JPH07336184A - Energy confining type piezoelectric resonator - Google Patents
Energy confining type piezoelectric resonatorInfo
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- JPH07336184A JPH07336184A JP12657194A JP12657194A JPH07336184A JP H07336184 A JPH07336184 A JP H07336184A JP 12657194 A JP12657194 A JP 12657194A JP 12657194 A JP12657194 A JP 12657194A JP H07336184 A JPH07336184 A JP H07336184A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、厚みモードを利用した
エネルギー閉じ込め型圧電共振子に関し、特に、振動エ
ネルギーを共振領域及びその近傍に効果的に閉じ込め得
る構造が備えられたエネルギー閉じ込め型圧電共振子に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an energy trapping type piezoelectric resonator using a thickness mode, and more particularly to an energy trapping type piezoelectric resonance provided with a structure capable of effectively trapping vibration energy in a resonance region and its vicinity. Regarding the child.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、厚み縦振動モードや厚みすべり振
動モードをなどの厚みモードを利用した種々のエネルギ
ー閉じ込め型圧電共振子が知られている。厚みモードを
利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子では、例えば
圧電板の両主面に共振電極が形成されており、両主面に
形成された共振電極は圧電板を介して互いに重なり合う
ように配置されている。また、両主面に形成された共振
電極は、それぞれ、該共振電極が形成されている面より
も狭く形成されており、それによって、両主面の共振電
極が重なり合っている共振領域が、圧電板の主面よりも
狭い領域に限定され、振動エネルギーの閉じ込めが行わ
れている。2. Description of the Related Art Various energy trapping type piezoelectric resonators utilizing thickness modes such as a thickness longitudinal vibration mode and a thickness shear vibration mode have been conventionally known. In the energy trap type piezoelectric resonator utilizing the thickness mode, for example, the resonance electrodes are formed on both main surfaces of the piezoelectric plate, and the resonance electrodes formed on both main surfaces are arranged so as to overlap each other via the piezoelectric plate. ing. Further, the resonance electrodes formed on both main surfaces are formed to be narrower than the surface on which the resonance electrodes are formed, so that the resonance region where the resonance electrodes on both main surfaces are overlapped is piezoelectric. The vibration energy is confined in a region narrower than the main surface of the plate.
【0003】エネルギー閉じ込め型圧電共振子では、共
振領域を圧電板の面積よりも狭く限定することにより、
共振領域外で圧電共振子を機械的に保持することが可能
であるため、種々の共振部品や帯域フィルタなどに広く
用いられている。In the energy trap type piezoelectric resonator, by limiting the resonance region to be narrower than the area of the piezoelectric plate,
Since it is possible to mechanically hold the piezoelectric resonator outside the resonance region, it is widely used in various resonance components and bandpass filters.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の厚みモードを利
用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子では、共振領域
を圧電体の電極が形成されている面よりも狭く限定する
ことにより、振動エネルギーの閉じ込めが行われてい
る。しかしながら、この振動エネルギーの閉じ込めは、
共振領域外に全く振動が漏洩しないほど完全なものでは
なく、幾分かの振動が共振領域外に漏洩せざるを得なか
った。In the conventional energy trapping type piezoelectric resonator utilizing the thickness mode, the resonance energy is confined by narrowing the resonance region narrower than the surface on which the electrode of the piezoelectric body is formed. Has been done. However, the confinement of this vibrational energy is
It was not perfect so that no vibration leaked out of the resonance region, and some vibration had to leak out of the resonance region.
【0005】従って、共振領域外で圧電共振子を機械的
に保持した場合、共振特性に影響が生じることがあっ
た。本発明の目的は、より一層エネルギー閉じ込め効率
に優れ、従って、優れた共振特性を発揮し得る厚みモー
ドを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子を提供す
ることにある。Therefore, when the piezoelectric resonator is mechanically held outside the resonance region, the resonance characteristic may be affected. It is an object of the present invention to provide an energy trapping type piezoelectric resonator utilizing a thickness mode which is more excellent in energy trapping efficiency and therefore can exhibit excellent resonance characteristics.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、厚みモードを
利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子において、動
吸振現象を利用することによりエネルギー閉じ込め効率
を高めたことに特徴を有する。The present invention is characterized in that an energy trapping type piezoelectric resonator utilizing a thickness mode has a higher energy trapping efficiency by utilizing a dynamic vibration absorption phenomenon.
【0007】すなわち、本発明のエネルギー閉じ込め型
圧電共振子は、対向し合う第1,第2の面を有し、第
1,第2の面を結ぶ方向が厚み方向とされている圧電体
と、前記第1,第2の面において、それぞれ、部分的に
形成されており、かつ圧電体を介して厚み方向に重なり
合うように形成された第1,第2の共振電極とを備え、
第1,第2の共振電極の重なり合う領域が共振領域とさ
れている、厚みモードを利用したエネルギー閉じ込め型
圧電共振子であり、前記第1,第2の面の少なくとも一
方の面において、共振領域の外側に設けられた動吸振部
をさらに備えることを特徴とする。That is, the energy trap type piezoelectric resonator of the present invention has a piezoelectric body having first and second surfaces facing each other, and a direction connecting the first and second surfaces is a thickness direction. A first resonance electrode and a second resonance electrode which are partially formed on the first and second surfaces and overlap each other in the thickness direction via a piezoelectric body.
An energy trap type piezoelectric resonator utilizing a thickness mode in which a region where the first and second resonant electrodes overlap is a resonant region, and the resonant region is provided on at least one of the first and second faces. It is further characterized by further comprising a dynamic vibration absorbing portion provided outside the.
【0008】本発明は、上記のように、厚みモードを利
用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子に関する。厚み
モードとしては、厚み縦モードあるいは厚みすべりモー
ドなどの従来より公知の種々の厚みモードを挙げること
ができる。As described above, the present invention relates to an energy trap type piezoelectric resonator utilizing the thickness mode. Examples of the thickness mode include various conventionally known thickness modes such as a thickness longitudinal mode and a thickness sliding mode.
【0009】また、本発明のエネルギー閉じ込め型圧電
共振子は、対向し合う第1,第2の面を有する圧電体を
用いて構成されるが、使用する圧電体としては、チタン
酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスのようなセラミック
スの他、LiTaO3 もしくはLiNbO3 などの圧電
単結晶や水晶などを用いることも可能である。Further, the energy trap type piezoelectric resonator of the present invention is constituted by using a piezoelectric body having first and second surfaces facing each other. The piezoelectric body used is lead zirconate titanate. It is also possible to use a piezoelectric single crystal such as LiTaO 3 or LiNbO 3 or a crystal in addition to a ceramic such as a system piezoelectric ceramic.
