JPH0733866Y2 - Gas leak measuring device - Google Patents

Gas leak measuring device

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JPH0733866Y2
JPH0733866Y2 JP9108787U JP9108787U JPH0733866Y2 JP H0733866 Y2 JPH0733866 Y2 JP H0733866Y2 JP 9108787 U JP9108787 U JP 9108787U JP 9108787 U JP9108787 U JP 9108787U JP H0733866 Y2 JPH0733866 Y2 JP H0733866Y2
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JP
Japan
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gas
piston
differential pressure
cylinder
gas leakage
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JP9108787U
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Japanese (ja)
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JPS63199054U (en
Inventor
幹治 藤原
Original Assignee
日本分光工業株式会社
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案はガス漏出量測定装置に係り、特に半透膜のガス
透過性能試験装置等に用いられ、半透膜等からのガス漏
出量を測定するガス漏出量測定装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial field of application] The present invention relates to an apparatus for measuring gas leakage amount, and particularly used for a gas permeation performance test apparatus for semipermeable membranes, etc. The present invention relates to a device for measuring gas leakage amount.

[従来の技術及びその問題点] この種のガス漏出量測定装置では、漏出ガスを、水が充
満された水封ビン内に導き、該ビン内の水をこのガスの
圧力で他の容器に移し、この水の重量または体積を測定
するようになっていた。
[Prior Art and its Problems] In this type of gas leakage measuring device, the leaked gas is introduced into a water-sealed bottle filled with water, and the water in the bottle is transferred to another container by the pressure of this gas. It was adapted to measure the weight or volume of this water.

したがって、漏出ガスが水溶性ガスである場合には適用
できなかった。
Therefore, it cannot be applied when the leaked gas is a water-soluble gas.

他のガス漏出量測定装置では、差圧センサでレファラン
スガスとサンプルガスとの差圧を検出し、演算により流
量を算出し、これを表示している。
In other gas leakage amount measuring devices, the differential pressure between the reference gas and the sample gas is detected by the differential pressure sensor, the flow rate is calculated by calculation, and this is displayed.

しかし、半透膜からの漏出ガスの流量に応じて、半透膜
の漏出側の圧力が異なるので、測定条件を一定にするこ
とができず、測定誤差が大きくなる。
However, since the pressure on the leaking side of the semipermeable membrane differs depending on the flow rate of the leaked gas from the semipermeable membrane, the measurement conditions cannot be made constant and the measurement error increases.

本考案の目的は、上記問題点に鑑み、あらゆるガスに適
用でき、しかも、正確にガス漏出量を測定することがで
きるガス漏出量測定装置を提供することにある。
In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a gas leakage amount measuring device which can be applied to all gases and can accurately measure the gas leakage amount.

[問題点を解決するための手段] 本考案に係るガス漏出量測定装置では、 外部からの漏出ガスが流路を通って内部に導入されるシ
リンダと、 該シリンダ内を移動して内容積を可変させるピストン
と、 該ピストンを駆動する駆動手段と、 隔壁で仕切られた一方の隔室に該流路が導通され、該隔
壁で仕切られた他方の隔室にレファランスガスが導通さ
れ、隔室間の差圧を検出する差圧検出器と、 該差圧が零になるように該駆動手段を制御する制御手段
と、 該ピストンの移動量を用いてガス漏出量を求める手段
と、 を有することを特徴としている。
[Means for Solving Problems] In the gas leakage amount measuring device according to the present invention, a cylinder into which leaked gas from the outside is introduced into the inside through a flow path, and a cylinder inside which moves inside the cylinder to reduce the internal volume. The variable piston, the driving means for driving the piston, and the flow passage to one of the compartments partitioned by a partition wall, and the reference gas to the other compartment partitioned by the partition wall. A differential pressure detector for detecting a differential pressure between the two, a control means for controlling the driving means so that the differential pressure becomes zero, and a means for obtaining a gas leakage amount by using the moving amount of the piston. It is characterized by that.

[実施例] 第1図に基づいて本考案の実施例を説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

シリンダ10の先端面には、漏出ガスをシリンダ10内へ導
く流入管12が接続されている。この漏出ガスは、例えば
半透膜透過性能試験装置の半透膜から漏出したガスであ
り、水溶性であるかどうかを問わない。
An inflow pipe 12 that guides leaked gas into the cylinder 10 is connected to the tip end surface of the cylinder 10. The leaked gas is, for example, a gas leaked from the semipermeable membrane of the semipermeable membrane permeation performance testing device, and may be water-soluble or not.

この流入管12とリザーバ14は、それぞれ差圧検出器16の
各隔室に連通されており、漏出ガスの圧力とレファラン
スガスの圧力の差圧が検出される。検出信号はコントロ
ーラ18に供給され、後述する如く、この差圧が零になる
よう、シリンダ10に嵌入されたピストン20が後退駆動さ
れる。差圧検出器16は高感度であり、例えば1mmH2Oの微
差圧をも検出できるので、高精度でガス漏出量を測定で
きる。
The inflow pipe 12 and the reservoir 14 are connected to the respective compartments of the differential pressure detector 16, and the differential pressure between the pressure of the leaked gas and the pressure of the reference gas is detected. The detection signal is supplied to the controller 18, and as described later, the piston 20 fitted in the cylinder 10 is driven backward so that the differential pressure becomes zero. The differential pressure detector 16 has high sensitivity and can detect a slight differential pressure of, for example, 1 mmH 2 O, so that the gas leak amount can be measured with high accuracy.

