JPH07335025A - 誘電体磁器材料および誘電体共振器 - Google Patents

誘電体磁器材料および誘電体共振器

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JPH07335025A
JPH07335025A JP6126177A JP12617794A JPH07335025A JP H07335025 A JPH07335025 A JP H07335025A JP 6126177 A JP6126177 A JP 6126177A JP 12617794 A JP12617794 A JP 12617794A JP H07335025 A JPH07335025 A JP H07335025A
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和秀 後藤
Hiromi Tokunaga
裕美 徳永
Hideyuki Todaka
秀幸 戸高
Takuya Fujimaru
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、マイクロ波領域における無負荷の
Q値が高く、そのバラツキを小さく、比誘電率(εr)
を安定化し、共振器における共振周波数の温度係数(τ
f)が小さく、かつ所望の値に精度よく設定することが
容易で安定な誘電体磁器材料、およびこの誘電体磁器材
料を用いた誘電体磁器材料および誘電体共振器を提供す
ることを目的とする。 【構成】 本発明の誘電体磁器材料は一般式Ba{Zn
1/3(NbxTa(1-x)2/3}O3(ただし0<x<1)
で表わされる基本組成物に対して、添加物成分としてC
34換算で0.01〜0.08重量%のCoを添加し
たことを特徴とする。また誘電体磁器材料から形成され
たことを特徴とする誘電体共振器である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、誘電体共振器等の材料
として利用される誘電体磁器材料および誘電体共振器に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、波長が数センチメートル以下のマ
イクロ波やミリ波(以下これらをマイクロ波と総称す
る)の高周波領域において、誘電体磁器材料は、誘電体
共振器や高周波集積回路基板等に広く利用されてきてい
る。ところで、この種の誘電体磁器材料においては、
a)比誘電率(εr)が大きく、かつ安定しているこ
と。b)無負荷Q値(Qu)が高く、かつバラツキが小
さいこと。c)共振周波数の温度係数(τf)が小さ
く、かつ所望の値を精度よく設定することが容易である
ことが要望されており、この条件を満たす誘電体磁器材
料として、従来から複合ペロブスカイト型構造(A(B
1/3B′2/3)O3にて示される)を有する酸化物が広く
検討されている。
【0003】例えば、特公平2−53884号公報にお
いては、一般式(1−x)Ba(Zn1/3Ta2/3)O3
−xBa(Co1/3Nb2/3)O3と表わされたとき、そ
の成分組成がモル分率で0<x<1の範囲内にあり、特
性として比誘電率(εr)が31〜33、無負荷(Q
u)が9420〜10050、共振周波数(τf)が−
0.2〜−10.8ppm/℃の特性値を得る誘電体磁
器組成物が開示されている。この組成物からなる誘電体
磁器材料は、誘電体共振器として帯域通過フイルターや
局部発振器として組み込まれ、900MHz〜1.5G
Hz帯の自動車電話、携帯電話等においてはその小型化
に貢献し、さらに1.2GHz〜12GHz帯のGPS
や衛星放送・衛星通信の周波数コンバータの温度安定化
等に貢献している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで最近の通信分
野、とくに移動体通信分野においては、利用周波数がマ
イクロ波帯の高周波化となるのに伴い送・受信電力の高
出力化が図られている。しかし、従来の誘電体磁器材料
で作られたフイルターは発熱のためこの領域での使用が
制限され、より低誘電損失の材料、いいかえるなら無負
荷Q値(Q=1/tanδ)が高い材料であって、しか
もそのバラツキの小さな安定した材料が望まれている。
また誘電体共振器の高周波領域での応用面の研究も活発
になってきており、無負荷Q値が高く共振周波数の温度
係数(τf)が小さく、かつ所望の値を精度よく設定す
