JPH07294722A - Manufacture of color filter - Google Patents

Manufacture of color filter

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JPH07294722A
JPH07294722A JP9166394A JP9166394A JPH07294722A JP H07294722 A JPH07294722 A JP H07294722A JP 9166394 A JP9166394 A JP 9166394A JP 9166394 A JP9166394 A JP 9166394A JP H07294722 A JPH07294722 A JP H07294722A
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JP
Japan
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pattern layer
pattern
filter
layer
black matrix
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Pending
Application number
JP9166394A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akio Haneda
昭夫 羽田
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To eliminate the protruding part where a filter colored pattern layer and a black matrix pattern layer of a color filter are overlapped with each other. CONSTITUTION:The pattern of the grid-shaped black matrix pattern layer 2 having light-shading properties is formed on one surface of the transparent filter substrate 1 beforehand and then, the filter colored pattern layer 4 consisting of the color picture element patterns of each of R, G and B is formed by printing through using a photosetting pigment dispersion photoresist ink so as to overlap with the pattern layer 2. Thereafter, the pattern layer 4 is subjected to exposure to ultraviolet rays from the other surface side of the substrate 1 by using the pattern layer 2 as the photomask and then, the unexposed part of the pattern layer 4 is dissolved and removed by appropriately using a solvent.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置の
カラー表示ディスプレイパネル等に使用されるカラーフ
ィルタの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter used for a color display panel or the like of a color liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般的に、カラー液晶表示装置(略称L
CD)用カラーフィルタ(略称CF)は、例えば、図3
(a)のカラーフィルタの部分側断面図、図3(b)の
部分平面図に示すように、ガラス製又はプラスチック製
の透明なフィルタ基板1上に、幅100μm〜200μ
m程度のストライプ状(平行線状)のレッド画素パター
ンR、グリーン画素パターンG、ブルー画素パターンB
からなるマトリクス状画素パターンとなるフィルタ着色
パターン層22を備え、該フィルタ着色パターン層22
のレッド画素パターンR、グリーン画素パターンG、ブ
ルー画素パターンBの各境界部分下側には、幅25μm
〜50μm程度のストライプ状のブラックマトリクスパ
ターン層24(略称BMX)を備えている。
2. Description of the Related Art Generally, a color liquid crystal display device (abbreviated as L) is used.
The color filter (abbreviation CF) for CD) is, for example, as shown in FIG.
As shown in the partial side sectional view of the color filter of (a) and the partial plan view of FIG. 3 (b), a width of 100 μm to 200 μ is provided on a transparent filter substrate 1 made of glass or plastic.
m pixel stripe (parallel line) red pixel pattern R, green pixel pattern G, blue pixel pattern B
And a filter coloring pattern layer 22 having a matrix pixel pattern of
25 μm in width under each boundary of the red pixel pattern R, the green pixel pattern G, and the blue pixel pattern B of
A black matrix pattern layer 24 (abbreviated as BMX) having a stripe shape of about 50 μm is provided.

【0003】また、例えば、図4(a)のカラーフィル
タの部分側断面図、図4(b)の部分平面図に示すよう
に、ガラス製又はプラスチック製の透明なフィルタ基板
1上に、幅100μm〜200μm程度の四角形ドット
状のレッド画素パターンR、グリーン画素パターンG、
ブルー画素パターンBからなるマトリクス状画素パター
ンとなるフィルタ着色パターン層22を備え、該フィル
タ着色パターン層22の、レッド画素パターンR、グリ
ーン画素パターンG、ブルー画素パターンBの各境界部
分下側には、幅25μm〜50μm程度の直交する平行
線による格子状のブラックマトリクスパターン層24
(略称BMX)を備えている。
Further, for example, as shown in a partial side sectional view of the color filter of FIG. 4A and a partial plan view of FIG. 4B, a width is formed on a transparent filter substrate 1 made of glass or plastic. A square dot-shaped red pixel pattern R, a green pixel pattern G of about 100 μm to 200 μm,
A filter coloring pattern layer 22 serving as a matrix pixel pattern composed of the blue pixel pattern B is provided, and the filter coloring pattern layer 22 is below each boundary portion of the red pixel pattern R, the green pixel pattern G, and the blue pixel pattern B. , A grid-like black matrix pattern layer 24 formed by orthogonal parallel lines having a width of about 25 μm to 50 μm
(Abbreviation BMX).

【0004】上記BMX24は、遮光性のクロム金属等
の蒸着膜を用いて薄膜状にパターン形成されていたり、
あるいは、光不透過吸収性のブラック顔料分散フォトレ
ジスト、印刷インキ等の黒色顔料着色剤等を用いて比較
的厚膜状にパターン形成されており、上記レッド画素パ
ターンR、グリーン画素パターンG、ブルー画素パター
ンBの各カラー表示画素パターンとしてのフィルタ着色
パターン層22は、その端部22aを、BMX24上に
重ねるようにして形成されるものである。
The BMX 24 is formed into a thin film pattern by using a vapor-deposited film of light-shielding chromium metal or the like,
Alternatively, a relatively thick film pattern is formed using a black pigment dispersion photoresist having a light opaque absorption property, a black pigment colorant such as a printing ink, and the red pixel pattern R, the green pixel pattern G, and the blue pixel pattern. The filter coloring pattern layer 22 as each color display pixel pattern of the pixel pattern B is formed such that its end portion 22a overlaps the BMX 24.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記フィルタ着色パタ
ーン層22の端部22aを、ブラック顔料分散フォトレ
ジスト、印刷インキ等の黒色顔料着色剤等を用いた比較
的厚膜状のBMX24上に重ねるようにして形成した場
合は、図5のカラーフィルタの部分側断面図に示すよう
に、フィルタ基板1上に形成されたフィルタ着色パター
ン層22の端部22aと、BMX24との重なり部には
盛り上がり部が発生し易く、他方の対向電極板と平行に
離間対向させて、パネル化(アッセンブル)する時など
に、離間対向間に液晶を充填封入するためのセルギャッ
プが不均一になり易い。
The end portion 22a of the filter coloring pattern layer 22 is overlapped on a relatively thick film BMX 24 using a black pigment dispersion photoresist, a black pigment colorant such as a printing ink, or the like. When it is formed as shown in FIG. 5, as shown in a partial side sectional view of the color filter of FIG. Is likely to occur, and the cell gap for filling and encapsulating the liquid crystal between the separated opposing plates is likely to be non-uniform when, for example, assembling the panel by separating and facing the other counter electrode plate in parallel.

【0006】このような端部22aの盛り上がり部の発
生を解消するために、例えば、フィルタ着色パターン層
22の膜厚、あるいはBMX24の膜厚をより薄く設定
した場合、各レッド画素パターンR、グリーン画素パタ
ーンG、ブルー画素パターンBのフィルタ着色パターン
層22の着色濃度が低下して、あるいはBMX24の着
色濃度が低下して、必要とする適正な色濃度を保持でき
ず、カラーフィルタとして好ましくない場合がある。
In order to eliminate the occurrence of such a raised portion of the end portion 22a, for example, when the thickness of the filter coloring pattern layer 22 or the thickness of the BMX 24 is set thinner, each red pixel pattern R and green When the coloring density of the filter coloring pattern layer 22 of the pixel pattern G and the blue pixel pattern B is lowered or the coloring density of the BMX 24 is lowered so that the required proper color density cannot be maintained and the color filter is not preferable. There is.

【0007】本発明は、カラーフィルタのフィルタ着色
パターン層あるいはブラックマトリクスパターン層の膜
厚を、必要とする適正な色濃度を保持するような十分な
膜厚に設定できるようにするとともに、フィルタ着色パ
ターン層とブラックマトリクスパターン層との重なり部
の盛り上がり部分を解消することにある。
According to the present invention, the film thickness of the filter coloring pattern layer or the black matrix pattern layer of the color filter can be set to a sufficient film thickness so as to maintain the required proper color density, and the filter coloring It is to eliminate the rising portion of the overlapping portion of the pattern layer and the black matrix pattern layer.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、透明なフィル
タ基板1の一面に、予め遮光性の格子状ブラックマトリ
クスパターン層2をパターン形成し、印刷方式により、
光硬化型顔料分散フォトレジストインキを用いて、レッ
ド画素パターンR、グリーン画素パターンG、ブルー画
素パターンBからなるフィルタ着色パターン層4を、ブ
ラックマトリクスパターン層2にオーバーラップするよ
うにしてパターン形成した後、該フィルタ基板1の他面
側から、格子状ブラックマトリクスパターン層2をフォ
トマスクとして、紫外線を露光し、露光部分のフィルタ
着色パターン層4を硬化し、未露光部分のフィルタ着色
パターン層4を適宜溶剤にて溶解除去することを特徴と
するカラーフィルタの製造方法である。
According to the present invention, a light-shielding grid-like black matrix pattern layer 2 is preliminarily formed on one surface of a transparent filter substrate 1 by a printing method.
A filter coloring pattern layer 4 composed of a red pixel pattern R, a green pixel pattern G, and a blue pixel pattern B was formed by using a photocurable pigment-dispersed photoresist ink so as to overlap the black matrix pattern layer 2. Then, from the other surface side of the filter substrate 1, ultraviolet rays are exposed using the lattice-shaped black matrix pattern layer 2 as a photomask to cure the filter coloring pattern layer 4 in the exposed portion, and the filter coloring pattern layer 4 in the unexposed portion. Is dissolved and removed with a solvent as appropriate, and is a method for manufacturing a color filter.

【0009】[0009]

【実施例】本発明のカラーフィルタの製造方法を、図1
(a)〜(e)に示す製造工程の実施例に従って以下に
詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for manufacturing a color filter according to the present invention will be described in FIG.
Details will be described below according to the examples of the manufacturing process shown in (a) to (e).

【0010】まず、図1(a)に示すように、ガラス板
やプラスチック板等の透明なフィルタ基板1の一面上
に、ブラック顔料による光硬化型顔料分散フォトレジス
トを、スピンコーターにより全面に塗布して、フォトレ
ジスト層12を形成する。
First, as shown in FIG. 1 (a), a photo-curable pigment dispersion photoresist with a black pigment is applied to the entire surface of a transparent filter substrate 1 such as a glass plate or a plastic plate by a spin coater. Then, the photoresist layer 12 is formed.

【0011】上記光硬化型顔料分散フォトレジストの塗
布膜厚は、1μm〜2μm程度であり、例えば1.5μ
mが適当である。また、スピンコーターの塗布条件とし
て、回転数は、800rpm〜1500rpm程度、回
転継続時間は、8秒〜15秒程度であり、例えば、回転
数1000rpmで10秒間が適当である。また、光硬
化型顔料分散フォトレジストを塗布した後に、適宜必要
に応じて、プリベーク処理を行い、そのプリベーク条件
は、温度70℃〜85℃程度、10分〜20分程度であ
り、例えば、温度70℃で15分間程度が適当である。
The coating thickness of the photocurable pigment dispersion photoresist is about 1 μm to 2 μm, for example, 1.5 μm.
m is suitable. As spin coater application conditions, the rotation speed is about 800 rpm to 1500 rpm, and the rotation duration is about 8 seconds to 15 seconds. For example, rotation speed of 1000 rpm is suitable for 10 seconds. Further, after applying the photocurable pigment-dispersed photoresist, if necessary, prebaking treatment is performed, and the prebaking condition is a temperature of 70 ° C. to 85 ° C. for about 10 minutes to 20 minutes. About 70 minutes at 70 ° C is suitable.

【0012】次に、同図1(a)に示すように、フォト
レジスト層12上に、格子状ブラックマトリクスパター
ン状の光透過部ma を形成したフォトマスクmを用い
て、紫外線Lを照射して、パターン露光する。
Next, as shown in FIG. 1A, ultraviolet rays L are irradiated using a photomask m in which light transmitting portions ma in a lattice-like black matrix pattern are formed on the photoresist layer 12. Then, pattern exposure is performed.

【0013】上記顔料分散フォトレジストに対する露光
条件は、紫外線を、例えば、60mJ/cm2 〜120
mJ/cm2 の照射量にて露光を行う。上記パターン露
光によって、フォトレジスト層12の紫外線Lによりパ
ターン露光された部分は、光硬化部が形成される。
The exposure conditions for the above-mentioned pigment-dispersed photoresist are ultraviolet rays, for example, 60 mJ / cm 2 to 120.
Exposure is performed with a dose of mJ / cm 2 . By the pattern exposure, the photo-cured portion is formed in the portion of the photoresist layer 12 that is pattern-exposed by the ultraviolet rays L.

【0014】次に、図1(b)に示すように、フォトレ
ジスト層12の紫外線Lによりパターン露光された光硬
化部分を残して、露光されない未硬化部を、適宜溶剤に
て溶解して現像除去することにより、格子状のブラック
マトリクスパターン層2をパターン形成する。なお、本
発明において、上記溶剤とは、アルカリ溶液を含むもの
である。
Then, as shown in FIG. 1 (b), the photo-cured portion of the photoresist layer 12 which has been pattern-exposed by the ultraviolet rays L is left, and the uncured portion which is not exposed is dissolved in a solvent as needed and developed. By removing the pattern, the black matrix pattern layer 2 in a grid pattern is formed. In addition, in this invention, the said solvent contains an alkaline solution.

【0015】前記ブラックマトリクスパターン層2の幅
は、正方形若しくは長方形の四角形ドット状の画素サイ
ズである、例えば100μm×100μm〜600μm
×600μm等に対応して設定することができる。
The width of the black matrix pattern layer 2 is the pixel size of a square or rectangular quadrangular dot, for example, 100 μm × 100 μm to 600 μm.
It can be set corresponding to × 600 μm or the like.

【0016】上記顔料分散フォトレジストに対する現像
条件は、現像液としてアルカリ溶液(水酸化ナトリウム
水溶液、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液
等)を使用し、現像温度は常温、現像時間は35秒〜5
0秒間程度であり、例えば40秒間程度が適当である。
The developing conditions for the above pigment-dispersed photoresist are that an alkaline solution (sodium hydroxide aqueous solution, sodium carbonate aqueous solution, potassium hydroxide aqueous solution, etc.) is used as a developing solution, the developing temperature is room temperature, and the developing time is 35 seconds to 5 seconds.
It is about 0 seconds, and for example, about 40 seconds is suitable.

【0017】また、上記顔料分散型フォトレジストの現
像処理後に、適宜必要に応じて、ポストベーク処理を行
い、ポストベーク条件は、温度200℃〜250℃で、
30分〜100分程度であり、温度230℃で60分が
適当である。
Further, after the development treatment of the above-mentioned pigment dispersion type photoresist, a post-baking treatment is appropriately carried out if necessary, and the post-baking condition is a temperature of 200 ° C to 250 ° C.
It is about 30 to 100 minutes, and 60 minutes is suitable at a temperature of 230 ° C.

【0018】なお、上記格子状ブラックマトリクスパタ
ーン層2は、上記顔料分散フォトレジスト方式以外に、
光不透過吸収性の黒色系の印刷インキ(遮光性の印刷イ
ンキであって、通常印刷インキ、又は光硬化性印刷イン
キ、又は熱硬化型印刷インキのいずれでもよい)を用い
て、凹版オフセット印刷方式、凹版印刷方式等の印刷方
式により、フィルタ基板1上にパターン形成してもよ
い。
The lattice-shaped black matrix pattern layer 2 is not limited to the pigment dispersion photoresist system,
Intaglio offset printing using a black opaque printing ink (light-blocking printing ink, which can be either normal printing ink, photo-curable printing ink, or thermosetting printing ink) A pattern may be formed on the filter substrate 1 by a printing method such as a printing method or an intaglio printing method.

【0019】また、上記格子状ブラックマトリクスパタ
ーン層2は、フィルタ基板1上に、金属蒸着により形成
される遮光性の金属クロム膜、あるいは遮光性の金属ク
ロムと酸化クロムとの二層構成による金属膜を、パター
ンエッチングすることによりフィルタ基板1上にパター
ン形成してもよい。
The grid-like black matrix pattern layer 2 is formed of a light-shielding metal chromium film formed on the filter substrate 1 by metal deposition, or a metal having a two-layer structure of light-shielding metal chromium and chromium oxide. The film may be patterned on the filter substrate 1 by pattern etching.

【0020】次に、図1(c)に示すように、フィルタ
基板1上の格子状ブラックマトリクスパターン層2以外
のカラー表示画素パターン形成領域に、該パターン層2
上より、光硬化型の顔料分散型フォトレジストタイプの
インキ(光硬化型の顔料分散型フォトレジストを印刷イ
ンキとして使用するもの)を用いて、印刷方式(凹版印
刷方式、凹版オフセット印刷方式、平版オフセット印刷
方式など)により、列方向、行方向に規則的に配列され
ストライプ状、四角形ドット状、多角形ドット状等のい
ずれかの形状パターンの各レッド画素パターンR、グリ
ーン画素パターンG、ブルー画素パターンBのカラー表
示画素パターンとなるフィルタ着色パターン層4をパタ
ーン形成する。
Next, as shown in FIG. 1C, the pattern layer 2 is formed in the color display pixel pattern forming region other than the lattice-shaped black matrix pattern layer 2 on the filter substrate 1.
From above, printing method (intaglio printing method, intaglio offset printing method, lithographic printing plate) using photocurable pigment-dispersed photoresist type ink (using photocurable pigment-dispersed photoresist as printing ink) By the offset printing method or the like), each red pixel pattern R, green pixel pattern G, and blue pixel of any shape pattern regularly arranged in the column direction and the row direction, such as a stripe shape, a square dot shape, or a polygonal dot shape. The filter coloring pattern layer 4 which becomes the color display pixel pattern of the pattern B is formed by patterning.

【0021】フィルタ着色パターン層4は、カラーフィ
ルタのマトリクス状のカラー表示画素パターンとなる部
分であり、レッド(赤)、グリーン(緑)、ブルー
(青)の各色のフィルタ着色パターン層4の端部4a
は、ブラックマトリクスパターン層2上にオーバーラッ
プするようにパターン形成される。
The filter coloring pattern layer 4 is a portion that becomes a color display pixel pattern in a matrix of color filters, and is an end of the filter coloring pattern layer 4 of each color of red (red), green (green) and blue (blue). Part 4a
Are patterned so as to overlap on the black matrix pattern layer 2.

【0022】下記に、各レッド画素パターンR、グリー
ン画素パターンG、ブルー画素パターンBからなるフィ
ルタ着色パターン層4のパターン印刷について説明す
る。
The pattern printing of the filter coloring pattern layer 4 consisting of each red pixel pattern R, green pixel pattern G and blue pixel pattern B will be described below.

【0023】まずは、レッド(赤)、グリーン(緑)、
ブルー(青)の各色のうちのいずれか1色目に印刷する
色、例えばレッド顔料により着色された光硬化型顔料分
散フォトレジストタイプのレッド印刷インキを用いて、
透明なフィルタ基板1上に、格子状ブラックマトリクス
パターン層2上にオーバーラップするように、印刷方式
により、レッド画素パターンRの印刷を行う。
First, red (red), green (green),
A color to be printed in any one of the colors of blue (blue), for example, a photocurable pigment dispersion photoresist type red printing ink colored with a red pigment,
The red pixel pattern R is printed by a printing method on the transparent filter substrate 1 so as to overlap the lattice-shaped black matrix pattern layer 2.

【0024】続いて、印刷された該レッド画素パターン
Rの紫外線硬化乾燥は行わず、2色目に印刷する色、例
えばグリーン顔料により着色された光硬化型顔料分散フ
ォトレジストタイプのグリーン印刷インキを用いて、前
記レッド画素パターンRのパターン印刷された前記透明
なフィルタ基板1上に、格子状ブラックマトリクスパタ
ーン層2上にオーバーラップするように、印刷方式によ
り、グリーン画素パターンGの印刷を行う。
Subsequently, the printed red pixel pattern R is not subjected to ultraviolet curing and drying, and a second printing color, for example, a photocurable pigment dispersion photoresist type green printing ink colored with a green pigment is used. Then, the green pixel pattern G is printed by the printing method so as to overlap the lattice-shaped black matrix pattern layer 2 on the transparent filter substrate 1 on which the red pixel pattern R is pattern-printed.

【0025】続いて、印刷された該パターンGの紫外線
硬化乾燥は行わず、3色目に印刷する色、例えばブルー
顔料により着色された光硬化型顔料分散フォトレジスト
タイプのブルー印刷インキを用いて、前記レッド画素パ
ターンRと、グリーン画素パターンGのパターン印刷さ
れた透明なフィルタ基板1上に、格子状ブラックマトリ
クスパターン層2上にオーバーラップするように、印刷
方式により、ブルー画素パターンBの印刷を行う。
Subsequently, the printed pattern G is not subjected to ultraviolet curing and drying, and a third printing color, for example, a photo-curing pigment dispersion photoresist type blue printing ink colored with a blue pigment is used. The blue pixel pattern B is printed by a printing method so that the red pixel pattern R and the green pixel pattern G are printed on the transparent filter substrate 1 so as to overlap the lattice-shaped black matrix pattern layer 2. To do.

【0026】フィルタ基板1上にパターン印刷された、
各レッド画素パターンR、グリーン画素パターンG、ブ
ルー画素パターンBのフィルタ着色パターン層4の端部
4aは、同図1(c)に示すように、格子状ブラックマ
トリクスパターン層2上に、オーバーラップするように
印刷されて、オーバーラップした部分は、盛り上がり部
分が形成される。
A pattern is printed on the filter substrate 1,
The ends 4a of the filter coloring pattern layer 4 of each red pixel pattern R, green pixel pattern G, and blue pixel pattern B are overlapped on the grid-like black matrix pattern layer 2 as shown in FIG. The overlapped portion is printed so that a raised portion is formed.

【0027】その後、同図1(c)に示すように、各レ
ッド画素パターンR、グリーン画素パターンG、ブルー
画素パターンBの印刷されたフィルタ基板1の裏面(印
刷されていない面)より、紫外線Lを照射することによ
り、遮光性のブラックマトリクスパターン層2がフォト
マスクとなって、ブラックマトリクスパターン層2の無
い部分のフィルタ着色パターン層4は、紫外線が照射さ
れて硬化する。一方、ブラックマトリクスパターン層2
真上に印刷されたフィルタ着色パターン層4は、紫外線
が照射されず未硬化状態となる。
Thereafter, as shown in FIG. 1C, ultraviolet rays are emitted from the back surface (non-printed surface) of the filter substrate 1 on which each red pixel pattern R, green pixel pattern G and blue pixel pattern B is printed. By irradiating L, the light-shielding black matrix pattern layer 2 serves as a photomask, and the portion of the filter coloring pattern layer 4 where the black matrix pattern layer 2 is not present is irradiated with ultraviolet rays and cured. On the other hand, the black matrix pattern layer 2
The filter coloring pattern layer 4 printed right above is not cured by being irradiated with ultraviolet rays.

【0028】続いて、図1(d)に示すように、ブラッ
クマトリクスパターン層2真上の未硬化状態のフィルタ
着色パターン層4を、適宜溶剤により溶解除去すること
によって、各レッド画素パターンR、グリーン画素パタ
ーンG、ブルー画素パターンBのフィルタ着色パターン
層4の端部4aに形成されていた、格子状ブラックマト
リクスパターン層2とのオーバーラップした部分におけ
る盛り上がり部分を取り除き、その後、形成されたパタ
ーンを、適宜加熱温度と時間によってポストベーク処理
する。
Subsequently, as shown in FIG. 1D, the uncured filter coloring pattern layer 4 directly above the black matrix pattern layer 2 is dissolved and removed by a solvent to remove each red pixel pattern R, The raised portions in the overlapping portions with the lattice-shaped black matrix pattern layer 2 formed on the end portions 4a of the filter coloring pattern layer 4 of the green pixel pattern G and the blue pixel pattern B are removed, and then the formed pattern Is post-baked at an appropriate heating temperature and time.

【0029】以上の製造工程によって、図1(d)に示
すように、ブラックマトリクスパターン層2上にオーバ
ーラップしたフィルタ着色パターン層4の端部4aに、
盛り上がりの無い、平滑性のあるカラーフィルタが製造
される。
Through the above manufacturing process, as shown in FIG. 1D, the end 4a of the filter coloring pattern layer 4 overlapping the black matrix pattern layer 2 is
A color filter with no swell and smoothness is produced.

【0030】このように、本発明の製造方法によって、
図1(e)(カラーフィルタの部分平面図)に示すよう
に、フィルタ基板1上に、直交する平行線群による格子
状パターンのブラックマトリクスパターン層2と、該格
子状のパターン層2によって囲まれた多数の四角形状の
カラー表示画素領域に、各レッド画素パターンR、グリ
ーン画素パターンG、ブルー画素パターンBからなるフ
ィルタ着色パターン層4を備えたカラーフィルタが製造
される。
As described above, according to the manufacturing method of the present invention,
As shown in FIG. 1E (partial plan view of the color filter), a black matrix pattern layer 2 having a grid pattern of orthogonal parallel lines and surrounded by the grid pattern layer 2 on a filter substrate 1. A color filter having a filter coloring pattern layer 4 composed of each red pixel pattern R, green pixel pattern G, and blue pixel pattern B is manufactured in a large number of rectangular color display pixel regions.

【0031】上記本発明のカラーフィルタの製造方法の
一実施例としては、格子状ブラックマトリクスパターン
層2によって囲まれ、行方向と列方向に形成された、上
記図1(e)に示すフィルタ基板1上の多数の四角形状
のカラー表示画素領域に、各レッド画素パターンR、グ
リーン画素パターンG、ブルー画素パターンBからなる
フィルタ着色パターン層4を、列方向(図1(e)の縦
方向)にストライプ状(平行線状)に、印刷方式によっ
てパターン形成することによって、図1(e)に示すよ
うな、列方向(縦方向)に同一色のそれぞれレッド画素
パターンRと、グリーン画素パターンGと、ブルー画素
パターンBの画素パターンが配置されたカラーフィルタ
が製造される。
As one embodiment of the method of manufacturing the color filter of the present invention, the filter substrate shown in FIG. 1 (e), which is surrounded by the grid-like black matrix pattern layer 2 and is formed in the row and column directions. A filter coloring pattern layer 4 including each red pixel pattern R, green pixel pattern G, and blue pixel pattern B is arranged in a column direction (vertical direction in FIG. 1E) in a large number of quadrangular color display pixel regions on one. By forming a pattern in a stripe shape (parallel line shape) by a printing method, as shown in FIG. 1E, a red pixel pattern R and a green pixel pattern G of the same color in the column direction (vertical direction) are formed. Then, a color filter in which the pixel pattern of the blue pixel pattern B is arranged is manufactured.

【0032】なお、本発明において、カラーフィルタの
製造方法の上記製造工程の実施例を説明するために用い
た上記図1(a)〜(d)に示す製造工程の側断面図
は、図1(e)のカラーフィルタの部分平面図における
X−X側断面図を用いている。
It should be noted that, in the present invention, the side sectional views of the manufacturing process shown in FIGS. 1 (a) to 1 (d) used for explaining the embodiment of the manufacturing process of the color filter manufacturing method are shown in FIG. The sectional view on the XX side in the partial plan view of the color filter in (e) is used.

【0033】また、図2(a)〜(d)は、図1(e)
のカラーフィルタの部分平面図におけるY−Y側断面図
であって、製造工程として同時進行的に、図1(a)
は、図2(a)に対応し、図1(b)は、図2(b)に
対応し、また、図1(c)は、図2(c)に対応し、図
1(d)は、図2(d)に対応するものである。
2 (a) to 2 (d) are shown in FIG. 1 (e).
FIG. 1A is a sectional view taken along line YY in the partial plan view of the color filter of FIG.
Corresponds to FIG. 2 (a), FIG. 1 (b) corresponds to FIG. 2 (b), FIG. 1 (c) corresponds to FIG. 2 (c), and FIG. Corresponds to FIG. 2 (d).

【0034】本発明のカラーフィルタの製造方法の他の
実施例としては、格子状ブラックマトリクスパターン層
2によって囲まれ、行方向と列方向に形成されている、
図1(e)に示すフィルタ基板1上の多数の四角形状の
カラー表示画素領域に、各レッド画素パターンR、グリ
ーン画素パターンG、ブルー画素パターンBからなるフ
ィルタ着色パターン層4を、行方向(図1(e)の水平
方向)と、列方向(図1(e)の縦方向)とに、順次異
なる色の、それぞれレッド画素パターンR、グリーン画
素パターンG、ブルー画素パターンBの四角形ドット状
の画素パターンを、印刷方式によってパターン形成する
ことによって、図4(b)の従来のカラーフィルタの部
分平面図に示すような、行方向と列方向とに順次異なる
色の、それぞれレッド画素パターンRと、グリーン画素
パターンGと、ブルー画素パターンBの画素パターンが
配置されたカラーフィルタを製造するようにしてもよ
い。
As another embodiment of the method for manufacturing a color filter of the present invention, the color filter is surrounded by a lattice-shaped black matrix pattern layer 2 and formed in the row and column directions.
In a large number of rectangular color display pixel regions on the filter substrate 1 shown in FIG. 1E, a filter coloring pattern layer 4 including each red pixel pattern R, green pixel pattern G, and blue pixel pattern B is arranged in the row direction ( Square dot shapes of a red pixel pattern R, a green pixel pattern G, and a blue pixel pattern B of different colors sequentially in the column direction (vertical direction in FIG. 1E) and in the column direction (vertical direction in FIG. 1E). By forming the pixel pattern of FIG. 4 by a printing method, each red pixel pattern R of a color sequentially different in the row direction and the column direction as shown in the partial plan view of the conventional color filter of FIG. Alternatively, a color filter in which the pixel patterns of the green pixel pattern G and the blue pixel pattern B are arranged may be manufactured.

【0035】また、図1(e)に示す直交する遮光性の
平行線群による格子状のブラックマトリクスパターン層
2により囲まれるカラー表示画素領域の形状は、単純な
四角形状であってもよいし、あるいは、該カラー表示画
素領域の形状部分を、六角形状などの多角形状、あるい
は円形状であってもよい。そして、該カラー表示画素領
域に、格子状のブラックマトリクスパターン層2上にオ
ーバーラップするようにして、印刷方式によってパター
ン形成する際の、各色画素パターンR、G、Bの印刷パ
ターン形状(印刷に使用する印刷版に製版された各画素
パターンR、G、Bの形状)は、ストライプ状であって
も、四角形ドット状であっても、あるいはその他の形状
のいずれであってもよい。そして、パターン印刷後にお
ける各画素パターンR、G、Bの形状は、最終的には、
上記格子状の遮光性ブラックマトリクスパターン層2の
パターン形状によって規定されるものである。
Further, the shape of the color display pixel area surrounded by the lattice-shaped black matrix pattern layer 2 formed by orthogonal light-shielding parallel line groups shown in FIG. 1E may be a simple quadrangle shape. Alternatively, the shape portion of the color display pixel area may be polygonal such as hexagonal or circular. Then, when the pattern is formed by the printing method such that the color display pixel region overlaps the grid-like black matrix pattern layer 2, the print pattern shape of each color pixel pattern R, G, B (for printing) The shape of each pixel pattern R, G, B formed on the printing plate to be used may be a stripe shape, a square dot shape, or any other shape. The shape of each pixel pattern R, G, B after pattern printing is finally
It is defined by the pattern shape of the lattice-shaped light-shielding black matrix pattern layer 2.

【0036】本発明のカラーフィルタの製造方法におい
て、上記ブラックマトリクスパターン層2をパターン形
成するために使用する、ブラックに着色された光硬化型
顔料分散フォトレジストの種類、塗布膜厚、スピンコー
ターの塗布条件、プリベーク条件、露光条件、現像条
件、ポストベーク条件等は、本発明方法においては、特
に限定されるものではない。また、レッド、グリーン、
ブルーに着色された光硬化型顔料分散フォトレジストタ
イプのインキの種類、印刷条件、露光条件、溶解除去条
件、ポストベーク条件等は、本発明方法においては、特
に限定されるものではない。
In the method for producing a color filter of the present invention, the type of the photocurable pigment-dispersed photoresist colored in black, the coating thickness, and the spin coater used for patterning the black matrix pattern layer 2 are used. The coating conditions, pre-baking conditions, exposure conditions, developing conditions, post-baking conditions, etc. are not particularly limited in the method of the present invention. Also, red, green,
In the method of the present invention, the kind of ink of the photocurable pigment-dispersed photoresist type ink colored in blue, printing conditions, exposure conditions, dissolution removal conditions, post-baking conditions, etc. are not particularly limited.

【0037】ブラックマトリクスパターン層2のパター
ン形成に使用する光硬化型顔料分散フォトレジストとし
ては、例えば、フジハント社製、ブラックフォトレジス
ト(CK2000)が使用できる。
As the photocurable pigment-dispersed photoresist used for forming the pattern of the black matrix pattern layer 2, for example, a black photoresist (CK2000) manufactured by Fuji Hunt Co. can be used.

【0038】また、フォトレジスト層12を形成するた
めのスピンコーターの塗布条件としては、回転数は、8
00rpm〜1500rpm程度、回転継続時間は、8
秒〜15秒程度であり、例えば、回転数1000rpm
で10秒間が適当である。また、プリベーク条件は、温
度70℃〜85℃程度、10分〜20分程度であり、例
えば、温度70℃で15分間程度が適当である。
The spin coater for forming the photoresist layer 12 has a rotation speed of 8
00 rpm-1500 rpm, rotation duration is 8
Second to 15 seconds, for example, rotation speed 1000 rpm
10 seconds is appropriate. The pre-baking condition is a temperature of 70 ° C. to 85 ° C. for about 10 minutes to 20 minutes, and for example, a temperature of 70 ° C. for about 15 minutes is suitable.

【0039】また、各レッド画素パターンR、グリーン
画素パターンG、ブルー画素パターンBのフィルタ着色
パターン層4のパターン形成に使用する光硬化型顔料分
散フォトレジストタイプのインキとしては、例えば、フ
ジハント社製、レッド(赤);CR2000、グリーン
(緑);CG2000、ブルー(青);CB2000が
使用でき、また、塗布膜厚は1μm〜2μm程度であ
り、例えば、1.5μmが適当である。
The photocurable pigment dispersion photoresist type ink used for forming the pattern of the filter coloring pattern layer 4 of each red pixel pattern R, green pixel pattern G, and blue pixel pattern B is, for example, manufactured by Fuji Hunt. , Red (red); CR2000, green (green); CG2000, blue (blue); CB2000 can be used, and the coating film thickness is about 1 μm to 2 μm, for example, 1.5 μm is suitable.

【0040】また、スピンコーターの塗布条件として、
回転数は、800rpm〜1500rpm程度、回転継
続時間は、8秒〜15秒程度であり、例えば、回転数1
000rpmで10秒間が適当である。また、必要に応
じて、プリベーク(溶解除去前の加熱処理)を行っても
よく、プリベーク条件は、温度70℃〜85℃程度、1
0分〜20分程度であり、例えば、温度70℃で15分
間程度が適当である。
The coating conditions of the spin coater are as follows:
The rotation speed is about 800 rpm to 1500 rpm, and the rotation duration is about 8 seconds to 15 seconds.
000 rpm for 10 seconds is suitable. In addition, if necessary, pre-baking (heat treatment before dissolution removal) may be performed, and pre-baking conditions include a temperature of about 70 ° C. to 85 ° C.
It is about 0 to 20 minutes, and for example, about 70 minutes at a temperature of 70 ° C. is suitable.

【0041】上記各色の顔料分散型フォトレジストタイ
プのインキに対する紫外線露光条件は、60mJ/cm
2 〜120mJ/cm2 の照射量にて露光を行い、例え
ば、B;120mJ/cm2 、G;80mJ/cm2
R;60mJ/cm2 が適当である。
The ultraviolet exposure conditions for the above pigment-dispersed photoresist type ink of each color are 60 mJ / cm 2.
Was exposed at dose of 2 ~120mJ / cm 2, for example, B; 120mJ / cm 2, G; 80mJ / cm 2,
R; 60 mJ / cm 2 is suitable.

【0042】また上記各色顔料分散型フォトレジストタ
イプのインキに対する現像条件は、現像液としてアルカ
リ溶液(水酸化ナトリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶
液、水酸化カリウム水溶液等)を使用し、現像温度は常
温、現像時間は35秒〜50秒間程度であり、例えば4
0秒間程度が適当である。
The developing conditions for the above-mentioned color pigment-dispersed photoresist type inks are that an alkaline solution (sodium hydroxide aqueous solution, sodium carbonate aqueous solution, potassium hydroxide aqueous solution, etc.) is used as the developing solution, and the developing temperature is room temperature and the development is performed. The time is about 35 seconds to 50 seconds, for example 4
About 0 seconds is suitable.

【0043】また、上記各色顔料分散型フォトレジスト
タイプのインキの溶解除去後のポストベーク条件は、温
度200℃〜250℃で、30分〜100分程度であ
り、温度230℃で60分が適当である。
The post-baking conditions after dissolution and removal of the above-described color pigment-dispersed photoresist type inks are a temperature of 200 ° C. to 250 ° C. for about 30 minutes to 100 minutes, and a temperature of 230 ° C. for 60 minutes is suitable. Is.

【0044】上記カラーフィルタの製造方法において
は、フィルタ基板1上にパターン形成したブラックマト
リクスパターン層2と、フィルタ着色パターン層4上
に、直接に、又は、絶縁性の透明なオーバーコート層
(透明樹脂層)を介して間接的に、膜厚1000Å程度
の透明導電膜層(図示せず)をパターン形成する。
In the color filter manufacturing method, the black matrix pattern layer 2 formed on the filter substrate 1 and the filter coloring pattern layer 4 are directly or insulatively transparent overcoat layer (transparent). A transparent conductive film layer (not shown) having a film thickness of about 1000Å is indirectly formed through a resin layer).

【0045】カラーフィルタの用途が、例えば、互いに
液晶を挟んで平行に離間対向し、且つ互いに直交する1
対のストライプ状の電極(ストライプ状走査電極とスト
ライプ状表示電極)による単純マトリクス表示方式のカ
ラー液晶表示装置に使用される場合は、規則的に配列さ
れたレッド画素パターンR、ブルー画素パターンB、グ
リーン画素パターンGのフィルタ着色パターン層4上
に、各列毎若しくは行毎に共通する単純マトリクス走査
電極用のITO膜等の、膜厚500〜1000Å程度、
1000〜3000Å程度の透明導電膜層を、絶縁性の
透明保護層(透明樹脂層)を介して間接的に、列方向若
しくは行方向にストライプパターン状に、スパッタリン
グ方式及びエッチング方式等を用いて、パターン形成す
る。なお、透明保護層は、合成樹脂、光硬化型樹脂等の
透明樹脂をコーティングして得られる。
The color filters are used, for example, in such a manner that they are spaced apart and face each other in parallel with the liquid crystal sandwiched therebetween and are orthogonal to each other.
When used in a color liquid crystal display device of a simple matrix display system having a pair of striped electrodes (a striped scanning electrode and a striped display electrode), regularly arranged red pixel patterns R, blue pixel patterns B, On the filter coloring pattern layer 4 of the green pixel pattern G, a film thickness of about 500 to 1000Å, such as an ITO film for a simple matrix scanning electrode common to each column or row,
A transparent conductive film layer of about 1000 to 3000 Å is indirectly formed through a transparent insulating protective layer (transparent resin layer) having an insulating property in a stripe pattern in a column direction or a row direction by using a sputtering method, an etching method, or the like. Form a pattern. The transparent protective layer is obtained by coating a transparent resin such as a synthetic resin or a photocurable resin.

【0046】また、カラーフィルタの用途が、例えば、
互いに液晶を挟んで平行に離間対向する画素電極と共通
電極とによるアクティブマトリクス表示方式(例えば、
Thin Film Transistor方式;TF
T方式等)の場合は、フィルタ着色パターン層4上及び
ブラックマトリクスパターン層2上に、TFT方式の共
通電極用のITO膜等の膜厚500〜1000Å程度、
1000〜3000Å程度の透明導電膜層7(ITO
膜)を、直接に、又は絶縁性の透明保護層(透明樹脂
層)を介して間接的に、適宜ベタ状に、スパッタリング
方式及びエッチング方式等を用いて形成する。
Further, the use of the color filter is, for example,
An active matrix display method using a pixel electrode and a common electrode that face each other in parallel with a liquid crystal in between (for example,
Thin Film Transistor method; TF
(T type, etc.), the thickness of the ITO film or the like for the common electrode of the TFT type is about 500 to 1000Å on the filter coloring pattern layer 4 and the black matrix pattern layer 2.
Transparent conductive film layer 7 (ITO of about 1000 to 3000Å)
The film) is formed directly or indirectly through an insulating transparent protective layer (transparent resin layer) in an appropriately solid shape by using a sputtering method, an etching method, or the like.

【0047】以下に、本発明方法の具体的実施例を示
す。
Specific examples of the method of the present invention are shown below.

【0048】<実施例1>透明なガラス製のフィルタ基
板に、カーボン顔料を分散した感光性樹脂(フジハント
社製;CK2000)を、0.7〜2.0μmの層厚の
うちのいずれかの層厚に塗布し、フォトレジスト層を形
成した。フォトレジスト層の光学濃度は、3.0〜3.
4程度であった。
Example 1 A transparent glass filter substrate was coated with a photosensitive resin in which a carbon pigment was dispersed (manufactured by Fuji Hunt Co .; CK2000) at a layer thickness of 0.7 to 2.0 μm. It was applied in a layer thickness to form a photoresist layer. The optical density of the photoresist layer is 3.0-3.
It was about 4.

【0049】続いてフォトレジスト層に、フォトマスク
を用いて、紫外線により、格子状のブラックマトリクス
パターンをパターン露光し、所定の現像液(例えばアル
カリ性溶液)にて現像処理し、格子状のブラックマトリ
クスパターン層(遮光層)をパターン形成し、その後、
230℃で、60分間、ポストベーキングした。
Subsequently, the photoresist layer is pattern-exposed to a grid-like black matrix pattern by ultraviolet rays using a photomask, and is developed with a predetermined developing solution (for example, an alkaline solution) to form a grid-like black matrix. After patterning the pattern layer (light-shielding layer),
Post-baking was performed at 230 ° C. for 60 minutes.

【0050】次に、上記フィルタ基板上の格子状ブラッ
クマトリクスパターン層上より、該パターン層上にオー
バーラップするように、各々レッド顔料、グリーン顔
料、ブルー顔料をフォトレジスト中に分散混合したレッ
ド、グリーン、ブルーの各色の着色顔料分散フォトレジ
ストタイプのインキを用いて、凹版印刷方式により、四
角形ドット状の各レッド画素パターン、グリーン画素パ
ターン、ブルー画素パターンを印刷して、フィルタ着色
パターン層をパターン形成した。
Next, red, green and blue pigments are dispersed and mixed in a photoresist from the grid-like black matrix pattern layer on the filter substrate so as to overlap the pattern layer. Colored pigment dispersion of each color of green and blue Using a photoresist type ink, each square dot-shaped red pixel pattern, green pixel pattern, and blue pixel pattern are printed by the intaglio printing method, and the filter coloring pattern layer is patterned. Formed.

【0051】次に、フィルタ基板の裏面(パターン印刷
側に対して反対側)から、紫外線(100mJ/c
2 )を照射して、格子状ブラックマトリクスパターン
層(遮光層)以外の部分のフィルタ着色パターン層を光
硬化させ、格子状ブラックマトリクスパターン層(遮光
層)上の、未照射部分のフィルタ着色パターン層を、
2.5%の炭酸ナトリウム水溶液で溶解除去した。
Next, ultraviolet rays (100 mJ / c) are applied from the back surface of the filter substrate (the side opposite to the pattern printing side).
m 2 ) to photo-cur the filter coloring pattern layer other than the grid-like black matrix pattern layer (light-shielding layer), and to filter the unirradiated part on the grid-like black matrix pattern layer (light-shielding layer). Pattern layer,
It was removed by dissolution with a 2.5% aqueous sodium carbonate solution.

【0052】その後、230℃、1時間、ポストベーク
処理を施して、光硬化した前記フィルタ着色パターン層
を硬膜処理して、耐薬品性と、フィルタ基板に対する接
着性を強化して、カラーフィルタを得た。なお、必要に
応じて、フィルタ着色パターン層上より、フィルタ基板
面に、オーバーコート層を形成した。
Then, a post-baking treatment is performed at 230 ° C. for 1 hour to subject the photo-cured filter coloring pattern layer to a film hardening treatment to enhance chemical resistance and adhesiveness to the filter substrate, and to obtain a color filter. Got If necessary, an overcoat layer was formed on the filter substrate surface from above the filter coloring pattern layer.

【0053】[0053]

【作用】本発明のカラーフィルタの製造方法は、光硬化
型顔料分散フォトレジストインキを用いて、ブルー画素
パターンB、グリーン画素パターンG、レッド画素パタ
ーンRからなるフィルタ着色パターン層4を、ブラック
マトリクスパターン層2にオーバーラップするようにし
てパターン印刷した後、該フィルタ基板1の他面側から
格子状ブラックマトリクスパターン層2をフォトマスク
として紫外線を露光し、露光部分のフィルタ着色パター
ン層4を硬化し、未露光部分のフィルタ着色パターン層
4を適宜溶剤にて溶解除去するので、格子状ブラックマ
トリクスパターン層2上にオーバーラップするフィルタ
着色パターン層4部分の盛り上がり部分のみに、遮光性
の格子状ブラックマトリクスパターン層2を介して、未
露光部分(未硬化部分)を形成することができ、該未硬
化部分としてのフィルタ着色パターン層4の盛り上がり
部分のみを、溶剤によって溶解除去することによって容
易に盛り上がり部分を解消できる。
According to the method of manufacturing a color filter of the present invention, the filter coloring pattern layer 4 including the blue pixel pattern B, the green pixel pattern G and the red pixel pattern R is formed in the black matrix by using the photocurable pigment dispersion photoresist ink. After pattern printing so as to overlap the pattern layer 2, ultraviolet rays are exposed from the other surface side of the filter substrate 1 using the lattice-shaped black matrix pattern layer 2 as a photomask to cure the filter coloring pattern layer 4 in the exposed portion. However, since the unexposed portion of the filter coloring pattern layer 4 is appropriately dissolved and removed with a solvent, only the raised portion of the portion of the filter coloring pattern layer 4 overlapping the lattice-shaped black matrix pattern layer 2 has a light-shielding lattice shape. Through the black matrix pattern layer 2, the unexposed part (uncured Min) can be formed, only the raised portions of the filter color pattern layer 4 as the uncured portion, can be eliminated portion raised facilitated by dissolving and removing the solvent.

【0054】また、本発明方法は、予め格子状にパター
ン形成された遮光性ブラックマトリクスパターン層2に
オーバーラップするようにして、各色画素パターンR、
G、Bのフィルタ着色パターン層4を、印刷方式により
パターン形成するため、最終的に、フィルタ基板1を透
して非印刷面側から観察される前記各色画素パターンの
実質的な形状は、遮光性ブラックマトリクスパターン層
2によって囲まれた形状となる。したがって、フィルタ
着色パターン層4をパターン印刷する際における各色画
素パターンの実質的な印刷パターン形状を、ストライプ
状、四角ドット状、多角形ドット状のうちの適宜な印刷
パターン形状に設定してパターン印刷することができ、
パターン印刷後は、ブラックマトリクスパターン層2上
にオーバーラップしたフィルタ着色パターン層4のみ
を、前述のごとく溶解除去することができる。
Further, in the method of the present invention, the pixel patterns R for each color are arranged so as to overlap the light-shielding black matrix pattern layer 2 which is previously patterned in a grid pattern.
Since the G and B filter coloring pattern layers 4 are formed by a printing method, finally, the substantial shape of each color pixel pattern observed from the non-printing surface side through the filter substrate 1 is light-shielding. It becomes a shape surrounded by the conductive black matrix pattern layer 2. Therefore, when the filter coloring pattern layer 4 is pattern-printed, the substantial print pattern shape of each color pixel pattern is set to an appropriate print pattern shape among stripe shape, square dot shape, and polygonal dot shape, and pattern printing is performed. You can
After pattern printing, only the filter coloring pattern layer 4 overlapping the black matrix pattern layer 2 can be dissolved and removed as described above.

【0055】[0055]

【発明の効果】本発明のカラーフィルタの製造方法は、
フィルタ基板上にパターン形成されたフィルタ着色パタ
ーン層4の盛り上がり部分を容易に除去することがで
き、特にブラック顔料分散フォトレジスト、あるいは印
刷インキ等を用いて、比較的厚膜状にパターン形成され
たブラックマトリクスパターン層に、フィルタ着色パタ
ーン層をオーバーラップさせてパターン形成した場合に
発生する盛り上がりを解消して、比較的平滑性のあるフ
ィルタ着色パターン層を備えたカラーフィルタを製造す
ることができる。
The method of manufacturing a color filter according to the present invention comprises:
The raised portion of the filter coloring pattern layer 4 patterned on the filter substrate can be easily removed, and in particular, a relatively thick film pattern is formed using a black pigment-dispersed photoresist, printing ink, or the like. A swell that occurs when a pattern is formed by overlapping a filter coloring pattern layer on a black matrix pattern layer is eliminated, and a color filter having a relatively smooth filter coloring pattern layer can be manufactured.

【0056】また、本発明方法により製造されたカラー
フィルタと、対向電極板とを、平行に離間対向させて、
カラー液晶表示装置の表示パネルをパネル化(アッセン
ブル)した際は、離間対向間に液晶を充填封入するため
のセルギャップの均一性が得られる。
Further, the color filter manufactured by the method of the present invention and the counter electrode plate are arranged in parallel and spaced apart from each other,
When the display panel of the color liquid crystal display device is panelized (assembled), the uniformity of the cell gap for filling and enclosing the liquid crystal between the separated and opposed surfaces can be obtained.

【0057】また、本発明のカラーフィルタの製造方法
は、フィルタ基板上にパターン形成されたフィルタ着色
パターン層4の盛り上がり部分を解消するために、フィ
ルタ基板上のブラックマトリクスパターン層やフィルタ
着色パターン層の膜厚を、必要以下に薄く設定する必要
がなく、適正な色濃度を保持するための十分な許容を以
て膜厚を設定することができるなどの効果がある。
In addition, in the method for manufacturing a color filter of the present invention, in order to eliminate the raised portion of the filter coloring pattern layer 4 formed on the filter substrate, a black matrix pattern layer or a filter coloring pattern layer on the filter substrate is eliminated. There is an effect that it is not necessary to set the thickness of the film to less than necessary, and the film thickness can be set with sufficient allowance for maintaining an appropriate color density.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)〜(d)は、本発明のカラーフイルタの
製造方法を示すX−X部分側断面図、(e)は、本発明
のカラーフイルタの製造方法により製造されたカラーフ
ィルタの部分平面図である。
1 (a) to 1 (d) are side cross-sectional views taken along line XX showing a method for manufacturing a color filter of the present invention, and FIG. 1 (e) is a color filter manufactured by the method of manufacturing a color filter of the present invention. FIG.

【図2】(a)〜(d)は、本発明のカラーフイルタの
製造方法を示すY−Y部分側断面図である。
2 (a) to 2 (d) are sectional views taken along line YY showing the method for manufacturing a color filter of the present invention.

【図3】(a)は従来のカラーフィルタを説明する部分
側断面図、(b)は従来のカラーフィルタを説明する部
分平面図である。
FIG. 3A is a partial side sectional view illustrating a conventional color filter, and FIG. 3B is a partial plan view illustrating a conventional color filter.

【図4】従来のカラーフィルタを説明する部分側断面図
である。
FIG. 4 is a partial side sectional view illustrating a conventional color filter.

【図5】(a)は従来のカラーフィルタを説明する部分
側断面図、(b)は従来のカラーフィルタを説明する部
分平面図である。
FIG. 5A is a partial side sectional view illustrating a conventional color filter, and FIG. 5B is a partial plan view illustrating a conventional color filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

R…レッド画素パターン G…グリーン画素パターン
B…ブルー画素パターン 1…フィルタ基板 2…ブラックマトリクスパターン層 4…フィルタ着色パターン層 4a…端部 12…フォトレジス層 22…フィルタ着色パターン層 22a…端部 24…ブラックマトリクスパターン層 m…フォトマスク
R ... Red pixel pattern G ... Green pixel pattern
B ... Blue pixel pattern 1 ... Filter substrate 2 ... Black matrix pattern layer 4 ... Filter coloring pattern layer 4a ... Edge 12 ... Photoresist layer 22 ... Filter coloring pattern layer 22a ... Edge 24 ... Black matrix pattern layer m ... Photomask

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】透明なフィルタ基板1の一面に、予め遮光
性の格子状ブラックマトリクスパターン層2をパターン
形成し、印刷方式により、光硬化型顔料分散フォトレジ
ストインキを用いて、レッド画素パターンR、グリーン
画素パターンG、ブルー画素パターンBからなるフィル
タ着色パターン層4を、ブラックマトリクスパターン層
2にオーバーラップするようにしてパターン形成した
後、該フィルタ基板1の他面側から、格子状ブラックマ
トリクスパターン層2をフォトマスクとして、紫外線を
露光し、露光部分のフィルタ着色パターン層4を硬化
し、未露光部分のフィルタ着色パターン層4を適宜溶剤
にて溶解除去することを特徴とするカラーフィルタの製
造方法。
1. A red pixel pattern R is formed on a surface of a transparent filter substrate 1 in advance by patterning a light-shielding grid-like black matrix pattern layer 2 and using a photocurable pigment dispersion photoresist ink by a printing method. After patterning the filter coloring pattern layer 4 including the green pixel pattern G and the blue pixel pattern B so as to overlap the black matrix pattern layer 2, from the other surface side of the filter substrate 1, the grid black matrix is formed. An ultraviolet ray is exposed using the pattern layer 2 as a photomask to cure the filter coloring pattern layer 4 in the exposed portion, and the filter coloring pattern layer 4 in the unexposed portion is appropriately dissolved and removed with a solvent. Production method.
JP9166394A 1994-04-28 1994-04-28 Manufacture of color filter Pending JPH07294722A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000070618A (en) * 1997-02-28 2000-11-25 데이비드 엘. 화이트 Method for creating a color filter layer on a flat panel display screen structure
CN100399145C (en) * 2003-12-18 2008-07-02 Lg.菲利浦Lcd株式会社 Method for fabricating color filter array substrate
KR100864169B1 (en) * 2007-05-10 2008-10-16 동부일렉트로닉스 주식회사 A layout method for mask and a semiconductor device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000070618A (en) * 1997-02-28 2000-11-25 데이비드 엘. 화이트 Method for creating a color filter layer on a flat panel display screen structure
CN100399145C (en) * 2003-12-18 2008-07-02 Lg.菲利浦Lcd株式会社 Method for fabricating color filter array substrate
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