JPH07328982A - Wiring/piping structure for articulated robot - Google Patents
Wiring/piping structure for articulated robotInfo
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- JPH07328982A JPH07328982A JP12113094A JP12113094A JPH07328982A JP H07328982 A JPH07328982 A JP H07328982A JP 12113094 A JP12113094 A JP 12113094A JP 12113094 A JP12113094 A JP 12113094A JP H07328982 A JPH07328982 A JP H07328982A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、多関節型ロボット、特
にアームが二次元的に移動する水平多関節型ロボットの
ハンドに導かれる電源線や信号線等の線及びエア供給管
等の管を配置する配線・配管構造に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to articulated robots, and in particular, lines such as power supply lines and signal lines, and pipes such as air supply pipes, which are guided to the hands of horizontal articulated robots in which arms move two-dimensionally. The present invention relates to a wiring / pipe structure for arranging.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、多関節型ロボットの一種とし
て、各アームが二次元的に移動する水平多関節型ロボッ
トは知られている。この種のロボットは、通常、例えば
図4に示すように、ロボット本体aに第1のアームbの
基端部を第1の関節軸c回りに水平方向に回動自在に設
けるとともに、該第1のアームbの先端部に第2のアー
ムdの基端部を第2の関節軸e回りに水平方向に回動自
在に設け、該第2のアームdの先端部にハンドfを取付
ける構成になっている。2. Description of the Related Art Conventionally, a horizontal articulated robot in which each arm moves two-dimensionally has been known as a kind of articulated robot. In this type of robot, usually, as shown in FIG. 4, for example, a base end portion of a first arm b is provided in a robot main body a so as to be horizontally rotatable around a first joint axis c, and The base end of the second arm d is provided at the tip of the first arm b so as to be horizontally rotatable around the second joint axis e, and the hand f is attached to the tip of the second arm d. It has become.
【0003】そして、この種のロボットにおいて、ハン
ドfに導かれる電源線や信号線等の線及びエア供給管等
の管gは、図4に示すように、これらを一つに束ね、ア
ームb,dの外部に引き回すように配置されている。
尚、図4中、hは配線・配管の束gの途中を支持する支
持金具であって、該支持金具hは、アームbに対し軸i
回りに回動自在に取付けられている。In this kind of robot, the power supply line, the signal line, and the like, which are guided to the hand f, and the pipe g, such as the air supply pipe, are bundled together as shown in FIG. , D are arranged so as to be routed outside.
In FIG. 4, h is a support metal fitting that supports the middle of the wiring / pipe bundle g.
It is attached so that it can rotate around.
【0004】また、従来の別の配線・配管構造として、
例えば特公平4−43743号に開示されるように、各
アームb,dを中空状に形成し、その中空内を通して配
線・配管を行うこともある。As another conventional wiring / piping structure,
For example, as disclosed in Japanese Patent Publication No. 4-43743, each arm b, d may be formed in a hollow shape, and wiring / piping may be performed through the inside of the hollow.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
配線・配管構造のうち、アーム外部に配線・配管を行う
場合には、それらの束gがロボットの作動中に膨らんだ
り捩じれたりして周辺の他の部品・部材と干渉する虞が
ある。また、ロボットの作動中に線同士、管同士又は線
と管とが互いに擦れ合って塵を生じる可能性があるた
め、特にクリーンルーム内の作業に用いられるいわゆる
クリーンロボットでは問題である。However, in the above-mentioned conventional wiring / piping structure, when wiring / piping is performed outside the arm, a bundle g thereof swells or twists during the operation of the robot to cause the surroundings. It may interfere with other parts / members. Further, since there is a possibility that the lines, the pipes, or the lines and the pipes may rub against each other to generate dust during the operation of the robot, this is a problem particularly in a so-called clean robot used for work in a clean room.
【0006】一方、アーム内部に配線・配管を行う場合
には、アーム内の収容量に制限があるばかりでなく、ア
ーム内に配設されるアーム駆動用の可動部材と線・管が
接触するため、これらの寿命が短くなる。また、線・管
を交換するときには、ロボットアーム自体を取外し分解
しなければならず、作業が非常に面倒であるという問題
もある。On the other hand, when wiring / piping is performed inside the arm, not only is there a limit to the amount of accommodation in the arm, but the movable member for driving the arm arranged in the arm comes into contact with the wire / pipe. Therefore, the life of these is shortened. In addition, when replacing the wire / tube, the robot arm itself must be removed and disassembled, which is a problem that the work is very troublesome.