ることが容易である安定した材料が望まれている。
【0005】しかしながらこの要望に対し従来材料は、
特に無負荷Q値が最高で10050程度でありマイクロ
波帯ではまだ十分でなく、特性にはバラツキがありしか
も共振周波数の温度係数(τf)が小さくなると無負荷
Q値も同時に低くなるためマイクロ波領域でこの二つの
特性を満たす材料を選択することは困難視されていた。
その主な原因として考えられることは、基本組成物にZ
n成分が含まれており、このZn成分は焼成時に蒸発し
やすくなる傾向をもっており、その結果成分アンバラン
スが生じ安定した磁器素子が得がたく、そのため特に製
造時に於いて特性値のバラツキが大きくなることであっ
た。
【0006】そこで本発明は前記問題点を解決するため
に、マイクロ波領域における無負荷Q値が高く、その無
負荷Q値のバラツキを示す標準偏差値(бn−1)が著
しく小さく、比誘電率(εr)が高くかつ安定化でき、
共振器における共振周波数の温度係数(τf)が小さ
く、かつ所望の値を精度よく設定することができ、製造
時の歩留を向上させ、生産性コスト削減を大幅に改善で
きる誘電体磁器材料を提供することを目的とする。
【0007】また誘電体共振器は共振周波数の温度係数
(τf)値を所望の値に精度よく設定することが容易な
誘電体共振器を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の誘電体磁器材料
は、上記目的を達成するために、一般式Ba{Zn1/ 3
(NbxTa(1-x)2/3}O3(ただし0<x<1)で表
わされる基本組成物に対して、添加物成分としてCo3
4換算で0.01〜0.08重量%のCoを添加した
ことを特徴とする。ここでCoの炭酸化物、水酸化物、
酸化物等は焼結後に酸化物になることから、Co34
算とはCoの量を基準にしてこれらの量を換算するもの
である。
【0009】また、前記の誘電体磁器材料を用いたこと
を特徴としている誘電体共振器である。
【0010】
【作用】一般式Ba{Zn1/3(NbxTa(1-x)2/3
3(ただし0<x<1)で表わされた組成物を基本組
成物とするからマイクロ波領域において比誘電率(ε
r)が高くすることができる。また添加物成分としてC
34換算で0.01〜0.08重量%の範囲内でCo
を添加するからZn成分があっても広い焼成温度幅で焼
結性が良くなり、比誘電率(εr)が高く安定化し共振
周波数の温度係数(τf)が小さく、かつ所望の値に精
度よく設定することができる。さらに無負荷Q値を高く
そのバラツキを表す標準偏差値(бn−1)を小さくす
ることができる。
【0011】また誘電体磁器材料を用いることによって
必要な範囲で所望の温度係数(τf)をもつ誘電体共振
器を作ることができる。
【0012】
【実施例】以下本発明の一実施例の誘電体磁器材料につ
いて、次の(表1)、(表2)に基づいて詳細に説明す
る。
【0013】
【表1】
【0014】
【表2】
【0015】(表1)は基本組成が一般式Ba{Zn
1/3(NbxTa(1-x)2/3}O3、(x=0.06)の
組成物に添加物成分としてCoを添加し、その添加量と
焼成条件を変化させた一実施例の誘電体磁器材料とその
特性値である。
【0016】(表2)は基本組成が一般式Ba{Zn
1/3(NbxTa(1-x)2/3}O3、(x=0.04)の
組成物に添加物成分としてCoを添加し、その添加量と
焼成条件を変化させた一実施例の誘電体磁器材料とその
特性値である。
【0017】本発明の一実施例の誘電体磁器材料の特性
を比較しえるように実施例間で同じ5mm直径で厚さ2
mmの円柱形の試料を用いて測定をしている。これは後
述する誘電体共振器として使用できるものである。
【0018】そこでこの試料作製の手順から説明する。
なお実施例間では共通の製造条件で製造する。出発原料
は化学的に高純度のBaCO3、ZnO、Nb25、T
2 5、Co34、CoCO3、Co(OH)2、CoO
の各原料粉末を用い、最終製品である誘電体磁器材料の
組成が(表1)および(表2)に示されるような組成と
なるように配合量を計算し、基本組成物100重量%に
対し添加物を添加する方法を用いそれぞれの原料粉末を
所定量秤量した後、それらの各原料粉末を、ウレタン製
ポットミル中にジルコニア玉石および純水と共に投入し
て、20時間の湿式混合処理を施す。そして各混合物を
取り出し乾燥させた後、アルミナ坩堝に入れ、空気中に
おいて1100℃の温度で2時間仮焼を行ない、更にそ
の仮焼物を、ウレタン製ポットミル中にジルコニア玉石
および純水と共に、20時間湿式粉砕処理を施すもので
ある。そして粉砕泥しょうを濾過、乾燥したのち、粉末
にバインダーとして濃度7%のポリビニールアルコール
溶液8重量%を添加して均質としたのち、32メッシュ
の篩を通して造粒を行なう。造粒粉末は金型と油圧プレ
スを用いて成形圧力800Kg/cm2で直径13m
m、厚さ約6mmの円板に成形する。成形体を高純度の
マグネシアさや鉢の中に入れ、組成に応じ空気中におい
て1400〜1550℃の範囲内の温度で20時間保持
して焼成し各誘電体磁器材料を得るものである。
【0019】この各誘電体磁器材料の試料について、特
性の測定は次のように行った。比誘電率(εr)と無負
荷Q値の値は、それぞれ、公知の平行導体板型誘電体共
振器法を用いて測定した。また無負荷Q値のバラツキを
示す標準偏差値(бn−1)は統計管理手法を用いn=
100個を次式(V=s/n−1、n−1=√V)を用
い計算した。共振周波数の温度係数(τf)は−25〜
75℃の温度範囲における共振周波数の温度変化から計
算により求めた。そして共振周波数は10〜12GHz
の範囲でありこれら結果を(表1)、(表2)に示し
た。なお(表1)、(表2)において*印をした試料は
本発明範囲外の比較例である。
【0020】(表1)より明かなように試料番号3〜
7、11〜15の材料で示される実施例の誘電体磁器材
料はいずれも比誘電率(εr)は高く安定で、共振周波
数の温度係数(τf)は小さい。無負荷Q値は高い値を
示し、そのバラツキを示す標準偏差値(бn−1)は著
しく小さくなっている。また同一組成において焼成温度
を1530℃と1450℃に変化させているが範囲内の
添加量では充分に特性改善の効果がえられている。特に
添加量が0.02〜0.04重量%の範囲が良好であつ
た。比較のための試料番号1、9の材料はCo34が無
添加で無負荷Q値は低く標準偏差値(бn−1)が大き
い。また試料番号2、10の材料は添加量が0.01重
量%以下で効果は少し認められるが特性値を改善する迄
にはいたっていない。試料番号8、16の材料は添加量
の多い場合で比誘電率(εr)は少し大きくなるが共振
周波数の温度係数(τf)も大きく負になり負側にシフ
トする傾向を示した。さらに無負荷Q値も低くそして標
準偏差値(бn−1)も大きくなるためバラツイて好ま
しくない。
【0021】次に試料番号17〜19の材料で示される
実施例はCo34以外のCo添加成分を0.01〜0.
08重量%の範囲内の添加量で添加したものでいづれも
良好な特性値を示している。これはCo34換算で0.
04重量%を各々添加したものである。これはCoの炭
酸化物、水酸化物、酸化物等は焼成後に酸化物になるか
ら添加成分の当初の形態はあまり影響しないと考えられ
るから良い結果がえられている。
【0022】(表2)より明らかなように試料番号22
〜26、30〜34、36〜38の材料で示される実施
例ではいずれも比誘電率(εr)は安定している。共振
周波数の温度係数(τf)も添加量と共にわずかに負側
にシフトするが安定している、さらに無負荷Q値は高い
値を示し、そのバラツキを示す標準偏差値(бn−1)
は小さくなっている。
【0023】試料番号36〜38の材料で示される実施
例はCo34以外のCo添加成分を範囲内の添加量で添
加したものでいづれも良好な特性値を示している。これ
はCo34換算で0.04重量%を各々添加したもので
ある。比較のための試料番号20、28の材料はCo3
4が無添加で無負荷Q値は低く標準偏差値(бn−
1)が大きい。また試料番号21、29の材料は添加量
が0.01重量%以下のもので効果は少し認められるも
特性値を改善する迄にはいたっていないものである。試
料番号27、35の材料は添加量の多い場合で共振周波
数の温度係数(τf)が大きく負になり負側にシフトす
る傾向を示している。しかも無負荷Q値が低く標準偏差
値(бn−1)が大きくなるため好ましくない。
【0024】このようにCo34換算で添加成分として
0.01重量%〜0.08重量%のCoを添加するから
磁器材料の焼結性が良くなる。これは基本組成物中のZ
n成分の蒸発をCoが防止するからであると考えられ
る。これによって比誘電率(εr)が高く安定になり、
共振周波数の温度係数(τf)を小さく、かつ所望の値
に精度よく設定することが容易になる。さらに無負荷Q
値が高くそのバラツキを示す標準偏差値(бn−1)は
小さく安定したものになっている。
【0025】次に上記した誘電体磁器材料を使用した本
発明の一実施例である誘電体共振器について説明する。
図1は本発明の一実施例における誘電体共振器の斜視図
である。
【0026】図1に於いて、1は誘電体共振器本体であ
る。誘電体共振器本体1は上記した誘電体磁器材料を用
いて形成され、円柱状の形状をしている。その特性は5
mm直径で厚さ2mmの場合(表1)、(表2)のデー
タが示すとおりである。2はガラス接合層で、誘電体共
振器本体1とフォルステライト磁器材料の支持台3を接
着させるものである。このガラス接合層2に使用したガ
ラス材料は、その熱膨張係数が誘電体共振器本体1に用
いた誘電体磁器材料の熱膨張係数と支持台3に用いたフ
ォルステライト磁器材料の熱膨張係数とほぼ近いもので
あって、接合時のヒビ割れを防ぐ目的で珪酸塩系の材料
を用い接合温度800℃で接着するものである。支持台
3は誘電体共振器本体1を保持するためのもので、支持
台3に用いたフォルステライト磁器材料はマイクロ波帯
の領域で無負荷Q値が高い円筒状のものを用いている。
【0027】本実施例において誘電体共振器本体1は前
記に示す円柱状で共振モードは一般に知られているTE
01δを採用している。この寸法の円柱状とすることで
共振周波数が約12GHz程度のものになる。このほか
誘電体共振器本体1の形状としては円筒状の同軸形共振
器、板状のストリップ線路共振器等のものがあり共振モ
ードはTEMで、これらは共振周波数が比較的低い90
0MHz帯から高い10GHz帯にあるので自動車電
話、携帯電話さらには衛星放送等への利用ができる。
【0028】この実施例の誘電体共振器はマイクロ波領
域での無負荷Q値が高く、共振周波数の温度係数(τ
f)が選択できるから半導体等、他の部品と組み合わせ
たとき回路の温度補償作用を安定化するのに有用で、小
型高性能のフイルターや発振器等を作ることができる。
また、本発明の誘電体磁器材料は誘電体共振器のみなら
ず高周波用の基板等に用いても有用なものである。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
一般式Ba{Zn1/3(NbxTa(1-x )2/3}O3(た
だし0<x<1)で表わされた組成物を基本組成物とす
るからマイクロ波領域において比誘電率(εr)が高く
することができる。また添加物成分としてCo34換算
で0.01〜0.08重量%の範囲内でCoを添加する
からZn成分があっても広い焼成温度幅で焼結性が良く
なり、特性値は10〜12GHzのように高い周波数帯
において、比誘電率(εr)が高く安定化になり、共振
周波数の温度係数(τf)を小さく、かつ所望の値に精
度よく設定することが容易である。さらに無負荷Q値が
12000以上と極めて高くそのバラツキを示す標準偏
差値(бn−1)を小さく安定した値をもたせることが
できる。
【0030】また焼成温度を低下させることができるの
で磁器材料の焼結性が良くなり製造時の歩留の向上、製
造コスト削減を大幅に改善することができ工業的に利用
価値の大きいものである。
【0031】また誘電体共振器は誘電体磁器材料を用い
ることによって必要な範囲で共振周波数の温度係数(τ
f)を持たせた誘電体共振器を作ることができ価値の大
きいものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における誘電体共振器の斜視
【符号の説明】
1 誘電体共振器本体 2 ガラス接合層 3 支持台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤丸 琢也 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式Ba{Zn1/3(NbxTa(1-x)
    2/3}O3(ただし0<x<1)で表わされる基本組成物
    に対して、添加物成分としてCo34換算で0.01〜
    0.08重量%のCoを添加したことを特徴とする誘電
    体磁器材料。
  2. 【請求項2】請求項1に記載された誘電体磁器材料から
    形成されたことを特徴とする誘電体共振器。
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