JPH07329053A

JPH07329053A - スライシングマシン

Info

Publication number: JPH07329053A
Application number: JP12558194A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Inoue; 雅之井上; Yukitoshi Hishida; 幸敏菱田; Shoji Tsuruta; 捷二鶴田; Tatsumi Matsumoto; 辰己松本
Original assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp; Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Silicon Corp; Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1994-06-07
Filing date: 1994-06-07
Publication date: 1995-12-19

Abstract

(57)【要約】【構成】スライシングマシンの主軸１１の先端に、内
周刃ブレード１４が取り付けられたチャックボディ１３
が、その嵌合穴２３を主軸１１の嵌合軸２４に嵌合させ
て軸線Ｏに同軸に取り付けられている。嵌合穴２３の内
周面２３Ａに近接したチャックボディ１３の内部には、
内周面２３Ａから一定距離離間して軸線Ｏ回りに周回す
る油圧室２５が形成され、この油圧室２５にはシリンダ
ー室２７とピストン部材２８と作動ネジ３４とを備えた
作動油供給手段が連結され、これによって油圧室２５に
作動油を供給することで油圧室２５が膨張し、内周面２
３Ａとの間の壁部２６が弾性変形して内周面２３Ａが縮
径し、嵌合軸２４を締め付けてチャックボディ１３が軸
線Ｏに同軸に主軸１１に固定される。【効果】芯出し精度を維持しつつ、内周刃ブレード１
４の交換に要する時間を短縮して稼働率の向上を図るこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、シリコン等の単結晶イ
ンゴットから平板状のウェーハを切り出すためのスライ
シングマシンに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】このようなスライシングマシンとして
は、軸線回りに回転される主軸の先端にチャックボディ
を介して内周刃ブレードが取り付けられた構成のものが
知られており、ベッドに載置されたインゴットを主軸の
回転に伴って回転する内周刃ブレードの内周側開口部に
挿入し、ベッドを上下動させることで内周刃ブレードに
よりインゴットを切断して薄肉円板状のウェーハにスラ
イスするようになされている。図４は、このようなスラ
イシングマシンの主軸の先端部分を示す断面図であり、
軸線Ｏ回りに回転駆動される主軸１の先端部２にチャッ
クボディ３が取り付けられ、このチャックボディ３のさ
らに先端に薄肉円環状の内周刃ブレード４が取り付けら
れている。

【０００３】チャックボディ３は略有底円筒状に形成さ
れており、その底面部３Ａを主軸１側に向け、複数の取
付ボルト５によって上記軸線Ｏに同軸に主軸１の先端部
２に固定されている。また、このチャックボディ３の円
筒部３Ｂの先端には固定リング６が固定ネジ７により着
脱自在に取り付けられており、内周刃ブレード４はこの
固定リング６とチャックボディ３の先端縁との間に挟ま
れるようにして、チャックボディ３の先端開口部に固定
されている。そして、この内周刃ブレード４の内周には
ダイヤモンド等を含む砥粒層からなる環状の切刃８が形
成されており、この切刃８によって上記インゴットを切
断する。なお、図中に符号９で示すのは内周刃ブレード
４の芯出しおよび張りを調整する調整ネジであってチャ
ックボディ３の周方向に多数設けられており、これらの
調整ネジ９…の締め込み量をそれぞれ適宜に調整するこ
とにより、切刃８が軸線Ｏを中心に正確に芯出しされ、
かつ内周刃ブレード４に適当な張りが与えられるように
なされている。

