JP2797532B2 - Method of manufacturing color liquid crystal panel - Google Patents

Method of manufacturing color liquid crystal panel

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Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 カラー液晶パネルの製造方法に係り、特にカラー液晶
パネルのセル厚制御に関し、 画素部とブラックマトリクスの表面を平坦化すること
を目的とし、 透明絶縁性基板上に、少なくとも赤,緑,青の画素パ
ターン対応の色づき層を周期性をもってマトリクス状に
配列してなるカラーフィルタを具備し、各色づき層の境
界部上に非透光性のブラックマトリクスを構成したカラ
ー液晶パネルを製造するに際し、前記カラーフィルタ上
にトップコート層を形成し、次いで、前記ブラックマト
リクスをマスクとする背面露光法により、トップコート
層を前記ブラックマトリクス上から除去し、各色づき層
上に残留するトップコート層とブラックマトリクスとを
ほぼ面一にする工程を含む構成とする。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Summary] The present invention relates to a method for manufacturing a color liquid crystal panel, and more particularly to a method for controlling a cell thickness of a color liquid crystal panel. A color filter having at least a coloring layer corresponding to a pixel pattern of red, green, and blue is periodically arranged in a matrix form, and a non-translucent black matrix is formed on a boundary between the coloring layers. In manufacturing a color liquid crystal panel, a top coat layer is formed on the color filter, and then, by a back exposure method using the black matrix as a mask, the top coat layer is removed from the black matrix, and each colored layer is removed. The method includes a step of making the top coat layer and the black matrix remaining on the surface substantially flush.

〔産業上の利用分野〕[Industrial applications]

本発明は、カラー液晶パネルの製造方法に係り、特に
カラー液晶パネルのセル厚制御に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a color liquid crystal panel, and more particularly, to controlling the cell thickness of a color liquid crystal panel.

近年、CRTに対応して、液晶表示装置もカラー表示の
ものが求められ、これに伴い、カラーフィルタが用いら
れている。
In recent years, there has been a demand for a liquid crystal display device of a color display corresponding to a CRT, and accordingly, a color filter has been used.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のカラー液晶表示パネルの構成例を、第3図に示
す。
FIG. 3 shows a configuration example of a conventional color liquid crystal display panel.

ガラス基板7の上に三原色R,G,Bの画素パターンに対
応する色づき層3,4,5を周期性をもって並べてカラーフ
ィルタ8を形成し、その上にトップコート層6が設けら
れている。
On a glass substrate 7, coloring layers 3, 4, and 5 corresponding to the pixel patterns of the three primary colors R, G, and B are periodically arranged to form a color filter 8, and a top coat layer 6 is provided thereon.

液晶表示パネルでは、上記カラーフィルタ8上に球状
のスペーサ21を散布して、互いに対向するガラス基板7,
7′間隔をスペーサ21の径で規定し、液晶20の厚さを制
御している。
In the liquid crystal display panel, spherical spacers 21 are scattered on the color filters 8 so that the glass substrates 7,
The 7 'interval is defined by the diameter of the spacer 21, and the thickness of the liquid crystal 20 is controlled.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

ところが、隣接する色づき層の端部を重ね合わせ、こ
の重なり合った部分は光を透過しないことを利用してブ
ラックマトリクス9を形成する構造では、このブラック
マトリクス9の部分は凸状となり、その上に位置するス
ペーサ21で、ガラス基板7,7′の間隔が決定されてしま
い、セル厚を所定の厚さに制御することができない。
However, in a structure in which the end portions of adjacent coloring layers are overlapped and the overlapping portion does not transmit light to form the black matrix 9, the portion of the black matrix 9 becomes convex, and The distance between the glass substrates 7, 7 'is determined by the located spacer 21, so that the cell thickness cannot be controlled to a predetermined thickness.

この問題は、画素部10とブラックマトリクス9表面に
凹凸があることから生じる。
This problem arises because the surface of the pixel portion 10 and the surface of the black matrix 9 have irregularities.

本発明は、画素部とブラックマトリクスの表面を平坦
化することを目的とする。
An object of the present invention is to flatten the surfaces of a pixel portion and a black matrix.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

第1図に本発明の構成を示す。 FIG. 1 shows the configuration of the present invention.

