JPH07306162A - Flaw detecting device - Google Patents

Flaw detecting device

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Publication number
JPH07306162A
JPH07306162A JP6124190A JP12419094A JPH07306162A JP H07306162 A JPH07306162 A JP H07306162A JP 6124190 A JP6124190 A JP 6124190A JP 12419094 A JP12419094 A JP 12419094A JP H07306162 A JPH07306162 A JP H07306162A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspected
image
illumination
illuminating
flaw inspection
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP6124190A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masatsugu Kuroki
雅嗣 黒木
Tetsuo Shima
哲男 嶋
Naoki Tokimoto
尚記 時本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Steel Corp filed Critical Nippon Steel Corp
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Publication of JPH07306162A publication Critical patent/JPH07306162A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a flaw detecting device which can be operated easily, can shorten inspecting time, and can improve inspection precision and, at the same time, can discriminate flaws from spots formed of adhering foreign matters. CONSTITUTION:A flaw detecting device is constituted of an illuminating device which illuminates the surface of an object (W) to be inspected, a single or plurality of photographing devices (CM) which take the picture of the illuminated surface of the object, and display device (DP) which is installed separately from the photographing devices and displays the picture of the surface of the object (W) taken by the photographing devices (CM). The illuminating device is provided with a plurality of lighting equipment (L1-L5) which can illuminate the surface of the object (W) from different directions in accordance with commands sent from a distant place.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、圧延鋼板などの物体の
表面に発生する疵の有無や大きさなどを検査するのに使
用される疵検査装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flaw inspection apparatus used for inspecting the presence or absence of flaws or the size of flaws generated on the surface of an object such as a rolled steel plate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、圧延鋼板などの物体の表面に発生
する疵の有無や大きさなどの目視による検査は製造現場
で行われきたが、このような製造現場は、騒音、塵埃、
高温などの点で悪環境にあるため、現場には照明装置と
テレビカメラなどの撮影装置を設置しておき、その撮像
を遠隔の環境の良い検査室に設置した表示装置に表示す
ることによって目視検査を行う遠隔検査システムが開発
されている。また、特開平3ー118451号公報に開示され
ているように、光ファイバーを通して筒状体の内面に光
を照射し、その反射光を電気信号に変換し、この電気信
号を基準値と比較することによって疵の存在やゴミの付
着等による汚れを自動的に検査する検査装置も知られて
いる。
2. Description of the Related Art Conventionally, visual inspections such as the presence or absence of flaws and their sizes that occur on the surface of objects such as rolled steel sheets have been conducted at manufacturing sites.
Since it is in a bad environment due to high temperature etc., a lighting device and a shooting device such as a TV camera are installed in the site, and the image is displayed on a display device installed in an inspection room with a good remote environment for visual inspection. A remote inspection system that performs inspection has been developed. Further, as disclosed in JP-A-3-118451, irradiating the inner surface of the cylindrical body with light through an optical fiber, converting the reflected light into an electric signal, and comparing the electric signal with a reference value. There is also known an inspection device that automatically inspects for stains due to the presence of flaws and the attachment of dust.

【0003】上記従来の疵検査装置では、照明装置と撮
影装置との位置関係が固定されているため、検査対象の
疵の位置や向きや形状によっては、識別が困難な場合が
生じる。検査作業者が現場で目視検査を行う際は状況に
応じて観察の方向を変えていることをヒントにすれば、
遠隔検査の場合には状況に応じて撮影装置の位置を変更
すればよいかと思われる。しかしながら、撮影装置の位
置を変えると撮影対象までの距離が変化するため、位置
の変更と連動してピント合わせも行わなければならず操
作が複雑になるだけでなく、検査時間が長引くという問
題がある。従って、本発明の一つの目的は、簡単な操作
による検査時間の短縮と、検査精度の向上とを実現でき
る疵の検査装置を提供することにある。
In the above-described conventional flaw inspection apparatus, since the positional relationship between the illumination device and the photographing device is fixed, it may be difficult to identify the flaw depending on the position, direction and shape of the flaw to be inspected. When the inspector changes the direction of observation depending on the situation when performing visual inspection at the site,
In the case of remote inspection, it seems that the position of the imaging device should be changed according to the situation. However, changing the position of the imaging device changes the distance to the object to be photographed, so focusing must be performed in conjunction with the change in position, which complicates the operation and prolongs the inspection time. is there. Therefore, one object of the present invention is to provide a flaw inspection apparatus capable of reducing the inspection time and improving the inspection accuracy by a simple operation.

【0004】また、上記特許公報からも示唆されるよう
に、疵と汚れとの区別が困難であるため、清掃処理によ
って除去可能な汚れを除外して疵の有無や形状だけの検
査を行うことは一般に困難である。従って、本発明の他
の目的は、ゴミの付着などによる汚れと区別して疵のみ
を検査できる疵の検査装置を提供することにある。
Further, as suggested by the above patent publication, since it is difficult to distinguish between flaws and stains, stains that can be removed by the cleaning process are excluded and only the presence or absence of flaws and the shape are inspected. Is generally difficult. Therefore, another object of the present invention is to provide a flaw inspection apparatus capable of inspecting only flaws by distinguishing them from stains caused by dust adhesion.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】検査対象の物体の表面を
照明する照明装置と、照明された物体の表面を撮影する
単一又は複数の撮影装置と、この撮影装置から離れて設
置されかつこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を
表示する表示装置とを備えている。そして、上記照明装
置は、離れた箇所で発せられる指令に従って検査対象の
物体の表面を異なる方向から照明可能な複数の照明器具
を備えている。
An illumination device for illuminating a surface of an object to be inspected, a single or a plurality of image capturing devices for capturing an image of a surface of an illuminated object, and a device installed separately from the image capturing device. And a display device for displaying an image of the surface of the object photographed by the photographing device. The illuminating device includes a plurality of luminaires capable of illuminating the surface of the object to be inspected from different directions according to commands issued at distant locations.

【0006】[0006]

【作用】疵は、一般に不規則な三次元形状を呈してい
る。このため、個々の疵の形状に応じて目視に最適とな
るように照明の向きを変化させることにより、その有無
や形状を高精度で識別できる。また、疵は、不規則な三
次元形状を呈している疵の陰影は、照明の向きに応じて
その位置や大きさが変化する。このため、陰影を含む異
物の像の形状が照明の向きに依存して変化するか否かに
よって油汚れなどの平面的な異物から容易な弁別でき
る。
Function: The flaw generally has an irregular three-dimensional shape. Therefore, by changing the direction of the illumination so as to be optimal for visual inspection according to the shape of each flaw, the presence or shape of the flaw can be identified with high accuracy. In addition, the flaw has an irregular three-dimensional shape, and the position and size of the shadow vary depending on the direction of the illumination. For this reason, it is possible to easily discriminate from a planar foreign matter such as oil stain depending on whether or not the shape of the image of the foreign matter including the shadow changes depending on the direction of the illumination.

【0007】[0007]

【実施例】図1は、本発明の一実施例の疵検査装置の構
成を示す図である。図1(A)を参照すれば、ローラー
などの適宜な搬送機構によって搬送される検査対象の鋼
板Wの上方に円弧状のフレームFが設置され、このフレ
ームF上にほぼ等間隔を保ちながら5個の投光機L1〜
L5が下向きに固定されている。このフレームFの適宜
な箇所には、テレビジョンカメラCMが、検査対象の鋼
板の表面を視野に入れる状態で固定されている。更に、
遠隔に設置された指令装置からの指令に従って、5個の
投光機のそれぞれに選択的に給電を行う配電盤Dが設置
されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a diagram showing the structure of a flaw inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1 (A), an arcuate frame F is installed above a steel plate W to be inspected, which is conveyed by an appropriate conveying mechanism such as a roller. One projector L1
L5 is fixed downward. A television camera CM is fixed to an appropriate portion of the frame F in a state where the surface of the steel sheet to be inspected is in view. Furthermore,
A switchboard D for selectively supplying power to each of the five projectors is installed in accordance with a command from a command device installed remotely.

【0008】図1(B)を参照すれば、鋼板Wが搬送さ
れる作業現場から離れた良好な環境の検査室内などに制
御卓CNが設置されており、この制御卓上にテレビジョ
ン受像機DPが設置されている。テレビジョン受像機D
Pには、現場に設置されたテレビジョンカメラCMで撮
影され、同軸ケーブルCB1を通して転送されてくる物
体の表面の検査画像が表示される。制御卓CNに設置さ
れた5個の押ボタンスイッチSWの操作によって投入さ
れる照明指令は、多芯ケーブルCB2を通して現場に設
置されている配電盤Dに転送される。
Referring to FIG. 1 (B), a control console CN is installed in an inspection room in a good environment away from the work site where the steel sheet W is transported, and the television receiver DP is installed on the control console. Is installed. Television receiver D
On P, an inspection image of the surface of the object, which is captured by the television camera CM installed at the site and is transferred through the coaxial cable CB1, is displayed. The illumination command input by operating the five push button switches SW installed on the control console CN is transferred to the switchboard D installed on site through the multi-core cable CB2.

【0009】配電盤Dを多芯ケーブルCB2を通して操
作卓CNから転送されて来る照明指令に従って、5個の
投光機L1〜L5のうち所定のものを選択的に点灯させ
る。図1には左端の投光機L1のみが点灯している状態
が例示されている。制御卓CN上に設置された5個の押
ボタンスイッチSWのそれぞれは、現場に設置されてい
る5個の投光機L1〜L5の配置に対応して配置される
と共に、押下げによってオン状態になるとプラスチック
ケース内のランプの点灯によってオン状態にあることを
表示する。このため、制御卓の操作者は、検査対象の鋼
板Wの表面にどのような方向から照明が行われているの
かを押ボタンスイッチSWの配列と個々の点灯状態とに
よって容易かつ的確に把握できる。なお、各押ボタンス
イッチSWは、再度の押し下げによってオフ状態に移行
する。
A predetermined one of the five projectors L1 to L5 is selectively turned on in accordance with an illumination command transmitted from the console CN through the multi-core cable CB2 of the switchboard D. FIG. 1 exemplifies a state in which only the leftmost projector L1 is lit. Each of the five push-button switches SW installed on the control console CN is arranged corresponding to the arrangement of the five projectors L1 to L5 installed on the site, and is turned on by pressing down. Then, the lamp inside the plastic case lights up to indicate that it is in the on state. Therefore, the operator of the control console can easily and accurately grasp from which direction the surface of the steel sheet W to be inspected is illuminated by the arrangement of the push button switches SW and the individual lighting states. . Note that each push button switch SW shifts to the OFF state by being pressed again.

【0010】好適には、配電盤Dは、点灯中の全ての投
光機からの照射光量がほ常時ほぼ一定値となるように点
灯中の投光機への給電電圧などの給電状態を制御する。
例えば、2個の投光機が点灯中の場合には、各投光機で
発生される光量はいずれか1個の投光機のみが点灯され
る場合の半分の値に低減される。給電状態の他の制御方
法としては、各投光機ごとに前回の給電量を最大給電量
に対する比率で記憶しておき、対応の押ボタンスイッチ
が操作されるたびにこれを読取って新しな給電比率とし
て再設定する方法や、手動で調整された直前の給電比率
を記憶しておきこれを新たに給電比率として再設定する
方法などを適用することもできる。
[0010] Preferably, the switchboard D controls the power supply state such as the power supply voltage to the lit floodlights so that the amount of light emitted from all the lit floodlights is almost always a constant value. .
For example, when two light projectors are on, the amount of light generated by each light projector is reduced to half the value when only one of the light projectors is on. As another method of controlling the power supply state, the previous power supply amount for each projector is stored as a ratio to the maximum power supply amount, and this is read every time the corresponding pushbutton switch is operated, and a new value is obtained. It is also possible to apply a method of resetting the power supply ratio, a method of storing the immediately previous power supply ratio manually adjusted, and resetting this as a new power supply ratio.

【0011】図1(C)に例示するように、検査対象の
鋼板Wの表面に凹状の疵が存在するものとすれば、テレ
ビジョン受像機DPの表示画面上には、左側からの照明
を受けた明るい平坦部分cと、一層明るい傾斜部分a
と、暗い傾斜部分bとが出現する。この場合、制御卓C
N上の右端の押ボタンスイッチSWを押し下げることに
よって右端の投光機L5も点灯させると、表示画面上の
異物から暗い傾斜部分bが消滅して代わりに明るい傾斜
部分bが出現する。左端の押ボタンスイッチSWを再度
押し下げることによって左端の投光機L1を消灯させる
と、表示中の異物から明るい傾斜部分aが消滅して代わ
りに暗い傾斜部分aが出現する。このように、投光機の
点滅によって表示画面中の異物の明暗がどのように変化
するかによっても、疵の形状を的確に確認できる。
As shown in FIG. 1C, if a concave flaw exists on the surface of the steel plate W to be inspected, illumination from the left side is displayed on the display screen of the television receiver DP. The received bright flat part c and the brighter inclined part a
And a dark inclined portion b appear. In this case, control console C
When the right-end pushbutton switch SW on N is also pressed to turn on the right-end projector L5, the dark inclined portion b disappears from the foreign matter on the display screen and the bright inclined portion b appears instead. When the projector L1 at the left end is turned off by depressing the push button switch SW at the left end again, the bright inclined portion a disappears from the foreign matter being displayed, and the dark inclined portion a appears instead. In this way, the shape of the flaw can be accurately confirmed also by how the brightness of the foreign matter on the display screen changes due to the blinking of the projector.

【0012】凹形状の疵もそれが不規則な形状であれ
ば、照明の方向を変えることによって陰影などを含む異
物の形状が変化する。異物が油汚れなどの平面的な異物
であれば、照明の方向を変化させても形状は殆ど変化し
ないことなどから、立体的な疵から弁別可能である。こ
のような利点は、撮影装置の位置を変更しただけでは得
られない利点である。
If the concave flaw is also an irregular shape, the shape of the foreign matter including the shadow changes by changing the direction of illumination. If the foreign matter is a planar foreign matter such as oil stain, the shape hardly changes even if the direction of the illumination is changed. Therefore, it is possible to discriminate from a three-dimensional flaw. Such an advantage is an advantage that cannot be obtained only by changing the position of the photographing device.

【0013】図2は、本発明の疵検査装置の他の実施例
における照明装置と撮影装置との他の配列例を示す斜視
図である。この実施例では、検査対象の物体の上空に半
円環状のフレームGが設置され、このフレームGにほぼ
等間隔で5個の投光機L1〜L5が固定されている。フ
レームGの中心を通る線上に視野を真下にした状態でテ
レビジョンカメラTCが設置される。5個の投光機のそ
れぞれは、テレビジョンカメラCMの視野の中心を向け
て照射光を投射する。このような構成により、照明の方
向を左右だけでなく前後にわたっても変更でき、検査の
精度を一層高めることができる。
FIG. 2 is a perspective view showing another arrangement example of the illumination device and the photographing device in another embodiment of the flaw inspection apparatus of the present invention. In this embodiment, a semi-annular frame G is installed above the object to be inspected, and five light projectors L1 to L5 are fixed to the frame G at substantially equal intervals. The television camera TC is installed on the line passing through the center of the frame G with the visual field right below. Each of the five projectors projects irradiation light with the center of the field of view of the television camera CM facing. With such a configuration, the direction of illumination can be changed not only right and left but also front and back, and the accuracy of inspection can be further improved.

【0014】以上、複数の投光機の点滅させると共にそ
れぞれの点滅状態を示す押ボタンスイッチを制御卓上に
設置する構成を例示した。しかしながら、このような押
ボタンスイッチを他の適宜なスイッチと表示灯との組合
せによって実現したり、そのような表示灯をテレビジョ
ン受像機DPの表示画面の上方にテレビジョンカメラC
Mの撮像画面と合成して表示する構成とすることもでき
る。あるいはまた、図1の実施例では、図2に例示する
ように、現在選択中の照明光の方向をテレビジョンカメ
ラCMの撮像画面と合成して放射状の矢印によって表示
する構成としてもよい。
In the above, the configuration has been illustrated in which the plurality of floodlights are blinked and the push button switches indicating the respective blinking states are installed on the control desk. However, such a push button switch can be realized by combining another appropriate switch and an indicator light, or such an indicator light can be provided above the display screen of the television receiver DP by the television camera C.
It is also possible to adopt a configuration in which it is combined with the M image pickup screen and displayed. Alternatively, in the embodiment of FIG. 1, as illustrated in FIG. 2, the direction of the currently selected illumination light may be combined with the imaging screen of the television camera CM and displayed by radial arrows.

【0015】また、撮影された像を作業者が目視検査す
る場合について本発明を説明した。しかしながら、撮影
された物体の表面の像を識別する装置を付加することに
よって自動識別を行わせ、ある程度大きな疵が識別され
た場合にはブザーの鳴動などによってその旨を作業者に
通知し、最終的には作業者が目視検査によって確認する
というような自動検査と目視による検査とを組合せた構
成を採用することもできる。この場合、自動識別状態の
もとでは、照明状態を固定しておく他に、識別装置が所
定の識別アルゴリズムに従って照明に関する指令を発す
るようにすることもできる。
The present invention has been described in the case where the operator visually inspects the photographed image. However, automatic identification is performed by adding a device that identifies the image of the surface of the captured object, and if a somewhat large flaw is identified, the operator is notified by a buzzer sound, etc. Specifically, it is possible to adopt a configuration in which an automatic inspection such as an operator's confirmation by visual inspection and a visual inspection are combined. In this case, under the automatic identification state, in addition to fixing the illumination state, the identification device may issue a command regarding illumination according to a predetermined identification algorithm.

【0016】あるいは、また、作業者による目視検査を
行わずに自動識別のみを行う場合にも、本発明を適用で
きる。この場合、照明に関する指令は識別装置から所定
の識別アルゴリズムに従って発せられる。また、この構
成では、自動識別装置を環境の悪い搬送現場に設置する
こともできる。
Alternatively, the present invention can be applied to a case where only automatic identification is performed without performing visual inspection by an operator. In this case, the instruction regarding lighting is issued from the identification device according to a predetermined identification algorithm. Further, with this configuration, the automatic identification device can be installed at a transportation site where the environment is bad.

【0017】また、1台の撮影装置を設置する構成を例
示したが、複数台の撮影装置を設置する構成とすること
もできる。
Further, although the configuration in which one image pickup device is installed has been exemplified, a configuration in which a plurality of image pickup devices are installed may be adopted.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の疵
検査装置は、照明の方向や組合せを変更する構成である
から、撮影装置の位置を変更する場合に比べて簡単な操
作のもとにより高精度の検査が可能になるという効果が
奏される。
As described in detail above, since the flaw inspection apparatus of the present invention is configured to change the direction and combination of illuminations, it is possible to perform a simpler operation than changing the position of the photographing apparatus. With the above, there is an effect that a highly accurate inspection becomes possible.

【0019】また、照明の方向の変更に伴う陰影を含む
異物の形状の変化の様子から立体的な疵を平面的な汚れ
から区別しながら検査できるという利点もある。
There is also an advantage that it is possible to inspect a three-dimensional flaw while distinguishing it from a two-dimensional stain from the state of the shape change of the foreign matter including the shadow due to the change of the direction of the illumination.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an exemplary embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例における照明装置と撮影装
置の配置の例を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an example of arrangement of an illumination device and a photographing device in another embodiment of the present invention.

【図3】図1の実施例における表示画面の他の一例を示
す図である。
FIG. 3 is a diagram showing another example of the display screen in the embodiment of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

L1〜L5 投光機( 照明器具) D 配電盤 CM テレビジョンカメラ( 撮影装置 ) DP テレビジョン受像機( 表示装置 ) CN 制御卓 SW 投光機に動作指令を発する押ボタンスイッチ CB1,CB2 ケーブル L1 to L5 Floodlight (illuminator) D Switchboard CM Television camera (shooting device) DP Television receiver (display device) CN Control console SW Pushbutton switch that issues operation commands to the floodlight CB1, CB2 cable

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 検査対象の物体の表面を照明する照明装
置と、照明された物体の表面を撮影する単一又は複数の
撮影装置と、この撮影装置から離れて設置されかつこの
撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する表示装
置とを備えた疵検査装置において、 前記照明装置は、離れた箇所で発せられる指令に従って
前記検査対象の物体の表面を異なる方向から照明可能な
複数の照明器具を備えたことを特徴とする疵検査装置。
1. An illumination device for illuminating the surface of an object to be inspected, a single or a plurality of image capturing devices for capturing an image of the surface of an illuminated object, and an image capturing device that is installed apart from the image capturing device. In a flaw inspection device including a display device that displays an image of the surface of the object, a plurality of illuminating devices capable of illuminating the surface of the object to be inspected from different directions according to a command issued at a distant location. A flaw inspection device comprising a lighting fixture.
【請求項2】 請求項1において、 前記各照明器具は、前記検査対象の物体の上空にこの物
体に平行に設置された円環状のフレームに等間隔で固定
され、このフレームの中心の直下の物体の表面に向けて
照明光を照射することを特徴とする疵検査装置。
2. The lighting device according to claim 1, wherein the lighting fixtures are fixed at equal intervals to an annular frame installed above the object to be inspected in parallel with the object and directly below the center of the frame. A flaw inspection device characterized by illuminating the surface of an object with illumination light.
【請求項3】 請求項1又は2において、 前記照明装置と撮影装置は、検査対象の物体の製造又は
加工現場に設置され、前記表示装置はこの製造又は加工
現場から離れた検査室内に設置されたことを特徴とする
疵検査装置。
3. The illumination device and the photographing device according to claim 1, wherein the lighting device and the imaging device are installed in a manufacturing or processing site of an object to be inspected, and the display device is installed in an inspection room remote from the manufacturing or processing site. A flaw inspection device characterized in that
【請求項4】 請求項1乃至3のそれぞれにおいて、 前記異なる照明方向に関する情報を前記撮影装置の映像
と組合せて前記表示装置に表示手段を更に備えたことを
特徴とする疵検査装置。
4. The flaw inspection apparatus according to claim 1, further comprising display means on the display device for combining the information on the different illumination directions with the image of the photographing device.
【請求項5】 請求項1又は4のそれぞれにおいて、 前記撮影装置で撮影された物体の表面の像を識別する識
別装置を更に備えたことを特徴とする疵検査装置。
5. The flaw inspection apparatus according to claim 1, further comprising an identification device for identifying an image of a surface of an object imaged by the imaging device.
【請求項6】 検査対象の物体の表面を照明する照明装
置と、照明された物体の表面を撮影する撮影装置と、こ
の撮影装置で撮影された物体の表面の像を識別する識別
装置とを備えた疵検査装置において、 前記照明装置は、前記識別装置から発せられる指令に従
って前記検査対象の物体の表面を異なる方向から照明可
能な複数の照明器具を備えたことを特徴とする疵検査装
置。
6. An illumination device for illuminating the surface of an object to be inspected, a photographing device for photographing the surface of the illuminated object, and an identification device for identifying an image of the surface of the object photographed by the photographing device. In the flaw inspection device provided, the illumination device includes a plurality of lighting devices capable of illuminating the surface of the object to be inspected from different directions according to a command issued from the identification device.
JP6124190A 1994-05-13 1994-05-13 Flaw detecting device Withdrawn JPH07306162A (en)

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JP6124190A JPH07306162A (en) 1994-05-13 1994-05-13 Flaw detecting device

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JP6124190A JPH07306162A (en) 1994-05-13 1994-05-13 Flaw detecting device

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