JPH0730108Y2 - クリーンルーム内空気圧駆動機器の駆動用エア供給装置 - Google Patents
クリーンルーム内空気圧駆動機器の駆動用エア供給装置Info
- Publication number
- JPH0730108Y2 JPH0730108Y2 JP12394689U JP12394689U JPH0730108Y2 JP H0730108 Y2 JPH0730108 Y2 JP H0730108Y2 JP 12394689 U JP12394689 U JP 12394689U JP 12394689 U JP12394689 U JP 12394689U JP H0730108 Y2 JPH0730108 Y2 JP H0730108Y2
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- JP
- Japan
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- air
- pressure
- clean room
- filter
- factory
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、特に半導体製造工場等のクリンルーム内で使
用される空気圧駆動機器の駆動用エア供給装置に関す
る。
用される空気圧駆動機器の駆動用エア供給装置に関す
る。
たとえば、ICおよび超LSI等を製造する半導体製造工場
のクリンルーム内では、各種の半導体製造装置が設置さ
れ稼働しているが、これらの各種半導体製造装置は、メ
ガビット時代となった昨今、益々微細化ならびに高集積
化が要求されている。
のクリンルーム内では、各種の半導体製造装置が設置さ
れ稼働しているが、これらの各種半導体製造装置は、メ
ガビット時代となった昨今、益々微細化ならびに高集積
化が要求されている。
従来、クリンルーム内は、超高清浄度を維持するため、
無人化およびロボット化も含め、無発塵化のために非常
な努力が成されていることは、周知の通りである。した
がって、各種製造装置の内、空気駆動機器にあっては、
排気をダクトによりクリンルーム内へ排出することは勿
論、供給気体についても、いわゆる工場エアなどは使用
せず、高純度ガス、たとえば高純度窒素ガス、またはア
ルゴンガス等を使用し、さらに清浄フィルターを透過さ
せた後、当該機器へ駆動用気体として供給されていた。
無人化およびロボット化も含め、無発塵化のために非常
な努力が成されていることは、周知の通りである。した
がって、各種製造装置の内、空気駆動機器にあっては、
排気をダクトによりクリンルーム内へ排出することは勿
論、供給気体についても、いわゆる工場エアなどは使用
せず、高純度ガス、たとえば高純度窒素ガス、またはア
ルゴンガス等を使用し、さらに清浄フィルターを透過さ
せた後、当該機器へ駆動用気体として供給されていた。
しかしながら、この高純度ガスが、駆動用気体として使
捨て使用されるには、いささか高価であることは認識さ
れながらも、半導体製造工場のクリンルーム内の無発塵
化のために、その駆動用気体として使用されることが、
ごく当り前のこととして認識されてきたのが実状であ
る。
捨て使用されるには、いささか高価であることは認識さ
れながらも、半導体製造工場のクリンルーム内の無発塵
化のために、その駆動用気体として使用されることが、
ごく当り前のこととして認識されてきたのが実状であ
る。
一方、半導体製造工場以外の一般の製造工場では、動力
源として電力の他、電力に代わる動力源として、大型コ
ンプレッサーにより工場エアが供給され、ロボットある
いはエアドライバー等の駆動源として利用されているこ
とは、周知の通りであり、そのランニングコストは前記
高純度ガスを使用した場合と比べて、比較にならないほ
ど安価となる。
源として電力の他、電力に代わる動力源として、大型コ
ンプレッサーにより工場エアが供給され、ロボットある
いはエアドライバー等の駆動源として利用されているこ
とは、周知の通りであり、そのランニングコストは前記
高純度ガスを使用した場合と比べて、比較にならないほ
ど安価となる。
そこで本考案の目的は、クリンルームを有する製造工場
内にふんだんに得られる工場エアを利用しながらも、ク
リンルーム内の清浄度を低下させることのない駆動用エ
ア供給装置を提供することによって、大幅な製造コスト
ダウンを実現するものである。
内にふんだんに得られる工場エアを利用しながらも、ク
リンルーム内の清浄度を低下させることのない駆動用エ
ア供給装置を提供することによって、大幅な製造コスト
ダウンを実現するものである。
上記課題は、工場エアを増圧するためのエア増圧装置
と、増圧された工場エアを蓄圧するためのタンクと、前
記エア増圧装置およびタンクによって増圧蓄圧された圧
縮空気中のオイルミストを分離除去し、併せて0.3μｍ
以上のカーボンなどの微粒固形物を除去するための一次
フィルターと、圧縮空気中のエアゾル状微粒子の油水分
の99.9999％を分離除去し、併せて0.01％μｍ以上のカ
ーボンやダストを除去するための二次フィルターと、臭
気および油、蒸気などを活性炭素繊維により吸着除去す
るために設けられたフィルターと、0.01μｍの粒子を9
9.9999999999％以上捕捉するために設けられた三次フィ
ルターとを順に備えていることで解決できる。
と、増圧された工場エアを蓄圧するためのタンクと、前
記エア増圧装置およびタンクによって増圧蓄圧された圧
