JPH07312466A - Wiring board - Google Patents
Wiring boardInfo
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- JPH07312466A JPH07312466A JP10295194A JP10295194A JPH07312466A JP H07312466 A JPH07312466 A JP H07312466A JP 10295194 A JP10295194 A JP 10295194A JP 10295194 A JP10295194 A JP 10295194A JP H07312466 A JPH07312466 A JP H07312466A
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0313—Organic insulating material
- H05K1/0353—Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement
- H05K1/036—Multilayers with layers of different types
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- H—ELECTRICITY
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
- H05K3/386—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of an organic polymeric bonding layer, e.g. adhesive
Landscapes
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、耐熱衝撃電気特性,
耐マイグレーション性,耐振動性を有する配線板に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to thermal shock resistance electrical characteristics,
The present invention relates to a wiring board having migration resistance and vibration resistance.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、乗用車等の振動の加わる箇所に装
着される配線板には、振動により配線板の配線導体と、
リード線,電子部品,素子の端子等との半田接合部が長
期間の使用にも破損しないこと等が要求される。このた
め、配線板としては、一般にベースフィルム,接着剤層
および配線導体の3種類の構成材料からなる3層基材配
線板が使用されている。この3層基材配線板は、上記接
着剤層のような振動吸収層が形成されているため、例え
ばベースフィルムと配線導体のみの2種類の材料からな
る2層基材配線板のように、外部からの振動が半田接合
部に直接伝達し難く、その結果、上記半田接合部の破損
が起こり難いという利点を有している。2. Description of the Related Art Conventionally, a wiring board mounted on a place where vibration is applied to a passenger car, etc.
It is required that the solder joints with lead wires, electronic components, terminals of devices, etc. should not be damaged even after long-term use. Therefore, as a wiring board, a three-layer base wiring board made of three kinds of constituent materials, that is, a base film, an adhesive layer and a wiring conductor is generally used. Since the vibration absorbing layer such as the adhesive layer is formed in this three-layer base wiring board, for example, like a two-layer base wiring board made of two kinds of materials only of the base film and the wiring conductor, Vibrations from the outside are difficult to be directly transmitted to the solder joints, and as a result, the solder joints are less likely to be damaged.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記3
層基材配線板において、接着剤層を形成する接着剤のガ
ラス転移温度が低いと、配線板の配線導体間の電位差に
より導体が溶出し接着剤層中あるいは接着剤層表面を移
動して短絡を引き起こすマイグレーションの発生の可能
性が高くなることが、最近知られてきた。その結果、長
期間の使用時において絶縁信頼性が問題となっている。
また、3層基材配線板においては、接着剤層の線膨脹係
数と配線導体の線膨脹係数とを近似させることが困難で
あるため、熱サイクルがかかった時に配線導体と接着剤
層の線膨脹係数差から配線導体に熱応力が発生する。そ
して、耐マイグレーション性を向上させるために、ガラ
ス転移温度の高い接着剤を用いると、接着剤が高温まで
高い弾性率を保持することになり、その結果、配線導体
に大きな引張応力がかかる。このため、低温下での圧縮
応力と合わせて、熱サイクル時には、配線導体に、引張
応力と圧縮応力が繰り返しかかるため、配線導体を断線
に至らしめ易いという問題が新たに生じる。[Problems to be Solved by the Invention] However, the above 3
When the glass transition temperature of the adhesive forming the adhesive layer is low in the layer base wiring board, the conductor elutes due to the potential difference between the wiring conductors of the wiring board and the conductor moves in the adhesive layer or on the surface of the adhesive layer to cause a short circuit. It has been recently known that the possibility of occurrence of migration that causes the above-mentioned problem increases. As a result, insulation reliability becomes a problem during long-term use.
Further, in a three-layer substrate wiring board, it is difficult to approximate the linear expansion coefficient of the adhesive layer and the linear expansion coefficient of the wiring conductor, so that the line between the wiring conductor and the adhesive layer is subjected to a thermal cycle. Thermal stress is generated in the wiring conductor due to the difference in expansion coefficient. If an adhesive having a high glass transition temperature is used to improve the migration resistance, the adhesive retains a high elastic modulus up to a high temperature, and as a result, a large tensile stress is applied to the wiring conductor. Therefore, the tensile stress and the compressive stress are repeatedly applied to the wiring conductor during the thermal cycle together with the compressive stress at a low temperature, which causes a new problem that the wiring conductor is easily broken.
