JPH07294728A - Optical component and optical device provided with the same - Google Patents

Optical component and optical device provided with the same

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JPH07294728A
JPH07294728A JP8428194A JP8428194A JPH07294728A JP H07294728 A JPH07294728 A JP H07294728A JP 8428194 A JP8428194 A JP 8428194A JP 8428194 A JP8428194 A JP 8428194A JP H07294728 A JPH07294728 A JP H07294728A
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JP
Japan
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optical
substrate
optical component
multilayer film
light
Prior art date
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Pending
Application number
JP8428194A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koichi Egawa
弘一 江川
Hironobu Kiyomoto
浩伸 清本
Hayami Hosokawa
速美 細川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp, Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Corp
Priority to JP8428194A priority Critical patent/JPH07294728A/en
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Abstract

PURPOSE:To improve both the handleability and the degree of freedom for the design of an optical component by fitting a glass substrate on which optical multilayered films are formed to a substrate made of a material other than glass. CONSTITUTION:The glass substrate 2 on the both surfaces of which the optical multilayered films 1 are formed is stuck on the substrate 3 that has outside dimensions larger than those of the glass substrate 2 and consists of a material other than glass with the adhesive 4 such as UV-setting adhesive, thermosetting adhesive, etc. At this time, as the substrate 3 consisting of a material other than glass, a substrate in which the possibility of generating cracking or chipping is smaller than that in the glass substrate 2, e.g. a substrate consisting of a metal or high polymer material can be used. Thus, by using the substrate 3 that consists of a material other than glass and has a larger size than the glass substrate 2, the objective optical component in which cracking is hardly generated at the time of handling or fixing the component and which has improved handleability and the characteristics equivalent to those of an optical component having only a glass substrate can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光学部品及びそれを備
える光学装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical component and an optical device including the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の光学部品として、ガラス基板に光
学多層膜を蒸着して、干渉フィルタやビームスプリッタ
などに用いているものがある。この光学部品は、物質を
加熱し、蒸発させて、数100度に加熱したガラス基板
に蒸着する方法で作製される。基板を加熱することで、
光学多層膜の密着性を良くし、多層膜の層数を1面当り
15層以上に増やすことができる。そのため、少ない層
数においては実現できないような特性を得ることがで
き、設計の自由度が向上する。
2. Description of the Related Art As a conventional optical component, there is one in which an optical multilayer film is vapor-deposited on a glass substrate and used as an interference filter or a beam splitter. This optical component is manufactured by a method in which a substance is heated, evaporated, and deposited on a glass substrate heated to several hundred degrees. By heating the substrate,
The adhesion of the optical multilayer film can be improved, and the number of layers of the multilayer film can be increased to 15 layers or more per surface. Therefore, characteristics that cannot be realized with a small number of layers can be obtained, and the degree of freedom in design is improved.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガラス
基板の光学部品においては、例えば固定時など、カケや
割れの発生する可能性があり、その取り扱い性に問題が
ある。また、基板としてプラスチック基板を用いた例も
あるが、基板が加熱できないため、蒸着材料が限定され
るという問題点、さらに、密着性が悪くなり、1面あた
り15層程度の積層が限界であり、設計に制限がかかる
という問題点があった。以上のことから、ガラス基板に
おいては取り扱いに、また、プラスチック基板において
は設計に対する制限があることに問題点があった。
However, in the optical component of the glass substrate, there is a possibility of chipping or cracking at the time of fixing, and there is a problem in handleability. There is also an example in which a plastic substrate is used as the substrate, but the problem is that the vapor deposition material is limited because the substrate cannot be heated, and further, the adhesion is poor and there is a limit of about 15 layers per surface. However, there is a problem that the design is limited. From the above, there is a problem in that there are restrictions on handling of glass substrates and design of plastic substrates.

【0004】本発明は、このような従来の問題点に着目
してなされたもので、取り扱い性と設計の自由度とを共
に向上した光学部品及びそれを用いた光学装置を提供す
ることを目的としている。
The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide an optical component improved in both handleability and design freedom, and an optical device using the same. I am trying.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の光学部
品は、第1の基板と第2の基板を、第1の光学多層膜を
挟んで張り合わせた光学部品であって、第1の基板がガ
ラス以外の材料の基板であることを特徴とする。
An optical component according to a first aspect of the present invention is an optical component in which a first substrate and a second substrate are bonded together with a first optical multilayer film sandwiched therebetween. The substrate is made of a material other than glass.

【0006】請求項2に記載の光学部品は、第1の基板
は、第2の基板からはみ出た部分が存在することを特徴
とする。
The optical component according to a second aspect of the invention is characterized in that the first substrate has a portion protruding from the second substrate.

【0007】請求項3に記載の光学部品は、第1の光学
多層膜は、第1の基板に形成され、第1の光学多層膜と
第2の基板とを接着したことを特徴とする。
An optical component according to a third aspect is characterized in that the first optical multilayer film is formed on the first substrate and the first optical multilayer film and the second substrate are bonded to each other.

【0008】請求項4に記載の光学部品は、第1の光学
多層膜は、第2の基板に形成され、第1の光学多層膜と
第1の基板とを接着したことを特徴とする。
An optical component according to a fourth aspect is characterized in that the first optical multilayer film is formed on the second substrate, and the first optical multilayer film and the first substrate are bonded to each other.

【0009】請求項5に記載の光学部品は、第1の光学
多層膜は、第1の基板と第2の基板の両方に形成され、
第1の光学多層膜同士を接着したことを特徴とする。
In the optical component described in claim 5, the first optical multilayer film is formed on both the first substrate and the second substrate,
It is characterized in that the first optical multilayer films are adhered to each other.

【0010】請求項6に記載の光学部品は、第1の基板
の外側の面に、第2の光学多層膜をさらに形成したこと
を特徴とする。
An optical component according to a sixth aspect is characterized in that a second optical multilayer film is further formed on the outer surface of the first substrate.

【0011】請求項7に記載の光学部品は、第2の基板
の外側の面に、第2の光学多層膜を形成したことを特徴
とする。
An optical component according to a seventh aspect is characterized in that a second optical multilayer film is formed on the outer surface of the second substrate.

【0012】請求項8に記載の光学部品は、さらに第3
の基板を有し、第3の基板と第1もしくは第2の基板と
の間に、第2の光学多層膜を形成したことを特徴とす
る。
An optical component according to claim 8 further comprises a third component.
And the second optical multilayer film is formed between the third substrate and the first or second substrate.

【0013】請求項9に記載の光学部品は、第3の基板
の外側の面に、第3の光学多層膜を形成したことを特徴
とする。
An optical component according to a ninth aspect is characterized in that a third optical multilayer film is formed on the outer surface of the third substrate.

【0014】請求項10に記載の光学部品は、第1の基
板と第2の基板を接着剤により張り合わせ、少なくとも
一方の基板の外側の面に、第1の光学多層膜を形成した
光学部品であって、第1の基板がガラス以外の材料の基
板であることを特徴とする。
An optical component according to a tenth aspect is an optical component in which a first substrate and a second substrate are bonded together with an adhesive, and a first optical multilayer film is formed on the outer surface of at least one substrate. It is characterized in that the first substrate is a substrate made of a material other than glass.

【0015】請求項11に記載の光学部品は、第1の基
板は、第2の基板からはみ出た部分が存在することを特
徴とする。
An optical component according to an eleventh aspect is characterized in that the first substrate has a portion protruding from the second substrate.

【0016】請求項12に記載の光学部品は、第1の基
板と第2の基板は、ほぼ同じ屈折率を有し、第1の基板
と第2の基板の間には、第1の光学多層膜が存在せず、
基板と接着剤との屈折率の差が0.1以下であることを
特徴とする。
In the optical component according to the twelfth aspect, the first substrate and the second substrate have substantially the same refractive index, and the first optical element is provided between the first substrate and the second substrate. There is no multilayer film,
The difference in the refractive index between the substrate and the adhesive is 0.1 or less.

【0017】請求項13に記載の光学部品は、第1の基
板と第2の基板のうち、第1の光学多層膜が形成されて
いない方の外側の面に、第2の光学多層膜を形成したこ
とを特徴とする。
According to a thirteenth aspect of the present invention, in the optical component described above, the second optical multilayer film is formed on the outer surface of the first substrate and the second substrate on which the first optical multilayer film is not formed. It is characterized by being formed.

【0018】請求項14に記載の光学部品は、第2の基
板もガラス以外の材料の基板であることを特徴とする。
An optical component according to a fourteenth aspect is characterized in that the second substrate is also a substrate made of a material other than glass.

【0019】請求項15に記載の光学部品は、第1の基
板と第2の基板のうち、少なくとも一方が、着色透光性
基板であることを特徴とする。
According to a fifteenth aspect of the present invention, at least one of the first substrate and the second substrate is a colored translucent substrate.

【0020】請求項16に記載の光学部品は、第1の基
板と第2の基板のうち、少なくとも一方の基板に、開口
が設けられていることを特徴とする。
An optical component according to a sixteenth aspect is characterized in that an opening is provided in at least one of the first substrate and the second substrate.

【0021】請求項17に記載の光学部品は、第1の光
学多層膜と第2の光学多層膜によって、波長の異なる3
つの光に分離する機能を有することを特徴とする。
The optical component according to the seventeenth aspect is characterized in that the first optical multilayer film and the second optical multilayer film have different wavelengths.
It is characterized by having a function of separating into two lights.

【0022】請求項18に記載の光学部品は、第1の光
学多層膜と第2の光学多層膜によって、P偏光成分、S
偏光成分、P・S混合成分の、3つの光に分離する機能
を有することを特徴とする。
In the optical component according to the eighteenth aspect, the P-polarized component, S, and S are formed by the first optical multilayer film and the second optical multilayer film.
It is characterized by having a function of separating a polarized light component and a P / S mixed component into three lights.