本実施例では、大気圧の代わりにレファランスガスの圧
力を用いているので、測定中に大気圧が変動してもその
影響を受けない。そのうえ、周囲温度が変化してもシリ
ンダ10内とリザーバ14内の温度は略同一に変化するの
で、自動的に温度補正が行われ、ピストン20の移動量が
シリンダ10内のガス量(物質量)に比例する。
In this embodiment, since the pressure of the reference gas is used instead of the atmospheric pressure, even if the atmospheric pressure fluctuates during the measurement, it is not affected. Moreover, even if the ambient temperature changes, the temperature inside the cylinder 10 and the temperature inside the reservoir 14 change approximately the same, so the temperature is automatically corrected, and the movement amount of the piston 20 is determined by the amount of gas (substance amount) in the cylinder 10. ).

シリンダ10とピストン20との間は、Oリング21によりシ
ールされている。ピストン20の基端部にはブラケット22
が固着され、このブラケット22にねじ棒24が螺貫されて
おり、ねじ棒24を回転させるとピストン20がその軸方向
へ駆動される。ねじ棒24の基端は平歯車26の中心に固着
され、平歯車26には平歯車28が噛合している。
An O-ring 21 seals between the cylinder 10 and the piston 20. Bracket 22 at the base of piston 20
Is fixed and the screw rod 24 is screwed through the bracket 22. When the screw rod 24 is rotated, the piston 20 is driven in the axial direction. A base end of the screw rod 24 is fixed to the center of a spur gear 26, and a spur gear 28 is meshed with the spur gear 26.

したがって、平歯車28をパルスモータ30で回転させる
と、ピストン20がその軸方向へ駆動される。このパルス
モータ30の回転は、コントローラ18により制御される。
Therefore, when the spur gear 28 is rotated by the pulse motor 30, the piston 20 is driven in its axial direction. The rotation of the pulse motor 30 is controlled by the controller 18.

平歯車28の回転量は、パルスジェネレータ32により検出
される。平歯車28が所定角回転する毎にパルスジェネレ
ータ32からカウンタ34へパルスが供給され、このパルス
数がカウントされる。
The rotation amount of the spur gear 28 is detected by the pulse generator 32. Each time the spur gear 28 rotates by a predetermined angle, a pulse is supplied from the pulse generator 32 to the counter 34, and the number of pulses is counted.

本実施例では、平歯車26、28及びブラケット22、ねじ棒
24からなる減速機構およびパルスジェネレータ32を用い
ているので、ピストン20を微調整でき、ガス漏出量の高
精度測定が可能になる。
In this embodiment, the spur gears 26, 28, the bracket 22, and the screw rod
Since the deceleration mechanism consisting of 24 and the pulse generator 32 are used, the piston 20 can be finely adjusted, and the gas leakage amount can be measured with high accuracy.

ピストン20の前限位置は位置センサ36により検出され、
この検出信号によりカウンタ34のカウント値がリセット
される。このカウント値はデータ処理装置38へ供給さ
れ、データ処理装置38は、これをガス漏出量(体積)に
換算し、ガス漏出量及び測定開始時点からの経過時間を
表示器40及びレコーダ42へ供給する。
The front end position of the piston 20 is detected by the position sensor 36,
The count value of the counter 34 is reset by this detection signal. This count value is supplied to the data processing device 38, and the data processing device 38 converts this into a gas leakage amount (volume) and supplies the gas leakage amount and the elapsed time from the measurement start time to the display 40 and the recorder 42. To do.

シリンダ10の先端側面には、ガス排出用の排出管44が接
続されている。排出管44の流路は、電磁弁46により開閉
される。測定開始前に位置センサ36がピストン20の前限
位置を検出していない場合には、コントローラ18は、電
磁弁46を開にし、パルスモータ30を回転させ、前限位置
が検出されるとパルスモータ30の回転を停止させ、電磁
弁46を閉にする。
An exhaust pipe 44 for exhausting gas is connected to the front end side surface of the cylinder 10. The flow path of the discharge pipe 44 is opened and closed by a solenoid valve 46. If the position sensor 36 does not detect the end position of the piston 20 before the start of measurement, the controller 18 opens the solenoid valve 46, rotates the pulse motor 30, and outputs a pulse when the end position is detected. The rotation of the motor 30 is stopped and the solenoid valve 46 is closed.

コントローラ18に測定スタート信号が供給されると、コ
ントローラ18は、差圧検出器16から差圧を読み取り、こ
の差圧が零になるようパルスモータ30を回転させて、ピ
ストン20を後退させる。
When the measurement start signal is supplied to the controller 18, the controller 18 reads the differential pressure from the differential pressure detector 16, rotates the pulse motor 30 so that the differential pressure becomes zero, and retracts the piston 20.

