JPH0760391A - 転造加工用凸型ダイス及び動圧空気軸受 - Google Patents
転造加工用凸型ダイス及び動圧空気軸受Info
- Publication number
- JPH0760391A JPH0760391A JP21603593A JP21603593A JPH0760391A JP H0760391 A JPH0760391 A JP H0760391A JP 21603593 A JP21603593 A JP 21603593A JP 21603593 A JP21603593 A JP 21603593A JP H0760391 A JPH0760391 A JP H0760391A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dynamic pressure
- rolling
- air bearing
- convex
- die
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】動圧空気軸受における動圧発生溝を安価に製作
することができる転造加工用の新規な形状の凸型ダイス
を提供することを目的とする。 【構成】動圧空気軸受の動圧発生溝を形成する転造加工
用の凸型平ダイスの断面を、逆Ｖ字状の山型５Ａ、又は
先端に稜線部分の僅かな平面を有する逆Ｖ字状の山型５
Ｂの形状とし、転造加工の際、ワーク表面に微小面積で
接することになり、加工圧力を非常に小さくすることが
できる。
することができる転造加工用の新規な形状の凸型ダイス
を提供することを目的とする。 【構成】動圧空気軸受の動圧発生溝を形成する転造加工
用の凸型平ダイスの断面を、逆Ｖ字状の山型５Ａ、又は
先端に稜線部分の僅かな平面を有する逆Ｖ字状の山型５
Ｂの形状とし、転造加工の際、ワーク表面に微小面積で
接することになり、加工圧力を非常に小さくすることが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高速ポリゴンスキャナ
ーモータ等の精密高速回転を要求される回転体の空気軸
受の動圧発生溝に対する加工技術に関するものである。
ーモータ等の精密高速回転を要求される回転体の空気軸
受の動圧発生溝に対する加工技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザービームプリンタ、ディジタル複
写機等に搭載されている光走査装置用の高速ポリゴンス
キャナーモータ及び他の高速回転モータの主軸或いはス
ピンドル等を支承するために、動圧空気軸受が採用され
ている。
写機等に搭載されている光走査装置用の高速ポリゴンス
キャナーモータ及び他の高速回転モータの主軸或いはス
ピンドル等を支承するために、動圧空気軸受が採用され
ている。
【０００３】この動圧空気軸受の動圧発生溝を加工する
手段として、フォトリソ・エッチングによる方法や転造
による機械加工による方法が広く知られている。しかし
ながら、前記フォトリソ・エッチングによる方法は、加
工工程が多く、製造コストが高いと言う欠点がある。コ
ストダウンとなる後者の転造加工においても、動圧発生
溝を形成するための凸型ダイスは、ワーク表面に食い込
むために大きな加工圧力を必要とし、このため、転造加
工用装置そのものも構造的に堅牢なものとなり、装置の
コストが高額になり、この結果、製作される動圧空気軸
受も高価なものとなる。
手段として、フォトリソ・エッチングによる方法や転造
による機械加工による方法が広く知られている。しかし
ながら、前記フォトリソ・エッチングによる方法は、加
工工程が多く、製造コストが高いと言う欠点がある。コ
ストダウンとなる後者の転造加工においても、動圧発生
溝を形成するための凸型ダイスは、ワーク表面に食い込
むために大きな加工圧力を必要とし、このため、転造加
工用装置そのものも構造的に堅牢なものとなり、装置の
コストが高額になり、この結果、製作される動圧空気軸
受も高価なものとなる。
【０００４】ここで従来の転造加工により、動圧発生溝
を形成する方法について説明する。図５，図６に示され
る動圧発生溝パターンの製作方法は、従来、マスク形成
後にエッチングを施しており、その凸型平ダイスの形状
は図８に示されるように、断面は矩形の形状をしてい
る。図８は従来の製作方法で作られた動圧発生溝パター
ンの凸型平ダイスの図６の断面Ａ−Ａ’の拡大図面であ
り、図９は図８の凸型平ダイスを使用し、転造加工した
ワークに形成された動圧発生溝を拡大して示したもので
ある。夫々の図面において、５は従来の凸型平ダイスに
形成された矩形のダイスパターン凸部断面であり、６は
同じく従来の凸型平ダイスの形状が転写された矩形の動
圧発生溝断面である。
を形成する方法について説明する。図５，図６に示され
る動圧発生溝パターンの製作方法は、従来、マスク形成
後にエッチングを施しており、その凸型平ダイスの形状
は図８に示されるように、断面は矩形の形状をしてい
る。図８は従来の製作方法で作られた動圧発生溝パター
ンの凸型平ダイスの図６の断面Ａ−Ａ’の拡大図面であ
り、図９は図８の凸型平ダイスを使用し、転造加工した
ワークに形成された動圧発生溝を拡大して示したもので
ある。夫々の図面において、５は従来の凸型平ダイスに
形成された矩形のダイスパターン凸部断面であり、６は
同じく従来の凸型平ダイスの形状が転写された矩形の動
圧発生溝断面である。
【０００５】従来の断面形状が矩形をなす凸型平ダイス
による加工では、ダイスパターン凸部の表面が広く、こ
の広い面積の部分がワークに当接して、ワークに所定の
深さの溝を形成するためには、大きな加工圧力を必要と
する。この結果、転造加工用金型の構造を堅牢なものと
したり、、あるいは、ワーク側の支持手段を特定な強固
は手段を採用する等、転造工程の装置として大がかりな
ものとなり、コストが高いものとなっている。
による加工では、ダイスパターン凸部の表面が広く、こ
の広い面積の部分がワークに当接して、ワークに所定の
深さの溝を形成するためには、大きな加工圧力を必要と
する。この結果、転造加工用金型の構造を堅牢なものと
したり、、あるいは、ワーク側の支持手段を特定な強固
は手段を採用する等、転造工程の装置として大がかりな
ものとなり、コストが高いものとなっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、動圧空気軸
受における動圧発生溝を安価に製作することができる転
造加工用の新規な形状の凸型ダイスを提供することを目
的とし、且つ該凸型ダイスにより形成された動圧空気軸
受における新規な動圧発生溝の形状を提供することを目
的とするものである。
受における動圧発生溝を安価に製作することができる転
造加工用の新規な形状の凸型ダイスを提供することを目
的とし、且つ該凸型ダイスにより形成された動圧空気軸
受における新規な動圧発生溝の形状を提供することを目
的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、非接触で高速回転するモータ，スピンド
ル等に使用される動圧空気軸受の動圧発生溝を形成する
転造加工用の凸型平ダイスにおいて、該凸型平ダイスの
断面形状が、逆Ｖ字状の山型又は先端に稜線部分の僅か
な平面を有する逆Ｖ字状の山型の形状であることを特徴
とするものである。
成するために、非接触で高速回転するモータ，スピンド
ル等に使用される動圧空気軸受の動圧発生溝を形成する
転造加工用の凸型平ダイスにおいて、該凸型平ダイスの
断面形状が、逆Ｖ字状の山型又は先端に稜線部分の僅か
な平面を有する逆Ｖ字状の山型の形状であることを特徴
とするものである。
【０００８】本発明は、逆Ｖ字状の山型又は先端に稜線
部分の僅かな平面を有する逆Ｖ字状の山型の形状の転造
加工用の凸型平ダイスにより形成された動圧発生溝を備
えたことを特徴とするものである。
部分の僅かな平面を有する逆Ｖ字状の山型の形状の転造
加工用の凸型平ダイスにより形成された動圧発生溝を備
えたことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】本発明において、動圧空気軸受の動圧発生溝を
形成する転造加工用の凸型平ダイスを、逆Ｖ字状の山型
又は先端に稜線部分の僅かな平面を有する逆Ｖ字状の山
型の形状としたことにより、ワークに対して転造加工の
際、逆Ｖ字状の凸部先端側がワーク表面に微小面積で接
することになり、ワーク表面に食い込む凸型平ダイスの
加工圧力が従来の矩形状の凸部の場合に比べて、非常に
小さくすることを可能とする。
