JP3114485B2 - Piezo filter - Google Patents
Piezo filterInfo
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- JP3114485B2 JP3114485B2 JP06061676A JP6167694A JP3114485B2 JP 3114485 B2 JP3114485 B2 JP 3114485B2 JP 06061676 A JP06061676 A JP 06061676A JP 6167694 A JP6167694 A JP 6167694A JP 3114485 B2 JP3114485 B2 JP 3114485B2
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- piezoelectric
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば対称モード及び
非対称モードを利用した二重モードのような多重モード
圧電フィルタに関し、特に、エネルギー閉じ込め型の圧
電フィルタに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-mode piezoelectric filter such as a dual mode utilizing a symmetric mode and an asymmetric mode, and more particularly to an energy trap type piezoelectric filter.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、圧電共振子の対称モード（Ｓモー
ド）及び非対称モード（Ａモード）を利用した二重モー
ド圧電フィルタが知られている。従来の二重モード圧電
フィルタとしては、長さ振動モードや拡がりモードなど
の振動モードを結合子で接合したものが知られており、
フィルタ素子を、ばね端子等で挟持したり、リード線を
半田付けして支持したりし、かつ絶縁性材料よりなるケ
ース内に封入した構造が知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, a double mode piezoelectric filter using a symmetric mode (S mode) and an asymmetric mode (A mode) of a piezoelectric resonator is known. As a conventional double mode piezoelectric filter, a filter in which vibration modes such as a length vibration mode and a spreading mode are joined by a connector is known.
There is known a structure in which a filter element is sandwiched between spring terminals or the like, or a lead wire is supported by soldering, and sealed in a case made of an insulating material.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
二重モード圧電フィルタでは、拡がりモードを利用した
圧電共振子のように、機械的に保持された場合にその共
振特性が変化する共振子が用いられていた。従って、ば
ね端子などを用いて電気的接続及び機械的保持を図らな
ければ、所望の共振特性を引き出すことができなかっ
た。よって、上記のようにばね端子等を用いケースに収
納するという煩雑な工程を経なければ製造することがで
きず、かつ多数の部品を用意しなければならなかった。As described above, in the conventional dual mode piezoelectric filter, like a piezoelectric resonator utilizing a spread mode, the resonance characteristic of which is changed when it is mechanically held is changed. A child was used. Therefore, unless electrical connection and mechanical holding are performed using a spring terminal or the like, desired resonance characteristics cannot be obtained. Therefore, it cannot be manufactured without a complicated process of housing in a case using a spring terminal or the like as described above, and a large number of parts have to be prepared.
【０００４】本発明の目的は、部品点数の削減及び製造
工程の簡略化を果たし得る新規な多重モード圧電フィル
タを提供することにある。An object of the present invention is to provide a novel multi-mode piezoelectric filter capable of reducing the number of parts and simplifying a manufacturing process.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するためになされたものであり、第１，第２の圧電共
振部を単一の素子において構成し、それによって上記課
題を達成したことを特徴としたものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to achieve the above object, and the first and second piezoelectric resonators are constituted by a single element, thereby achieving the above object. It is characterized by doing.
【０００６】すなわち、本願の第１発明は、幅拡がりモ
ードを利用した第１，第２の圧電共振部と、第１，第２
の圧電共振部を機械的に連結している接続部と、第１，
第２の圧電共振部の少なくとも一方に連結された支持部
と、支持部に連結された保持部と、第１，第２の圧電共
振部を幅拡がりモードで共振させるために、第１，第２
の圧電共振部に設けられた電極とを備える圧電ファイル
である。That is, the first invention of the present application provides first and second piezoelectric resonators utilizing the width expansion mode, and first and second piezoelectric resonators.
A connection portion mechanically connecting the piezoelectric resonance portions of
The first and second piezoelectric resonators are configured to resonate in a widening mode with a support connected to at least one of the second piezoelectric resonators, a holding unit connected to the support, and the first and second piezoelectric resonators. 2
And an electrode provided in the piezoelectric resonator of FIG.
【０００７】また、第１発明の圧電フィルタにおいて、
第１，第２の圧電共振部が、矩形の圧電板を用いて構成
されており、該矩形の短辺の長さをａ、長辺の長さを
ｂ、圧電板を構成している圧電材料のポアソン比をσと
したときに、長辺と短辺の長さの比ｂ／ａが、Further, in the piezoelectric filter of the first invention ,
The first and second piezoelectric resonators are configured using rectangular piezoelectric plates
Are the length of the length of the rectangular shorter side a, a length of the long side b, and Poisson's ratio of the piezoelectric material constituting the piezoelectric plate when the sigma, long and short sides The ratio b / a is
【０００８】[0008]
【数３】 (Equation 3)
【０００９】を中心として±１０％の範囲内とされてお
り、前記短辺方向を幅方向とする幅拡がりモードを利用
しており、かつ前記圧電板の短辺側の側面略中央に前記
支持部が連結されている。And within ± 10% around the center .
Using the width expansion mode with the short side direction as the width direction.
And at the approximate center of the short side of the piezoelectric plate,
The support is connected .
【００１０】また、本願の第２発明は、すべりモードを
利用した第１，第２の圧電共振部と、第１，第２の圧電
共振部を機械的に連結している接続部と、第１及び第２
の圧電共振部の少なくとも一方に連結された支持部と、
支持部に連結された保持部とを備え、すべりモードを利
用した第１，第２の圧電共振部が、それぞれ、長辺と短
辺とを有する一対の対向し合っている矩形の面を有し、
かつ、主面と平行な方向に分極処理された圧電板と、前
記圧電板の外表面において所定距離を隔てて配置されて
おり、かつ分極方向に直交する方向に電界を印加するた
めの一対の電極とを有し、矩形面の長辺の長さをｂ、短
辺の長さをａ、圧電セラミック板を構成している圧電材
料のポアソン比をσとしたときに、ｂ／ａが、Further, the second invention of the present application provides a first and a second piezoelectric resonator utilizing a slip mode, a connecting portion for mechanically connecting the first and the second piezoelectric resonators, 1st and 2nd
A support portion connected to at least one of the piezoelectric resonance portions of
And a holding portion connected to the supporting portion, wherein the first and second piezoelectric resonance portions using the sliding mode are respectively provided with a long side and a short side.
A pair of opposed rectangular faces having sides and
A piezoelectric plate polarized in a direction parallel to the main surface ;
It is arranged at a predetermined distance on the outer surface of the piezoelectric plate.
And apply an electric field in a direction perpendicular to the polarization direction.
And the length of the long side of the rectangular surface is b, short
When the length of the side is a and the Poisson's ratio of the piezoelectric material constituting the piezoelectric ceramic plate is σ, b / a is
【００１１】[0011]
【数４】 (Equation 4)
【００１２】を中心として±１０％の範囲内とされてい
る圧電フィルタである。This is a piezoelectric filter that is set within a range of ± 10% with respect to the center.
【００１３】さらに、本願の第３発明は、第１，第２の
圧電共振部と、第１，第２の圧電共振部を機械的に連結
している接続部と、第１，第２の圧電共振部の少なくと
も一方に連結された支持部と、支持部に連結されてお
り、支持部の延びる方向と交差する方向に延びている板
状の形状を有し、支持部から漏洩してきた振動の周波数
と一致する周波数で屈曲モードで共振するように形状及
び寸法が定められている動吸振部と、動吸振部に連結さ
れた連結部と、連結部に連結された保持部と、第１，第
２の圧電共振部を共振させるために、該第１，第２の共
振部に設けられた電極とを備える圧電フィルタである。Further, the third invention of the present application provides a first and second piezoelectric resonance section, a connection section for mechanically connecting the first and second piezoelectric resonance sections, and a first and second piezoelectric resonance section. A support connected to at least one of the piezoelectric resonators; and a support connected to the support .
Plate extending in a direction intersecting with the direction in which the support portion extends
Frequency of vibration leaking from the support part
Shape and resonate in bending mode at a frequency that matches
And a connecting portion connected to the dynamic vibration absorbing portion, a holding portion connected to the connecting portion, and the first and second piezoelectric resonance portions to resonate. 1, a piezoelectric filter comprising an electrode provided on the second resonance unit.
【００１４】上記第１〜第３の発明にかかる圧電フィル
タは、上述した課題を解決することにおいて共通し、か
ついずれもエネルギー閉じ込め型の圧電フィルタである
ことにおいて共通している。The piezoelectric filters according to the first to third aspects are common in solving the above-mentioned problems, and are common in that they are all energy trapping type piezoelectric filters.
【００１５】[0015]
【作用】本願の第１〜第３発明では、第１，第２の圧電
共振部、接続部、支持部及び保持部が相互に連結されて
一体化されている。すなわち、第１，第２の圧電共振部
を有する圧電フィルタが、単一の素子として構成されて
いる。従って、圧電フィルタの製造工程の簡略化及び部
品点数の削減を果たすことができる。According to the first to third aspects of the present invention, the first and second piezoelectric resonance portions, the connection portion, the support portion, and the holding portion are interconnected and integrated. That is, the piezoelectric filter having the first and second piezoelectric resonance sections is configured as a single element. Therefore, the manufacturing process of the piezoelectric filter can be simplified and the number of parts can be reduced.
【００１６】また、第１発明では、上記第１，第２の圧
電共振部が幅拡がりモードを利用した圧電共振部で構成
されており、従って、後述の実施例から明らかなよう
に、該幅拡がりモードを利用した圧電共振部では共振エ
ネルギーが共振部及びその近傍に閉じ込められる。Further, in the first invention, the first and second piezoelectric resonators are constituted by piezoelectric resonators using a width expansion mode. Therefore, as will be apparent from the embodiments described later, the first and second piezoelectric resonators have the same width. In the piezoelectric resonator using the spread mode, resonance energy is confined in the resonator and its vicinity.
【００１７】同様に、第２発明では、すべりモードを利
用した第１，第２の圧電共振部が上記式（２）で示す関
係を満たすように構成されているため、共振エネルギー
が各共振部及びその近傍に効果的に閉じ込められる。Similarly, in the second invention, since the first and second piezoelectric resonators utilizing the slip mode are configured to satisfy the relationship represented by the above equation (2), the resonance energy is reduced by each of the resonators. And in the vicinity thereof.
【００１８】さらに、第３発明では、動吸振部が設けら
れており、動吸振現象により該動吸振部に伝達してきた
漏洩信号が効果的に抑制される。従って、動吸振部まで
の部分に、共振部の振動エネルギーが効果的に閉じ込め
られる。Further, in the third aspect, the dynamic vibration absorbing portion is provided, and the leakage signal transmitted to the dynamic vibration absorbing portion due to the dynamic vibration absorbing phenomenon is effectively suppressed. Therefore, the vibration energy of the resonating part is effectively confined to the part up to the dynamic vibration absorbing part.
【００１９】よって、本願の第１〜第３発明では、上記
保持部を利用して機械的にケースや他の部材に固定する
ことができるため、所望通りの特性を発揮し得る多重モ
ード圧電フィルタを構成することができる。Therefore, in the first to third aspects of the present invention, since the holder can be mechanically fixed to the case or another member by using the holding portion, the multi-mode piezoelectric filter can exhibit desired characteristics. Can be configured.
【００２０】[0020]
【実施例の説明】以下、図面を参照しつつ実施例を説明
することにより、本発明を明らかにする。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be clarified by describing embodiments with reference to the drawings.
【００２１】第１の実施例 図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施例にかか
る圧電フィルタを示す平面図及び圧電板を透かして下方
の電極形状を示した平面図である。 First Embodiment FIGS. 1A and 1B are a plan view showing a piezoelectric filter according to a first embodiment of the present invention and a plan view showing a lower electrode shape through a piezoelectric plate. It is.
【００２２】圧電フィルタ１は、第１，第２の圧電共振
部２，３を有する。第１，第２の圧電共振部２，３は、
同じように構成されており、後述するように、幅拡がり
モードで共振される。The piezoelectric filter 1 has first and second piezoelectric resonance sections 2 and 3. The first and second piezoelectric resonance units 2 and 3
It has the same configuration, and resonates in a widening mode, as described below.
【００２３】第１，第２の圧電共振部２，３はそれぞ
れ、平面形状が長方形の圧電板の両主面の全面に電極
５，６，７，８を形成した構造を有する。共振部２，３
は、短辺側の側面中央同士が接続部４で連結されてい
る。また、矩形の圧電板は、それぞれ、厚み方向に分極
処理されている。共振部２，３は、上記圧電板を用いて
構成されているため、共振部２，３も、図示のように長
方形の平面形状を有する。この長方形は、短辺の長さを
ａ、長辺の長さをｂとし、圧電板を構成している材料の
ポアソン比をσとしたときに、比ｂ／ａが、前述した式
（１）を満たす値を中心として±１０％の範囲内とされ
ている。従って、電極５，７間に、及び電極６，８間に
交流電圧を印加することにより、共振部２，３は、それ
ぞれ幅拡がりモードにより励振される。Each of the first and second piezoelectric resonators 2 and 3 has a structure in which electrodes 5, 6, 7, and 8 are formed on the entire surface of both main surfaces of a rectangular piezoelectric plate. Resonance parts 2 and 3
Are connected at the connection part 4 at the center of the short side. Each of the rectangular piezoelectric plates is polarized in the thickness direction. Since the resonating portions 2 and 3 are configured using the above-described piezoelectric plate, the resonating portions 2 and 3 also have a rectangular planar shape as illustrated. In this rectangle, when the length of the short side is a, the length of the long side is b, and the Poisson's ratio of the material forming the piezoelectric plate is σ, the ratio b / a is expressed by the above-described equation (1). ) Is within a range of ± 10% around the value satisfying ()). Therefore, by applying an AC voltage between the electrodes 5 and 7 and between the electrodes 6 and 8, the resonance units 2 and 3 are excited in the widening mode, respectively.
【００２４】上記幅拡がりモードの振動とは、正方形板
の拡がりモードと、長方形板の幅モードとの間の振動姿
態をとる振動モードであり、上記式（１）を満たす値を
中心として±１０％の範囲内に比ｂ／ａを選択すること
により励振される。幅拡がりモード振動では、振動のノ
ードは、長方形板の短辺略中央に位置する。本実施例で
は、圧電板の短辺側の側面中央に支持部９，１０が連結
されている。従って、共振部２，３の振動が、該共振部
２，３に効果的に閉じ込められる。このことは、本願発
明者により実験的に確かめられたものである（特願平５
−８７４７３号）。The vibration in the width expansion mode is a vibration mode in which the vibration mode takes a vibration mode between the expansion mode of the square plate and the width mode of the rectangular plate, and is ± 10% around a value satisfying the above expression (1). Excited by selecting the ratio b / a in the range of%. In the width-spread mode vibration, the vibration node is located at approximately the center of the short side of the rectangular plate. In this embodiment, the supporting portions 9 and 10 are connected to the center of the short side surface of the piezoelectric plate. Therefore, the vibrations of the resonance parts 2 and 3 are effectively confined in the resonance parts 2 and 3. This has been experimentally confirmed by the inventor of the present application (Japanese Patent Application No. Hei.
-87473).
【００２５】なお、本実施例では、断面が矩形の圧電体
として、平面形状が長方形の上記圧電板を示したが、厚
みが上記長辺や短辺よりも大きい直方体状の圧電体を用
いてもよく、その断面形状が比ｂ／ａの上記範囲内の矩
形であれば同様に幅拡がりモードを励振し得る。In this embodiment, the piezoelectric plate having a rectangular cross section is shown as the piezoelectric body having a rectangular cross section. However, a rectangular parallelepiped piezoelectric body having a thickness larger than the long side and the short side is used. Alternatively, if the cross-sectional shape is a rectangle within the above range of the ratio b / a, the width expansion mode can be similarly excited.
【００２６】上記のように、圧電共振部２，３の外側短
辺中央には、支持部９，１０が連結されている。支持部
９，１０は、図示のように圧電共振部２，３に比べて細
い幅の部材で構成されており、該支持部９，１０の外側
端には、保持部１１，１２が連結されている。As described above, the supporting portions 9 and 10 are connected to the center of the outer short sides of the piezoelectric resonance portions 2 and 3. The support portions 9 and 10 are formed of members having a width smaller than that of the piezoelectric resonance portions 2 and 3 as shown in the figure, and holding portions 11 and 12 are connected to outer ends of the support portions 9 and 10. ing.
【００２７】保持部１１，１２は、圧電フィルタ１を他
の部材に固定するために用いられる部分である。また、
後述のように端子電極を形成する部分にもあたるため、
本実施例には、支持部９，１０に比べて相対的に大きな
面積を有するように構成されている。The holding portions 11 and 12 are portions used for fixing the piezoelectric filter 1 to another member. Also,
Since it also corresponds to the part where the terminal electrode is formed as described below,
The present embodiment is configured to have a relatively large area as compared with the support portions 9 and 10.
【００２８】なお、保持部１１，１２は、支持部９，１
０と同一幅に構成されていてもよい。すなわち、図示の
支持部９，１０をそれぞれの長さを延長し、外側部分を
保持部として用いてもよい。The holding portions 11 and 12 are provided with support portions 9 and 1.
It may be configured to have the same width as 0. That is, the length of each of the illustrated support portions 9 and 10 may be extended, and the outer portion may be used as a holding portion.
【００２９】本実施例の圧電フィルタ１では、上記第
１，第２の共振部２，３、接続部４、支持部９，１０及
び保持部１１，１２が上記のように相互に連結されて一
体化されている。この場合、各部分は別部材で構成され
ていて、上記のように接合されていてもよいが、本実施
例では、１枚の圧電セラミック板を図１（ａ）に示した
平面形状を有するように機械加工することにより各部分
が構成されている。In the piezoelectric filter 1 of the present embodiment, the first and second resonating portions 2 and 3, the connecting portion 4, the supporting portions 9 and 10, and the holding portions 11 and 12 are connected to each other as described above. It is integrated. In this case, each part is formed of a separate member and may be joined as described above, but in the present embodiment, one piezoelectric ceramic plate has the planar shape shown in FIG. Each part is configured by machining as described above.
【００３０】上記圧電セラミック板としては、チタン酸
ジルコン酸鉛系圧電セラミックスや、ＬｉＮｂＯ3 圧電
単結晶またはＬｉＴａＯ3 圧電単結晶などの圧電材料か
らなるものを用いることができる。The piezoelectric ceramic plate may be made of a piezoelectric material such as a lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramic or a LiNbO 3 piezoelectric single crystal or a LiTaO 3 piezoelectric single crystal.
【００３１】また、圧電共振部２，３と、他の部分を別
部材で構成し相互に接合して一体化する場合には、少な
くとも上記圧電共振部２，３に用いられる板状部材のみ
を、上記圧電材料により構成すればよい。In the case where the piezoelectric resonators 2 and 3 and other parts are formed of different members and are joined to each other and integrated, at least only the plate-like member used for the piezoelectric resonators 2 and 3 is used. And the piezoelectric material described above.
【００３２】保持部１１，１２の上面には、それぞれ、
端子電極１３，１４が保持部１１，１２の一方端面１１
ａ，１２ａ側に寄せられて形成されている。端子電極１
３，１４は、それぞれ、第１，第２の共振部２，３に形
成された電極５，６に電気的に接続されている。On the upper surfaces of the holding portions 11 and 12, respectively,
The terminal electrodes 13 and 14 are connected to one end face 11 of the holding portions 11 and 12.
a and 12a. Terminal electrode 1
The electrodes 3 and 14 are electrically connected to the electrodes 5 and 6 formed on the first and second resonance sections 2 and 3, respectively.
【００３３】他方、下面側においては、保持部１１，１
２の下面に、端子電極１５，１６が形成されている。端
子電極１５，１６は、保持部１１，１２の端面１１ｂ，
１２ｂ側に寄せられて形成されている。すなわち、端子
電極１５，１６は、保持部１１，１２を挟んで、上面側
の端子電極１３，１４とは重なり合わないように、反対
側の位置に形成されている。On the other hand, on the lower surface side, the holding portions 11, 1
Terminal electrodes 15 and 16 are formed on the lower surface of 2. The terminal electrodes 15 and 16 are connected to end faces 11 b of the holding portions 11 and 12,
It is formed closer to the 12b side. That is, the terminal electrodes 15 and 16 are formed on the opposite sides of the holding portions 11 and 12 so as not to overlap the terminal electrodes 13 and 14 on the upper surface.
【００３４】なお、１７ａ〜１７ｄは、それぞれ接続導
電部を示し、共振部の電極と端子電極１３〜１６とを電
気的に接続するものである。図１から明らかなように、
上面側の接続導電部１７ａと、下面側の接続導電部１７
ｃとは支持部９において表裏対向しないようにずらされ
て形成されている。同様に、接続導電部１７ｂと、接続
導電部１７ｄも、支持部１０において表裏対向し合わな
い位置に形成されている。これは、フィルタ特性に影響
を与える所望でない静電容量の発生を防止するためであ
る。Reference numerals 17a to 17d denote connection conductive portions, respectively, for electrically connecting the electrodes of the resonance portion to the terminal electrodes 13 to 16. As is clear from FIG.
Connection conductive portion 17a on the upper surface and connection conductive portion 17 on the lower surface
The support member 9 is formed so as to be shifted from the support portion 9 so as not to face each other. Similarly, the connection conductive portion 17b and the connection conductive portion 17d are also formed at positions where the front and back surfaces of the support portion 10 do not face each other. This is to prevent generation of an undesired capacitance that affects the filter characteristics.
【００３５】本実施例の圧電フィルタ１は、端子電極１
３を入力端ＩＮとし、端子電極１４を出力端ＯＵＴと
し、端子電極１５，１６を基準電位、例えばアース電位
に接続することにより、二重モード圧電フィルタとして
動作する。圧電フィルタ１の減衰量−周波数特性を図２
に示す。The piezoelectric filter 1 of the present embodiment has a terminal electrode 1
3 is an input terminal IN, the terminal electrode 14 is an output terminal OUT, and the terminal electrodes 15 and 16 are connected to a reference potential, for example, a ground potential, thereby operating as a dual mode piezoelectric filter. FIG. 2 shows the attenuation-frequency characteristics of the piezoelectric filter 1.
Shown in
【００３６】図２から明らかなように、圧電フィルタ１
は、二重モード圧電フィルタとして動作するため、１０
００ｋＨｚ近傍に通過帯域を有するバンドパスフィルタ
として用い得ることがわかる。As is clear from FIG. 2, the piezoelectric filter 1
Operates as a dual mode piezoelectric filter,
It can be seen that the filter can be used as a band-pass filter having a pass band near 00 kHz.
【００３７】また、上述したように、第１，第２の圧電
共振部２，３に振動エネルギーが効果的に閉じ込められ
るため、圧電フィルタ１は、保持部１１，１２を用いて
機械的に保持することができる。従って、電気的接続に
際し、ばね端子のような複雑な形状の部品を必要としな
い。また、後述のチップ型圧電共振部品として構成した
例から明らかなように、保護基板等と積層することによ
り、容易にチップ型電子部品を構成することができる。Further, as described above, since the vibration energy is effectively confined in the first and second piezoelectric resonance sections 2 and 3, the piezoelectric filter 1 is mechanically held using the holding sections 11 and 12. can do. Therefore, a component having a complicated shape such as a spring terminal is not required for electrical connection. Further, as will be apparent from an example in which a chip-type piezoelectric resonance component is configured as described below, a chip-type electronic component can be easily configured by laminating with a protection substrate or the like.
