JPH0750210B2 - Observation optical device - Google Patents

Observation optical device

Info

Publication number
JPH0750210B2
JPH0750210B2 JP60137429A JP13742985A JPH0750210B2 JP H0750210 B2 JPH0750210 B2 JP H0750210B2 JP 60137429 A JP60137429 A JP 60137429A JP 13742985 A JP13742985 A JP 13742985A JP H0750210 B2 JPH0750210 B2 JP H0750210B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image
objective lens
reflected
optical path
inspected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP60137429A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS61295513A (en
Inventor
英治 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP60137429A priority Critical patent/JPH0750210B2/en
Publication of JPS61295513A publication Critical patent/JPS61295513A/en
Publication of JPH0750210B2 publication Critical patent/JPH0750210B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の技術分野) 本発明は、被検物体を互いに垂直な二つの方向から共通
の対物レンズを用いて同時に観察する観察光学装置に関
する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an observation optical apparatus for simultaneously observing an object to be inspected from two directions perpendicular to each other using a common objective lens.

(発明の背景) 従来、この種の観察光学装置は、例えば2本のオプティ
カルファイバーのコアとコアとを接続する作業に先だ
ち、該両コアの軸合わせのために、該両コアを互いに垂
直な二つの方向から共通の対物レンズを用いて同時に観
察するために用いられるものであり、このような従来の
観察光学系としては例えば第4図に示すようなものがあ
る。
(Background of the Invention) Conventionally, in this type of observation optical device, for example, prior to the work of connecting the cores of two optical fibers, the cores of the two optical fibers are perpendicular to each other for axial alignment of the cores. It is used for simultaneously observing from two directions using a common objective lens, and such a conventional observation optical system is, for example, one as shown in FIG.

すなわち、第4図に示す観察光学装置は、共通の対物レ
ンズ1の光軸に対して45゜傾けて反射部材2が設けら
れ、該対物レンズ1と反射部材2との間に被検物体とし
て接続されるべき2本のオプティカルファイバーのコア
3、4(図では該両コア3、4の接続部の断面が示され
ている)が配置されており、不図示の光源からの照明光
により照明されたコア3、4から対物レンズ1に直接入
射した第1の光束5により直接像Aが形成され、該コア
3、4が反射部材2で反射された後対物レンズ1に入射
した第2の光束6により反射像Bが形成されるように構
成されたものである。
That is, the observation optical device shown in FIG. 4 is provided with the reflecting member 2 tilted by 45 ° with respect to the optical axis of the common objective lens 1, and as an object to be inspected between the objective lens 1 and the reflecting member 2. Two optical fiber cores 3 and 4 to be connected (in the drawing, a cross section of a connecting portion of both cores 3 and 4 is shown) are arranged, and illumination is performed by illumination light from a light source (not shown). An image A is directly formed by the first light flux 5 that is directly incident on the objective lens 1 from the cores 3 and 4, and the second light beam is incident on the objective lens 1 after the cores 3 and 4 are reflected by the reflecting member 2. The reflected image B is formed by the light beam 6.

しかしながら、このような従来の観察光学装置では、物
体距離の異なる2つの物点(コア3、4および反射部材
2によるコア3、4の反射像)を共通の対物レンズ1で
同時に観察しているので、原理的に倍率差が生じ、この
倍率差により直接像Aと反射像Bの間で明るさの差が生
じてしまうと共にその大きさが異なっていた。さらに、
直接像Aのピント合せは対物レンズ1を動かすことによ
り、反射像Bのピント合せは反射部材2を対物レンズ1
の光軸に直角な方向に動かすことによりそれぞれ行なう
のであるが、該対物レンズ1は10倍程度の拡大光学系で
あるので、直接像Aおよび反射像Bの微妙なピント調整
が難しい。したがってこれらの理由から直接像Aおよび
反射像Bの観察がしにくく、前記両コア3、4の軸合わ
せに時間がかかり、作業性が悪いという問題点があっ
た。
However, in such a conventional observation optical device, two object points having different object distances (cores 3 and 4 and reflected images of the cores 3 and 4 by the reflecting member 2) are simultaneously observed with the common objective lens 1. Therefore, in principle, a difference in magnification occurs, and this difference in magnification causes a difference in brightness between the direct image A and the reflected image B, and also the size thereof is different. further,
The direct image A is focused by moving the objective lens 1, and the reflected image B is focused by moving the reflecting member 2 to the objective lens 1.
The objective lens 1 is a magnifying optical system of about 10 times, and it is difficult to finely adjust the direct image A and the reflected image B. Therefore, for these reasons, it is difficult to directly observe the image A and the reflected image B, it takes time to align the cores 3 and 4, and there is a problem that workability is poor.

