JPH0732868B2 - 自動調液装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は染液、現像液、エッチング液等の自動調液装置
に関する。

［従来の技術］ 本発明は、本出願人が先に提供した自動調液装置（特願
昭63−177578号）の改良にかかるものである。

特願昭63−177578に提案されている自動調液装置は、第
５図に示すように、シリンダ１−1a,1−2a,…１−na
（代表して１−ａと記す）内に挿入されるピストン１−
1b,1−2b,1−nb（代表して１−ｂと記す）の往復にて溶
液を吸入、排出する分注器１−1,1−2,1−ｎ（代表して
分注器１に記す）が一列状に複数個並べて、各分注器１
には原液タンクより溶液を吸収する吸入管15−1,15−２
…15−ｎと分注器１より吐出した溶液を受器５に排出す
る排出管２−1,2−2,…２−ｎとが接続されている三方
口電磁弁３−1,3−2,…３−ｎ（代表して三方口電磁弁
３と記す）の共通口が接続されている。

各分注器１のピストン１−ｂは、すべてのピストン１−
ｂを同方向に同じストローク分移動させる駆動アーム７
にカップリング６−1,6−2,…６−ｎを介して接続され
ている。該駆動アーム７の前後進は、駆動モータ８の
正、逆の回転によって行なわれ、駆動アーム７の前後進
移動量の制御は、上記駆動モータ８の回転を検出するロ
ータリーエンコーダ14が送出するパルス信号のパルス数
にて行なわれる。

よって、駆動アーム７の前後進は、ピストン１−ｂの前
後進に対応しているので、駆動アーム７の前後進移動
量、即ちロータリエンコーダ14より送出されるパルス数
によりピストン１−ｂの移動量を制御することができ
る。さらにピストン１−ｂの移動量は溶液の吐出量であ
るので、単位吐出量当たりの上記パルス数を予め求めて
おくことで、シリンダ１−ａからの溶液の吐出量を制御
することができる。

このような自動調液装置における動作を以下に説明す
る。まず、三方口電磁弁３を原液タンク側に開いた状態
で、ピストン１−ｂをシリンダ１−ａより引き抜く方向
に駆動アーム７が後進するように駆動モータ８を作動さ
せる。よって、各分注器１内には原液タンクより溶液が
吸入され、充填される。

次に、各分注器１が吐出する溶液の所定量に応じたパル
ス数が制御部（不図示）に入力され、制御部はロータリ
エンコーダ14より供給されるパルス数に基づき駆動モー
タ８の作動、停止を制御する。

そして、駆動モータ８を回転させることでピストン１−
ｂをシリンダ１−ａに挿入する方向に駆動アーム７を前
進させ、シリンダ１−ａ内の気泡抜きの動作を行った後
調液動作に入る。調液動作では、制御部に入力されたパ
ルス数、即ち吐出量が小さいものより順に調液が行なわ
れ、その吐出量に到達するまで制御部は駆動モータ８を
作動させることで駆動アーム７を前進させる。そして、
所定量の溶液の吐出が終了した分注器１においては、シ
リンダ吐出側の三方口電磁弁３の開路が原液タンク側に
開かれ、以後シリンダ１−ａ内の残溶液は原液タンクへ
排出される。このようにして以下順次各分注器１の調液
が行なわれる。

［発明が解決しようとする課題］ 上述した自動調液装置は、多くの原液をより精度良く調
液できるものであるが、分注器１の後方に駆動アーム
７、駆動モータ８等の駆動装置を設けているので、分注
器１は一列に並べなければならず、又駆動アーム７の長
さにも限度があり、一つの駆動装置に接続する分注器１
の数も自ずから制限される。よって、多数本の分注器１
が必要な場合、駆動装置及び分注器１のセットを複数組
準備しなければならず、調液装置として大型のものにな
るという問題点があった。

本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
ので、装置が大型化せずにより多くの分注器をセットで
き、かつ精度良く調液動作が行える自動調液装置を提供
することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、一端側が開口し他端側に吸入注出口を備えた
シリンダと上記一端側から上記シリンダ内に挿入され上
記シリンダの軸方向に移動するピストンとを有し上記ピ
ストンの移動によって液体を上記吸入注出口から上記シ
リンダ内に吸入しあるいは上記吸入注出口から上記シリ
ンダ外へ液体を注出する分注器を基準線の左右側のそれ
ぞれに上記一端側を対向させて配置した一方側分注器と
他方側分注器とを有する一対の吸入注出装置を複数対備
え、 上記基準線に沿って延在しかつ上記一方側分注器の上記
シリンダに対する上記ピストンの移動方向と上記他方側
分注器の上記シリンダに対する上記ピストンの移動方向
とが逆方向となりかつ各分注器における上記ピストンが
接続され上記各分注器における上記ピストンの移動量を
等しくするピストン接続部材を備え、 上記一方側分注器又は上記他方側分注器への上記液体の
吸入、及び上記他方側分注器又は上記一方側分注器より
上記各分注器に対応した各設定量の上記液体の注出を行
うために上記ピストン接続部材を駆動するピストン移動
装置を備え、 上記分注器のそれぞれの上記吸入注出口に接続され上記
一方側分注器又は上記他方側分注器への上記液体の吸入
に際し流路方向を吸入排出用の第１通路に電気的信号に
て切り換え、及び上記他方側分注器又は上記一方側分注
器からの上記液体の注出に際し流路方向を調液用の第２
通路と余剰液排出時には排出用となる上記吸入排出用第
１通路とのいずれかに電気的信号にて切り換わる切換弁
を備え、 上記一方側分注器又は上記他方側分注器から上記各設定
量の上記液体の注出を行う場合で上記一方側分注器又は
上記他方側分注器の注出量が上記各設定量に達したとき
設定量に達した分注器に接続される上記切換弁の流路方
向を上記第２通路から上記第１通路に切り換える制御装
置を備えたことを特徴とする。