【0023】請求項19に記載の光学部品は、第1、第
2および第3の光学多層膜によって、性質の異なる4つ
の光ビームに分離することを特徴とする。
An optical component according to a nineteenth aspect is characterized in that it is divided into four light beams having different properties by the first, second and third optical multilayer films.

【0024】請求項20に記載の光学装置は、請求項6
乃至9または13のいずれかに記載の光学部品を備えた
光学装置であって、光学部品に入射した光を、複数箇所
に形成された多層膜によってそれぞれ反射して、複数の
光ビームに分離し、光学部品と同一側に配置された複数
の受光部によって、それぞれ受光することを特徴とす
る。
An optical device according to claim 20 is the optical device according to claim 6.
14. An optical device comprising the optical component according to any one of 9 to 13 or 13, wherein the light incident on the optical component is reflected by a multilayer film formed at a plurality of positions, and separated into a plurality of light beams. , A plurality of light receiving portions arranged on the same side as the optical components respectively receive light.

【0025】請求項21に記載の光学装置は、請求項6
乃至9または13のいずれかに記載の光学部品を備えた
光学装置であって、光学部品と同一側に配置された複数
の発光部からそれぞれ出射された複数の光ビームを、複
数箇所に形成された多層膜によってそれぞれ反射して合
成することを特徴とする。
The optical device according to claim 21 is the optical device according to claim 6.
An optical device comprising the optical component according to any one of 9 to 13 or 13, wherein a plurality of light beams emitted from a plurality of light emitting units arranged on the same side as the optical component are formed at a plurality of locations. It is characterized in that they are reflected and synthesized by different multilayer films.

【0026】請求項22に記載の光学装置は、請求項1
乃至19のいずれかの光学部品を備えたことを特徴とす
る。
The optical device according to claim 22 is the optical device according to claim 1.
It is characterized by including any one of the optical components 1 to 19.

【0027】請求項23に記載の光学装置は、光学部品
の第1の基板と第2の基板のうち、ガラス材料以外の基
板によって、光学部品を他の装置に取り付けたことを特
徴とする。
An optical device according to a twenty-third aspect is characterized in that the optical component is attached to another device by a substrate other than a glass material among the first substrate and the second substrate of the optical component.

【0028】請求項24に記載の光学装置は、光学部品
を発散光路中もしくは収束光路中に配置したことを特徴
とする。
The optical device according to the twenty-fourth aspect is characterized in that the optical component is arranged in the divergent optical path or the convergent optical path.

【0029】請求項25に記載の光学装置は、光学部品
を透過もしくは反射した光を受光する受光手段をさらに
備え、物体の物理的性質もしくは状態を検知することを
特徴とする。
An optical device according to a twenty-fifth aspect of the present invention further comprises a light receiving means for receiving the light transmitted or reflected by the optical component, and detects the physical property or state of the object.

【0030】[0030]

【作用】上記構成の光学部品及びそれを備えた光学装置
においては、光学多層膜を蒸着したガラス基板の光学部
品を、そのガラス基板よりも大きく、ガラス以外の材料
からなる基板に取り付けるようにしたので、取り扱い性
が向上し、かつ特性としては、ガラス基板と同等のもの
が得られる。さらに、基板を重ねて光学多層膜を数個所
に設けることにより、色識別や偏光分離などができる。
In the optical component having the above structure and the optical device including the optical component, the optical component of the glass substrate on which the optical multilayer film is deposited is attached to the substrate which is larger than the glass substrate and is made of a material other than glass. Therefore, handleability is improved, and the same characteristics as those of the glass substrate can be obtained. Furthermore, by stacking substrates and providing optical multilayer films at several places, color identification and polarization separation can be performed.

【0031】[0031]

【実施例】以下、本発明の光学部品及びそれを備えた光
学装置の実施例を、図面を参照して説明する。
Embodiments of the optical component of the present invention and an optical device having the same will be described below with reference to the drawings.

【0032】図1に、本発明の光学部品の第1の実施例
の構成を示す。図1において、両面に光学多層膜1が形
成されたガラス基板2は、ガラス基板2よりも外形寸法
が大きく、ガラス以外の材料からなる基板3に、UV硬
化型接着剤や熱硬化型接着剤などの接着剤4で接着され
ている。ここで、ガラス以外の材料からなる基板3は、
ガラス基板2よりも割れやカケが生じにくい基板、例え
ば金属製の基板や高分子材料などからなる基板である。
FIG. 1 shows the configuration of a first embodiment of the optical component of the present invention. In FIG. 1, a glass substrate 2 having an optical multilayer film 1 formed on both sides has a larger outer dimension than the glass substrate 2, and a substrate 3 made of a material other than glass has a UV curable adhesive or a thermosetting adhesive. It is adhered with an adhesive 4 such as. Here, the substrate 3 made of a material other than glass is
It is a substrate that is less likely to be cracked or chipped than the glass substrate 2, for example, a substrate made of metal or a substrate made of a polymer material.

【0033】本実施例によれば、ガラス以外の材料から
なる基板3が、ガラス基板2よりも大きいので、取り扱
いや固定時に割れ難く、取り扱い性が向上し、しかも従
来のガラス基板のみの光学部品と同等の特性が得られ
る。
According to this embodiment, since the substrate 3 made of a material other than glass is larger than the glass substrate 2, it is hard to break during handling and fixing, the handling is improved, and the conventional optical component using only the glass substrate. The characteristics equivalent to are obtained.

【0034】図2に、本発明の光学部品の第2の実施例
の構成を示す。本実施例の構成も第1の実施例と同様で
あるが、金属製の基板3の中央部に、穴3aが形成され
ている。このように構成された光学部品5は、発光素子
6から発する光の光路上に、光軸7に対して45度の角
度に配置されており、表面側の光学多層膜1aで反射し
た光は、第1の受光素子8aで受光され、内面側の光学
多層膜1bで反射した光は、第2の受光素子8bで受光
される。光学多層膜1a,1bを透過した光は、基板3
の穴3aを通って、第3の受光素子8cで受光される。
FIG. 2 shows the configuration of the second embodiment of the optical component of the present invention. The structure of this embodiment is similar to that of the first embodiment, but a hole 3a is formed in the central portion of the metal substrate 3. The optical component 5 configured in this way is arranged on the optical path of the light emitted from the light emitting element 6 at an angle of 45 degrees with respect to the optical axis 7, and the light reflected by the optical multilayer film 1a on the surface side is The light received by the first light receiving element 8a and reflected by the optical multilayer film 1b on the inner surface side is received by the second light receiving element 8b. The light transmitted through the optical multilayer films 1a and 1b is transmitted to the substrate 3
The light is received by the third light receiving element 8c through the hole 3a.

【0035】本実施例によれば、従来の光学部品と同様
に、透過光も受光でき、穴3aの大きさを調節すること
により、開口として用いることもできる。
According to the present embodiment, transmitted light can be received similarly to the conventional optical component, and it can be used as an opening by adjusting the size of the hole 3a.

【0036】尚、光学多層膜1a,1bの特性を、図3
(a),(b),(c)に示す特性のうち、2つを選ぶ
ことにより、光識別できる光学部品を実現できる。図3
(a),(b),(c)は、それぞれ青色光、緑色光、
赤色光のみを反射し、他の色光を透過する特性を示す。
例えば光学多層膜1aの特性を(a)、光学多層膜1b
の特性を(b)にすると、第1の受光素子8a、第2の
受光素子8b、第3の受光素子8cは、それぞれ青色
光、緑色光、赤色光を受光することができる。また、図
4(a),(b),(c)は、それぞれ図3(a),
(b),(c)に対応する透過率及び反射率の特性曲線
である。
The characteristics of the optical multilayer films 1a and 1b are shown in FIG.
By selecting two of the characteristics shown in (a), (b), and (c), it is possible to realize an optical component capable of optical discrimination. Figure 3
(A), (b), (c) are blue light, green light,
It exhibits the characteristic of reflecting only red light and transmitting other color light.
For example, the characteristic of the optical multilayer film 1a is (a), the optical multilayer film 1b is
When the characteristic is set to (b), the first light receiving element 8a, the second light receiving element 8b, and the third light receiving element 8c can receive blue light, green light, and red light, respectively. Further, FIGS. 4A, 4B, and 4C are respectively shown in FIGS.
It is a characteristic curve of the transmittance and reflectance corresponding to (b) and (c).

【0037】図5に、本発明の光学部品の第3の実施例
の構成を示す。本実施例は、図1に示すガラス以外の材
料からなる基板3を、プラスチック基板11としたもの
である。
FIG. 5 shows the configuration of a third embodiment of the optical component of the present invention. In this embodiment, a plastic substrate 11 is used as the substrate 3 made of a material other than glass shown in FIG.

【0038】この実施例によれば、第1の実施例の場合
と同様に、取り扱い性が向上する。また、光学多層膜1
が両面に形成されたガラス基板2が、プラスチック基板
11に接着されているので、プラスチック基板のみの光
学部品に比べ、設計の自由度が向上する。
According to this embodiment, the handling property is improved as in the case of the first embodiment. In addition, the optical multilayer film 1
Since the glass substrate 2 formed on both sides is adhered to the plastic substrate 11, the degree of freedom in design is improved as compared with the optical component having only the plastic substrate.

【0039】図6に、本発明の光学部品の第4の実施例
の構成を示す。本実施例は、プラスチック基板11を、
PMMAやPCなどの透明性のものとした場合である。
この場合、図2に示す場合と同様に、透過光が利用で
き、色識別が可能となる。
FIG. 6 shows the configuration of a fourth embodiment of the optical component of the present invention. In this embodiment, the plastic substrate 11 is
This is the case when it is made transparent such as PMMA or PC.
In this case, as in the case shown in FIG. 2, transmitted light can be used and color discrimination can be performed.

