JPH07321452A - Flux adhesion method and device - Google Patents

Flux adhesion method and device

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JPH07321452A
JPH07321452A JP10997094A JP10997094A JPH07321452A JP H07321452 A JPH07321452 A JP H07321452A JP 10997094 A JP10997094 A JP 10997094A JP 10997094 A JP10997094 A JP 10997094A JP H07321452 A JPH07321452 A JP H07321452A
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Japan
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flux
bump
molten flux
molten
suction nozzle
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JP10997094A
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Japanese (ja)
Inventor
Minoru Ishikawa
実 石川
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Sony Corp
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Sony Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/3489Composition of fluxes; Methods of application thereof; Other methods of activating the contact surfaces

Abstract

PURPOSE:To uniformly and positively bond flux on the surface of a surface- mount-type IC bump such as a ball-grid-array type IC. CONSTITUTION:A container 5 stores melted flux 7, mechanical vibration is applied to the melted flux by an ultrasonic vibration generator 11, an IC 2 retained by a suction nozzle 3 is dropped, a bump 2B is dipped into the vibrating melted flux 7, and flux is positively adhered to the surface of the bump 2B properly without depending on the surface shape and size of the bump while the surface tension of the melted flux 7 of the part where the bump 2B is dipped is weakened.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、ボールグリ
ッドアレイ型ICのように一面にバンプなどの電極端子
が形成された表面実装型ICなどの電子部品の、前記電
極端子の表面に均一にフラックスを付着させることがで
きるフラックスの付着方法及びその装置に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface of an electrode terminal of an electronic component such as a surface mount type IC having electrode terminals such as bumps formed on one surface such as a ball grid array type IC. The present invention relates to a flux attachment method and apparatus capable of attaching flux.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来技術のフラックスの付着方法及びそ
の装置を図2を用いて説明する。図2は従来技術のフラ
ックス転写装置を概念的に示した側面図である。なお、
以下の説明では、電子部品の一例としてボールグリッド
アレイ型ICのような表面実装型IC(以下、単に「I
C」と記す)を採り挙げて説明する。
2. Description of the Related Art A conventional flux depositing method and apparatus will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a side view conceptually showing a conventional flux transfer device. In addition,
In the following description, a surface mount type IC (hereinafter, simply referred to as “I
The description will be made by taking "C" as an example.

【0003】符号1は全体として従来技術のフラックス
付着装置を指す。このフラックス付着装置1はIC2の
パッケージ2P側を吸着する吸着ノズル3と溶融フラッ
クス7を収容する容器5とから構成されている。
Reference numeral 1 generally refers to a prior art flux depositing device. The flux adhering device 1 is composed of an adsorption nozzle 3 for adsorbing the package 2P side of the IC 2 and a container 5 for accommodating the molten flux 7.

【0004】前記吸着ノズル3は、例えば、中心部に吸
引用の貫通孔4が形成された断面が四辺形の角柱で構成
されていて、前記貫通孔4は図示していない吸引ポンプ
に接続されている。また、この吸着ノズル3は前記容器
5に収容された溶融フラックス7面に対して上下に可動
できるように図示していない支持装置で支持されてい
る。一方、前記容器5には溶融フラックス7を収容する
浅くて平坦な窪み6が形成されていて、この窪み6に少
量の溶融フラックス7を収容できるように構成されてい
る。
The suction nozzle 3 is, for example, a prism having a quadrangular cross section with a through hole 4 for suction formed in the center thereof, and the through hole 4 is connected to a suction pump (not shown). ing. Further, the adsorption nozzle 3 is supported by a supporting device (not shown) so as to be movable up and down with respect to the surface of the molten flux 7 contained in the container 5. On the other hand, the container 5 is formed with a shallow and flat recess 6 for accommodating the molten flux 7, and a small amount of the molten flux 7 can be accommodated in the recess 6.

【0005】前記IC2はパッケージ2Pの前記吸着ノ
ズル3に吸着される面(以下、単に「表面」と記す)と
は反対の面(以下、単に「裏面」と記す)に電極端子で
あるバンプ2Bが複数個形成されている。例えば、この
IC2のパッケージ2Pが16mm角の表面積を備え、
バンプ2Bの高さが約50μm、その径が100μm
で、パッケージ2Pの裏面の周辺部に約150μmのピ
ッチで400個形成されているものとする。
The IC 2 has bumps 2B, which are electrode terminals, on the surface (hereinafter, simply referred to as "rear surface") opposite to the surface (hereinafter, simply referred to as "front surface") of the package 2P which is adsorbed by the adsorption nozzle 3 of the package 2P. Are formed in plural. For example, the package 2P of this IC2 has a surface area of 16 mm square,
The bump 2B has a height of about 50 μm and a diameter of 100 μm.
Then, it is assumed that 400 packages are formed in the peripheral portion of the back surface of the package 2P at a pitch of about 150 μm.