(発明の目的) 本発明は、このような従来の問題点に着目して成された
もので、被検物体の直接像を形成するための第1の光束
とその間接像を形成するための第2の光束との間での倍
率差をなくすことにより、該両像の明るさおよび大きさ
が等しく、かつ該両像の微妙なピント調整が容易であ
り、したがって直接像Aおよび反射像Bの観察がし易い
観察光学装置を提供することを目的としている。
(Object of the Invention) The present invention has been made in view of such conventional problems, and is for forming a first light flux for forming a direct image of an object to be inspected and an indirect image thereof. By eliminating the difference in magnification between the second light flux and the second light flux, the brightness and size of both images are equal, and delicate focus adjustment of both images is easy, and therefore the direct image A and the reflected image B are easily adjusted. It is an object of the present invention to provide an observation optical device that makes it easy to observe.

(発明の概要) かかる目的を達成するための本発明の要旨は、被検物体
を互いに垂直な二つの方向から共通の対物レンズを用い
て同時に観察する観察光学装置において、前記対物レン
ズの光軸に対して傾けて反射部材を設けると共に該反射
部材と前記対物レンズとの間に前記被検物体を配置し、
該被検物体から直接前記対物レンズに入射して該被検物
体の直接像を形成するための第1の光束の光路と該被検
物体から前記反射部材で反射された後前記対物レンズに
入射して該被検物体の反射像を形成するための第2の光
束の光路とに分離する光路分離部材を設け、該光路分離
部材により分離された第1の光束の光路と第2の光束の
光路との少なくとも一方の光路中に倍率補正レンズを光
軸方向に移動可能に設け、さらに該第1の光束の光路に
よる直接像と第2の光束の光路による反射像とを一つの
視野に合成させる像合成部材を設けて成ることを特徴と
する観察光学装置に存する。
(Summary of the Invention) The gist of the present invention for achieving such an object is to provide an observation optical device for simultaneously observing an object to be inspected from two directions perpendicular to each other, using an optical axis of the objective lens. With a reflecting member tilted with respect to the object to be inspected between the reflecting member and the objective lens,
An optical path of a first light flux for directly entering the objective lens from the object to be inspected to form a direct image of the object to be inspected and incident on the objective lens after being reflected from the object to be inspected by the reflecting member. Then, an optical path separating member for separating the optical path of the second light flux for forming a reflected image of the object to be inspected is provided, and the optical path of the first light flux and the second light flux of the second light flux separated by the optical path separating member are provided. A magnification correction lens is provided in at least one of the optical paths so as to be movable in the optical axis direction, and a direct image by the optical path of the first light flux and a reflected image by the optical path of the second light flux are combined into one visual field. An observing optical device is characterized in that it is provided with an image synthesizing member.

そして、上記観察光学装置では、前記第1の光束の光路
および第2の光束の光路の少なくとも一方の光路中に設
けられた倍率補正レンズによって該両光路の光束によっ
てそれぞれ形成される物体像の間での倍率差が補正さ
れ、これによって前記被検物体の直接像および間接像に
ついてその明るさおよび大きさが等しくなり、かつ該倍
率補正レンズを光軸方向に移動させることにより、直接
像Aおよび反射像Bの少なくとも一方の微妙なピント調
整を容易に行なうことができる。
In the observation optical device, the magnification correction lens provided in at least one of the optical paths of the first light flux and the optical path of the second light flux causes a gap between the object images formed by the light fluxes of the both light paths. Is corrected so that the brightness and size of the direct image and the indirect image of the object to be inspected are equalized, and the direct image A and the direct image are moved by moving the magnification correction lens in the optical axis direction. Subtle focus adjustment of at least one of the reflected images B can be easily performed.

(実施例) 以下、図面に基づいて本発明の各実施例を説明する。な
お、各実施例において同様の部位には同一の符号を付し
て重複した説明を省略する。
(Embodiment) Each embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In each embodiment, the same parts are designated by the same reference numerals, and the duplicated description will be omitted.

第1図および第2図は本発明の第1実施例を示してお
り、第1図は観察光学装置の概略的な光学系の配置を示
す断面図である。
1 and 2 show a first embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a sectional view showing a schematic arrangement of an optical system of an observation optical apparatus.

第1図に示す観察光学装置は、共通の対物レンズ1の光
軸1aに対して45゜傾けて反射部材2が設けられており、
該対物レンズ1と反射部材2との間に被検物体として接
続されるべき2本のオプティカルファイバーのコア3、
4(図では該両コア3、4の接続部の断面が示されてい
る)が対物レンズの光軸1aに対して垂直に配置されてい
る。
The observation optical device shown in FIG. 1 is provided with a reflecting member 2 tilted by 45 ° with respect to the optical axis 1a of the common objective lens 1,
Two optical fiber cores 3 to be connected as an object to be inspected between the objective lens 1 and the reflecting member 2,
4 (in the drawing, the cross section of the connecting portion between the cores 3 and 4 is shown) is arranged perpendicular to the optical axis 1a of the objective lens.

該対物レンズ1は、物体距離の異なる2つの物点(コア
3、4および反射部材2によるコア3、4の反射像)に
対して良好に収差補正されており、その倍率は10×〜20
×程度である。
The objective lens 1 is well corrected for aberrations with respect to two object points (cores 3 and 4 and reflection images of the cores 3 and 4 by the reflecting member 2) having different object distances, and its magnification is 10 × to 20 ×.
It is about X.

7は該コア3、4を照明する光源である。A light source 7 illuminates the cores 3 and 4.

該対物レンズ1の後方には、コア3、4から直接前記対
物レンズ1に入射して該コア3、4の直接像Aを形成す
るための第1の光束5の光路と、コア3、4から反射部
材2で反射された後対物レンズ1に入射して該コア3、
4の反射像Bを形成するための第2の光束6の光路とに
分離する光路分離部材としての接合プリズム8が設けら
れている。
Behind the objective lens 1, the optical paths of the first light flux 5 for directly entering the objective lens 1 from the cores 3 and 4 to form the direct image A of the cores 3 and 4, and the cores 3 and 4. Is reflected by the reflecting member 2 and then enters the objective lens 1,
The junction prism 8 is provided as an optical path separating member that separates the optical path of the second light beam 6 for forming the reflected image B of No. 4 from the optical path separating member.

該接合プリズム8は、断面が直角二等辺三角形の直角プ
リズム8aと断面が平行四辺形の菱形プリズム8bとから構
成され、この接合面は半透過面80と成っている。
The cemented prism 8 is composed of a right-angled prism 8a having an isosceles right triangle cross section and a rhomboid prism 8b having a parallelogram cross section, and this cemented surface is a semi-transmissive surface 80.

該接合プリズム8から射出された第1の光束5の光路中
には、直角プリズム9、倍率補正レンズとしての凸レン
ズ10、および直角プリズム11が設けられており、接合プ
リズム8から射出された第2の光束6の光路中には直角
プリズム12が設けられている。該凸レンズ10は、直接像
Aのほうが上記物体距離の相違により反射像Bよりも倍
率が大きいため、この倍率差を補正して直接像Aと反射
像Bとを同じ大きさにするために設けられた縮小光学系
であり、光軸1bに沿って移動可能と成っている。
A right-angle prism 9, a convex lens 10 as a magnification correction lens, and a right-angle prism 11 are provided in the optical path of the first light flux 5 emitted from the junction prism 8, and the second prism 8 emitted from the junction prism 8 is provided. A right-angle prism 12 is provided in the optical path of the luminous flux 6. The convex lens 10 is provided to correct the difference in magnification so that the direct image A and the reflected image B have the same size because the direct image A has a larger magnification than the reflected image B due to the difference in the object distance. This is a reduction optical system, which is movable along the optical axis 1b.

直角プリズム11と直角プリズム12との中間位置には、該
直角プリズム11から射出される第1の光束5の光路によ
る直接像と直角プリズム12から射出される第2の光束6
の光路による反射像とを一つの視野14に合致させる像合
成部材としての直角プリズム13が配置されている。そし
て、視野14の合成像は、図示なき撮影手段を介して、観
察される。
At the intermediate position between the right-angle prism 11 and the right-angle prism 12, a direct image of the first light beam 5 emitted from the right-angle prism 11 and the second light beam 6 emitted from the right-angle prism 12 are formed.
A right-angle prism 13 is arranged as an image synthesizing member for matching the reflected image from the optical path of 1 with one visual field 14. Then, the composite image of the visual field 14 is observed through a photographing means (not shown).

上記構成を有する観察光学装置では、反射部材2で反射
された光源7からの照明光でコア3、4を照明して対物
レンズ1に入射した第1の光束5の光路と、光源7から
の照明光でコア3、4を照明し、反射部材2で反射され
た後対物レンズ1に入射した第2の光束6の光路とは接
合プリズム8により分離される。すなわち、対物レンズ
1から射出された第1の光束5は半透過面80を透過して
第1の光束5の光路にそって進み、直角プリズム8aの反
射面で反射された後該直角プリズム8aから直角プリズム
9に向けて射出され、他方、対物レンズ1から射出され
た第2の光束6は半透過面80で反射されて第2の光束6
の光路にそって進み、菱形プリズム8bの反射面で反射さ
れた後該菱形プリズム8bから直角プリズム12に向けて射
出される。
In the observation optical device having the above-described configuration, the optical path of the first light flux 5 that enters the objective lens 1 by illuminating the cores 3 and 4 with the illumination light from the light source 7 reflected by the reflecting member 2 and the light from the light source 7 The junction prism 8 separates the optical path of the second light flux 6 which is incident on the objective lens 1 after being reflected by the reflecting member 2 from the cores 3 and 4 by the illumination light. That is, the first light beam 5 emitted from the objective lens 1 passes through the semi-transmissive surface 80, travels along the optical path of the first light beam 5, is reflected by the reflecting surface of the rectangular prism 8a, and then is reflected by the rectangular prism 8a. The second light beam 6 emitted from the objective lens 1 is reflected by the semi-transmissive surface 80 and the second light beam 6 is emitted.
Traveling along the optical path of, and after being reflected by the reflecting surface of the rhombus prism 8b, it is emitted from the rhombus prism 8b toward the right-angle prism 12.

直角プリズム8aから射出された第1の光束5は、直角プ
リズム9で反射されて凸レンズ10に入射し、該凸レンズ
10の収斂作用を受けた後、直角プリズム11により直角プ
リズム13の反射面13aに向けて反射される。
The first light beam 5 emitted from the right-angle prism 8a is reflected by the right-angle prism 9 and enters the convex lens 10, and the convex lens 10
After being subjected to the converging action of 10, it is reflected by the right-angle prism 11 toward the reflecting surface 13a of the right-angle prism 13.

菱形プリズム8bから射出された第2の光束6は、直角プ
リズム12により直角プリズム13の反射面13bに向けて反
射される。
The second light beam 6 emitted from the rhombus prism 8b is reflected by the right-angle prism 12 toward the reflecting surface 13b of the right-angle prism 13.

この直角プリズム13は、直角プリズム11からの第1の光
束5と直角プリズム12からの第2の光束6とを、直角プ
リズム13の稜線を境界として隣接するように組合せ、各
光束による直接像Aと反射像Bとを第2図(a),
(b)に示すように一つの視野14内に合成する。このた
めに、2つの光軸1bと1cとは直角プリズム11及び12との
間で一直線上に合致し、視野合成部材としての直角プリ
ズム13の稜線が光軸に対して直角に交わるように配置さ
れている。
The right-angle prism 13 combines the first light beam 5 from the right-angle prism 11 and the second light beam 6 from the right-angle prism 12 so that they are adjacent to each other with the ridge of the right-angle prism 13 as a boundary, and a direct image A of each light beam is formed. And a reflected image B in FIG. 2 (a),
As shown in (b), they are combined in one visual field 14. For this reason, the two optical axes 1b and 1c are aligned on a straight line between the right-angle prisms 11 and 12, and the ridges of the right-angle prism 13 as a visual field synthesizing member are arranged so as to intersect at right angles to the optical axis. Has been done.

第2図(a),(b)において、視野14の左側半部には
直接像Aが、視野14の右側半分には反射像Bがそれぞれ
形成されている。前記凸レンズ10を第1の光束5の第1
光路中に設けたことにより直接像Aが対物レンズ1単独
によって形成される場合に比して縮され、これによって
直接像Aと反射像Bとが等しい倍率となっている。該直
接像Aにおいて、A1はコア3の直接像であり、A2はコア
4の直接像である。また、反射像Bにおいて、B1はコア
3の反射像であり、B2はコア4の反射像である。
In FIGS. 2A and 2B, a direct image A is formed on the left half of the visual field 14 and a reflected image B is formed on the right half of the visual field 14. The convex lens 10 is connected to the first of the first light flux 5.
Since the direct image A is provided in the optical path, the direct image A is contracted as compared with the case where the objective lens 1 is formed alone, so that the direct image A and the reflected image B have the same magnification. In the direct image A, A1 is a direct image of the core 3 and A2 is a direct image of the core 4. In the reflected image B, B1 is the reflected image of the core 3 and B2 is the reflected image of the core 4.

該直接像Aおよび反射像Bは前記凸レンズ10を第1の光
束5の光路中に設けたことによりほぼ等しい倍率となっ
ており、したがって直接像A1,A2および反射像B1、B2
は、の大きさおよび明るさが等しくなっている。
The direct image A and the reflected image B have substantially the same magnification because the convex lens 10 is provided in the optical path of the first light flux 5, and therefore the direct images A1 and A2 and the reflected images B1 and B2 are obtained.
Have the same size and brightness.

該直接像A1、A2および反射像B1、B2のピント調整につい
ては、光源7および反射部材2を除く観察光学装置全体
を図の上下方向に動かすことにより直接像A1、A2のピン
ト調整を行なうことができ、反射部材2を対物レンズ1
の光軸1aに直角な方向に動かすことにより反射像B1、B2
のピント調整を独立に行なうことができる。
Regarding the focus adjustment of the direct images A1 and A2 and the reflected images B1 and B2, the direct observation of the direct images A1 and A2 is performed by moving the entire observation optical device except the light source 7 and the reflecting member 2 in the vertical direction of the figure. And the reflecting member 2 is attached to the objective lens 1
By moving in the direction perpendicular to the optical axis 1a of
The focus can be adjusted independently.

また、前記凸レンズ10を光軸方向に動かすことにより直
接像A1、A2の微妙なピント調整を独立に行なうことがで
きる。
Further, by moving the convex lens 10 in the optical axis direction, the delicate focus adjustment of the images A1 and A2 can be performed independently.

このようにしてピント調整された直接像A1、A2および反
射像B1、B2を一の視野14内で観察することにより、互い
に接続される二つのコア3、4を互いに直角な二つの方
向から同時に観察することができる。
By observing the direct images A1 and A2 and the reflected images B1 and B2 thus focused in one visual field 14, the two cores 3 and 4 connected to each other can be simultaneously viewed from two directions perpendicular to each other. Can be observed.

直接像A1、A2および反射像B1、B2を視野14内で観察した
際に、第2図(a)に示すように直接像A1、A2および反
射像B1、B2が互いにズレている場合には、二つのコア
3、4の軸が合致していないので、第2図(b)に示す
ように直接像A1が直接像A2に、反射像B1が反射像B2にそ
れぞれ合致するまで該視野14を観察しながら二つのコア
3、4を相対的に動かせばよい。
When the direct images A1 and A2 and the reflected images B1 and B2 are observed in the visual field 14, when the direct images A1 and A2 and the reflected images B1 and B2 are displaced from each other as shown in FIG. , The axes of the two cores 3 and 4 do not coincide, so that the direct image A1 coincides with the direct image A2 and the reflected image B1 coincides with the reflected image B2, respectively, as shown in FIG. 2 (b). It is sufficient to move the two cores 3 and 4 relatively while observing.