【0040】図7に、本発明の光学部品の第5の実施例
の構成を示す。本実施例は、両面に光学多層膜1が形成
された2枚のガラス基板2a,2bを、それぞれ接着剤
4a,4bで、透明性のプラスチック基板11の両面に
接着したものである。
FIG. 7 shows the structure of a fifth embodiment of the optical component of the present invention. In this embodiment, two glass substrates 2a and 2b each having an optical multilayer film 1 formed on both sides are bonded to both sides of a transparent plastic substrate 11 with adhesives 4a and 4b, respectively.

【0041】ガラス基板2が1枚では、2面にしか光学
多層膜1を形成できないが、本実施例によると、4面に
形成が可能となり、設計の自由度が向上する。また透明
性のプラスチック基板11を用いることにより、光の損
失を無くし、効率よく利用できる。
With one glass substrate 2, the optical multilayer film 1 can be formed only on two surfaces, but according to this embodiment, it can be formed on four surfaces, and the degree of freedom in design is improved. Further, by using the transparent plastic substrate 11, it is possible to eliminate light loss and use it efficiently.

【0042】図8に、本発明の光学部品の第6の実施例
の構成を示す。本実施例は、両面に光学多層膜1が形成
された透明性プラスチック基板11を、接着剤4で2枚
積層し、接着したものである。
FIG. 8 shows the configuration of a sixth embodiment of the optical component of the present invention. In this embodiment, two transparent plastic substrates 11 each having an optical multilayer film 1 formed on both sides are laminated with an adhesive 4 and adhered.

【0043】この実施例においても、設計の自由度が向
上する。基板11の積層数を3枚以上に増やせば、設計
の自由度がさらに向上する。ただし、低温では積層数は
10数層が限度である。
Also in this embodiment, the degree of freedom in design is improved. If the number of stacked substrates 11 is increased to three or more, the degree of freedom in design is further improved. However, at a low temperature, the number of laminated layers is limited to 10 layers.

【0044】図9に、本発明の光学部品の第7の実施例
の構成を示す。本実施例は、ガラス基板2と接着剤4、
プラスチック基板11と接着剤4のそれぞれの屈折率が
0.1以下の物質としたものである。例えば、ガラス基
板2をn1=1.51のBK−7や白板ガラスなどと
し、接着剤をn2=1.5程度のUV硬化型接着剤など
とし、プラスチック基板11をn=1.49のPMMA
などとする。
FIG. 9 shows the configuration of a seventh embodiment of the optical component of the present invention. In this embodiment, the glass substrate 2 and the adhesive 4,
Each of the plastic substrate 11 and the adhesive 4 has a refractive index of 0.1 or less. For example, the glass substrate 2 is BK-7 or white plate glass with n 1 = 1.51, the adhesive is a UV curable adhesive with n 2 = 1.5, and the plastic substrate 11 is n = 1.49. PMMA
And so on.

【0045】一般に、屈折率naの物質から屈折率のnb
の物質に光が入射するとき、その境界面における反射率
Rは、次式で表わされる。 R={(na−nb)/(na+nb)}2×100(%) ・・・(1)
In general, a material having a refractive index n a is converted into a material having a refractive index n b.
When light is incident on the substance, the reflectance R at the interface is expressed by the following equation. R = {(n a -n b ) / (n a + n b)} 2 × 100 (%) ··· (1)

【0046】従って、屈折率差(na−nb)が小さい
程、反射率Rが小さくなる。上記の各物質を用いると、
それぞれの境界面における反射率は0.001%とな
り、反射の影響は殆どない。
[0046] Thus, as the refractive index difference (n a -n b) it is small, the reflectivity R becomes smaller. Using each of the above substances,
The reflectance at each boundary surface is 0.001%, and there is almost no influence of reflection.

【0047】本実施例によれば、ガラス基板2と接着剤
4、プラスチック基板11と接着剤4のそれぞれの境界
面で生じる反射の影響を低減することができ、光学多層
膜1の透過光及び反射光を、少ない損失で用いることが
できる。
According to the present embodiment, it is possible to reduce the influence of reflection occurring at the boundary surfaces of the glass substrate 2 and the adhesive 4, and between the plastic substrate 11 and the adhesive 4, and the transmitted light of the optical multilayer film 1 and The reflected light can be used with low loss.

【0048】図10に、本発明の光学部品の第8の実施
例の構成を示す。本実施例は、ガラス基板2の片面に光
学多層膜1を形成し、他の片面に反射防止膜21aを形
成し、かつ透明性プラスチック基板11の両面に、それ
ぞれ反射防止膜21b,21cを形成したものである。
そして、2つの基板2,11を、反射防止膜21a,2
1bが接するように、接着剤4で接着してある。
FIG. 10 shows the structure of an eighth embodiment of the optical component of the present invention. In this embodiment, the optical multilayer film 1 is formed on one surface of the glass substrate 2, the antireflection film 21a is formed on the other surface, and the antireflection films 21b and 21c are formed on both surfaces of the transparent plastic substrate 11, respectively. It was done.
Then, the two substrates 2 and 11 are connected to the antireflection films 21a and 2a.
It is adhered with an adhesive 4 so that 1b is in contact.

【0049】この実施例によれば、ガラス基板2と接着
剤4、接着剤4とプラスチック基板11、プラスチック
基板11と空気のそれぞれの間で生じる反射を、反射防
止膜21a,21b,21cにより防ぐようにしたの
で、屈折率を考慮しないで任意の基板2,11を用いて
も、反射の影響を除去することができ、光学多層膜1の
透過光及び反射光を少ない損失で用いることができる。
According to this embodiment, the antireflection films 21a, 21b and 21c prevent reflections between the glass substrate 2 and the adhesive 4, the adhesive 4 and the plastic substrate 11, and the plastic substrate 11 and the air. Since this is done, the influence of reflection can be eliminated even if any substrate 2, 11 is used without considering the refractive index, and the transmitted light and reflected light of the optical multilayer film 1 can be used with a small loss. .

【0050】図11に、本発明の光学部品の第9の実施
例の構成を示す。本実施例の構成は、図6に示す第4の
実施例と同様であるが、プラスチック基板11のガラス
基板2と反対側の面に、透明導電膜31が形成されてい
る。透明導電膜31の具体例としては、ITO(Indian
−Tin−Oxide)やZAO(ZnO−Al23)などがあ
る。
FIG. 11 shows the configuration of the ninth embodiment of the optical component of the present invention. The structure of this embodiment is similar to that of the fourth embodiment shown in FIG. 6, but a transparent conductive film 31 is formed on the surface of the plastic substrate 11 opposite to the glass substrate 2. As a specific example of the transparent conductive film 31, ITO (Indian)
-TiN-Oxide) and ZAO (ZnO-Al 2 O 3 ) , and the like.

【0051】例えば光ファイバを用いて、受光部へ光を
導くときのように光量が少ない場合、回路の調節により
少量の光でも検知できるようにしている。このとき、通
常は、検知しない微少な電磁波も検知してしまい、ノイ
ズ成分となる。しかし、本実施例による光学部品を、光
ファイバと受光素子との間に配置し、プラスチック基板
11で固定し、透明導電膜31をグランドと接続するこ
とにより、ノイズ成分となる電磁波の誘導を防ぐことが
できる。
For example, when the amount of light is small, such as when the light is guided to the light receiving portion using an optical fiber, the circuit is adjusted so that a small amount of light can be detected. At this time, a minute electromagnetic wave that is not normally detected is also detected and becomes a noise component. However, by arranging the optical component according to the present embodiment between the optical fiber and the light receiving element, fixing it with the plastic substrate 11, and connecting the transparent conductive film 31 to the ground, the induction of electromagnetic waves that become a noise component is prevented. be able to.

【0052】図12に、本発明の光学部品の第10の実
施例の構成を示す。本実施例の構成は、図5に示す第3
の実施例と同様であるが、図12(b)に示すように、
光学多層膜1の接着剤4と接する層1aの膜材料を、H
fO2またはHfとした。
FIG. 12 shows the structure of a tenth embodiment of the optical component of the present invention. The configuration of this embodiment has a third configuration shown in FIG.
12B, but as shown in FIG.
The film material of the layer 1a in contact with the adhesive 4 of the optical multilayer film 1 is set to H
It was fO 2 or Hf.

【0053】光学多層膜1の接着剤4と接する層1aの
膜材料にTiO2を用いると、接着剤4の水分などと反
応して、光学多層膜1の特性を変えることがあるが、こ
の膜材料を接着剤4に対して比較的安定なHfO2やH
fを用いることにより、接着剤4による光学多層膜1の
特性の変化を低減することができる。
When TiO 2 is used as the film material of the layer 1a in contact with the adhesive 4 of the optical multilayer film 1, the characteristics of the optical multilayer film 1 may be changed by reacting with the moisture of the adhesive 4 and the like. HfO 2 and H that are relatively stable to the adhesive 4
By using f, it is possible to reduce changes in the characteristics of the optical multilayer film 1 due to the adhesive 4.

【0054】尚、この膜材料として、HfO2やHfの
他に、SiO2、Zr、ZrO2、金属膜などを用いて
も、接着剤4の影響を低減することができる。
The effect of the adhesive 4 can be reduced by using SiO 2 , Zr, ZrO 2 , a metal film or the like in addition to HfO 2 and Hf as the film material.

【0055】図13に、本発明の光学部品の第11の実
施例の構成を示す。本実施例の構成は、図5に示す第3
の実施例と同様であるが、プラスチック基板11にとし
て、所定の波長領域の光を吸収することで長波長透過フ
ィルタの特性を有する色プラスチック基板41を用い
た。光学多層膜1の透過率Taに短波長透過フィルタの
特性を持たせ、色プラスチック基板41の透過率Tbに
長波長透過フィルタの特性を持たせたとき、光学部品5
の透過率Tは、Ta×Tbとなり、バンドパスフィルタ
の透過率となる。図14に、光学多層膜1、色プラスチ
ック基板41及びバンドパスフィルタの透過率の特性を
示す。
FIG. 13 shows the structure of an eleventh embodiment of the optical component of the present invention. The configuration of this embodiment has a third configuration shown in FIG.
In the same manner as in Example 1, a color plastic substrate 41 having the characteristics of a long wavelength transmission filter by absorbing light in a predetermined wavelength range was used as the plastic substrate 11. When the transmittance Ta of the optical multilayer film 1 has the characteristics of a short wavelength transmission filter and the transmittance Tb of the colored plastic substrate 41 has the characteristics of a long wavelength transmission filter, the optical component 5
Has a transmittance T of Ta × Tb, which is the transmittance of the bandpass filter. FIG. 14 shows the transmittance characteristics of the optical multilayer film 1, the color plastic substrate 41, and the bandpass filter.

【0056】図15に、第11の実施例による光学部品
42を備えた光学装置の一例の構成を示す。図15にお
いて、発光素子6から発した光は、投光レンズ43を通
って対象物体44へ投光される。対象物体44が存在す
ると、対象物体44で光は反射し、受光レンズ45を通
り、さらに光学部品42を通って、受光素子8で受光さ
れる。対象物体44が存在しないと、対象物体44での
反射の光はなく、受光されない。この受光の有無によっ
て、対象物体44の有無を判別する。このとき、光学部
品42はバンドパスフィルタの特性を有するので、不必
要な光の受光を減らすことができ、外乱光に強い光学装
置となる。
FIG. 15 shows an example of the configuration of an optical device including the optical component 42 according to the eleventh embodiment. In FIG. 15, the light emitted from the light emitting element 6 passes through the light projecting lens 43 and is projected onto the target object 44. When the target object 44 exists, light is reflected by the target object 44, passes through the light receiving lens 45, further passes through the optical component 42, and is received by the light receiving element 8. If the target object 44 does not exist, there is no light reflected by the target object 44 and it is not received. The presence / absence of the target object 44 is determined based on the presence / absence of the received light. At this time, since the optical component 42 has the characteristic of a bandpass filter, it is possible to reduce the reception of unnecessary light, and the optical device is resistant to ambient light.

【0057】図16に、本発明の光学部品の第12の実
施例の構成を示す。本実施例は、光学多層膜1が形成さ
れていない第1の基板51aを、光学多層膜1が形成さ
れている第2の基板51bに、光学多層膜1を挟んで接
着して構成したものである。従って、光は基板51a側
から入射し、基板51aを通った後に、光学多層膜1に
入射する。
FIG. 16 shows the structure of the twelfth embodiment of the optical component of the present invention. In the present embodiment, the first substrate 51a on which the optical multilayer film 1 is not formed is bonded to the second substrate 51b on which the optical multilayer film 1 is formed with the optical multilayer film 1 interposed therebetween. Is. Therefore, the light enters from the side of the substrate 51a, passes through the substrate 51a, and then enters the optical multilayer film 1.

【0058】光学多層膜1は、光の入射角範囲が大きく
なるにつれて、特性の変化の度合も大きくなる。従っ
て、広い入射角範囲にわたって入射角依存性の少ない特
性を得るための設計は困難である。本実施例では、光学
多層膜1への入射角βは、光が基板51aを通って光学
多層膜1へ入射するため、従来の光学多層膜1へ直接入
射する入射角αに比べて小さくなる。例えば空気の屈折
率n1=1、基板51の屈折率n2=1.5、α=10度
とすると、スネルの法則n1sinα=n2sinβによ
り、β=6.6度となる。従って、光学多層膜1への光
の入射角範囲が小さくなり、入射角依存性の少ない特性
を得るための設計が容易となる。この結果、本実施例に
よる光学部品を発散及び収束光路中に配置したとき、よ
り良好な特性を得ることができる。
In the optical multilayer film 1, the degree of change in characteristics also increases as the incident angle range of light increases. Therefore, it is difficult to design to obtain the characteristic that the incident angle dependence is small over a wide incident angle range. In the present embodiment, the incident angle β to the optical multilayer film 1 is smaller than the incident angle α directly incident to the optical multilayer film 1 of the related art because light enters the optical multilayer film 1 through the substrate 51a. . For example, assuming that the refractive index of air n 1 = 1 and the refractive index of the substrate 51 n 2 = 1.5 and α = 10 degrees, β = 6.6 degrees according to Snell's law n 1 sin α = n 2 sin β. Therefore, the incident angle range of the light on the optical multilayer film 1 becomes small, and the design for obtaining the characteristic with little dependency on the incident angle becomes easy. As a result, better characteristics can be obtained when the optical component according to the present embodiment is arranged in the divergent and convergent optical paths.

【0059】図17に、本発明の光学部品の第13の実
施例及びこの光学部品を用いた光学装置の一例の構成を
示す。本実施例による光学部品の構成は、図16に示す
第12の実施例とほぼ同様であるが、基板51は、51
a,51b,51cと3枚で構成されており、それぞれ
の基板間に、光学多層膜1a,1bが形成されている。
また、基板51bの厚さを0.3mm以下とし、光学多
層膜1aは入射角範囲θの斜線部52aの光に対して、
また光学多層膜1bは入射角θの斜線部52bの光に対
してそれぞれ設計されている。そして、この光学部品5
3を広り角2θの収束光路中に配置して、光学多層膜1
aで反射した光は第1の受光素子8aで受光し、光学多
層膜1bで反射した光は第2の受光素子8bで受光する
ようにしている。
FIG. 17 shows the structure of an optical component according to a thirteenth embodiment of the present invention and an example of an optical device using this optical component. The structure of the optical component according to the present embodiment is almost the same as that of the twelfth embodiment shown in FIG.
a, 51b, 51c, and three sheets, and optical multilayer films 1a, 1b are formed between the respective substrates.
In addition, the thickness of the substrate 51b is set to 0.3 mm or less, and the optical multilayer film 1a is provided with respect to the light of the shaded portion 52a in the incident angle range θ.
Further, the optical multilayer film 1b is designed for the light of the hatched portion 52b having the incident angle θ. And this optical component 5
3 is arranged in the convergent optical path of the spread angle 2θ, and the optical multilayer film 1
The light reflected by a is received by the first light receiving element 8a, and the light reflected by the optical multilayer film 1b is received by the second light receiving element 8b.

【0060】本実施例によれば、図16に示す第12の
実施例の効果に加えて、さらに良好な光学的特性を得る
ことができる。すなわち、発散及び収束光路中に光学部
品53を配置したとき、広り角2θの光をθに2分割す
ることにより、さらに入射角範囲を小さくすることがで
きる。
According to the present embodiment, in addition to the effect of the twelfth embodiment shown in FIG. 16, it is possible to obtain further excellent optical characteristics. That is, when the optical component 53 is arranged in the divergent and convergent optical paths, the incident angle range can be further reduced by dividing the light having the spread angle 2θ into two.

【0061】また、従来の基板1枚の構成では、光学多
層膜1を蒸着するとき、基板の厚さが0.3mm以下だ
と、反るおそれがあるので、0.3mm以上にする必要
がある。しかしながら、本実施例の光学部品53のよう
に、3枚の基板51間に光学多層膜1を蒸着せずに挟持
することにより、図18に示すように、厚さb(0.3
mm)以下の基板51bを用いることができる。この結
果、受光素子8a,8b間の距離aを小さくすることが
でき、2個の受光素子8a,8bを用いて光学装置の小
型化を図ることができる。
In the conventional one-substrate structure, when the optical multilayer film 1 is vapor-deposited, if the substrate has a thickness of 0.3 mm or less, it may warp. is there. However, like the optical component 53 of the present embodiment, by sandwiching the optical multilayer film 1 between the three substrates 51 without vapor deposition, as shown in FIG. 18, the thickness b (0.3
Substrate 51b having a thickness of less than 10 mm can be used. As a result, the distance a between the light receiving elements 8a and 8b can be reduced, and the size of the optical device can be reduced by using the two light receiving elements 8a and 8b.

【0062】また、1チップからなり、感度のばらつき
が小さい2分割受光素子8を用いることができるので、
さらに小型となる。さらに光学多層膜1a,1bで反射
した光を光ファイバを用いて受光素子8へ導くこともで
き、ヘッド部分を小型化し、ノイズによる影響を低減す
ることもできる。
Further, since it is possible to use the two-divided light receiving element 8 which is composed of one chip and has a small variation in sensitivity,
It will be even smaller. Further, the light reflected by the optical multilayer films 1a and 1b can be guided to the light receiving element 8 by using an optical fiber, and the head portion can be downsized and the influence of noise can be reduced.

【0063】以上、本実施例における受光部の効果につ
いて述べたが、投光部についても同様の効果が得られ
る。すなわち、図19に示すように構成された光学装置
において、異なる波長領域の2つの発光素子としてのL
ED6a,6bから発せられた光は、本実施例の光学部
品53で反射し、投光レンズ43を通ってリフレクタ5
4へ投光される。投光された光は、リフレクタ54で反
射し、受光レンズ45を通って、受光素子としてのPD
8で受光される。ここでリフレクタ54は、2つのLE
D6a,6bから発する光のうち、1つの光しか反射し
ない構造となっている。また、光学部品53は、光学多
層膜1aではLED6aの光を、光学多層膜1bではL
ED6bの光をそれぞれ反射する特性を有する。
Although the effect of the light receiving portion in the present embodiment has been described above, the same effect can be obtained in the light emitting portion. That is, in the optical device configured as shown in FIG. 19, L as two light emitting elements in different wavelength regions is used.
The light emitted from the EDs 6a and 6b is reflected by the optical component 53 of this embodiment, passes through the light projecting lens 43, and the reflector 5 is reflected.
It is projected to 4. The projected light is reflected by the reflector 54, passes through the light receiving lens 45, and is transmitted to a PD as a light receiving element.
Light is received at 8. Here, the reflector 54 includes two LEs.
Of the light emitted from D6a and 6b, only one light is reflected. Further, the optical component 53 uses the light of the LED 6a in the optical multilayer film 1a and L in the optical multilayer film 1b.
It has the characteristic of reflecting the light of the ED 6b.

