JPH075374A - Ｘ線光学素子保持器 - Google Patents
Ｘ線光学素子保持器Info
- Publication number
- JPH075374A JPH075374A JP5144066A JP14406693A JPH075374A JP H075374 A JPH075374 A JP H075374A JP 5144066 A JP5144066 A JP 5144066A JP 14406693 A JP14406693 A JP 14406693A JP H075374 A JPH075374 A JP H075374A
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- JP
- Japan
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- axis
- optical element
- cylinder
- adapter
- vacuum
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 真空用短管１が、その軸に垂直な２つの面に
沿ってそれぞれ３個づつの直線導入機２を外周に備え、
さらに、Ｘ線光学素子５を取り付け該直線導入機２によ
って支えられる円筒６を斜面機構によって軸方向に動か
す斜面を先端に持つ少なくとも１個の直線導入機２’を
該真空用短管１の側面に備えている。 【効果】 光学素子５の位置および向く方向の調整が簡
単に高精度に行える。また、従来のように蛇腹管を使用
していないので短管１を動かす力が作用しないため使用
中に調整が狂うということがない。また、光学素子５を
取り付けた円筒６を周面から押さえて定するため、光学
素子５は安定に位置と向く方向が維持され、振動の影響
を受け難い。
沿ってそれぞれ３個づつの直線導入機２を外周に備え、
さらに、Ｘ線光学素子５を取り付け該直線導入機２によ
って支えられる円筒６を斜面機構によって軸方向に動か
す斜面を先端に持つ少なくとも１個の直線導入機２’を
該真空用短管１の側面に備えている。 【効果】 光学素子５の位置および向く方向の調整が簡
単に高精度に行える。また、従来のように蛇腹管を使用
していないので短管１を動かす力が作用しないため使用
中に調整が狂うということがない。また、光学素子５を
取り付けた円筒６を周面から押さえて定するため、光学
素子５は安定に位置と向く方向が維持され、振動の影響
を受け難い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、Ｘ線光学素子保持器
に関するものである。さらに詳しくは、この発明は、Ｘ
線顕微鏡等のＸ線光学機器において、ゾーンプレート、
ウォルタ鏡等の光学素子を真空下所定の位置に、所定の
方向に向けて保持するのに用いられるＸ線光学素子保持
器に関するものである。
に関するものである。さらに詳しくは、この発明は、Ｘ
線顕微鏡等のＸ線光学機器において、ゾーンプレート、
ウォルタ鏡等の光学素子を真空下所定の位置に、所定の
方向に向けて保持するのに用いられるＸ線光学素子保持
器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空容器内で光学素子を保持する
のに、たとえばＸ線顕微鏡では図７に示すように、保持
器短管７１の側面に真空用ＸＹＺステージ７２を備え、
そのステージから突出する棒材の先端に光学素子７５
（図７ではゾーンプレート）を取り付け、光学素子７５
を３次元方向に移動可能にしていた。この場合、光学素
子７５の向く方向の調整は、保持器短管７１の両側に真
空フランジ７４を介して蛇腹管７３を取り付けて保持器
短管７１の傾きを調整することで行っていた。あるいは
図８に示すように、保持器短管８１の軸に垂直な２つの
面に沿ってそれぞれ３個づつの直線導入機８２を外周に
備え、光学素子８５（図８ではウォルタ鏡）を取り付け
た円筒８６を直線導入機８２で支え、保持器短管８１の
軸に垂直な方向の移動と光学素子８６の向く方向の調整
を行っていた。この場合、軸方向の移動は保持器短管８
１の両側に真空フランジ８４を介して蛇腹管８３を取り
付け、保持器短管８１を移動することで行っていた。
のに、たとえばＸ線顕微鏡では図７に示すように、保持
器短管７１の側面に真空用ＸＹＺステージ７２を備え、
そのステージから突出する棒材の先端に光学素子７５
（図７ではゾーンプレート）を取り付け、光学素子７５
を３次元方向に移動可能にしていた。この場合、光学素
子７５の向く方向の調整は、保持器短管７１の両側に真
空フランジ７４を介して蛇腹管７３を取り付けて保持器
短管７１の傾きを調整することで行っていた。あるいは
図８に示すように、保持器短管８１の軸に垂直な２つの
面に沿ってそれぞれ３個づつの直線導入機８２を外周に
備え、光学素子８５（図８ではウォルタ鏡）を取り付け
た円筒８６を直線導入機８２で支え、保持器短管８１の
軸に垂直な方向の移動と光学素子８６の向く方向の調整
を行っていた。この場合、軸方向の移動は保持器短管８
１の両側に真空フランジ８４を介して蛇腹管８３を取り
付け、保持器短管８１を移動することで行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の通りの従来の保
持法はいずれも、蛇腹管７３、８３が変形可能であるこ
とを利用して、真空内操作だけでは足りない自由度を補
っている。Ｘ線光学素子７５、８５の位置や向く方向は
マイクロメータオーダの精密調整が必要であるが、蛇腹
管７３、８３を用いる方法では、蛇腹管７３、８３の弾
性力や管内部が真空であるための大気圧のために精密調
整は非常に困難で試行錯誤を繰り返してようやく必要な
精度が得られるという状況であった。
持法はいずれも、蛇腹管７３、８３が変形可能であるこ
とを利用して、真空内操作だけでは足りない自由度を補
っている。Ｘ線光学素子７５、８５の位置や向く方向は
マイクロメータオーダの精密調整が必要であるが、蛇腹
管７３、８３を用いる方法では、蛇腹管７３、８３の弾
性力や管内部が真空であるための大気圧のために精密調
整は非常に困難で試行錯誤を繰り返してようやく必要な
精度が得られるという状況であった。
【０００４】また、保持器短管７１、８１には常に力が
働いているため徐々に調整が狂い、再度調整しなければ
ならなくなるという問題もあった。しかも、ＸＹＺステ
ージ７２を用いる図７の方法では、光学素子７１が棒材
の先端に取り付けられるため不安定で振動の影響を受け
易いということも問題になっていた。
働いているため徐々に調整が狂い、再度調整しなければ
ならなくなるという問題もあった。しかも、ＸＹＺステ
ージ７２を用いる図７の方法では、光学素子７１が棒材
の先端に取り付けられるため不安定で振動の影響を受け
易いということも問題になっていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記問題点
に鑑み、真空用短管が、その軸に垂直な２つの面に沿っ
てそれぞれ３個づつの直線導入機を外周に備え、さら
に、真空光学素子を取り付け該直線導入機によって支え
られる円筒を斜面機構によって軸方向に動かす斜面を先
端に持つ少なくとも１個の直線導入機を該真空用短管の
側面に備えていることを特徴とするＸ線光学素子保持器
を提出するものである。
に鑑み、真空用短管が、その軸に垂直な２つの面に沿っ
てそれぞれ３個づつの直線導入機を外周に備え、さら
に、真空光学素子を取り付け該直線導入機によって支え
られる円筒を斜面機構によって軸方向に動かす斜面を先
端に持つ少なくとも１個の直線導入機を該真空用短管の
側面に備えていることを特徴とするＸ線光学素子保持器
を提出するものである。
【０００６】
【作用】この発明では、真空用短管が、その軸に垂直な
２つの面に沿ってそれぞれ３個づつの直線導入機を外周
に備え、光学素子を取り付けた円筒を該直線導入機で支
え、直線導入機を真空外から操作するため、光学素子の
短管の軸に垂直な方向の移動と姿勢の調整を精密に行う
ことができる。また、該短管の側面に備えられた、斜面
機構によって軸方向に動かす斜面を先端に持つ少なくと
も１個の直線導入機を真空外から操作することによっ
て、光学素子の軸方向の移動も精密に行うことができ
る。
２つの面に沿ってそれぞれ３個づつの直線導入機を外周
に備え、光学素子を取り付けた円筒を該直線導入機で支
え、直線導入機を真空外から操作するため、光学素子の
短管の軸に垂直な方向の移動と姿勢の調整を精密に行う
ことができる。また、該短管の側面に備えられた、斜面
機構によって軸方向に動かす斜面を先端に持つ少なくと
も１個の直線導入機を真空外から操作することによっ
て、光学素子の軸方向の移動も精密に行うことができ
る。
【０００７】
【実施例】実施例１ 第１の実施例を図１および図２に示す。図２は図１のＡ
−Ａ’断面をＢ方向から見た図である。この図１および
図２に例示したように、保持器短管１の軸に垂直な面内
で回転対称に３個ずつの直線導入機２が保持器短管１の
外周の２箇所に取り付けられている。ウォルタ鏡５を納
めた円筒６が６個の直線導入機２によって支えられてい
る。上部の２個の直線導入機を緩めて直線導入機の先端
を円筒６から離し、下部の４個の直線導入機の先端位置
を調整することにより、円筒６、すなわちウオルタ鏡５
を保持器短管１の軸に垂直な任意の方向に動かすことが
できる。また、円筒６、すなわちウォルタ鏡５の向きを
変え、任意の方向に向けることができる。
−Ａ’断面をＢ方向から見た図である。この図１および
図２に例示したように、保持器短管１の軸に垂直な面内
で回転対称に３個ずつの直線導入機２が保持器短管１の
外周の２箇所に取り付けられている。ウォルタ鏡５を納
めた円筒６が６個の直線導入機２によって支えられてい
る。上部の２個の直線導入機を緩めて直線導入機の先端
を円筒６から離し、下部の４個の直線導入機の先端位置
を調整することにより、円筒６、すなわちウオルタ鏡５
を保持器短管１の軸に垂直な任意の方向に動かすことが
できる。また、円筒６、すなわちウォルタ鏡５の向きを
変え、任意の方向に向けることができる。
【０００８】このようにして、保持器短管１の両端に真
空フランジ４を介して接続された短管３の軸に、ウォル
タ鏡の軸を一致させた。この共通軸が光軸になる。円筒
６、すなわちウォルタ鏡５の軸上の位置調整は、直線導
入機２’の軸の先端に取り付けた斜面部材７の上下で、
円筒６の側面に取り付けた２組のピン８、９を動かすこ
とによって行う。たとえば、円筒６を図１で右に動かす
ときには、まず上部の２個の直線導入機２をわずかに円
筒６から離したままの状態で、斜面部材７を引き上げ
る。円筒６を左に動かしたいときには、斜面部材７を押
し下げればよい。このようにしてウォルタ鏡の位置を決
めた後で、上部の離してあった２個の直線導入機２の軸
の先端で円筒６を押さえて固定した。実施例２ 第２の実施例を図３および図４に示す。図４は図３のＡ
−Ａ’断面をＢ方向から見た図である。上記の第１の実
施例においては、２本のピン８と２本のピン９とが垂直
に並んでいるのに対して、この例では２本のピン３８と
２本のピン３９とが水平に並んでいる。２つの例におけ
るピンの役割は同じで、この例でも、円筒３６すなわち
ウォルタ鏡３５の軸上の位置調整は、直線導入機３２’
の軸の先端に取り付けた斜面部材３７の上下で、円筒３
６の側面に取り付けた２組のピン３８、３９を動かすこ
とによって行う。第１の実施例と同様に光軸合わせをし
た後、上部の２個の直線導入機３２をわずかに円筒３６
から離したままの状態で、斜面部材３７を引き上げるこ
とによって円筒３６を右に動かした。左に動かすときに
は斜面部材３７を押し下げた。円筒の固定は、第１の実
施例と同様に、上部の離してあった２個の直線導入機３
２の軸の先端で円筒３６を押さえることによって行っ
た。 ピンの配置は、上記の２つの例に限らず、斜面部
材の形状を選ぶことによってかなり自由に決められる。
斜面部材の直線導入機の軸への取り付け部を小さくして
おけば、円筒を保持器短管に挿入するときに斜面部材を
回避し易くなる。実施例３ 第３の実施例を図５および図６に示す。図６は図５のＡ
−Ａ’断面をＢ方向から見た図である。上記の第１およ
び第２の実施例においはて、斜面の動きを光学素子を取
り付けた円筒に伝えるのにピンを用いているのに対し
て、この例では円筒５６に付けた鍔状部材５８を用いて
いる。図６において、直線導入機５２”を引いておいて
直線導入機５２’を押し下げると斜面部材５７が鍔状部
材５８を押し、円筒５６が手前に（図５では右に）動
く。直線導入機５２’を引いておいて直線導入機５２”
を押し下げると、円筒５６が奥に（図５では左に）動
く。６個の直線導入機５２の使い方は、第１、第２の実
施例と同じである。
空フランジ４を介して接続された短管３の軸に、ウォル
タ鏡の軸を一致させた。この共通軸が光軸になる。円筒
６、すなわちウォルタ鏡５の軸上の位置調整は、直線導
入機２’の軸の先端に取り付けた斜面部材７の上下で、
円筒６の側面に取り付けた２組のピン８、９を動かすこ
とによって行う。たとえば、円筒６を図１で右に動かす
ときには、まず上部の２個の直線導入機２をわずかに円
筒６から離したままの状態で、斜面部材７を引き上げ
る。円筒６を左に動かしたいときには、斜面部材７を押
し下げればよい。このようにしてウォルタ鏡の位置を決
めた後で、上部の離してあった２個の直線導入機２の軸
の先端で円筒６を押さえて固定した。実施例２ 第２の実施例を図３および図４に示す。図４は図３のＡ
−Ａ’断面をＢ方向から見た図である。上記の第１の実
施例においては、２本のピン８と２本のピン９とが垂直
に並んでいるのに対して、この例では２本のピン３８と
２本のピン３９とが水平に並んでいる。２つの例におけ
るピンの役割は同じで、この例でも、円筒３６すなわち
ウォルタ鏡３５の軸上の位置調整は、直線導入機３２’
の軸の先端に取り付けた斜面部材３７の上下で、円筒３
６の側面に取り付けた２組のピン３８、３９を動かすこ
とによって行う。第１の実施例と同様に光軸合わせをし
た後、上部の２個の直線導入機３２をわずかに円筒３６
から離したままの状態で、斜面部材３７を引き上げるこ
とによって円筒３６を右に動かした。左に動かすときに
は斜面部材３７を押し下げた。円筒の固定は、第１の実
施例と同様に、上部の離してあった２個の直線導入機３
２の軸の先端で円筒３６を押さえることによって行っ
た。 ピンの配置は、上記の２つの例に限らず、斜面部
材の形状を選ぶことによってかなり自由に決められる。
斜面部材の直線導入機の軸への取り付け部を小さくして
おけば、円筒を保持器短管に挿入するときに斜面部材を
回避し易くなる。実施例３ 第３の実施例を図５および図６に示す。図６は図５のＡ
−Ａ’断面をＢ方向から見た図である。上記の第１およ
び第２の実施例においはて、斜面の動きを光学素子を取
り付けた円筒に伝えるのにピンを用いているのに対し
て、この例では円筒５６に付けた鍔状部材５８を用いて
いる。図６において、直線導入機５２”を引いておいて
直線導入機５２’を押し下げると斜面部材５７が鍔状部
材５８を押し、円筒５６が手前に（図５では右に）動
く。直線導入機５２’を引いておいて直線導入機５２”
を押し下げると、円筒５６が奥に（図５では左に）動
く。６個の直線導入機５２の使い方は、第１、第２の実
施例と同じである。
【０００９】
【発明の効果】この発明の真空光学素子保持器を用いる
ことによって、光学素子の位置および向く方向の調整が
簡単に高精度に行える。また、蛇腹管を使用していない
ので短管を動かす力が作用しないため使用中に調整が狂
うということがない。また、光学素子を取り付けた円筒
を周囲から押さえて固定するため、光学素子は安定に位
置と向く方向が維持され、振動の影響を受け難い。
ことによって、光学素子の位置および向く方向の調整が
簡単に高精度に行える。また、蛇腹管を使用していない
ので短管を動かす力が作用しないため使用中に調整が狂
うということがない。また、光学素子を取り付けた円筒
を周囲から押さえて固定するため、光学素子は安定に位
置と向く方向が維持され、振動の影響を受け難い。
【００１０】また、上記の第１および第２の実施例では
ウォルタ鏡を、第３の実施例ではゾーンプレートを光学
素子として円筒に取り付けたが、相互の交換は当然にも
可能であり、この２種類に限らず他の種類の光学素子を
取り付けることもできる。また、観察試料保持器として
も使用可能である。
ウォルタ鏡を、第３の実施例ではゾーンプレートを光学
素子として円筒に取り付けたが、相互の交換は当然にも
可能であり、この２種類に限らず他の種類の光学素子を
取り付けることもできる。また、観察試料保持器として
も使用可能である。
【図１】この発明の第１の実施例で、ウォルタ鏡の保持
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図２】図１の実施例の断面図である。
【図３】この発明の第２の実施例で、ウォルタ鏡の保持
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図４】図３の実施例の断面図である。
【図５】この発明の第３の実施例をゾーンプレートの保
持を示す正面図である。
持を示す正面図である。
【図６】図５の実施例の断面図である。
【図７】ＸＹＺステージを用いる従来の光学素子保持方
法でゾーンプレートを保持する例を示す正面図である。
法でゾーンプレートを保持する例を示す正面図である。
【図８】直線導入機を用いる従来の光学素子保持方法で
ウォルタ鏡を保持する例を示す正面図である。
ウォルタ鏡を保持する例を示す正面図である。
１，３１，５１，７１，８１ 保持器短管 ２，２’，３２，３２’，５２，５２’，５２”，８２
直線導入機 ３，３３，５３ 接続短管 ４，３４，５４，７４，８４ 真空フランジ ５，３５，５５，８５ ウォルタ鏡 ６，３６，５６，８６ 円筒 ７，３７，５７，５７’ 斜面部材 ８，９，３８，３９ ピン ５５，７５ ゾーンプレート ５８ 鍔状部材 ７２ ＸＹＺステージ ７３，８３ 蛇腹管
直線導入機 ３，３３，５３ 接続短管 ４，３４，５４，７４，８４ 真空フランジ ５，３５，５５，８５ ウォルタ鏡 ６，３６，５６，８６ 円筒 ７，３７，５７，５７’ 斜面部材 ８，９，３８，３９ ピン ５５，７５ ゾーンプレート ５８ 鍔状部材 ７２ ＸＹＺステージ ７３，８３ 蛇腹管
Claims (1)
- 【請求項１】 真空用短管が、その軸に垂直な２つの面
に沿ってそれぞれ３個づつの直線導入機を外周に備え、
さらに、Ｘ線光学素子を取り付け該直線導入機によって
支えられる円筒を斜面機構によって軸方向に動かす斜面
を先端に持つ少なくとも１個の直線導入機を該真空用短
管の側面に備えていることを特徴とするＸ線光学素子保
持器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5144066A JPH075374A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | Ｘ線光学素子保持器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5144066A JPH075374A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | Ｘ線光学素子保持器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075374A true JPH075374A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15353511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5144066A Withdrawn JPH075374A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | Ｘ線光学素子保持器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075374A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6271163B1 (en) | 1998-07-22 | 2001-08-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body and method of preparing the same |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP5144066A patent/JPH075374A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6271163B1 (en) | 1998-07-22 | 2001-08-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body and method of preparing the same |
| US6428741B2 (en) | 1998-07-22 | 2002-08-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body and method of preparing the same |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |