100 scans a laser beam in a one-dimensional direction (a direction parallel to the plane of the drawing), and the scanned laser beam is the second-stage galvanometer mirror. It is incident on 101. The second-stage galvanometer mirror 101 scans the laser beam in a direction orthogonal to the scanning direction of the first-stage galvanometer mirror 100 (direction perpendicular to the paper surface), so that the laser beam is scanned in the two-dimensional direction.
【0004】2段目のガルバノミラー101には、既に
走査されたレーザビームが入射する。このため、2段目
のガルバノミラー101を1段目のガルバノミラー10
0から遠ざけると、2段目のガルバノミラー101を大
きくしなければならない。ガルバノミラーが大きくなる
と、ミラーの応答性が悪くなり、走査速度が低下してし
まう。また、2段目のガルバノミラー101の後段にレ
ンズを配置する場合には、レンズを大きくしなければな
らなくなる。The already scanned laser beam is incident on the second stage galvanometer mirror 101. Therefore, the galvano mirror 101 in the second stage is replaced with the galvano mirror 10 in the first stage.
If it is moved away from 0, the galvano mirror 101 of the second stage must be made larger. When the galvanometer mirror becomes large, the mirror response deteriorates and the scanning speed decreases. Further, when the lens is arranged in the rear stage of the second-stage galvanometer mirror 101, the lens needs to be enlarged.
【0005】図3(B)に示すように、2段目のガルバ
ノミラー101を1段目のガルバノミラー100に近づ
けると、ガルバノミラーを小さくすることができる。と
ころが、ミラー間の干渉が生じやすくなり、2段目のガ
ルバノミラー101で反射したレーザビームが1段目の
ガルバノミラー100で遮られてしまう場合が生ずる。
このため、レーザビームの走査範囲を広くすることが困
難である。As shown in FIG. 3B, if the galvano mirror 101 in the second stage is brought closer to the galvano mirror 100 in the first stage, the galvano mirror can be made smaller. However, interference between mirrors is likely to occur, and the laser beam reflected by the galvano mirror 101 in the second stage may be blocked by the galvano mirror 100 in the first stage.
Therefore, it is difficult to widen the scanning range of the laser beam.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、走査
速度の低下を招くことなく、かつ走査範囲を広く維持す
ることが可能な光線束走査装置を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a light beam scanning device capable of maintaining a wide scanning range without causing a reduction in scanning speed.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の一観点による
と、光線束を出射する光源と、前記光源から出射した光
線束を第1の方向に走査する第1の走査光学装置と、前
記第1の走査光学装置で進行方向を振られた光線束を伝
搬させるリレー光学系と、前記リレー光学系を伝搬した
光線束が入射し、入射した光線束を偏向させ、偏向角を
変化させることによって、前記第1の方向と交差する第
2の方向に走査する第2の走査光学装置とを有し、前記
第1の走査光学系で光線束を走査したときに、前記第2
の走査光学装置内で光線束が偏向される位置が移動しな
いか、または偏向される位置の軌跡の長さが、前記リレ
ー光学系が配置されていないときのそれよりも短くなる
ように、前記リレー光学系が光線束を伝搬させる光線束
走査装置が提供される。According to one aspect of the present invention, a light source for emitting a light beam bundle, a first scanning optical device for scanning the light beam bundle emitted from the light source in a first direction, and the first scanning optical device A relay optical system for propagating a ray bundle whose traveling direction is swung by the first scanning optical device and a ray bundle propagating through the relay optical system are incident, the incident ray bundle is deflected, and the deflection angle is changed. , A second scanning optical device that scans in a second direction intersecting the first direction, and when the light beam bundle is scanned by the first scanning optical system, the second scanning optical device
In the scanning optical device, the position where the light beam is deflected does not move, or the length of the trajectory of the deflected position is shorter than that when the relay optical system is not arranged. A ray bundle scanning device is provided in which a relay optical system propagates a ray bundle.
【0008】第2の走査光学装置内での偏向点が移動し
ないか、またはその軌跡が短いため、リレー光学系を配
置しない場合に比べて、第2の走査光学装置を小さくす
ることができる。Since the deflection point in the second scanning optical device does not move or its locus is short, the second scanning optical device can be made smaller than in the case where the relay optical system is not arranged.
【0009】本発明の他の観点によると、入射する光線
束を反射し、揺動することによって反射光線束を第1の
方向に走査する第1の揺動反射鏡と、前記第1の揺動反
射鏡で走査された光線束を伝搬させるリレー光学系と、
前記リレー光学系を伝搬した光線束が入射し、揺動する
ことによって反射光線束を、前記第1の方向と交差する
第2の方向に走査する第2の揺動反射鏡とを有し、前記
リレー光学系は、前記第1の揺動反射鏡の揺動中心軸上
の第1の点を、前記第2の揺動反射鏡の揺動中心軸上の
第2の点に結像させる光線束走査装置が提供される。According to another aspect of the present invention, there is provided a first oscillating reflecting mirror for reflecting and oscillating an incident ray bundle to scan the reflected ray bundle in a first direction, and the first oscillating reflector. A relay optical system for propagating the light beam scanned by the dynamic reflecting mirror,
A second oscillating reflecting mirror that scans the reflected light ray bundle in a second direction intersecting the first direction by entering and oscillating the light ray bundle propagating through the relay optical system; The relay optical system forms an image of a first point on the swing center axis of the first swing reflecting mirror at a second point on the swing center axis of the second swing reflecting mirror. A beam scanning device is provided.
【0010】第1の揺動反射鏡の第1の点に光線束を入
射させると、第1の揺動反射鏡を揺動させても、第2の
揺動反射鏡への光線束の入射点が移動しない。このた
め、第2の揺動反射鏡を小さくすることができる。When the ray bundle is made incident on the first point of the first swing reflecting mirror, the ray bundle is made incident on the second swing reflecting mirror even if the first swing reflecting mirror is made to swing. The points do not move. Therefore, the size of the second swing reflecting mirror can be reduced.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】図1に、本発明の実施例による光
線束走査装置の概略図を示す。レーザ光源1がレーザビ
ームを出射する。レーザ光源1として、例えば炭酸ガス
レーザ、YAGレーザ、YLFレーザ、エキシマレーザ
等を用いることができる。レーザ光源1から出射したレ
ーザビームが、コリメートレンズ2でコリメート(平行
化)される。1 is a schematic view of a light beam scanning device according to an embodiment of the present invention. The laser light source 1 emits a laser beam. As the laser light source 1, for example, a carbon dioxide gas laser, a YAG laser, a YLF laser, an excimer laser, or the like can be used. The laser beam emitted from the laser light source 1 is collimated (collimated) by the collimator lens 2.
【0012】コリメートされたレーザビームが、折り返
しミラー3で反射し、1段目のX用ガルバノミラー(揺
動反射鏡)4に入射する。X用ガルバノミラー4は、入
射するレーザビームを紙面に平行な方向に走査する。X
用ガルバノミラー4で走査されたレーザビームが、リレ
ー光学系5に入射する。The collimated laser beam is reflected by the folding mirror 3 and is incident on the first-stage X galvanometer mirror (oscillating reflecting mirror) 4. The X galvanometer mirror 4 scans the incident laser beam in a direction parallel to the paper surface. X
The laser beam scanned by the galvanometer mirror 4 enters the relay optical system 5.
【0013】リレー光学系5は、入射したレーザビーム
を伝搬させ、2段目のY用ガルバノミラー6に入射させ
る。Y用ガルバノミラー6は、入射するレーザビームを
紙面に垂直な方向に走査する。Y用ガルバノミラー6で
走査されたレーザビームが、fθレンズ7により収束さ
れ、XYステージ8に保持された加工対象物10に入射
する。fθレンズ7は、加工対象物10の表面において
ビームスポットサイズを最小にする。The relay optical system 5 propagates the incident laser beam and makes it enter the second Y galvanometer mirror 6. The Y galvanometer mirror 6 scans the incident laser beam in a direction perpendicular to the paper surface. The laser beam scanned by the Y galvanometer mirror 6 is converged by the fθ lens 7 and is incident on the processing object 10 held by the XY stage 8. The fθ lens 7 minimizes the beam spot size on the surface of the processing object 10.
【0014】加工対象物10の表面上に、紙面に平行な
方向(横方向)をX軸とし、紙面に垂直な方向をY軸と
し、加工対象物10の表面の法線方向をZ軸とするXY
Z直交座標系を考える。X用ガルバノミラー4を揺動さ
せると、レーザビームの入射点がX軸方向に移動し、Y
用ガルバノミラー6を揺動させると、レーザビームの入
射点がY軸方向に移動する。このように、X用ガルバノ
ミラー4及びY用ガルバノミラー6により、レーザビー
ムを2次元方向に走査することができる。On the surface of the object 10 to be processed, the direction parallel to the paper surface (horizontal direction) is the X axis, the direction perpendicular to the paper surface is the Y axis, and the direction normal to the surface of the object 10 is the Z axis. XY to do
Consider a Z Cartesian coordinate system. When the X galvanometer mirror 4 is swung, the incident point of the laser beam moves in the X axis direction, and Y
When the galvanometer mirror 6 is swung, the incident point of the laser beam moves in the Y-axis direction. In this way, the laser beam can be scanned in the two-dimensional direction by the X galvano mirror 4 and the Y galvano mirror 6.
【0015】X用ガルバノミラー4は、その揺動中心軸
がレーザ光源1から出射したレーザビームの入射点を通
過するように配置されている。このため、X用ガルバノ
ミラー4が揺動しても、レーザビームの入射点は、X用
ガルバノミラー4の反射面上を移動しない。The X galvanometer mirror 4 is arranged so that its swing center axis passes through the incident point of the laser beam emitted from the laser light source 1. Therefore, even if the X galvanometer mirror 4 swings, the incident point of the laser beam does not move on the reflecting surface of the X galvanometer mirror 4.
【0016】リレー光学系5は複数の凸レンズを含んで
構成され、X用ガルバノミラー4へのレーザビームの入
射点を、Y用ガルバノミラー6の反射面上に結像させ
る。Y用ガルバノミラー6は、その揺動中心軸がこの結
像点を通過するように配置されている。このため、Y用
ガルバノミラー6が揺動しても、X用ガルバノミラー4
へのレーザビームの入射点が、常にY用ガルバノミラー
6の反射面上に結像する。The relay optical system 5 includes a plurality of convex lenses, and forms an image of the incident point of the laser beam on the X galvano mirror 4 on the reflecting surface of the Y galvano mirror 6. The Y galvanometer mirror 6 is arranged so that its swing center axis passes through this image formation point. Therefore, even if the Y galvanometer mirror 6 swings, the X galvanometer mirror 4
The incident point of the laser beam on the image is always imaged on the reflecting surface of the Y galvanometer mirror 6.
【0017】X用ガルバノミラー4を揺動させ、レーザ
ビームを走査しても、Y用ガルバノミラー6へのレーザ
ビームの入射点は移動しない。このとき、Y用ガルバノ
ミラー6の反射面とZX平面との交線と、レーザビーム
とのなす角度だけが変動する。この角度が変動するた
め、Y用ガルバノミラー6で反射したレーザビームは、
X軸方向に振られる。また、Y用ガルバノミラー6を揺
動させることにより、レーザビームがY軸方向に振られ
る。このようにして、Y用ガルバノミラー6の反射面上
の結像点で反射したレーザビームが、X軸方向及びY軸
方向に走査される。Even if the X galvanometer mirror 4 is swung to scan the laser beam, the incident point of the laser beam on the Y galvanometer mirror 6 does not move. At this time, only the angle between the laser beam and the line of intersection between the reflecting surface of the Y galvanometer mirror 6 and the ZX plane changes. Since this angle changes, the laser beam reflected by the Y galvanometer mirror 6 is
It is shaken in the X-axis direction. Further, by swinging the Y galvanometer mirror 6, the laser beam is swung in the Y-axis direction. In this way, the laser beam reflected at the image forming point on the reflecting surface of the Y galvanometer mirror 6 is scanned in the X axis direction and the Y axis direction.
【0018】fθレンズ7は、その一方の焦点がY用ガ
ルバノミラー6の反射面上の結像点に一致するように配
置されている。このため、レーザビームが2次元方向に
走査された場合、理想的な状態でレーザビームを加工対
象物10の表面上に収束させることができる。The fθ lens 7 is arranged such that one focus thereof coincides with the image forming point on the reflecting surface of the Y galvanometer mirror 6. Therefore, when the laser beam is scanned in the two-dimensional direction, the laser beam can be converged on the surface of the processing object 10 in an ideal state.
【0019】上記実施例では、リレー光学系5が、X用
ガルバノミラー4へのレーザビームの入射点を、Y用ガ
ルバノミラー6の反射面上に結像させたが、必ずしも、
結像点が厳密に反射面上に位置する必要はない。In the above embodiment, the relay optical system 5 images the incident point of the laser beam on the X galvano mirror 4 on the reflecting surface of the Y galvano mirror 6, but it is not always necessary.
The image formation point does not have to be located exactly on the reflecting surface.
【0020】リレー光学系5を配置しない場合には、X
用ガルバノミラー4を揺動させると、Y用ガルバノミラ
ー6へのレーザビームの入射点が、その反射面上を移動
する。このため、レーザビームの入射点が反射面から外
れないように、Y用ガルバノミラー6を大きくする必要
がある。結像点が、Y用ガルバノミラー6の反射面の手
前または奥側に位置する場合であっても、反射面からの
ずれが少ない場合には、Y用ガルバノミラー6へのレー
ザビームの入射点の移動距離は十分短い。If the relay optical system 5 is not arranged, X
When the Y galvanometer mirror 4 is swung, the incident point of the laser beam on the Y galvanometer mirror 6 moves on the reflecting surface thereof. Therefore, it is necessary to make the Y galvanometer mirror 6 large so that the incident point of the laser beam does not deviate from the reflecting surface. Even when the image forming point is located in front of or behind the reflecting surface of the Y galvano mirror 6, if the deviation from the reflecting surface is small, the incident point of the laser beam on the Y galvano mirror 6 is small. The distance traveled by is sufficiently short.
【0021】リレー光学系5を、Y用ガルバノミラー6
への入射点の移動距離が、リレー光学系5を配置しない
ときのそれよりも短くなるような光学系としてもよい。
この場合、リレー光学系5を配置しない場合に比べて、
Y用ガルバノミラー6を小さくすることができる。The relay optical system 5 is connected to the Y galvano mirror 6
The optical system may be configured such that the moving distance of the incident point on is shorter than that when the relay optical system 5 is not arranged.
In this case, compared to the case where the relay optical system 5 is not arranged,
The Y galvanometer mirror 6 can be made smaller.
【0022】図2に、上記実施例による光線束走査装置
を用いたミシン目加工装置の概略斜視図を示す。ミシン
目加工される長尺の紙20が、X軸方向に定速で送られ
る。レーザ光源1、フィールドレンズ2、X用ガルバノ
ミラー4、リレー光学系5、Y用ガルバノミラー6、f
θレンズ7により、図1に示した上記実施例と同様の光
線束走査装置が構成されている。FIG. 2 is a schematic perspective view of a perforation processing apparatus using the light beam scanning apparatus according to the above embodiment. Perforated long paper 20 is fed at a constant speed in the X-axis direction. Laser light source 1, field lens 2, X galvano mirror 4, relay optical system 5, Y galvano mirror 6, f
The θ lens 7 constitutes a light beam scanning device similar to that of the embodiment shown in FIG.
【0023】fθレンズ7で収束されたレーザビーム
が、紙20に入射し、孔を形成する。レーザ光源1から
パルスレーザビームを出射しながらレーザビームを走査
することにより、紙20にミシン目を形成することがで
きる。The laser beam focused by the fθ lens 7 enters the paper 20 and forms a hole. Perforations can be formed on the paper 20 by scanning the laser beam while emitting the pulsed laser beam from the laser light source 1.
【0024】X用ガルバノミラー4を揺動させると、紙
20へのレーザビームの入射位置が、紙20の送り方向
であるX軸方向に移動する。Y用ガルバノミラー6を揺
動させると、紙20へのレーザビームの入射位置が、紙
20の幅方向(Y軸方向)の一端から他端に移動する。When the X galvanometer mirror 4 is swung, the incident position of the laser beam on the paper 20 moves in the X-axis direction which is the feeding direction of the paper 20. When the Y galvanometer mirror 6 is swung, the incident position of the laser beam on the paper 20 moves from one end to the other end in the width direction (Y-axis direction) of the paper 20.
【0025】紙20がX軸方向に定速で送られているた
め、レーザビームをY軸と平行な方向に走査すると、ミ
シン目の延在する方向が紙20の幅方向から傾いてしま
う。X用ガルバノミラー4を揺動させてレーザビームを
紙20の送り速度と同じ速度でX軸方向にも走査するこ
とにより、ミシン目の延在する方向を紙20の幅方向と
平行にすることができる。Since the paper 20 is fed at a constant speed in the X-axis direction, when the laser beam is scanned in the direction parallel to the Y-axis, the direction in which the perforations extend extends from the width direction of the paper 20. The direction in which the perforations extend is made parallel to the width direction of the paper 20 by oscillating the X galvanometer mirror 4 and scanning the laser beam also in the X-axis direction at the same speed as the feeding speed of the paper 20. You can
【0026】幅の広い紙にミシン目を形成する場合に
は、Y用ガルバノミラー6によるレーザビームの振り角
を大きくしなければならない。Y用ガルバノミラー6が
X用ガルバノミラー4に近接して配置されている場合に
は、Y用ガルバノミラー6の振り角を大きくすると、走
査されたレーザビームがX用ガルバノミラー4で遮られ
てしまう。上記実施例による光線束走査装置において
は、Y用ガルバノミラー6をX用ガルバノミラー4から
遠ざけることができるため、走査されたレーザビームが
X用ガルバノミラー4で遮られることなく、Y用ガルバ
ノミラー6の振り角を大きくすることができる。When forming perforations on a wide paper, the swing angle of the laser beam by the Y galvanometer mirror 6 must be increased. When the Y galvanometer mirror 6 is arranged close to the X galvanometer mirror 4, if the swing angle of the Y galvanometer mirror 6 is increased, the scanned laser beam is blocked by the X galvanometer mirror 4. I will end up. In the beam bundle scanning apparatus according to the above-described embodiment, the Y galvano mirror 6 can be moved away from the X galvano mirror 4, so that the scanned laser beam is not blocked by the X galvano mirror 4 and the Y galvano mirror 4 is not blocked. The swing angle of 6 can be increased.
【0027】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。The present invention has been described above with reference to the embodiments.
The present invention is not limited to these. For example, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications, improvements, combinations, and the like can be made.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
一対の揺動反射鏡の間にリレー光学系を配置することに
より、後段の揺動反射鏡を大きくすることなく、レーザ
ビームの振り角を大きくすることができる。As described above, according to the present invention,
By disposing the relay optical system between the pair of swing reflecting mirrors, the swing angle of the laser beam can be increased without increasing the size of the swing reflecting mirror in the subsequent stage.
【図1】 本発明の実施例による光線束走査装置の概略
図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a light beam scanning device according to an embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の実施例による光線束走査装置を用い
たミシン目加工装置の概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of a perforation processing apparatus using the light beam scanning device according to the embodiment of the present invention.
【図3】 従来の一対のガルバノミラーの配置を示す概
略図である。FIG. 3 is a schematic view showing an arrangement of a pair of conventional galvanometer mirrors.
1 レーザ光源 2 コリメーションレンズ 3 折り返しミラー 4 X用ガルバノミラー 5 リレー光学系 6 Y用ガルバノミラー 7 fθレンズ 8 XYステージ 10 加工対象物 20 紙 1 laser light source 2 Collimation lens 3 folding mirror Galvano mirror for 4X 5 Relay optical system 6 Y galvo mirror 7 fθ lens 8 XY stage 10 Object to be processed 20 paper
Claims (7)
1の走査光学装置と、 前記第1の走査光学装置で進行方向を振られた光線束を
伝搬させるリレー光学系と、 前記リレー光学系を伝搬した光線束が入射し、入射した
光線束を偏向させ、偏向角を変化させることによって、
前記第1の方向と交差する第2の方向に走査する第2の
走査光学装置とを有し、前記第1の走査光学系で光線束
を走査したときに、前記第2の走査光学系内で光線束が
偏向される位置が移動しないか、または偏向される位置
の軌跡の長さが、前記リレー光学系が配置されていない
ときのそれよりも短くなるように、前記リレー光学系が
光線束を伝搬させる光線束走査装置。1. A light source for emitting a bundle of rays, a first scanning optical device for scanning the bundle of rays emitted from the light source in a first direction, and a traveling direction of the first scanning optical device. A relay optical system for propagating a ray bundle, a ray bundle propagated through the relay optical system is incident, the incident ray bundle is deflected, and the deflection angle is changed,
A second scanning optical device that scans in a second direction intersecting with the first direction, and when the light beam is scanned by the first scanning optical system, the inside of the second scanning optical system The relay optical system is configured so that the position where the ray bundle is deflected does not move or the length of the trajectory of the deflected position is shorter than that when the relay optical system is not arranged. A beam bundle scanning device for propagating a bundle.
光学装置の各々が、揺動する反射鏡を含み、該反射鏡で
光線束を反射し、揺動することによって、反射した光線
束の進行方向を振る請求項1に記載の光線束走査装置。2. The first scanning optical device and the second scanning optical device each include an oscillating reflecting mirror, and the reflecting mirror reflects and oscillates a bundle of light beams, thereby reflecting the reflected light beam. The light beam scanning device according to claim 1, wherein the beam traveling direction is swung.
記光源から出射した光線束の入射する位置が移動しない
ように揺動し、 前記リレー光学系が、前記第1の走査光学装置の反射鏡
への光線束の入射点を、前記第2の走査光学装置の反射
鏡の反射面上に結像させる請求項2に記載の光線束走査
装置。3. A reflecting mirror of the first scanning optical device swings so that a position of incidence of a light beam emitted from the light source does not move, and the relay optical system includes the first scanning optical device. 3. The light beam scanning device according to claim 2, wherein the incident point of the light beam bundle on the reflecting mirror is imaged on the reflecting surface of the reflecting mirror of the second scanning optical device.
中心軸が、前記第1の走査光学装置の反射鏡への光線束
の入射点の像点を通過する請求項3に記載の光線束走査
装置。4. The swing center axis of the reflecting mirror of the second scanning optical device passes through an image point of an incident point of a bundle of rays on the reflecting mirror of the first scanning optical device. Beam bundle scanning device.
された光線束を加工対象物上に収束させるfθレンズで
あって、該fθレンズの焦点が、前記像点に一致するよ
うに配置された前記fθレンズを有する請求項4に記載
の光線束走査装置。5. An fθ lens for converging a light flux scanned by the second scanning optical device onto a processing object, wherein the fθ lens is arranged so that its focal point coincides with the image point. 5. The beam bundle scanning device according to claim 4, wherein the f [theta] lens is formed.
によって反射光線束を第1の方向に走査する第1の揺動
反射鏡と、 前記第1の揺動反射鏡で走査された光線束を伝搬させる
リレー光学系と、 前記リレー光学系を伝搬した光線束が入射し、揺動する
ことによって反射光線束を、前記第1の方向と交差する
第2の方向に走査する第2の揺動反射鏡とを有し、前記
リレー光学系は、前記第1の揺動反射鏡の揺動中心軸上
の第1の点を、前記第2の揺動反射鏡の揺動中心軸上の
第2の点に結像させる光線束走査装置。6. A first oscillating reflecting mirror that scans a reflected ray bundle in a first direction by reflecting and oscillating an incident ray bundle, and scanning by the first oscillating reflecting mirror. A relay optical system for propagating the light beam bundle, and a second light beam propagating through the relay optical system for scanning a reflected light beam bundle in a second direction intersecting the first direction by being incident and swinging. And a relay optical system in which the first point on the swing center axis of the first swing reflector is set to the swing center axis of the second swing reflector. A light beam scanning device for forming an image on the second point above.
れた光線束を加工対象物上に収束させるfθレンズであ
って、該fθレンズの焦点が、前記第2の点に一致する
ように配置された前記fθレンズを有する請求項6に記
載の光線束走査装置。7. An fθ lens for converging a light flux scanned by the second oscillating reflecting mirror onto a processing object, the focus of the fθ lens being coincident with the second point. 7. The light beam scanning device according to claim 6, wherein the fθ lens is arranged as described above.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002091457A JP2003287692A (en) | 2002-03-28 | 2002-03-28 | Light beam scanner |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002091457A JP2003287692A (en) | 2002-03-28 | 2002-03-28 | Light beam scanner |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003287692A true JP2003287692A (en) | 2003-10-10 |
Family
ID=29236536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002091457A Pending JP2003287692A (en) | 2002-03-28 | 2002-03-28 | Light beam scanner |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003287692A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010171233A (en) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Fuji Electric Systems Co Ltd | Laser processing device and processing method of thin-film solar battery |
JP2012022104A (en) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Laser processing apparatus |
-
2002
- 2002-03-28 JP JP2002091457A patent/JP2003287692A/en active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010171233A (en) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Fuji Electric Systems Co Ltd | Laser processing device and processing method of thin-film solar battery |
JP2012022104A (en) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Laser processing apparatus |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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