【0064】上記のように構成された光学装置の処理系
を、図20を参照して説明する。主発振回路61aによ
り、発振回路61bまたは61cを時間をずらして発振
させ、LED6aまたは6bを時間をずらして別々に発
光させて投光し、PD8で受光して、その光を電流に変
える。この電流をアンプ62で増幅し、電圧に変換す
る。この電圧を、発振回路61bまたは61cの出力に
同期して、S/H(Sample hold)回路63aまたは6
3bでそれぞれサンプルホールドすることで、LED6
aまたは6bの受光信号電圧V1またはV2を得る。
A processing system of the optical device configured as described above will be described with reference to FIG. The main oscillating circuit 61a causes the oscillating circuit 61b or 61c to oscillate with a time lag, and the LED 6a or 6b to emit light separately with a time lag to emit light, which is received by the PD 8 and converted into a current. This current is amplified by the amplifier 62 and converted into a voltage. This voltage is synchronized with the output of the oscillation circuit 61b or 61c, and the S / H (Sample hold) circuit 63a or 6
LED6 by performing sample hold in 3b respectively
The light reception signal voltage V 1 or V 2 of a or 6b is obtained.

【0065】次に、減算回路64aで(V1−V2)を、
加算回路64bで(V1+V2)を演算する。第1の比較
回路65aで、(V1−V2)と、ある閾値Vth1とを
比較し、(V1−V2)>Vth1のときH、それ以外の
ときLを出力する。また、第2の比較回路65bで、
(V1+V2)と、ある閾値Vth2とを比較し、(V1
+V2)>Vth2のときH、それ以外のときLを出力
する。そしてNAND回路66で、両方がHのとき、対
象物体44なしとしてLを出力し、それ以外のときは、
対象物体44ありとしてHを出力する。
Next, the subtraction circuit 64a calculates (V 1 -V 2 )
The adder circuit 64b calculates (V 1 + V 2 ). The first comparison circuit 65a compares (V 1 −V 2 ) with a certain threshold value Vth1 and outputs H when (V 1 −V 2 )> Vth1 and outputs L otherwise. In addition, in the second comparison circuit 65b,
(V 1 + V 2 ) is compared with a certain threshold value Vth2, and (V 1
Outputs H when + V 2 )> Vth2, and outputs L otherwise. Then, in the NAND circuit 66, when both are H, L is output without the target object 44, and in other cases,
H is output assuming that the target object 44 is present.

【0066】ここで、第1の比較回路65aの閾値Vt
h1は、対象物体44がない場合と、対象物体44が鏡
面の場合の、それぞれの(V1−V2)の間の値とし、第
2の比較回路65bの閾値Vth2は、対象物体44が
ない場合の(V1+V2)よりやや小さい値とする。
Here, the threshold value Vt of the first comparison circuit 65a
h1 is a value between (V 1 −V 2 ) when the target object 44 is absent and when the target object 44 is a mirror surface, and the threshold Vth2 of the second comparison circuit 65b is The value is set to be slightly smaller than (V 1 + V 2 ) when there is no such value.

【0067】[0067]

【表1】 [Table 1]

【0068】LED6a,6bの投光出力及び指向性が
等しいと仮定すると、対象物体44がない場合、リフレ
クタ54からの反射光のうち、LED6aの成分がLE
D6bより大きくなるため、表1に示すように、第1の
比較回路65aの出力はH、また第2の比較回路65b
の出力もHとなり、対象物体44なしと判別する。ま
た、対象物体44が鏡面の場合や、近距離に白紙のよう
な反射率の高い対象物体44がある場合は、LED6
a,6bの反射光量は等しく、第1の比較回路65aの
出力はLとなり、対象物体44ありと判別する。一方、
反射率が低い対象物体44がある場合、LED6a,6
bの反射光量の大小に関わらず、第2の比較回路65b
の出力がLとなり、従来と同様に対象物体44ありと判
別する。
Assuming that the light emitting outputs and the directivities of the LEDs 6a and 6b are equal to each other, when there is no target object 44, the component of the LED 6a in the reflected light from the reflector 54 is LE.
Since it is larger than D6b, as shown in Table 1, the output of the first comparison circuit 65a is H and the output of the second comparison circuit 65b is H.
Also becomes H, and it is determined that there is no target object 44. Further, when the target object 44 is a mirror surface or when there is a target object 44 having a high reflectance such as white paper in a short distance, the LED 6
The reflected light amounts of a and 6b are equal, the output of the first comparison circuit 65a is L, and it is determined that the target object 44 is present. on the other hand,
When there is a target object 44 having a low reflectance, the LEDs 6a, 6
The second comparison circuit 65b regardless of the magnitude of the reflected light amount of b.
Becomes L, and it is determined that the target object 44 is present as in the conventional case.

【0069】従って、対象物体44が金属のような鏡面
特性を有する場合、及び白紙のような高反射率の対象物
体44が近距離にある場合でも、2つの光の反射光量の
大小により、対象物体44ありと判別でき、第2の比較
回路65bの閾値Vth2を下げることができる。従っ
て、リフレクタ54の設置距離を長くし、受光量が小さ
くなっても、リフレクタ54と対象物体44の判別がで
き、長距離化を図ることができる。
Therefore, even when the target object 44 has a mirror-like characteristic such as metal, and even when the target object 44 having a high reflectance such as white paper is in a short distance, the target light amount of the two reflected lights is large or small. It can be determined that there is the object 44, and the threshold value Vth2 of the second comparison circuit 65b can be lowered. Therefore, even if the installation distance of the reflector 54 is increased and the amount of received light is reduced, the reflector 54 and the target object 44 can be discriminated from each other, and the distance can be increased.

【0070】図21および図22に、本実施例による光
学部品53を用いて対象物体44の表面状態などを検知
する光学装置の一例の構成を示す。図21に示す光学系
において、LED6から発せられた光は投光レンズ43
を通り、偏光フィルタ55でP偏光もしくはS偏光のい
ずれかの光となり、対象物体44へ投光される。投光さ
れた光は対象物体44で反射され、受光レンズ45を通
り、本実施例の光学部品53で2つに分割され、それぞ
れPD6a,6bで受光される。ただし光学部品53
は、対象物体44からの光をP偏光とS偏光に分割す
る。
21 and 22 show an example of the configuration of an optical device for detecting the surface state of the target object 44 using the optical component 53 according to this embodiment. In the optical system shown in FIG. 21, the light emitted from the LED 6 is emitted by the projection lens 43.
After passing through, the light becomes either P-polarized light or S-polarized light by the polarization filter 55 and is projected onto the target object 44. The projected light is reflected by the target object 44, passes through the light receiving lens 45, is divided into two by the optical component 53 of this embodiment, and is received by the PDs 6a and 6b, respectively. However, optical parts 53
Divides the light from the target object 44 into P-polarized light and S-polarized light.

【0071】図22に示す処理系において、PD6a,
6bで受光した光を電流に変換し、それぞれアンプ62
a,62bで、その電流を電圧V1,V2に変える。次に
割算回路67で(V1/V2)の演算を行い、判別回路6
8で(V1/V2)を対象物体44の表面状態などとして
出力する。このとき、1つの偏光のみを対象物体44に
投光すると、対象物体44で反射するとき、対象物体4
4の表面状態などにより偏光が乱れる。この乱れの状態
の比をとることにより、表面状態などを検知することが
できる。
In the processing system shown in FIG. 22, the PD 6a,
The light received by 6b is converted into an electric current, and each is converted into an amplifier 62
The current is changed to voltages V 1 and V 2 at a and 62b. Next, the division circuit 67 calculates (V 1 / V 2 ), and the discrimination circuit 6
In step 8, (V 1 / V 2 ) is output as the surface state of the target object 44. At this time, when only one polarized light is projected onto the target object 44, when reflected by the target object 44, the target object 4
Polarization is disturbed due to the surface condition of No. 4, etc. The surface condition and the like can be detected by taking the ratio of the disordered states.

【0072】図23に、本発明の光学部品の第14の実
施例の構成を示す。本実施例は、2枚の基板3a,3b
を重ね、基板3aの表面に第1の光学多層膜1a、基板
3a,3b間に第2の光学多層膜1b、基板3bの表面
に第3の光学多層膜1cを形成したものである。
FIG. 23 shows the structure of a fourteenth embodiment of the optical component of the present invention. In this embodiment, two substrates 3a and 3b are used.
Are stacked to form a first optical multilayer film 1a on the surface of the substrate 3a, a second optical multilayer film 1b between the substrates 3a and 3b, and a third optical multilayer film 1c on the surface of the substrate 3b.

【0073】本実施例によれば、光を同一方向で3分割
することができ、受光素子を光学部品の近くに配置でき
るので、光学装置の小型化を図ることができる。
According to this embodiment, the light can be divided into three in the same direction, and the light receiving element can be arranged near the optical component, so that the optical device can be downsized.

【0074】また、図24に示すように、本実施例によ
る光学部品71に3角柱状の透明な基板72を接着し、
基板72に3個の受光素子8a,8b,8cを取り付け
ることにより、光学装置のモジュール化を図ることがで
きる。
Further, as shown in FIG. 24, a triangular prism-shaped transparent substrate 72 is adhered to the optical component 71 according to the present embodiment,
By mounting the three light receiving elements 8a, 8b, 8c on the substrate 72, the optical device can be modularized.

【0075】図25および図26に、本実施例の光学部
品71を用いた光学装置の一例の構成を示す。図25に
示す光学系において、赤色光を発光するLED(R)6
a、緑色光を発光するLED(G)6b、青色光を発光
するLED(B)6cから、それぞれ発した光を光学部
品71で結合させ、投光レンズ43を通して対象物体4
4へ投光する。この投光した光を対象物体44で反射さ
せ、受光レンズ45を通してPD8で受光する。
25 and 26 show the construction of an example of an optical device using the optical component 71 of this embodiment. In the optical system shown in FIG. 25, the LED (R) 6 that emits red light is used.
a, an LED (G) 6b that emits green light, and an LED (B) 6c that emits blue light, the emitted lights are combined by an optical component 71, and the target object 4 is passed through a projection lens 43.
Project to 4. The projected light is reflected by the target object 44 and is received by the PD 8 through the light receiving lens 45.

【0076】図26に示す処理回路において、主発振回
路72からの出力を3個の発振回路73a,73b,7
3cのいずれかに、時間をずらして出力し、発振回路7
3a,73bまたは73cが時間をずらし、別々にLE
D(R)6a,LED(G)6bまたはLED(B)6
cを発光させて投光する。次にPD8で受光した光を電
流に変換し、この電流をアンプ75で電圧に変える。こ
の電圧を、発振回路73a,73b,73cの出力とそ
れぞれ同期させた3個のS/H(Sample hold)回路7
6a,76b,、76cで、R,G,Bの電圧VR
G,VBに変換する。色識別回路77で、これらの3つ
の電圧VR,VG,VBの比をとることにより、色を識別
することができる。
In the processing circuit shown in FIG. 26, the output from the main oscillation circuit 72 is converted into three oscillation circuits 73a, 73b, 7
3c, and outputs the time-shifted signal to the oscillation circuit 7c.
3a, 73b or 73c staggered time, LE separately
D (R) 6a, LED (G) 6b or LED (B) 6
Emit c to emit light. Next, the light received by the PD 8 is converted into a current, and this current is converted into a voltage by the amplifier 75. Three S / H (Sample hold) circuits 7 that synchronize this voltage with the outputs of the oscillation circuits 73a, 73b, and 73c, respectively.
6a, at 76b ,, 76c, R, G, voltage V R of B,
Convert to V G and V B. In the color identification circuit 77, these three voltages V R, V G, by taking the ratio of V B, can be identified color.

【0077】図27および図28に、本実施例の光学部
品71を用いた光学装置の他の一例の構成を示す。図2
7に示す光学系において、白色光ランプ78から発光し
た光を投光レンズ43を通して対象物体44へ投光す
る。この投光した光を対象物体44で反射させ、受光レ
ンズ45を通して光学部品71で反射させて、赤色光、
緑色光、青色光に分割し、それぞれPD8a,8b,8
cで受光する、
27 and 28 show the configuration of another example of an optical device using the optical component 71 of this embodiment. Figure 2
In the optical system shown in FIG. 7, the light emitted from the white light lamp 78 is projected onto the target object 44 through the projection lens 43. The projected light is reflected by the target object 44, reflected by the optical component 71 through the light receiving lens 45, and red light,
Divided into green light and blue light, PD8a, 8b, 8 respectively
Receive light at c,

【0078】図28に示す処理系において、赤色光を受
光するPD(R)8aと緑色光を受光するPD(G)8
bと、青色光を受光するPD(B)8cのそれぞれ受光
した光を、それぞれアンプ75a,75b,75cで別
々に電圧VR,VG,VBに変換する。これらの3つの電
圧VR,VG,VBの比を色識別回路77でとることによ
り、色を識別することができる。
In the processing system shown in FIG. 28, PD (R) 8a for receiving red light and PD (G) 8 for receiving green light.
and b, converts light respectively received in PD (B) 8c for receiving blue light, respectively amplifiers 75a, 75b, separately 75c voltage V R, V G, to the V B. The color can be identified by the ratio of these three voltages V R , V G , and V B being taken by the color identifying circuit 77.

【0079】図23に示す光学部品71において、第1
の光学多層膜1aの特性を、S偏光成分の一部を反射
し、P偏光成分の一部また全部を透過する特性とし、第
2の光学多層膜1bの特性を、S偏光成分の一部または
全部を反射し、P偏光成分の一部を反射する特性とし、
第3の光学多層膜1cの特性を、S偏光成分を反射せ
ず、P偏光成分の一部または全部を反射する特性とする
ことにより、偏光分離が可能となり、ウォラストンプリ
ズムの代用として用いることができる。また、この光学
部品71を光ヘッドなどに用いることもできる。
In the optical component 71 shown in FIG. 23, the first
The characteristic of the optical multilayer film 1a is a characteristic of reflecting a part of the S-polarized component and transmitting a part or all of the P-polarized component, and the characteristic of the second optical multilayer film 1b is a characteristic of the S-polarized component. Or, it has a characteristic of reflecting all the light and reflecting a part of the P-polarized component,
By making the characteristic of the third optical multilayer film 1c such that it does not reflect the S-polarized light component but reflects part or all of the P-polarized light component, polarization separation becomes possible and it can be used as a substitute for the Wollaston prism. You can The optical component 71 can also be used for an optical head or the like.

【0080】図29に、本発明の光学部品の第15の実
施例の構成を示す。本実施例は、図23に示す第14の
実施例における基板3の数を3枚とし、基板3a,3
b,3cの外面及び中間の4個所に、それぞれ光学多層
膜1a,1b,1c,1dを形成したものである。
FIG. 29 shows the structure of a fifteenth embodiment of the optical component of the present invention. In this embodiment, the number of substrates 3 in the fourteenth embodiment shown in FIG.
Optical multilayer films 1a, 1b, 1c and 1d are formed on the outer surfaces of b and 3c and on the middle four positions.

【0081】本実施例によっても、第14の実施例と同
様に、光を同一方向で4分割でき、本実施例による光学
部品81を用いる光学装置の小型化を図ることができ
る。また、それぞれの光学多層膜1a,1b,1c,1
dの特性を、図30に示す特性とすることにより、対象
物体44の色識別が可能となり、表面状態の検知も可能
となる。図30における(a)は、青色光のみを反射す
る第4の光学多層膜1dの特性、同図(b)は、緑色光
のみを反射する第3の光学多層膜1cの特性、同図
(c)は、赤色光のみを反射する第2の光学多層膜1b
の特性、同図(d)は、赤外光のみを反射する第1の光
学多層膜1aの特性をそれぞれ示す。
According to this embodiment, as in the fourteenth embodiment, the light can be divided into four in the same direction, and the optical device using the optical component 81 according to this embodiment can be miniaturized. In addition, each optical multilayer film 1a, 1b, 1c, 1
By setting the characteristic of d to the characteristic shown in FIG. 30, the color of the target object 44 can be identified and the surface condition can be detected. 30A shows the characteristics of the fourth optical multilayer film 1d that reflects only blue light, and FIG. 30B shows the characteristics of the third optical multilayer film 1c that reflects only green light. c) is the second optical multilayer film 1b that reflects only red light
The characteristic of FIG. 3D shows the characteristic of the first optical multilayer film 1a which reflects only infrared light.

【0082】図31および図32に、本実施例の光学部
品81を用いた光学装置の一例の構成を示す。図31に
示す光学系において、赤外光を発光するLED(IR)
6a、赤色光を発光するLED(R)6b、緑色光を発
光するLER(G)6c、青色光を発光するLED
(B)6dからそれぞれ発光した光を光学部品81で結
合させて、投光レンズ43を通して対象物体44へ投光
する。この投光した光を対象物体44で反射させ、受光
レンズ45を通してPD8で受光する。
31 and 32 show the construction of an example of an optical device using the optical component 81 of this embodiment. In the optical system shown in FIG. 31, an LED (IR) that emits infrared light
6a, LED (R) 6b that emits red light, LER (G) 6c that emits green light, LED that emits blue light
(B) The lights respectively emitted from 6d are combined by the optical component 81 and projected onto the target object 44 through the projection lens 43. The projected light is reflected by the target object 44 and is received by the PD 8 through the light receiving lens 45.

【0083】図32に示す処理系において、主発振回路
82からの出力を、4個の発振回路83a,83b,8
3cまたは83dに、時間をずらして供給し、発振回路
83a乃至83dのいずれか1つを駆動し、LED(I
R)6a,LED(R)6b,LED(G)6cまたは
LED(B)6d別々にを発光させて投光する。次に、
PD8で受光した光を電流に変換し、この電流をアンプ
85で電圧に変える。この電圧を、発振回路83a,8
3b,83c,83dの出力とそれぞれ同期してS/H
(Sample hold)回路86a,86b,86cまたは8
6dでサンプルホールドし、IR,R,G,Bの電圧V
IR,VR,VG,VBに変換する。色識別回路87で、こ
れらのうち、3つの電圧VR,VG,VBの比をとること
により、色を識別することができる。
In the processing system shown in FIG. 32, the output from the main oscillating circuit 82 is converted into four oscillating circuits 83a, 83b, 8
3c or 83d are supplied with a time lag to drive any one of the oscillation circuits 83a to 83d, and the LED (I
The R) 6a, the LED (R) 6b, the LED (G) 6c, or the LED (B) 6d is separately emitted to emit light. next,
The light received by the PD 8 is converted into a current, and this current is converted into a voltage by the amplifier 85. This voltage is applied to the oscillation circuits 83a and 8a.
S / H in synchronization with the outputs of 3b, 83c, and 83d, respectively.
(Sample hold) circuit 86a, 86b, 86c or 8
Sample and hold at 6d, IR, R, G, B voltage V
Converting IR, V R, V G, to the V B. In the color identification circuit 87, of which three voltages V R, V G, by taking the ratio of V B, can be identified color.