形成する転造加工用の凸型平ダイスを、逆Ｖ字状の山型
又は先端に稜線部分の僅かな平面を有する逆Ｖ字状の山
型の形状としたことにより、ワークに対して転造加工の
際、逆Ｖ字状の凸部先端側がワーク表面に微小面積で接
することになり、ワーク表面に食い込む凸型平ダイスの
加工圧力が従来の矩形状の凸部の場合に比べて、非常に
小さくすることを可能とする。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図７には、ヘリングボーン型動圧発生溝２が形成
された動圧空気軸受１を示している。このヘリングボー
ン型動圧発生溝２は、転造加工により転写されるが、こ
の転写するための動圧発生溝パターンは、図５，図６に
示される凸型平ダイス３の表面に形成される。図６は図
５の凸型平ダイス３を展開して表し、動圧発生溝パター
ン４を凸型平ダイス３の板厚方向から見た図面である。
する。図７には、ヘリングボーン型動圧発生溝２が形成
された動圧空気軸受１を示している。このヘリングボー
ン型動圧発生溝２は、転造加工により転写されるが、こ
の転写するための動圧発生溝パターンは、図５，図６に
示される凸型平ダイス３の表面に形成される。図６は図
５の凸型平ダイス３を展開して表し、動圧発生溝パター
ン４を凸型平ダイス３の板厚方向から見た図面である。
【００１１】本発明は、凸型平ダイスにおける凸部のダ
イスパターンの形状を、従来の矩形状の凸部から、図１
或いは図２に示されるように、凸部の先端側を尖った形
状の逆Ｖ字状の山型凸部５Ａ、若しくは凸部の先端側に
僅かな平面部分となる稜線部分を形成した形状の逆Ｖ字
状の山型凸部５Ｂとした構成を特徴とする。
イスパターンの形状を、従来の矩形状の凸部から、図１
或いは図２に示されるように、凸部の先端側を尖った形
状の逆Ｖ字状の山型凸部５Ａ、若しくは凸部の先端側に
僅かな平面部分となる稜線部分を形成した形状の逆Ｖ字
状の山型凸部５Ｂとした構成を特徴とする。
【００１２】本発明の形状の山型凸部５Ａ、５Ｂを得る
ためには、従来の矩形状の凸部の先端側の周りの部分を
切削，研削，研磨或いはラップ等により除去する加工を
施すことにより形成することができる。
ためには、従来の矩形状の凸部の先端側の周りの部分を
切削，研削，研磨或いはラップ等により除去する加工を
施すことにより形成することができる。
【００１３】本発明の凸型平ダイスにおける山型凸部５
Ａ、５Ｂは、ワーク７に対して転造加工の際、山型凸部
５Ａ、５Ｂの凸部先端側がワーク７表面に微小面積で接
することにより、ワーク表面に食い込む山型凸部５Ａ、
５Ｂの加工圧力は、従来の矩形状の凸部の場合に比べ
て、非常に小さくすることが可能となった。
Ａ、５Ｂは、ワーク７に対して転造加工の際、山型凸部
５Ａ、５Ｂの凸部先端側がワーク７表面に微小面積で接
することにより、ワーク表面に食い込む山型凸部５Ａ、
５Ｂの加工圧力は、従来の矩形状の凸部の場合に比べ
て、非常に小さくすることが可能となった。
【００１４】本発明の山型凸部５Ａ、５Ｂを使用してワ
ーク７に転造加工した場合において、ワーク７側に形成
された動圧発生溝６Ａ，６Ｂの断面形状は、図３、図４
に示すように、Ｖ字状の形状或いは先端に僅かの平面と
なる稜線を形成したＶ字状の形状の溝となる。
ーク７に転造加工した場合において、ワーク７側に形成
された動圧発生溝６Ａ，６Ｂの断面形状は、図３、図４
に示すように、Ｖ字状の形状或いは先端に僅かの平面と
なる稜線を形成したＶ字状の形状の溝となる。
【００１５】以上のように、動圧空気軸受に形成される
動圧発生溝は、凸型平ダイスとして、本発明の逆Ｖ字状
の山型凸部５Ａ、５Ｂを使用して形成することにより、
転造加工装置を従来に比べて、簡易な構造で且つ小型化
することが可能となり、転造工程に係わる装置の製作費
を安価とすることができ、この結果、作成される動圧空
気軸受の加工コストを安価とすることができる。
動圧発生溝は、凸型平ダイスとして、本発明の逆Ｖ字状
の山型凸部５Ａ、５Ｂを使用して形成することにより、
転造加工装置を従来に比べて、簡易な構造で且つ小型化
することが可能となり、転造工程に係わる装置の製作費
を安価とすることができ、この結果、作成される動圧空
気軸受の加工コストを安価とすることができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明の逆Ｖ字状の山型凸部の平ダイス
の使用により、動圧空気軸受に動圧発生溝を形成する際
の転造加工工程の加工圧力を充分小さくすることができ
るため、転造加工工程に関する装置を簡易且つ安価に製
作できる効果を有し、その結果、精度の高い動圧空気軸
受を安価に量産することができる効果を有する。
の使用により、動圧空気軸受に動圧発生溝を形成する際
の転造加工工程の加工圧力を充分小さくすることができ
るため、転造加工工程に関する装置を簡易且つ安価に製
作できる効果を有し、その結果、精度の高い動圧空気軸
受を安価に量産することができる効果を有する。
【図１】本発明の凸型平ダイスの一実施例を示す図面で
あり、図６のダイスパターンとして先端側が尖った形状
をした逆Ｖ字状の山型凸部をなす場合の図６のＡ−Ａ’
断面の拡大図である。
あり、図６のダイスパターンとして先端側が尖った形状
をした逆Ｖ字状の山型凸部をなす場合の図６のＡ−Ａ’
断面の拡大図である。
【図２】本発明の凸型平ダイスの他の実施例を示す図面
であり、図６のダイスパターンとして先端側に僅かな平
面部分を形成した逆Ｖ字状の山型凸部をなす場合の図６
のＡ−Ａ’断面の拡大図である。
であり、図６のダイスパターンとして先端側に僅かな平
面部分を形成した逆Ｖ字状の山型凸部をなす場合の図６
のＡ−Ａ’断面の拡大図である。
【図３】図１の本発明の凸型平ダイスにより形成された
ワークの動圧発生溝パターンを示す図面であり、図７の
Ｂ−Ｂ’断面の拡大図である。
ワークの動圧発生溝パターンを示す図面であり、図７の
Ｂ−Ｂ’断面の拡大図である。
【図４】図２の本発明の凸型平ダイスにより形成された
ワークの動圧発生溝パターンを示す図面であり、図７の
Ｂ−Ｂ’断面の拡大図である。
ワークの動圧発生溝パターンを示す図面であり、図７の
Ｂ−Ｂ’断面の拡大図である。
【図５】動圧空気軸受に動圧発生溝パターンを形成する
ための凸型平ダイスの側面概略図である。
ための凸型平ダイスの側面概略図である。
【図６】図５の凸型平ダイスの正面概略図である。
【図７】図５，図６の凸型平ダイスにより動圧発生溝パ
ターンを転造加工された動圧空気軸受の概要を示す斜視
図である。
ターンを転造加工された動圧空気軸受の概要を示す斜視
図である。
【図８】従来の凸型平ダイスを示す図面であり、図６の
ダイスパターンに従来の凸型平ダイスが適用された場
合、図６のＡ−Ａ’断面の拡大図である。
ダイスパターンに従来の凸型平ダイスが適用された場
合、図６のＡ−Ａ’断面の拡大図である。
【図９】従来の凸型平ダイスにより形成されたワークの
動圧発生溝パターンを示す図面であり、図７のＢ−Ｂ’
断面の拡大図である。
動圧発生溝パターンを示す図面であり、図７のＢ−Ｂ’
断面の拡大図である。
１ 動圧空気軸受 ２ 動圧発生溝 ３ 凸型平ダイス ４ 凸部ダイスパターン ５Ａ，５Ｂ 逆Ｖ字状の山型凸部 ６Ａ，６Ｂ Ｖ字状動圧発生溝 ７ ワーク部
Claims (2)
- 【請求項１】 非接触で高速回転するモータ，スピンド
ル等に使用される動圧空気軸受の動圧発生溝を形成する
転造加工用の凸型平ダイスにおいて、該凸型平ダイスの
断面形状が、逆Ｖ字状の山型又は先端に稜線部分の僅か
な平面を有する逆Ｖ字状の山型の形状であることを特徴
とする転造加工用凸型ダイス。 - 【請求項２】 逆Ｖ字状の山型又は先端に稜線部分の僅
かな平面を有する逆Ｖ字状の山型の形状の転造加工用の
凸型平ダイスにより形成された動圧発生溝を備えたこと
を特徴とする動圧空気軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21603593A JPH0760391A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 転造加工用凸型ダイス及び動圧空気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21603593A JPH0760391A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 転造加工用凸型ダイス及び動圧空気軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0760391A true JPH0760391A (ja) | 1995-03-07 |
Family
ID=16682270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21603593A Withdrawn JPH0760391A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 転造加工用凸型ダイス及び動圧空気軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760391A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084651A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Nitto Kogyo Co Ltd | 定着用回転体の製造方法 |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP21603593A patent/JPH0760391A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006084651A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Nitto Kogyo Co Ltd | 定着用回転体の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4943649B2 (ja) | マルチチップダイヤモンドを備えたダイヤモンド工具 | |
| JPS624231B2 (ja) | ||
| JP2004223836A (ja) | パターンロールの製作方法及び装置並びに光学シートの製膜方法 | |
| JP2005103749A (ja) | 丸形シェービングカッタの歯面を研削する方法および機器 | |
| US5692287A (en) | Method of manufacturing a metal polygon mirror | |
| JPH0760391A (ja) | 転造加工用凸型ダイス及び動圧空気軸受 | |
| JP4221117B2 (ja) | 賦型シート用成形型の製造装置 | |
| JP2005212030A (ja) | 輪帯光学素子用金型の製造方法 | |
| JPH09236701A (ja) | フレネルレンズおよびその成型に用いるスタンパの製造方法 | |
| JPH07124813A (ja) | フレネル形状の形成方法 | |
| JP2003166539A (ja) | 動圧流体軸受装置の動圧発生溝の表面を改質する方法及びその方法に用いる工具 | |
| JPH07164251A (ja) | 気体軸受用軸の製造方法 | |
| JP2001263355A (ja) | 動圧溝付き軸受スリーブの加工方法 | |
| JPH05116058A (ja) | 走査装置及びその使用方法 | |
| JPS63245316A (ja) | 軸受溝形成方法 | |
| JP2000052217A (ja) | 工具と加工方法 | |
| JPH03146284A (ja) | 動圧流体軸受の製造方法 | |
| JP3519569B2 (ja) | 小型モータの動圧発生溝を有する回転支承部の製造方法 | |
| JPH07205007A (ja) | 高精度面創成方法 | |
| JP2000199523A (ja) | 動圧流体軸受の製造方法 | |
| JP2573001Y2 (ja) | クランクシャフトミラーのカッタ装置 | |
| JPS6137455Y2 (ja) | ||
| JPH11342441A (ja) | 動圧軸受用軸の製造装置及び製造方法、並びにその製造方法により製造した動圧軸受用軸とその動圧軸受用軸を用いた動圧軸受モータ | |
| JPH10244560A (ja) | 射出成形用金型およびその製造方法 | |
| JPH04285311A (ja) | 動圧流体軸受 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001031 |