これにより、シリンダ10内のガス圧がリザーバ14内のガ
ス圧に等しくなる。したがって、半透膜のガス漏出側の
圧力がガス流量によらず一定になり、一定の測定条件下
でガス漏出量を測定できる。なお、リザーバ14内のガス
圧を小さくすれば、ガス量の測定感度が向上する。
As a result, the gas pressure in the cylinder 10 becomes equal to the gas pressure in the reservoir 14. Therefore, the pressure on the gas leakage side of the semipermeable membrane becomes constant regardless of the gas flow rate, and the gas leakage amount can be measured under constant measurement conditions. If the gas pressure in the reservoir 14 is reduced, the measurement sensitivity of the gas amount is improved.

パルスモータ30の回転により、カウンタ34のカウント値
が上昇し、表示器40に漏出ガス量及び測定開始時点から
の経過時間が表示され、レコーダ42によりそのグラフが
作成される。
The rotation of the pulse motor 30 increases the count value of the counter 34, the amount of leaked gas and the elapsed time from the start of measurement are displayed on the display 40, and the recorder 42 creates the graph.

このようにしてガス漏出量が正確に測定され、半透膜の
ガス透過性能を知ることができる。
In this way, the gas leakage amount is accurately measured, and the gas permeation performance of the semipermeable membrane can be known.

なお、本考案は、リザーバ14を用いずに差圧検出器16の
一方の隔室を大気に連通させてもよい。この場合、レフ
ァランスガスは大気自体である。また、リザーバ14を一
定温度に保ってもよい。
In the present invention, one compartment of the differential pressure detector 16 may be connected to the atmosphere without using the reservoir 14. In this case, the reference gas is the atmosphere itself. Further, the reservoir 14 may be kept at a constant temperature.

さらに、シリンダ10内の圧力や温度を検出し、その検出
値をデータ処理装置38に供給して、標準状態での漏出ガ
ス量を求めるようにしてもよい。
Further, the pressure or temperature in the cylinder 10 may be detected, and the detected value may be supplied to the data processing device 38 to obtain the leaked gas amount in the standard state.

[考案の効果] 本考案に係るガス漏出量測定装置では、漏出ガスをシリ
ンダ内に導入し、導入される漏出ガスのガス圧とレファ
ランスガスのガス圧との差を差圧検出器で検出し、この
差圧が零になるようにピストンを駆動し、ピストンの移
動量を用いてガス漏出量を求めるようになっているの
で、水溶性であるかどうかを問わずあらゆるガスの漏出
量を測定でき、しかも、半透膜等のガス漏出側の圧力を
ガス漏出流量によらず一定にすることができるので、一
定の測定条件の下で正確なガス漏出量を測定することが
できるという優れた効果がある。
[Advantage of the Invention] In the gas leakage measuring device according to the present invention, the leaked gas is introduced into the cylinder, and the difference between the gas pressure of the leaked gas introduced and the gas pressure of the reference gas is detected by the differential pressure detector. , The piston is driven so that this pressure difference becomes zero, and the amount of gas leakage is calculated using the amount of movement of the piston, so any gas leakage amount can be measured regardless of whether it is water-soluble or not. In addition, since the pressure on the gas leak side such as the semipermeable membrane can be made constant regardless of the gas leak flow rate, it is possible to accurately measure the gas leak amount under a constant measurement condition. effective.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本考案の実施例に係るガス漏出量測定装置の概
略構成図である。 10:シリンダ、14:リザーバ 16:差圧検出器、20:ピストン 30:パルスモータ、32:パルスジェネレータ
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a gas leakage amount measuring device according to an embodiment of the present invention. 10: Cylinder, 14: Reservoir 16: Differential pressure detector, 20: Piston 30: Pulse motor, 32: Pulse generator

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】外部からの漏出ガスが流路を通って内部に
導入されるシリンダと、 該シリンダ内を移動して内容積を可変させるピストン
と、 該ピストンを駆動する駆動手段と、 隔壁で仕切られた一方の隔室に該流路が導通され、該隔
壁で仕切られた他方の隔室にレファランスガスが導通さ
れ、隔室間の差圧を検出する差圧検出器と、 該差圧が零になるように該駆動手段を制御する制御手段
と、 該ピストンの移動量を用いてガス漏出量を求める手段
と、 を有することを特徴とするガス漏出量測定装置。
1. A cylinder in which leaked gas from the outside is introduced into the inside through a flow path, a piston that moves in the cylinder to change the internal volume, drive means for driving the piston, and a partition wall. The flow path is connected to one of the partitioned chambers, the reference gas is connected to the other of the partitioned chambers, and a differential pressure detector for detecting a differential pressure between the separated chambers and the differential pressure detector. A gas leakage amount measuring device, comprising: a control unit that controls the driving unit so that the value becomes zero; and a unit that obtains a gas leakage amount using the movement amount of the piston.
JP9108787U 1987-06-13 1987-06-13 Gas leak measuring device Expired - Lifetime JPH0733866Y2 (en)

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