【０００４】このように、スライシングマシンにおいて
は正確に内周刃ブレード４を芯出しし、かつ適当な張り
を内周刃ブレード４に与える必要がある。ところが、内
周刃ブレード４を保持するチャックボディ３は、主軸１
の先端部２に予め位置決めされた状態で複数の取付ボル
ト５…により固定されており、このため内周刃ブレード
４の交換を行なう際にいちいちチャックボディ３ごと交
換していたのでは、チャックボディ３の再取付時に各取
付ボルト５…間の締め付けバランスが忠実に交換前と同
様に再現されていないと、チャックボディ３の位置決め
精度が損なわれてしまい、引いては内周刃ブレード４の
芯出し精度も劣化してしまうおそれが生じる。そこで、
このようなスライシングマシンにおいて内周刃ブレード
４を交換する際には、チャックボディ３を主軸１に取り
付けたまま、固定リング６を取り外して内周刃ブレード
４を交換し、次いで再び固定リング６を取り付けて新し
い内周刃ブレード４を固定した後、調整ネジ９…によっ
てこの新しい内周刃ブレード４の芯出しおよび張りを厳
密に調整するようにしていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、チャッ
クボディ３に取り付けられた新しい内周刃ブレード４の
芯出しおよび張りの調整作業は、多数の調整ネジ９…の
締め込み量をそれぞれ適宜調整して全体の張りのバラン
スをとりながら、切刃８の中心が正確にチャックボディ
３の中心軸すなわち主軸１の軸線Ｏに一致するように芯
出ししなければならず、１回の調整作業に２〜４時間も
の多大な時間を要することになる。そして、この間はス
ライシングマシンの稼働を停止せざるを得ないため、機
械稼働率が大幅に低下することが避けられなかった。ま
た、調整作業においてはこのように内周刃ブレード４の
張りのバランスをとりながら正確な芯出しを行なわなけ
ればならないため、作業者に高い技術と熟練度が要求さ
れるが、このような作業者を十分に確保するのは甚だ困
難であり、さらに個々の作業者によっても技術や熟練度
にばらつきがあることから、交換時間を均一化して短縮
することは難しく、スライシングマシンの稼働率を上げ
て生産性を向上させるにも自ずと限界があった。

【０００６】本発明はこのような背景の下になされたも
ので、内周刃ブレードの交換を正確な芯出し精度を維持
したまま短時間で行い得るスライシングマシンを提供す
ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決してかか
る目的を達成するために、本発明は、チャックボディ
を、その底面部に形成された嵌合穴を主軸の先端に設け
られた嵌合軸に嵌合させて主軸軸線に同軸に取り付け、
上記嵌合穴の内周面に近接したチャックボディの内部、
または上記嵌合軸の外周面に近接した主軸の先端内部
に、これら嵌合穴の内周面または嵌合軸の外周面から略
一定距離離間して上記軸線回りに周回する油圧室を形成
するとともに、この油圧室に、該油圧室に作動油を供給
して該油圧室と上記嵌合穴の内周面または上記主軸の外
周面との間の壁部を弾性変形せしめる作動油供給手段を
連結したことを特徴とする。

【０００８】

【作用】このような構成のスライシングマシンでは、チ
ャックボディ内部または主軸先端の嵌合軸内部に形成さ
れた油圧室に作動油供給手段によって作動油を供給する
ことにより、作動油の圧力によって油圧室が膨張し、こ
れに伴ってチャックボディの嵌合穴の内周面と油圧室と
の間、または主軸先端の嵌合軸の外周面と油圧室との間
に画成される壁部が弾性変形する。そしてこれにより、
嵌合穴の内周面が縮径して嵌合軸の外周面を押圧し、あ
るいは嵌合軸の外周面が拡径して嵌合穴の内周面を押圧
し、嵌合穴と嵌合軸とが締め付けられてチャックボディ
が主軸先端に固定される。

【０００９】ここで、上記油圧室は嵌合穴の内周面また
は嵌合軸の外周面から略一定間隔離間して上記軸線回り
に周回するように形成されており、また該油圧室内にお
ける作動油の圧力は均一となることから、油圧室の膨張
に伴う上記壁部の弾性変形の大きさは該油圧室のどの部
位でも等しくなる。そしてこれにより、嵌合穴の内周面
または嵌合軸の外周面も上記軸線に対する径方向に等し
い大きさで縮径または拡径するので、上記壁部の弾性変
形前の上記内周面または外周面と弾性変形後の内周面ま
たは外周面との間では、同軸性が正確に維持されること
となる。従って、上記構成のスライシングマシンによれ
ば、予めチャックボディに内周刃ブレードを取り付けて
張りを調整するとともにチャックボディの中心軸に合わ
せて芯出ししておき、内周刃ブレードの交換時にはこの
チャックボディを主軸先端に取り付けて固定することに
より、きわめて短時間で容易に、かつ高い精度で内周刃
ブレードを装着することが可能となる。

【００１０】

【実施例】図１ないし図３は本発明の一実施例を示すも
のであって、図１はこの実施例のスライシングマシンの
主軸１１の先端部分を示すものである。本実施例におい
ても、主軸１１の先端部１２には略有底円筒状のチャッ
クボディ１３がその底面部１３Ａを主軸１１側に向けて
取り付けられており、内周刃ブレード１４はこのチャッ
クボディ１３の円筒部１３Ｂの先端縁と、この円筒部１
３Ｂの先端に固定ネジ１５によって取り付けられる固定
リング１６との間に挟まれるようにして固定されてい
て、この固定リング１６に設けられた多数の調整ネジ１
７…を各調整ネジ１７…間のバランスを取りつつ適当な
締め込み量で締め込むことにより、その張りおよび芯出
しが調整されるようになされている。なお、図中に符号
１８で示すのは、内周刃ブレード１４の内周縁に形成さ
れる切刃である。