第3図は本発明の第2の実施例を示しており、この第2
の実施例に係る観察光学装置は、倍率補正レンズとして
前記凸レンズ10の代りに凹レンズ30を菱形プリズム8bと
直角プリズム12との間の光路中に、光軸1cに沿って移動
可能に配置したものであり、その他の構成は上記第1実
施例のものと同様である。
FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention.
In the observation optical device according to the embodiment, a concave lens 30 is used as a magnification correction lens instead of the convex lens 10 in the optical path between the rhomboid prism 8b and the right-angle prism 12, and is arranged so as to be movable along the optical axis 1c. The other configurations are similar to those of the first embodiment.

したがって、第3図に示す観察光学装置では、反射像B
は、直接像Aの倍率とほぼ等しくなるように凹レンズ30
によって拡大されている。
Therefore, in the observation optical device shown in FIG.
Is a concave lens 30 so that the magnification of the direct image A is almost equal to
Has been expanded by.

直接像A1、A2および反射像B1、B2のピント調整について
は、上記第1実施例の場合と同様に、光源7および反射
部材2を除く観察光学装置全体を図の上下方向に動かす
ことにより直接像A1、A2のピント調整を行なうことがで
き、反射部材2を対物レンズ1の光軸1aに直角な方向に
動かすことにより反射像B1、B2のピント調整を行なうこ
とができる。
As for the focus adjustment of the direct images A1 and A2 and the reflected images B1 and B2, as in the case of the first embodiment, by directly moving the entire observation optical device except the light source 7 and the reflecting member 2 in the vertical direction in the drawing, The images A1 and A2 can be adjusted in focus, and the reflection images B1 and B2 can be adjusted by moving the reflecting member 2 in a direction perpendicular to the optical axis 1a of the objective lens 1.

また、上記第2実施例によれば、ピント合わせのしにく
い反射像B1、B2についても、前記凹レンズ30を光軸方向
に動かすことにより該反射像B1、B2の微妙なピント調整
を独立に行なうことができる。
Further, according to the second embodiment, even with respect to the reflected images B1 and B2 which are difficult to focus, the concave lens 30 is moved in the optical axis direction to perform the delicate focus adjustment of the reflected images B1 and B2 independently. be able to.

なお、前記倍率補正レンズを、直接像Aおよび反射像B
の倍率が等しくなるように第1の光束5の光路および第
2の光束6の光路との両方に設けてもよく、このように
した場合には、各倍率補正レンズを動かすことにより直
接像A1、A2の微妙なピント調整を独立に行なうことがで
きると共に反射像B1、B2の微妙なピント調整も独立に行
なうことができる。また、このような微妙なピント調整
が可能であるのは、拡大像を形成する対物レンズ1の像
側に倍率補正レンズが設けられているからである。従来
のごとく、反射部材2の移動によって物体距離を変化さ
せてピント合せを行なう場合には、像距離が物体距離変
化に対して倍率の2乗倍だけ変化するため、反射部材2
の動きのピント変化に対するきき具合が大き過ぎて微調
整が難しくなっていたのである。
In addition, the magnification correction lens is used for direct image A and reflected image B.
May be provided in both the optical path of the first light flux 5 and the optical path of the second light flux 6 so that the magnifications of A and B are equal. In such a case, the direct image A1 can be obtained by moving each magnification correction lens. , A2 can be finely adjusted independently, and also the reflected images B1, B2 can be finely adjusted independently. Further, such delicate focus adjustment is possible because a magnification correction lens is provided on the image side of the objective lens 1 forming an enlarged image. When focusing is performed by changing the object distance by moving the reflecting member 2 as in the conventional case, the image distance changes by the square of the magnification with respect to the change of the object distance.
It was difficult to make fine adjustments because the degree to which the movement of the subject changed its focus was too great.