【0004】この発明は、このような事情に鑑みなされ
たもので、耐熱衝撃電気特性,耐マイグレーション性お
よび耐振動性の全てに優れた配線板の提供をその目的と
する。The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a wiring board excellent in all of thermal shock resistance electrical characteristics, migration resistance and vibration resistance.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明の配線板は、絶縁性フィルムの少なくとも
片面に絶縁性接着剤層Aが形成され、上記絶縁性接着剤
層A面に、相互に所定間隔を保って複数の配線導体が形
成され、上記複数の配線導体と絶縁性接着剤層Aとの間
に上記配線導体に対応する絶縁性接着剤層Bが介在され
ている配線板であって、上記絶縁性接着剤層Aがガラス
転移温度100℃以上の形成材料により形成され、上記
絶縁性接着剤層Bがガラス転移温度80℃以下の形成材
料により形成されているという構成をとる。In order to achieve the above object, the wiring board of the present invention has an insulating adhesive layer A formed on at least one surface of an insulating film, and the insulating adhesive layer A surface is formed on the insulating adhesive layer A surface. A wiring in which a plurality of wiring conductors are formed at a predetermined interval from each other, and an insulating adhesive layer B corresponding to the wiring conductor is interposed between the plurality of wiring conductors and the insulating adhesive layer A. A plate, wherein the insulating adhesive layer A is formed of a forming material having a glass transition temperature of 100 ° C. or higher, and the insulating adhesive layer B is formed of a forming material having a glass transition temperature of 80 ° C. or lower. Take
【0006】[0006]
【作用】すなわち、この発明の配線板は、絶縁性フィル
ムの少なくとも片面に絶縁性接着剤層Aが形成されてお
り、上記絶縁性接着剤層A面に、複数の配線導体が形成
されている。そして、上記複数の配線導体と絶縁性接着
剤層Aとの間に、上記配線導体に対応する絶縁性接着剤
層Bが介在されたものである。しかも、上記絶縁性接着
剤層A,Bの各形成材料においては、特定のガラス転移
温度のものが用いられている。このため、マイグレーシ
ョンの発生のし易い絶縁性接着剤層Bが、配線導体間に
は存在せず、マイグレーションが発生し難くなり、長期
の絶縁信頼性が向上する。さらに、配線導体に直接接触
する絶縁性接着剤層Bはガラス転移温度が低いため、比
較的低温から接着剤の弾性率が減少して配線導体の断線
が生起し難く、耐熱衝撃電気特性に優れている。しか
も、振動吸収層として、絶縁性フィルム面に、絶縁性接
着剤層Aが形成され、また上記絶縁性接着剤層Aと配線
導体との間に上記配線導体と対応する絶縁性接着剤層B
が形成されているため、外部からの耐振動性にも優れて
いる。That is, in the wiring board of the present invention, the insulating adhesive layer A is formed on at least one surface of the insulating film, and a plurality of wiring conductors are formed on the insulating adhesive layer A surface. . The insulating adhesive layer B corresponding to the wiring conductors is interposed between the plurality of wiring conductors and the insulating adhesive layer A. Moreover, each of the materials for forming the insulating adhesive layers A and B has a specific glass transition temperature. For this reason, the insulating adhesive layer B that easily causes migration does not exist between the wiring conductors, migration does not easily occur, and long-term insulation reliability is improved. In addition, since the insulating adhesive layer B that is in direct contact with the wiring conductor has a low glass transition temperature, the elastic modulus of the adhesive decreases from a relatively low temperature, the disconnection of the wiring conductor does not easily occur, and it has excellent thermal shock resistance electrical characteristics. ing. Moreover, as the vibration absorbing layer, the insulating adhesive layer A is formed on the surface of the insulating film, and the insulating adhesive layer B corresponding to the wiring conductor is provided between the insulating adhesive layer A and the wiring conductor.
Since it is formed, it has excellent resistance to external vibration.
【0007】つぎに、この発明を詳しく説明する。Next, the present invention will be described in detail.
【0008】図1はこの発明の配線板の一例を示す断面
図である。この配線板1には、絶縁ベースフィルム11
の両面に絶縁性接着剤層A12が形成されている。さら
に、上記両絶縁性接着剤層A12上に、複数の配線導体
14が相互に所定の間隔を保って形成されている。しか
も、上記絶縁性接着剤層A12と配線導体14との間に
は、それぞれ上記配線導体14と対応する絶縁性接着剤
層B13が形成されている。FIG. 1 is a sectional view showing an example of the wiring board of the present invention. The wiring board 1 has an insulating base film 11
Insulating adhesive layer A12 is formed on both surfaces of. Further, a plurality of wiring conductors 14 are formed on the both insulating adhesive layers A12 with a predetermined space therebetween. Moreover, an insulating adhesive layer B13 corresponding to the wiring conductor 14 is formed between the insulating adhesive layer A12 and the wiring conductor 14.
【0009】そして、上記絶縁性接着剤層A12形成材
料の有するガラス転移温度は100℃以上、また上記絶
縁性接着剤層B13形成材料の有するガラス転移温度は
80℃以下でなければならない。この発明において、上
記各ガラス転移温度は、熱機械分析(TMA)法により
測定された値である。より詳しく述べると、ガラス転移
温度は、温度に対する試料の伸び量を測定し、伸び−温
度曲線の屈曲点から求められる。このときの測定条件と
しては、昇温速度5℃/min,荷重1gの一定の条件
で行った。The glass transition temperature of the insulating adhesive layer A12 forming material must be 100 ° C. or higher, and the glass transition temperature of the insulating adhesive layer B13 forming material must be 80 ° C. or lower. In the present invention, each glass transition temperature is a value measured by a thermomechanical analysis (TMA) method. More specifically, the glass transition temperature is obtained from the bending point of the elongation-temperature curve by measuring the amount of elongation of the sample with respect to temperature. The measurement conditions at this time were such that the temperature rising rate was 5 ° C./min and the load was 1 g.
【0010】このように、この配線板1によれば、ガラ
ス転移温度が80℃以下と低く、マイグレーションの発
生のし易い絶縁性接着剤層B13が、配線導体14間に
は存在しないため、マイグレーションが発生し難くな
り、長期の絶縁信頼性が向上する。さらに、配線導体1
4に直接接触する絶縁性接着剤層B13はガラス転移温
度が低いため、比較的低温から接着剤の弾性率が減少
し、配線導体14と絶縁性接着剤層B13との線膨脹係
数差があっても、高温時に配線導体14に引張応力がか
からない。このため、熱サイクルがかかっても配線導体
14の断線が生起し難い。しかも、振動吸収層として
は、絶縁ベースフィルム11両面に、絶縁性接着剤層A
12が形成され、また上記絶縁性接着剤層A12と配線
導体14との間に上記配線導体14と対応する絶縁性接
着剤層B13が形成されているため、外部からの耐振動
性にも優れている。As described above, according to the wiring board 1, since the glass transition temperature is as low as 80 ° C. or less and the insulating adhesive layer B13 in which the migration easily occurs is not present between the wiring conductors 14, the migration is caused. Is less likely to occur, and long-term insulation reliability is improved. Furthermore, the wiring conductor 1
4 has a low glass transition temperature, the elastic modulus of the adhesive decreases from a relatively low temperature, and there is a difference in linear expansion coefficient between the wiring conductor 14 and the insulating adhesive layer B13. However, tensile stress is not applied to the wiring conductor 14 at high temperature. Therefore, even if a thermal cycle is applied, the wire conductor 14 is unlikely to be broken. Moreover, as the vibration absorbing layer, the insulating adhesive layer A is formed on both surfaces of the insulating base film 11.
12 is formed, and the insulating adhesive layer B13 corresponding to the wiring conductor 14 is formed between the insulating adhesive layer A12 and the wiring conductor 14, so that vibration resistance from the outside is also excellent. ing.
【0011】上記絶縁ベースフィルム11材料として
は、特に限定するものではないが、例えばポリイミドフ
ィルム,ポリエチレンテレフタレートフィルム,ポリカ
ーボネートフィルム,ポリエーテルイミドフィルム,ポ
リテトラフルオロエチレンフィルム等があげられる。ま
た、絶縁ベースフィルム11の厚みも特に限定するもの
ではなく、例えば1〜1000μm程度に設定すること
が好ましい。The material of the insulating base film 11 is not particularly limited, but examples thereof include polyimide film, polyethylene terephthalate film, polycarbonate film, polyetherimide film, polytetrafluoroethylene film and the like. Also, the thickness of the insulating base film 11 is not particularly limited, and is preferably set to, for example, about 1 to 1000 μm.
【0012】上記絶縁ベースフィルム11面に形成され
る絶縁性接着剤層A12の形成材料としては、例えば、
エポキシ樹脂系接着剤,アクリル樹脂系接着剤,ポリイ
ミド樹脂系接着剤等があげられる。そして、上記絶縁性
接着剤層A12の形成材料として、その形成材料の有す
るガラス転移温度が100℃以上でなければならない。
好ましくは120℃以上である。このガラス転移温度を
100℃以上に設定することにより耐マイグレーション
性が向上するようになる。すなわち、ガラス転移温度が
100℃未満では、導体の溶出が大きく、また溶出した
導体イオンの移動度が高いため、マイグレーションによ
る短絡の可能性が高くなる。また、絶縁性接着剤層A1
2の厚みは特に限定するものではないが、0.1〜50
0μmの範囲に設定することが好ましく、特に好ましく
は5〜100μmである。The material for forming the insulating adhesive layer A12 formed on the surface of the insulating base film 11 is, for example,
Examples include epoxy resin adhesives, acrylic resin adhesives, polyimide resin adhesives, and the like. The glass transition temperature of the forming material of the insulating adhesive layer A12 must be 100 ° C. or higher.
It is preferably 120 ° C. or higher. By setting this glass transition temperature to 100 ° C. or higher, migration resistance is improved. That is, when the glass transition temperature is lower than 100 ° C., the conductor is largely eluted and the mobility of the eluted conductor ions is high, so that the possibility of short circuit due to migration becomes high. In addition, the insulating adhesive layer A1
The thickness of 2 is not particularly limited, but is 0.1 to 50.
The thickness is preferably set in the range of 0 μm, particularly preferably 5 to 100 μm.
【0013】上記絶縁性接着剤層A12と配線導体14
との間に上記配線導体14と対応するよう形成される絶
縁性接着剤層B13の形成材料としては、ガラス転移温
度が80℃以下のものであれば特に限定するものではな
い。すなわち、ガラス転移温度が80℃以下の各種接着
剤、例えばエポキシ樹脂系接着剤,アクリル樹脂系接着
剤,ポリイミド樹脂系接着剤等があげられる。このよう
に、ガラス転移温度が80℃以下でなければ熱応力の緩
和が困難となり、熱サイクル時の配線導体の断線発生が
生起し易くなる。好ましくはガラス転移温度が70℃以
下である。The insulating adhesive layer A12 and the wiring conductor 14
The material for forming the insulating adhesive layer B13 that is formed so as to correspond to the above-mentioned wiring conductor 14 is not particularly limited as long as it has a glass transition temperature of 80 ° C. or lower. That is, various adhesives having a glass transition temperature of 80 ° C. or lower, for example, epoxy resin adhesives, acrylic resin adhesives, polyimide resin adhesives and the like can be mentioned. As described above, if the glass transition temperature is not higher than 80 ° C., it becomes difficult to relax the thermal stress, and disconnection of the wiring conductor is likely to occur during the thermal cycle. The glass transition temperature is preferably 70 ° C. or lower.
【0014】上記複数の配線導体14の形成材料として
は、特に限定するものではないが、銅,アルミニウム,
金,ステンレス,タングステン,銅化合物等があげら
れ、半田,ニッケル,金めっき等を施してもよい。そし
て、配線導体14は、これら形成材料を用い、パターニ
ング,エッチング,めっき法のいずれかの方法により作
製される。そして、配線導体14の厚みは特に限定する
ものではないが、例えば1〜100μmの範囲に設定す
ることが好ましく、特に好ましくは12〜50μmであ
る。また、複数の配線導体14間の相互の間隔は、10
0μm以下となるよう設定することが好ましく、より好
ましくは50〜100μm、特に好ましくは75〜10
0μmである。The material for forming the plurality of wiring conductors 14 is not particularly limited, but copper, aluminum,
Examples include gold, stainless steel, tungsten, and copper compounds, which may be soldered, nickel, gold plated, or the like. Then, the wiring conductor 14 is manufactured using any of these forming materials by any one of patterning, etching, and plating methods. The thickness of the wiring conductor 14 is not particularly limited, but it is preferably set in the range of 1 to 100 μm, particularly preferably 12 to 50 μm. The mutual spacing between the plurality of wiring conductors 14 is 10
The thickness is preferably set to 0 μm or less, more preferably 50 to 100 μm, particularly preferably 75 to 10 μm.
It is 0 μm.
【0015】この発明の配線板は、例えばつぎのように
して作製される。すなわち、図2に示すように、絶縁ベ
ースフィルム11の両面に、それぞれ絶縁性接着剤層A
形成材料である接着シート12aを配設し、ついで上記
各接着シート12a面に、絶縁性接着剤層B形成材料で
ある接着シート13aを配設する。さらに、上記接着シ
ート13a面に、金属箔15を配設して積層しプレスす
ることにより上記各材料を接着する。そして、従来公知
の技術である化学エッチング法により、図3に示すよう
に、上記金属箔15を所定の回路形状にパターニング
し、配線導体14を形成する。つぎに、これをエッチン
グ液に浸漬し、配線導体14と対応するよう接着シート
13aの不要部分を除去し、図1に示すような断面形状
の配線板1が作製される。The wiring board of the present invention is manufactured, for example, as follows. That is, as shown in FIG. 2, the insulating adhesive layer A is formed on each side of the insulating base film 11.
An adhesive sheet 12a, which is a forming material, is provided, and then an adhesive sheet 13a, which is an insulating adhesive layer B forming material, is provided on the surface of each adhesive sheet 12a. Further, the metal foil 15 is disposed on the surface of the adhesive sheet 13a, and the materials are adhered by laminating and pressing. Then, as shown in FIG. 3, the metal foil 15 is patterned into a predetermined circuit shape by a known chemical etching method to form the wiring conductor 14. Next, this is immersed in an etching solution to remove unnecessary portions of the adhesive sheet 13a so as to correspond to the wiring conductors 14 to produce the wiring board 1 having a cross-sectional shape as shown in FIG.
【0016】上記絶縁性接着剤層A12および不要部分
除去前の絶縁性接着剤層B13aは、シート材料を用い
ずに、コーティング等により形成してもよい。The insulating adhesive layer A12 and the insulating adhesive layer B13a before the unnecessary portion is removed may be formed by coating or the like without using a sheet material.
【0017】上記所定の回路形状にパターニングする際
に施される化学エッチング法としては、例えば、塩化第
二銅,塩化第二鉄によるウェットエッチング処理等があ
げられる。Examples of the chemical etching method applied when patterning the above-mentioned predetermined circuit shape include wet etching treatment with cupric chloride and ferric chloride.
【0018】さらに、上記不要部分の除去による絶縁性
接着剤層B13の形成方法としては、上記硫酸,過マン
ガン酸等のエッチング液の浸漬により不要部分を除去す
る方法以外に、特定の混合ガスのプラズマ中でのドライ
エッチング法等により形成してもよい。Further, as a method of forming the insulating adhesive layer B13 by removing the unnecessary portion, in addition to the method of removing the unnecessary portion by immersing the etching solution such as sulfuric acid or permanganate, a specific mixed gas is used. It may be formed by a dry etching method in plasma.
【0019】さらに、この発明の配線板の他の例を示
す。すなわち、図4に示すように、この配線板は、絶縁
ベースフィルム11の片面のみに、絶縁性接着剤層A1
2,絶縁性接着剤層B13,複数の配線導体14が形成
された片面形成の配線板である。Further, another example of the wiring board of the present invention will be shown. That is, as shown in FIG. 4, this wiring board has an insulating adhesive layer A1 only on one surface of the insulating base film 11.
2, a single-sided wiring board on which an insulating adhesive layer B13 and a plurality of wiring conductors 14 are formed.
【0020】[0020]
【発明の効果】以上のように、この発明の配線板は、絶
縁性フィルムの少なくとも片面に絶縁性接着剤層Aが形
成されており、上記絶縁性接着剤層A面に、複数の配線
導体が形成されている。そして、上記複数の配線導体と
絶縁性接着剤層Aとの間に、上記配線導体に対応する絶
縁性接着剤層Bが介在されたものである。しかも、上記
絶縁性接着剤層A,Bの各形成材料は、それぞれ特定の
ガラス転移温度を有するものに設定されている。このた
め、マイグレーションの発生のし易い絶縁性接着剤層B
が配線導体間には存在せず、耐マイグレーション性に優
れ長期の絶縁信頼性が実現する。さらに、配線導体に直
接接触する絶縁性接着剤層Bはガラス転移温度が低いた
め、比較的低温から接着剤の弾性率が減少して配線導体
の断線が生起し難く、耐熱衝撃電気特性にも優れてい
る。しかも、絶縁性フィルム面に絶縁性接着剤層Aが形
成され、また上記絶縁性接着剤層Aと配線導体との間に
上記配線導体と対応する絶縁性接着剤層Bが形成されて
いることから、これら双方の絶縁性接着剤層A,Bが振
動吸収層として作用するため、外部からの耐振動性にも
優れている。As described above, in the wiring board of the present invention, the insulating adhesive layer A is formed on at least one surface of the insulating film, and a plurality of wiring conductors are formed on the insulating adhesive layer A surface. Are formed. The insulating adhesive layer B corresponding to the wiring conductors is interposed between the plurality of wiring conductors and the insulating adhesive layer A. Moreover, the materials for forming the insulating adhesive layers A and B are set to have specific glass transition temperatures. For this reason, the insulating adhesive layer B in which migration easily occurs
Does not exist between the wiring conductors and has excellent migration resistance and long-term insulation reliability is realized. In addition, since the insulating adhesive layer B that is in direct contact with the wiring conductor has a low glass transition temperature, the elastic modulus of the adhesive decreases from a relatively low temperature, the disconnection of the wiring conductor does not easily occur, and the thermal shock resistance electrical characteristics are also improved. Are better. Moreover, the insulating adhesive layer A is formed on the surface of the insulating film, and the insulating adhesive layer B corresponding to the wiring conductor is formed between the insulating adhesive layer A and the wiring conductor. Therefore, since both of the insulating adhesive layers A and B act as a vibration absorbing layer, the vibration resistance from the outside is also excellent.
【0021】つぎに、実施例について比較例と併せて説
明する。Next, examples will be described together with comparative examples.
【0022】[0022]
【実施例1】図2に示すように、厚み75μmのポリイ
ミドフィルム11の両面に、それぞれ絶縁性接着剤層A
形成材料である厚み50μmのポリイミド樹脂系接着シ
ート12a(ガラス転移温度120℃)を配設し、つい
で上記各接着シート12a面に、絶縁性接着剤層B形成
材料である厚み5μmのエポキシ樹脂系接着シート13
a(ガラス転移温度50℃)を配設した。さらに、上記
接着シート13a面に、厚み35μmの銅箔15を配設
して積層しプレスすることにより上記各材料を接着し
た。そして、従来公知の技術である化学エッチング法
(塩化第二銅)により、図3に示すように、上記銅箔1
5を所定の回路形状にパターニングし、配線導体14を
形成した。このときの配線導体14間の相互の間隔は1
00μmに設定した。つぎに、これを硫酸に浸漬し、配
線導体14と対応するよう接着シート13aの不要部分
を除去した。このようにして図1に示すような断面形状
の配線板1を作製した。Example 1 As shown in FIG. 2, an insulating adhesive layer A was formed on each side of a polyimide film 11 having a thickness of 75 μm.
A polyimide resin adhesive sheet 12a (glass transition temperature 120 ° C.) having a thickness of 50 μm, which is a forming material, is arranged, and then an epoxy resin adhesive having a thickness of 5 μm, which is an insulating adhesive layer B forming material, is provided on each adhesive sheet 12a surface. Adhesive sheet 13
a (glass transition temperature 50 ° C.) was provided. Further, a 35 μm thick copper foil 15 was provided on the surface of the adhesive sheet 13a, laminated and pressed to bond the above materials. Then, as shown in FIG. 3, the copper foil 1 is formed by a conventional chemical etching method (cupric chloride).
5 was patterned into a predetermined circuit shape to form a wiring conductor 14. At this time, the mutual spacing between the wiring conductors 14 is 1
It was set to 00 μm. Next, this was immersed in sulfuric acid to remove unnecessary portions of the adhesive sheet 13a so as to correspond to the wiring conductors 14. Thus, a wiring board 1 having a cross-sectional shape as shown in FIG. 1 was produced.
【0023】[0023]
【実施例2】図5に示すように、厚み50μmのポリエ
チレンテレフタレートフィルム11の片面に、絶縁性接
着剤層A形成材料である厚み35μmのエポキシ樹脂系
接着シート12b(ガラス転移温度100℃)を配設
し、ついで上記接着シート12b面に、絶縁性接着剤層
B形成材料である厚み5μmのアクリル樹脂系接着シー
ト13b(ガラス転移温度50℃)を配設した。さら
に、上記接着シート13b面に、厚み18μmの銅箔1
5を配設して積層しプレスすることにより上記各材料を
接着した。そして、従来公知の技術である化学エッチン
グ法(塩化第二鉄)により、図6に示すように、上記銅
箔15を所定の回路形状にパターニングし、配線導体1
4を形成した。このときの配線導体14間の相互の間隔
は50μmに設定した。つぎに、これを、CF4 /O2
の混合ガスのプラズマ中でドライエッチングを施す(条
件:O2 70%/CF4 30%,圧力26.6Pa,電
力3.5kW,20分)ことにより、配線導体14と対
応するよう接着シート13bの不要部分を除去した。こ
のようにして図4に示すような断面形状の配線板を作製
した。Example 2 As shown in FIG. 5, an epoxy resin adhesive sheet 12b (glass transition temperature 100 ° C.) having a thickness of 35 μm, which is a material for forming an insulating adhesive layer A, is provided on one surface of a polyethylene terephthalate film 11 having a thickness of 50 μm. Then, an acrylic resin adhesive sheet 13b (glass transition temperature 50 ° C.) having a thickness of 5 μm, which is an insulating adhesive layer B forming material, was provided on the surface of the adhesive sheet 12b. Furthermore, a copper foil 1 having a thickness of 18 μm is formed on the surface of the adhesive sheet 13b.
The above materials were adhered by arranging and stacking No. 5 and pressing. Then, as shown in FIG. 6, the copper foil 15 is patterned into a predetermined circuit shape by a conventionally known chemical etching method (ferric chloride), and the wiring conductor 1
4 was formed. The mutual distance between the wiring conductors 14 at this time was set to 50 μm. Next, this is CF 4 / O 2
By performing dry etching in the plasma of the mixed gas (conditions: O 2 70% / CF 4 30%, pressure 26.6 Pa, power 3.5 kW, 20 minutes), the adhesive sheet 13 b is made to correspond to the wiring conductor 14. The unnecessary part of was removed. In this way, a wiring board having a cross-sectional shape as shown in FIG. 4 was produced.
【0024】[0024]
【比較例1】厚み75μmのポリイミドフィルムの片面
に、絶縁性接着剤層形成材料である厚み50μmのエポ
キシ樹脂系接着シート(ガラス転移温度120℃)を配
設し、ついで上記接着シート面に、厚み35μmの銅箔
を、この順に配設して積層しプレスすることにより上記
各材料を接着した。そして、従来公知の技術である化学
エッチング法(塩化第二銅)により、上記銅箔を所定の
回路形状にパターニングし、複数の配線導体を形成し
た。このようにして図7に示すような断面形状の配線板
を作製した。このときの配線導体34間の相互の間隔は
100μmに設定した。図において、31はポリイミド
フィルム、32はエポキシ樹脂系の絶縁性接着剤層であ
る。Comparative Example 1 An epoxy resin adhesive sheet (glass transition temperature 120 ° C.) having a thickness of 50 μm, which is an insulating adhesive layer forming material, is provided on one surface of a polyimide film having a thickness of 75 μm, and then the adhesive sheet surface is Copper foils having a thickness of 35 μm were arranged in this order, laminated, and pressed to bond the above materials. Then, the copper foil was patterned into a predetermined circuit shape by a conventionally known chemical etching method (cupric chloride) to form a plurality of wiring conductors. In this way, a wiring board having a cross-sectional shape as shown in FIG. 7 was produced. The mutual distance between the wiring conductors 34 at this time was set to 100 μm. In the figure, 31 is a polyimide film, and 32 is an epoxy resin-based insulating adhesive layer.
【0025】[0025]
【比較例2】厚み50μmのポリエチレンテレフタレー
トフィルムの両面に、それぞれ絶縁性接着剤層形成材料
である厚み35μmのアクリル樹脂系接着シート(ガラ
ス転移温度50℃)を配設し、ついで上記各接着シート
面に、厚み18μmの銅箔を、この順に配設して積層し
プレスすることにより上記各材料を接着した。そして、
従来公知の技術である化学エッチング法(塩化第二鉄)
により、上記銅箔を所定の回路形状にパターニングし、
複数の配線導体を形成した。このようにして図8に示す
ような断面形状の配線板を作製した。このときの配線導
体46間の相互の間隔は50μmに設定した。図におい
て、43はポリエチレンテレフタレートフィルム、44
はアクリル樹脂系の絶縁性接着剤層である。Comparative Example 2 An acrylic resin adhesive sheet (glass transition temperature 50 ° C.) having a thickness of 35 μm, which is a material for forming an insulating adhesive layer, is provided on both sides of a polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm, and then each of the above adhesive sheets is used. On the surface, a copper foil having a thickness of 18 μm was arranged in this order, laminated, and pressed to bond the above materials. And
Conventionally known chemical etching method (ferric chloride)
By patterning the copper foil into a predetermined circuit shape,
A plurality of wiring conductors are formed. In this way, a wiring board having a cross-sectional shape as shown in FIG. 8 was produced. The mutual distance between the wiring conductors 46 at this time was set to 50 μm. In the figure, 43 is a polyethylene terephthalate film, 44
Is an acrylic resin-based insulating adhesive layer.
【0026】このようにして得られた各実施例品および
各比較例品の配線板の耐熱衝撃電気特性を測定し評価し
た結果を下記の表1に示す。なお、上記耐熱衝撃電気特
性はつぎのようにして測定した。すなわち、液槽冷熱衝
撃試験機を用い、(−65℃/5分)〜(25℃/0
分)〜(155℃/5分)〜(25℃/0分)を冷熱サ
イクルの1サイクルとして、各配線板の配線導体が断線
するまでの冷熱サイクル数を測定した。上記配線導体の
断線発生の有無の判定は配線導体の両端の抵抗値を測定
することにより判断した。Table 1 below shows the results of the measurement and evaluation of the thermal shock resistance electrical characteristics of the wiring boards of the respective Examples and Comparative Examples thus obtained. The thermal shock resistance electrical characteristics were measured as follows. That is, using a liquid tank thermal shock tester, (-65 ° C / 5 minutes) to (25 ° C / 0
Min) to (155 ° C / 5 min) to (25 ° C / 0 min) as one cycle of the cooling / heating cycle, and the number of cooling / heating cycles until the wiring conductor of each wiring board was broken was measured. The presence or absence of disconnection of the wiring conductor was determined by measuring the resistance values at both ends of the wiring conductor.
【0027】[0027]
【表1】 [Table 1]
【0028】つぎに、上記各実施例品および各比較例品
の配線板の耐マイグレーション性を下記の表2に示す。
なお、上記耐マイグレーション性はつぎのようにして測
定した。すなわち、上記各配線板の配線として、櫛形配
線を形成した。そして、上記配線板を、85℃×85%
RHの環境条件の恒温恒湿機内に保持し、櫛形配線間に
電界強度500kV/mとなるように直流電圧を印加
し、短絡までの時間を測定した。短絡までの時間は櫛形
配線間の絶縁抵抗が108 Ωを最初に下回った時間とし
た。Next, Table 2 below shows the migration resistance of the wiring boards of the respective Examples and Comparative Examples.
The migration resistance was measured as follows. That is, a comb-shaped wiring was formed as the wiring of each wiring board. And, the wiring board is 85 ℃ × 85%
The temperature was kept in a thermo-hygrostat under the environmental conditions of RH, a DC voltage was applied between the comb-shaped wires so that the electric field strength was 500 kV / m, and the time until a short circuit was measured. The time until the short circuit was defined as the time when the insulation resistance between the comb-shaped wirings first fell below 10 8 Ω.
【0029】[0029]
【表2】 [Table 2]
【0030】上記表1および表2の結果から明らかなよ
うに、比較例1品は耐マイグレーション性において10
00時間後も短絡しなかったが、耐熱衝撃電気特性にお
いて冷熱サイクル600サイクルで配線導体が断線し
た。また、比較例2品は耐熱衝撃電気特性において10
00サイクル後も断線しなかったが、耐マイグレーショ
ン性において300時間経過時点で短絡した。これに対
して、実施例品は双方とも、耐熱衝撃電気特性において
1000サイクル後も断線せず、耐マイグレーション性
においても1000時間経過後も短絡は起こらなかっ
た。As is clear from the results shown in Tables 1 and 2, the product of Comparative Example 1 has a migration resistance of 10%.
Although no short circuit occurred even after 00 hours, the wiring conductor was broken in the thermal shock resistance electrical characteristics at 600 cooling / heating cycles. Further, the product of Comparative Example 2 has a thermal shock resistance electrical property of 10
Although the wire was not broken even after 00 cycles, a short circuit occurred after 300 hours in migration resistance. On the other hand, in both of the example products, the thermal shock resistance did not break after 1000 cycles, and the migration resistance did not cause a short circuit even after 1000 hours.
【図1】この発明の配線板の一例を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an example of a wiring board of the present invention.
【図2】上記配線板の製造工程を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of the wiring board.
【図3】上記配線板の製造工程を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of the wiring board.
【図4】この発明の配線板の他の例を示す断面図であ
る。FIG. 4 is a cross-sectional view showing another example of the wiring board of the present invention.
【図5】上記配線板の製造工程を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of the wiring board.
【図6】上記配線板の製造工程を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a manufacturing process of the wiring board.
【図7】従来の配線板の一例を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of a conventional wiring board.
【図8】従来の配線板の他の例を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing another example of a conventional wiring board.
1 配線板 11 絶縁ベースフィルム 12 絶縁性接着剤層A 13 絶縁性接着剤層B 14 配線導体 1 Wiring Board 11 Insulating Base Film 12 Insulating Adhesive Layer A 13 Insulating Adhesive Layer B 14 Wiring Conductor
Claims (1)
性接着剤層Aが形成され、上記絶縁性接着剤層A面に、
相互に所定間隔を保って複数の配線導体が形成され、上
記複数の配線導体と絶縁性接着剤層Aとの間に上記配線
導体に対応する絶縁性接着剤層Bが介在されている配線
板であって、上記絶縁性接着剤層Aがガラス転移温度1
00℃以上の形成材料により形成され、上記絶縁性接着
剤層Bがガラス転移温度80℃以下の形成材料により形
成されていることを特徴とする配線板。1. An insulating adhesive layer A is formed on at least one surface of an insulating film, and the insulating adhesive layer A surface is provided with:
A wiring board in which a plurality of wiring conductors are formed at a predetermined interval from each other, and an insulating adhesive layer B corresponding to the wiring conductors is interposed between the plurality of wiring conductors and the insulating adhesive layer A. And the insulating adhesive layer A has a glass transition temperature of 1
A wiring board, which is formed of a forming material having a temperature of 00 ° C. or higher, and the insulating adhesive layer B is formed of a forming material having a glass transition temperature of 80 ° C. or lower.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10295194A JPH07312466A (en) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | Wiring board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10295194A JPH07312466A (en) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | Wiring board |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07312466A true JPH07312466A (en) | 1995-11-28 |
Family
ID=14341127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10295194A Pending JPH07312466A (en) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | Wiring board |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07312466A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9321261B2 (en) | 2014-01-08 | 2016-04-26 | Seiko Epson Corporation | Wiring substrate, droplet ejection head, printing apparatus, electronic device, and manufacturing method for wiring substrate |
-
1994
- 1994-05-17 JP JP10295194A patent/JPH07312466A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9321261B2 (en) | 2014-01-08 | 2016-04-26 | Seiko Epson Corporation | Wiring substrate, droplet ejection head, printing apparatus, electronic device, and manufacturing method for wiring substrate |
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