【0084】また、表面状態検知回路88において、3
つの電圧VR,VG,VBと電圧VIRとの比をとることに
より、表面状態を検知することができる。ここで、対象
物体44に色光を投光するとき、その正反射光の強度
は、対象物体44の表面の粗さと色光の波長により異な
る。色光が一定波長の場合、対象物体44の表面粗さが
増すと、正反射光の強度は減少する。また、その減少量
は波長が長くなるにつれて減少する。このことを利用す
ると、対象物体44の表面粗さにより、赤外光に対する
赤色光、青色光、緑色光の強度比が変化し、この変化に
より表面状態を検知することができる。
In the surface state detection circuit 88, 3
One of the voltage V R, V G, by taking the ratio of V B and the voltage V IR, it is possible to detect the surface state. Here, when the colored light is projected onto the target object 44, the intensity of the specularly reflected light differs depending on the roughness of the surface of the target object 44 and the wavelength of the colored light. When the color light has a constant wavelength, the intensity of the specular reflection light decreases as the surface roughness of the target object 44 increases. Also, the amount of decrease decreases as the wavelength becomes longer. By utilizing this, the intensity ratio of the red light, the blue light, and the green light to the infrared light changes due to the surface roughness of the target object 44, and the surface state can be detected by this change.

【0085】図33および図34に、本実施例の光学部
品81を用いた光学装置の他の一例の構成を示す。図3
3に示す光学系において、白色光ランプ89から発光し
た光を投光レンズ43を通して対象物体44へ投光す
る。この投光した光を対象物体44で反射させ、受光レ
ンズ45を通して光学部品81で反射させて、赤外光、
赤色光、緑色光、青色光に分割し、それぞれPD8a,
8b,8c,8dで受光する。
33 and 34 show the configuration of another example of an optical device using the optical component 81 of this embodiment. Figure 3
In the optical system shown in FIG. 3, the light emitted from the white light lamp 89 is projected onto the target object 44 through the light projecting lens 43. The projected light is reflected by the target object 44, reflected by the optical component 81 through the light receiving lens 45, and infrared light,
It is divided into red light, green light, and blue light, and PD8a,
Light is received at 8b, 8c, and 8d.

【0086】図34に示す処理系において、赤外光を受
光するPD(IR)8aと、赤色光を受光するPD
(R)8bと、緑色光を受光するPD(G)8cと、青
色光を受光するPD(B)8dのそれぞれ受光した光
を、それぞれアンプ85a,85b,85c,85dで
別々に電圧VIR,VR,VG,VBに変換する。これらの
4つの電圧のうち、VR,VG,VBの比を色識別回路8
7でとることにより、色を識別することができる。ま
た、表面状態検知回路88で赤外光の電圧VIRと、赤、
緑、青の色光の電圧VR,VG,VBとの比をとることに
より、表面状態の検知することができる。
In the processing system shown in FIG. 34, a PD (IR) 8a for receiving infrared light and a PD for receiving red light.
(R) 8b and a PD (G) 8c for receiving green light, the light that each received a PD (B) 8d for receiving blue light, respectively amplifiers 85a, 85b, 85c, separately voltage V IR with 85d , V R , V G , V B. Of these four voltages, the ratio of V R , V G , and V B is determined by the color identification circuit 8
By taking the value in 7, the color can be identified. In addition, the surface state detection circuit 88 uses the infrared light voltage V IR and red,
The surface condition can be detected by taking the ratio with the voltages V R , V G , and V B of the green and blue color lights.

【0087】[0087]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光学部品
及びそれを備えた光学装置によれば、光学多層膜が形成
されたガラス基板をガラス以外の材料からなる基板に取
り付けて光学部品を構成し、この光学部品を物体の有無
などを検知する光学装置に備えたので、光学部品の取り
扱い性と設計の自由度を向上し、光学的特性の優れた光
学装置を提供することができる。
As described above, according to the optical component of the present invention and the optical device including the same, the glass substrate on which the optical multilayer film is formed is attached to the substrate made of a material other than glass to form the optical component. Since this optical component is configured and provided in an optical device that detects the presence or absence of an object, it is possible to improve the handleability of the optical component and the degree of freedom in design, and to provide an optical device having excellent optical characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光学部品の第1の実施例の構成を示す
側面図である。
FIG. 1 is a side view showing a configuration of a first embodiment of an optical component of the present invention.

【図2】本発明の光学部品の第2の実施例の構成を示す
説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing the configuration of a second embodiment of the optical component of the present invention.

【図3】図2の光学多層膜の特性を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing characteristics of the optical multilayer film of FIG.

【図4】図3の各光学多層膜の透過率及び反射率の特性
を示す線図である。
4 is a diagram showing characteristics of transmittance and reflectance of each optical multilayer film of FIG.

【図5】本発明の光学部品の第3の実施例の構成を示す
側面図である。
FIG. 5 is a side view showing the configuration of the third embodiment of the optical component of the present invention.

【図6】本発明の光学部品の第4の実施例の構成を示す
説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a configuration of a fourth embodiment of the optical component of the present invention.

【図7】本発明の光学部品の第5の実施例の構成を示す
側面図である。
FIG. 7 is a side view showing the configuration of a fifth embodiment of the optical component of the present invention.

【図8】本発明の光学部品の第6の実施例の構成を示す
側面図である。
FIG. 8 is a side view showing the configuration of a sixth embodiment of the optical component of the present invention.

【図9】本発明の光学部品の第7の実施例の構成を示す
側面図である。
FIG. 9 is a side view showing the configuration of a seventh embodiment of the optical component of the present invention.

【図10】本発明の光学部品の第8の実施例の構成を示
す側面図である。
FIG. 10 is a side view showing the configuration of an eighth embodiment of the optical component of the present invention.

【図11】本発明の光学部品の第9の実施例の構成を示
す側面図である。
FIG. 11 is a side view showing the configuration of the ninth embodiment of the optical component of the present invention.

【図12】本発明の光学部品の第10の実施例の構成を
示す側面図である。
FIG. 12 is a side view showing a configuration of a tenth embodiment of the optical component of the present invention.

【図13】本発明の光学部品の第11の実施例の構成を
示す側面図である。
FIG. 13 is a side view showing the configuration of an eleventh embodiment of the optical component of the present invention.

【図14】図13の各基板の透過率の特性を示す線図で
ある。
FIG. 14 is a diagram showing the characteristics of the transmittance of each substrate of FIG.

【図15】図13の光学部品を備えた光学装置の一例の
構成を示す説明図である。
FIG. 15 is an explanatory diagram illustrating a configuration of an example of an optical device including the optical component of FIG.

【図16】本発明の光学部品の第12の実施例の構成を
示す側面図である。
FIG. 16 is a side view showing the configuration of the twelfth embodiment of the optical component of the present invention.

【図17】本発明の光学部品の第13の実施例及びこの
光学部品を備えた光学装置の一例の構成を示す説明図で
ある。
FIG. 17 is an explanatory diagram showing a configuration of an example of an optical component according to a thirteenth embodiment of the present invention and an example of an optical device including the optical component.

【図18】図17の要部拡大図である。FIG. 18 is an enlarged view of a main part of FIG.

【図19】図17に示す光学部品を用いた光学装置の一
例の光学系の構成を示す説明図である。
FIG. 19 is an explanatory diagram showing a configuration of an optical system of an example of an optical device using the optical component shown in FIG.

【図20】図19の光学装置の処理系を示すブロック図
である。
20 is a block diagram showing a processing system of the optical device of FIG.

【図21】図17に示す光学部品を用いた光学装置の他
の一例の光学系の構成を示す説明図である。
FIG. 21 is an explanatory diagram showing a configuration of an optical system of another example of an optical device using the optical component shown in FIG.

【図22】図21の光学装置の処理系を示すブロック図
である。
22 is a block diagram showing a processing system of the optical device of FIG. 21. FIG.

【図23】本発明の光学部品の第14の実施例の構成を
示す側面図である。
FIG. 23 is a side view showing the configuration of the fourteenth embodiment of the optical component of the present invention.

【図24】図23に示す光学部品に受光素子を取り付け
た状態を示す側面図である。
24 is a side view showing a state in which a light receiving element is attached to the optical component shown in FIG.

【図25】図23に示す光学部品を備えた光学装置の一
例の光学系の構成を示す説明図である。
25 is an explanatory diagram showing a configuration of an optical system of an example of an optical device including the optical component shown in FIG.

【図26】図25の光学装置の処理系を示すブロック図
である。
FIG. 26 is a block diagram showing a processing system of the optical device of FIG. 25.

【図27】図23に示す光学部品を備えた光学装置の一
例の光学系の構成を示す説明図である。
FIG. 27 is an explanatory diagram showing a configuration of an optical system of an example of an optical device including the optical component shown in FIG. 23.

【図28】図27の光学装置の処理系を示すブロック図
である。
28 is a block diagram showing a processing system of the optical device of FIG. 27. FIG.

【図29】本発明の光学部品の第14の実施例の構成を
示す側面図である。
FIG. 29 is a side view showing the configuration of the fourteenth embodiment of the optical component of the present invention.

【図30】図29の光学多層膜の透過率の特性を示す線
図である。
30 is a diagram showing the characteristics of the transmittance of the optical multilayer film of FIG. 29.

【図31】図29に示す光学部品を備えた光学装置の一
例の光学系の構成を示す説明図である。
FIG. 31 is an explanatory diagram showing a configuration of an optical system of an example of an optical device including the optical component shown in FIG. 29.

【図32】図31の光学装置の処理系を示すブロック図
である。
32 is a block diagram showing a processing system of the optical device of FIG. 31. FIG.

【図33】図29に示す光学部品を備えた光学装置の他
の一例の光学系の構成を示す説明図である。
FIG. 33 is an explanatory diagram showing a configuration of an optical system of another example of an optical device including the optical component shown in FIG. 29.

【図34】図33の光学装置の処理系を示すブロック図
である。
34 is a block diagram showing a processing system of the optical device of FIG. 33. FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光学多層膜 2 ガラス基板 3,51 基板 4 接着剤 5,42,53,71,81 光学部品 6 LED(発光素子) 7 光軸 8 LD(受光素子) 11 プラスチック基板(高分子材料基板) 21 反射防止膜 31 透明導電膜 41 透明プラスチック基板 43 投光レンズ 44 対象物体 45 受光レンズ 54 リフレクタ 55 偏光フィルタ 1 Optical Multilayer Film 2 Glass Substrate 3,51 Substrate 4 Adhesive 5,42,53,71,81 Optical Component 6 LED (Light Emitting Element) 7 Optical Axis 8 LD (Light Sensing Element) 11 Plastic Substrate (Polymer Material Substrate) 21 Antireflection film 31 Transparent conductive film 41 Transparent plastic substrate 43 Projecting lens 44 Target object 45 Light receiving lens 54 Reflector 55 Polarizing filter

Claims (25)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の基板と第2の基板を、第1の光学
多層膜を挟んで張り合わせた光学部品であって、 前記第1の基板がガラス以外の材料の基板であることを
特徴とする光学部品。
1. An optical component in which a first substrate and a second substrate are bonded together with a first optical multi-layer film sandwiched therebetween, wherein the first substrate is a substrate made of a material other than glass. And optical components.
【請求項2】 前記第1の基板は、前記第2の基板から
はみ出た部分が存在することを特徴とする請求項1に記
載の光学部品。
2. The optical component according to claim 1, wherein the first substrate has a portion protruding from the second substrate.
【請求項3】 前記第1の光学多層膜は、前記第1の基
板に形成され、前記第1の光学多層膜と前記第2の基板
とを接着したことを特徴とする請求項1に記載の光学部
品。
3. The first optical multilayer film is formed on the first substrate, and the first optical multilayer film and the second substrate are bonded to each other. Optical components.
【請求項4】 前記第1の光学多層膜は、前記第2の基
板に形成され、前記第1の光学多層膜と前記第1の基板
とを接着したことを特徴とする請求項1に記載の光学部
品。
4. The first optical multilayer film is formed on the second substrate, and the first optical multilayer film and the first substrate are bonded to each other. Optical components.
【請求項5】 前記第1の光学多層膜は、前記第1の基
板と第2の基板の両方に形成され、前記第1の光学多層
膜同士を接着したことを特徴とする請求項1に記載の光
学部品。
5. The first optical multilayer film is formed on both the first substrate and the second substrate, and the first optical multilayer films are bonded to each other. The optical components described.
【請求項6】 前記第1の基板の外側の面に、第2の光
学多層膜をさらに形成したことを特徴とする請求項1乃
至5のいずれかに記載の光学部品。
6. The optical component according to claim 1, further comprising a second optical multilayer film formed on the outer surface of the first substrate.
【請求項7】 前記第2の基板の外側の面に、第2の光
学多層膜を形成したことを特徴とする請求項1乃至5の
いずれかに記載の光学部品。
7. The optical component according to claim 1, wherein a second optical multilayer film is formed on the outer surface of the second substrate.
【請求項8】 さらに第3の基板を有し、前記第3の基
板と前記第1もしくは第2の基板との間に、第2の光学
多層膜を形成したことを特徴とする請求項1乃至5のい
ずれかに記載の光学部品。
8. A third optical substrate further comprising a third substrate, and a second optical multilayer film is formed between the third substrate and the first or second substrate. 6. The optical component according to any one of 1 to 5.
【請求項9】 前記第3の基板の外側の面に、第3の光
学多層膜を形成したことを特徴とする請求項8に記載の
光学部品。
9. The optical component according to claim 8, wherein a third optical multilayer film is formed on the outer surface of the third substrate.
【請求項10】 前記第1の基板と第2の基板を接着剤
により張り合わせ、少なくとも一方の基板の外側の面
に、第1の光学多層膜を形成した光学部品であって、 前記第1の基板がガラス以外の材料の基板であることを
特徴とする光学部品。
10. An optical component in which a first optical multilayer film is formed on the outer surface of at least one of the substrates by adhering the first substrate and the second substrate with an adhesive. An optical component, wherein the substrate is a substrate made of a material other than glass.
【請求項11】 前記第1の基板は、前記第2の基板か
らはみ出た部分が存在することを特徴とする請求項10
に記載の光学部品。
11. The first substrate has a portion protruding from the second substrate.
The optical component described in.
【請求項12】 前記第1の基板と第2の基板は、ほぼ
同じ屈折率を有し、前記第1の基板と第2の基板の間に
は、前記第1の光学多層膜が存在せず、前記基板と接着
剤との屈折率の差が0.1以下であることを特徴とする
請求項10に記載の光学部品。
12. The first substrate and the second substrate have substantially the same refractive index, and the first optical multilayer film is present between the first substrate and the second substrate. 11. The optical component according to claim 10, wherein the difference in refractive index between the substrate and the adhesive is 0.1 or less.
【請求項13】 前記第1の基板と第2の基板のうち、
前記第1の光学多層膜が形成されていない方の外側の面
に、第2の光学多層膜を形成したことを特徴とする請求
項10に記載の光学部品。
13. The one of the first substrate and the second substrate,
The optical component according to claim 10, wherein a second optical multilayer film is formed on the outer surface on the side where the first optical multilayer film is not formed.
【請求項14】 前記第2の基板もガラス以外の材料の
基板であることを特徴とする請求項1乃至13のいずれ
かに記載の光学部品。
14. The optical component according to claim 1, wherein the second substrate is also a substrate made of a material other than glass.
【請求項15】 前記第1の基板と第2の基板のうち、
少なくとも一方が、着色透光性基板であることを特徴と
する請求項1乃至14のいずれかに記載の光学部品。
15. Of the first substrate and the second substrate,
At least one is a colored translucent board | substrate, The optical component in any one of Claim 1 thru | or 14 characterized by the above-mentioned.
【請求項16】 前記第1の基板と第2の基板のうち、
少なくとも一方の基板に、開口が設けられていることを
特徴とする請求項1乃至14のいずれかに記載の光学部
品。
16. Among the first substrate and the second substrate,
The optical component according to claim 1, wherein at least one of the substrates has an opening.
【請求項17】 前記第1の光学多層膜と第2の光学多
層膜によって、波長の異なる3つの光に分離する機能を
有することを特徴とする請求項6,7,8または13に
記載の光学部品。
17. The method according to claim 6, wherein the first optical multi-layer film and the second optical multi-layer film have a function of separating into three lights having different wavelengths. Optical components.
【請求項18】 前記第1の光学多層膜と第2の光学多
層膜によって、P偏光成分、S偏光成分、P・S混合成
分の、3つの光に分離する機能を有することを特徴とす
る請求項6,7,8または13に記載の光学部品。
18. The first optical multilayer film and the second optical multilayer film have a function of separating into three lights of a P-polarized component, an S-polarized component, and a P · S mixed component. The optical component according to claim 6, 7, 8 or 13.
【請求項19】 前記第1、第2および第3の光学多層
膜によって、性質の異なる4つの光ビームに分離するこ
とを特徴とする請求項9に記載の光学部品。
19. The optical component according to claim 9, wherein the first, second and third optical multilayer films separate the light beams into four light beams having different properties.
【請求項20】 請求項6乃至9または13のいずれか
に記載の光学部品を備えた光学装置であって、 前記光学部品に入射した光を、複数箇所に形成された前
記多層膜によってそれぞれ反射して、複数の光ビームに
分離し、前記光学部品と同一側に配置された複数の受光
部によって、それぞれ受光することを特徴とする光学装
置。
20. An optical device comprising the optical component according to claim 6, wherein light incident on the optical component is reflected by the multilayer films formed at a plurality of locations. Then, the optical device is characterized in that it is divided into a plurality of light beams, and each of the plurality of light beams is received by a plurality of light receiving portions arranged on the same side as the optical component.
【請求項21】 請求項6乃至9または13のいずれか
に記載の光学部品を備えた光学装置であって、前記光学
部品と同一側に配置された複数の発光部からそれぞれ出
射された複数の光ビームを、複数箇所に形成された前記
多層膜によってそれぞれ反射して合成することを特徴と
する光学装置。
21. An optical device comprising the optical component according to claim 6 or 9, wherein a plurality of light emitting portions respectively emitted from a plurality of light emitting portions arranged on the same side as the optical component. An optical device, characterized in that a light beam is reflected by each of the multilayer films formed at a plurality of positions to be combined.
【請求項22】 請求項1乃至19のいずれかの光学部
品を備えたことを特徴とする光学装置。
22. An optical device comprising the optical component according to claim 1.
【請求項23】 前記光学部品の第1の基板と第2の基
板のうち、ガラス材料以外の基板によって、前記光学部
品を他の装置に取り付けたことを特徴とする請求項22
に記載の光学装置。
23. The optical component is attached to another device by a substrate other than a glass material among the first substrate and the second substrate of the optical component.
The optical device according to.
【請求項24】 前記光学部品を発散光路中もしくは収
束光路中に配置したことを特徴とする請求項22に記載
の光学装置。
24. The optical device according to claim 22, wherein the optical component is arranged in a diverging optical path or a converging optical path.
【請求項25】 前記光学部品を透過もしくは反射した
光を受光する受光手段をさらに備え、物体の物理的性質
もしくは状態を検知することを特徴とする請求項22に
記載の光学装置。
25. The optical device according to claim 22, further comprising a light receiving unit that receives light transmitted through or reflected by the optical component to detect a physical property or state of an object.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009210780A (en) * 2008-03-04 2009-09-17 Nippon Shinku Kogaku Kk Multilayered film polarizer
JP2014092323A (en) * 2012-11-05 2014-05-19 Narumi China Corp Glass top plate for cooking device
JP2016218144A (en) * 2015-05-15 2016-12-22 コニカミノルタ株式会社 Spectral filter and spectrometric measurement device

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