【0006】次に、このようなIC2のバンプ2Bに前
記フラックス付着装置1を用いてフラックスを付着させ
る方法を説明する。図示していない吸引ポンプを作動さ
せて、前記吸着ノズル3でIC2を所定の向きでそのパ
ッケージ2Pの表面を吸着、保持し、次に、その保持状
態を保ったまま図示していない前記支持装置を更に作動
させて、その吸着ノズル3を降下させ、IC2のバンプ
2Bを容器5に収容された溶融フラックス7の表面に接
触させる。そのバンプ2Bが溶融フラックス7の表面に
接触すると、支持装置の作動を反転させ、直ちに吸着ノ
ズル3を引き上げる。このように吸着ノズル3を制御す
ることにより、次々にIC2のバンプ2Bの表面にフラ
ックスを付着するようにしていた。
Next, a method of attaching flux to the bump 2B of the IC 2 using the flux attaching apparatus 1 will be described. By operating a suction pump (not shown), the suction nozzle 3 sucks and holds the surface of the package 2P of the IC 2 in a predetermined direction, and then the holding device (not shown) while keeping the held state. Is further operated to lower the adsorption nozzle 3 to bring the bump 2B of the IC 2 into contact with the surface of the molten flux 7 contained in the container 5. When the bump 2B comes into contact with the surface of the molten flux 7, the operation of the supporting device is reversed and the suction nozzle 3 is immediately pulled up. By controlling the suction nozzle 3 in this manner, the flux is sequentially attached to the surface of the bump 2B of the IC 2.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】一般にバンプ2Bの表
面には微小な凹凸が存在し、そのためバンプに溶融フラ
ックスが均一に付着し難い傾向があった。また、一個の
ICに形成された複数のバンプの大きさや高さも均一に
形成されているとは限らない。このようなバンプへ前記
フラックス付着装置1を用いて前記のようなフラックス
の付着方法で溶融フラックスをバンプに付着しようとす
ると、前記のようにバンプの溶融フラックスに対する濡
れ性が悪い場合には、バンプに付着しなければならない
溶融フラックスの量が減ってしまい、全てのバンプに溶
融フラックスを均一に付着させることができないという
欠点があった。この発明のフラックスの付着方法及びそ
の装置はこのような欠点を無くすことを課題とするもの
である。
Generally, the bumps 2B have fine irregularities on the surface thereof, so that the molten flux tends to be difficult to uniformly adhere to the bumps. Further, the size and height of the plurality of bumps formed on one IC are not always uniform. When the molten flux is attached to the bump by the above-described flux attaching method using the flux attaching apparatus 1, if the wettability of the bump to the molten flux is poor as described above, the bump However, the amount of the molten flux that must be attached to the bumps is reduced, and the molten flux cannot be uniformly attached to all the bumps. An object of the flux adhesion method and apparatus of the present invention is to eliminate such drawbacks.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】それ故、この発明では、
溶融状態のフラックスに機械的振動を加えた状態でIC
のバンプの表面に溶融フラックスを付着させるフラック
ス付着方法を採って、前記課題を解決した。また、この
フラックス付着方法を実行することができるフラックス
付着装置の一手段として、この発明では、溶融フラック
スを収容する容器と、この容器に収容された溶融フラッ
クスに機械的振動を印加する機械振動発生装置と、バン
プが形成されたICを吸着し、振動している前記溶融フ
ラックスに前記バンプを浸漬させる吸着ノズルとからフ
ラックス付着装置を構成し、前記課題を解決した。更に
また、前記フラックス付着装置には、前記吸着ノズルに
音響マイクを取付け、その吸着ノズルで吸着されたIC
のバンプが振動している溶融フラックスに接触した時、
前記振動を検出して、前記バンプの前記溶融フラックス
の表面から浸漬深さ位置を制御できるように前記吸着ノ
ズルの移動を規制する機構を設け、前記課題を解決し
た。
Therefore, according to the present invention,
IC in a state where mechanical vibration is applied to molten flux
The above-mentioned problem was solved by adopting a flux attachment method of attaching molten flux to the surface of the bump. Further, according to the present invention, as a means of a flux adhering device capable of executing this flux adhering method, in the present invention, a container for accommodating the molten flux and a mechanical vibration generation for applying mechanical vibration to the molten flux contained in the container The flux adhesion device is configured by the device and the adsorption nozzle that adsorbs the IC on which the bump is formed and dips the bump in the vibrating molten flux to solve the above problems. Furthermore, an acoustic microphone is attached to the suction nozzle of the flux adhering device, and the IC adsorbed by the suction nozzle is attached.
When the bumps of the
The problem was solved by providing a mechanism that detects the vibration and controls the movement of the suction nozzle so that the immersion depth position can be controlled from the surface of the molten flux of the bump.

