JPH0730164A - 積層型圧電体素子 - Google Patents
積層型圧電体素子Info
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- JPH0730164A JPH0730164A JP5195515A JP19551593A JPH0730164A JP H0730164 A JPH0730164 A JP H0730164A JP 5195515 A JP5195515 A JP 5195515A JP 19551593 A JP19551593 A JP 19551593A JP H0730164 A JPH0730164 A JP H0730164A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 積層体の上・下面に形成された外部電極と側
面に形成された外部電極とを、上・下面の平坦性を損う
ことなく確実に導通させる。 【構成】 圧電体層１と内部電極２ａ，２ｂとの積層体
３の、内部電極２ａ，２ｂが引き出された側面３ｃ，３
ｄに、積層体３の上・下面３ａ，３ｂの少なくとも一方
に達する溝６ａ，６ｂを形成するとともに、溝６ａ，６
ｂの内部に導通用電極４ａ1，４ｂ1を配設し、該導通用
電極４ａ1，４ｂ1を介して、積層体３の側面３ｃ，３ｄ
に形成された外部電極４ａ，４ｂを上・下面に形成され
た外部電極１４ａ，１４ｂの少なくとも一方に導通させ
る。
面に形成された外部電極とを、上・下面の平坦性を損う
ことなく確実に導通させる。 【構成】 圧電体層１と内部電極２ａ，２ｂとの積層体
３の、内部電極２ａ，２ｂが引き出された側面３ｃ，３
ｄに、積層体３の上・下面３ａ，３ｂの少なくとも一方
に達する溝６ａ，６ｂを形成するとともに、溝６ａ，６
ｂの内部に導通用電極４ａ1，４ｂ1を配設し、該導通用
電極４ａ1，４ｂ1を介して、積層体３の側面３ｃ，３ｄ
に形成された外部電極４ａ，４ｂを上・下面に形成され
た外部電極１４ａ，１４ｂの少なくとも一方に導通させ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、積層型圧電体素子に
関し、詳しくは、圧電体層と内部電極との積層体の外側
に、該内部電極と導通する外部電極を配設してなる積層
型圧電体素子に関する。
関し、詳しくは、圧電体層と内部電極との積層体の外側
に、該内部電極と導通する外部電極を配設してなる積層
型圧電体素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電体を利用した積層型圧電アクチュエ
ータとしては、例えば、図４に示すように、複数の圧電
体層５１の間に部分電極構造を有する内部電極５２を配
設するとともに、圧電体層５１と内部電極５２からなる
積層体５３の、内部電極５２が引き出された側面からそ
の上・下面に回り込むように外部電極５４を配設してな
る積層型圧電体素子５５を、金属板５６を介して複数個
積み重ね、所定の金属板５６をリード線５７により接続
するとともに、ばね圧により固定した構造の積層型圧電
アクチュエータが提案されている。
ータとしては、例えば、図４に示すように、複数の圧電
体層５１の間に部分電極構造を有する内部電極５２を配
設するとともに、圧電体層５１と内部電極５２からなる
積層体５３の、内部電極５２が引き出された側面からそ
の上・下面に回り込むように外部電極５４を配設してな
る積層型圧電体素子５５を、金属板５６を介して複数個
積み重ね、所定の金属板５６をリード線５７により接続
するとともに、ばね圧により固定した構造の積層型圧電
アクチュエータが提案されている。
【０００３】なお、上記の積層型圧電アクチュエータを
構成する積層型圧電体素子５５においては、内部電極５
２は、図５に示すように、一層おきに逆側の側面の外部
電極５４（図４）と導通するように交互に逆側の端部に
引き出されている。
構成する積層型圧電体素子５５においては、内部電極５
２は、図５に示すように、一層おきに逆側の側面の外部
電極５４（図４）と導通するように交互に逆側の端部に
引き出されている。
【０００４】また、外部電極５４としては、内部電極５
２との導通の確実性を考慮して厚膜電極が用いられてい
る。
２との導通の確実性を考慮して厚膜電極が用いられてい
る。
【０００５】そして、この積層型圧電アクチュエータに
おいては、各積層型圧電体素子５５の間に挿入された金
属板５６と各積層型圧電体素子５５の上・下面にまで回
り込むように形成された外部電極５４とを接触させるだ
けで、内部電極５２と金属板５６との導通が得られると
いう長所がある。
おいては、各積層型圧電体素子５５の間に挿入された金
属板５６と各積層型圧電体素子５５の上・下面にまで回
り込むように形成された外部電極５４とを接触させるだ
けで、内部電極５２と金属板５６との導通が得られると
いう長所がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の積層型