さらに本発明は、一端側が開口し他端側に吸入注出口を
備えたシリンダと上記一端側から上記シリンダ内に挿入
され上記シリンダの軸方向に移動するピストンとを有し
上記ピストンの移動によって液体を上記吸入注出口から
上記シリンダ内に吸入しあるいは上記吸入注出口から上
記シリンダ外へ液体を注出する分注器を基準線の左右側
のそれぞれに上記一端側を対向させて配置した一方側分
注器と他方側分注器とを有する一対の吸入注出装置を複
数対備え、 上記分注器のそれぞれに一対一に配置され上記各注器の
上記シリンダ内に吸入される被調合原液を収容する原液
タンクを備え、 上記分注器のそれぞれに一対一に配置され上記各分注器
の上記シリンダから注出される上記被調合原液を収容す
る受器を備え、 上記分注器のそれぞれに一対一に接続され上記一方側分
注器又は上記他方側分注器への上記被調合原液の吸入に
際し流路方向を上記原液タンク側に電気的信号にて切り
換え、及び上記他方側分注器又は上記一方側分注器から
の上記被調合原液の注出に際し流路方向を上記受器側又
は上記原液タンク側のいずれかに電気的信号により切り
換わる切換弁を備え、 上記基準線に沿って延在し、かつ上記一方側分注器の上
記シリンダに対する上記ピストン移動方向と上記他方側
分注器の上記シリンダに対する上記ピストンの移動方向
とが逆方向となり、かつ各分注器における上記ピストン
が接続され上記各分注器における上記ピストンの移動量
を等しくするピストン接続部材を備え、 上記一方側分注器又は上記他方側分注器への上記被調合
原液の吸入、及び上記他方側分注器又は上記一方側分注
器より上記各分注器に対応した各設定量の上記被調合原
液の注出を行うために上記ピスントン接続部材を駆動す
るピストン移動装置を備え、 上記切換弁の弁開路を上記原液タンク側に開く信号を送
出するとともに、上記弁開路が上記原液タンク側に開い
た切換弁に接続されている上記一方側分注器又は上記他
方側分注器の上記ピストンを上記シリンダ内より引く抜
く方向に上記ピストン移動装置を移動させる信号を送出
する吸液手段を備え、 上記各分注器が上記受器へ上記被調合原液を注出すると
きの設定量であり上記各分注器が対応した設定量に対す
る上記ピストン接続部材の移動量をそれぞれ演算する演
算手段を備え、 上記演算手段で演算された上記移動量に基づき、上記一
方側分注器又は上記他方側分注器から注出する被調合原
液量が当該各分注器について設定された上記設定量に達
するまで上記ピストン移動装置を作動させ上記設定量に
達したとき、当該設定量に達した分注器に接続する上記
切換弁を上記原液タンク側へ切り替える信号を送出する
注出停止手段を備え、 上記吸液手段、及び上記注出停止手段の作動を制御する
とともに、上記ピストン移動手段を停止させる制御手段
を備えたことを特徴とする。

［作用］ このように構成することで、ピストン接続手段はピスト
ンどおしが対向して設けられているそれぞれの分注器に
おけるピストンの移動方向が逆方向となるように、さら
にその移動量は同一になるように各分注器のピストンを
接続する。ピストン移動手段は、各分注器においてピス
トンが移動可能な方向で、かつ分注器のシリンダ範囲内
で上記ピストン接続手段を往復移動させる。よって、例
えば、対向する分注器の一方向側の分注器群のピストン
がシリンダ内に挿入される方向に移動するとき、他方向
側の分注器群のピストンはシリンダより引き抜かれる方
向へ移動する。又、逆の場合にはそれぞれの分注器群が
逆の動作を行う。したがって、本発明の自動調液装置
は、一方の分注器に溶液が吸入されているときには、他
方の分注器では溶液が排出されている状態となり、一動
作にて少なくとも二群の分注器による調液動作が可能で
あり、調液装置が大型化せず、かつ精度良く調液動作が
行えるように作用する。尚、吸入注出装置は、実施例に
おける分注器101及び分注器201を合わせたものに相当す
る。上記ピストン接続部材は、実施例における共通座板
302、台板30に相当する。又、上記ピストン移動装置
は、実施例におけるガイド棒303、移送ネジ304、プーリ
308,309、駆動モータ310に相当する。又、上記切換弁
は、実施例における三方口電磁弁103,203に相当する。

さらに、上記吸液手段は、実施例における制御装置30で
あって、特に三方口電磁弁制御装置38、駆動モータ制御
装置40、加算装置42に相当する。又、上記演算手段は実
施例における制御装置30であって特に第１演算装置32に
相当する。又、上記注出停止手段は実施例における制御
装置30であって特に三方口電磁弁制御装置38、第２比較
装置39、加算装置42に相当する。又、上記制御手段は実
施例における制御装置30であって特に演算制御装置36に
相当する。

［実施例］ 本発明の自動調液装置の一実施例を示す第１図及び第２
図において、互いに平行に延在する設置座301a、301b上
には、シリンダ内をピストンが往復するこどで溶液の吸
排出を行う分注器が、それぞれの分注器のピストンを対
向させ、かつ同心線上に並べ、さらにシリンダを水平に
して、設置座301a、301bの延在方向に沿って適宜な間隔
を空けて複数固定される。尚、設置座301aに固定されて
いる分注器のそれぞれを代表して分注器101、設置座301
bに固定されている分注器のそれぞれを代表して分注器2
01とする。又、以下の説明において第１図内の左側に記
載する分注器101に付属する構成部分は百番代で、右側
に記載する分注器201に付属する構成部分は二百番代に
て示す。又、第１図中、中央に記載される両方の分注器
101,201に共通に共通部分は三百番代にて示す。

分注器101,201は、上述したように、シリンダ101a,201a
と、該シリンダ101a,201a内を往復動するピストン101b,
201bとから構成されている。又、各分注器101、201のシ
リンダ101a、201aの閉口部に位置し水平面に対して垂直
に突出する液吸排口Ａには、各分注器101に接続される
吸排出管155−1,155−2,…155−ｎ（代表して吸排出管1
55と記す）、及び各分注器201に接続される吸排出管255
−1,255−２…255−ｎ（代表して吸排出管255と記す）
が接続される。この吸排出管155、255の他端には、各分
注記101に接続される三方口電磁弁103−1,103−2,…103
−ｎ（代表して三方口電磁弁103と記す）、及び各分注
器201に接続される三方口電磁弁203−1,203−2,…203−
ｎ（代表して三方口電磁弁203と記す）が接続される。

三方口電磁弁103,203は、各分注器101に属する原液タン
ク104−1,104−2,…104−ｎ（代表して原液タンク104と
記す）、及び各分注器201に属する原液タンク204−1,20
4−2,204−ｎ（代表して原液タンク204と記す）へ延在
する原液配管115,215に接続する常開ポートNOと、吸排
出管155,255を介して各分注器101,201に接続される共通
ポートCOMと、受器105,205への注入管102,202に接続す
る常閉ポートNCを有しており、通電時（オン時）には受
器105,205への注入管102,202と分注器101,201とが導通
（COM−NC）となり、非通電時（オフ時）には原液タン
ク104,204への原液配管115,215と分注器101,201とが導
通（COM−NC）となるバルブである。

尚、原液配管115,215、受器105,205、注入管102,202に
ついても、各分注器101,201に属してそれぞれ個別に存
在するものであり、それぞれ−1,−２等の枝番が付され
るが代表して上記符号にて示すものである。