さらに、上記第1および第2実施例では、直角プリズム
9、直角プリズム11および直角プリズム12を用いること
により光束を全反射させているので、該直角プリズム
9、直角プリズム11および直角プリズム12の代りに反射
鏡を用いた場合に比べて光量の損失が少ない。
Further, in the above-mentioned first and second embodiments, since the light beam is totally reflected by using the right-angle prism 9, the right-angle prism 11 and the right-angle prism 12, the right-angle prism 9, right-angle prism 11 and right-angle prism 12 are used instead. There is less loss of light compared to the case where a reflecting mirror is used.

また、上記各実施例では、直接像Aと反射像Bとの倍率
差がほとんどないので、上記観察光学装置を画像処理系
と連結した場合には、画像処理がしやすくなる。
Further, in each of the above embodiments, since there is almost no difference in magnification between the direct image A and the reflected image B, image processing becomes easier when the observation optical device is connected to the image processing system.

なお、上記各実施例において、前記反射鏡2を対物レン
ズ1の光軸1aに対して傾ける角度は45゜に限定されるも
のではない。
In each of the above embodiments, the angle at which the reflecting mirror 2 is tilted with respect to the optical axis 1a of the objective lens 1 is not limited to 45 °.

(発明の効果) 本発明に係る観察光学装置によれば、被検物体の直接像
を形成する第1の光束の光路と被検物体の反射像を形成
する第2の光束の光路との少なくとも一方に設けられた
倍率補正レンズによって該両光束間の倍率差が補正さ
れ、これによって前記直接像および間接像の明るさおよ
び大きさが等しくなり、かつ該倍率補正レンズを光軸方
向に移動させることにより、該直接像および反射像の少
なくとも一方の微妙なピント調整を容易に行なうことが
でき、したがって該直接像および反射像の観察がし易く
なり、作業性が向上する。
(Effect of the Invention) According to the observation optical device of the present invention, at least the optical path of the first light beam forming the direct image of the object to be inspected and the optical path of the second light beam forming the reflected image of the object to be inspected. A magnification correction lens provided on one side corrects a difference in magnification between the two light fluxes, whereby the brightness and size of the direct image and the indirect image become equal, and the magnification correction lens is moved in the optical axis direction. As a result, delicate focus adjustment of at least one of the direct image and the reflected image can be easily performed, so that the direct image and the reflected image can be easily observed and workability is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図および第2図は本発明の第1実施例を示してお
り、第1図は観察光学装置を示す概略的な光学系の断面
図、第2図(a)は被検物体である2本のコアの軸が合
致してない状態を示す観察光学装置の視野図、第2図
(b)は該2本のコアの軸が合致した状態を示す観察光
学装置の視野図、第3図は本発明の第2実施例に係る観
察光学装置を示す概略的な光学系の断面図、第4図は従
来例を示す概略的な光学系の断面図である。 1……対物レンズ、1a……対物レンズの光軸 2……反射部材、3、4……コア(被検物体) 5……第1の光束、6……第2の光束 8……接合プリズム(光束分離部材) 10……凸レンズ(倍率補正レンズ) 13……直角プリズム(像合成部材) 30……凹レンズ(倍率補正レンズ) A……直接像、B……反射像
1 and 2 show a first embodiment of the present invention. FIG. 1 is a schematic sectional view of an optical system showing an observation optical device, and FIG. 2 (a) is an object to be inspected. FIG. 2B is a perspective view of the observation optical device showing a state where the axes of the two cores are not aligned with each other. FIG. 2B is a perspective view of the observation optical device showing a state where the axes of the two cores are aligned with each other. FIG. 4 is a schematic sectional view of an optical system showing an observation optical apparatus according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a schematic sectional view of an optical system showing a conventional example. 1 ... Objective lens, 1a ... Optical axis of objective lens 2 ... Reflecting member, 3, 4 ... Core (object to be inspected) 5 ... First light flux, 6 ... Second light flux 8 ... Bonding Prism (beam separation member) 10 …… Convex lens (magnification correction lens) 13 …… Right-angle prism (image combining member) 30 …… Concave lens (magnification correction lens) A …… Direct image, B …… Reflected image