【0010】本発明では、上記圧電体の対向し合う第
1,第2の面に共振電極を形成することにより共振領域
が構成され、それによって共振領域に厚みモードの振動
エネルギーが閉じ込められる。ここまでは、従来の厚み
モードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子と同
様である。In the present invention, the resonance region is formed by forming the resonance electrodes on the first and second surfaces of the piezoelectric body which face each other, and thereby the thickness mode vibration energy is confined in the resonance region. Up to this point, it is the same as the conventional energy trap type piezoelectric resonator using the thickness mode.
【0011】本発明では、エネルギー閉じ込め効率を高
めるために、さらに、上記動吸振部が設けられている。
動吸振部とは、動吸振現象により伝達してきた振動を抑
制するように作用する部分であり、この動吸振現象の詳
細は、例えば谷口修著「振動工学」第113頁〜第11
6頁(コロナ社発行)に記載されている。簡単に言え
ば、動吸振現象とは、振動が防止されるべき主振動体
に、副振動体を連結し、該副振動体の固有振動数を適当
に選ぶことにより、主振動体の振動が抑制される現象で
ある。本発明の圧電共振子における上記動吸振部は、こ
の動吸振現象における副振動体に相当し、伝搬してきた
振動が、該動吸振部により、動吸振現象に基づいて抑制
される。In the present invention, the dynamic vibration absorbing portion is further provided in order to enhance the energy trapping efficiency.
The dynamic vibration absorbing portion is a portion that acts to suppress the vibration transmitted by the dynamic vibration absorbing phenomenon. For details of this dynamic vibration absorbing phenomenon, see, for example, Osamu Taniguchi, "Vibration Engineering," pages 113 to 11.
It is described on page 6 (published by Corona). To put it simply, the dynamic vibration absorption phenomenon means that the vibration of the main vibrating body is determined by connecting the sub vibrating body to the main vibrating body whose vibration is to be prevented and appropriately selecting the natural frequency of the sub vibrating body. It is a phenomenon that is suppressed. The dynamic vibration absorbing portion of the piezoelectric resonator of the present invention corresponds to a sub-vibration body in the dynamic vibration absorbing phenomenon, and the propagated vibration is suppressed by the dynamic vibration absorbing portion based on the dynamic vibration absorbing phenomenon.
【0012】本発明では、上記動吸振部は、圧電体の第
1,第2の面の少なくとも一方の面において、上記共振
領域の外側に設けられ、それによって共振領域から伝搬
してきた振動を動吸振現象により抑制することが可能と
されている。In the present invention, the dynamic vibration absorbing portion is provided outside the resonance region on at least one of the first and second surfaces of the piezoelectric body, and thereby the vibration propagated from the resonance region is moved. It is possible to suppress it by the vibration absorption phenomenon.
【0013】本発明のある限定的な局面では、上記動吸
振部は、圧電体の第1,第2の面の少なくとも一方に固
着された動吸振部材で構成されている。このような動吸
振部材を構成する材料としては、特に圧電材料を用いる
必要はなく、適宜の材料により構成することができる。
もっとも、動吸振現象により伝搬してきた振動を減衰さ
せるためには、動吸振部材は、伝搬してきた振動の振動
数と等しい、もしくは該振動数に近い固有振動数を発揮
し得るような材料により構成することが好ましい。もっ
とも、動吸振部の固有振動数は、材料だけでなく、該動
吸振部の形状によっても異なるため、動吸振部の形状を
工夫することにより上記のように伝達されてきた振動を
抑制し得る限り、適宜の材料を用いることができる。In a certain limited aspect of the present invention, the dynamic vibration absorbing portion is composed of a dynamic vibration absorbing member fixed to at least one of the first and second surfaces of the piezoelectric body. It is not necessary to use a piezoelectric material as a material forming such a dynamic vibration absorbing member, and an appropriate material can be used.
However, in order to damp the vibration propagated by the dynamic vibration absorption phenomenon, the dynamic vibration absorption member is made of a material that can exhibit a natural frequency equal to or close to the frequency of the propagated vibration. Preferably. However, since the natural frequency of the dynamic vibration absorbing part differs not only by the material but also by the shape of the dynamic vibration absorbing part, it is possible to suppress the vibration transmitted as described above by devising the shape of the dynamic vibration absorbing part. As long as it is possible to use an appropriate material.
【0014】また、本発明では、好ましくは、動吸振部
材は、第1,第2の共振電極と同一の材料により構成さ
れる。すなわち、動吸振部材を、電極材料と共通の材料
で構成することにより、電極形成工程において動吸振部
を同時に形成することができる。Further, in the present invention, preferably, the dynamic vibration absorbing member is made of the same material as that of the first and second resonance electrodes. That is, by forming the dynamic vibration absorbing member with the same material as the electrode material, the dynamic vibration absorbing portion can be formed at the same time in the electrode forming step.
【0015】さらに、本発明は、上記共振領域を有する
エネルギー閉じ込め型圧電共振子であるが、共振領域に
おいて、第1の共振電極を、所定のギャップを隔てて形
成した第3,第4の共振電極部に分割し、それによって
第3の共振電極部及び第4の共振電極部を入出力端とす
る圧電フィルタを構成してもよい。Further, according to the present invention, there is provided an energy trap type piezoelectric resonator having the above-mentioned resonance region. In the resonance region, a first resonance electrode is formed with a predetermined gap, and third and fourth resonances are formed. The piezoelectric filter may be divided into electrode parts, and thereby the third resonant electrode part and the fourth resonant electrode part may serve as input / output ends.
【0016】さらに、2重モード圧電フィルタを構成す
るために、上記圧電体に2個の共振領域を構成し、該2
個の共振領域間に上記動吸振部を設けてもよい。Further, in order to form a dual mode piezoelectric filter, two resonance regions are formed in the piezoelectric body, and
The dynamic vibration absorbing portion may be provided between the individual resonance regions.
【0017】[0017]
【作用】本発明のエネルギー閉じ込め型圧電共振子で
は、圧電体の対向し合う第1,第2の面に第1,第2の
共振電極を部分的に形成することにより、エネルギー閉
じ込め型の共振領域が構成されている。従って、共振領
域で発生した振動エネルギーは、上記共振領域にほぼ閉
じ込められる。In the energy trapping type piezoelectric resonator of the present invention, the energy trapping type resonance is achieved by partially forming the first and second resonance electrodes on the first and second surfaces of the piezoelectric body which face each other. The area is configured. Therefore, the vibration energy generated in the resonance region is substantially confined in the resonance region.