それぞれの原液タンク104、204には、タンク内に蓄えら
れる原液溶液を羽根が回転することで撹拌する撹拌羽根
152,252が設けられる。又、それぞれの受器105、205
は、ターンテーブルあるいはベルトコンベア（いずれも
図示せず）に載置され、受器105、205が移動することで
受器105、205には異なった溶液が注入され調液がなされ
る。尚、第１図において、分注器101,201の各々より排
出される原液は、分注器101,201の各々毎に１個ずつ設
けられている受器105,205に注入されるが、分注器101,2
01の各々に付属する各々の注入管102,202より排出させ
る原液を分注器101側及び分注器201側に１個ずつ設ける
受器に注入するようにしてもよい。又、原液タンク104,
204は、それぞれの分注器101,201に対応して個々に設け
られているが、調液する原液の種類及び濃度が同一であ
る場合には一つの原液タンク104又は204に複数の分注器
101又は201の原液配管115又は215が装備されても勿論良
い。

ピストン101b,201bの背面に装着した金具101c,201cに
は、第３図に示すように、金具101c,201cと後述する連
結棒107,108とを連結するカップリング106,206が設けら
れる。尚、第３図は分注器101側のみを示すが、分注器2
01側も同じ構成を有するものである。又、以下のカップ
リング、連結棒、連結棒接続金具の説明についても同様
に、分注器101側についてのみ説明するが分注器201側も
同じ構成を有するものである。

カップリング106は、金具101cの端面に設けられるコ字
形状の二股部50と、連結棒107に接続される継手部51と
から構成される。二股部50には、適宜な間隔を有し平行
に２本のアーム50a及び50bが設けられ、これらアーム50
a,50bにはアーム50a,50bの延在方向に直角方向に長円形
状の切欠部50cが切り欠かれる。一方、継手部51は、上
記アーム50a,50bにて形成される間隔より薄い板状の連
結板51bが形成され、この連結板51bの中心部には上記ア
ーム5a,50bの切欠部50cに密着して摺動可能な円柱形状
のロッド51cが連結板51bに対して垂直に貫通して固定さ
れている。このような二股部50と継手部51とは、二股部
50のアーム50a,50b間の継手部51の連結板51bが位置する
ようして、ロッド51cを切欠部50cにはめ込むことで連結
される。

このようなカップリング106を設けることで、以下に説
明する、共通座板302に連結棒接続金具108を介して固定
された連結棒107に対して分注器101,201の設置角度を自
由に決定でき、分注器101,201の設置調整が容易にでき
る利点を有する。

連結棒107は、両端部にネジ切られた丸棒であり、この
丸棒の中央部にはこの丸棒が貫通した六角ナット52が固
定されている。このような連結棒107はその一端部を継
手部51において連結板51bとは反対側の端面51dに設けら
れるネジ穴に係合させ、他端を共通座板302に固定され
ている連結棒接続金具108の端面に形成されているネジ
穴に係合される。

このようにして、分注器101のピストン101bと、共通座
板302とがカップリング106、連結棒107を介して連結さ
れることになる。又、連結棒中央部の六角ナット52を回
すことで、継手部51及び連結棒接続金具108に挿入され
ている連結棒107の長さを変化させることでき、分注器1
01のシリンダ101aに対するピストン101bの基準位置を微
調整することができる。

第１図及び第２図に示すように、台板305は、適宜な厚
さにてなる角棒形状であり、適宜な間隔で平行、かつ水
平に延在する２本のガイド棒303が台板305の両端部を摺
動可能に貫通しており、このガイド棒303にて台板305は
走行自在に支持される。さらに上記ガイド棒303間の中
央部、即ち台板305の中央部にはボールネジ機構306が設
けられ、このボールネジ機構306には移送ネジ304が係合
されている。

このような台板305の上面の両端部分には垂直方向に２
本の柱305aが立設され、これらの柱305aにて共通座板30
2は台板305の上方に固定される。尚、第２図に示すよう
に、共通座板302の高さレベルは、分注器101,201が固定
される高さレベルとほぼ同レベルとなるものである。

又、共通座板302は方形状の平板であり、台板305の移動
方向に直角方向に延びる共通座板302の長手方向端部302
b,302cにおける共通座板302の上表面302aに、上述した
連結棒接続金具108,208が対向して固定される。又、連
結棒接続金具108,208は上記長手方向端部302b,302cに沿
って、設置座301a,301bに設置されている分注器101,201
と同一直線上に並ぶように複数設置される。又、本実施
例では、分注器101、連結棒107、連結棒接続金具108、
連結棒接続金具208、連結棒207、分注器201は同一直線
上に並べて設置されている。又、共通座板302が平板状
であることより、連結棒接続金具108,208の脱着が容易
であり、分注器101,201等のメンテナンスが容易に行え
るという利点がある。

共通座板302の連結棒接続金具108を第１図に示したもの
に加えて、連結金具の共通座板302に対する角度を自由
にできる連結棒接続金具を設けることによって、分注器
を第１図に二方向から四方向等増加させることができ
る。尚この場合、台板305の移動量に対するピストンの
移動量を補正する必要がある。

上記移送ネジ304の一端には、プーリ308が設けられ、こ
のプーリ308は、例えばベルトにて駆動モータ310の駆動
軸に設けられるプーリ309に接続される。尚、駆動モー
タ310は、可逆回転可能なステッピングモータであり、
後述する制御装置30より供給されるパルス信号のパルス
数に応じて作動時間が制御される。

よって、駆動モータ310を作動させることで、移送ネジ3
04が回転し、台板305及び共通座板302はガイド棒303の
延在方向に沿って右又は左に移動することができる。
尚、台板305は、分注器101,201の互いに対向するピスト
ン101b,201b間を図内左右方向に移動するものであり、
又、本実施例では、分注器101,201が固定される支持台3
01において、ピストン101b,201b側に設けられている開
口部307を台板305は左右に移動するものである。

又、台板305の左右の移動限界位置を検出するために、
台板305には移送方向に突出する検知棒312の先端が所定
の左右の移動限界位置に到達したことを検知し、駆動モ
ータ310の回転を止める信号を送出するリミットスイッ
チ311a,311bが設置されている。尚、左右の移動限界位
置は、左右に固定される分注器101,201のシリンダ101a,
201a内でピストン101b,201bが移動可能な範囲内に設定
される。

又、シリンダ101a,201aへのピストン101b,201bの往復運
動を潤滑にするため、各分注器101,201のピストン101b,
201bが引き抜かれた状態にあるとき、ピストン101b,201
bの上方より水や油等の潤滑液が滴下されるので、支持
台301には上記潤滑液を受ける受皿109,209が設けられて
いる。

又、本実施例では支持台301の下面301cにはガイド棒30
3、移送ネジ304、台板305等を一体的に構成した移送ユ
ニット313が設置され、支持台301と一体的に自動調液装
置を構成している。