【００３８】また、第１，第２の圧電共振部２，３が上
記のように一体化されており、かつ単一の素子で二重モ
ード圧電フィルタが構成されているため、部品点数の低
減を図り得る。Further, since the first and second piezoelectric resonance sections 2 and 3 are integrated as described above and a single element constitutes a dual mode piezoelectric filter, the number of parts is reduced. Can be achieved.
【００３９】なお、本実施例の圧電フィルタ１では、第
１，第２の圧電共振部２，３の各外側に支持部９，１０
及び保持部１１，１２が設けられていたが、支持部９及
び保持部は、一方の圧電共振部の外側にのみ設けられて
いてもよい。In the piezoelectric filter 1 of this embodiment, the support portions 9 and 10 are provided outside the first and second piezoelectric resonance portions 2 and 3, respectively.
And the holding portions 11 and 12 are provided, but the support portion 9 and the holding portion may be provided only outside one of the piezoelectric resonance portions.
【００４０】第２の実施例 図３（ａ）及び（ｂ）は、第２の実施例にかかる圧電フ
ィルタを示す平面図及び圧電板を透かして下方の電極形
状を示した模式的平面図である。 Second Embodiment FIGS. 3A and 3B are a plan view showing a piezoelectric filter according to a second embodiment and a schematic plan view showing a lower electrode shape through a piezoelectric plate. is there.
【００４１】第２の実施例の圧電フィルタ２１は、接続
導電部及び端子電極の形成位置が異なり、この圧電共振
部が差動接続されることを除いては、図１に示した第１
の実施例と同様に構成されている。従って、同一部分に
ついては、同一の参照番号を付することにより、第１の
実施例について行った説明を援用することにより省略す
る。The piezoelectric filter 21 according to the second embodiment differs from the first embodiment shown in FIG. 1 in that the connecting conductive portions and the terminal electrodes are formed at different positions and the piezoelectric resonance portions are differentially connected.
The configuration is the same as that of the embodiment. Therefore, the same portions are denoted by the same reference numerals, and the description provided for the first embodiment will be omitted.
【００４２】圧電フィルタ２１では、保持部１１の上面
において、端面１１ｂ側に寄せられて端子電極２３が形
成されている。また、保持部１２上においては、端面１
２ａ側に寄せられて端子電極２４が形成されている。In the piezoelectric filter 21, a terminal electrode 23 is formed on the upper surface of the holding portion 11 so as to be moved toward the end surface 11 b. Further, on the holding portion 12, the end face 1
The terminal electrode 24 is formed near the 2a side.
【００４３】他方、下面側においては、保持部１１の端
面１１ｂ側に寄せられて端子電極２５が形成されてお
り、保持部１２の端面１２ｂ側に寄せられて端子電極２
６が形成されている。また、接続導電部２７ａ〜２７ｄ
により、端子電極２３〜２６が電極５〜８に電気的に接
続されている。本実施例においても、支持部９において
上面に形成された接続導電部２７ａと下面に形成された
接続導電部２７ｃとが表裏対向し合わないように形成さ
れており、かつ接続導電部２７ｃと２７ｄも支持部１０
において表裏対向し合わないように形成されている。On the other hand, on the lower surface side, a terminal electrode 25 is formed so as to be moved toward the end face 11 b of the holding section 11, and is moved toward the end face 12 b side of the holding section 12.
6 are formed. In addition, the connection conductive portions 27a to 27d
As a result, the terminal electrodes 23 to 26 are electrically connected to the electrodes 5 to 8. Also in this embodiment, the connection conductive portion 27a formed on the upper surface and the connection conductive portion 27c formed on the lower surface of the support portion 9 are formed so as not to face each other, and the connection conductive portions 27c and 27d are formed. Also support 10
Are formed so as not to face each other.
【００４４】圧電フィルタ２１では、下面側の端子電極
２５が入力端ＩＮとして、上面側の端子電極２４が出力
端ＯＵＴとして、さらに、端子電極２３及び端子電極２
６がアース電位に接続される。すなわち、第１，第２の
圧電共振部２，３が上記のような電気的接続により差動
接続されていることになり、二重モード圧電フィルタと
して動作する。In the piezoelectric filter 21, the terminal electrode 25 on the lower surface side serves as an input terminal IN, the terminal electrode 24 on the upper surface serves as an output terminal OUT, and the terminal electrodes 23 and 2
6 is connected to ground potential. That is, the first and second piezoelectric resonators 2 and 3 are differentially connected by the above-described electrical connection, and operate as a dual mode piezoelectric filter.
【００４５】圧電フィルタ２１においても、圧電共振部
２，３が、接続部４により連結されて一体化されてお
り、かつ保持部１１，１３により機械的に保持すること
が可能とされている。従って、第１の実施例の圧電フィ
ルタ１と同様に、保持構造の簡略化、製造工程の簡略
化、部品点数の削減等を果たすことができる。Also in the piezoelectric filter 21, the piezoelectric resonance parts 2 and 3 are connected and integrated by the connection part 4, and can be mechanically held by the holding parts 11 and 13. Therefore, similarly to the piezoelectric filter 1 of the first embodiment, simplification of the holding structure, simplification of the manufacturing process, reduction of the number of components, and the like can be achieved.
【００４６】第１の実施例の圧電フィルタを用いたチッ
プ型圧電共振部品 図４〜図６を参照して、第１の実施例にかかる圧電フィ
ルタを用いたチップ型圧電共振部品を説明する。The chip using the piezoelectric filter of the first embodiment
Referring to flop type piezoelectric resonator component diagram 4-6, the chip-type piezoelectric resonator component is described using a piezoelectric filter according to the first embodiment.
【００４７】図４は、チップ型圧電共振部品の使用部材
を説明するための分解斜視図であり、図５はチップ型圧
電共振部品の外観を示す斜視図であり、図６はその回路
構成を示す図である。FIG. 4 is an exploded perspective view for explaining the members used of the chip-type piezoelectric resonance component, FIG. 5 is a perspective view showing the appearance of the chip-type piezoelectric resonance component, and FIG. FIG.
【００４８】図４を参照して、チップ型圧電共振部品
は、共振プレート３１の上下に保護基板３２，３３を積
層した構造を有する。共振プレート３１は、圧電フィル
タ１の側方に、スペーサー３４，３５を接合した構造を
有する。Referring to FIG. 4, the chip-type piezoelectric resonance component has a structure in which protective substrates 32 and 33 are stacked above and below a resonance plate 31. The resonance plate 31 has a structure in which spacers 34 and 35 are joined to the side of the piezoelectric filter 1.
【００４９】スペーサー３４，３５は、それぞれ、圧電
フィルタ１側に切欠３４ａ，３５ａを有する。切欠３４
ａ，３５ａは、圧電フィルタ１の振動部分、すなわち第
１，第２の圧電共振部２，３の振動を妨げないための空
間を圧電共振部２，３の側方に確保するために設けられ
ている。従って、スペーサー３４，３５は、切欠３４
ａ，３５ａが設けられている部分の両側において、圧電
フィルタ１の保持部１１，１２に接合されている。この
接合は、絶縁性接着剤等の適宜の材料を用いて行うこと
ができる。The spacers 34 and 35 have cutouts 34a and 35a on the piezoelectric filter 1 side, respectively. Notch 34
Reference numerals a and 35a are provided to secure a vibrating portion of the piezoelectric filter 1, that is, a space on the side of the piezoelectric resonance portions 2 and 3 so as not to hinder the vibrations of the first and second piezoelectric resonance portions 2 and 3. ing. Therefore, the spacers 34 and 35 are notches 34
a and 35a are joined to the holding portions 11 and 12 of the piezoelectric filter 1 on both sides of the portion where the portions 35a are provided. This joining can be performed using an appropriate material such as an insulating adhesive.
【００５０】なお、上記スペーサー３４，３５は、圧電
フィルタ１と同等の厚みを有する絶縁性材料、例えば合
成樹脂や絶縁性セラミックスにより構成される。チップ
型圧電共振部品の強度を高めるためには、合成樹脂より
もアルミナなどの絶縁性セラミックスにより、スペーサ
ー３４，３５を構成することが好ましい。The spacers 34 and 35 are made of an insulating material having the same thickness as the piezoelectric filter 1, for example, a synthetic resin or an insulating ceramic. In order to increase the strength of the chip-type piezoelectric resonance component, it is preferable that the spacers 34 and 35 be made of an insulating ceramic such as alumina rather than a synthetic resin.
【００５１】また、より好ましくは、上記圧電フィルタ
１、スペーサー３４，３５を一体化してもよい。すなわ
ち、圧電セラミック板を図４に示した共振プレート３１
の平面形状を有するように、エッチングや繰り抜き加工
により加工し、次に種々の電極を形成することにより、
共振プレート３１を構成してもよい。この場合には、ス
ペーサー３４，３５も圧電フィルタ１と一体の部材で構
成されることになるため、上記のような接合作業を省略
することができる。More preferably, the piezoelectric filter 1 and the spacers 34 and 35 may be integrated. That is, the piezoelectric ceramic plate is connected to the resonance plate 31 shown in FIG.
By processing by etching or punching, so as to have a planar shape of, then by forming various electrodes,
The resonance plate 31 may be configured. In this case, since the spacers 34 and 35 are also formed of a member integral with the piezoelectric filter 1, the joining operation as described above can be omitted.
【００５２】しかも、接合部分Ａが存在しないため、第
１，第２の圧電共振部２，３の密封性を高めることがで
きる。従って、最終的に得られるチップ型圧電共振部品
の耐湿性を効果的に高め得る。Furthermore, since there is no joining portion A, the sealing performance of the first and second piezoelectric resonators 2 and 3 can be improved. Therefore, the moisture resistance of the finally obtained chip type piezoelectric resonance component can be effectively improved.
【００５３】保護基板３２，３３は、それぞれ、絶縁性
セラミックスまたは合成樹脂などの適宜の絶縁性材料で
構成される。保護基板３３の上面には、凹部３３ａが形
成されている。凹部３３ａは、共振部２，３の振動を妨
げないのための空間を下方に形成するために設けられて
いる。従って、凹部３３ａの面積は、上記共振部２，３
を少なくとも囲撓し得るような大きさに選ばれる。The protection substrates 32 and 33 are each made of an appropriate insulating material such as insulating ceramics or synthetic resin. A concave portion 33a is formed on the upper surface of the protection substrate 33. The concave portion 33a is provided in order to form a space below so as not to hinder the vibration of the resonance portions 2 and 3. Therefore, the area of the concave portion 33a is equal to
Is selected so as to be able to surround at least.
【００５４】同様に、他方の保護基板３２の下面にも、
凹部３３ａと同様の凹部が形成されている。なお、凹部
３３ａの形成に代えて、凹部３３ａと同様の大きさの開
口を有する矩形枠状のスペーサーを保護基板と共振プレ
ート３１との間に介在させてもよく、あるいは矩形枠状
に接着剤を付与することにより上記空間を確保してもよ
い。Similarly, on the lower surface of the other protective substrate 32,
A recess similar to the recess 33a is formed. Instead of forming the concave portion 33a, a rectangular frame-shaped spacer having an opening having the same size as the concave portion 33a may be interposed between the protective substrate and the resonance plate 31, or the rectangular frame-shaped adhesive may be used. May be provided to secure the space.
【００５５】本実施例の圧電共振部品では、共振プレー
ト３１の上下に、上記保護基板３２，３３が絶縁性接着
剤などの適宜の接合手段を用いて積層され、一体化され
る。しかる後、図５に示すように、外部電極３６ａ〜３
６ｄを、得られた積層体の端面から上面及び下面に至る
ように形成することにより、チップ型フィルタ３７を得
ることができる。なお、外部電極３６ａ〜３６ｄは、そ
れぞれ、前述した端子電極１３〜１６に電気的に接続さ
れている。外部電極３６ａ〜３６ｄは、導電ペーストの
塗布・硬化、あるいは蒸着、スパッタリングもしくはめ
っき等の薄膜形成法により形成することができる。In the piezoelectric resonance component of this embodiment, the protective substrates 32 and 33 are laminated and integrated above and below the resonance plate 31 by using an appropriate bonding means such as an insulating adhesive. Thereafter, as shown in FIG.
The chip type filter 37 can be obtained by forming 6d from the end surface of the obtained laminate to the upper surface and the lower surface. The external electrodes 36a to 36d are electrically connected to the terminal electrodes 13 to 16, respectively. The external electrodes 36a to 36d can be formed by applying and curing a conductive paste, or by a thin film forming method such as vapor deposition, sputtering or plating.
【００５６】チップ型フィルタ３７は、チップ型部品と
して構成されているため、プリント回路基板上に容易に
面実装することができる。また、第１の実施例で説明し
たように、端子電極１３が入力端ＩＮとして、端子電極
１４が出力端ＯＵＴとして、端子電極１５，１６がアー
ス電位に接続されるため、上記外部電極３６ａが入力端
ＩＮとして、外部電極３６ｂが出力端ＯＵＴとして用い
られ、外部電極３６ｃ及び３６ｄは、アース電位に接続
されることになる。Since the chip-type filter 37 is configured as a chip-type component, it can be easily surface-mounted on a printed circuit board. As described in the first embodiment, the terminal electrode 13 is connected to the input terminal IN, the terminal electrode 14 is connected to the output terminal OUT, and the terminal electrodes 15 and 16 are connected to the ground potential. As the input terminal IN, the external electrode 36b is used as the output terminal OUT, and the external electrodes 36c and 36d are connected to the ground potential.
【００５７】本実施例のチップ型フィルタ３７では、上
記のように共振プレート３１の上下に保護基板３２，３
３を積層して一体化し外部電極を形成するだけで、チッ
プ型部品として構成される。従って、従来の絶縁ケース
内に複数の圧電共振子を収納してなる圧電フィルタに比
べて、構造を大幅に簡略化することができ、かつチップ
型フィルタの小型化も果たすことができる。さらに、ば
ね端子等を内蔵していないため、耐機械的衝撃性も高め
られる。In the chip type filter 37 of this embodiment, the protection substrates 32, 3
By simply laminating and integrating the external electrodes 3 to form an external electrode, a chip-type component is formed. Therefore, as compared with a conventional piezoelectric filter in which a plurality of piezoelectric resonators are housed in an insulating case, the structure can be greatly simplified and the chip type filter can be downsized. Further, since no spring terminal or the like is incorporated, mechanical shock resistance can be improved.
【００５８】チップ型フィルタの他の例 図５に示したチップ型フィルタ３７では、第１の実施例
の圧電フィルタ１が用いられていたが、上記実施例の圧
電フィルタ１を複数用いてチップ型フィルタを構成して
もよい。このような例を、図７〜図１１を参照して説明
する。 Another Example of Chip-Type Filter In the chip-type filter 37 shown in FIG. 5, the piezoelectric filter 1 of the first embodiment is used. A filter may be configured. Such an example will be described with reference to FIGS.
【００５９】図７は、チップ型フィルタの他の例を説明
するための分解斜視図である。本構造例のチップ型フィ
ルタでは、第１の共振プレート４１と、第２の共振プレ
ート４２とが、矩形枠状のスペーサー４３を介して積層
されており、その上下に保護基板３２，３３が積層され
る。共振プレート４１，４２は、それぞれ、端子電極の
形成位置が異なることを除いては、図４に示した共振プ
レート３１とほぼ同様に構成されている。従って、同一
部分については、同一の参照番号を付することにより、
その説明を省略する。FIG. 7 is an exploded perspective view for explaining another example of the chip type filter. In the chip type filter of this structural example, the first resonance plate 41 and the second resonance plate 42 are laminated via a rectangular frame-shaped spacer 43, and the protection substrates 32 and 33 are laminated on the upper and lower sides thereof. Is done. The resonance plates 41 and 42 have substantially the same configuration as the resonance plate 31 shown in FIG. 4 except that the formation positions of the terminal electrodes are different. Therefore, the same parts are given the same reference numbers,
The description is omitted.
【００６０】図８は、第１の共振プレート４１の下面側
の電極形状を示す模式的平面図である。下面側の端子電
極４４，４５は、支持部１１，１２の略中央部に形成さ
れている。FIG. 8 is a schematic plan view showing the shape of the electrode on the lower surface side of the first resonance plate 41. The terminal electrodes 44 and 45 on the lower surface side are formed substantially at the center of the support portions 11 and 12.
【００６１】同様に、図９は、第２の共振プレート４２
の下面の電極形状を示す模式的平面図である。第２の共
振プレート４２では、下面の端子電極４６，４７が保持
部１１，１２の略中央領域に形成されている。Similarly, FIG. 9 shows the second resonance plate 42
FIG. 3 is a schematic plan view showing the shape of an electrode on the lower surface of FIG. In the second resonance plate 42, terminal electrodes 46 and 47 on the lower surface are formed in a substantially central region of the holding parts 11 and 12.
【００６２】また、第２の共振プレート４２では、上面
側の端子電極４８，４９は、保持部１１，１２の端面１
１ｂ，１２ｂ側に寄せられて形成されている。従って、
共振プレート４１，４２を図７に示す向きに積層した場
合、端子電極４４，４６が保持部１１，１２の略中央部
分に形成されているため、端子電極４４と端子電極４６
とが上下に重なり合わされており、これらと、端子電極
１３と端子電極４８とは上下方向に重なり合わない位置
に配置されることになる。他方側の端子電極４５，４７
についても、上下に重ね合わされ、これらと、端子電極
１４と端子電極４９とは上下に重なり合わない位置に配
置されることになる。In the second resonance plate 42, the terminal electrodes 48, 49 on the upper surface are connected to the end surfaces 1 of the holding portions 11, 12.
1b and 12b. Therefore,
When the resonance plates 41 and 42 are stacked in the direction shown in FIG. 7, the terminal electrodes 44 and 46 are formed substantially at the center of the holding parts 11 and 12, so that the terminal electrodes 44 and
Are vertically overlapped, and the terminal electrode 13 and the terminal electrode 48 are arranged at positions where they do not overlap in the vertical direction. Terminal electrodes 45 and 47 on the other side
Are also superimposed on each other, and the terminal electrode 14 and the terminal electrode 49 are arranged at positions where they do not overlap vertically.
【００６３】図７に戻り、矩形枠状のスペーサー４３
は、矩形の開口４３ａを有する。スペーサー４３は、共
振プレート４１，４２の各共振部２，３の振動を妨げな
いための空間を形成するために設けられている。Returning to FIG. 7, the rectangular frame-shaped spacer 43
Has a rectangular opening 43a. The spacer 43 is provided to form a space that does not hinder the vibration of each of the resonance parts 2 and 3 of the resonance plates 41 and 42.
【００６４】スペーサー４３は、例えば矩形枠状の接着
剤フィルムにより構成することができるが、通常の合成
樹脂フィルタや絶縁性セラミックスによりスペーサー４
３を構成してもよく、その場合には、接着剤等を用いて
共振プレート４１，４２に接着される。また、スペーサ
ー４３に代えて、接着剤を共振プレート４１の下面及び
共振プレート４２の上面の少なくとも一方に塗布し硬化
させることにより、スペーサー４３を構成してもよい。The spacer 43 can be made of, for example, a rectangular frame-shaped adhesive film. The spacer 43 is made of an ordinary synthetic resin filter or insulating ceramic.
3 may be formed, and in this case, they are bonded to the resonance plates 41 and 42 using an adhesive or the like. Further, instead of the spacer 43, the spacer 43 may be configured by applying and curing an adhesive on at least one of the lower surface of the resonance plate 41 and the upper surface of the resonance plate 42.
【００６５】本実施例では、上記共振プレート４１，４
２、スペーサー４３及び保護基板３２，３３を積層し、
図１０に示す外部電極５１〜５６を積層体の端面から上
面及び下面を覆うように形成することにより、チップ型
フィルタ５７が得られる。外部電極５１〜５６の形成
は、図５に示した外部電極３６ａ〜３６ｄと同様に行わ
れる。In this embodiment, the resonance plates 41, 4
2, the spacer 43 and the protection substrates 32 and 33 are laminated,
The chip-type filter 57 is obtained by forming the external electrodes 51 to 56 shown in FIG. The external electrodes 51 to 56 are formed in the same manner as the external electrodes 36a to 36d shown in FIG.
【００６６】チップ型フィルタ５７の回路構成を図１１
に示す。ここでは、外部電極５４と５６が相互に接続さ
れている。図１０に示したチップ型フィルタ５７から明
らかなように、本発明のチップ型圧電フィルタを複数用
い、より多段の二重モード圧電フィルタをチップ型部品
として構成することができる。FIG. 11 shows the circuit configuration of the chip type filter 57.
Shown in Here, the external electrodes 54 and 56 are connected to each other. As is clear from the chip-type filter 57 shown in FIG. 10, a multi-stage double-mode piezoelectric filter can be configured as a chip-type component by using a plurality of chip-type piezoelectric filters of the present invention.
【００６７】第３の実施例 図１２（ａ）及び（ｂ）は、第３の実施例にかかる圧電
フィルタを説明するための平面図及び圧電板を透かして
下方の電極形状を示した模式的平面図である。圧電フィ
ルタ６１は、第１，第２の圧電共振部６２，６３を有す
る。圧電共振部６２，６３は接続部６４を介して連結さ
れている。圧電共振部６２，６３は、矩形板状の厚み方
向に分極処理された圧電板の両主面の全面に電極６５〜
６８を形成した構造を有する。圧電板を構成する材料と
しては、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックス、Ｌ
ｉＮｂＯ3 圧電単結晶またはＬｉＴａＯ3 圧電単結晶な
どの適宜の圧電材料を用いることができる。 Third Embodiment FIGS. 12A and 12B are plan views for explaining a piezoelectric filter according to a third embodiment and a schematic diagram showing a lower electrode shape through a piezoelectric plate. It is a top view. The piezoelectric filter 61 has first and second piezoelectric resonance units 62 and 63. The piezoelectric resonance parts 62 and 63 are connected via a connection part 64. The piezoelectric resonators 62 and 63 are provided with electrodes 65 to 65 on the entire surfaces of both main surfaces of the piezoelectric plate polarized in the thickness direction of the rectangular plate.
68 is formed. As a material constituting the piezoelectric plate, lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramics, L
An appropriate piezoelectric material such as an iNbO 3 piezoelectric single crystal or a LiTaO 3 piezoelectric single crystal can be used.
【００６８】上記共振部６２，６３を構成している圧電
板は平面形状が長方形であり、従って上記電極６５，６
７間及び電極６６，６８間に交流電圧を印加することに
より、第１，第２の圧電共振部６２，６３は幅モードあ
るいは幅拡がりモードで励振される。この場合、圧電共
振部６２，６３の平面形状を、第１の実施例の圧電フィ
ルタ１と同様に、式（１）を中心とした値から±１０％
を満たすように比ｂ／ａを選択した場合には、幅拡がり
モードで励振される。従って、比ｂ／ａを上記のように
選択した場合には、第１，第２の圧電共振部６２，６３
おいて振動エネルギーを効果的に閉じ込め得る。The piezoelectric plates forming the resonance portions 62 and 63 have a rectangular planar shape, and therefore the electrodes 65 and 6 have a rectangular shape.
By applying an AC voltage between the electrodes 7 and the electrodes 66 and 68, the first and second piezoelectric resonators 62 and 63 are excited in the width mode or the width expansion mode. In this case, as in the case of the piezoelectric filter 1 of the first embodiment, the planar shape of the piezoelectric resonance portions 62 and 63 is ± 10% from the value centered on the equation (1).