縮空気中のオイルミストを分離除去し、併せて0.3μｍ
以上のカーボンなどの微粒固形物を除去するための一次
フィルターと、圧縮空気中のエアゾル状微粒子の油水分
の99.9999％を分離除去し、併せて0.01％μｍ以上のカ
ーボンやダストを除去するための二次フィルターと、臭
気および油、蒸気などを活性炭素繊維により吸着除去す
るために設けられたフィルターと、0.01μｍの粒子を9
9.9999999999％以上捕捉するために設けられた三次フィ
ルターとを順に備えていることで解決できる。
本考案では、工場エアを昇圧するようにしている。工場
エアは、一般的に数kg/cm2の圧力を有しているが、圧力
変動があるので、駆動装置側で要求する所定の圧力に昇
圧するために、かつ圧力変動を生じさせないためにエア
増圧装置が設けられる。また、このエア増圧装置のエア
源として、工場内でふんだんに供給されている既に昇圧
されている工場エアを使用しているため、大気をエア源
として大気圧から昇圧する場合に比べ、約1/4のエネル
ギーで済み、大幅な製造コストダウンを実現することが
できる。
エアは、一般的に数kg/cm2の圧力を有しているが、圧力
変動があるので、駆動装置側で要求する所定の圧力に昇
圧するために、かつ圧力変動を生じさせないためにエア
増圧装置が設けられる。また、このエア増圧装置のエア
源として、工場内でふんだんに供給されている既に昇圧
されている工場エアを使用しているため、大気をエア源
として大気圧から昇圧する場合に比べ、約1/4のエネル
ギーで済み、大幅な製造コストダウンを実現することが
できる。
さらに、本考案では、エア増圧装置の下流に蓄圧タンク
を設けているので、前記エア増圧装置の作動による脈動
を吸収し、出側に安定した流量のエアを供給することが
できる。また前記一次〜三次フィルターによって、工場
エアをクリンルーム内空気圧駆動装置の動力源として使
用しても、クリンルーム内の清浄度を低下させずに前記
空気圧駆動装置を作動させることができる。
を設けているので、前記エア増圧装置の作動による脈動
を吸収し、出側に安定した流量のエアを供給することが
できる。また前記一次〜三次フィルターによって、工場
エアをクリンルーム内空気圧駆動装置の動力源として使
用しても、クリンルーム内の清浄度を低下させずに前記
空気圧駆動装置を作動させることができる。
本考案を第１図に示す実施例に基づいて詳説する。
半導体製造工場内で得られる工場エアは、エア増圧装置
１に供給され、ここでさらに増圧された後、蓄圧タンク
２に吐出蓄圧される。さらにその後、各一次〜三次フィ
ルター群３、４、５、６によって吸着濾過された後、増
圧されたクリンエアとして、クリンルーム内の空気圧駆
動機器へと供給される。
１に供給され、ここでさらに増圧された後、蓄圧タンク
２に吐出蓄圧される。さらにその後、各一次〜三次フィ
ルター群３、４、５、６によって吸着濾過された後、増
圧されたクリンエアとして、クリンルーム内の空気圧駆
動機器へと供給される。
エア増圧装置１は、供給された工場エアをさらに高い圧
力へと増圧する機能とともに、レギュレーター機能を有
し、最適吐出圧力に設定安定化することができる。この
エア増圧装置１としては、中央を境として仕切られた２
つの駆動質に跨がるピストンを備えたもの、たとえばSM
C社製「増圧弁VBAシリーズ」または、米国ハスケル（HA
SKEL）社製「AIRAMPLIFIER、MODEL AADシリーズ」等を
用いることができる。また、蓄圧タンク２は、増圧され
た工場エアを増圧装置１の作動による脈動を吸収すると
ともに、空気圧駆動機器側に安定した流量の気体を供給
するために設けられたものである。その後、増圧蓄圧さ
れた工場エアは、各フィルター群３、４、５、６を順に
通過するわけであるが、一次フィルター３は、圧縮空気
中のオイルミストを分離除去し、併せて0.3μｍ以上の
カーボンなどの微粒固形物を除去するために、二次フィ
ルター４は、圧縮空気中のエアゾル状微粒子の油水分の
99.9999％を分離除去し、併せて0.01％μｍ以上のカー
ボンやダストを除去するために、三次フィルター５は、
臭気および油、蒸気などを活性炭素繊維により吸着除去
するために設けられたフィルターである。さらに第４フ
ィルター６は、0.01μｍの粒子を99.9999999999％以上
捕捉するために設けられた不活性用フィルターである。
力へと増圧する機能とともに、レギュレーター機能を有
し、最適吐出圧力に設定安定化することができる。この
エア増圧装置１としては、中央を境として仕切られた２
つの駆動質に跨がるピストンを備えたもの、たとえばSM
C社製「増圧弁VBAシリーズ」または、米国ハスケル（HA
SKEL）社製「AIRAMPLIFIER、MODEL AADシリーズ」等を
用いることができる。また、蓄圧タンク２は、増圧され
た工場エアを増圧装置１の作動による脈動を吸収すると
ともに、空気圧駆動機器側に安定した流量の気体を供給
するために設けられたものである。その後、増圧蓄圧さ
れた工場エアは、各フィルター群３、４、５、６を順に
通過するわけであるが、一次フィルター３は、圧縮空気
中のオイルミストを分離除去し、併せて0.3μｍ以上の
カーボンなどの微粒固形物を除去するために、二次フィ
ルター４は、圧縮空気中のエアゾル状微粒子の油水分の
99.9999％を分離除去し、併せて0.01％μｍ以上のカー
ボンやダストを除去するために、三次フィルター５は、
臭気および油、蒸気などを活性炭素繊維により吸着除去
するために設けられたフィルターである。さらに第４フ