以上のように構成することで、例えば、台板305を図内
左方向に移動させれば、分注器101においてはピストン1
01bがシリンダ101aに挿入される方向（前進）に移動
し、一方分注器201側においては、上記動作と同時に、
ピストン201bがシリンダ201aより引き抜かれる方向（後
退）に移動する。尚、台板305を右方向に移動させた場
合には、その逆の動作を行うこととなる。

よって、例えば、ピストン101bがシリンダ101aより引き
抜かれる方向に移動する場合、三方口電磁弁103が原液
タンク104側に開いているので、分注器101は原液タンク
104内の原液を三方口電磁弁103、吸排出口Ａを通してシ
リンダ101a内に吸い込む。このとき、ピストン201bがシ
リンダ201aに挿入されることより、分注器201はシリン
ダ201a内に滞留する原液を吸排出口Ａを介して排出す
る。また逆に、ピストン201bがシリンダ201aより引き抜
かれる方向に移動する場合、三方口電磁弁203が原液タ
ンク204側に開いているので、分注器201は原液タンク20
4内の原液を三方口電磁弁203、吸排出口Ａを通してシリ
ンダ201a内に吸い込む。このとき、ピストン101bがシリ
ンダ101a内に挿入されることにより、分注器101はシリ
ンダ101a内に滞留する原液を吸排出口Ａを介して排出す
る。

以上のように構成された自動調液装置において、第１
図、第２図とともに第４図を参照して本実施例の動作を
説明する。

理解を助けるために、使用する原液を分注するのに用い
る分注器が第１図において共通座板302の左右方向に必
ず存在するものとして説明する。又、サフィックスＬは
左側の分注器101、サフィックスＲは、右側の分注器201
に関連することを示す。

駆動モータ310へ共通する制御信号のパルス数に対し
て、その供給パルス数による駆動モータ310の回転数
と、駆動モータ310の回転によって移動する台板305の移
動に応じて各分注器101,201から排出される原液量との
関係を予め実験により求め、各分注器101,201毎の単位
排出源液量当りのパルス数POiL,POiR（パルス/ml）を第
１表の如く制御装置30の第１記憶装置31に登録する。

又、分注器101−１ないし101−ｎ、並びに分注器201−
１ないし201−ｎの各ピストン101b,201bのストローク、
即ち分注器101,201のシリンダ101a,201aの端から端まで
の移動可能な距離の内、最大距離に対応する入力パルス
数PmL,PmRを設定し、制御装置30の第３記憶装置34に登
録する。

さらに、分注器の吸排出口Ａから三方口電磁弁までの吸
排出管の内容積と、三方口電磁弁の残留内容積と、三方
口電磁弁から原液タンクまでの原液配管の内容積と、さ
らに安全の為若干の余裕内容積と、を合計した値を、個
々の分注器101−1,101−2,…、並びに分注器201−1,201
−2,…毎に求め、求めた値の内、最も大きい値を有する
分注器において、前記値の内容積の溶液を排出するため
に必要なピストンの移動量に相当する、駆動モータ310
へ供給されるパルス数PnL,PnRが、制御装置30の第４記
憶装置35へ登録される。

尚、パルス数PnL,PnRは、実験により求めてもよい。

第４記憶装置35に登録されたパルス数PnL,PnRは、パル
ス数PnL,PnRと後述の加算装置42が送出する計数値PiL,P
iRとを比較する第１比較装置37に送出される。

制御装置30は、原液名および各原液の目標注入量QiL,Qi
Rが入力されると、当該原液を収容する原液タンクに接
続される分注器の単位注出原液量当たりパルス数POiL,P
OiRを第１記憶装置31から読み込み、第１演算装置32で
目標注入量QiL,QiRに対するパルス数PQiL,PQiRを以下に
示す式にて算出する。

PQiL＝POiL×QiL,PQiR＝POiR×QiR さらに第１演算装置32は、算出された目標パルス数PQiL
を前述したピストンの移動可能な最大距離に対応する発
生パルス数PmLで除算し、又目標パルス数PQiRを前述し
たピストンの移動可能な最大距離に対応する発生パルス
数PmRで除算し、それぞれ「商」の値は注出回数nL,nRと
して、「余り」の値は最終回注出パルス数PqiL,PqiRと
して、第２表に示すように、第２記憶装置33に登録す
る。

尚、注出回数nL,nRの値は0,1,2,…であり、ｎ＝０のと
き注出回数は１回目であることを意味する。よって、注
出回数nL,nRの値が０であるとき、目標パルス数PQiL,PQ
iRと最終回注出パルス数PqiL,PqiRとは等しい値とな
る。

さらに、算出された注出回数nL,nRの内、最も大きい値
が回数記憶装置43に登録され、その値の回数だけすべて
の分注器101,201のピストン101b,201bは、往復すること
になる。

又、第２表において原液各A3L,A3Rは注出しないことを
示す。

尚、同時にセットされる各分注器101,201の移動距離は
ほぼ同長のものとし、又、口径が異なることは差し支え
ない。一つあるいは複数の分注器101,201の口径を大き
くすることは、ピストン101b,201bの同じ移動量で大量
に原液を吸入及び吐出すことができ、吸入及び吐出に要
する時間を短縮することができる。一方、分注器101,20
1の口径を小さくすればピストン101b,201bの同じ移動量
で少量に原液を吸入及び吐出することができ、吸入量し
いては吐出量の精度を向上させることができる。即ち、
ピストン101b,201bの移動距離の精度は決まっているの
で、分注器101,201の口径における断面積が小さい場合
には最小分注量を小さくでき、分注精度を高くすること
ができる。

したがって、使用原液及びその配合量に対応して分注器
101,201の口径を適宜に選択すれば、ピストン101b,201b
の少ない移動回数で、所望の調液を行うことができる。

又、一般的に口径が同一の複数の分注器のみにて広い範
囲の溶液濃度をカバーするためには、分注器の吐出量の
範囲が限られるため分注器の吸入する原液の濃度を２、
３種類用意する必要があるが、１種類の濃度の原液に対
して口径の異なる分注器を使用することで原液タンクの
本数を増やすことなく広い範囲の吐出量をカバーするこ
とができ、広い範囲の濃度をカバーすることができる。

したがって、１種類の原液に対して調液に要する回数を
減少させることができるとともに、一台の自動調液装置
にてより多くの種類の原液を使用できるという利点があ
る。

実際に各分注器101,201が行う自動調液動作について各
行程別に以下に説明する。尚。上述したように、分注器
101とは、第１図内の左側に配置されているすべての分
注器を、分注器201とは、右側に配置されているすべて
の分注器を示す。

（ｉ）分注器101側 吸込み、分注器201側注出 運転開始信号が入力されると、台板305が第１図及び第
２図において右進する方向に移動するように駆動モータ
310が作動（例えば左回転）する。尚、この時三方口電
磁弁103−1,103−2,…は非通電の状態であり、弁開路は
原液タンク104−1,104−2,…の方向に開となっている。
よって、各分注器101のピストン101−1b,101−2b,…は
台板305即ち共通座板302の右進に従って後退し、原液タ
ンク104−1,104−2,…内の原液を各分注器101のシリン
ダ101−1a,101−2a,…内に吸入する。

このとき、相対する分注器201の三方口電磁弁203−1,20
3−2,…は非通電の状態であり、弁開路は原液タンク204
−1,204−2,…の方向に開となっている。よって、各分
注器201のピストン201−1b,201−2b,…は共通座板302の
右進に従って前進し、シリンダ201−1a,201−2a,…内の
原液（原液が入っていなければ空気）を原液タンク204
−1,204−2,…内に排出する。

尚、駆動モータ310は、台板305に設けた検知棒312がリ
ミットスイッチ311bに接触する迄、台板305を右進させ
る。

そして、リミットスイッチ311bが右進完了信号を制御装
置30の演算制御装置36に送出することで、演算制御装置
36は、駆動モータ制御装置40を介して駆動モータ310の
回転を停止させるとともに、加算装置42内の台板305の
移動量計数値Piをゼロにセットする。この移動量計数値
Piとは、駆動モータ310の作動を制御するための駆動モ
ータ310に送出されるパルス信号のパルス数を計数した
値である。

又、演算制御装置36は、回数記憶装置43に対し、注出回
路をゼロにセットする信号を送出する。

（ii）分注器101側 気泡抜き、分注器201側吸込み 次に、制御装置30は、駆動モータ制御装置40を介して駆
動モータ310を逆転（例えば右回転）させて台板305を左
進させる。そして駆動モータ310に送出されるパルス信
号は、同時に駆動モータ制御装置40より加算装置42に送
出され、加算装置42にてそのパルス数が加算積算され
る。尚、この場合、分注器101に属するすべての三方口
電磁弁103−1,103−2,…は、非通電のままであるので、
弁開路は原液タンク104−1,104−2,…方向に開いてい
る。

又、このとき、相対する分注器201−1,201−2,…の三方
口電磁弁203−1,203−2,…は非通電の状態であり、弁開
路は原液タンク204−1,204−2,…の方向に開となってい
る。

よって、分注器201のピストン201−1b,201−2b,…は台
板305の左進に従って後退即ち引き抜かれる方向に移動
し、原液タンク204−1,204−2,…の原液を各分注器201
のシリンダ201−1a,201−2a,…内に吸入する。

駆動モータ310の作動に伴い加算装置42にて加算積算さ
れた計数値Piは、逐次演算制御装置36を介し第１比較装
置37に送出され、第１比較装置37は、第４記憶装置35か
ら供給されるパルス数PnLと計数値Piとを比較し、パル
ス数PnLと計数値Piとが等しくなったとき、駆動モータ
制御装置40へ駆動モータ310の回転を停止させる信号を
送出する。よって駆動モータ310の回転は一旦停止す
る。又、第１比較装置37より供給される信号に基づき演
算制御装置36は、加算装置42の加算値をゼロにセットす
る。

このように分注器のピストンを一旦左進させる目的は、
吸液時に分注器101−1,101−2,…に混入した気泡をすべ
て原液タンク104−1,104−2,…へ戻し、各々の分注器10
1−1,101−2,…の吸排出口Ａから三方口電磁弁103−1,1
03−2,…間には一切気泡が含まれていない状態とするた
めである。

このような気泡抜きは、ピストン移動距離の端から端ま
で行ってもよい。又、溶液の排出は、原液タンクに戻し
てもよいし、捨ててもよい。この場合はもう一度原液を
注入することが必要となる。

（iii）分注器101側 個々の分注、分注器201側 吸込
み 次に演算制御装置36が送出する信号にて、第２比較装置
39は、第２記憶装置33に入力されたデータに基づき、原
液を受器105へ排出する必要のある一つあるいは複数の
分注器101−1,101−2,…に対応する三方口電磁弁103−
1,103−２…を通電状態とし、分注器101−1,101−2,…
と受器105との導通状態にする。よって分注器101−1,10
2−１…のピストン101−1b,101−2b,…が前進即ちシリ
ンダ内に挿入されれば、分注器101−1,101−2,内の原液
は受器105へ排出されるようになる。

このとき、分注器101と反対側の右側のすべての分注器2
01−1,201−2,…の三方口電磁弁203−1,203−2,…は、
非通電の状態であり、弁開路は原液タンク204−1,204−
2,…の方向に開となっている。よって、各分注器201の
ピストン201−1b,201−2b,…が共通座板302の左進に従
って後退すれば、各分注器201は原液タンク204−1,204
−2,…の原液を各分注器のシリンダー201−1a,201−2a,
…内へ吸入するようになる。

次に、演算制御装置36は、駆動モータ制御装置40を介し
て、共通座板302を左進する方向へ駆動モータ310を作動
させる。よって、該当する分注器101から受器105へ原液
が排出されるとともに、駆動モータ310への供給パルス
信号は加算装置42へ送出され、加算装置42は、該パルス
数を積算し、この積算値を逐次演算制御装置36送出す
る。

第２比較装置39は、分注器101の目標パルス数と、加算
装置42が送出するパルス数とを比較し、目標パルス数が
最も小さい値PQiLと、加算装置42が出力するパルス数と
が一致した時点で、駆動モータ310の回転を一時停止さ
せる信号を駆動モータ制御装置40へ送出する。

さらに第２比較装置39は、その目標パルス数PQiLに該当
する分注器101−ｉに接続される三方口電磁弁103−ｉを
三方口電磁弁制御装置38を介して非通電状態とする。

よって分注器101−ｉ内の原液は、受器105−ｉ側へ排出
されることはなくなり、以後分注器101−ｉ内の原液は
原液タンク104−ｉ側へ排出される。

尚、上記実施例では、駆動モータ310を一旦停止させた
後、三方口電磁弁103の開路の切替を行ったが、駆動モ
ータ310の回転を一時停止させることなく、三方口電磁
弁103の弁開路を切り替えることも可能であり、このよ
うにした場合には、分注時間を短縮することができる。

一方、このときにも、分注器201側の三方口電磁弁203は
すべて非通電の状態のままであるので、弁回路は原液タ
ンク204の方向に開となっており、分注器101−ｉの三方
口電磁弁103−ｉの排出液の流れる方向が変化しても従
前と同様に、ピストン201−ｂは台板305の左進に従って
後退し、原液タンク204内の原液を分注器201のシリンダ
201−ａ内に吸入し続ける。

次に、演算制御装置36は、再度、駆動モータ310を左進
方向へ作動させる。前述と同様に第２比較装置39は、目
標パルス数のうち次に小さい値である目標パルスPQiL
と、加算装置42が出力するパルス数とを比較し、一致し
た時点で再度駆動モータ310の回転を一時停止させ、対
応する三方口電磁弁103−ｉ′を非導通状態とする。

尚、このときも、分注器201側の三方口電磁弁203は非通
電の状態のままであるので、弁開路は原液タンク204の
方向に開となっており、分注器101−ｉ′の三方口電磁
弁103−ｉ′の液の流れる方向が変化しても従前と同様
に、ピストン201bは共通座板302の左進に従って後退
し、原液タンク204内の原液を分注器201のシリンダ201a
内に吸入し続ける。

このようにして第２比較装置39は、第２記憶装置33内に
設定された目標パルス数に達した分注器から当該分注器
に対応する三方口電磁弁103−1,103−2,…の開路を順次
原液タンク104側へ切り替え、受器105への原液を排出を
完了していく。

（iv）分注器101側 残りの注出、分注器201側 吸込み 第３比較装置41は、加算装置42が送出するパルス数と、
第３記憶装置34に設定した分注器のピストンの最大移動
時のパルス数PmLとを比較し、これらのパルス数が一致
した時点で、台板305の左進作動に係る駆動モータ310の
回転を停止させるとともに、分注器101に属するすべて
の三方口電磁弁103−1,103−2,…103−ｎを非導通状態
とし、弁開路を原液タンク104−1,104−2,…側に切り替
える。尚、パルス数PmLは、分注器101のシリンダ101aに
ピストン101bが挿入終了した時点で検出信号を送出する
左端のリミットスイッチ311aが台板305に設けられてい
る検知棒312にて作動したときのパルス数を示してい
る。よって、ピストンの移動可能な最大距離に対応する
発生パルス数PmLを用いることにより、リミットスイッ
チ311aを省略することも可能である。

このとき、相対する分注器201−1,201−２…201−ｎに
属する三方口電磁弁203−1,203−2,…203−ｎは非通電
の状態のままであり、弁開路は原液タンク204−1,204−
2,…204−ｎの方向に開となっている。よって、各分注
器201−1,201−2,…201−ｎのピストン201−1b,201−2
b,…201−nbは、共通座板302の左進に従って後退し、各
分注器201は、左側のリミットスイッチ311aがオンとな
り共通座板302が停止するまで、シリンダー201−1a,201
−2a,…201−na内に原液タンク204−1,204−2,201−ｎ
内の原液を吸入し続ける。

リミットスイッチ311aが信号を送出し駆動モータ310の
回転を停止させた時、回数記憶装置43に記憶される注出
回数は、現在記憶している注出回数から１を減じた値に
置き換えられる。

（ｖ）分注器101側 吸い込み、分注器201側 気泡抜
き、測定、戻し 次に回数記憶装置43が送出する注出回数のデータがゼロ
でない場合、演算制御装置36は、駆動モータ310を逆転
させ、右側のリミットスイッチ311bがオン状態となるま
で駆動モータ310を作動させる。尚、このとき台板305
は、詳細後述のように移動し、左端より右端まで一気に
移動するのではない。よって、分注器101−1,101−2,…
101−ｎのピストン101−1b,101−2b,…101−nbと連結し
ている共通座板302即ち台板305は右進するので、すべて
の分注器101−1,101−2,…101−ｎには原液タンク104よ
り原液が吸入される。

さらに、前述したリミットスイッチ311bがオン状態とな
ることで、演算制御装置36は、加算装置42に記憶される
台板305の移動量計数値Piをゼロにセットする。

前述の左端のリミットスイッチ311aがオン状態になった
ときから、右端のリミットスイッチ311bがオン状態にな
ったときまでの動作を、相対する右側の分注器201−1,2
01−2,…201−ｎ側について以下に説明する。

（ｖ−ｉ）分注器101側 吸込み、分注器201側 気泡抜
き 左側のリミットスイッチ311aがオン状態となったとき各
分注器201のピストン201−1b,201−2b,…201−nbは、左
端即ち最も引き抜かれた状態に位置し、上述したように
三方口電磁弁203が原液タンク204側に開いていることに
より、各シリンダー201−1a,201−2a,…201−na内には
各原液が満たされた状態となっている。

次に、制御装置30は駆動モータ310を逆転（例えば左回
転）させて台板305を右進させる。又、駆動モータ制御
装置40より駆動モータ310に送出させるパルス信号は加
算装置42にも送出され、加算装置42にてそのパルス数が
加算積算される。

加算積算された計数値Piは逐次演算制御装置36を介し第
１比較装置37に送出され、第１比較装置37は、第４記憶
装置35から供給されるパルス数PnRと上記計数値Piとを
比較し、パルス数PnRと計数値Piとが等しくなったと
き、駆動モータ制御装置40へ駆動モータ310の回転を停
止させる信号を送出する。よって駆動モータ310の回転
は一旦停止する。

又、第１比較装置37の出力信号によって、演算制御装置
36は加算装置42の加算値をゼロにセットする。

このように台板305を一旦右進させる目的は、吸液時に
分注器201−1,201−2,…に混入した気泡をすべて原液タ
ンク204−1,204−2,…へ戻し、各々の分注器201−1,201
−2,…から三方口電磁弁203−1,203−2,…間には一切気
泡が含まれていない状態とするためである。

（ｖ−ii）分注器101側 吸込み、分注器201側 個々の
分注 次に、演算制御装置36が送出する信号にて第２比較装置
39は、第２記憶装置33に供給されたデータに基づき、分
注器201内の原液を受器205へ排出する必要のある分注器
201−1,201−2,…に対応する三方口電磁弁203−1,203−
２…を通電状態とし、分注器201−1,201−2,…と受器20
5とを導通状態にする。

よって分注器201−1,201−１…のピストン201−1b,201
−2b,…が右進すれば、分注器201−1,201−2,…内の原
液は受器205へ排出するようになる。

次に、演算制御装置36は、台板305が右進する方向へ再
度駆動モータ310を作動させる。よって、該当分注器201
から受器205へ原液が排出されるとともに、駆動モータ3
10へ供給されるパルス信号は、駆動モータ制御装置40よ
り加算装置42へ送出され、加算装置42は、そのパルス数
を積算し積算値を逐次演算制御装置36へ送出する。

第２比較装置39は、分注器201の目標パルス数と、加算
装置42が送出するパルス数とを比較し、目標パルス数も
最も小さい値PQiRと、加算装置42が送出するパルス数と
が一致した時点で、駆動モータ310の回転を一時停止さ
せる信号を駆動モータ制御装置40へ送出する。

さらに第２比較装置39は、その目標パルス数PQiRに該当
する分注器201−ｉに属する三方口電磁弁203−ｉを三方
口電磁弁制御装置38を介して非通電状態とする。

よって分注器201−ｉ内の原液は、以後、受器205側へ排
出されることはなくなり、以後分注器201−ｉ内の原液
は原液タンク204−ｉ側へ排出される。

尚、このときも分注器101に属する三方口電磁弁103は非
通電の状態のままであるので、弁開路は原液タンク104
の方向に開となっており、分注器201−ｉの三方口電磁
弁203−ｉの溶液の流れる方向が変化しても従前と同様
に、ピストン101bは台板305の右進に従って後退即ちシ
リンダ101aより引き抜かれる方向に移動し、原液タンク
104内の原液を分注器101のシリンダ101a内に吸入し続け
る。

次に、演算制御装置36は、駆動モータ制御装置40を介し
て再度駆動モータ310を右進方向へ作動させ、前述と同
様に第２比較装置39は、次に小さい値である目標パルス
数PQiR′と加算装置42が送出するパルス数とを比較し、
一致した時点で再度駆動モータ310の回転を一時停止さ
せ、対応する三方口電磁弁203−ｉ′を非導通状態とす
る。

よって分注器201−ｉ′内の原液は、受器205側へ排出さ
れることはなくなり、分注器201−ｉ′内の原液は、以
後、原液タンク204−ｉ′側へ排出される。

又、このときも分注器101に属する三方口電磁弁103は非
通電の状態のままであるので、弁開路は原液タンク104
方向に開となって、分注器201−ｉ′の三方口電磁弁203
−ｉ′の溶液の流れる方向が変化しても従前と同様に、
ピストン101bは台板305即ち共通座板302の右進に従って
後退即ちシリンダ101aより引き抜かれる方向に移動し、
原液タンク104内の原液を分注器101のシリンダ101a内に
吸入し続ける。

このようにして第２比較装置39は、第２記憶装置33内に
設定された目標パルス数に達した分注器201から順次当
該分注器に対応する三方口電磁弁203−1,203−2,…の開
路を順次原液タンク204側に切り替え、受器205への原液
の排出を完了していく。

（ｖ−iii）分注器101側 吸込み、分注器201側 残り
の溶液排出 第３比較装置41は、加算装置42が送出するパルス数と、
第３記憶装置34に設定した分注器ピストンの最大移動時
のパルス数PmRとを比較し、これらのパルス数が一致し
た時点で、台板305の右進作動に係る駆動モータ310の回
転を停止させるとともに、右側の分注器201に属するす
べての三方口電磁弁203−1,203−2,…203−ｎを非導通
状態とし、弁開路を原液タンク204−1,204−2,…204−
ｎ側に切り替える。尚、パルス数PmRは、分注器201のシ
リンダ201aへのピストン201bの挿入終了時てに検出信号
を送出する右端のリミットスイッチ311bを台板305に設
けられている検知棒312が作動させる移動量に対応する
パルス数を示している。よって、ピストンの移動可能な
最大距離に対応する発生パルス数PmRを用いることによ
り、リミットスイッチ311bを省略することも可能であ
る。

又、リミットスイッチ311bより信号が送出されて駆動モ
ータ310の回転が停止したとき、回数記憶装置43に記憶
される注出回数は、現在記憶している注出回数から１を
減じた値に置き換えられる。

このように、リミットスイッチ311bが作動するまで台板
305が第１図内で右側まで移動したときには、各分注器2
01について一回目の調液動作が終了し、一方同時に、全
ての分注器101においては吸液動作が終了したことにな
る。

（vi）上記（ｉ）〜（ｖ）の繰り返し そして、上述した分注器101における自動調液動作が再
び開始される。即ち、第１比較装置37は、分注器101の
自動調液動作において駆動モータ310に供給されるパル
ス信号のパルス数の加算計数値PiLが第４記憶装置35に
記憶されているパルス数PnLと一致するまで駆動モータ3
10を駆動させて台板305を左進させ、左側の全分注器101
−1,101−2,…101−ｎ内の気泡抜きを行う。尚、このと
き、分注器101に属する各三方口電磁弁103−1,103−2,
…は非通電の状態であるので、分注器101−1,101−2,…
内の原液は、原液タンク104−1,104−2,…へ排出され
る。

又、このとき分注器201−1,201−２…201−ｎも、前述
した動作と同様に三方口電磁弁203−1,203−2,…203−
ｎは非通電の状態のままであり、弁開路は原液タンク20
4−1,204−2,…204−ｎの方向に開となっている。よっ
て、各分注器201−1,201−2,…201−ｎのピストン201−
1b,201−2b,…201−nbは台板305即ち共通座板302の左進
に従って後退し、原液タンク204−1,204−2,…204−ｎ
内の原液を、シリンダー201−1a,201−2a,…201−na内
に吸入する。

そして、前述した動作と同様に、分注器101の気泡抜き
が終了した時点で、第２比較装置39は、注出回数ｎが１
以上である分注器101に対応する三方口電磁弁103を三方
口電磁弁制御装置38を介して通電状態とし、受器105側
に原液が排出する状態にする。そして、第２比較装置39
は、残量注入量に対応するパルス数の内、最もパルス数
に、加算装置42が送出するパルス数が達するまで駆動モ
ータ310を作動させ台板305を左進させる。

そして、上記の最も小さいパルス数に加算装置42が送出
するパルス数が達したとき、第２比較装置39は、駆動モ
ータ310の作動を一時停止するとともに、該当する分注
器101に属する三方口電磁弁103を非通電状態とし、原液
タンク104側に弁開路を開く。

そして再び第２比較装置39は、台板305がさらに左進す
るように駆動モータ310を作動させる。尚、このとき
も、分注器201−1,201−２…201−ｎに属する三方口電
磁弁203−1,203−2,…203−ｎは非通電の状態のままで
あり、弁開路は原液タンク204−1,204−2,…204−ｎの
方向に開となっている。よって、各分注器201−1,201−
2,…201−ｎのピストン201−1b,201−2b,…201−nbは、
台板305の左進に従って後退し、原液タン204−1,204−
2,…204−ｎ内の原液を、シリンダ201−1a,201−2a,…2
01−na内に吸入する。

以下、制御装置30は、分注器101−1,101−2,…101−ｎ
が目標注出量に達するまで、前述した動作を繰り返す。
又、このとき、分注器201−1,201−2,…201−ｎも、分
注器101−1,101−2,101−３…101−ｎの動作に対応する
上述の動作を繰り返し、自動調液動作を行う。

このように、本実施例の自動調液装置によれば、左右に
移動する台板305の共通座板302の左右方向に複数の分注
器101、201を設け、それらの分注器101,201のピストン
と上記共通座板302とを接続したことより、共通座板302
の往路又は復路の移動にて、左右に設けられる分注器10
1及び201の両方の調液動作を行うことができる。よっ
て、多くの分注器が必要な場合においても、分注器のピ
ストンの駆動装置及び分注器が組み合わされた装置を多
数設置する必要がなく、調液装置が大型化することはな
い。

又、従来より多くの分注器について、分注器におけるピ
ストンの移動精度が共通となるので、調液精度がそれぞ
れの溶液について共通となる。したがって、各原液間の
分注比率の精度向上を図ることができる。

さらに、駆動モータ310にステッピングモータを使用し
たので、駆動モータ310へ供給するパルス信号のパルス
数にて動作制御を行うことができ、従来例にて使用した
ロータリーエンコーダを削除することができる。したが
って、コストダウンが図れるとともに、ロータリーエン
コーダが送出する信号の処理系が不要となるなるので装
置の簡略化につながり、又ロータリーエンコーダが関係
する故障等の問題を解消することができる。尚、ロータ
リーエンコーダを使用せずとも従来例と同一の調液精度
を得ている。

［発明の効果］ 以上詳述したように本発明によれば、対向する分注器の
ピストンがそれぞれの分注器のシリンダに対して互いに
逆方向に移動し、かつそのピストンの移動量が同一であ
ることより、一方向側の分注器にて分注操作を行ってい
るときには他方向側の分注器では吸液操作を行うことが
でき、装置を大型化せずとも、一度の調液操作にてより
多くの分注操作を行うことができる。又、両方向側に備
わる各分注器のピストン移動量が同一となることより分
注精度を同一とすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の自動調液装置の一実施例における構成
を示す斜視図、第２図は第１図に示す自動調液装置の要
部を示す図、第３図は第１図に示す自動調液装置のカッ
プリング部を示す斜視図、第４図は本発明の自動調液装
置の制御装置の一実施例における構成を示すブロック
図、第５図は従来の自動調液装置の構成を示す図であ
る。 30……制御装置、 101,201……分注器、 103,203……三方口電磁弁、 104,204……原液タンク、 105,205……受器、 302……共通座板、304……移送ネジ、 305……台板、310……駆動モータ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｄ 3/06

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一端側が開口し他端側に吸入注出口を備え
   たシリンダと上記一端側から上記シリンダ内に挿入され
   上記シリンダの軸方向に移動するピストンとを有し上記
   ピストンの移動によって液体を上記吸入注出口から上記
   シリンダ内に吸入しあるいは上記吸入注出口から上記シ
   リンダ外へ液体を注出する分注器を基準線の左右側のそ
   れぞれに上記一端側を対向させて配置した一方側分注器
   と他方側分注器とを有する一対の吸入注出装置を複数対
   備え、 上記基準線に沿って延在しかつ上記一方側分注器の上記
   シリンダに対する上記ピストンの移動方向と上記他方側
   分注器の上記シリンダに対する上記ピストンの移動方向
   とが逆方向となりかつ各分注器における上記ピストンが
   接続され上記各分注器における上記ピストンの移動量を
   等しくするピストン接続部材を備え、 上記一方側分注器又は上記他方側分注器への上記液体の
   吸入、及び上記他方側分注器又は上記一方側分注器より
   上記各分注器に対応した各設定量の上記液体の注出を行
   うために上記ピストン接続部材を駆動するピストン移動
   装置を備え、 上記分注器のそれぞれの上記吸入注出口に接続され上記
   一方側分注器又は上記他方側分注器への上記液体の吸入
   に際し流路方向を吸入排出用の第１通路に電気的信号に
   て切り換え、及び上記他方側分注器又は上記一方側分注
   器からの上記液体の注出に際し流路方向を調液用の第２
   通路と余剰液排出時には排出用となる上記吸入排出用第
   １通路とのいずれかに電気的信号にて切り換わる切換弁
   を備え、 上記一方側分注器又は上記他方側分注器から上記各設定
   量の上記液体の注出を行う場合で上記一方側分注器又は
   上記他方側分注器の注出量が上記各設定量に達したとき
   設定量に達した分注器に接続される上記切換弁の流路方
   向を上記第２通路から上記第１通路に切り換える制御装
   置を備えたことを特徴とする自動調液装置。
2. 【請求項２】一端側が開口し他端側に吸入注出口を備え
   たシリンダと上記一端側から上記シリンダ内に挿入され
   上記シリンダの軸方向に移動するピストンとを有し上記
   ピストンの移動によって液体を上記吸入注出口から上記
   シリンダ内に吸入しあるいは上記吸入注出口から上記シ
   リンダ外へ液体を注出する分注器を基準線の左右側のそ
   れぞれに上記一端側を対向させて配置した一方側分注器
   と他方側分注器とを有する一対の吸入注出装置を複数対
   備え、 上記分注器のそれぞれに一対一に配置され上記各注器の
   上記シリンダ内に吸入される被調合原液を収容する原液
   タンクを備え、 上記分注器のそれぞれに一対一に配置され上記各分注器
   の上記シリンダから注出される上記被調合原液を収容す
   る受器を備え、 上記分注器のそれぞれに一対一に接続され上記一方側分
   注器は上記他方側分注器への上記被調合原液の吸入に際
   し流路方向を上記原液タンク側に電気的信号にて切り換
   え、及び上記他方側分注器又は上記一方側分注器からの
   上記被調合原液の注出に際し流路方向を上記受器側又は
   上記原液タンク側のいずれかに電気的信号により切り換
   わる切換弁を備え、 上記基準線に沿って延在しかつ上記一方側分注器の上記
   シリンダに対する上記ピストン移動方向と上記他方側分
   注器の上記シリンダに対する上記ピストンの移動方向と
   が逆方向となりかつ各分注器における上記ピストンが接
   続され上記各分注器における上記ピストンの移動量を等
   しくするピストン接続部材を備え、 上記一方側分注器又は上記他方側分注器への上記被調合
   原液の吸入、及び上記他方側分注器又は上記一方側分注
   器より上記各分注器に対応した各設定量の上記被調合原
   液の注出を行うために上記ピスントン接続部材を駆動す
   るピストン移動装置を備え、 上記切換弁の弁開路を上記原液タンク側に開く信号を送
   出するとともに、上記弁開路が上記原液タンク側に開い
   た切換弁に接続されている上記一方側分注器又は上記他
   方側分注器の上記ピストンを上記シリンダ内より引く抜
   く方向に上記ピストン移動装置を移動させる信号を送出
   する吸液手段を備え、 上記各分注器が上記受器へ上記被調合原液を注出すると
   きの設定量であり上記各分注器が対応した設定量に対す
   る上記ピストン接続部材の移動量をそれぞれ演算する演
   算手段を備え、 上記演算手段で演算された上記移動量に基づき、上記一
   方側分注器又は上記他方側分注器から注出する被調合原
   液量が当該各分注器について設定された上記設定量に達
   するまで上記ピストン移動装置を作動させ上記設定量に
   達したとき、当該設定量に達した分注器に接続する上記
   切換弁を上記原液タンク側へ切り替える信号を送出する
   注出停止手段を備え、 上記吸液手段、及び上記注出停止手段の作動を制御する
   とともに、上記ピストン移動手段を停止させる制御手段
   を備えたことを特徴とする自動調液装置。