図中、1は露出用の光、2は光硬化性トップコート
層、3,4,5はR(赤),G(緑),B(青)の色づき層、6
は最終的に残留するトップコート層、7は透明絶縁性基
板、8はカラーフィルタ、9は色づき層3,4,5が重なり
合った非透光性部分で、ブラックマトリクスである。
In the figure, 1 is light for exposure, 2 is a photocurable top coat layer, 3, 4, and 5 are R (red), G (green), and B (blue) colored layers, 6
Is a top coat layer that finally remains, 7 is a transparent insulating substrate, 8 is a color filter, and 9 is a non-light-transmitting portion where the coloring layers 3, 4, and 5 are overlapped, and is a black matrix.

まず、(a)に示すように、端部を互いに重ね合わせ
て形成した色づき層3,4,5からなるカラーフィルタ8上
に、トップコート層2として、光硬化性樹脂膜を形成す
る。これに透明絶縁性基板7の裏面から光1を照射す
る。
First, as shown in (a), a photocurable resin film is formed as a top coat layer 2 on a color filter 8 composed of coloring layers 3, 4, and 5 formed by overlapping the ends. This is irradiated with light 1 from the back surface of the transparent insulating substrate 7.

この露光によりトップコート層2である光硬化性樹脂
膜は、色づき層のブラックマトリクス9上は感光せず、
従って硬化しないが、他の部分は感光して硬化する。そ
こて、これに対しエッチング処理を行なって、非感光部
を除去する。
With this exposure, the photocurable resin film as the top coat layer 2 is not exposed on the black matrix 9 of the coloring layer,
Therefore, it does not cure, but the other parts are exposed and cured. Then, the non-photosensitive portion is removed by performing an etching process.

これにより(b)に示す如く、画素部10にトップコー
ト層6を残留させる。
As a result, the top coat layer 6 is left in the pixel section 10 as shown in FIG.

〔作 用〕(Operation)

色づき層3,4,5の端部を重ね合わせてブラックマトリ
クス9を形成した場合、ブラックマトリクス9は凸状と
なり、画素部10は凹部となる。この凸状部は光を透過し
ないので、カラーフィルタ8の上に感光膜を形成して背
面露光を施せば、この凸状部の上の感光膜は露光されな
い。
When the black matrix 9 is formed by overlapping the end portions of the coloring layers 3, 4, and 5, the black matrix 9 has a convex shape and the pixel portion 10 has a concave portion. Since the convex portion does not transmit light, if a photosensitive film is formed on the color filter 8 and back exposure is performed, the photosensitive film on the convex portion is not exposed.

本発明はこれを利用したものであって、カラーフィル
タ8が、3色の色づき層3,4,5の端部を重ね合わせた構
造の場合に、背面露光により凸状部に自己整合した感光
膜を形成し、これを用いてトップコート層を平坦化す
る。
The present invention utilizes this fact. In the case where the color filter 8 has a structure in which the end portions of the three coloring layers 3, 4, and 5 are overlapped with each other, the photosensitive film self-aligned to the convex portion by back exposure. A film is formed and the top coat layer is planarized using the film.

この凸状部に自己整合した感光膜を形成するには、前
述したように、トップコート層2自身を感光性膜として
もよく、後述する如く、トップコート層2の上にネガ型
のレジスト膜を形成し、同じく背面露光により、上記レ
ジスト膜のうち、画素部10を感光させることにより、画
素部10のみにレジスト膜を残留させ、これをマスクとし
てトップコート層2をエッチングして、凸状部上からト
ップコート層2を除去してもよい。
In order to form a self-aligned photosensitive film on the convex portion, the top coat layer 2 itself may be used as a photosensitive film as described above. As described later, a negative resist film is formed on the top coat layer 2. The resist film is left only in the pixel portion 10 by exposing the pixel portion 10 of the resist film by the backside exposure, and the top coat layer 2 is etched using the resist film as a mask to form a convex shape. The top coat layer 2 may be removed from the part.

いずれも、凸状のブラックマトリクスに自己整合した
感光膜を形成し、これを用いて凹部にのみトップコート
層を残留させることにより、画素部10とブラックマトリ
クス9の表面を平坦化することもできる。
In any case, a photosensitive film self-aligned with a convex black matrix is formed, and the top coat layer is left only in a concave portion by using the photosensitive film, whereby the surfaces of the pixel portion 10 and the black matrix 9 can be flattened. .

〔実 施 例〕〔Example〕

まず本発明の一実施例を第1図(a),(b)により
説明する。
First, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 (a) and 1 (b).

ガラス基板7の上に、Gに対応する顔料を分散させた
ポリイミド樹脂を形成し、パターニングして色づき層4
を形成し、次いで、B,Rの色づき層5,3を引き続いて形成
して、カラーフィルタ8を構成する。
A polyimide resin in which a pigment corresponding to G is dispersed is formed on a glass substrate 7 and patterned to form a coloring layer 4.
Is formed, and then the B and R coloring layers 5 and 3 are successively formed to form the color filter 8.

これら各色づき層3,4,5は、端部を重ね合わせ、その
重なり部分がブラックマトリクス9を形成している。上
記色づき層3,4,5の重なり部分は、図示したように凸状
となる。この重なり部以外は、各色対応の画素部10であ
る。
These coloring layers 3, 4, and 5 have their ends overlapped with each other, and the overlapping portions form the black matrix 9. The overlapping portions of the coloring layers 3, 4, and 5 have a convex shape as illustrated. Except for the overlapping portion, the pixel portion 10 corresponds to each color.

次いで、カラーフィルタ8上に光硬化性樹脂を塗布
し、トップコート層2を形成する。上記光硬化性樹脂と
しては、例えば、ポリビニールアルコール(PVA)を使
用し得る。
Next, a photocurable resin is applied on the color filter 8 to form the top coat layer 2. As the photocurable resin, for example, polyvinyl alcohol (PVA) can be used.

このトップコート層2に対し、基板7背面から光を照
射する。ブラックマトリクス9は光を透過しないので、
上記光照射により、トップコート層2は、ブラックマト
リクス9上の部分は感光しないので硬化せず、画素部10
は感光して硬化する。
The top coat layer 2 is irradiated with light from the back of the substrate 7. Since the black matrix 9 does not transmit light,
Due to the light irradiation, the top coat layer 2 is not cured because the portion on the black matrix 9 is not exposed, and the top coat layer 2 is not cured.
Is exposed and cured.

このあと、水洗を行なって、ブラックマトリクス9上
の硬化していない光硬化製樹脂を除去する。
Thereafter, washing with water is performed to remove the uncured photo-cured resin on the black matrix 9.

以上で画素部10にトップコート層6が残留する。 Thus, the top coat layer 6 remains in the pixel section 10.

このように本実施例では、カラーフィルタ8上に塗布
したトップコート層2を、凸状のブラックマトリクス9
では除去し、凹状の画素部10にのみ残留させ、画素部10
とブラックマトリクス9の表面を平坦化することができ
た。
As described above, in this embodiment, the top coat layer 2 applied on the color filter 8 is
Then, it is removed and is left only in the concave pixel portion 10, and the pixel portion 10
And the surface of the black matrix 9 could be flattened.

次に第2図(a)〜(d)により、他の実施例を説明
する。
Next, another embodiment will be described with reference to FIGS. 2 (a) to 2 (d).

本実施例はレジスト膜を用いてトップコート層2をパ
ターニングする例である。
The present embodiment is an example in which the top coat layer 2 is patterned using a resist film.

まず同図(a)に示すように、トップコート層2上全
面にネガ型のレジスト膜22を形成し、ガラス基板7の裏
面側から光1を照射して、ブラックマトリクス9をマス
クとする背面露光を行なう。
First, as shown in FIG. 2A, a negative resist film 22 is formed on the entire surface of the top coat layer 2, and the light 1 is irradiated from the back side of the glass substrate 7 to use the black matrix 9 as a mask. Perform exposure.

これにより、レジスト膜22は、画素部10は感光する
が、ブラックマトリクス9上は感光しない。
As a result, the resist film 22 is exposed to light in the pixel portion 10 but is not exposed to light on the black matrix 9.

次いで現像処理を施せば、同図(b)に示す如く、画
素部10上にのみレジスト膜22が残留する。
Next, if a development process is performed, the resist film 22 remains only on the pixel portion 10 as shown in FIG.

そこでこのレジスト膜22をマスクとして、トップコー
ト層をエッチングして、トップコート層の露出部を除去
し、同図(c)に示すように、画素部10にのみトップコ
ート層6を残留させる。
Therefore, using the resist film 22 as a mask, the top coat layer is etched to remove the exposed portion of the top coat layer, and the top coat layer 6 is left only in the pixel portion 10 as shown in FIG.

このあと同図(d)に示すように、レジスト膜22を除
去する。
Thereafter, the resist film 22 is removed as shown in FIG.

以上で本実施例においても、画素部10とブラックマト
リクス9表面を平坦化することができる。
As described above, also in the present embodiment, the surfaces of the pixel portion 10 and the black matrix 9 can be flattened.

上記一実施例および他の実施例のいずれも、画素部10
とブラックマトリクス9の表面を平坦化することができ
るので、2枚のガラス基板間を所望の間隔に制御でき
る。
In each of the above-described embodiment and other embodiments, the pixel portion 10
And the surface of the black matrix 9 can be flattened, so that the desired distance between the two glass substrates can be controlled.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明した如く本発明によれば、画素部とブラック
マトリクス間の段差を、従来は0.4μmあったものが、
0.1μm以下とすることができた。
As described above, according to the present invention, the step between the pixel portion and the black matrix is 0.4 μm in the related art,
It could be 0.1 μm or less.

従って、セル厚の精度が向上し、セル厚のバラツキは
従来±0.5μm程度あったものが、±0.1μm程度にまで
改善された。
Accordingly, the accuracy of the cell thickness has been improved, and the variation in the cell thickness has been reduced from about ± 0.5 μm in the past to about ± 0.1 μm.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明一実施例説明図、 第2図は本発明他の実施例説明図、 第3図は従来の問題点説明図である。 図において、1は光、2,6はトップコート層、3,4,5はそ
れぞれR,G,Bに対する色づき層、7,7′は透明絶縁性基板
(ガラス基板)、8はカラーフィルタ、9はブラックマ
トリクス、10は画素部、20は液晶、21はスペーサ、22は
レジスト膜を示す。
FIG. 1 is an explanatory view of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view of another embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an explanatory view of a conventional problem. In the figure, 1 is light, 2 and 6 are top coat layers, 3, 4 and 5 are coloring layers for R, G and B, respectively, 7, 7 'are transparent insulating substrates (glass substrates), 8 is a color filter, Reference numeral 9 denotes a black matrix, 10 denotes a pixel portion, 20 denotes a liquid crystal, 21 denotes a spacer, and 22 denotes a resist film.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大橋 誠 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 吉見 琢也 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−159806(JP,A) 特開 平1−145626(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/1335 G02B 5/20──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Makoto Ohashi 1015 Uedanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Inside Fujitsu Limited (72) Inventor Takuya Yoshimi 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Fujitsu Limited ( 56) References JP-A-63-159806 (JP, A) JP-A-1-145626 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G02F 1/1335 G02B 5/20

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】透明絶縁性基板(7)上に、少なくとも
赤,緑,青の画素パターン対応の色づき層(3,4,5)を
周期性をもってマトリクス状に配列してなるカラーフィ
ルタ(8)を具備し、各色づき層の境界部上に非透光性
のブラックマトリクス(9)を構成したカラー液晶パネ
ルを製造するに際し、 前記カラーフィルタ上にトップコート層(2)を形成
し、次いで、前記ブラックマトリクスをマスクとする背
面露光法により、トップコート層を前記ブラックマトリ
クス上から除去し、各色づき層上に残留するトップコー
ト層(6)とブラックマトリクスとをほぼ面一にする工
程を含むことを特徴とするカラー液晶パネルの製造方
法。
A color filter (8) in which at least colored layers (3, 4, 5) corresponding to pixel patterns of red, green and blue are periodically arranged in a matrix on a transparent insulating substrate (7). In producing a color liquid crystal panel comprising a non-light-transmitting black matrix (9) on the boundary of each coloring layer, a top coat layer (2) is formed on the color filter, Removing the top coat layer from the black matrix by a backside exposure method using the black matrix as a mask, and making the top coat layer (6) remaining on each coloring layer and the black matrix substantially flush. A method for manufacturing a color liquid crystal panel, comprising:
【請求項2】トップコート層(2)を感光性樹脂膜と
し、前記背面露光法により、該感光性樹脂膜をブラック
マトリクス(9)上は感光させずにおき、後処理により
該非感光部を除去することを特徴とする請求項1記載の
カラー液晶パネルの製造方法。
2. The photosensitive resin film is used as the top coat layer (2), the photosensitive resin film is left unexposed on the black matrix (9) by the back exposure method, and the non-exposed portions are removed by post-processing. 2. The method according to claim 1, wherein the color liquid crystal panel is removed.
【請求項3】前記トップコート層(2)上にレジストを
塗布して形成したレジスト膜に、前記背面露光法を施し
てレジストパターンを形成し、該レジストパターンをマ
スクとして、前記ブラックマトリクスをトップコート層
(2)上から除去することを特徴とする請求項1記載の
カラー液晶パネルの製造方法。
3. A resist pattern is formed by applying the backside exposure method to a resist film formed by applying a resist on the topcoat layer (2), and using the resist pattern as a mask, topping the black matrix. 2. The method for producing a color liquid crystal panel according to claim 1, wherein the color liquid crystal panel is removed from the coat layer.
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