【0018】さらに、本発明では、共振領域の外側に動
吸振部が設けられている。従って、共振領域から漏洩し
てきた振動のエネルギーが、動吸振現象に基づいて上記
動吸振部により抑制される。よって、本発明のエネルギ
ー閉じ込め型圧電共振子では、上記動吸振部が構成され
ている部分までに、ほぼ確実に振動エネルギーを閉じ込
めることが可能とされている。Further, in the present invention, the dynamic vibration absorbing portion is provided outside the resonance region. Therefore, the energy of vibration leaking from the resonance region is suppressed by the dynamic vibration absorbing portion based on the dynamic vibration absorbing phenomenon. Therefore, in the energy trapping type piezoelectric resonator of the present invention, it is possible to trap the vibrational energy almost certainly up to the portion where the dynamic vibration absorbing portion is formed.
【0019】すなわち、本発明は、従来のエネルギー閉
じ込め型圧電共振子に、さらに動吸振部を設けることに
より、エネルギー閉じ込め効率を一層高めたことに特徴
を有する。That is, the present invention is characterized in that the conventional energy trapping type piezoelectric resonator is further provided with a dynamic vibration absorbing portion to further enhance the energy trapping efficiency.
【0020】[0020]
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be clarified by describing embodiments with reference to the drawings.
【0021】図1は、本発明の第1の実施例に係るエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子を示す斜視図であり、図2
は、該圧電共振子の平面図、図3は正面断面図である。
圧電共振子1は、厚み縦モードを利用したエネルギー閉
じ込め型圧電共振子である。圧電共振子1では、平面形
状が矩形の圧電板2が用いられている。本実施例では、
圧電板2は、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス
により構成されており、図示の矢印P方向に、すなわち
圧電板2の厚み方向に一様に分極処理されている。FIG. 1 is a perspective view showing an energy trap type piezoelectric resonator according to a first embodiment of the present invention.
3 is a plan view of the piezoelectric resonator, and FIG. 3 is a front cross-sectional view.
The piezoelectric resonator 1 is an energy trap type piezoelectric resonator using a thickness extension mode. In the piezoelectric resonator 1, a piezoelectric plate 2 having a rectangular planar shape is used. In this embodiment,
The piezoelectric plate 2 is made of lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramics, and is uniformly polarized in the direction of arrow P shown in the figure, that is, in the thickness direction of the piezoelectric plate 2.
【0022】圧電板2の上面2a上には、中央に、平面
形状が円形の第1の共振電極3が形成されている。ま
た、圧電板2の下面2bには、第1の共振電極3と表裏
対向するように、同じく平面形状が円形の第2の共振電
極4が形成されている。第1,第2の共振電極3,4間
に交流電圧が印加されることにより、第1,第2の共振
電極3,4が重なり合っている領域、すなわち共振領域
が厚み縦振動モードで振動される。共振領域は、圧電板
2の主面の一部の領域に限定されて構成されている。従
って、従来のエネルギー閉じ込め型圧電共振子と同様
に、共振領域に振動エネルギーがほぼ閉じ込められる。A first resonance electrode 3 having a circular planar shape is formed in the center of the upper surface 2a of the piezoelectric plate 2. On the lower surface 2b of the piezoelectric plate 2, a second resonance electrode 4 having a circular planar shape is formed so as to face the first resonance electrode 3 on the front and back sides. When an AC voltage is applied between the first and second resonance electrodes 3 and 4, the region where the first and second resonance electrodes 3 and 4 overlap, that is, the resonance region is vibrated in the thickness longitudinal vibration mode. It The resonance region is limited to a part of the main surface of the piezoelectric plate 2. Therefore, as in the conventional energy trap type piezoelectric resonator, the vibration energy is substantially trapped in the resonance region.
【0023】第1の共振電極3は、一対の接続導電部5
a,5bを介して端子電極6に電気的に接続されてい
る。端子電極6は、圧電板2の上面2aにおいて一方端
縁に沿うように形成されており、外部との電気的接続の
ために用いられる。同様に、圧電板2の下面2bにおい
ても、第2の共振電極4に電気的に接続されるように、
一対の接続導電部7a,7bが形成されている。第2の
共振電極4は、接続導電部7a,7bを介して第2の端
子電極8に電気的に接続されている。The first resonance electrode 3 has a pair of connection conductive portions 5
It is electrically connected to the terminal electrode 6 via a and 5b. The terminal electrode 6 is formed along the one edge on the upper surface 2a of the piezoelectric plate 2 and is used for electrical connection with the outside. Similarly, also on the lower surface 2b of the piezoelectric plate 2, so as to be electrically connected to the second resonance electrode 4,
A pair of connection conductive portions 7a and 7b are formed. The second resonance electrode 4 is electrically connected to the second terminal electrode 8 via the connection conductive portions 7a and 7b.
【0024】上記第1,第2の共振電極3,4、接続導
電部5a,5b,7a,7b及び第1,第2の端子電極
6,8は、圧電板2の上面2a及び下面2bに全面に蒸
着、スパッタリングもしくはメッキ等の薄膜形成法によ
り導電膜を形成し、しかる後パターニングすることによ
り形成され得る。もっとも、上記圧電板2の上面2a及
び下面2b上の上記電極構造は、例えば導電ペーストを
スクリーン印刷し、硬化させることによって形成するこ
とも可能である。The first and second resonance electrodes 3 and 4, the connection conductive portions 5a, 5b, 7a and 7b and the first and second terminal electrodes 6 and 8 are provided on the upper surface 2a and the lower surface 2b of the piezoelectric plate 2. It can be formed by forming a conductive film on the entire surface by a thin film forming method such as vapor deposition, sputtering or plating, and then patterning. However, the electrode structures on the upper surface 2a and the lower surface 2b of the piezoelectric plate 2 can be formed by screen-printing a conductive paste and curing it, for example.
【0025】第1,第2の共振電極3,4、接続導電部
5a,5b,7a,7b及び端子電極6,8は、上記の
ように同一材料により同一工程を経て形成されてもよい
が、別工程を経て形成されていてもよい。また、第1,
第2の共振電極3,4、接続導電部5a,5b,7a,
7b、端子電極6,8を構成する導電性材料としても特
に限定されるものではなく、Cu、Ag、Alもくしは
これらの合金等の適宜の材料を用いることができる。The first and second resonance electrodes 3 and 4, the connection conductive portions 5a, 5b, 7a and 7b, and the terminal electrodes 6 and 8 may be formed of the same material through the same process as described above. It may be formed through another process. Also, the first
The second resonance electrodes 3 and 4, the connection conductive portions 5a, 5b, 7a,
The conductive material forming 7b and the terminal electrodes 6 and 8 is not particularly limited, and an appropriate material such as Cu, Ag, Al or an alloy thereof can be used.
【0026】本実施例の圧電共振子1では、共振領域の
外側において、圧電板2の上面2a上及び下面2b上
に、それぞれ、円環状の動吸振部9,10が設けられて
いる。動吸振部9,10は、例えば樹脂やガラスなどか
らなる絶縁性ペースト状材料を、圧電板2の上面2a及
び下面2bにリング状に印刷することなどにより構成さ
れている。In the piezoelectric resonator 1 of this embodiment, annular dynamic vibration absorbing portions 9 and 10 are provided on the upper surface 2a and the lower surface 2b of the piezoelectric plate 2 outside the resonance region, respectively. The dynamic vibration absorbing portions 9 and 10 are configured by printing an insulating paste-like material such as resin or glass on the upper surface 2a and the lower surface 2b of the piezoelectric plate 2 in a ring shape.
【0027】動吸振部9,10の寸法及び材料について
は、共振領域から漏洩してきた振動の周波数に、動吸振
部9,10の固有振動数が一致するように選択される。
上記のように選択することにより、動吸振部9,10に
おいて、漏洩してきた振動を動吸振現象に基づいて抑制
することができる。従って、本実施例の圧電共振子1で
は、エネルギー閉じ込め型の共振部においてほぼ振動エ
ネルギーが閉じ込められ、さらにわずかに漏洩してきた
振動が、共振領域の外側に設けられている上記動吸振部
9,10により抑制される。よって、従来のエネルギー
閉じ込め型圧電共振子に比べて、振動エネルギーの閉じ
込め効率を効果的に高めることができる。The dimensions and materials of the dynamic vibration absorbing parts 9 and 10 are selected so that the natural frequency of the dynamic vibration absorbing parts 9 and 10 matches the frequency of the vibration leaking from the resonance region.
By selecting as described above, it is possible to suppress the leaked vibration in the dynamic vibration absorbing units 9 and 10 based on the dynamic vibration absorbing phenomenon. Therefore, in the piezoelectric resonator 1 according to the present embodiment, the vibration energy is trapped in the energy trap type resonance portion, and the vibration that leaks slightly is the dynamic vibration absorbing portion 9 provided outside the resonance region. It is suppressed by 10. Therefore, as compared with the conventional energy trap type piezoelectric resonator, the trapping efficiency of vibration energy can be effectively increased.
【0028】従って、第1,第2の端子電極6,8が形
成されている部分を外部との接続に用い、かつ端子電極
6,8が形成されている領域を利用して機械的に保持し
たとしても、共振領域における共振特性に影響が生じ難
い。よって、特性の良好なエネルギー閉じ込め型圧電共
振子を提供することができる。Therefore, the portions where the first and second terminal electrodes 6 and 8 are formed are used for external connection, and the regions where the terminal electrodes 6 and 8 are formed are used to mechanically hold them. Even if it does, the resonance characteristics in the resonance region are unlikely to be affected. Therefore, it is possible to provide an energy trap type piezoelectric resonator having excellent characteristics.
【0029】図4は、本発明の第2の実施例に係るエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子を示す斜視図であり、図5
は、その正面断面図である。圧電共振子21は、細長い
矩形板状の圧電板22を用いて構成されており、厚みす
べり振動モードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共
振子として構成されている。FIG. 4 is a perspective view showing an energy trap type piezoelectric resonator according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a front sectional view thereof. The piezoelectric resonator 21 is configured by using a piezoelectric plate 22 having an elongated rectangular plate shape, and is configured as an energy trap type piezoelectric resonator using a thickness shear vibration mode.
【0030】本実施例では、圧電板22は、平面形状が
細長い矩形のチタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス
により構成されており、図示の矢印P方向、すなわちそ
の主面と平行な方向に分極処理されている。圧電板22
の上面22a上には、一方端面22cから圧電板22の
中央に延びるように第1の共振電極23が形成されてい
る。また、圧電板22の下面22b上においては、端面
22dから圧電板の中央領域に延びるように、第2の共
振電極24が形成されている。In this embodiment, the piezoelectric plate 22 is made of lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramics having an elongated rectangular shape in plan view, and is polarized in the direction of arrow P shown in the figure, that is, in the direction parallel to its principal surface. Has been done. Piezoelectric plate 22
A first resonance electrode 23 is formed on the upper surface 22a of the piezoelectric element 22 so as to extend from the one end surface 22c to the center of the piezoelectric plate 22. Further, on the lower surface 22b of the piezoelectric plate 22, the second resonance electrode 24 is formed so as to extend from the end surface 22d to the central region of the piezoelectric plate.
【0031】第1,第2の共振電極23,24は、圧電
板22の中央領域において互いに対向するように配置さ
れており、該第1,第2の共振電極23,24が対向さ
れている領域により、共振領域が構成される。The first and second resonance electrodes 23 and 24 are arranged so as to face each other in the central region of the piezoelectric plate 22, and the first and second resonance electrodes 23 and 24 face each other. The region constitutes a resonance region.
【0032】すなわち、第1,第2の共振電極23,2
4間に交流電圧を印加することにより、上記共振領域が
厚みすべり振動モードで励振される。この共振領域にお
ける振動は、共振領域が圧電板22の一部の領域に限定
されて構成されているため、上記振動エネルギーは、ほ
ぼ共振領域内に閉じ込められる。That is, the first and second resonance electrodes 23, 2
By applying an AC voltage between the four, the resonance region is excited in the thickness shear vibration mode. The vibration in this resonance region is configured such that the resonance region is limited to a partial region of the piezoelectric plate 22, so the vibration energy is substantially confined in the resonance region.
【0033】本実施例では、共振領域の外側に、すなわ
ち、圧電板22の上面22a上においては、共振領域と
端面22cとの間、並びに共振領域と端面22dとの間
に、動吸振部材25,26が固定されている。動吸振部
材25,26は、平面形状が矩形の細長いストライプ状
の形状を有し、圧電板22の全幅に至るように構成され
ている。もっとも、動吸振部25,26の形状について
は、図4に示した形状に限定されるものではなく、共振
領域から漏洩してきた振動を動吸振現象により抑制し得
る限り、適宜変更することができる。In the present embodiment, the dynamic vibration absorbing member 25 is located outside the resonance region, that is, on the upper surface 22a of the piezoelectric plate 22, between the resonance region and the end face 22c and between the resonance region and the end face 22d. , 26 are fixed. The dynamic vibration-damping members 25 and 26 have an elongated striped shape having a rectangular planar shape, and are configured to reach the entire width of the piezoelectric plate 22. However, the shapes of the dynamic vibration absorbing parts 25 and 26 are not limited to the shapes shown in FIG. 4, and can be appropriately changed as long as the vibration leaking from the resonance region can be suppressed by the dynamic vibration absorbing phenomenon. .
【0034】なお、本実施例では、圧電板22の下面2
2b上においても、共振領域の外側に、動吸振部27,
28が設けられている。動吸振部27,28について
も、上面22a上の動吸振部25,26と同様に構成さ
れている。In this embodiment, the lower surface 2 of the piezoelectric plate 22 is
Also on 2b, the dynamic vibration absorbing parts 27,
28 is provided. The dynamic vibration absorbing parts 27 and 28 are also configured similarly to the dynamic vibration absorbing parts 25 and 26 on the upper surface 22a.
【0035】本実施例の圧電共振子21では、動吸振部
25,26の外側の領域及び動吸振部27,28の外側
の領域において、第1,第2の共振電極23,24を外
部と電気的に接続し、かつ上記動吸振部25〜28の設
けられている部分よりも外側の領域で機械的に保持する
ことにより、第1の実施例の圧電共振子と同様に、動吸
振部が設けられている部分までに、振動エネルギーを確
実に閉じ込めることができる。よって、従来の厚みすべ
り振動モードを利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振
子に比べて、エネルギー閉じ込め効率を効果的に高める
ことが可能となる。In the piezoelectric resonator 21 of this embodiment, the first and second resonance electrodes 23 and 24 are connected to the outside in regions outside the dynamic vibration absorbing parts 25 and 26 and outside the dynamic vibration absorbing parts 27 and 28. Like the piezoelectric resonator of the first embodiment, the dynamic vibration absorbing portions are electrically connected and mechanically held in a region outside the portions where the dynamic vibration absorbing portions 25 to 28 are provided. The vibration energy can be reliably confined up to the portion where is provided. Therefore, the energy trapping efficiency can be effectively increased as compared with the conventional energy trapping type piezoelectric resonator utilizing the thickness shear vibration mode.
【0036】図6は、本発明の第3の実施例に係るエネ
ルギー閉じ込め型圧電共振子の平面図である。第3の実
施例のエネルギー閉じ込め型圧電共振子31は、平面形
状が矩形の圧電板2を用いて構成されており、本実施例
は、矩形の圧電板2の厚み縦振動モードを利用したエネ
ルギー閉じ込め型の圧電共振子である。従って、基本的
には、第3の実施例の圧電共振子31は、第1の実施例
の圧電共振子1と同様に構成されている。よって、第1
の実施例の圧電共振子1と同一部分については、同一の
参照番号を付することにより、その説明は省略する。FIG. 6 is a plan view of an energy trap type piezoelectric resonator according to a third embodiment of the present invention. The energy trap type piezoelectric resonator 31 of the third embodiment is configured by using the piezoelectric plate 2 having a rectangular planar shape. In this embodiment, energy utilizing the thickness longitudinal vibration mode of the rectangular piezoelectric plate 2 is used. It is a confinement type piezoelectric resonator. Therefore, basically, the piezoelectric resonator 31 of the third embodiment is configured similarly to the piezoelectric resonator 1 of the first embodiment. Therefore, the first
The same parts as those of the piezoelectric resonator 1 according to the embodiment are given the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【0037】第3の実施例が、第1の実施例の圧電共振
子1と異なるところは、動吸振部の構造にある。すなわ
ち、図6に示されているように、本実施例の圧電共振子
31では、第1の共振電極3が形成されている共振領域
の外側において、第1の共振電極3と同一材料を用いて
動吸振部33,34が形成されている。動吸振部33,
34は、共振領域の外側において、共振電極を囲む円環
の一部を切断した形状に相当する。言い換えれば、動吸
振部33,34は、第1の実施例の動吸振部9の一部を
分断した形状に相当する。The third embodiment differs from the piezoelectric resonator 1 of the first embodiment in the structure of the dynamic vibration absorbing portion. That is, as shown in FIG. 6, in the piezoelectric resonator 31 of the present embodiment, the same material as that of the first resonance electrode 3 is used outside the resonance region where the first resonance electrode 3 is formed. The dynamic vibration absorbing parts 33 and 34 are formed. Dynamic vibration absorber 33,
Reference numeral 34 corresponds to a shape obtained by cutting a part of a ring surrounding the resonance electrode outside the resonance region. In other words, the dynamic vibration absorbing parts 33, 34 correspond to a shape obtained by dividing a part of the dynamic vibration absorbing part 9 of the first embodiment.
【0038】このように、動吸振部33,34が円環を
分断した形状を有するように構成されているのは、動吸
振部33,34が共振電極3と同一材料により構成され
ており、従って共振電極3と電気的に絶縁する必要があ
るからである。As described above, the dynamic vibration absorbing portions 33 and 34 are configured so as to have a shape in which the ring is divided, because the dynamic vibration absorbing portions 33 and 34 are made of the same material as the resonance electrode 3. Therefore, it is necessary to electrically insulate the resonance electrode 3.
【0039】なお、図7に、圧電板32を透かして下方
の電極形状を平面図で示すように、圧電板32の下面に
おいても、第2の共振電極4の外側に、動吸振部35,
36が形成されている。動吸振部35,36は、上面側
に形成された動吸振部33,34と同様に構成されてい
る。Note that, as shown in the plan view of the lower electrode shape through the piezoelectric plate 32 in FIG. 7, even on the lower surface of the piezoelectric plate 32, the dynamic vibration absorbing parts 35,
36 is formed. The dynamic vibration absorbing parts 35 and 36 are configured similarly to the dynamic vibration absorbing parts 33 and 34 formed on the upper surface side.
【0040】本実施例では、上記動吸振部33〜36
が、第1,第2の共振電極3,4などと同一の材料によ
り構成されているため、第1,第2の共振電極3,4や
端子電極6,8と同一工程により形成することができ
る。従って、動吸振部33〜36を形成するために別途
新たな工程を実施する必要がなく、よって、生産性を低
めることなく動吸振部を構成することができる。In this embodiment, the dynamic vibration absorbing parts 33 to 36 are used.