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被検物体を互いに垂直な二つの方向から共
通の対物レンズを用いて同時に観察する観察光学装置に
おいて、前記対物レンズの光軸に対して傾けて反射部材
を設けると共に該反射部材と前記対物レンズとの間に前
記被検物体を配置し、 該被検物体から直接前記対物レンズに入射して該被検物
体の直接像を形成するための第1の光束の光路と該被検
物体から前記反射部材で反射された後前記対物レンズに
入射して該被検物体の反射像を形成するための第2の光
束の光路とに分離する光路分離部材を設け、 該光路分離部材により分離された第1の光束の光路と第
2の光束の光路との少なくとも一方の光路中に倍率補正
レンズを光軸方向に移動可能に設け、 さらに該第1の光束の光路による直接像と第2の光束の
光路による反射像とを一つの視野に合成させる像合成部
材を設けて成ることを特徴とする観察光学装置。
1. An observation optical apparatus for simultaneously observing an object to be inspected from two directions perpendicular to each other by using a common objective lens, wherein a reflecting member is provided tilted with respect to the optical axis of the objective lens, and the reflecting member is provided. The object to be inspected between the objective lens and the objective lens, and the optical path of the first light beam for directly entering the objective lens from the object to form the direct image of the object and the object to be inspected. An optical path separating member is provided, which is reflected from the object to be inspected by the reflecting member and then enters the objective lens to be separated into an optical path of a second light flux for forming a reflected image of the object to be inspected. A magnification correction lens is movably provided in the optical axis direction in at least one of the optical path of the first light flux and the optical path of the second light flux separated by And the reflection image of the second light flux One observation optical device characterized by comprising providing an image synthesis member for combining the visual field.
JP60137429A 1985-06-24 1985-06-24 Observation optical device Expired - Fee Related JPH0750210B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60137429A JPH0750210B2 (en) 1985-06-24 1985-06-24 Observation optical device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60137429A JPH0750210B2 (en) 1985-06-24 1985-06-24 Observation optical device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61295513A JPS61295513A (en) 1986-12-26
JPH0750210B2 true JPH0750210B2 (en) 1995-05-31

Family

ID=15198419

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60137429A Expired - Fee Related JPH0750210B2 (en) 1985-06-24 1985-06-24 Observation optical device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0750210B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS623207A (en) * 1985-06-28 1987-01-09 Sumitomo Electric Ind Ltd Mechanism for observing and connecting optical fiber

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59101213U (en) * 1982-12-27 1984-07-07 古河電気工業株式会社 Optical fiber observation device
JPS6070407A (en) * 1983-09-27 1985-04-22 Sumitomo Electric Ind Ltd Method and mechanism for observing optical fiber core
JPS6159405A (en) * 1984-08-31 1986-03-26 Sumitomo Electric Ind Ltd Two-directional simultaneous observing device for transmissive body

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61295513A (en) 1986-12-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8040513B2 (en) Dual emission microscope
JPH08190056A (en) Optical observation device
US4763968A (en) Surgical microscope
JP3885334B2 (en) Differential interference microscope
EP0173345B1 (en) Method and apparatus for simultaneously observing a transparent object from two directions
JPH0750210B2 (en) Observation optical device
US4412127A (en) In-focus detector for binocular stereoscope
US3877779A (en) Dual magnification microscope
US4783160A (en) Stereoscopic microscope
JPH02188711A (en) Laser optical device
JPH0949971A (en) Microscope
JPS62166310A (en) Stereomicroscope using solid-state image pickup element
JP3454851B2 (en) Stereo microscope
JPH0766107B2 (en) Variable viewing angle observation optical system
JPS6217722A (en) Single objective stereoscopic vision binocular microscope
JP2846368B2 (en) Binocular microscope
JP2796164B2 (en) Microscope binocular tube
JPH0625809B2 (en) Optical fiber core observation device
JP2524644Y2 (en) Imaging device for image processing
JPH08271798A (en) Plural-head microscope
JP2725369B2 (en) Infrared microscope
JPS61243419A (en) Optical microscope
JPH01193810A (en) Stereomicroscope
JP2001188178A (en) Stepeoscopic microscope
JPH10161036A (en) Discussion device for stereoscopic microscope

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees