JPH0755700A - 光液浸液の屈折率を検査する装置および方法 - Google Patents
光液浸液の屈折率を検査する装置および方法Info
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- JPH0755700A JPH0755700A JP6125101A JP12510194A JPH0755700A JP H0755700 A JPH0755700 A JP H0755700A JP 6125101 A JP6125101 A JP 6125101A JP 12510194 A JP12510194 A JP 12510194A JP H0755700 A JPH0755700 A JP H0755700A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光液浸液の屈折率を、この光液浸液を収容す
る参照ガラスの屈折率と比較する方法を提供する。 【構成】 光液浸液の少なくとも一部を参照ガラスに収
容し、光液浸液を通してレーザ光を透過させて光干渉模
様を形成させる。この光干渉模様に基づいて光路差を測
定し、下記の式から屈折率の差Δｎを求める。 【数４】 ここでΔＴは少なくとも１つの窓の断面における凹部の
深さまたは斜面部分の高さである。
る参照ガラスの屈折率と比較する方法を提供する。 【構成】 光液浸液の少なくとも一部を参照ガラスに収
容し、光液浸液を通してレーザ光を透過させて光干渉模
様を形成させる。この光干渉模様に基づいて光路差を測
定し、下記の式から屈折率の差Δｎを求める。 【数４】 ここでΔＴは少なくとも１つの窓の断面における凹部の
深さまたは斜面部分の高さである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光液浸液（optical imme
rsion liquid）の屈折率を参照ガラスの屈折率と比較し
て、この光液浸液の屈折率を検査する装置および方法に
関するものである。
rsion liquid）の屈折率を参照ガラスの屈折率と比較し
て、この光液浸液の屈折率を検査する装置および方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】屈折率が分かっている液体を用いて、こ
の液体と光学ガラスの試料との相対的な屈折率の差（re
lative refractive index difference）を測定すること
が通常行なわれている。そのような屈折率整合用の液は
市販されており、光液浸液として知られている。この光
液浸液を用いると、測定の前に試験体の表面全てを磨く
必要がなくなる。
の液体と光学ガラスの試料との相対的な屈折率の差（re
lative refractive index difference）を測定すること
が通常行なわれている。そのような屈折率整合用の液は
市販されており、光液浸液として知られている。この光
液浸液を用いると、測定の前に試験体の表面全てを磨く
必要がなくなる。
【０００３】光学ガラスにおいてはガラスの製造工程内
で高度の均質性を達成する必要がある。そこで、このよ
うなガラスの均質性について検査することが必要となる
が、所望のガラス屈折率と異なる屈折率となっている部
分が欠陥であるので、均質性は容易に検査できる。そし
て、このようなガラスの均質性についての検査は頻繁に
行なうことが必要であり、この検査のために信頼性の高
い液浸液が必要とされるのは明らかである。
で高度の均質性を達成する必要がある。そこで、このよ
うなガラスの均質性について検査することが必要となる
が、所望のガラス屈折率と異なる屈折率となっている部
分が欠陥であるので、均質性は容易に検査できる。そし
て、このようなガラスの均質性についての検査は頻繁に
行なうことが必要であり、この検査のために信頼性の高
い液浸液が必要とされるのは明らかである。
【０００４】しかしながら、このような光液浸液はロッ
ト間で屈折率の差異が生じ得ること、そしてそのような
差異は光液浸液の劣化またはその汚染状態のために生じ
得ることが明らかとなった。また、光液浸液の使用場所
とこの光液浸液を試験した試験場所とでは、温度のよう
な環境条件にもしばしば差がある。一方、光液浸液を使
用する用途によっては、光液浸液を試験した光の波長と
は異なる光の波長を用いることも考えられる。このた
め、試験を行なう場所によって、観察に供される光液浸
液の屈折率に差異が生じることとなる。さらに、光液浸
液とガラスとの間で屈折率を整合する際のわずかな差異
に試験試料であるガラスの非平坦試験表面の影響が加わ
って、均質性測定において著しい誤差が生じ得る。
ト間で屈折率の差異が生じ得ること、そしてそのような
差異は光液浸液の劣化またはその汚染状態のために生じ
得ることが明らかとなった。また、光液浸液の使用場所
とこの光液浸液を試験した試験場所とでは、温度のよう
な環境条件にもしばしば差がある。一方、光液浸液を使
用する用途によっては、光液浸液を試験した光の波長と
は異なる光の波長を用いることも考えられる。このた
め、試験を行なう場所によって、観察に供される光液浸
液の屈折率に差異が生じることとなる。さらに、光液浸
液とガラスとの間で屈折率を整合する際のわずかな差異
に試験試料であるガラスの非平坦試験表面の影響が加わ
って、均質性測定において著しい誤差が生じ得る。
【０００５】なお、所望の屈折率となっていない光液浸
液を、この所望の屈折率とは異なる他の相溶性のある液
浸油（immersion oil ）と混合して、混合物の屈折率を
最適にしてもよいことが明らかとなっている。
液を、この所望の屈折率とは異なる他の相溶性のある液
浸油（immersion oil ）と混合して、混合物の屈折率を
最適にしてもよいことが明らかとなっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、均質性を測
定したい光学部材と、その測定に供される光液浸液の屈
折率を迅速かつ容易に測定し得る方法および装置を提供
する。
定したい光学部材と、その測定に供される光液浸液の屈
折率を迅速かつ容易に測定し得る方法および装置を提供
する。
【０００７】本発明はまた、均質性を測定した光学部材
と、その測定の供される光液浸液の屈折率を補償するた
めに該光液浸液に加える屈折率補償液の量、あるいはこ
の光液浸液と屈折率補償液の混合比を迅速かつ容易に得
ることができる方法を提供する。
と、その測定の供される光液浸液の屈折率を補償するた
めに該光液浸液に加える屈折率補償液の量、あるいはこ
の光液浸液と屈折率補償液の混合比を迅速かつ容易に得
ることができる方法を提供する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の装置は、光液浸
液の屈折率を、該光液浸液を収容する参照ガラスの屈折
率と比較するものである。この装置は、所定間隔をおい
て互いに向き合うように組み立てられた前記参照ガラス
からなる２つの窓と、前記比較すべき光液浸液を収容す
る前記２つの窓の間にあるキャビティとからなり、前記
窓の少なくとも１つは入射する光の入射方向に垂直な平
面部分と、その断面が直線または曲線である、該平面部
分に対して所定の傾きを有する斜面部分を有する内面を
有することを特徴とするものである。
液の屈折率を、該光液浸液を収容する参照ガラスの屈折
率と比較するものである。この装置は、所定間隔をおい
て互いに向き合うように組み立てられた前記参照ガラス
からなる２つの窓と、前記比較すべき光液浸液を収容す
る前記２つの窓の間にあるキャビティとからなり、前記
窓の少なくとも１つは入射する光の入射方向に垂直な平
面部分と、その断面が直線または曲線である、該平面部
分に対して所定の傾きを有する斜面部分を有する内面を
有することを特徴とするものである。
【０００９】本発明の方法は、光液浸液の屈折率を、該
光液浸液を収容する参照ガラスの屈折率と比較するもの
である。この方法は、光液浸液の少なくとも一部を参照
ガラスに収容し、光液浸液を通してレーザ光を透過させ
て光干渉模様を形成させ、該光干渉模様に基づき光路差
を測定し、下記の式から屈折率の差Δｎを求める各工程
からなる。
光液浸液を収容する参照ガラスの屈折率と比較するもの
である。この方法は、光液浸液の少なくとも一部を参照
ガラスに収容し、光液浸液を通してレーザ光を透過させ
て光干渉模様を形成させ、該光干渉模様に基づき光路差
を測定し、下記の式から屈折率の差Δｎを求める各工程
からなる。
【００１０】
【数２】
【００１１】ここでΔＴは少なくとも１つの窓の断面に
おける凹部の深さまたは斜面部分の高さである。
おける凹部の深さまたは斜面部分の高さである。
【００１２】本発明は、米国特許第3,612,696 号、第4,
980,551 号、またはドイツ国特許第1,035,933 号のよう
な従来技術とは明らかに区別されるものである。
980,551 号、またはドイツ国特許第1,035,933 号のよう
な従来技術とは明らかに区別されるものである。
【００１３】本発明の製品は、光液浸液とこの光液浸液
を配合して整合するようにした参照ガラスとの間の相対
的な屈折率の整合を迅速に検査することを目的とするも
のである。この装置は、平坦−平坦ガラス試料（plano-
plano glass samples ）を透過した波先を測定するよう
に設計した、平行ビームを用いた干渉計とともに用いる
ことを意図したものである。
を配合して整合するようにした参照ガラスとの間の相対
的な屈折率の整合を迅速に検査することを目的とするも
のである。この装置は、平坦−平坦ガラス試料（plano-
plano glass samples ）を透過した波先を測定するよう
に設計した、平行ビームを用いた干渉計とともに用いる
ことを意図したものである。
【００１４】本発明の装置は、光干渉模様を用いて、試
験する液浸液の屈折率を参照ガラスの屈折率と比較する
ものである。この参照ガラスは、断面における物理的凹
み、または斜面部分（raised area ）、および参照のた
めの同一の透明窓内の平面部分を有さなければならな
い。干渉計により干渉縞が生じる場合、屈折率が整合し
ないことが分かる。干渉縞は人が数えてもよい。（２つ
の干渉縞＝二重路（double-pass ）干渉計の１波長）し
かしながら、もちろん自動の位相または干渉縞測定干渉
計を使用すれば、測定の精度を高めることができる。
験する液浸液の屈折率を参照ガラスの屈折率と比較する
ものである。この参照ガラスは、断面における物理的凹
み、または斜面部分（raised area ）、および参照のた
めの同一の透明窓内の平面部分を有さなければならな
い。干渉計により干渉縞が生じる場合、屈折率が整合し
ないことが分かる。干渉縞は人が数えてもよい。（２つ
の干渉縞＝二重路（double-pass ）干渉計の１波長）し
かしながら、もちろん自動の位相または干渉縞測定干渉
計を使用すれば、測定の精度を高めることができる。
【００１５】次いで干渉計により測定したときに観察し
た波先深さ（光路差）から相対的な屈折率の不整合を測
定する。この測定は下記の式を用いて行なわれる。
た波先深さ（光路差）から相対的な屈折率の不整合を測
定する。この測定は下記の式を用いて行なわれる。
【００１６】
【数３】
【００１７】ここで： Δｎ＝液浸液と参照ガラスとの屈折率の差； ＯＰＤ＝光路差（干渉計により測定）； ΔＴ＝参照ガラスの物理的凹みの深さ、または斜面の高
さ。
さ。
【００１８】上記式は、ガラスと液浸液との屈折率が完
全に整合すれば、光路差はゼロであり、干渉縞は観察さ
れないことを示唆している。屈折率が完全に一致する
と、光路差に関し、窓の斜面部分の表面は識別困難とな
る。
全に整合すれば、光路差はゼロであり、干渉縞は観察さ
れないことを示唆している。屈折率が完全に一致する
と、光路差に関し、窓の斜面部分の表面は識別困難とな
る。
【００１９】装置は、少量の液体を保持するキャビティ
を備えた容器からなる。この容器は、収容する液体の量
を測定に要する必要最小限程度まで小さくすべきであ
る。好ましくは、容器の容量は20立法センチメートルを
越えない値とする。容器は、光液浸液を配合して試験す
るためのガラスであって、その光液浸液が、その屈折率
について整合するガラスからなる窓により両側が密封さ
れている。屈折率は温度と波長の関数であり、そのた
め、光液浸液は適切な条件下（照射レーザの温度と波
長）で試料ガラスと整合するように配合すべきである。
を備えた容器からなる。この容器は、収容する液体の量
を測定に要する必要最小限程度まで小さくすべきであ
る。好ましくは、容器の容量は20立法センチメートルを
越えない値とする。容器は、光液浸液を配合して試験す
るためのガラスであって、その光液浸液が、その屈折率
について整合するガラスからなる窓により両側が密封さ
れている。屈折率は温度と波長の関数であり、そのた
め、光液浸液は適切な条件下（照射レーザの温度と波
長）で試料ガラスと整合するように配合すべきである。
【００２０】さらに、例えば、溶融シリカ製造用の装置
を設計した場合において、比較測定を行なうために、ど
のような光液浸液と光学ガラスとの組合せによる装置を
用いてもよい。したがって、どのような光学ガラスとそ
のガラスに整合するように計画した光液浸液用に装置を
用いることができる。必要条件は、光液浸液を配合して
整合するようにしたガラスにより窓を製造すること、お
よび窓のうち少なくとも１つが一定の斜面部分、または
凹部表面を有することである。装置の適用範囲は潜在的
に、屈折率整合用の光液浸液を入手できるか生成でき、
そして紫外線、可視光、および赤外線の範囲に波長を有
するレーザを用いて干渉計により検査できる、全ての利
用可能な光学透過材料、紫外線透過材料、および赤外線
透過材料をカバーする。
を設計した場合において、比較測定を行なうために、ど
のような光液浸液と光学ガラスとの組合せによる装置を
用いてもよい。したがって、どのような光学ガラスとそ
のガラスに整合するように計画した光液浸液用に装置を
用いることができる。必要条件は、光液浸液を配合して
整合するようにしたガラスにより窓を製造すること、お
よび窓のうち少なくとも１つが一定の斜面部分、または
凹部表面を有することである。装置の適用範囲は潜在的
に、屈折率整合用の光液浸液を入手できるか生成でき、
そして紫外線、可視光、および赤外線の範囲に波長を有
するレーザを用いて干渉計により検査できる、全ての利
用可能な光学透過材料、紫外線透過材料、および赤外線
透過材料をカバーする。
【００２１】
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００２２】図１は、１つの窓の内面に球状の連続斜面
２を有する装置１を示す側面断面図である。
２を有する装置１を示す側面断面図である。
【００２３】図２は、装置を通過する光の入射方向から
見た装置の正面図である。
見た装置の正面図である。
【００２４】装置１はガラス窓を収容するのに適した材
料から作られた構造フレーム３を有してなる。エポキシ
または保持リングのような部材を用い、いかなる適切な
方法によって、窓を収容してもよい。
料から作られた構造フレーム３を有してなる。エポキシ
または保持リングのような部材を用い、いかなる適切な
方法によって、窓を収容してもよい。
【００２５】構造フレーム３には２つの光学窓、すなわ
ち、正面窓４および背面窓５が備え付けられている。こ
れらの窓は通常、円形ディスクであり、光液浸液と屈折
率について整合できるガラスから製造される。このガラ
スは、混合物を含まず、用途に求められる測定精度を達
成するほど十分に均質性であるべきである。
ち、正面窓４および背面窓５が備え付けられている。こ
れらの窓は通常、円形ディスクであり、光液浸液と屈折
率について整合できるガラスから製造される。このガラ
スは、混合物を含まず、用途に求められる測定精度を達
成するほど十分に均質性であるべきである。
【００２６】正面窓４および背面窓５は、目的を達成す
るのに十分な光を通過させるほど十分な大きさであるべ
きである。一般的に、少なくとも20ｃｍ2 の面積と同等
の、少なくとも直径５ｃｍ以上のものが適している。ガ
ラスは外面でλ／10、内面でλ／５の精度で光学研磨が
なされるべきである。正面窓４の内面は、光路差の測定
が行なえる連続斜面を有するべきである。切削加工され
た球（a generated sphere）、プリズム、または部分的
くさび型面のような様々な輪郭によりこの連続斜面を設
けてもよい。各々の窓は構造フレーム３内への搭載を容
易にするフレームを有してもよい。
るのに十分な光を通過させるほど十分な大きさであるべ
きである。一般的に、少なくとも20ｃｍ2 の面積と同等
の、少なくとも直径５ｃｍ以上のものが適している。ガ
ラスは外面でλ／10、内面でλ／５の精度で光学研磨が
なされるべきである。正面窓４の内面は、光路差の測定
が行なえる連続斜面を有するべきである。切削加工され
た球（a generated sphere）、プリズム、または部分的
くさび型面のような様々な輪郭によりこの連続斜面を設
けてもよい。各々の窓は構造フレーム３内への搭載を容
易にするフレームを有してもよい。
【００２７】正面窓４と背面窓５とを離して設置し、検
査すべき液浸液のためのキャビティ６を設ける。キャビ
ティ６は、必要とする液浸液の量を最小とするために故
意に小さくする。キャビティ６の容量は20ｃｃを越えな
いことが望ましい。装置１には、液浸液の入口および出
口部分７を設けてもよい。装置１には、充填のためにポ
ストまたはテーブル上に該装置１を備え付けることがで
きるようにマウント部材８を設けてもよい。
査すべき液浸液のためのキャビティ６を設ける。キャビ
ティ６は、必要とする液浸液の量を最小とするために故
意に小さくする。キャビティ６の容量は20ｃｃを越えな
いことが望ましい。装置１には、液浸液の入口および出
口部分７を設けてもよい。装置１には、充填のためにポ
ストまたはテーブル上に該装置１を備え付けることがで
きるようにマウント部材８を設けてもよい。
【００２８】図３は上記実施例のものとは別の形状の機
能的な正面窓４を示す断面図である。正面窓４は一様な
厚さの平面部分９を有する。この正面窓４は第２のくさ
び型部分10を有する。このくさび型部分10に代えて他の
表面形状のものも使用可能であるのはもちろんである。
図１に示すように、背面窓５は全面に亘り平坦な表面を
有する一様な厚さのものである。
能的な正面窓４を示す断面図である。正面窓４は一様な
厚さの平面部分９を有する。この正面窓４は第２のくさ
び型部分10を有する。このくさび型部分10に代えて他の
表面形状のものも使用可能であるのはもちろんである。
図１に示すように、背面窓５は全面に亘り平坦な表面を
有する一様な厚さのものである。
【００２９】図４は図３に示す装置の正面図である。
【００３０】図５は図１−４に示す実施例のものとは別
の形状の実施例装置を示すものであり、ここでは液浸液
が参照ガラス12によりキャビティ11内に完全に封じ込め
られている。これは、シリンダー状の中空のコア内に全
体が封じ込められていることを示している。
の形状の実施例装置を示すものであり、ここでは液浸液
が参照ガラス12によりキャビティ11内に完全に封じ込め
られている。これは、シリンダー状の中空のコア内に全
体が封じ込められていることを示している。
【００３１】以下の工程にしたがって、操作を行なう。
【００３２】１． 装置１を適切なガラスの正面窓４お
よび背面窓５とともに組み立てる。
よび背面窓５とともに組み立てる。
【００３３】２． 装置のキャビティ６を、試験すべき
液浸液の試料で窓を覆うほど十分に満たす。
液浸液の試料で窓を覆うほど十分に満たす。
【００３４】３． 装置１を干渉計のキャビティ内であ
るが、熱安定性のために作用ビームからは外れるように
配置する。
るが、熱安定性のために作用ビームからは外れるように
配置する。
【００３５】４． 装置が安定したら、この装置を干渉
計の作用ビームが通過する位置に配置して、観察した光
路差を測定する。測定は、干渉縞を数えることにより手
動で行なってもよく、ソフトウェア的に位相または干渉
縞分析を用いて自動で行なってもよい。
計の作用ビームが通過する位置に配置して、観察した光
路差を測定する。測定は、干渉縞を数えることにより手
動で行なってもよく、ソフトウェア的に位相または干渉
縞分析を用いて自動で行なってもよい。
【００３６】５． 前述したΔｎを求める式により屈折
率の差を計算する。
率の差を計算する。
【００３７】６． Δｎが所定の基準に達するまで、ま
たは干渉縞が消えて整合状態となるまで、光液浸液より
屈折率の大きいかまたは小さい相溶性液浸油を量を測定
しながら加えてもよい。
たは干渉縞が消えて整合状態となるまで、光液浸液より
屈折率の大きいかまたは小さい相溶性液浸油を量を測定
しながら加えてもよい。
【００３８】７． 装置を作用ビームが通過する位置か
ら取り出す。
ら取り出す。
【００３９】８． 装置のキャビティ６を空にして、残
留するすべての液浸液を洗浄する。
留するすべての液浸液を洗浄する。
【００４０】本発明の実施例により実験を行ない、コー
ニングコード７９４０の溶融シリカディスクの屈折率と
この製品とともに用いた整合液浸液の屈折率との間の差
を測定した。この実験には、１つの面に所定の曲率半径
を有する曲面が形成される溶融シリカを製造することを
含む。この曲面の深さは5.241 ｍｍであった。干渉模様
中に観察された干渉縞の数を溶融シリカディスクに形成
された曲面の既知の深さと比較することにより、Δｎ値
を測定できる。なお、干渉縞の計測を容易にするため
に、干渉縞模様を拡大した。
ニングコード７９４０の溶融シリカディスクの屈折率と
この製品とともに用いた整合液浸液の屈折率との間の差
を測定した。この実験には、１つの面に所定の曲率半径
を有する曲面が形成される溶融シリカを製造することを
含む。この曲面の深さは5.241 ｍｍであった。干渉模様
中に観察された干渉縞の数を溶融シリカディスクに形成
された曲面の既知の深さと比較することにより、Δｎ値
を測定できる。なお、干渉縞の計測を容易にするため
に、干渉縞模様を拡大した。
【００４１】実験を行なう際に、２つの異なる油を用い
た。一方は、使用済の油であり、他方は未使用の油であ
った。また、干渉縞の計測を、手動と干渉計ソフトウェ
ア分析を用いた自動とで行なった。結果は以下のとおり
であった：干渉縞の計測値とそれに基づく光路差値は： 古い液浸液： 16の干渉縞＝5.0624×10-6ｍの
光路差 新しい液浸液（手動）：17の干渉縞＝5.3788×10-6ｍの
光路差 新しい液浸液（ソフトウェア）：17.219の干渉縞＝5.44
809 ×10-6ｍの光路差 これらのデータから計算したΔｎの値は、以下のとおり
である： 古い液浸液： Δｎ＝0.97×10-3 新しい液浸液（手動）： Δｎ＝1.03×10-3 新しい液浸液（ソフトウェア）： Δｎ＝1.04×10-3 続いて、許容誤差のより小さい改良屈折率油を購入し、
この屈折率油を用いて上述したように試験した場合、0.
12×10-3の不整合が測定され、この整合性が著しく改善
された。
た。一方は、使用済の油であり、他方は未使用の油であ
った。また、干渉縞の計測を、手動と干渉計ソフトウェ
ア分析を用いた自動とで行なった。結果は以下のとおり
であった：干渉縞の計測値とそれに基づく光路差値は： 古い液浸液： 16の干渉縞＝5.0624×10-6ｍの
光路差 新しい液浸液（手動）：17の干渉縞＝5.3788×10-6ｍの
光路差 新しい液浸液（ソフトウェア）：17.219の干渉縞＝5.44
809 ×10-6ｍの光路差 これらのデータから計算したΔｎの値は、以下のとおり
である： 古い液浸液： Δｎ＝0.97×10-3 新しい液浸液（手動）： Δｎ＝1.03×10-3 新しい液浸液（ソフトウェア）： Δｎ＝1.04×10-3 続いて、許容誤差のより小さい改良屈折率油を購入し、
この屈折率油を用いて上述したように試験した場合、0.
12×10-3の不整合が測定され、この整合性が著しく改善
された。
【図１】本発明の一実施例装置を示す側面断面図
【図２】図１に示す装置の正面図
【図３】本発明の他の実施例装置を示す側面断面図
【図４】図３に示す装置の正面図
【図５】本発明のさらに他の実施例装置を示す透視図
１ 装置 ２ 連続斜面 ３ 構造フレーム ４、５ 窓 ６、11 キャビティ ７ 入口および出口部分 ８ マウント部材 ９ 平面部分 10 くさび型部分 12 参照ガラス
Claims (12)
- 【請求項１】 光液浸液の屈折率を、該光液浸液を収容
する参照ガラスの屈折率と比較する装置であって、該装
置が、所定間隔をおいて互いに向き合うように組み立て
られた前記参照ガラスからなる２つの窓と、前記比較す
べき光液浸液を収容する前記２つの窓の間にあるキャビ
ティとからなり、前記窓の少なくとも１つは入射する光
の入射方向に垂直な平面部分と、その断面が直線または
曲線である、該平面部分に対して所定の傾きを有する斜
面部分を有する内面を有することを特徴とする装置。 - 【請求項２】 前記参照ガラスが、紫外線、可視光、ま
たは赤外線の干渉測定に使用されるガラスの範囲内に含
まれることを特徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項３】 前記参照ガラスが溶融シリカであること
を特徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項４】 前記窓の少なくとも１つの内面部分上に
凹状の球状表面を有するか、または前記窓の少なくとも
１つがその断面が一様な厚さの平面部分およびその断面
が該平面部分に対して傾斜しているくさび型部分を有す
ることを特徴とする請求項１記載の装置。 - 【請求項５】 前記キャビティの容量が20ｃｃを越え
ず、および／または前記窓の各々が少なくとも20ｃｍ2
の光透過面積を有することを特徴とする請求項１記載の
装置。 - 【請求項６】 光液浸液の屈折率を、該光液浸液を収容
する参照ガラスの屈折率と比較する方法であって、光液
浸液の少なくとも一部を参照ガラスに収容し、光液浸液
を通してレーザ光を透過させて光干渉模様を形成させ、
該光干渉模様に基づき光路差を測定し、式： 【数１】 ここでΔＴは少なくとも１つの窓の断面における凹部の
深さまたは斜面部分の高さである：から屈折率の差Δｎ
を求める各工程からなることを特徴とする方法。 - 【請求項７】 前記参照ガラスからなる２つの窓を所定
の間隔をおいて対向するように組み立てて該窓の間にキ
ャビティを形成し、前記窓の内面を覆うのに十分な程度
まで前記キャビティに、該参照ガラスとの間で屈折率を
比較すべき前記光液浸液を注入する各工程を含み、前記
窓の少なくとも１つが、入射する光の入射方向に垂直と
なる平面部分とその断面が直線または曲線である、該平
面部分に対して所定の傾きを有する斜面部分とを備えた
内面を有することを特徴とする請求項６記載の方法。 - 【請求項８】 前記光液浸液が全体として中空のコア内
に収容されることを特徴とする請求項６または７記載の
方法。 - 【請求項９】 前記２つの窓および前記キャビティを干
渉計の作用ビームが通過する位置に配置し、必要に応じ
て、前記装置が安定した後、前記窓を通して光を透過さ
せて光干渉模様を形成することを特徴とする請求項７ま
たは８記載の方法。 - 【請求項１０】 前記光路差を、前記干渉計により生じ
た前記光干渉模様の干渉縞を手動または自動で計数し、
この計数値に基づき測定することを特徴とする請求項９
記載の方法。 - 【請求項１１】 前記窓の前記斜面部分を、前記窓の内
面に凹んだ表面を形成することにより作成することを特
徴とする請求項６記載の方法。 - 【請求項１２】 前記光液浸液が前記ガラス窓の屈折率
とは異なる屈折率を有し、これら屈折率の差を補償する
液体を該光液浸液に加えることを特徴とする請求項６記
載の方法。
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