【００１１】ここで、本実施例ではチャックボディ１３
は、上記固定リング１６が取り付けられるチャックボデ
ィ本体１９と、チャックボディ１３における底面部１３
Ａの中央に位置して上記チャックボディ本体１８に固定
ネジ２０により取り付けられる嵌合部２１とから構成さ
れている。この嵌合部２１は合金鋼や銅材のように靱性
が高く弾性変形し易い材質から形成されてフランジ部２
２を備えた円環状を呈しており、その内周はチャックボ
ディ１３の中心軸Ｘを中心とした円筒面状に形成されて
いて、本実施例における嵌合穴２３とされている。一
方、上記主軸１１の先端部１２には円柱状の嵌合軸２４
が先端側に向けて突出するように形成されている。この
嵌合軸２４は、その中心軸が上記主軸１１の回転軸線Ｏ
に同軸となるように形成されており、またその外周面２
４Ａの外径は、該嵌合軸２４に上記嵌合穴２３が嵌挿可
能なように、嵌合穴２３の内径と略同等か、あるいは極
僅かに小さくなるように設定されている。

【００１２】そして本実施例では、上記嵌合部２１の内
部において上記嵌合穴２３の内周面２３Ａに近接した部
位に、上記中心軸Ｘ回りに周回するように油圧室２５が
形成されている。この油圧室２５は、上記中心軸Ｘを中
心とした薄肉円筒状の空間として形成されており、この
油圧室２５と上記嵌合穴２３の内周面２３Ａとの間に画
成される壁部２６は、これにより中心軸Ｘを含む断面に
おいて該中心軸Ｘに対する周方向に全周に亙って均一な
肉厚となるように成形される。一方、嵌合部２１の上記
フランジ部２２には、本実施例における作動油供給手段
として断面円形のシリンダー室２７が上記中心軸Ｘに対
する径方向に延びるように形成されており、このシリン
ダー室２７にはピストン部材２８が液密かつ進退可能に
挿入されている。そして、このシリンダー室２７の内周
端と上記油圧室２５との間には両室２５，２７を連通す
る流路２９が形成されており、これら油圧室２５と流路
２９とシリンダー室２７のピストン部材２８により封止
された空間とには作動油が充填されて封入されている。

【００１３】また上記ピストン部材２８には、シリンダ
ー室２７の内周面との間にＯリング３０およびバックア
ップリング３１が介装されていて、シリンダー室２７内
の液密性が確実に保持されるようになされている。さら
に、シリンダー室２７の外周側開口部にはキャップ３２
が取付ネジ３３，３３によって取り付けられており、こ
のキャップ３２には該キャップ３２を貫通してシリンダ
ー室２７内に出没可能に作動ネジ３４が螺着されてい
て、この作動ネジ３４の先端は上記ピストン部材２８の
後端面に当接されている。そして、本実施例の作動油供
給手段では、この作動ネジ３４をねじ込むことにより、
ピストン部材２８がシリンダー室２７内を径方向内周側
に前進して作動油が流路２９から油圧室２５内に供給さ
れ、逆に作動ネジ３４を緩めることにより作動油の圧力
によってシリンダー室２７内を外周側に後退し、作動油
が油圧室２５からシリンダー室２７に戻されるようにな
されている。なお、図１においては作動油供給手段は一
つしか図示されていないが、実際には上記中心軸Ｘを挟
んだ対称位置に一対の供給手段が配されている。

【００１４】このような構成のスライシングマシンにお
いて内周刃ブレード１４の交換を行なう場合には、チャ
ックボディ１３ごと内周刃ブレード１４を主軸１１から
取り外し、予め新たな内周刃ブレード１４が装着された
別のチャックボディ１３を取り付けることになる。そし
て、このチャックボディ１３の取り付けは、以下の手順
で行なわれる。まず、交換前のスライシングマシンが稼
働している間などに、上記別のチャックボディ１４に新
たな内周刃ブレード１４を装着し、チャックボディ１３
の調整ネジ１７…によって内周刃ブレード１４の張りを
調整し、かつ該チャックボディ１３の中心軸Ｘに合わせ
て内周刃ブレード１４の芯出し調整を行なう。なお、こ
の芯出し調整は、スライシングマシンの主軸１１の先端
部１２と同形の嵌合軸を備えた専用治具を用いることな
どにより、実際にチャックボディ１３をスライシングマ
シンに装着せずとも、容易かつ正確に行なうことができ
る。

【００１５】次に、作動油供給手段の作動ネジ３４を緩
めて作動油がシリンダー室２７内に戻された状態とし、
チャックボディ１３の嵌合部２１の嵌合穴２３を主軸１
１の嵌合軸２４に嵌合させてチャックボディ１３を主軸
１１の先端部１２に取り付ける。しかる後、作動油供給
手段の作動ネジ３４をねじ込むと、ピストン部材２８が
シリンダー室２７内を前進して該シリンダー室２７内の
作動油が流路２９を通って油圧室２５内に供給される。
すると、この作動油の圧力によって油圧室２５は膨張
し、該油圧室２５の近傍において最も肉厚の薄い部分で
ある壁部２６を内周側に押し上げることにより、該壁部
２６は弾性変形する。そしてこれにより、嵌合穴２３の
内周面２３Ａは縮径して嵌合軸２４の外周面２４Ａを押
圧するので、嵌合穴２３に嵌合軸２４が締め付けられて
咬止された状態となって、チャックボディ１３が主軸１
１の先端部１２に固定される。

【００１６】ここで、上述のように油圧室２５は嵌合穴
２３の内周面２３Ａから一定間隔離間して形成されてい
て、壁部２６の肉厚は周方向に亙って等しく成形されて
おり、また油圧室２５内に作用する作動油の圧力はどの
部分でも均一であるので、油圧室２５の膨張による壁部
２６の弾性変形の大きさも周方向に亙って等しくなり、
従って嵌合穴２３の内周面２３Ａの縮径も全周的に等し
い割合で縮径する。すなわち、嵌合穴２３の内周面２３
Ａは、チャックボディ１３の中心軸Ｘの径方向に等方的
に縮径し、このため壁部２６の弾性変形前と弾性変形後
とでその中心軸にずれが生じることはなく、同軸性が正
確に維持されたまま縮径する。そして、このように縮径
する嵌合穴２３の内周面２３Ａに嵌合軸２４の外周面２
４Ａが押圧されてチャックボディ１３が主軸１１の先端
部１２に固定されることにより、チャックボディ１３の
中心軸Ｘは嵌合軸２４の中心軸、すなわち主軸１１の軸
線Ｏに一致し、従って内周刃ブレード１４もまた軸線Ｏ
に合わせて正確に芯出しされるのである。

【００１７】このように、上記構成のスライシングマシ
ンによれば、内周刃ブレード１４をチャックボディ１３
ごと交換するにも係わらず、主軸１１にチャックボディ
１３を正確に位置決めし、主軸１１の回転軸線Ｏに対し
て高い芯出し精度で内周刃ブレード１４を装着すること
ができる。従って、スライシングマシンが稼働している
間に予め新しい内周刃ブレード１４を別のチャックボデ
ィ１３に装着して芯出ししておき、ブレード交換時には
このチャックボディ１３を主軸１１に装着するようにす
れば、きわめて短時間にブレード交換を行なうことが可
能となり、これによってスライシングマシンの停止時間
を大幅に短縮して稼働効率および生産性の著しい向上を
図ることができる。また、このようにチャックボディ１
３が主軸１１に正確に位置決めされて高い芯出し精度が
内周刃ブレード１４に与えられることから、内周刃ブレ
ード１４の切刃１８の振れ精度の向上を図ることも可能
となり、このため切刃１８を構成する砥粒層の寿命の延
長や切断効率の向上も図られるとともに、切断されるシ
リコンウェーハのようなワークについても、欠けや脱落
等の不良の発生を低減することができるいう利点が得ら
れる。

【００１８】しかも、チャックボディ１３の主軸１１へ
の装着および位置決めは、作動油供給手段により作動油
を油圧室に供給するだけであるので、特に熟練や高い技
術を要することもなく、また１、２名の少人数で行うこ
とが可能となって、作業人員の確保を容易とすることが
できる。さらに、このような簡略化された操作によって
チャックボディ１３の交換が可能となることから、例え
ばこの作業を交換装置等による自動化によって行なうこ
とも可能となり、これによって交換に要する時間および
労力の一層の軽減を図ることが可能となる。

【００１９】一方、本実施例では、上記作動油供給手段
が油圧室２５に連通するシリンダー室２７と、このシリ
ンダー室２７に液密かつ進退可能に挿入されるピストン
部材２８と、シリンダー室２７内に出没自在とされ、ピ
ストン部材２８に当接してこれを進退せしめる作動ネジ
３４とを備えて構成されており、この作動ネジ３４の回
動動作によってきわめて容易に作動油をシリンダー室２
７から油圧室２５に供給してチャックボディ１３の固定
を行なうことができる。また、チャックボディ１３を主
軸１１から取り外す場合でも、この作動ネジ３４を緩め
れば、油圧室２５内に供給された作動油の圧力によって
作動油は自然にシリンダー室２７に逆流し、これによっ
て嵌合穴２３の内周面２３Ａは元の位置へと戻ってチャ
ックボディ１３が取り外し可能な状態となるので、やは
りきわめて容易に作業を行なうことができる。さらに上
記構成によれば、作動ネジ３４の回動量に応じて油圧室
２５への作動油の供給量を調節することができ、これに
伴い嵌合軸２４の締付強さも、自由にかつ細かく調節す
ることができる。

【００２０】また本実施例では、油圧室２５が、主軸１
１の軸線Ｏと一致せしめられるチャックボディ１３の中
心軸Ｘを中心とする薄肉円筒状の空間として形成されて
おり、このためこの油圧室２５の膨張に伴い弾性変形す
る上記壁部２６も上述のように薄肉円筒状に形成される
こととなる。そして、これにより壁部２６は全体的に均
一に弾性変形し、内周面２３Ａもまた全面的に均一に縮
径して嵌合軸２４の外周面２４Ａを押圧することとなる
ので、大きな押圧面積で嵌合軸２４を締め付けてチャッ
クボディ１３を強固に主軸１１に固定することができ
る。

【００２１】ただし、本実施例ではこのように油圧室２
５を円筒状の空間に形成したが、例えばこのような油圧
室２５を、軸線Ｏ回りの周方向に等間隔に配置された複
数の油圧室に分割し、これらを流路等によって互いに連
通したような構成としてもよい。このような構成を採る
ことにより、油圧室全体の容積は円筒状に形成した場合
に比べて低減されるため、より少ない作動油の供給で壁
部２６を弾性変形させることができ、チャックボディ１
３の固定を一層容易に行なうことができるという利点が
得られる。

【００２２】さらに、本実施例ではチャックボディ１３
が、内周刃ブレード１４が取り付けられるチャックボデ
ィ本体１９と、チャックボディ１３の底面部１３Ａの中
央に配置される嵌合部２１とから構成されており、上記
嵌合穴２３はこの嵌合部２１に形成されている。このた
め、内周刃ブレード１４を保持するチャックボディ１９
は比較的剛性の高い材質から形成することができる一
方、壁部２６の弾性変形を要する嵌合部２１においては
比較的靱性が高く弾性変形し易い材質を用いることが可
能であり、内周刃ブレード１４の取付剛性を確保しつ
つ、壁部２６の円滑な弾性変形を促してチャックボディ
１３の確実な固定を図ることが可能となる。また、この
ように嵌合部２１がチャックボディ本体１９と別体とな
っていることから、油圧室２５や作動油供給手段の形成
も容易に行なうことができる。

【００２３】なお、本実施例では嵌合穴２３の内周面２
３Ａに近接したチャックボディ１３の内部に油圧室２５
を形成し、また作動油供給手段もチャックボディ１３側
の設けたが、これら嵌合軸の外周面に近接する主軸先端
部内に油圧室を形成するとともに作動油供給手段も主軸
側、すなわちスライシングマシンの本体側に設けるよう
にしてもよい。しかるに、チャックボディ側に油圧室お
よび作動油供給手段を設ける場合にはこれらを各チャッ
クボディに備えなければならないが、このような構成を
採ることにより、油圧室および作動油供給手段はスライ
シングマシン本体側にのみ設ければよくなり、コストの
低減等を図ることが可能となる。また、このような構成
を採った場合には、嵌合軸の外周の油圧室が形成される
部分を靱性が高く弾性変形し易い別部材によって構成す
るようにしてもよい。

【００２４】また、本実施例では、作動油供給手段を上
述のようにシリンダー室２７、ピストン部材２８、およ
び作動ネジ３４等から構成したが、例えば油圧室に連通
するバルブ付のジョイントを備えた流路を設け、チャッ
クボディの着脱を行なう際にはこのジョイントにオイル
ポンプユニット等の作動油供給手段を接続して作動油の
供給や排出を行なうようにしてもよい。さらに、嵌合軸
側に油圧室を設ける場合には、スライシングマシンの本
体にオイルポンプユニット等の作動油供給手段を設け、
これと油圧室をとスイベルジョイント等を用いて連結す
るようにしてもよい。特に、上述のようにチャックボデ
ィの着脱による内周刃ブレードの交換の自動化を図る場
合には、このような構成を採ることにより自動的に作動
油の供給、排出を行なうことが可能となるので、作業人
員を一層削減し、また作業を効率化することができる。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ス
ライシングマシンが稼働している間に内周刃ブレードを
チャックボディに取り付けて張りおよび芯出し調整をし
ておき、内周刃ブレードの交換時にはこのチャックボデ
ィごと内周刃ブレードを交換することによって、交換作
業に要する時間および労力を大幅に短縮、軽減すること
ができ、機械稼働率および生産性の著しい向上を図るこ
とができるとともに、作業の自動化を促すことが可能と
なる。また、このようにチャックボディごと内周刃ブレ
ードを交換するにも係わらず、チャックボディを正確に
位置決めして主軸先端部に取り付け、内周刃ブレードに
高い芯出し精度を与えることが可能となるので、効率的
かつ不良の少ない切断作業を行なうことができるととも
に、内周刃ブレード自体の寿命の延長を図ることも可能
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す主軸１１の先端部分の
断面図である。

【図２】図１における作動油供給手段を示す拡大断面図
である。

【図３】図２におけるＡ方向視の図である。

【図４】従来のスライシングマシンを示す主軸１の先端
部分の断面図である。

【符号の説明】

１，１１主軸３，１３チャックボディ４，１４内周刃ブレード１９チャックボディ本体２１嵌合部２３嵌合穴２４嵌合軸２５油圧室２６壁部２７シリンダー室２８ピストン部材３４作動ネジＯ主軸１，１１の回転軸線Ｘチャックボディ１３の中心軸

フロントページの続き (72)発明者菱田幸敏岐阜県安八郡神戸町大字横井字中新田1528 番地三菱マテリアル株式会社岐阜製作所内 (72)発明者鶴田捷二千葉県野田市西三ヶ尾金打314番地三菱マテリアルシリコン株式会社内 (72)発明者松本辰己千葉県野田市西三ヶ尾金打314番地三菱マテリアルシリコン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】軸線回りに回転される主軸の先端に、有
底円筒状のチャックボディがその開口部を先端側に向け
て取り付けられるとともに、このチャックボディの開口
部には内周刃ブレードが取り付けられて成るスライシン
グマシンにおいて、上記チャックボディはその底面部に
形成された嵌合穴を上記主軸の先端に設けられた嵌合軸
に嵌合させて上記軸線に同軸に取り付けられており、上
記嵌合穴の内周面に近接した上記チャックボディの内
部、または上記嵌合軸の外周面に近接した上記主軸の先
端内部には、これら嵌合穴の内周面または嵌合軸の外周
面から略一定距離離間して上記軸線回りに周回する油圧
室が形成されるとともに、この油圧室には、該油圧室に
作動油を供給して該油圧室と上記嵌合穴の内周面または
上記主軸の外周面との間の壁部を弾性変形せしめる作動
油供給手段が連結されていることを特徴とするスライシ
ングマシン。
【請求項２】上記作動油供給手段は、上記油圧室に連
結して上記作動油を収納するシリンダー室と、このシリ
ンダー室内に液密かつ進退可能に挿入されるピストン部
材と、上記シリンダー室内に出没自在とされ、上記ピス
トン部材に当接して該ピストン部材を進退せしめる作動
ネジとを備えて構成されていることを特徴とする請求項
１記載のスライシングマシン。
【請求項３】上記油圧室は、上記軸線を中心とする略
薄肉円筒状の空間として形成されていることを特徴とす
る請求項１または請求項２に記載のスライシングマシ
ン。
【請求項４】上記油圧室は、上記軸線回りの周方向に
等間隔に配置された複数の油圧室を互いに連通して構成
されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３の
いずれかに記載のスライシングマシン。
【請求項５】少なくとも上記油圧室が形成される上記
チャックボディの嵌合穴周辺部または上記嵌合軸の外周
部分は、靱性が高い材質より形成されていることを特徴
とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のスラ
イシングマシン。