圧電アクチュエータにおいては、積層型圧電体素子５５
の外部電極５４が積層体５３の側面から上・下面にまで
回り込むように形成されている（例えば、上・下面に厚
膜電極を印刷して、側面に形成された厚膜電極に直接に
接続させるなどの方法により外部電極５４が形成され
る）ため、図６に示すように、積層体５３の角部におい
て外部電極５４に盛上り（こぶ）５８が発生し、積層型
圧電体素子５５の上・下面の平坦性が損われる。そのた
め、複数の積層型圧電体素子５５を金属板５６を介して
積み重ねた場合に、積重ね状態（連結固定状態）が不安
定になり、確実に固定することができなかったり、積層
型圧電アクチュエータとして使用した場合に、外力によ
って破壊が生じたりするというような問題点がある。
圧電アクチュエータにおいては、積層型圧電体素子５５
の外部電極５４が積層体５３の側面から上・下面にまで
回り込むように形成されている（例えば、上・下面に厚
膜電極を印刷して、側面に形成された厚膜電極に直接に
接続させるなどの方法により外部電極５４が形成され
る）ため、図６に示すように、積層体５３の角部におい
て外部電極５４に盛上り（こぶ）５８が発生し、積層型
圧電体素子５５の上・下面の平坦性が損われる。そのた
め、複数の積層型圧電体素子５５を金属板５６を介して
積み重ねた場合に、積重ね状態（連結固定状態）が不安
定になり、確実に固定することができなかったり、積層
型圧電アクチュエータとして使用した場合に、外力によ
って破壊が生じたりするというような問題点がある。
【０００７】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、上・下面の平坦性を損うことなく、上・下面に形
成された外部電極と側面に形成された外部電極とが確実
に接続された積層型圧電体素子を提供することを目的と
する。
あり、上・下面の平坦性を損うことなく、上・下面に形
成された外部電極と側面に形成された外部電極とが確実
に接続された積層型圧電体素子を提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層
と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引
き出された側面、及び上・下面に形成された外部電極と
を備えてなる積層型圧電体素子において、圧電体層と内
部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面
に、積層体の上・下面の少なくとも一方に達する溝を形
成するとともに、溝の内部に導通用電極を配設し、該導
通用電極を介して、積層体の側面に形成された外部電極
を上・下面に形成された外部電極の少なくとも一方に導
通させるようにしたことを特徴とする。
に、この発明の積層型圧電体素子は、複数の圧電体層
と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引
き出された側面、及び上・下面に形成された外部電極と
を備えてなる積層型圧電体素子において、圧電体層と内
部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面
に、積層体の上・下面の少なくとも一方に達する溝を形
成するとともに、溝の内部に導通用電極を配設し、該導
通用電極を介して、積層体の側面に形成された外部電極
を上・下面に形成された外部電極の少なくとも一方に導
通させるようにしたことを特徴とする。
【０００９】なお、この発明は、側面に形成された電極
を上・下面の外部電極の両方に接続する場合に限らず、
上・下面の外部電極のいずれか一方にのみ接続する場合
をも含むものである。
を上・下面の外部電極の両方に接続する場合に限らず、
上・下面の外部電極のいずれか一方にのみ接続する場合
をも含むものである。
【００１０】
【作用】この発明の積層型圧電体素子においては、溝の
内部に配設された導通用電極を介して、積層体の上・下
面の外部電極と側面の外部電極とが導通するため、従来
の積層型圧電体素子のように、側面の外部電極を、積層
体の角部を経て上・下面にまで回り込ませることが不要
になる。
内部に配設された導通用電極を介して、積層体の上・下
面の外部電極と側面の外部電極とが導通するため、従来
の積層型圧電体素子のように、側面の外部電極を、積層
体の角部を経て上・下面にまで回り込ませることが不要
になる。
【００１１】したがって、積層体の側面に形成された外
部電極を上・下面にまで回り込ませた場合に見られるよ
うな、積層体の角部における外部電極（厚膜電極）の盛
上り（こぶ）の発生を防止して、上・下面の平坦性を確
保しつつ、側面の外部電極と上・下面の外部電極とを確
実に導通させることが可能になる。
部電極を上・下面にまで回り込ませた場合に見られるよ
うな、積層体の角部における外部電極（厚膜電極）の盛
上り（こぶ）の発生を防止して、上・下面の平坦性を確
保しつつ、側面の外部電極と上・下面の外部電極とを確
実に導通させることが可能になる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の実施例を示してその特徴と
するところをさらに詳しく説明する。図１は、この発明
の一実施例にかかる積層型圧電体素子を示す図であり、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は要部を示す平面図、（ｃ）は
断面図である。
するところをさらに詳しく説明する。図１は、この発明
の一実施例にかかる積層型圧電体素子を示す図であり、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は要部を示す平面図、（ｃ）は
断面図である。
【００１３】この実施例の積層型圧電体素子５において
は、複数の圧電体層（例えばチタン酸ジルコン酸鉛系材
料からなる圧電体層）１の間に、一層おきに相対向する
２つの側面に引き出されるように内部電極２ａ，２ｂを
配設することにより積層体３が形成されている。
は、複数の圧電体層（例えばチタン酸ジルコン酸鉛系材
料からなる圧電体層）１の間に、一層おきに相対向する
２つの側面に引き出されるように内部電極２ａ，２ｂを
配設することにより積層体３が形成されている。
【００１４】そして、積層体３の内部電極２ａ，２ｂが
引き出された側面３ｃ，３ｄには、内部電極２ａ，２ｂ
と導通する外部電極（側面外部電極）４ａ，４ｂが形成
されている。また、積層体３の側面３ｃ，３ｄの中央部
には、積層体３の上面３ａから下面３ｂにまで達する溝
（スリット）６ａ，６ｂが縦方向に形成されており、こ
の溝６ａ，６ｂ内にも、側面外部電極４ａ，４ｂの一部
を構成する電極（導通用電極）４ａ1，４ｂ1が配設され
ている。
引き出された側面３ｃ，３ｄには、内部電極２ａ，２ｂ
と導通する外部電極（側面外部電極）４ａ，４ｂが形成
されている。また、積層体３の側面３ｃ，３ｄの中央部
には、積層体３の上面３ａから下面３ｂにまで達する溝
（スリット）６ａ，６ｂが縦方向に形成されており、こ
の溝６ａ，６ｂ内にも、側面外部電極４ａ，４ｂの一部
を構成する電極（導通用電極）４ａ1，４ｂ1が配設され
ている。
【００１５】また、積層体３の上・下面３ａ，３ｂに
は、外部電極（上・下面外部電極）１４ａ，１４ｂが形
成されている。
は、外部電極（上・下面外部電極）１４ａ，１４ｂが形
成されている。
【００１６】なお、この実施例の積層型圧電体素子５に
おいては、上・下面外部電極１４ａ，１４ｂと側面外部
電極４ａ，４ｂは、そのいずれかが積層体３の角部を経
て上・下面３ａ，３ｂあるいは側面３ｃ，３ｄに回り込
むことにより導通しているのではなく、上記の溝６ａ，
６ｂ内に配設された導通用電極４ａ1，４ｂ1を介して導
通している。
おいては、上・下面外部電極１４ａ，１４ｂと側面外部
電極４ａ，４ｂは、そのいずれかが積層体３の角部を経
て上・下面３ａ，３ｂあるいは側面３ｃ，３ｄに回り込
むことにより導通しているのではなく、上記の溝６ａ，
６ｂ内に配設された導通用電極４ａ1，４ｂ1を介して導
通している。
【００１７】次に、上記実施例の積層型圧電体素子５の
製造方法について説明する。上記積層型圧電体素子５を
製造するにあたっては、まず、圧電体層（グリーンシー
ト）を製造するために、原料を秤量し、粉砕してバイン
ダとともに混合し、脱泡した後、シート状に成形し、所
定の形状に打抜く。それから、これに内部電極を印刷す
る。
製造方法について説明する。上記積層型圧電体素子５を
製造するにあたっては、まず、圧電体層（グリーンシー
ト）を製造するために、原料を秤量し、粉砕してバイン
ダとともに混合し、脱泡した後、シート状に成形し、所
定の形状に打抜く。それから、これに内部電極を印刷す
る。
【００１８】次に、各圧電体層（グリーンシート）を積
層圧着し、所定の形状に切断した後、焼成して積層体を
得る。それから、得られた積層体の、内部電極が引き出
された側面に、ダイサーなどで、例えば、幅０．２mm，
深さ０．５mmの溝（スリット）を形成した後、導電ペー
ストを印刷する方法やディッピングなどの方法により、
側面外部電極（厚膜電極）４ａ，４ｂ（図１（ｃ））を
形成する。
層圧着し、所定の形状に切断した後、焼成して積層体を
得る。それから、得られた積層体の、内部電極が引き出
された側面に、ダイサーなどで、例えば、幅０．２mm，
深さ０．５mmの溝（スリット）を形成した後、導電ペー
ストを印刷する方法やディッピングなどの方法により、
側面外部電極（厚膜電極）４ａ，４ｂ（図１（ｃ））を
形成する。
【００１９】そして、積層体３の上・下面３ａ，３ｂを
ラップして平坦にした後、導電ペーストを印刷する方法
やディッピングなどの方法により、上・下面外部電極
（厚膜電極）１４ａ，１４ｂを形成する。このとき、上
・下面外部電極１４ａ，１４ｂが、積層体３の上・下面
３ａ，３ｂにまで至るように形成された溝６ａ，６ｂの
内部の導通用電極４ａ1，４ｂ1と導通する位置までは達
するが、積層体３の上・下面３ａ，３ｂと、側面３ｃ，
３ｄとの角部にまでは達しないようにする。
ラップして平坦にした後、導電ペーストを印刷する方法
やディッピングなどの方法により、上・下面外部電極
（厚膜電極）１４ａ，１４ｂを形成する。このとき、上
・下面外部電極１４ａ，１４ｂが、積層体３の上・下面
３ａ，３ｂにまで至るように形成された溝６ａ，６ｂの
内部の導通用電極４ａ1，４ｂ1と導通する位置までは達
するが、積層体３の上・下面３ａ，３ｂと、側面３ｃ，
３ｄとの角部にまでは達しないようにする。
【００２０】このように、上記実施例の積層型圧電体素
子５においては、積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成され
た外部電極４ａ，４ｂと、上・下面３ａ，３ｂに形成さ
れた外部電極１４ａ，１４ｂが、積層体３の角部を経て
上・下面３ａ，３ｂあるいは側面３ｃ，３ｄにまで回り
込んでいないため、積層体３の角部で外部電極の盛上り
（こぶ）が生じることを確実に防止して、上・下面の平
坦性を確保しつつ、上・下面外部電極１４ａ，１４ｂと
側面外部電極４ａ，４ｂとを確実に接続することができ
る。なお、上記実施例の積層型圧電体素子５において
は、上・下面電極１４ａ，１４ｂの盛上りを数μm以下
に抑制しつつ、上・下面外部電極１４ａ，１４ｂと側面
外部電極４ａ，４ｂとを１Ω以下の抵抗で導通させるこ
とができる。
子５においては、積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成され
た外部電極４ａ，４ｂと、上・下面３ａ，３ｂに形成さ
れた外部電極１４ａ，１４ｂが、積層体３の角部を経て
上・下面３ａ，３ｂあるいは側面３ｃ，３ｄにまで回り
込んでいないため、積層体３の角部で外部電極の盛上り
（こぶ）が生じることを確実に防止して、上・下面の平
坦性を確保しつつ、上・下面外部電極１４ａ，１４ｂと
側面外部電極４ａ，４ｂとを確実に接続することができ
る。なお、上記実施例の積層型圧電体素子５において
は、上・下面電極１４ａ，１４ｂの盛上りを数μm以下
に抑制しつつ、上・下面外部電極１４ａ，１４ｂと側面
外部電極４ａ，４ｂとを１Ω以下の抵抗で導通させるこ
とができる。
【００２１】上述のように、この発明の積層型圧電体素
子は上・下面が平坦であるため、図２に示すように、複
数の積層型圧電体素子５を金属板７を介して積み重ね、
ばね圧などの機械的な力で固定することにより積層型圧
電アクチュエータを形成する場合、積層型圧電体素子５
を安定して積み重ねることができるため、接合の安定性
に優れ、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得る
ことができる。
子は上・下面が平坦であるため、図２に示すように、複
数の積層型圧電体素子５を金属板７を介して積み重ね、
ばね圧などの機械的な力で固定することにより積層型圧
電アクチュエータを形成する場合、積層型圧電体素子５
を安定して積み重ねることができるため、接合の安定性
に優れ、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得る
ことができる。
【００２２】また、図３に示すように、積層型圧電体素
子５の上・下面に、溝６ａ，６ｂの内部に配設された導
通用電極４ａ1，４ｂ1を介して側面外部電極４ａ，４ｂ
と導通する２つの外部電極１４ａ，１５ａと１４ｂ，１
５ｂを形成し、接合面において互に対向する外部電極１
４ａと１４ｂ、及び１５ａと１５ｂを直接に接続すると
ともに、各積層型圧電体素子５を接着剤８により接着す
ることにより、金属板を配設したり、あるいは、リード
線を半田付けして側面に形成された外部電極を接続した
りすることを不要にして、積層型圧電アクチュエータの
構造及び製造方法を簡略化することができる。
子５の上・下面に、溝６ａ，６ｂの内部に配設された導
通用電極４ａ1，４ｂ1を介して側面外部電極４ａ，４ｂ
と導通する２つの外部電極１４ａ，１５ａと１４ｂ，１
５ｂを形成し、接合面において互に対向する外部電極１
４ａと１４ｂ、及び１５ａと１５ｂを直接に接続すると
ともに、各積層型圧電体素子５を接着剤８により接着す
ることにより、金属板を配設したり、あるいは、リード
線を半田付けして側面に形成された外部電極を接続した
りすることを不要にして、積層型圧電アクチュエータの
構造及び製造方法を簡略化することができる。
【００２３】なお、この発明は、上記実施例に限定され
るものではなく、圧電体層を構成する材料の種類や組
成、あるいは圧電体層の具体的な形状や積層数、積層体
の側面に形成される溝の具体的形状、内部電極及び外部
電極の構成材料やそのパターンなどに関し、発明の要旨
の範囲内において、種々の応用、変形を加えることがで
きる。
るものではなく、圧電体層を構成する材料の種類や組
成、あるいは圧電体層の具体的な形状や積層数、積層体
の側面に形成される溝の具体的形状、内部電極及び外部
電極の構成材料やそのパターンなどに関し、発明の要旨
の範囲内において、種々の応用、変形を加えることがで
きる。
【００２４】
【発明の効果】上述のように、この発明の積層型圧電体
素子は、圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電
極が引き出された側面に、積層体の上・下面の少なくと
も一方に達する溝を形成するとともに、溝の内部に導通
用電極を配設し、該導通用電極を介して、積層体の側面
に形成された外部電極を上・下面に形成された外部電極
の少なくとも一方に導通させるようにしているので、積
層体の側面に形成された外部電極を上・下面にまで回り
込ませた場合に見られるような、積層体の角部における
外部電極（厚膜電極）の盛上り（こぶ）の発生を防止し
て、上・下面の平坦性に優れ、側面の外部電極と上・下
面の外部電極とが確実に導通した積層型圧電体素子を得
ることができる。
素子は、圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電
極が引き出された側面に、積層体の上・下面の少なくと
も一方に達する溝を形成するとともに、溝の内部に導通
用電極を配設し、該導通用電極を介して、積層体の側面
に形成された外部電極を上・下面に形成された外部電極
の少なくとも一方に導通させるようにしているので、積
層体の側面に形成された外部電極を上・下面にまで回り
込ませた場合に見られるような、積層体の角部における
外部電極（厚膜電極）の盛上り（こぶ）の発生を防止し
て、上・下面の平坦性に優れ、側面の外部電極と上・下
面の外部電極とが確実に導通した積層型圧電体素子を得
ることができる。
【００２５】したがって、この発明の積層型圧電体素子
を複数個積み重ねて積層型圧電アクチュエータを構成す
る場合に、積重ね（連結固定）の安定性に優れ、かつ外
力によって破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高
い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能になる。
を複数個積み重ねて積層型圧電アクチュエータを構成す
る場合に、積重ね（連結固定）の安定性に優れ、かつ外
力によって破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高
い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能になる。
【図１】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は要部を示す
平面図、（ｃ）は断面図である。
を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は要部を示す
平面図、（ｃ）は断面図である。
【図２】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
を積み重ねて構成した積層型圧電アクチュエータの要部
を示す断面図である。
を積み重ねて構成した積層型圧電アクチュエータの要部
を示す断面図である。
【図３】この発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子
を積み重ねて構成した他の積層型圧電アクチュエータの
要部を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は図３
（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は側面図である。
を積み重ねて構成した他の積層型圧電アクチュエータの
要部を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は図３
（ａ）のｂ−ｂ線断面図、（ｃ）は側面図である。
【図４】従来の積層型圧電アクチュエータを示す断面図
である。
である。
【図５】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積
層型圧電体素子の内部電極のパターンを示す分解斜視図
である。
層型圧電体素子の内部電極のパターンを示す分解斜視図
である。
【図６】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積
層型圧電体素子の要部を示す断面図である。
層型圧電体素子の要部を示す断面図である。
１ 圧電体層 ２ａ，２ｂ 内部電極 ３ 積層体 ３ａ，３ｂ 積層体の上・下面 ３ｃ，３ｄ 積層体の側面 ４ａ，４ｂ 側面に形成された外
部電極 ４ａ1，４ｂ1 導通用電極 ５ 積層型圧電体素子 ６ａ，６ｂ 溝 ７ 金属板 ８ 接着剤 １４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ 上・下面に形成さ
れた外部電極
部電極 ４ａ1，４ｂ1 導通用電極 ５ 積層型圧電体素子 ６ａ，６ｂ 溝 ７ 金属板 ８ 接着剤 １４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ 上・下面に形成さ
れた外部電極
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の圧電体層と、圧電体層間に配設さ
れた内部電極と、内部電極が引き出された側面、及び上
・下面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電
体素子において、 圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き
出された側面に、積層体の上・下面の少なくとも一方に
達する溝を形成するとともに、溝の内部に導通用電極を
配設し、該導通用電極を介して、積層体の側面に形成さ
れた外部電極を上・下面に形成された外部電極の少なく
とも一方に導通させるようにしたことを特徴とする積層
型圧電体素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5195515A JP3057968B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 積層型圧電体素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5195515A JP3057968B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 積層型圧電体素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0730164A true JPH0730164A (ja) | 1995-01-31 |
| JP3057968B2 JP3057968B2 (ja) | 2000-07-04 |
Family
ID=16342371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5195515A Expired - Fee Related JP3057968B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-07-12 | 積層型圧電体素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3057968B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5931497A (en) * | 1996-05-31 | 1999-08-03 | Trw Occupant Restraint Systems Gmbh | Gas bag |
| WO2012035932A1 (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-22 | 太陽誘電株式会社 | 圧電素子及び積層型圧電構造体 |
| US20150255704A1 (en) * | 2014-03-10 | 2015-09-10 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric element and piezoelectric vibrator having the same |
-
1993
- 1993-07-12 JP JP5195515A patent/JP3057968B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5931497A (en) * | 1996-05-31 | 1999-08-03 | Trw Occupant Restraint Systems Gmbh | Gas bag |
| WO2012035932A1 (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-22 | 太陽誘電株式会社 | 圧電素子及び積層型圧電構造体 |
| US9117993B2 (en) | 2010-09-14 | 2015-08-25 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Piezoelectric element and stacked piezoelectric structure |
| US20150255704A1 (en) * | 2014-03-10 | 2015-09-10 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric element and piezoelectric vibrator having the same |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3057968B2 (ja) | 2000-07-04 |
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