ィルター６は、0.01μｍの粒子を99.9999999999％以上
捕捉するために設けられた不活性用フィルターである。
一方、フィルター３、４、５を跨ぐように設けられた差
圧計７、・・は、フィルター３、４、５の圧力降下を計
測し、交換時期を把握するために設けられたものであ
る。
圧計７、・・は、フィルター３、４、５の圧力降下を計
測し、交換時期を把握するために設けられたものであ
る。
本考案に係る装置は、具体的には、たとえば64M対応ｉ
線（365nm）露光ステッパー、ミラー・プロジェクショ
ン・アライナー、あるいはCVD装置の駆動用、その他、
アクチュエータ等の駆動用として用いられる。
線（365nm）露光ステッパー、ミラー・プロジェクショ
ン・アライナー、あるいはCVD装置の駆動用、その他、
アクチュエータ等の駆動用として用いられる。
また、本考案により、従来高純度ガスボンベ置場等に専
有されていたデッドスペースを有効に利用することもで
きる。
有されていたデッドスペースを有効に利用することもで
きる。
上記実施例の場合は、各構成要素を配管継手類で連結し
接続したが、これらの構成要素を筺体内に一体的に組込
みユニット化することもできる。
接続したが、これらの構成要素を筺体内に一体的に組込
みユニット化することもできる。
以上詳説したように、本考案によれば、高価な高純度ガ
スを使用せず、安価なランニングコストの工場エアにて
クリンルーム内の空気圧駆動機器を、クリンルーム内の
清浄度を下げることなく、駆動することができるため、
大幅な製造コストダウンを実現することができる。
スを使用せず、安価なランニングコストの工場エアにて
クリンルーム内の空気圧駆動機器を、クリンルーム内の
清浄度を下げることなく、駆動することができるため、
大幅な製造コストダウンを実現することができる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本考案に係る装置の実施例を示す図である。 １……エア増圧装置、２……タンク ３……一次フィルター、４……二次フィルター ５……三次フィルター ６……四次フィルター、７……差圧計
Claims (1)
- 【請求項１】工場エアを増圧するためのエア増圧装置
と、増圧された工場エアを蓄圧するためのタンクと、前
記エア増圧装置およびタンクによって増圧蓄圧された圧
縮空気中のオイルミストを分離除去し、併せて0.3μｍ
以上のカーボンなどの微粒固形物を除去するための一次
フィルターと、圧縮空気中のエアゾル状微粒子の油水分
の99.9999％を分離除去し、併せて0.01％μｍ以上のカ
ーボンやダストを除去するための二次フィルターと、臭
気および油、蒸気などを活性炭素繊維により吸着除去す
るために設けられたフィルターと、0.01μｍの粒子を9
9.9999999999％以上捕捉するために設けられた三次フィ
ルターとを順に備えていることを特徴とするクリーンル
ーム内空気圧駆動機器の駆動用エア供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12394689U JPH0730108Y2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | クリーンルーム内空気圧駆動機器の駆動用エア供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12394689U JPH0730108Y2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | クリーンルーム内空気圧駆動機器の駆動用エア供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0361912U JPH0361912U (ja) | 1991-06-18 |
| JPH0730108Y2 true JPH0730108Y2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=31671896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12394689U Expired - Lifetime JPH0730108Y2 (ja) | 1989-10-23 | 1989-10-23 | クリーンルーム内空気圧駆動機器の駆動用エア供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730108Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009018002A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Olympia:Kk | 遊技機、プログラム、記憶媒体 |
| JP6368255B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-08-01 | 株式会社神戸製鋼所 | オイルミスト除去装置の異常診断装置 |
-
1989
- 1989-10-23 JP JP12394689U patent/JPH0730108Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0361912U (ja) | 1991-06-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |