JPH07297663A

JPH07297663A - 厚みすべり水晶振動子の製造方法

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Publication number: JPH07297663A
Application number: JP9110194A
Authority: JP
Inventors: Takao Watabe; 隆夫渡部; Koichi Kawasaki; 公一川崎; Masahiro Kon; 雅博近; Masako Tanaka; 雅子田中
Original assignee: Meidensha Corp; Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Meidensha Corp; Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-04-28
Filing date: 1994-04-28
Publication date: 1995-11-10
Anticipated expiration: 2017-04-30
Also published as: JP3279054B2

Abstract

(57)【要約】【目的】電極材にアルミニウムを使用しながら経年変
化が少なく電気的特性に優れ、しかも安定した周波数調
整ができる製造方法を提供する。【構成】水晶板２１の表面及び裏面に導通電極２５、
２６を形成し、保持器２２のリード端子２３、２４と導
通電極とを導通接続してその保持も得る。この後、水晶
板の表面と裏面で対向する対向部を有して主電極２７、
２８を導通電極に一部重ね合わせて形成し、この主電極
を空気に晒すことなく続けて該対向部の厚さ調整による
共振又は発振の周波数調整を行う。この共振又は発振周
波数調整にリード端子に計測器を接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、厚みすべり水晶振動子
の製造方法に係り、特に極薄にした水晶板の電極形成方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近、情報処理装置の処理高速化ニーズ
は強く、それを実現するのは高速動作のＤＳＰ（Ｄｉｇ
ｉｔａｌＳｉｇｎａｌＰｒｏｃｅｓｓｏｒ）であ
り、そのクロック源は水晶振動子である。

【０００３】ＤＳＰは、ジッターのないデューティ５０
％のクロックを必要とする。これを得る最も秀れた方法
は、水晶振動子の周波数をクロックの２倍で発振させる
ことである。

【０００４】また、トランジスタあるいは反転増幅器
（これらが個別であったり、ＬＳＩの一部として集積内
蔵されたりする）を主素子とする発振回路は、高周波で
発振しかつシンプルになるためには、水晶振動子はオー
バートーンでなくファンダメンタル（基本波）で発振さ
せる必要がある。その上、温度特性にも制約がある。

【０００５】このため、これら条件を満たすのは、ＡＴ
あるいはＢＴカットの極薄板の水晶振動子となる。例え
ば、１００ＭＨ_Z発振ＡＴ板で０.０１６７ｍｍ厚の水晶
振動子となる。これらの水晶振動子は、以下、ＡＴ板で
代表させる。

【０００６】このような極薄の水晶振動子は、近年急速
に進歩した研磨機と研磨技術、さらにフォトリソグラフ
ィによるエッチング技術で代表される加工技術によって
工業的に生産可能となってきている。

【０００７】他のニーズとして、無線装置に組み込まれ
る極薄の水晶メカニカルフィルタがある。電波の利用が
多くなり、より多くの通話チャンネルを使うのに、キャ
リア周波数の高周波化（例えば８００ＭＨ_Z帯→１９Ｇ
Ｈ_Z帯）とチャンネル間隔の狭帯域化（例えば５０ＫＨ_Z
→１２.５ＫＨ_Zセパレーション）がなされる。

【０００８】その実用化へのキーパーツは、中心周波数
の高い狭帯域バンドパス水晶メカニカルフィルタとな
る。中心周波数は、例えば７０ＭＨ_Zあるいはそれ以上
で、この場合も回路との整合性が良いファンダメンタル
発振で極薄のＡＴカット水晶振動子板が選択される。こ
の極薄水晶メカニカルフィルタの生産も前記と同様の技
術でなされる。

【０００９】図５は、従来からある水晶振動子の組立図
（ａ）と水晶板の側面図（ｂ）を示す。四角形のＡＴ水
晶板１には、表面及び裏面に電極膜２、３が形成され
る。電極膜２、３は水晶板１の中央部の表面と裏面で対
向する対向部２Ａ，３Ａが形成され、該対向部２Ａ，３
Ａに続くリード部２Ｂ，３Ｂが両側部まで形成される。

【００１０】ＡＴ水晶板１の保持器４には、一対のリー
ド端子５、６が貫通固定され、該リード端子５、６にＡ
Ｔ水晶板１の電極膜２、３のリード部２Ｂ，３Ｂがそれ
ぞれ導電接着で固定され、電極引き出しと水晶板１の支
持がなされる。

【００１１】ここで、水晶板１の厚みは、例えば１００
ＭＨ_Z振動子で０.０１６７ｍｍ、電極膜２、３の厚みは
５００Å〜３０００Å（０.００００５〜０.０００３ｍ
ｍ）である。また、水晶板１の平面寸法は、約４ｍｍ角
である。

【００１２】また、保持器４は、矢印方向から見て丸形
あるいは長円形で、セラミックあるいはコバール・ガラ
スで形成される。また、図示省略するが、一般に、保持
器４には水晶板１を覆うキャップが接合部４ａに抵抗溶
接あるいは高周波溶接され、キャップ内部は真空又は乾
燥窒素ガス（Ｎ₂）で置換される。

【００１３】なお、水晶板１の平面形状は、四角形のも
のを示すが、丸形あるいは四辺に縁（厚肉部）がある形
状のもの、あるいは下辺部のみに縁がある形状など種々
のものがある。これら縁を持つものは、水晶振動子の落
下等に対する耐振動性・耐衝撃性の強化やフォトリソグ
ラフィ加工後の後処理省略等を目的として適宜選択され
る。

【００１４】次に、従来の水晶メカニカルフィルタの構
造例を説明する。図６は、四辺に縁を持つ水晶板と電極
膜からなる水晶メカニカルフィルタの上面図（ａ）とそ
の裏面図（ｂ）及び側断面図（ｃ）を示す。同図中、水
晶板１１の表面には中央部に電極膜１２が形成され、そ
のリード部１２Ａが水晶板１１の縁部まで引き出され
る。

【００１５】また、水晶板１１の裏面には電極膜１２に
対向する位置で、分割された一対の電極膜１３、１４が
形成され、それらのリード部１３Ａ、１４Ａが水晶板１
１の縁部まで引き出される。

【００１６】この構造は、典型的な３電極エネルギー閉
込めモノリシック水晶メカニカルフィルタを構成する。
このような構造において、水晶板１１は、フォトリソグ
ラフィ加工で形成される。また、その保持器は、図７に
上面図（ａ）と側面図（ｂ）及び他の側面図（ｃ）で示
すように、ＳＭＤタイプのセラミック保持器にされ、水
晶板１１が収納された配置で保持及び電極膜１２〜１４
との接続がなされる。

【００１７】保持器１５の蓋１６は、金属製又はセラミ
ック製にされ、水晶板１１を保持器１５内に気密封止す
る。したがって、保持器内部は、前記の水晶振動子と同
様に、真空あるいは乾燥窒素ガス（Ｎ₂）で置換され
る。

【００１８】１７〜１９は、金属パッドであり、収納さ
れる水晶板１１の電極膜１２〜１４とは保持器内部でそ
れぞれ接続される。

【００１９】次に、図５又は図６で示す構造の水晶振動
子の製造手順を図８を参照して説明する。

【００２０】水晶板は前記の１又は１１であり、保持器
は前記の４又は１５であり、蓋は前記のキャップ又は１
６である。

【００２１】電極膜形成（Ｓ１）は、真空蒸着又はスパ
ッタリング等で金属電極膜２、３又は１２〜１４を形成
する。

【００２２】保持器固定（Ｓ２）は、保持器のリード端
子５、６と水晶板１のリード部との間の接着、又は保持
器１５のパッド１７〜１９の内部端子と水晶板１１のリ
ード部１２Ａ〜１４Ａとの間の接着になり、導電性接着
剤の塗布とキュアでなされる。

【００２３】周波数調整（Ｓ３）は、水晶振動子の場合
はキャップによる封止前の図５の（ａ）に示すものを真
空中に置き、水晶振動子を発振又は共振させながら電極
膜２Ａ，３Ａ部分に金属を重ね蒸着し、所望の周波数ま
で動作周波数を低下させる。メカニカルフィルタの場
合、対向３電極膜１２〜１４の４つの周波数、すなわち
対数モード周波数ｆ_sと斜め対称モード周波数ｆ_aと片方
電極周波数ｆ₁及び他方電極周波数ｆ₂が所望の値になる
よう金属の重ね蒸着量を調整する。

【００２４】特性検査（Ｓ４）は、水晶振動子の場合で
は、主に、周波数が所望の偏差値内にあるか否か、及び
共振抵抗が所望の値以下にあるかなどを検査する。水晶
メカニカルフィルタの場合、前記の４つの周波数ｆ_s，
ｆ_a，ｆ₁，ｆ₂の周波数チェックと、フィルタとしての
特性（中心周波数、帯域幅、リップル、挿入損失など）
をチェックする。

【００２５】なお、この特性検査は、次の工程になる保
持器収納によってそれらの特性に有意な変化が表れない
ことの裏付けが得られるときは省略される。

【００２６】保持器収納（Ｓ５）は、水晶振動子の場
合、キャップを保持器４の接合部４ａにシールする。メ
カニカルフィルタの場合は、蓋１６を保持器１５にシー
ルする。何れも、シールされた内部は真空又は乾燥窒素
ガス（Ｎ₂）置換がなされる。

【００２７】特性検査（Ｓ６）は、特性検査（Ｓ４）で
行う検査に加えて、シールの完全性チェックなどが入
る。

【００２８】

【発明が解決しようとする課題】従来のＡＴ極薄水晶振
動子、又は水晶メカニカルフィルタは、エネルギー閉込
め理論で設計される。その代表的な文献は「エネルギー
閉込め形圧電共振子の解析、尾上・十文字、電気通信学
会誌、ＶＯＬ４８、１５７４（昭和４０年）」である。

【００２９】ここで、極薄水晶板の厚みを０.０４ｍ
ｍ、輪郭寸法が４ｍｍ程度とすれば、輪郭寸法と厚みの
比は１００以上となる。従って、設計のポイントは、電
極の大きさと厚み及び電極形成のための金属の選択であ
る。

【００３０】このうち、電極の大きさ（図５では電極膜
２と３が対向する部分、図６では電極膜１２〜１４が対
向する部分）は、水晶振動子の場合は発振回路の要求
（モーショナルキャパシタンスが大きい、共振抵抗が低
い）から、水晶メカニカルフィルタの場合は低い終端イ
ンピーダンス、挿入損失の低減から、より大きい方が望
まれる。

【００３１】この電極の大きさを逆に制約するのは、以
下の２つの要求、（１）水晶板面上の輪郭での固定の影響のない輪郭対電
極の寸法比がエネルギー閉込めの度合いが十分あること
から６以上望まれること。

【００３２】（２）電極下の水晶厚みの平行度が充分あ
り、少なくとも凹面ではない。

【００３３】であり、上記とのトレードオフで電極の大
きさが決められる。

【００３４】次に、電極の厚みと金属の関係について説
明する。まず、電極の対向部の大きさ（図５の対向部２
Ａ，３Ａの大きさ）が２ａ角とすると、上記の文献に準
ずれば、板面が充分大きい振動子板であるため、その”
閉込め”は次の（１）式の解である。

【００３５】

【数１】

【００３６】その周波数解ｆは、次の（２）式のφが１
〜０の間で存在する。

【００３７】

【数２】

【００３８】上記の（１）、（２）式で、ｋ_e、ｋ_sは、
次式になる。

【００３９】

【数３】

【００４０】Ｈ：水晶振動子板の厚みｆ_s：電極のない部分の水晶振動子の固有周波数ｆ_e：対向部がある部分の水晶振動子の固有周波数また、固有周波数ｆ_s、ｆ_eは、次式で決まる。

【００４１】

【数４】

【００４２】ρ：水晶板の密度、２.６５ｇ／ｃｍ³ Ｃ₆₆’：水晶板の厚み方向の弾性定数ｔ：対向電極の片方の厚み ρ_e：対向電極の密度よく知られているエネルギー閉込め曲線は、上記の
（２）式のφと次式の変量ξ

【００４３】

【数５】

【００４４】λ：厚み方向と輪郭方向の弾性定数の比 Δ：周波数戻り量との関係で示される。

【００４５】前記の（１）式に戻って、上段の解は対称
モード（Ｓ_n）で、下段の解は斜め対称モード（ａ_n）で
ある。変量ξを大きくすると閉じ込められるモード次数
ｎは以下に示すように順次多くなる。

【００４６】

【数６】

【００４７】ここで、水晶振動子の場合、閉じ込めるモ
ードはＳ₀だけであるから、上記の変量ξは次式の範囲
にされる。

【００４８】

【数７】

【００４９】しかし、中心点に対して対称な水晶板及び
電極が形成できれば、斜め対称モードａ₀は励振されな
いため、変量ξは次式の範囲

【００５０】

【数８】

【００５１】まで広げてＳ₁モードを閉じ込めないよう
にできる。

【００５２】上記の（１１）式は、前記の（８）式よ
り、設計条件は次式になる。

【００５３】

【数９】

【００５４】この式中、λは水晶の温度特性から選んだ
角度ＡＴ板で、支持方向をＺ₀’軸としたから、

【００５５】

【数１０】λ＝０.５２となり、Ｈは１００ＭＨ_Z発振の場合に０.０１６７ｍｍ
で、前記からａ＝０.２ｍｍが選ばれたとすると、周波
数戻り量Δは

【００５６】

【数１１】Δ＜０.０１２８ ……（１３）の制限のもとに電極を形成することになる。

【００５７】周波数戻り量の目安は、電極材の密度をρ
_eとすると、前記（９）、（５）、（６）、（７）式か
ら次のように決められる。

【００５８】

【数１２】

【００５９】良く用いられる電極材としての金、銀、ア
ルミニウムについて計算すると、それぞれの密度ρ_eと
の関係から電極膜の厚みｔの制限は以下の表になる。

【００６０】

【表１】

【００６１】ここで、電極の他の条件として、電気抵抗
が小さいことであり、これら金属の中でアルミニウムだ
けがそれを満たし、金及び銀は薄膜抵抗化して使用でき
ない。水晶メカニカルフィルタの場合も同様である。

【００６２】以上までのことから、極薄の水晶振動子及
び水晶メカニカルフィルタの電極材にはアルミニウムが
選ばれる。

【００６３】しかしながら、アルミニウムは、図８に示
す製造工程において電極形成（Ｓ１）から保持器固定
（Ｓ２）の間に電極表面が酸化し、アルマイト化する。

【００６４】このため、周波数調整（Ｓ３）の工程で、
同種又は異種の金属による周波数調整加工が不安定にな
ると共に、周波数調整された電極面は図９の（ａ）に示
すように、アルマイト化した膜の表面に周波数調整の金
属が付着した構造になる。

【００６５】また、アルミニウムを電極材とする場合、
電極の薄膜化に伴い、金や銀の電極材に比べてリード部
の抵抗値の増大が問題となる。

【００６６】このような事情から、アルミニウムを電極
膜とする従来の水晶振動子及び水晶メカニカルフィルタ
の製造方法では、電気的な特性が悪くなり、また経時的
な安定性も保証できないものになる。

【００６７】なお、電極材を金又は銀とする場合、周波
数調整（Ｓ３）の直前に化学的あるいはプラズマ放電等
により電極表面の清浄化が可能であり、図９の（ｂ）に
示すように、周波数調整の金属との同化を得ることがで
きる。

【００６８】本発明の目的は、電極材にアルミニウムを
使用しながら経年変化が少なく電気的特性に優れ、しか
も安定した周波数調整ができる厚みすべり水晶振動子の
製造方法を提供することにある。

【００６９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題の解
決を図るため、極薄の水晶板の表面と裏面に対向部を有
してアルミニウムの電極を形成し、前記対向部に重ね蒸
着する金属の厚さによって発振又は共振周波数の周波数
調整をする厚みすべり水晶振動子の製造方法において、
前記電極形成は、少なくとも前記対向部を除いて導通電
極を水晶板面に形成し、前記導通電極の一端を保持器の
リード端子に接続し、電極形成装置内で前記水晶板の対
向部から前記導通電極までのパターンを持つアルミニウ
ムの主電極を形成し、前記リード端子を周波数調整用計
測器との接続端子とし、前記主電極の形成後に該主電極
を空気に晒すことなく連続的に前記電極形成装置内で周
波数調整の金属蒸着を行うことを特徴とする。

【００７０】また、本発明は、極薄の水晶板の表面と裏
面に対向部を有してアルミニウムの電極を形成し、前記
対向部に重ね蒸着する金属の厚さによって発振又は共振
周波数の周波数調整をする厚みすべり水晶振動子の製造
方法において、前記電極形成は、少なくとも前記対向部
を除いて導通電極を水晶板面に形成し、電極形成装置内
で前記水晶板の対向部から前記導通電極までのパターン
を持つアルミニウムの主電極を形成し、前記導通電極の
一端部を周波数調整用計測器との接続端子とし、前記主
電極の形成後に該主電極を空気に晒すことなく連続的に
前記電極形成装置内で周波数調整の金属蒸着を行うこと
を特徴とする。

【００７１】

【作用】

（第１の発明）電極は導通電極と主電極との２段階の工
程で形成し、導通電極は保持器のリード端子との接続を
得ておくことで後の周波数調整のための計測器との接続
を得、主電極の形成と周波数調整のための金属形成を同
一の電極形成装置内で連続的に行うことにより、アルミ
ニウム電極が空気に晒されてそのアルマイト化するのを
防止し、周波数調整のための金属の重ね蒸着に主電極と
の同化を得る。

【００７２】（第２の発明）導通電極の形成で該導通電
極を周波数調整のための計測器との接続端とし、主電極
形成と周波数調整を連続的に行う。

【００７３】

【実施例】図１は、本発明の一実施例を示す製造工程図
である。

【００７４】導通電極形成（Ｓ１１）は、極薄の水晶板
に電極膜のリード部のみ、又はリード部のうち保持器の
リード端子との接続を得るリード部分に相当する導通電
極を形成する。すなわち、一対の電極のうち、水晶板を
挟んで対向する対向部を形成しないでおく。

【００７５】保持器固定（Ｓ１２）は、工程（Ｓ１１）
で形成した電極膜の導通電極に保持器のリード端子を接
続する。この工程は従来の保持器固定（Ｓ２）と同様に
される。

【００７６】上記までの加工により、例えば、水晶振動
子では、図２の（ａ）に保持器を接続した状態を示すよ
うに、水晶板２１の表面及び裏面には保持器２２のリー
ド端子２３、２４に接続する導通電極２５、２６の電極
形成をし、この導通電極２５、２６とリード端子２３、
２４とを接続して水晶板２１を保持器２２に固定する。

【００７７】ここで、導通電極２５、２６は、高い導電
性と表面の清浄性や無電蝕性に優れるものが好ましく、
例えば電極膜として扱いなれた金又は銀が好ましい。

【００７８】また、導通電極２５、２６は、発振動作に
影響のない範囲で幅広くかつ厚く、さらに電極膜の対向
部に近い部位まで延ばすのが共振抵抗や挿入損失の低減
等を図るのに好ましくなる。

【００７９】電極形成（Ｓ１３）は、水晶板２１の中央
部の表面と裏面に所定のパターンになる対向部を持つ電
極（主電極）２７、２８を形成する。この主電極２７、
２８は、アルミニウムで形成され、図２の（ｂ）に示す
ように、導通電極２５、２６に一端を重ね合わせ、水晶
板２１の中央部で対向する面構成になる。また、主電極
２７、２８の形成方法は、従来と同様に真空蒸着又はス
パッタリング等でなされる。

【００８０】周波数調整（Ｓ１４）は、電極形成（Ｓ１
３）に続いて同一真空チャンバー内で連続して行い、形
成された主電極２７、２８を空気に晒すことなく該主電
極面に金属の重ね蒸着を行う。このとき、金属の重ね蒸
着量調整のための発振又は共振周波数計測は、リード電
極２３、２４を使って外部の計測器との接続を得る。

【００８１】この電極形成（Ｓ１３）と周波数調整（Ｓ
１４）は、具体的には、個別品を電極形成と周波数調整
の順に多数個について行うか、または複数個を同時に電
極形成し、その後に順次個別に周波数調整を行う。

【００８２】保持器収納（Ｓ１５）と特性検査（Ｓ１
６）は、従来と同様に、真空又はガス封入したキャップ
又は蓋の取り付けと、周波数や共振抵抗などの電気的特
性を検査する。

【００８３】したがって、本実施例によれば、アルミニ
ウムによる主電極２７、２８の形成と周波数調整が同一
真空チャンバー内で連続的に行われ、主電極が空気に晒
されることなくその上に金属の蒸着がなされるため、ア
ルミニウムのアルマイト化を起こすことなく金属の重ね
蒸着ができ、経年変化のない主電極形成及び安定した周
波数調整を行うことができる。

【００８４】また、導通電極２５、２６は、金や銀で形
成することができ、その表面の清浄化を容易にして主電
極形成時の同化を確実にする。さらに、リード部の抵抗
値を小さくし、共振抵抗と挿入損失の極小化を図ること
ができる。

【００８５】図３は、本発明の他の実施例を示す製造工
程図である。

【００８６】本実施例が図１と異なる部分は、導通電極
形成（Ｓ２１）の後、電極形成（Ｓ２２）と周波数調整
（Ｓ２３）を同一チャンバー内で連続的に行う点にあ
る。その後の保持器固定（Ｓ２４）と特性検査（Ｓ２
５）と保持器収納（Ｓ２６）及び特性検査（Ｓ２７）は
同様の加工になる。

【００８７】なお、周波数調整は、保持器固定の前に行
うため、計測器との接続には、プローブピン等を導通電
極部に接触させて行う。

【００８８】本実施例においても、アルミニウムの主電
極形成を行う電極形成（Ｓ２２）と主電極面に金属を重
ね蒸着する周波数調整（Ｓ２３）は、連続的に行うこと
で主電極面を空気に晒すことが無くなり、前記の実施例
と同様の作用効果を得ることができる。

【００８９】なお、導通電極形成（Ｓ２１）と電極形成
（Ｓ２２）との間で空気に晒すか否かは、電極形成装置
（蒸着機、スパッタ等）によるが、空気に晒される場合
には主電極形成に必要な導通電極の清浄化処理を行う。

【００９０】図４は、実施例における水晶メカニカルフ
ィルタの電極形成例を示し、水晶メカニカルフィルタの
上面図（ａ）とその裏面図（ｂ）及び側断面図（ｃ）を
示す。

【００９１】四辺に縁を持つ水晶板３１の表面及び裏面
には縁部から中央部近辺にわたって導通電極３２、３
３、３４が形成され、主電極３５、３６、３７が水晶板
３１の中央部から導通電極３２、３３、３４までの間に
形成され、３電極エネルギー閉込めモノリシック水晶メ
カニカルフィルタを構成する。

【００９２】このような水晶メカニカルフィルタにおい
ても、導通電極３２、３３、３４を形成した後、主電極
３５、３６、３７の形成と周波数調整が同一チャンバー
内で行われ、アルミニウムの主電極のアルマイト化を防
止した製造を可能にする。

【００９３】

【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、アルミ
ニウムを電極材とする電極形成において、導通電極を水
晶板面に形成しておき、この導通電極の一端を保持器の
リード端子を介して又は直接に計測器との接続端とし、
電極形成装置内で水晶板の対向部から前記導通電極まで
のパターンを持つアルミニウムの主電極形成と、その後
の周波数調整の金属蒸着を連続的に行うようにしたた
め、以下の効果がある。

【００９４】（１）アルミニウム電極が空気に晒されて
そのアルマイト化するのを防止し、周波数調整のための
金属の重ね蒸着に主電極との同化を得、安定した周波数
調整ができる。

【００９５】（２）主電極と重ね蒸着する金属の同化に
より経年変化が無くなる。

【００９６】（３）導通電極は金又は銀のように導電性
が高くかつ取り扱いの容易な金属を使用でき、共振抵抗
や挿入損失を小さくして電気的に良好な特性を得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す製造工程図。

【図２】実施例の水晶振動子構造。

【図３】本発明の他の実施例を示す製造工程図。

【図４】実施例の水晶メカニカルフィルタ構造。

【図５】従来の水晶振動子の構造。

【図６】従来の水晶メカニカルフィルタの振動子構造。

【図７】水晶メカニカルフィルタの保持器。

【図８】従来の製造工程図。

【図９】電極膜の断面図。

【符号の説明】

２１、３１…水晶板２２…保持器２３、２４…リード端子２５、２６、３２、３３、３４…導通電極２７、２８、３５、３６、３７…主電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者田中雅子東京都品川区大崎２丁目１番17号株式会社明電舎内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】極薄の水晶板の表面と裏面に対向部を有
してアルミニウムの電極を形成し、前記対向部に重ね蒸
着する金属の厚さによって発振又は共振周波数の周波数
調整をする厚みすべり水晶振動子の製造方法において、前記電極形成は、少なくとも前記対向部を除いて導通電極を水晶板面に形
成し、前記導通電極の一端を保持器のリード端子に接続し、電極形成装置内で前記水晶板の対向部から前記導通電極
までのパターンを持つアルミニウムの主電極を形成し、前記リード端子を周波数調整用計測器との接続端子と
し、前記主電極の形成後に該主電極を空気に晒すことな
く連続的に前記電極形成装置内で周波数調整の金属蒸着
を行うことを特徴とする厚みすべり水晶振動子の製造方
法。
【請求項２】極薄の水晶板の表面と裏面に対向部を有
してアルミニウムの電極を形成し、前記対向部に重ね蒸
着する金属の厚さによって発振又は共振周波数の周波数
調整をする厚みすべり水晶振動子の製造方法において、前記電極形成は、少なくとも前記対向部を除いて導通電極を水晶板面に形
成し、電極形成装置内で前記水晶板の対向部から前記導通電極
までのパターンを持つアルミニウムの主電極を形成し、前記導通電極の一端部を周波数調整用計測器との接続端
子とし、前記主電極の形成後に該主電極を空気に晒すこ
となく連続的に前記電極形成装置内で周波数調整の金属
蒸着を行うことを特徴とする厚みすべり水晶振動子の製
造方法。