【0009】[0009]

【作用】従って、溶融状態のフラックスに機械的振動を
加えることにより、機械的振動のエネルギーが、バンプ
がその溶融フラックスに接触して生じた微小な凹部に集
中し、溶融フラックスの表面張力を実質的に下げること
になり、溶融フラックスのバンプへの濡れ性が向上す
る。
Therefore, when mechanical vibration is applied to the molten flux, the energy of the mechanical vibration is concentrated on the minute recesses formed by the bump contacting the molten flux, and the surface tension of the molten flux is substantially reduced. Therefore, the wettability of the molten flux to the bumps is improved.

【0010】[0010]

【実施例】次に、図1を用いて、この発明のフラックス
付着装置を説明する。図1はこの発明のフラックス転写
装置の一実施例を概念的に示した側面図である。なお、
従来技術のフラックス付着装置の構成要素と同一の部分
には同一の符号を付し、それらの説明を省略する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the flux adhering device of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a side view conceptually showing one embodiment of the flux transfer device of the present invention. In addition,
The same components as those of the conventional flux depositing apparatus are designated by the same reference numerals, and their description will be omitted.

【0011】このフラックス付着装置10は、基本的に
は、従来技術のフラックス付着装置1と同様に吸着ノズ
ル3と溶融フラックス7を収容する窪み6が形成された
容器5とを備えているが、前記容器5の窪み6とは反対
側の裏側に超音波振動発生装置11が取り付けられてい
る。この超音波振動発生装置11、例えば、周波数が1
00KHz、出力1W程度の超音波振動を出す。この実
施例では超音波振動を溶融フラックス7にできるだけ効
率良く伝えるために、容器5の窪み6とは反対側の裏側
に凹部12を形成し、この凹部12に超音波振動発生装
置11を設置するように構成されている。
This flux depositing device 10 basically comprises a suction nozzle 3 and a container 5 in which a recess 6 for containing a molten flux 7 is formed, like the flux depositing device 1 of the prior art. An ultrasonic vibration generator 11 is attached to the back side of the container 5 opposite to the recess 6. This ultrasonic vibration generator 11, for example, the frequency is 1
Ultrasonic vibration of 00 KHz and an output of about 1 W is emitted. In this embodiment, in order to transmit ultrasonic vibrations to the molten flux 7 as efficiently as possible, a recess 12 is formed on the back side of the container 5 opposite to the recess 6, and an ultrasonic vibration generator 11 is installed in this recess 12. Is configured.

【0012】一方、IC2を吸着する吸着ノズル3の側
面には、前記超音波振動を検出できるマイク、圧電素子
などの機械─電気変換素子13が取り付けられている。
この吸着ノズル3は、例えば、15mm角の角柱で構成
されており、その中心部に直径1mmφの吸引用の貫通
孔4が形成されている。
On the other hand, a mechanical-electrical conversion element 13 such as a microphone or a piezoelectric element capable of detecting the ultrasonic vibration is attached to the side surface of the suction nozzle 3 for sucking the IC 2.
The suction nozzle 3 is formed of, for example, a 15 mm square prism, and has a through hole 4 for suction having a diameter of 1 mmφ formed in the center thereof.

【0013】そしてこの吸着ノズル3は、上方に存在す
る基準の高さ位置に設定された支持部14に固定された
駆動モーター15と、この駆動モーター15の雄ねじ1
6が形成されたシャフト17と、この雄ねじ16と螺合
する雌ねじ18が内部に形成され、吸着ノズル3の側面
に固定されたねじ受け部材19とで構成された駆動装置
20により上下に駆動される。
The suction nozzle 3 has a drive motor 15 fixed to a supporting portion 14 which is located at a reference height position which is located above, and a male screw 1 of the drive motor 15.
6 is formed vertically and is driven up and down by a drive device 20 including a female screw 18 which is screwed into the male screw 16 and which is formed inside, and a screw receiving member 19 fixed to the side surface of the suction nozzle 3. It

【0014】また、前記支持部14にはレーザー光線を
利用したような測長器21が固定されており、一方、前
記ねじ受け部材19の、例えば、上端面に基準面となる
水平板22が固定されていて、これらで前記吸着ノズル
3の高さ位置を正確に制御できる機能が付加されてい
る。なお、符号23はねじのバックラッシュ防止用装置
である。
A length measuring device 21 such as a laser beam is fixed to the supporting portion 14, while a horizontal plate 22 serving as a reference surface is fixed to the upper end surface of the screw receiving member 19, for example. In addition, a function of accurately controlling the height position of the suction nozzle 3 is added by these. Reference numeral 23 is a device for preventing screw backlash.

【0015】次に、この発明のフラックス付着装置10
を用いてIC2に形成された複数のバンプ2Bに溶融フ
ラックス7を付着させる方法を説明する。先ず、超音波
振動発生装置11を作動させて、超音波振動を発生さ
せ、前記容器5を通じてその中の溶融フラックス7に機
械的振動を印加しておく。
Next, the flux depositing apparatus 10 of the present invention
A method of attaching the molten flux 7 to the plurality of bumps 2B formed on the IC 2 by using will be described. First, the ultrasonic vibration generator 11 is operated to generate ultrasonic vibration, and mechanical vibration is applied to the molten flux 7 therein through the container 5.

【0016】溶融フラックス7に超音波の機械的振動を
印加した状態で、次に、図示していない吸引ポンプを作
動させて、前記吸着ノズル3でIC2を所定の向きにそ
のパッケージ2Pの表面を吸着、保持し、次に、その保
持状態を保ったまま、前記駆動モーター15を作動さ
せ、その吸着ノズル3を降下させ、IC2のバンプ2B
を容器5に収容された溶融フラックス7の表面に接触さ
せる。そのバンプ2Bが溶融フラックス7の表面に接触
すると、前記超音波の機械的振動が溶融フラックス7、
バンプ2Bを通じて機械─電気変換素子13に到達し、
バンプ2Bが溶融フラックス7に接触したことが検出で
きる。
With mechanical vibration of ultrasonic waves being applied to the molten flux 7, a suction pump (not shown) is then actuated to cause the suction nozzle 3 to move the IC 2 in a predetermined direction so that the surface of the package 2P is covered. After sucking and holding, then, while keeping the holding state, the drive motor 15 is operated to lower the suction nozzle 3, and the bump 2B of the IC 2 is held.
Is brought into contact with the surface of the molten flux 7 contained in the container 5. When the bump 2B comes into contact with the surface of the molten flux 7, the mechanical vibration of the ultrasonic waves causes the molten flux 7,
The mechanical-electrical conversion element 13 is reached through the bump 2B,
It can be detected that the bump 2B is in contact with the molten flux 7.

【0017】この場合、バンプ2Bにはばらつきがある
ので、そのばらつきを吸収するために、吸着ノズル3を
更に微小な一定量の距離降下させる。例えば、10μm
程度降下させる。この微小量の制御は前記機械─電気変
換素子13で超音波振動を検出した時点から一定時間、
前記駆動モーター15を作動し続け、雄ねじ16を回転
させて行う。また、前記測長器21と水平板22とで行
うこともできる。
In this case, since the bumps 2B have variations, in order to absorb the variations, the suction nozzle 3 is further moved down by a minute distance. For example, 10 μm
Lower it to some extent. This minute amount of control is performed for a certain period of time after the ultrasonic vibration is detected by the mechanical-electrical conversion element 13.
The driving motor 15 is continuously operated and the male screw 16 is rotated to perform the operation. Alternatively, the length measuring device 21 and the horizontal plate 22 may be used.

【0018】このようにして吸着ノズル3を微小量降下
させ、所定の時間、バンプ2Bを溶融フラックス7に浸
漬させた後、前記駆動モーター15を反転させて吸着ノ
ズル3を引き上げる。以後このような動作を繰り返せ
ば、次々にICのバンプに溶融フラックスを付着させる
ことができる。
In this way, the suction nozzle 3 is lowered by a minute amount, the bumps 2B are immersed in the molten flux 7 for a predetermined time, and then the drive motor 15 is reversed to pull up the suction nozzle 3. After that, if such an operation is repeated, the molten flux can be attached to the bumps of the IC one after another.

【0019】従って、バンプ2Bの表面性状がたとえ良
好でなかったとしても、溶融フラックス7に機械的振動
を印加することにより、機械的振動のエネルギーが、バ
ンプ2Bがその溶融フラックスに接触して生じた微小な
凹部に集中し、溶融フラックスの表面張力を実質的に下
げることになり、従って溶融フラックスがバンプの表面
に付着し易くなって、その濡れ性が向上する。
Therefore, even if the surface properties of the bump 2B are not good, by applying mechanical vibration to the molten flux 7, the energy of mechanical vibration is generated by the bump 2B coming into contact with the molten flux. Further, the molten flux concentrates on the minute recesses and substantially lowers the surface tension of the molten flux, so that the molten flux easily adheres to the surfaces of the bumps and the wettability thereof is improved.

【0020】なお、前記の実施例では、バンプが溶融フ
ラックスに接触した時点の検出を超音波振動の機械─電
気変換素子13で行うようにしたが、静電容量を用いて
行うようにしてもよく、要はバンプが溶融フラックスに
接触した時点を検出できる手段であればよいことであ
る。
In the above embodiment, the detection of the time when the bump comes into contact with the molten flux is carried out by the ultrasonic vibration mechanical-electrical conversion element 13, but it may be carried out by using the capacitance. Well, the point is that any means can be used as long as it can detect the time when the bump comes into contact with the molten flux.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上、説明したように、この発明のフラ
ックスの付着方法及びその装置によれば、濡れ性の悪い
バンプでもフラックスの付着量が増し、そしてバンプの
上部までフラックスを付着させることができ、また、個
々のバンプに多少の変形が存在しても、そのばらつきを
無視することができるようになった。
As described above, according to the flux depositing method and apparatus of the present invention, the flux deposit amount is increased even in bumps having poor wettability, and flux can be deposited to the upper part of the bumps. Even if there is some deformation in each bump, the variation can be ignored.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 この発明のフラックス転写装置の一実施例を
概念的に示した側面図である。
FIG. 1 is a side view conceptually showing one embodiment of a flux transfer device of the present invention.

【図2】 従来技術のフラックス転写装置を概念的に示
した側面図である。
FIG. 2 is a side view conceptually showing a conventional flux transfer device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 IC(表面実装型IC) 2B バンプ(電極端子) 2P パッケージ 3 吸着ノズル 4 貫通孔 5 容器 6 窪み 7 溶融フラックス 10 この発明のフラックス付着装置 11 超音波振動発生装置 12 凹部 13 機械─電気変換素子 14 支持部 15 駆動モーター 16 雄ねじ 17 シャフト 18 雌ねじ 19 ねじ受け部材 20 駆動装置 21 測長器 22 水平板 23 ねじのバックラッシュ防止用装置 2 IC (Surface Mounted IC) 2B Bump (Electrode Terminal) 2P Package 3 Adsorption Nozzle 4 Through Hole 5 Container 6 Recess 7 Melt Flux 10 Flux Adhering Device 11 Ultrasonic Vibration Generator 12 Recess 13 Mechanical-electrical conversion element 14 Support part 15 Drive motor 16 Male screw 17 Shaft 18 Female screw 19 Screw receiving member 20 Drive device 21 Length measuring device 22 Horizontal plate 23 Screw backlash prevention device

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B05D 7/14 P B23K 3/00 Q H01L 21/321 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location B05D 7/14 P B23K 3/00 Q H01L 21/321

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 溶融状態のフラックスに機械的振動を加
えた状態で電子部品に形成された電極端子の表面に溶融
フラックスを付着させることを特徴とするフラックスの
付着方法。
1. A method for depositing a flux, which comprises depositing the molten flux on the surface of an electrode terminal formed on an electronic component in a state where mechanical vibration is applied to the molten flux.
【請求項2】 溶融フラックスを収容する容器と、この
容器に収容された溶融フラックスに機械的振動を印加す
る機械振動発生装置と、電極端子が形成された電子部品
を吸着し、振動している前記溶融フラックスに前記電極
端子を浸漬させる吸着ノズルとから構成されていること
を特徴とするフラックス付着装置。
2. A container for containing a molten flux, a mechanical vibration generator for applying mechanical vibration to the molten flux contained in this container, and an electronic component having an electrode terminal adsorbed and vibrated. A flux adhering device comprising: an adsorption nozzle for immersing the electrode terminal in the molten flux.
【請求項3】 前記吸着ノズルに機械─電気変換素子を
取付け、その吸着ノズルで吸着された電子部品の電極端
子が溶融フラックスに接触したことを、その機械的振動
を検出して、前記電極端子の前記溶融フラックスの表面
から浸漬深さ位置を制御できるように前記吸着ノズルの
移動を規制するように構成したことを特徴とする請求項
2に記載のフラックス付着装置。
3. A mechanical-electrical conversion element is attached to the suction nozzle, and when the electrode terminal of the electronic component sucked by the suction nozzle comes into contact with the molten flux, the mechanical vibration is detected to detect the electrode terminal. The flux adhering device according to claim 2, wherein the movement of the adsorption nozzle is regulated so that the immersion depth position can be controlled from the surface of the molten flux.
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