【0007】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、配線・配管用のリンク
機構を用いることにより、周辺の他の部品・部材との干
渉及びクリーンルーム内での発塵を防止するとともに、
配線・配管の収容量の増加、寿命の延長及び交換作業性
の容易化を図り得る多関節型ロボットの配線・配管構造
を提供せんとするものである。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to use a link mechanism for wiring and piping so that interference with other peripheral parts and members and in a clean room can be achieved. While preventing dust from
An object of the present invention is to provide a wiring / piping structure for an articulated robot capable of increasing the amount of wiring / piping accommodated, prolonging its life, and facilitating replacement workability.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、ロボット本体に一連の複数
のアームを介してハンドが取付けられ、上記各アームが
関節軸回りに回動自在に設けられた多関節型ロボットに
おいて、上記ロボット本体とハンドとの間に、上記アー
ムの回動に追従して動くリンク機構を設けるとともに、
該リンク機構の構成部材を中空状に形成し、その中空内
に、上記ハンドに導かれる電源線や信号線等の線及びエ
ア供給管等の管を配置する構成とする。In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is such that a hand is attached to a robot body via a series of a plurality of arms, and each arm rotates about a joint axis. In a freely provided articulated robot, a link mechanism that moves following the rotation of the arm is provided between the robot body and the hand,
The constituent members of the link mechanism are formed in a hollow shape, and lines such as power supply lines and signal lines guided to the hand and pipes such as an air supply pipe are arranged in the hollow.
【0009】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明に従属し、その一つの態様を示すものである。すなわ
ち、一連の複数のアームとして、ロボット本体に第1の
関節軸回りに回動自在に設けられた第1のアームと、該
第1のアームの先端に基端が第2の関節軸回りに回動自
在に設けられかつ先端に上記ハンドが取付けられた第2
のアームとを有する。一方、上記リンク機構は、一端が
ロボット本体に回動自在に支持された第1のリンク部材
と、該第1のリンク部材の他端に一端が回動自在に連結
されかつ他端が上記第2のアーム部材に回動自在に連結
された第2のリンク部材とを有している。また、上記第
1のリンク部材は上記第1のアームと、上記第2のリン
ク部材は上記第2のアームとそれぞれ同一面内で移動す
るように配置されている。The invention according to claim 2 is dependent on the invention according to claim 1, and shows one mode thereof. That is, as a series of a plurality of arms, a first arm rotatably provided on the robot body about a first joint axis and a base end on the tip of the first arm about the second joint axis. Second rotatably provided with the above hand attached to the tip
And an arm. On the other hand, in the link mechanism, one end is rotatably connected to the first link member whose one end is rotatably supported by the robot body, and the other end of the first link member is rotatably connected to the other end. The second link member is rotatably connected to the second arm member. Further, the first link member is arranged so as to move in the same plane as the first arm and the second link member moves in the same plane as the second arm.
【0010】[0010]
【作用】上記の構成により、請求項1記載の発明では、
電源線や信号線等の線及びエア供給管等の管を、ロボッ
トアームの回動に追従して動くリンク機構の中空状の構
成部材内に配置しているため、これらの配線・配管がロ
ボットの作動中に周辺の他の部品・部材と干渉すること
はない。また、ロボットの作動中に仮に線同士、管同士
又は線と管とが互いに擦れ合って塵を生じたときでも該
塵はリンク機構の構成部材内に止まり、クリーンルーム
内を汚染することはない。さらに、アーム内に配線・配
管を行うことと相俟って、配線・配管の収容量が大幅に
増加することになる。その上、リンク機構の構成部材内
には上記線及び管以外の部材・部品、特に可動部材は配
置されないので、この可動部材との接触により線・管の
寿命が短くなることはない。また、リンク機構のみをロ
ボットから取り外すだけで上記線・管の交換作業が容易
に行える。With the above construction, in the invention according to claim 1,
Since wires such as power supply lines and signal lines and pipes such as air supply pipes are arranged inside the hollow components of the link mechanism that moves following the rotation of the robot arm, these wiring and pipes There is no interference with other peripheral parts and members during the operation of. Further, even if the lines, the pipes, or the lines and the pipes rub each other during operation of the robot to generate dust, the dust remains in the constituent members of the link mechanism and does not contaminate the inside of the clean room. In addition to the wiring and piping in the arm, the amount of wiring and piping accommodated will increase significantly. Moreover, since members and parts other than the above-mentioned wires and pipes, especially movable members are not arranged in the constituent members of the link mechanism, the life of the wires and pipes will not be shortened by contact with the movable members. Also, the wire / pipe replacement work can be easily performed by simply removing only the link mechanism from the robot.
【0011】請求項2記載の発明では、リンク機構を構
成する第1及び第2のリンク部材が、それぞれ第1及び
第2のアームと同一面内で移動するように配置されてい
るため、リンク機構の付設によりロボットの寸法が大き
くなることはない。According to the second aspect of the present invention, the first and second link members constituting the link mechanism are arranged so as to move in the same plane as the first and second arms, respectively. The attachment of the mechanism does not increase the size of the robot.
【0012】[0012]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0013】図1は本発明の一実施例に係わる多関節型
ロボットの配線・配管構造を示し、1はロボット本体で
あって、該ロボット本体1には第1の関節軸2を介して
第1のアーム3の基端部が連結されているとともに、該
第1のアーム3の先端部には第2の関節軸4を介して第
2のアーム5の基端部が連結され、該第2のアーム5の
先端部にはハンド6が取付けられている。FIG. 1 shows a wiring / piping structure of an articulated robot according to an embodiment of the present invention, in which 1 is a robot main body, and the robot main body 1 is connected to a first joint shaft 2 through a first joint shaft 2. The base end portion of the first arm 3 is connected, and the base end portion of the second arm 5 is connected to the tip end portion of the first arm 3 via the second joint shaft 4. A hand 6 is attached to the tip of the second arm 5.
【0014】上記第1のアーム3は、図示していないサ
ーボモータ等からなるアクチュエータにより、第1の関
節軸2を中心として水平方向に回動可能に設けられてい
るとともに、上記第2のアーム5は、同じく図示してい
ないサーボモータ等からなるアクチュエータにより、第
2の関節軸2を中心として水平方向に回動可能に設けら
れている。また、第1及び第2のアーム3,5は、いず
れも中空状に形成され、その中空内には上記アクチュエ
ータに接続される電源線や信号線等が配置されている。The first arm 3 is provided so as to be rotatable in the horizontal direction about the first joint shaft 2 by an actuator composed of a servo motor or the like (not shown), and the second arm is also provided. Reference numeral 5 is provided rotatably in the horizontal direction about the second joint shaft 2 by an actuator, which is not shown in the figure and is composed of a servomotor or the like. Each of the first and second arms 3 and 5 is formed in a hollow shape, and a power supply line, a signal line and the like connected to the actuator are arranged in the hollow.
【0015】また、11は上記ロボット本体1とハンド
6寄りの第2のアーム5との間に設けられたリンク機構
であって、該リンク機構11は、図2及び図3に拡大詳
示するように、ロボット本体1に捩子止めにより固定さ
れた本体側ブラケット12と、一端部が該ブラケット1
2にベアリング13等を介して回動自在に連結された第
1のリンク部材14と、一端部が該リンク部材14の他
端部にベアリング15等を介して回動自在に連結された
第2のリンク部材16と、第2のアーム5における第1
のアーム3との連結側端部に捩子止めにより固定されか
つ上記第2のリンク部材16の他端部がベアリング17
等を介して回動自在に連結されたアーム側ブラケット1
8とを有し、上記第1及び第2のアーム3,5の回動に
追従して上記第1及び第2のリンク部材14,16が移
動するようになっている。ここで、上記第1のリンク部
材14は第1のアーム3と、上記第2のリンク部材16
は第2のアーム5とそれぞれ同一面内で移動するように
配置されており、またこの配置により、第1のリンク部
材14と第2のアーム5との間及び第2のリンク部材1
6と第1のアーム3との間では部材干渉が生じないよう
になっている。Reference numeral 11 is a link mechanism provided between the robot body 1 and the second arm 5 near the hand 6, and the link mechanism 11 is enlarged and shown in detail in FIGS. 2 and 3. As described above, the main body side bracket 12 fixed to the robot main body 1 by screwing and one end portion of the bracket 1
A first link member 14 rotatably connected to 2 via a bearing 13 and a second link member having one end rotatably connected to the other end of the link member 14 via a bearing 15 and the like. Link member 16 of the first arm of the second arm 5
Of the second link member 16 is fixed to the end portion of the second link member 16 connected to the arm 3 with a screw, and the other end portion of the second link member 16 has a bearing 17
Arm side bracket 1 rotatably connected via
8 and follows the rotation of the first and second arms 3 and 5, and the first and second link members 14 and 16 move. Here, the first link member 14 includes the first arm 3 and the second link member 16 described above.
Are arranged so as to move in the same plane as the second arm 5, respectively, and by this arrangement, between the first link member 14 and the second arm 5 and the second link member 1
Member interference does not occur between 6 and the first arm 3.
【0016】上記両リンク部材14,16は、いずれも
断面が中空の矩形状に形成されている。また、両リンク
部材14,16の連結部においては、一方のリンク部材
16に固定された内筒20に、他方のリンク部材14に
固定された外筒21がベアリング15を介して嵌着さ
れ、上記内筒20を通して両リンク部材14,16の中
空同士が連通されている。そして、上記両リンク部材1
4,16の中空内及び内筒20の中空内には、ロボット
本体1側からハンド6に導かれる電源線や信号線等の線
及びエア供給管等の管22が配置されている。該線及び
管22は、第2のリンク部材16の中空内から第2のア
ーム5の一辺に沿ってハンド6に導かれて配置される一
方、第2のアーム5に取付けられたカバー部材23によ
り覆われる。尚、各リンク部材14,16には配線・配
管作業用に開口部24が設けられている一方、該開口部
24は蓋部材25により閉じられている。Both of the link members 14 and 16 are formed in a rectangular shape having a hollow cross section. Further, in the connecting portion of both link members 14 and 16, an inner cylinder 20 fixed to one link member 16 is fitted with an outer cylinder 21 fixed to the other link member 14 via a bearing 15. The hollows of the link members 14 and 16 are communicated with each other through the inner cylinder 20. And both the link members 1
Inside the hollows of 4, 16 and the hollow of the inner cylinder 20, lines such as power supply lines and signal lines that are guided from the robot body 1 side to the hand 6 and pipes 22 such as an air supply pipe are arranged. The wire and the pipe 22 are arranged by being guided to the hand 6 from inside the hollow of the second link member 16 along one side of the second arm 5, and on the other hand, the cover member 23 attached to the second arm 5. Covered by. The link members 14 and 16 are provided with an opening 24 for wiring and piping work, while the opening 24 is closed by a lid member 25.
【0017】したがって、上記実施例においては、ロボ
ット本体1とハンド6との間に、ロボットアーム3,5
の回動に追従して動くリンク機構11を設けるととも
に、該リンク機構11の第1及び第2のリンク部材1
4,16を中空状に形成し、それらの中空内に、ハンド
6に導かれる電源線や信号線等の線及びエア供給管等の
管22を配置したことにより、これらの配線・配管22
がロボットの作動中に周辺の他の部品・部材と干渉する
ことはない。また、ロボットの作動中に仮に線同士、管
同士又は線と管とが互いに擦れ合って塵を生じたときで
も該塵はリンク機構11のリンク部材14,16内に止
まり、クリーンルーム内を汚染することはない。さら
に、ロボットアーム3,5内に配線・配管を行うことと
相俟って、配線・配管の収容量を大幅に増加することが
できる。Therefore, in the above embodiment, the robot arms 3 and 5 are provided between the robot body 1 and the hand 6.
And a first and second link member 1 of the link mechanism 11 are provided.
By forming the wires 4 and 16 in a hollow shape and arranging wires 22 such as a power supply wire and a signal wire guided to the hand 6 and a pipe 22 such as an air supply pipe in these hollows, these wiring / piping 22
Does not interfere with other parts and members in the vicinity while the robot is operating. Further, even if the lines, the pipes, or the lines and the pipes rub each other during operation of the robot to generate dust, the dust remains in the link members 14 and 16 of the link mechanism 11 and contaminates the clean room. There is no such thing. Further, in combination with wiring and piping in the robot arms 3 and 5, the amount of wiring and piping accommodated can be greatly increased.
【0018】その上、上記リンク機構11のリンク部材
14,16内には上記線及び管22以外の部材・部品、
特に可動部材は配置されないので、この可動部材との接
触により線・管22の寿命が短くなることはなく、寿命
の延長を図ることができる。また、リンク機構11のみ
をロボットから取り外すだけで上記線・管22の交換作
業を容易に行うことができ、交換作業の簡易・迅速化を
図ることができる。In addition, in the link members 14 and 16 of the link mechanism 11, members and parts other than the wire and the pipe 22,
In particular, since the movable member is not arranged, the life of the wire / tube 22 is not shortened by the contact with the movable member, and the life can be extended. Further, the wire / tube 22 can be easily replaced by simply removing only the link mechanism 11 from the robot, and the replacement can be simplified and speeded up.
【0019】加えて、上記リンク機構11の第1のリン
ク部材14が第1のアーム3と、第2のリンク部材16
が第2のアーム5とそれぞれ同一面内で移動するように
配置されているため、リンク機構11の付設によりロボ
ットの寸法が大きくなることはなく、その小型化に寄与
することができる。In addition, the first link member 14 of the link mechanism 11 includes the first arm 3 and the second link member 16.
Are arranged so as to move in the same plane as the second arm 5, respectively. Therefore, the attachment of the link mechanism 11 does not increase the size of the robot, and can contribute to the miniaturization of the robot.
【0020】尚、上記実施例では、リンク機構11のハ
ンド寄りのリンク部材16を、第2のアーム5における
第1のアーム3との連結側端部に連結したが、第2のア
ーム5におけるハンド6との連結側端部に連結するよう
にしても良く、またその際、三つ又はそれ以上のリンク
部材を用いてリンク機構を構成しても良い。In the above embodiment, the link member 16 near the hand of the link mechanism 11 is connected to the end of the second arm 5 on the side of connection with the first arm 3, but in the second arm 5. The hand 6 may be connected to the end portion on the side of connection, and at that time, the link mechanism may be configured by using three or more link members.
【0021】[0021]
【発明の効果】以上の如く、本発明における多関節型ロ
ボットの配線・配管構造によれば、ロボットの作動中に
配線・配管が周辺の他の部品・部材と干渉することを防
止できるとともに、仮に線同士、管同士又は線と管とが
互いに擦れ合って塵を生じたときでもクリーンルーム内
を汚染することはなく、クリーンロボットに適してい
る。また、配線・配管の収容量を増加することができる
とともに、線・管の寿命の延長及び交換作業の容易化を
図ることができるという効果を有する。As described above, according to the wiring / piping structure of the articulated robot of the present invention, it is possible to prevent the wiring / piping from interfering with other peripheral parts / members during the operation of the robot. Even if the lines, the pipes, or the lines and the pipes rub against each other to generate dust, the clean room is not contaminated and is suitable for a clean robot. In addition, it is possible to increase the amount of wiring / pipe accommodated, extend the life of the wire / pipe, and facilitate replacement work.
【0022】特に、請求項2記載の発明では、リンク機
構とアームとの干渉を回避しながら、リンク機構の付設
によるロボットの寸法の拡大を防止することができると
いう効果をも有する。In particular, the invention according to claim 2 has an effect that it is possible to prevent the robot from expanding in size due to the attachment of the link mechanism while avoiding the interference between the link mechanism and the arm.
【図1】本発明の実施例に係わる多関節型ロボットの配
線・配管構造を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a wiring / piping structure of an articulated robot according to an embodiment of the present invention.
【図2】リンク機構の側面図である。FIG. 2 is a side view of a link mechanism.
【図3】図2のA−A線における断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
【図4】従来の配線・配管構造を示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing a conventional wiring / piping structure.
1 ロボット本体 2 第1の関節軸 3 第1のアーム 4 第2の関節軸 5 第2のアーム 6 ハンド 11 リンク機構 14 第1のリンク部材(構成部材) 16 第2のリンク部材(構成部材) 1 Robot Main Body 2 First Joint Axis 3 First Arm 4 Second Joint Axis 5 Second Arm 6 Hand 11 Link Mechanism 14 First Link Member (Constituent Member) 16 Second Link Member (Constituent Member)
Claims (2)
してハンドが取付けられ、上記各アームが関節軸回りに
回動自在に設けられた多関節型ロボットにおいて、 上記ロボット本体とハンドとの間には、上記アームの回
動に追従して動くリンク機構が設けられており、 該リンク機構の構成部材は中空状に形成され、その中空
内には、上記ハンドに導かれる電源線や信号線等の線及
びエア供給管等の管が配置されていることを特徴とする
多関節型ロボットの配線・配管構造。1. A multi-joint robot in which a hand is attached to a robot body via a series of a plurality of arms, and each arm is rotatably provided around a joint axis. Is provided with a link mechanism that moves in accordance with the rotation of the arm, and the constituent members of the link mechanism are formed in a hollow shape. Inside the hollow, a power supply line and a signal line guided to the hand are provided. Wiring and piping structure of an articulated robot characterized in that lines such as lines and air supply pipes are arranged.
体に第1の関節軸回りに回動自在に設けられた第1のア
ームと、該第1のアームの先端に基端が第2の関節軸回
りに回動自在に設けられかつ先端に上記ハンドが取付け
られた第2のアームとを有する一方、 上記リンク機構は、一端がロボット本体に回動自在に支
持された第1のリンク部材と、該第1のリンク部材の他
端に一端が回動自在に連結されかつ他端が上記第2のア
ーム部材に回動自在に連結された第2のリンク部材とを
有しており、 上記第1のリンク部材は上記第1のアームと、上記第2
のリンク部材は上記第2のアームとそれぞれ同一面内で
移動するように配置されている請求項1記載の多関節型
ロボットの配線・配管構造。2. A first arm rotatably provided on a robot body around a first joint axis as a series of a plurality of arms, and a second joint having a base end at a tip end of the first arm. The link mechanism has a second arm rotatably provided around an axis and having the hand attached to the tip thereof, while the link mechanism has a first link member rotatably supported by the robot body. A second link member having one end rotatably connected to the other end of the first link member and the other end rotatably connected to the second arm member, The first link member includes the first arm and the second arm.
2. The wiring / piping structure for an articulated robot according to claim 1, wherein the link member is arranged so as to move in the same plane as the second arm.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12113094A JPH07328982A (en) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Wiring/piping structure for articulated robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12113094A JPH07328982A (en) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Wiring/piping structure for articulated robot |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07328982A true JPH07328982A (en) | 1995-12-19 |
Family
ID=14803624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12113094A Withdrawn JPH07328982A (en) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Wiring/piping structure for articulated robot |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07328982A (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005106944A1 (en) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Tokyo Electron Limited | Vacuum treatment device |
JPWO2006022231A1 (en) * | 2004-08-25 | 2008-05-08 | 株式会社安川電機 | Articulated robot |
JP2011083878A (en) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Substrate transfer robot |
DE102012102245A1 (en) | 2011-03-17 | 2012-09-20 | Denso Wave Inc. | Multi-articulated robot for industrial application, has several joint actuators in which each actuator includes wiring module with input and output connectors comprising power input and output terminals |
TWI462811B (en) * | 2009-03-20 | 2014-12-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Robot arm, robot employing the same, and manufacturing method for the robot arm |
US10618185B2 (en) | 2016-11-28 | 2020-04-14 | Fanuc Corporation | Connection structure |
CN114684614A (en) * | 2020-12-28 | 2022-07-01 | 日本电产三协株式会社 | Industrial robot |
-
1994
- 1994-06-02 JP JP12113094A patent/JPH07328982A/en not_active Withdrawn
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005106944A1 (en) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Tokyo Electron Limited | Vacuum treatment device |
JPWO2006022231A1 (en) * | 2004-08-25 | 2008-05-08 | 株式会社安川電機 | Articulated robot |
US7814811B2 (en) | 2004-08-25 | 2010-10-19 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Articulated robot |
JP4618252B2 (en) * | 2004-08-25 | 2011-01-26 | 株式会社安川電機 | Articulated robot |
TWI462811B (en) * | 2009-03-20 | 2014-12-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Robot arm, robot employing the same, and manufacturing method for the robot arm |
JP2011083878A (en) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Substrate transfer robot |
DE102012102245A1 (en) | 2011-03-17 | 2012-09-20 | Denso Wave Inc. | Multi-articulated robot for industrial application, has several joint actuators in which each actuator includes wiring module with input and output connectors comprising power input and output terminals |
US10618185B2 (en) | 2016-11-28 | 2020-04-14 | Fanuc Corporation | Connection structure |
DE102017127261B4 (en) | 2016-11-28 | 2024-08-08 | Fanuc Corporation | Connection structure |
CN114684614A (en) * | 2020-12-28 | 2022-07-01 | 日本电产三协株式会社 | Industrial robot |
CN114684614B (en) * | 2020-12-28 | 2023-11-14 | 日本电产三协株式会社 | Industrial robot |
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