However, since it is made of the same material as the first and second resonance electrodes 3, 4, etc., it can be formed in the same step as the first, second resonance electrodes 3, 4 and the terminal electrodes 6, 8. it can. Therefore, it is not necessary to separately perform a new process to form the dynamic vibration absorbing parts 33 to 36, and thus the dynamic vibration absorbing parts can be configured without lowering the productivity.
【0041】なお、動吸振部33〜36の寸法及び厚み
については、共振領域から漏洩してきた振動を動吸振現
象により抑制し得るように、適宜定められる。図8は、
本発明の第4の実施例に係るエネルギー閉じ込め型圧電
共振子を説明するための模式的平面図である。本実施例
のエネルギー閉じ込め型圧電共振子41は、厚み縦振動
モードを利用した2重モード圧電フィルタとして構成さ
れている。The dimensions and thickness of the dynamic vibration absorbing parts 33 to 36 are appropriately determined so that the vibration leaking from the resonance region can be suppressed by the dynamic vibration absorbing phenomenon. Figure 8
It is a typical top view for explaining the energy trap type piezoelectric resonator concerning the 4th example of the present invention. The energy trap type piezoelectric resonator 41 of the present embodiment is configured as a dual mode piezoelectric filter utilizing the thickness extensional vibration mode.
【0042】圧電共振子41は、平面形状が矩形の圧電
セラミック板42を用いて構成されており、圧電板42
において、所定距離を隔てて2個の共振領域A,Bが形
成されている。The piezoelectric resonator 41 is composed of a piezoelectric ceramic plate 42 having a rectangular planar shape.
In, two resonance regions A and B are formed at a predetermined distance.
【0043】第1の共振領域Aにおいては、圧電板42
の上面42aにおいて、第3,第4の共振電極部43
a,43bが所定距離を隔てて形成されている。第3,
第4の共振電極部43a,43bは、圧電板42の下面
42bに形成された第2の共振電極44と重なり合うよ
うに形成されている。すなわち、第3,第4の共振電極
部43a,43bは、下面に形成された第2の共振電極
44を上方に投影することにより形成された円を分割す
ることにより得られた形状となるように構成されてい
る。従って、第3,第4の共振電極部43a,43b
は、第1の実施例における第1の共振電極3を2つに分
割した構造に相当する。In the first resonance region A, the piezoelectric plate 42
On the upper surface 42a of the third and fourth resonance electrode portions 43
a and 43b are formed at a predetermined distance. Third,
The fourth resonance electrode portions 43a and 43b are formed so as to overlap with the second resonance electrode 44 formed on the lower surface 42b of the piezoelectric plate 42. That is, the third and fourth resonance electrode portions 43a and 43b have a shape obtained by dividing the circle formed by projecting the second resonance electrode 44 formed on the lower surface upward. Is configured. Therefore, the third and fourth resonance electrode portions 43a and 43b
Corresponds to a structure in which the first resonance electrode 3 in the first embodiment is divided into two.
【0044】同様に、共振領域Bにおいても、圧電板4
2の上面に第3,第4の共振電極部45a,45bが、
圧電板42の下面に第2の共振電極46が形成されてい
る。さらに、圧電板42の上面においては、圧電板42
の1つのコーナー部分近傍に、第1の端子電極47が形
成されており、圧電板42の側面42cに沿う他方のコ
ーナー部分に第2の端子電極48が形成されている。ま
た、第4の共振電極部43bと第3の共振電極部45a
とが導電パターンにより電気的に接続されている。第1
の端子電極47は、接続導電部50を介して第3の共振
電極部43aに電気的に接続されている。また、共振領
域Bの第4の共振電極部45bが、第2の端子電極48
に電気的に接続されている。他方、第2の共振電極4
4,46が圧電板42の下面において接地電極49に電
気的に接続されている。Similarly, in the resonance region B, the piezoelectric plate 4
The third and fourth resonance electrode portions 45a and 45b on the upper surface of 2.
The second resonance electrode 46 is formed on the lower surface of the piezoelectric plate 42. Further, on the upper surface of the piezoelectric plate 42, the piezoelectric plate 42
The first terminal electrode 47 is formed in the vicinity of one corner portion of the above, and the second terminal electrode 48 is formed in the other corner portion along the side surface 42c of the piezoelectric plate 42. In addition, the fourth resonance electrode portion 43b and the third resonance electrode portion 45a
And are electrically connected by a conductive pattern. First
The terminal electrode 47 of is electrically connected to the third resonance electrode portion 43a through the connection conductive portion 50. In addition, the fourth resonance electrode portion 45b in the resonance region B is connected to the second terminal electrode 48.
Electrically connected to. On the other hand, the second resonance electrode 4
4, 46 are electrically connected to the ground electrode 49 on the lower surface of the piezoelectric plate 42.
【0045】よって、本実施例の圧電共振子41では、
エネルギー閉じ込め型の2個の厚み縦振動モードを利用
した共振部が所定距離を隔てて構成されており、第1の
端子電極47を入力端、第2の端子電極48を出力端と
することによりエネルギー閉じ込め型の2重モード圧電
フィルタが構成されている。Therefore, in the piezoelectric resonator 41 of this embodiment,
The energy trapping type resonance part using two thickness longitudinal vibration modes is configured with a predetermined distance, and the first terminal electrode 47 serves as an input end and the second terminal electrode 48 serves as an output end. An energy trapping dual mode piezoelectric filter is constructed.
【0046】さらに、本実施例の圧電共振子41では、
上記第1,第2の共振領域A,B間において、圧電板4
2の上面42a上に動吸振部53が形成されている。動
吸振部53は、第3の実施例と同様に、上記共振電極等
を構成するための電極材料と同一の材料で構成されてい
る。すなわち、細長い矩形形状を有するように、各共振
領域A,Bの外側の領域に、導電膜を形成することによ
り形成されている。Further, in the piezoelectric resonator 41 of this embodiment,
Between the first and second resonance regions A and B, the piezoelectric plate 4
The dynamic vibration absorbing portion 53 is formed on the upper surface 42a of the second. Similar to the third embodiment, the dynamic vibration absorbing portion 53 is made of the same material as the electrode material for forming the resonance electrode and the like. That is, it is formed by forming a conductive film in a region outside each of the resonance regions A and B so as to have an elongated rectangular shape.
【0047】よって、第4の実施例においても、共振電
極等を形成する工程において、動吸振部53を同時に形
成することができる。もっとも、動吸振部53は、電極
材料以外の材料、例えば、絶縁性樹脂やセラミックスを
固着することによって構成してもよい。Therefore, also in the fourth embodiment, the dynamic vibration absorbing portion 53 can be simultaneously formed in the step of forming the resonance electrode and the like. However, the dynamic vibration absorbing portion 53 may be configured by fixing a material other than the electrode material, for example, an insulating resin or ceramics.
【0048】なお、第4の実施例においては、2個の共
振領域A,Bを設けた2重モード圧電フィルタを例にと
り説明したが、1つの共振領域において、上記のような
第3,第4の共振電極部を第2の共振電極と対向するよ
うに圧電板の一方面に形成することにより、圧電フィル
タを構成したものにも、本発明を適用することができ
る。In the fourth embodiment, the dual mode piezoelectric filter provided with the two resonance regions A and B has been described as an example, but in one resonance region, the third and third resonance regions as described above are used. The present invention can be applied to a piezoelectric filter configured by forming the fourth resonance electrode portion on one surface of the piezoelectric plate so as to face the second resonance electrode.
【0049】さらに、第1〜第3の実施例では、圧電板
の両主面において、第1,第2の共振電極の外側に、そ
れぞれ動吸振部を形成していたが、動吸振部は、圧電板
の第1の面または第2の面の何れか一方にのみ形成され
ていてもよい。Furthermore, in the first to third embodiments, the dynamic vibration absorbing portions are formed outside the first and second resonant electrodes on both main surfaces of the piezoelectric plate, respectively. It may be formed on only one of the first surface and the second surface of the piezoelectric plate.
【0050】さらに、例えば、第2の実施例の圧電共振
子21では、圧電板22の上面22a上及び下面22b
上のいずれにおいても、共振領域の両側に動吸振部2
5,26または動吸振部27,28を設けていたが、一
方側にのみ動吸振部を設けていてもよい。すなわち、図
4に示した構造において、動吸振部25〜28のうち、
任意の3個以内の動吸振部を省略してもよい。Further, for example, in the piezoelectric resonator 21 of the second embodiment, the upper surface 22a and the lower surface 22b of the piezoelectric plate 22 are arranged.
In any of the above, the dynamic vibration absorbing parts 2 are provided on both sides of the resonance region.
5, 26 or the dynamic vibration absorbing portions 27, 28 are provided, the dynamic vibration absorbing portion may be provided only on one side. That is, in the structure shown in FIG. 4, among the dynamic vibration absorbing parts 25 to 28,
Any three or less dynamic vibration absorbers may be omitted.
【0051】もっとも、動吸振部により共振領域から漏
洩してきた振動を効果的に抑制するためには、共振領域
の両側において対称に動吸振部を配置することが好まし
い。さらに、本発明においては、上述した実施例で示し
た動吸振部をさらに多く配置してもよい。例えば、図4
において、動吸振部25〜28の外側に(共振部とは反
対側に)、さらに動吸振部を設けてもよい。また、図1
において、動吸振部9の外側にさらにリング状の1以上
の動吸振部を設けてもよい。However, in order to effectively suppress the vibration leaked from the resonance region by the dynamic vibration absorbing portion, it is preferable to arrange the dynamic vibration absorbing portions symmetrically on both sides of the resonance region. Further, in the present invention, more dynamic vibration absorbing parts shown in the above-mentioned embodiments may be arranged. For example, in FIG.
In, the dynamic vibration absorbing parts may be further provided outside the dynamic vibration absorbing parts 25 to 28 (on the side opposite to the resonance part). Also, FIG.
In, at least one ring-shaped dynamic vibration absorbing portion may be provided outside the dynamic vibration absorbing portion 9.
【0052】また、第1〜第4の実施例では、圧電体と
して厚みの比較的薄い圧電板2,22,42を用いてい
たが、本発明における圧電体としては、板状のものに限
らず、ブロック状の圧電体を用いることも可能であり、
要するに、共振電極が形成される第1,第2の面を結ぶ
方向が厚み方向とされており、厚み縦モードもしくは厚
みすべりモードを利用した適宜のエネルギー閉じ込め型
圧電共振子に、本発明を適用することができる。Further, in the first to fourth embodiments, the piezoelectric plates 2, 22, 42 having a relatively small thickness are used as the piezoelectric body, but the piezoelectric body in the present invention is not limited to the plate-like one. Alternatively, it is possible to use a block-shaped piezoelectric body,
In short, the direction in which the first and second surfaces on which the resonance electrode is formed is connected is the thickness direction, and the present invention is applied to an appropriate energy trap type piezoelectric resonator utilizing the thickness longitudinal mode or the thickness sliding mode. can do.
【0053】[0053]
【発明の効果】本発明によれば、厚みモードを利用した
エネルギー閉じ込め型圧電共振子において、まず、第
1,第2の共振電極が重なり合っている共振領域に振動
エネルギーが閉じ込められ、該共振領域から漏洩してき
たわずかな振動が、共振領域の外側に設けられた動吸振
部により、動吸振現象に基づいて抑制される。According to the present invention, in the energy trap type piezoelectric resonator utilizing the thickness mode, first, the vibration energy is trapped in the resonance region where the first and second resonance electrodes overlap each other, and the resonance region A small amount of vibration leaked from the device is suppressed by the dynamic vibration absorbing portion provided outside the resonance region based on the dynamic vibration absorbing phenomenon.
【0054】従って、従来のエネルギー閉じ込め型圧電
共振子に比べて、エネルギー閉じ込め効率が飛躍的に高
められたエネルギー閉じ込め型圧電共振子を得ることが
できる。よって、動吸振部の外側で圧電共振子を機械的
に保持した場合、該機械的保持により共振特性への影響
がほとんど生じないため、共振特性の良好な共振子を提
供することができる。Therefore, it is possible to obtain an energy trapping type piezoelectric resonator having a dramatically improved energy trapping efficiency as compared with the conventional energy trapping type piezoelectric resonator. Therefore, when the piezoelectric resonator is mechanically held outside the dynamic vibration absorbing part, the mechanical holding hardly affects the resonance characteristic, and thus the resonator having the good resonance characteristic can be provided.
【0055】好ましくは、上記動吸振部を、共振電極と
同一の材料で構成することにより、製造工程を増大させ
ることなく、上記のような共振特性に優れたエネルギー
閉じ込め型圧電共振子を得ることができる。Preferably, the dynamic vibration absorbing portion is made of the same material as the resonance electrode, so that the energy trapping type piezoelectric resonator excellent in the resonance characteristics as described above can be obtained without increasing the manufacturing process. You can
【図1】本発明の第1の実施例のエネルギー閉じ込め型
圧電共振子を示す斜視図。FIG. 1 is a perspective view showing an energy trap type piezoelectric resonator according to a first embodiment of the present invention.