When the ratio b / a is selected so as to satisfy the condition, the excitation is performed in the widening mode. Therefore, when the ratio b / a is selected as described above, the first and second piezoelectric resonance units 62 and 63
Vibration energy can be effectively confined.
【００６９】また、圧電共振部６２，６３の外側の側面
中央に、支持部６９，７０が連結されている。圧電共振
部６２，６３は、幅モードまたは幅拡がりモードで励振
されるため、その振動のノード点が、上記側面中央部に
位置する。従って、支持部６９，７０には、さほど振動
は漏洩してこない。さらに、支持部６９，７０の外側端
に、屈曲モードで振動する動吸振部７１，７２が設けら
れている。Supports 69 and 70 are connected to the center of the outer side surfaces of the piezoelectric resonators 62 and 63, respectively. Since the piezoelectric resonators 62 and 63 are excited in the width mode or the width expansion mode, the node point of the vibration is located at the center of the side surface. Therefore, the vibration does not leak to the support portions 69 and 70 so much. Further, at the outer ends of the support portions 69 and 70, dynamic vibration absorbing portions 71 and 72 that vibrate in a bending mode are provided.
【００７０】動吸振部７１，７２は、支持部６９，７０
から漏洩してきた振動を受けて屈曲モードで共振し、動
吸振現象により、漏洩してきた振動を抑制する。動吸振
現象の詳細は、谷口修著「振動工学」第１１３頁〜第１
１６頁（コロナ社発行）に記載されている。The dynamic vibration absorbing portions 71 and 72 are supported by the supporting portions 69 and 70.
Resonates in a bending mode in response to the vibrations leaked from the device, and suppresses the leaked vibrations by the dynamic vibration absorption phenomenon. For details of the dynamic vibration absorption phenomenon, see Osamu Taniguchi, “Vibration Engineering,” pp. 113-1.
It is described on page 16 (issued by Corona).
【００７１】動吸振部７１，７２は、上記のように支持
部６９，７０を介して伝達してきた振動により屈曲モー
ドで共振し、動吸振現象により振動を抑制するように作
用するものであるため、動吸振部７１，７２の寸法は、
漏洩してきた振動に合わせて選択される。すなわち、動
吸振部７１，７２の共振周波数が、漏洩してきた振動の
周波数と一致するように、動吸振部７１，７２の形状及
び寸法が定められる。The dynamic vibration absorbing portions 71 and 72 resonate in the bending mode by the vibration transmitted through the support portions 69 and 70 as described above, and act to suppress the vibration by the dynamic vibration absorbing phenomenon. The dimensions of the dynamic vibration absorbing portions 71 and 72 are as follows.
It is selected according to the leaked vibration. That is, the shapes and dimensions of the dynamic vibration absorbing portions 71 and 72 are determined such that the resonance frequency of the dynamic vibration absorbing portions 71 and 72 matches the frequency of the leaked vibration.
【００７２】動吸振部７１，７２の外側端には、連結部
７３，７４が連結されており、連結部７３，７４の外側
端に保持部７５，７６が連結されている。本実施例で
は、動吸振部７１，７２までの部分において圧電フィル
タ６１を動作させた場合の振動が閉じ込められることに
なる。従って、連結部７３，７４の外側端において機械
的に保持し得るが、他の部材への機械的固定を容易とす
るため、並びに後述の端子電極を形成する面積を確保す
るために、上記保持部７５，７６が設けられている。も
っとも、保持部７５，７６は、連結部７３，７４をその
まま延長した形状に構成されていてもよい。Connecting portions 73 and 74 are connected to outer ends of the dynamic vibration absorbing portions 71 and 72, and holding portions 75 and 76 are connected to outer ends of the connecting portions 73 and 74. In the present embodiment, the vibration when the piezoelectric filter 61 is operated in the portion up to the dynamic vibration absorbers 71 and 72 is confined. Accordingly, the outer ends of the connecting portions 73 and 74 can be mechanically held. However, in order to facilitate mechanical fixing to other members and to secure an area for forming a terminal electrode to be described later, the above holding is performed. Parts 75 and 76 are provided. However, the holding portions 75 and 76 may be configured in a shape in which the connecting portions 73 and 74 are directly extended.
【００７３】保持部７５の上面には、端面７５ａ側によ
せて端子電極７８が形成されており、保持部７６の上面
には、端子電極７９が端面７６ａ側によせて形成されて
いる。また、保持部７６の下面には、端面７５ｂ側によ
せて端子電極８０が、保持部７６の下面には、端面７６
ｂ側によせて端子電極８１が形成されている。また、８
２ａ〜８２ｄは、それぞれ、接続導電部を示し、端子電
極７８〜８１と、電極６５〜６８とを電気的に接続して
いる。A terminal electrode 78 is formed on the upper surface of the holding portion 75 on the side of the end surface 75a, and a terminal electrode 79 is formed on the upper surface of the holding portion 76 on the side of the end surface 76a. A terminal electrode 80 is provided on the lower surface of the holding portion 76 toward the end surface 75b, and an end surface 76 is provided on the lower surface of the holding portion 76.
A terminal electrode 81 is formed on the b side. Also, 8
Reference numerals 2a to 82d denote connection conductive portions, respectively, and electrically connect the terminal electrodes 78 to 81 and the electrodes 65 to 68.
【００７４】本実施例においても、第１の実施例と同様
に、圧電セラミック板を機械加工により図１２（ａ）に
示す平面形状を有するように加工し、上述した各電極、
接続導電部及び端子電極を形成することにより得ること
ができる。もっとも、第１，第２の圧電共振部６２，６
３、接続部６４、支持部６９，７０、動吸振部７１，７
２、連結部７３，７４及び保持部７５，７６を、それぞ
れ別部材で構成し、接着剤等を用いて接合し、一体化し
てもよい。In this embodiment, similarly to the first embodiment, the piezoelectric ceramic plate is machined to have the plane shape shown in FIG.
It can be obtained by forming a connection conductive portion and a terminal electrode. However, the first and second piezoelectric resonators 62, 6
3, connecting portion 64, supporting portions 69, 70, dynamic vibration absorbing portions 71, 7
2. The connecting portions 73 and 74 and the holding portions 75 and 76 may be formed of separate members, and may be joined and integrated using an adhesive or the like.
【００７５】本実施例の圧電フィルタ６１では、上記端
子電極７８を入力端とし、端子電極７９を出力端とし、
下面側の端子電極８０，８１をアース電位に接続するこ
とにより、第１の実施例の圧電フィルタ１と同様に二重
モード圧電フィルタとして動作させることができる。In the piezoelectric filter 61 of this embodiment, the terminal electrode 78 is used as an input terminal, and the terminal electrode 79 is used as an output terminal.
By connecting the terminal electrodes 80 and 81 on the lower surface to the ground potential, it is possible to operate as a dual mode piezoelectric filter as in the piezoelectric filter 1 of the first embodiment.
【００７６】第３の実施例の圧電フィルタ６１において
は、上記のように、動吸振部７１，７２までの部分に、
フィルタとして動作された場合の振動が効果的に閉じ込
められる。従って、単一の素子で二重モード圧電フィル
タを構成することができ、しかも保持部７５，７６によ
り容易に機械的に保持することができるため、第１の実
施例と同様に、部品点数の削減、製造工程の簡略化を果
たし得る。また、チップ型フィルタとして構成すること
も容易である。すなわち、前述した第１の実施例の圧電
フィルタ１と同様に、図５や図１０に示したチップ型フ
ィルタを構成することができる。In the piezoelectric filter 61 of the third embodiment, as described above, the portions up to the dynamic vibration absorbing portions 71 and 72 are
Vibration when operated as a filter is effectively confined. Therefore, the dual mode piezoelectric filter can be constituted by a single element, and can be easily mechanically held by the holding portions 75 and 76. Therefore, similarly to the first embodiment, the number of parts can be reduced. Reduction and simplification of the manufacturing process can be achieved. It is also easy to configure as a chip type filter. That is, similarly to the above-described piezoelectric filter 1 of the first embodiment, the chip-type filters shown in FIGS. 5 and 10 can be configured.
【００７７】第４の実施例 図１３（ａ）及び（ｂ）は、第４の実施例にかかる圧電
フィルタを説明するための平面図及び圧電板を透かして
他方の電極形状を示す模式的平面図である。 Fourth Embodiment FIGS. 13A and 13B are a plan view for explaining a piezoelectric filter according to a fourth embodiment and a schematic plan view showing the shape of the other electrode through the piezoelectric plate. FIG.
【００７８】第４の実施例の圧電フィルタ９１は、第
１，第２の圧電共振部９２，９３が正方形板の拡がり振
動モードを利用したことを除いては、第３の実施例の圧
電フィルタ６１と同様に構成されている。The piezoelectric filter 91 according to the fourth embodiment differs from the piezoelectric filter according to the third embodiment in that the first and second piezoelectric resonators 92 and 93 use the expansion vibration mode of a square plate. It is configured similarly to 61.
【００７９】すなわち、圧電共振部９２，９３は、平面
形状が正方形の圧電板を用いて構成されており、該圧電
板は厚み方向に分極処理されている。その他の点につい
ては、第３の実施例の圧電フィルタ６１と同様であるた
め、同一部分については同一の参照番号を付することに
よりその説明を省略する。That is, the piezoelectric resonance portions 92 and 93 are formed using a piezoelectric plate having a square planar shape, and the piezoelectric plates are polarized in the thickness direction. The other points are the same as those of the piezoelectric filter 61 of the third embodiment, and the same parts are denoted by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００８０】本実施例の圧電フィルタ９１においても、
第３の実施例の圧電フィルタ６１と同様に、動吸振部７
１，７２までの部分にフィルタとして動作させた場合の
振動エネルギーが閉じ込められる。従って、第３の実施
例の圧電フィルタ６１と同様に、保持部７５，７６を用
いて機械的に保持することができる。また、単一の素子
において、二重モード圧電フィルタが構成されているた
め、部品点数の低減及び製造工程の簡略化を果たし得
る。In the piezoelectric filter 91 of this embodiment,
As with the piezoelectric filter 61 of the third embodiment, the dynamic vibration absorber 7
Vibration energy when operated as a filter is confined in portions up to 1,72. Therefore, similarly to the piezoelectric filter 61 of the third embodiment, it can be mechanically held by using the holding portions 75 and 76. In addition, since the single element constitutes the dual mode piezoelectric filter, the number of components can be reduced and the manufacturing process can be simplified.
【００８１】このように、動吸振部７１，７２を設けた
場合には、上記式（１）を満たす値を中心として±１０
％の範囲内に入るように比ｂ／ａを選択せずともよい。
また、圧電共振部は、拡がりモード以外のモード、例え
ば細長い振動体の長さ振動モードを利用したものであっ
てもよい。As described above, when the dynamic vibration absorbing portions 71 and 72 are provided, ± 10% with respect to the value satisfying the above expression (1).
% May not be selected so as to fall within the range of%.
Further, the piezoelectric resonator may use a mode other than the expansion mode, for example, a length vibration mode of an elongated vibrator.
【００８２】第５の実施例 図１４は、第５の実施例にかかる圧電フィルタを示す斜
視図であり、図１５は、その平面図である。 Fifth Embodiment FIG. 14 is a perspective view showing a piezoelectric filter according to a fifth embodiment, and FIG. 15 is a plan view thereof.
【００８３】図１４及び図１５を参照して、圧電フィル
タ１０１は、図示の平面形状を有する圧電セラミック
板、すなわち細長い矩形の圧電板に、一方側面に溝１０
２，１０３を、他方側面に溝１０４を形成した形状を有
する圧電板１０５を用いて構成されている。Referring to FIGS. 14 and 15, a piezoelectric filter 101 is formed by a piezoelectric ceramic plate having a planar shape as shown in FIG.
2 and 103 are configured using a piezoelectric plate 105 having a shape in which a groove 104 is formed on the other side surface.
【００８４】圧電板１０５は、チタン酸ジルコン酸鉛系
圧電セラミックスや、ＬｉＮｂＯ3圧電単結晶またはＬ
ｉＴａＯ3 圧電単結晶などの圧電材料により構成され
る。また、圧電板１０５は、図示の矢印Ｐ方向、すなわ
ちその主面と平行な方向に分極処理されている。The piezoelectric plate 105 is made of a lead zirconate titanate-based piezoelectric ceramic, a LiNbO 3 piezoelectric single crystal or an LNbO 3 piezoelectric single crystal.
It is composed of a piezoelectric material such as an iTaO 3 piezoelectric single crystal. The piezoelectric plate 105 is polarized in a direction indicated by an arrow P, that is, in a direction parallel to the main surface thereof.
【００８５】圧電フィルタ１０１では、図１５に示すよ
うに、溝１０４の両側に、破線で囲まれた平面形状が矩
形の第１，第２の圧電共振部１１１，１１２が構成され
ている。第１，第２の圧電共振部１１１，１１２は、溝
１０４が構成されている部分の側方の圧電板部分により
構成されている接続部１１３により連結されている。ま
た、第１，第２の圧電共振部１１１，１１２の外側に
は、溝１０２，１０３の側方の細い幅の圧電基板部分に
より構成されている支持部１１４，１１５が設けられて
いる。支持部１１４，１１５の外側には、支持部１１
４，１１５に比べて幅の広い圧電板部分が、保持部１１
６，１１７を構成している。In the piezoelectric filter 101, as shown in FIG. 15, first and second piezoelectric resonance portions 111 and 112 each having a rectangular planar shape surrounded by a broken line are formed on both sides of the groove 104. The first and second piezoelectric resonance portions 111 and 112 are connected by a connection portion 113 formed by a piezoelectric plate portion on a side of a portion where the groove 104 is formed. Outside the first and second piezoelectric resonance portions 111 and 112, support portions 114 and 115 each formed of a piezoelectric substrate portion having a small width beside the grooves 102 and 103 are provided. Outside the support portions 114 and 115, the support portions 11 are provided.
4 and 115, the piezoelectric plate portion wider than the holding portion 11
6,117.
【００８６】なお、本実施例の圧電フィルタ１０１で
は、上記圧電板１０５に溝１０２〜１０４を形成するこ
とにより、上記各部分が構成されているが、上記各部分
を構成した後、絶縁性接着剤等により接合し、一体化す
ることによって圧電フィルタ１０１を得てもよい。In the piezoelectric filter 101 of this embodiment, each of the above-described portions is formed by forming the grooves 102 to 104 in the above-described piezoelectric plate 105. The piezoelectric filter 101 may be obtained by joining with a material or the like and integrating them.
【００８７】もっとも、本実施例のように、細長い矩形
の圧電板１０５に、上記溝１０２〜１０４を形成するこ
とにより、より容易に上記各部分を構成することができ
る。圧電フィルタ１０１では、圧電板１０５の一方側面
において、溝１０２，１０３間に電極１１８が形成され
ている。また、圧電板１０５の他方側面においては、溝
１０４の一方側に電極１１９が、他方側に電極１２０が
形成されている。電極１１９，１２０は、それぞれ、第
１，第２の圧電共振部１１１，１１２から圧電板１０５
の端部に至るように延ばされている。However, by forming the grooves 102 to 104 in the elongated rectangular piezoelectric plate 105 as in the present embodiment, each of the above-described portions can be configured more easily. In the piezoelectric filter 101, an electrode 118 is formed between the grooves 102 and 103 on one side surface of the piezoelectric plate 105. On the other side of the piezoelectric plate 105, an electrode 119 is formed on one side of the groove 104, and an electrode 120 is formed on the other side. The electrodes 119 and 120 are respectively connected to the first and second piezoelectric resonance portions 111 and 112 from the piezoelectric plate 105.
It is extended to reach the end.
【００８８】また、上記圧電共振部１１１，１１２の平
面形状、すなわち溝１０２，１０４間に挟まれた第１の
圧電共振部１１１、及び溝１０３，１０４間に挟まれた
第２の圧電共振部１１２は、電極１１８〜１２０により
電圧が印加される方向に沿う長さをｂ、電圧が印加され
る方向と直交する方向の長さをａとし、圧電板１０１を
構成している材料のポアソン比をσとしたときに、比ｂ
／ａは、前述した式（２）を中心とした値から±１０％
の範囲内とされるように、その平面形状が選択されてい
る。The planar shape of the piezoelectric resonators 111 and 112, that is, the first piezoelectric resonator 111 sandwiched between the grooves 102 and 104, and the second piezoelectric resonator 111 sandwiched between the grooves 103 and 104. 112 denotes a length along a direction in which a voltage is applied by the electrodes 118 to 120, and a denotes a length in a direction perpendicular to the direction in which a voltage is applied. The Poisson's ratio of a material constituting the piezoelectric plate 101 Σ, the ratio b
/ A is ± 10% from the value centered on equation (2) described above.
The plane shape is selected so as to fall within the range of.
【００８９】従って、電極１１８と電極１１９との間に
交流電圧を印加した場合、第１の圧電共振部１１１は、
すべりモードで共振し、しかも、上記平面形状を有する
ため、すべりモードの振動エネルギーが、第１の圧電共
振部１１１に効果的に閉じ込められる。同様に、第２の
圧電共振部１１２においても、その平面形状が上記のよ
うに定められているため、すべりモードによる共振エネ
ルギーが第２の共振部１１２に効果的に閉じ込められ
る。Therefore, when an AC voltage is applied between the electrode 118 and the electrode 119, the first piezoelectric resonance section 111
Since the resonator resonates in the slip mode and has the planar shape, the vibration energy in the slip mode is effectively confined in the first piezoelectric resonator 111. Similarly, also in the second piezoelectric resonator 112, the planar shape is determined as described above, so that the resonance energy due to the slip mode is effectively confined in the second resonator 112.
【００９０】上記のように、式（２）に示す値を中心と
して±１０％の範囲内となるように比ｂ／ａを選択する
ことにより、すべりモードを利用したエネルギー閉じ込
め型圧電共振部を構成し得ることは、本願発明者により
実験的に確かめられており、本願発明者が先に提出した
特願平５−２４１７４８号に開示されている。As described above, by selecting the ratio b / a so as to fall within the range of ± 10% around the value shown in the equation (2), the energy trapping type piezoelectric resonator using the slip mode can be formed. The possibility of this configuration has been experimentally confirmed by the inventor of the present invention, and is disclosed in Japanese Patent Application No. 5-241748 filed earlier by the present inventor.
【００９１】圧電フィルタ１０１では、図１５に示すよ
うに、電極１１８を基準電位、例えばアース電位に接続
し、電極１１９を入力端とし、電極１２０を出力端とす
ることにより、第１，第２の圧電共振部１１１，１１２
が共振し、二重モード圧電フィルタとして動作する。In the piezoelectric filter 101, as shown in FIG. 15, the electrode 118 is connected to a reference potential, for example, a ground potential, the electrode 119 is used as an input terminal, and the electrode 120 is used as an output terminal. Piezoelectric resonators 111 and 112
Resonate and operate as a dual mode piezoelectric filter.
【００９２】しかも、本実施例の圧電フィルタ１０１に
おいても、第１，第２の圧電共振部１１１，１１２に振
動エネルギーが効果的に閉じ込められるため、支持部１
１４，１１５にはほとんど振動が伝達されない。よっ
て、保持部１１６，１１７を用いて圧電フィルタ１０１
を機械的に保持することができる。Moreover, also in the piezoelectric filter 101 of this embodiment, since the vibration energy is effectively confined in the first and second piezoelectric resonance portions 111 and 112, the support portion 1
Vibration is hardly transmitted to 14, 115. Therefore, the piezoelectric filter 101 is formed using the holding portions 116 and 117.
Can be held mechanically.
【００９３】従って、第１の実施例の圧電フィルタ１と
同様に、単一の素子で二重モード圧電フィルタを構成す
ることができるため、部品点数の低減及び製造工程の簡
略化を果たし得る。また、ばね端子等複雑な構造の部材
を必要とすることなく、第１の実施例の圧電フィルタ１
と同様に、チップ型の圧電フィルタを容易に構成するこ
とができる。Therefore, as in the case of the piezoelectric filter 1 of the first embodiment, a single element can constitute a dual mode piezoelectric filter, so that the number of components can be reduced and the manufacturing process can be simplified. Further, the piezoelectric filter 1 according to the first embodiment does not require a member having a complicated structure such as a spring terminal.
Similarly to the above, a chip type piezoelectric filter can be easily configured.
【００９４】なお、圧電フィルタ１０１においては、第
１，第２の圧電共振部１１１，１１２の各外側に、支持
部１１４，１１５及び保持部１１６，１１７が設けられ
ていたが、一方の圧電共振部１１１または１１２の外側
にのみ支持部及び保持部が設けられた構造であってもよ
い。In the piezoelectric filter 101, the support portions 114 and 115 and the holding portions 116 and 117 are provided outside each of the first and second piezoelectric resonance portions 111 and 112. A structure in which the supporting portion and the holding portion are provided only outside the portion 111 or 112 may be used.
【００９５】また、図１５に示した実施例では、各圧電
共振部１１１，１１２を共振させるための電極が、圧電
板１０１の側面に形成されていたが、電極１１８〜１２
０は、圧電板１０５の主面に形成されていてもよい。す
なわち、図１６に斜視図で示す変形例のように、圧電板
１０５の一方面上において、一方側縁に沿うように電極
１１８を、他方側縁に沿うように電極１１９，１２０を
形成してもよい。この場合においても、電極１１８〜１
２０を、第５の実施例の圧電フィルタ１０１と同様に接
続することにより、第１，第２の圧電共振部１１１，１
１２をすべりモードで共振させることができ、二重モー
ド圧電フィルタとして用いることができる。In the embodiment shown in FIG. 15, the electrodes for resonating the respective piezoelectric resonators 111 and 112 are formed on the side surfaces of the piezoelectric plate 101.
0 may be formed on the main surface of the piezoelectric plate 105. That is, as in the modification shown in the perspective view in FIG. 16, on one surface of the piezoelectric plate 105, the electrode 118 is formed along one side edge, and the electrodes 119 and 120 are formed along the other side edge. Is also good. Also in this case, the electrodes 118-1
20 is connected in the same manner as the piezoelectric filter 101 of the fifth embodiment, so that the first and second piezoelectric resonance sections 111 and 1 are connected.
12 can be made to resonate in a slip mode, and can be used as a dual mode piezoelectric filter.
【００９６】また、図１６では、圧電板１０５の一方主
面側において、電極１１８〜１２０が形成されていた
が、他方主面にも、電極１１８〜１２０とそれぞれ表裏
対向するように電極を形成してもよい。さらに、一方の
電極１１８を一方主面上に、他方の電極１１９，１２０
を他方主面上に形成してもよい。さらに、図１５に示し
た実施例では、電極１１８，１１９，１２０は圧電板１
０１の側面に形成されていたが、側面だけでなく、両主
面の少なくとも一方に至るように形成してもよい。In FIG. 16, the electrodes 118 to 120 are formed on one main surface of the piezoelectric plate 105. On the other main surface, electrodes are formed so as to face the electrodes 118 to 120 respectively. May be. Furthermore, one electrode 118 is placed on one main surface and the other electrodes 119 and 120
May be formed on the other main surface. Further, in the embodiment shown in FIG. 15, the electrodes 118, 119, and 120 are
Although it was formed on the side surface of No. 01, it may be formed not only on the side surface but also on at least one of both main surfaces.
【００９７】さらに、図１５に示した圧電フィルタ１０
１では、圧電板１０１の一方側面側から溝１０２，１０
３を形成していたが、溝１０２，１０３が形成されてい
る位置において、他方側面側から同じ幅の溝を形成し、
それによって支持部１１４，１１５の幅を狭めてもよ
い。同様に、溝１０４が形成されている部分において、
他方側面側からも同じ幅の溝を形成することにより、接
続部１１３の幅を狭めてもよい。Further, the piezoelectric filter 10 shown in FIG.
1, grooves 102, 10 are formed from one side of the piezoelectric plate 101.
3 was formed, but at the position where the grooves 102 and 103 were formed, a groove having the same width was formed from the other side surface,
Thereby, the widths of the support portions 114 and 115 may be reduced. Similarly, in the portion where the groove 104 is formed,
The width of the connection portion 113 may be reduced by forming a groove having the same width from the other side surface.
【００９８】さらに、前述した第１の実施例と同様に、
第１，第２の圧電共振部１１１，１１２のうち一方側に
おいてのみ、支持部及び保持部が連結されていてもよ
い。Further, similarly to the above-described first embodiment,
The support portion and the holding portion may be connected only on one side of the first and second piezoelectric resonance portions 111 and 112.
【００９９】第６の実施例 図１７は、本発明の第６の実施例にかかる圧電フィルタ
を示す平面図であり、図５の実施例について示した図１
５に相当の図である。 Sixth Embodiment FIG. 17 is a plan view showing a piezoelectric filter according to a sixth embodiment of the present invention, and FIG. 1 shows the embodiment of FIG.
FIG.
【０１００】圧電フィルタ１３０は、細長い矩形の圧電
板１３１を図１７に示す形状となるように加工し、後述
の電極を形成することにより構成されている。圧電板１
３１では、一方側面側から、溝１３２，１３３，１３
４，１３５が形成され、他方側面側から溝１３６，１３
７が形成されている。溝１３２，１３３間、溝１３４，
１３５間及び溝１３６，１３７間には、それぞれ、動吸
振部１３８，１３９，１４０が構成されている。動吸振
部１３８〜１４０は、動吸振現象により共振部から伝達
してきた振動を抑制するために設けられている。従っ
て、動吸振部１３８〜１４０は、動吸振現象により振動
を抑制し得るように、その寸法及び形状が選択される。The piezoelectric filter 130 is formed by processing an elongated rectangular piezoelectric plate 131 into the shape shown in FIG. 17 and forming electrodes to be described later. Piezoelectric plate 1
At 31, the grooves 132, 133, 13
4, 135 are formed, and grooves 136, 13 are formed from the other side.
7 are formed. Between the grooves 132 and 133, the groove 134,
Between 135 and between the grooves 136 and 137, dynamic vibration absorbing parts 138, 139 and 140 are formed, respectively. The dynamic vibration absorbing sections 138 to 140 are provided to suppress vibration transmitted from the resonance section due to the dynamic vibration absorbing phenomenon. Therefore, the size and shape of the dynamic vibration absorbing portions 138 to 140 are selected so that vibration can be suppressed by the dynamic vibration absorbing phenomenon.
【０１０１】本実施例の圧電フィルタ１３０は、上記動
吸振部１３８〜１４０を設けたことを除いては、第５の
実施例の圧電フィルタ１０１と同様に構成されている。
従って、相当の部分については、相当の参照番号を付す
ることにより、その詳細な説明は省略する。The piezoelectric filter 130 of this embodiment has the same configuration as that of the piezoelectric filter 101 of the fifth embodiment except that the above-described dynamic vibration absorbing portions 138 to 140 are provided.
Therefore, the corresponding parts are given the same reference numerals, and the detailed description thereof will be omitted.
【０１０２】圧電フィルタ１３０では、第１，第２の圧
電共振部１１１，１１２がすべりモードを利用した共振
部として構成されており、かつその主面の平面形状が、
前述した式（２）を満たす値を中心として±１０％以内
となるように比ｂ／ａが定められている。よって、元
来、圧電共振部１１１，１１２に、効果的に振動エネル
ギーが閉じ込められるが、僅かに漏洩した振動は、上記
動吸振部１３８〜１４０により動吸振現象により抑制さ
れる。従って、圧電フィルタ１０１に比べて、より一層
効果的に振動エネルギーを閉じ込めることができ、保持
部１１６及び１１７を用いてより一層強固に機械的に保
持することが可能である。In the piezoelectric filter 130, the first and second piezoelectric resonators 111 and 112 are configured as resonators using a slip mode, and the main surface has a planar shape.
The ratio b / a is determined so as to be within ± 10% around a value that satisfies Expression (2) described above. Therefore, originally, the vibration energy is effectively confined in the piezoelectric resonance portions 111 and 112, but the slightly leaked vibration is suppressed by the dynamic vibration absorbing portions 138 to 140 by the dynamic vibration absorbing phenomenon. Therefore, compared with the piezoelectric filter 101, the vibration energy can be more effectively confined, and it is possible to use the holding portions 116 and 117 to more strongly mechanically hold the vibration energy.
【０１０３】なお、本実施例では、動吸振部１３８，１
３９が設けられているため、第１，第２の圧電共振部１
１１，１１２と保持部１１６，１１７との間には、支持
部１１４，１１５が設けられているだけでなく、連結部
１４１，１４２が設けられている。すなわち、連結部１
４１，１４２は、溝１３２，１３５の側方の幅の細い圧
電基板部分により構成されている。In this embodiment, the dynamic vibration absorbers 138, 1
39, the first and second piezoelectric resonators 1
In addition to the supporting portions 114 and 115, connecting portions 141 and 142 are provided between the holding portions 116 and 117 and the holding portions 116 and 117. That is, the connecting portion 1
Each of the piezoelectric substrates 41 and 142 is formed of a piezoelectric substrate portion having a small width on the side of the grooves 132 and 135.
【０１０４】また、本実施例においても、上述した各部
分を別々の材料で構成し、接着剤等を用いて一体化する
ことにより構成してもよい。さらに、圧電フィルタ１３
０では、上記のように、圧電共振部１１１，１１２を、
第５の実施例の圧電フィルタ１０１と同様の平面形状を
有するように構成することにより、振動エネルギーをよ
り効果的に閉じ込めることができるが、圧電フィルタ１
３０では動吸振部１３８〜１４０が設けられているた
め、第１，第２の圧電共振部１１１，１１２は、上記式
（２）を満たす値を中心として±１０％の範囲となるよ
うに比ｂ／ａを定めずともよい。すなわち、圧電共振部
１１１，１１２がすべりモードで共振した際に、振動エ
ネルギーが支持部１１４，１１５側にある程度の大きさ
で漏洩してきたとしても、上記動吸振部１３８，１３９
により、動吸振現象によって抑制される。従って、第６
の実施例の圧電フィルタ１３０では、圧電共振部１１
１，１１２が上述した特定範囲の比ｂ／ａを満たさない
場合であっても、保持部１１６，１１７を用いて特性に
影響を与えることなく機械的保持が可能な二重モード圧
電フィルタを提供することができる。Also in the present embodiment, each of the above-described portions may be made of a different material and integrated by using an adhesive or the like. Further, the piezoelectric filter 13
0, the piezoelectric resonators 111 and 112 are
By configuring the piezoelectric filter 101 to have the same planar shape as the piezoelectric filter 101 of the fifth embodiment, vibration energy can be more effectively confined.
In FIG. 30, since the dynamic vibration absorbing portions 138 to 140 are provided, the first and second piezoelectric resonance portions 111 and 112 are set so that the ratio is within ± 10% around a value satisfying the above expression (2). It is not necessary to set b / a. That is, when the piezoelectric resonance portions 111 and 112 resonate in the slip mode, even if the vibration energy leaks to the support portions 114 and 115 to a certain extent, the dynamic vibration absorbing portions 138 and 139 are used.
Accordingly, the vibration is suppressed by the dynamic vibration absorption phenomenon. Therefore, the sixth
In the piezoelectric filter 130 of the embodiment, the piezoelectric resonance unit 11
Provided is a double-mode piezoelectric filter that can mechanically retain the characteristics using the holding units 116 and 117 even when the ratios 1, 112 do not satisfy the ratio b / a in the specific range described above. can do.
【０１０５】なお、第６の実施例の圧電フィルタ１３０
においても、電極１１８〜１２０の形成位置やその他の
構造の変更は、第５の実施例の圧電フィルタ１０１と同
様に行い得ることを指摘しておく。Note that the piezoelectric filter 130 according to the sixth embodiment
Also, it should be pointed out that the positions at which the electrodes 118 to 120 are formed and other structures can be changed in the same manner as in the piezoelectric filter 101 of the fifth embodiment.
【０１０６】なお、上述してきた実施例では、圧電板に
より圧電共振部及び／または支持部等の他の部分が構成
されていたが、シリコン基板や金属板を上記実施例の形
状に加工し、所定の部分に圧電セラミック板や圧電膜を
貼りつけて、圧電共振部を構成したものであってもよ
い。In the above-described embodiment, other parts such as the piezoelectric resonance part and / or the support part are constituted by the piezoelectric plate. However, a silicon substrate or a metal plate is processed into the shape of the above-described embodiment. A piezoelectric ceramic plate or a piezoelectric film may be attached to a predetermined portion to form a piezoelectric resonance section.
【０１０７】[0107]
【発明の効果】請求項１に記載の発明では、第１，第２
の圧電共振部が幅拡がりモードで共振されて、多重モー
ド圧電フィルタが構成され、さらに、この多重モード圧
電フィルタが、単一の素子として構成される。しかも、
幅拡がりモードで共振する第１，第２の圧電共振部に振
動エネルギーが効果的に閉じ込められる。よって、保持
部を利用して特性に影響を与えることなく機械的に保持
することができるため、多重モード圧電フィルタの製造
工程の簡略化及び部品点数の低減を果たすことが可能と
なる。また、チップ型部品として構成することも容易で
ある。According to the first aspect of the present invention, the first and the second
Are resonated in the widening mode to form a multi-mode piezoelectric filter, and the multi-mode piezoelectric filter is formed as a single element. Moreover,
Vibration energy is effectively confined in the first and second piezoelectric resonance portions that resonate in the width expansion mode. Accordingly, since the holding unit can be used to mechanically hold the filter without affecting the characteristics, the manufacturing process of the multi-mode piezoelectric filter can be simplified and the number of components can be reduced. It is also easy to configure as a chip-type component.
【０１０８】また、本願の第２発明では、すべりモード
を利用した第１，第２の圧電共振部が、上記比ｂ／ａを
満たすようにその形状が選択されているため、第１発明
と同様に、第１，第２の圧電共振部に振動エネルギーを
効果的に閉じ込めることができる。よって、保持部を利
用して特性に影響を与えることなく圧電フィルタを機械
的に保持することができる。よって、単一の素子で多重
モード圧電フィルタを構成することができ、しかも特性
に影響を与えることなく機械的に保持することができる
ため、多重モード圧電フィルタの製造工程の簡略化及び
部品点数の低減を図ることができる。また、第１発明と
同様に、チップ型部品として構成することも容易であ
る。In the second invention of the present application, the shapes of the first and second piezoelectric resonance portions utilizing the slip mode are selected so as to satisfy the ratio b / a. Similarly, vibration energy can be effectively confined in the first and second piezoelectric resonance sections. Therefore, the piezoelectric filter can be mechanically held by using the holding unit without affecting the characteristics. Therefore, a multi-mode piezoelectric filter can be constituted by a single element, and can be mechanically held without affecting the characteristics, thereby simplifying the manufacturing process of the multi-mode piezoelectric filter and reducing the number of parts. Reduction can be achieved. Further, similarly to the first invention, it is easy to configure as a chip type component.
【０１０９】本願の第３発明では、第１，第２の圧電共
振部を有する多重モード圧電フィルタを単一の素子で構
成することができ、しかも動吸振部により、動吸振現象
によって第１，第２の圧電共振部の振動の漏洩が抑制さ
れる。よって、第１，第２の発明と同様に、保持部を利
用して特性に影響を与えることなく圧電フィルタを機械
的に保持することができる。従って、第３発明において
も、多重モード圧電フィルタの部品点数の削減及び製造
工程の簡略化を果たすことができ、さらにチップ型圧電
フィルタを容易に構成することが可能となる。According to the third aspect of the present invention, the multi-mode piezoelectric filter having the first and second piezoelectric resonance sections can be constituted by a single element. Leakage of vibration of the second piezoelectric resonator is suppressed. Therefore, similarly to the first and second inventions, the piezoelectric filter can be mechanically held by using the holding portion without affecting the characteristics. Therefore, also in the third aspect, the number of components of the multi-mode piezoelectric filter can be reduced and the manufacturing process can be simplified, and the chip-type piezoelectric filter can be easily configured.
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、第１の実施例の圧電フィ
ルタの平面図及び圧電板を透かして下方の電極形状を示
す模式的平面図。FIGS. 1A and 1B are a plan view of a piezoelectric filter according to a first embodiment and a schematic plan view showing a lower electrode shape through a piezoelectric plate.
【図２】第１の実施例の圧電フィルタの減衰量−周波数
特性を示す図。FIG. 2 is a diagram illustrating attenuation-frequency characteristics of the piezoelectric filter according to the first embodiment.
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、第２の実施例の圧電フィ
ルタの平面図及び下面の電極形状を示す模式的平面図。FIGS. 3A and 3B are a plan view of a piezoelectric filter according to a second embodiment and a schematic plan view showing the shape of an electrode on a lower surface.
【図４】チップ型圧電フィルタの使用部材を説明するた
めの分解斜視図。FIG. 4 is an exploded perspective view for explaining members used of the chip type piezoelectric filter.
【図５】チップ型圧電フィルタの外観を示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing the appearance of a chip-type piezoelectric filter.
【図６】図５に示したチップ型圧電フィルタの回路構成
を示す回路図。6 is a circuit diagram showing a circuit configuration of the chip-type piezoelectric filter shown in FIG.
【図７】２つの素子を用いたチップ型圧電フィルタの使
用部材を示す分解斜視図。FIG. 7 is an exploded perspective view showing members used of a chip type piezoelectric filter using two elements.
【図８】第１の共振プレートの下面の電極形状を説明す
るための模式的平面図。FIG. 8 is a schematic plan view for explaining an electrode shape on the lower surface of the first resonance plate.
【図９】第２の共振プレートの下面の電極形状を説明す
るための模式的平面図。FIG. 9 is a schematic plan view for explaining an electrode shape on a lower surface of a second resonance plate.
【図１０】二素子を用いたチップ型圧電フィルタの外観
を示す斜視図。FIG. 10 is a perspective view showing the appearance of a chip-type piezoelectric filter using two elements.
【図１１】図１０に示した圧電フィルタの回路構成を示
す回路図。11 is a circuit diagram showing a circuit configuration of the piezoelectric filter shown in FIG.
【図１２】（ａ）及び（ｂ）は、第３の実施例の圧電フ
ィルタを示す平面図及び下方の電極形状を示す模式的平
面図。FIGS. 12A and 12B are a plan view showing a piezoelectric filter of a third embodiment and a schematic plan view showing a lower electrode shape;
【図１３】（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、第４の実施
例の圧電フィルタの平面図及び下方の電極形状を示す模
式的平面図。FIGS. 13A and 13B are a plan view and a schematic plan view showing a lower electrode shape of a piezoelectric filter according to a fourth embodiment, respectively.
【図１４】第５の実施例にかかる圧電フィルタの斜視
図。FIG. 14 is a perspective view of a piezoelectric filter according to a fifth embodiment.
【図１５】第５の実施例の圧電フィルタの平面図。FIG. 15 is a plan view of a piezoelectric filter according to a fifth embodiment.
【図１６】第５の実施例の圧電フィルタの変形例を示す
斜視図。FIG. 16 is a perspective view showing a modification of the piezoelectric filter according to the fifth embodiment.
【図１７】第６の実施例の圧電フィルタを示す平面図。FIG. 17 is a plan view showing a piezoelectric filter according to a sixth embodiment.
１…圧電フィルタ ２，３…第１，第２の圧電共振部 ４…接続部 ５，６，７，８…電極 ９，１０…支持部 １１，１２…保持部 １３〜１６…端子電極 ２３〜２６…端子電極 ４４〜４７…端子電極 ６１…圧電フィルタ ６２，６３…第１，第２の圧電共振部 ６４…接続部 ６５〜６８…電極 ６９，７０…支持部 ７１，７２…動吸振部 ７３，７４…連結部 ７５，７６…保持部 １０１…圧電フィルタ １０２〜１０４…溝 １０５…圧電板 １１１，１１２…第１，第２の圧電共振部 １１３…接続部 １１４，１１５…支持部 １１６，１１７…保持部 １１８〜１２０…電極 １３０…圧電フィルタ １３１…圧電板 １３２〜１３７…溝 １３８，１３９，１４０…動吸振部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Piezoelectric filter 2, 3 ... 1st, 2nd piezoelectric resonance part 4 ... Connection part 5, 6, 7, 8 ... Electrode 9, 10 ... Support part 11, 12 ... Holding part 13-16 ... Terminal electrode 23- 26 terminal electrodes 44 to 47 terminal electrodes 61 piezoelectric filters 62 and 63 first and second piezoelectric resonance parts 64 connecting parts 65 to 68 electrodes 69 and 70 supporting parts 71 and 72 dynamic vibration absorbing parts 73 .. 74 connecting parts 75 and 76 holding parts 101 piezoelectric filters 102 to 104 grooves 105 piezoelectric plates 111 and 112 first and second piezoelectric resonance parts 113 connecting parts 114 and 115 supporting parts 116 and 117 ... Holding parts 118 to 120. Electrodes 130. Piezoelectric filters 131. Piezoelectric plates 132 to 137. Grooves 138, 139, 140.
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−282911（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−85120（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−108809（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−145369（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−100335（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−174325（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−172425（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−108330（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−25245（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−44525（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−42328（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭53−14436（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭59−12811（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H03H 9/00 - 9/215 H03H 9/54 - 9/60 H03H 3/00 - 3/04 Continuation of the front page (56) References JP-A-4-282911 (JP, A) JP-A-55-85120 (JP, A) JP-A-3-108809 (JP, A) JP-A-5-145369 (JP) , A) Japanese Utility Model 2-100335 (JP, U) Japanese Utility Model 60-174325 (JP, U) Japanese Utility Model 60-172425 (JP, U) Japanese Utility Model 59-108330 (JP, U) Japanese Utility Model 53-25245 (JP, U) JP-A 62-44525 (JP, U) JP-A 62-42328 (JP, U) JP-B 53-14436 (JP, B2) JP-B 59-12811 (JP, U Y2) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H03H 9/00-9/215 H03H 9/54-9/60 H03H 3/00-3/04
Claims (3)
圧電共振部と、 前記第１，第２の圧電共振部を機械的に連結している接
続部と、 前記第１，第２の圧電共振部の少なくとも一方に連結さ
れた支持部と、 前記支持部に連結された保持部と、 前記第１，第２の圧電共振部を幅拡がりモードで共振さ
せるために、前記第１，第２の圧電共振部に設けられた
電極とを備え、 前記第１，第２の圧電共振部が、 矩形の圧電板を用いて構成されており、該矩形の短辺の
長さをａ、長辺の長さをｂ、圧電板を構成している圧電
材料のポアソン比をσとしたときに、長辺と短辺の長さ
の比ｂ／ａが、 【数１】 を中心として±１０％の範囲内とされており、前記短辺
方向を幅方向とする幅拡がりモードを利用しており、か
つ前記圧電板の短辺側の側面略中央に前記支持部が連結
されている圧電フィルタ。1. A first and a second piezoelectric resonator using a width expansion mode, a connecting part mechanically connecting the first and the second piezoelectric resonators, and the first and the second piezoelectric resonators. A support portion connected to at least one of the piezoelectric resonance portions, a holding portion connected to the support portion, and the first and second piezoelectric resonance portions resonating in a widening mode. An electrode provided on a second piezoelectric resonance section , wherein the first and second piezoelectric resonance sections are configured using a rectangular piezoelectric plate, and a short side of the rectangle is provided.
The length is a, the length of the long side is b, and the piezoelectric
When the Poisson's ratio of the material is σ, the length of the long side and the short side is
The ratio b / a of, [number 1] Within the range of ± 10% with respect to
Use the width expansion mode with the width direction as the direction.
The supporting portion is connected to the center of the short side of the piezoelectric plate.
Piezoelectric filter that is.
電共振部と、 前記第１，第２の圧電共振部を機械的に連結している接
続部と、 前記第１及び第２の圧電共振部の少なくとも一方に連結
された支持部と、 前記支持部に連結された保持部とを備え、 前記すべりモードを利用した第１，第２の圧電共振部
が、それぞれ、長辺と短辺とを有する一対の対向し合っ
ている矩形の面を有し、かつ、主面と平行な方向に分極
処理された圧電板と、前記圧電板の外表面において所定
距離を隔てて配置されており、かつ分極方向に直交する
方向に電界を印加するための一対の電極とを有し、矩形
面の長辺の長さをｂ、短辺の長さをａ、圧電板を構成し
ている圧電材料のポアソン比をσとしたときに、ｂ／ａ
が、 【数２】 を中心として±１０％の範囲内とされている、圧電フィ
ルタ。2. A first and a second piezoelectric resonator using a slip mode, a connecting part mechanically connecting the first and the second piezoelectric resonator, and a first and a second piezoelectric resonator. A support portion connected to at least one of the piezoelectric resonance portions; and a holding portion connected to the support portion, wherein the first and second piezoelectric resonance portions using the slip mode have long sides and short sides , respectively. A pair of opposed sides with sides
A piezoelectric plate having a rectangular surface and polarized in a direction parallel to the main surface, and a predetermined surface on an outer surface of the piezoelectric plate.
Located at a distance and orthogonal to the polarization direction
Having a pair of electrodes for applying an electric field in the
When the length of the long side of the surface is b, the length of the short side is a, and the Poisson's ratio of the piezoelectric material forming the piezoelectric plate is σ, b / a
But, A piezoelectric filter having a range of ± 10% around the center.
続部と、 前記第１，第２の圧電共振部の少なくとも一方に連結さ
れた支持部と、 支持部に連結されており、支持部の延びる方向と交差す
る方向に延びている板状の形状を有し、支持部から漏洩
してきた振動の周波数と一致する周波数で屈曲モードで
共振するように形状及び寸法が定められている動吸振部
と、 前記動吸振部に連結された連結部と、 前記連結部に連結された保持部と、 前記第１，第２の圧電共振部を共振させるために、該第
１，第２の共振部に設けられた電極とを備える、圧電フ
ィルタ。3. The first and second piezoelectric resonance sections, a connection section mechanically connecting the first and second piezoelectric resonance sections, and at least one of the first and second piezoelectric resonance sections. A support portion connected to one side, and a support portion connected to the support portion and intersecting the direction in which the support portion extends.
Has a plate-like shape extending in the direction
In bending mode at a frequency that matches the frequency of the vibration
A dynamic vibration absorbing portion having a shape and dimensions determined to resonate, a connecting portion connected to the dynamic vibration absorbing portion, a holding portion connected to the connecting portion, and the first and second piezoelectric resonance portions And an electrode provided in the first and second resonating portions to resonate the piezoelectric filter.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP06061676A JP3114485B2 (en) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | Piezo filter |
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- 1994-03-30 JP JP06061676A patent/JP3114485B2/en not_active Expired - Lifetime
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