【図2】第1の実施例のエネルギー閉じ込め型圧電共振
子の平面図。FIG. 2 is a plan view of the energy trap type piezoelectric resonator according to the first embodiment.
【図3】第1の実施例のエネルギー閉じ込め型圧電共振
子の正面断面図。FIG. 3 is a front sectional view of the energy trap type piezoelectric resonator according to the first embodiment.
【図4】本発明の第2の実施例のエネルギー閉じ込め型
圧電共振子を示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing an energy trap type piezoelectric resonator according to a second embodiment of the present invention.
【図5】第2の実施例の圧電共振子の正面断面図。FIG. 5 is a front sectional view of a piezoelectric resonator according to a second embodiment.
【図6】本発明の第3の実施例に係るエネルギー閉じ込
め型圧電共振子を示す平面図。FIG. 6 is a plan view showing an energy trap type piezoelectric resonator according to a third embodiment of the present invention.
【図7】第3の実施例において圧電板を透かして下方の
電極形状を示した模式的平面図。FIG. 7 is a schematic plan view showing a lower electrode shape through a piezoelectric plate in a third embodiment.
【図8】本発明の第4の実施例の圧電共振子であって、
2重モード圧電フィルタとして構成されている構造を示
す平面図。FIG. 8 is a piezoelectric resonator according to a fourth embodiment of the present invention,
The top view which shows the structure comprised as a dual mode piezoelectric filter.
【図9】第4の実施例において圧電板を透かして下面の
電極形状を示す模式的平面図。FIG. 9 is a schematic plan view showing the electrode shape on the lower surface of the piezoelectric plate in the fourth embodiment.
1…圧電共振子 2…圧電板 2a…上面(第1の面) 2b…下面(第2の面) 3,4…第1,第2の共振電極 9,10…動吸振部 21…圧電共振子 22…圧電板 22a…上面(第1の面) 22b…下面(第2の面) 23,24…第1,第2の共振電極 25〜28…動吸振部 31…圧電共振子 32…圧電板 33〜36…動吸振部 41…圧電共振子 42…圧電板 42a…上面(第1の面) 42b…下面(第2の面) 43a,43b,45a,45b…第3,第4の共振電
極 44,46…第2の共振電極 53…動吸振部DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Piezoelectric resonator 2 ... Piezoelectric plate 2a ... Upper surface (first surface) 2b ... Lower surface (second surface) 3, 4 ... First and second resonant electrodes 9, 10 ... Dynamic vibration absorbing portion 21 ... Piezoelectric resonance Child 22 ... Piezoelectric plate 22a ... Upper surface (first surface) 22b ... Lower surface (second surface) 23, 24 ... First and second resonant electrodes 25-28 ... Dynamic vibration absorbing part 31 ... Piezoelectric resonator 32 ... Piezoelectric Plates 33 to 36 ... Dynamic vibration absorbing part 41 ... Piezoelectric resonator 42 ... Piezoelectric plate 42a ... Upper surface (first surface) 42b ... Lower surface (second surface) 43a, 43b, 45a, 45b ... Third and fourth resonances Electrodes 44, 46 ... Second resonance electrode 53 ... Dynamic vibration absorber
Claims (5)
1,第2の面を結ぶ方向が厚み方向とされている圧電体
と、 前記第1,第2の面において、それぞれ、部分的に形成
されており、かつ圧電体を介して厚み方向に重なり合う
ように形成された第1,第2の共振電極とを備え、 第1,第2の共振電極の重なり合う領域が共振領域とさ
れている、厚みモードを利用したエネルギー閉じ込め型
圧電共振子において、 前記第1,第2の面の少なくとも一方の面において、共
振領域の外側に設けられた動吸振部をさらに備えること
を特徴とする、エネルギー閉じ込め型圧電共振子。1. A piezoelectric body having first and second surfaces facing each other, wherein a direction connecting the first and second surfaces is a thickness direction; and the first and second surfaces, Each of the first and second resonance electrodes is formed partially and overlaps with each other in the thickness direction through the piezoelectric body, and the overlapping region of the first and second resonance electrodes is resonated. The energy trap type piezoelectric resonator utilizing the thickness mode, which is defined as a region, further includes a dynamic vibration absorbing portion provided outside the resonance region on at least one of the first and second surfaces. Characteristic is an energy trapping type piezoelectric resonator.
2の面の少なくとも一方に固着された動吸振部材で構成
されている、請求項1に記載のエネルギー閉じ込め型圧
電共振子。2. The energy trap type piezoelectric resonator according to claim 1, wherein the dynamic vibration absorbing portion is constituted by a dynamic vibration absorbing member fixed to at least one of the first and second surfaces of the piezoelectric body. .
極と同一の材料により構成されている、請求項2に記載
のエネルギー閉じ込め型圧電共振子。3. The energy trap type piezoelectric resonator according to claim 2, wherein the dynamic vibration absorbing member is made of the same material as that of the first and second resonant electrodes.
を隔てて形成された第3の共振電極部及び第4の共振電
極部を有し、第3の共振電極部及び第4の共振電極部を
入出力端とする圧電フィルタが構成されている、請求項
1〜3に記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振子。4. The first resonance electrode has a third resonance electrode portion and a fourth resonance electrode portion which are formed with a predetermined gap, and the third resonance electrode portion and the fourth resonance electrode portion are formed. The energy trap type piezoelectric resonator according to claim 1, wherein a piezoelectric filter having an electrode portion as an input / output end is configured.
記圧電体に2個の共振領域が構成されており、該2個の
共振領域間に前記動吸振部が設けられている、請求項4
に記載のエネルギー閉じ込め型圧電共振子。5. The two resonance regions are formed in the piezoelectric body so as to form a dual mode filter, and the dynamic vibration absorbing portion is provided between the two resonance regions.
2. An energy trap type piezoelectric resonator according to claim 1.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12657194A JPH07336184A (en) | 1994-06-08 | 1994-06-08 | Energy confining type piezoelectric resonator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12657194A JPH07336184A (en) | 1994-06-08 | 1994-06-08 | Energy confining type piezoelectric resonator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07336184A true JPH07336184A (en) | 1995-12-22 |
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ID=14938465
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP12657194A Pending JPH07336184A (en) | 1994-06-08 | 1994-06-08 | Energy confining type piezoelectric resonator |
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JP (1) | JPH07336184A (en) |
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