JPH07282753A - 磁気シールドx線管 - Google Patents

磁気シールドx線管

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Publication number
JPH07282753A
JPH07282753A JP7469094A JP7469094A JPH07282753A JP H07282753 A JPH07282753 A JP H07282753A JP 7469094 A JP7469094 A JP 7469094A JP 7469094 A JP7469094 A JP 7469094A JP H07282753 A JPH07282753 A JP H07282753A
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JP
Japan
Prior art keywords
electron beam
ray
ray tube
rays
shield
Prior art date
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Pending
Application number
JP7469094A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Kondo
健 近藤
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 外部磁界の影響を受けることなく、安定した
X線発生を可能とする磁気シールドX線管を提供する。 【構成】 フィラメント11から発生する電子線2がタ
ーゲット13に衝突することにより発生するX線1がシ
ールド材16に形成された放射口17を通って外部に出
力されるとともに、シールド材16は電子線2が外部磁
気の影響を受けないように周囲を取り囲んでいる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子線発生手段から発
生する電子線がターゲットに衝突することによりX線を
発生するとともに、電子線が外部磁気の影響を受けない
ように電子線の経路がシールド材で囲まれている磁気シ
ールドX線管に関し、特にX線によって被測定物の厚さ
を測定する装置等に適用し得る磁気シールドX線管に関
する。
【0002】
【従来の技術】X線が被測定物を透過する際の吸収・減
弱量を検出して厚さを測定する装置では、X線量の変動
が測定結果に直接影響するため、X線発生量の長期安定
度を確保することが、高精度な測定を行う上で非常に重
要となる。
【0003】この厚さ測定装置を構成するX線発生装置
の近辺に、形状計等の磁気発生源が存在すると、X線管
の内部ではフィラメントから射出された電子源が磁気の
影響により歪曲し、ターゲットへ正確に衝突できなくな
るため、発生するX線量が不安定となり、厚さ測定結果
に誤差を生じてしまう。
【0004】従って、磁気が存在する環境でX線による
高精度な厚さ測定を行うためには、電子線が磁気の影響
を受けないように磁気シールドすることが不可欠とな
る。この磁気シールドを行う場合、X線発生源である電
子線をX線管自体の金属製構造物で覆う方法を用いる
と、X線発生装置の外形・重量が増大しない上、保守性
も向上できる長所がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、X線
発生源となる電子線をX線管自体の金属製構造物で覆う
シールド方法では、シールド材が磁気と同時にX線をも
遮蔽することになるため、発生したX線はシールド材を
透過する際に、図5の斜線部分で示す低エネルギ成分6
を吸収され、また絶対線量も図5の曲線5で示すように
減少して外部に出力される。
【0006】これは、被測定物で吸収されるX線量を厚
さに換算する厚さ測定装置にとって、吸収X線量の大部
分を占める低エネルギ成分が利用できなくなることであ
り、どの位の微小変化まで検出できるかという厚さ測定
の分解能が低下する上に、絶対線量の減少により統計ノ
イズに対する被測定物透過後のX線量のS/N比が相対
的に悪化して、測定精度に重大な支障をきたす原因とな
ってしまう。
【0007】減少したX線量の補足は、X線発生源とな
る電子線を増加すれば可能であるが、この方法はX線管
のストレスを増大させ、消耗品であるX線管の交換時期
が早まってしまうため、厚さ測定装置のランニングコス
トが増大する上、X線発生装置の解体・組立作業の頻度
が増えることになり、ユーザの不評を免れない。
【0008】また、X線の低エネルギ成分は透過力に欠
けるため、X線発生量を増加しても外部に取り出すこと
はほとんど不可能である。本発明は、上記に鑑みてなさ
れたもので、その目的とするところは、外部磁界の影響
を受けることなく、安定したX線発生を可能とする磁気
シールドX線管を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の磁気シールドX線管は、電子線発生手段か
ら発生する電子線がターゲットに衝突することによりX
線を発生するとともに、前記電子線が外部磁気の影響を
受けないように電子線の経路がシールド材で囲まれてい
る磁気シールドX線管であって、前記シールド材は前記
X線を吸収することなくX線を外部に放射するための放
射口が形成されていることを要旨とする。
【0010】また、本発明の磁気シールドX線管は、電
子線発生手段から発生する電子線がターゲットに衝突す
ることによりX線を発生するとともに、前記電子線が外
部磁気の影響を受けないように電子線の経路がシールド
材で囲まれている磁気シールドX線管であって、前記シ
ールド材は前記X線が外部に容易に放射し得るようにX
線の吸収が非常に小さい窓が形成されていることを要旨
とする。
【0011】更に、本発明の磁気シールドX線管は、電
子線発生手段から発生する電子線がターゲットに衝突す
ることによりX線を発生するとともに、前記電子線が外
部磁気の影響を受けないように電子線の経路がシールド
材で囲まれている磁気シールドX線管であって、前記シ
ールド材は磁気シールドX線管を全体的に囲んでいる外
壁部の一部を構成するとともに、前記X線が外部に容易
に放射し得るようにX線の吸収が非常に小さい窓を有す
る放射口が形成されていることを要旨とする。
【0012】本発明の磁気シールドX線管は、電子線発
生手段から発生する電子線がターゲットに衝突すること
によりX線を発生するとともに、前記電子線が外部磁気
の影響を受けないように電子線の経路がシールド材で囲
まれている磁気シールドX線管であって、前記シールド
材は磁気シールドX線管を全体的に囲んでいる外壁部の
周囲に巻き付けられているとともに、前記X線が外部に
容易に放射し得るようにX線の吸収が非常に小さい窓を
有する放射口が形成されていることを要旨とする。
【0013】
【作用】本発明の磁気シールドX線管では、シールド材
に放射口が形成され、該放射口を介してX線が吸収され
ることなく外部に放射される。また、本発明の磁気シー
ルドX線管では、シールド材にX線の吸収が非常に小さ
い窓が形成され、該窓を介してX線を外部に容易に放射
することができる。
【0014】更に、本発明の磁気シールドX線管では、
シールド材が外壁部の一部を構成し、シールド材にX線
の吸収が非常に小さい窓を有する放射口が形成され、該
放射口を介してX線を外部に容易に放射することができ
る。
【0015】本発明の磁気シールドX線管では、シール
ド材が外壁部の周囲に巻き付けられ、シールド材にX線
の吸収が非常に小さい窓を有する放射口が形成され、該
放射口を介してX線を外部に容易に放射することができ
る。
【0016】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図1は、本発明の一実施例に係わる磁気シールドX
線管の構成を示す図である。同図に示す磁気シールドX
線管は、全体がガラス管15で囲まれ、このガラス管1
5の左右両端部にはフィラメント11とアノード14と
が電気的に絶縁された状態で保持されている。フィラメ
ント11から射出された電子線2は、フィラメント11
と電位差を持って、アノード14の先端の対向位置に設
けられたターゲット13に衝突し、これによりX線1が
発生する。また、フィラメント11の周囲を含む近傍に
はフィラメント11と同電位にあって、フィラメント1
1からの電子線2の射出方向を補正するカソード12が
設けられている。なお、アノード14はターゲット13
を保持するとともに、該ターゲット13の発熱を外部に
放射する機能も有する。
【0017】更に、フィラメント11から射出された電
子線2の経路を含むターゲット13の周囲には、電子線
2を外部磁気3からシールドするシールド材16が設け
られるとともに、該シールド材16の一部にはX線1が
通過するための放射口17が形成されている。
【0018】このように構成された磁気シールドX線管
においては、フィラメント11からの電子線2がターゲ
ット13に衝突することにより発生するX線1は、放射
口17を通過することにより、図5に示した低エネルギ
成分6を吸収されることなく、また絶対線量4も減少す
ることなく、外部に放射することができるとともに、ま
た外部磁気3はシールド材16により遮蔽され、電子線
2の経路に侵入しなくなるため、フィラメント11から
の電子線2は外部磁気3の影響を受けることなく、正確
にターゲット13に衝突し、X線1の発生量を安定させ
ることができる。
【0019】更に詳しくは、放射口17は筒状のシール
ド材16の頭頂部にのみ設けられ、対向部には貫通して
いないため、シールド材16に放射口17が形成されて
いても磁界的にはシールド材16と同一面とみなされ、
外部磁気3は電子線2の経路に侵入することができな
い。
【0020】また、本磁気シールドX線管を厚さ測定装
置に適用した場合において、形状計等から影響を受ける
可能性があるのは、X線1および電子線2の射出方向に
対して垂直方向からのものであるので、外部磁気3に対
する電子線2のシールド機能を損なうことなく、安定し
たX線1を発生することができる。
【0021】従って、本実施例のようにシールド材16
が設けられている場合でも、X線管のストレスとなる電
子線2を増大することなく、高分解能でS/N比の良好
な厚さ測定に必要なX線を得ることができ、磁気シール
ドを施す必要のない環境下で使用されるX線管と同等の
厚さ測定性能を達成することができる。
【0022】図2は、本発明の他の実施例に係わる磁気
シールドX線管の構成を示す図である。同図に示す磁気
シールドX線管は、図1に示した実施例における放射口
17の代わりにX線の吸収が非常に小さい窓18をシー
ルド材16に形成した点が異なるのみであり、その他の
構成は図1の実施例と同じである。
【0023】このように構成される磁気シールドX線管
においても、フィラメント11からの電子線2がターゲ
ット13に衝突することにより発生するX線1は、低エ
ネルギ成分を吸収されることなく、また絶対線量も減少
することなく、窓18から安定に外部に放射することが
できるとともに、また外部磁気3はシールド材16によ
り遮蔽され、電子線2の経路に侵入しなくなるため、フ
ィラメント11からの電子線2は外部磁気3の影響を受
けることなく、正確にターゲット13に衝突し、X線1
の発生量を安定させることができる。
【0024】図3は、本発明の更に他の実施例に係わる
磁気シールドX線管の構成を示す図である。同図に示す
磁気シールドX線管は、図1に示した実施例においてガ
ラス管15の一部、具体的には電子線2の射出方向であ
るフィラメント11とアノード14とを結ぶ軸線の周囲
を取り囲んでいるガラス管15の一部をシールド材11
6で形成するとともに、このシールド材116に窓11
8を有する放射口117を設けるように構成した点が異
なるのみであり、その他の構成は図1の実施例と同じで
ある。
【0025】このように構成される磁気シールドX線管
においても、フィラメント11からの電子線2がターゲ
ット13に衝突することにより発生するX線1は、低エ
ネルギ成分を吸収されることなく、また絶対線量も減少
することなく、窓118を有する放射口117から安定
に外部に放射することができるとともに、また外部磁気
3はシールド材116により遮蔽され、電子線2の経路
に侵入しなくなるため、フィラメント11からの電子線
2は外部磁気3の影響を受けることなく、正確にターゲ
ット13に衝突し、X線1の発生量を安定させることが
できる。
【0026】図4は、本発明の別の実施例に係わる磁気
シールドX線管の構成を示す図である。同図に示す磁気
シールドX線管は、図1に示した実施例においてガラス
管15の周囲に、具体的には電子線2の射出方向である
フィラメント11とアノード14とを結ぶ軸線を取り囲
んでいるガラス管15の周囲にシールド材216を巻き
付けるとともに、このシールド材216の一部を取り除
き、このシールド材216が取り除かれたガラス管15
の一部に窓218を有する放射口217を設けるように
構成した点が異なるのみであり、その他の構成は図1の
実施例と同じである。
【0027】このように構成される磁気シールドX線管
においても、フィラメント11からの電子線2がターゲ
ット13に衝突することにより発生するX線1は、低エ
ネルギ成分を吸収されることなく、また絶対線量も減少
することなく、窓218を有する放射口217から安定
に外部に放射することができるとともに、また外部磁気
3はシールド材216により遮蔽され、電子線2の経路
に侵入しなくなるため、フィラメント11からの電子線
2は外部磁気3の影響を受けることなく、正確にターゲ
ット13に衝突し、X線1の発生量を安定させることが
できる。
【0028】なお、上述した各実施例の構成を併用し
て、磁気シールドX線管を構成することも可能であり、
このように構成しても同様の目的および効果を達成する
ことができる。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
シールド材に放射口を形成したり、またはシールド材に
X線の吸収が非常に小さい窓を形成したり、または外壁
部の一部をシールド材で構成し、シールド材にX線の吸
収が非常に小さい窓を有する放射口を形成したり、また
は更に外壁部の周囲にシールド材を巻き付け、このシー
ルド材にX線の吸収が非常に小さい窓を有する放射口を
形成しているので、磁気が存在する環境においても、シ
ールド材で磁気を遮蔽するとともに、更にX線がシール
ド材に低エネルギ成分を吸収されることなく、また絶対
線量も減少することなく、安定に外部に放射することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係わる磁気シールドX線管
の構成を示す図である。
【図2】本発明の他の実施例に係わる磁気シールドX線
管の構成を示す図である。
【図3】本発明の更に他の実施例に係わる磁気シールド
X線管の構成を示す図である。
【図4】本発明の別の実施例に係わる磁気シールドX線
管の構成を示す図である。
【図5】横軸にエネルギをとり、縦軸に強度をとった磁
気シールドX線管の特性を示すグラフである。
【符号の説明】
1 X線 2 電子線 3 外部磁気 11 フィラメント 13 ターゲット 14 アノード 15 ガラス管 16 シールド材 17 放射口

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子線発生手段から発生する電子線がタ
    ーゲットに衝突することによりX線を発生するととも
    に、前記電子線が外部磁気の影響を受けないように電子
    線の経路がシールド材で囲まれている磁気シールドX線
    管であって、前記シールド材は前記X線を吸収すること
    なくX線を外部に放射するための放射口が形成されてい
    ることを特徴とする磁気シールドX線管。
  2. 【請求項2】 電子線発生手段から発生する電子線がタ
    ーゲットに衝突することによりX線を発生するととも
    に、前記電子線が外部磁気の影響を受けないように電子
    線の経路がシールド材で囲まれている磁気シールドX線
    管であって、前記シールド材は前記X線が外部に容易に
    放射し得るようにX線の吸収が非常に小さい窓が形成さ
    れていることを特徴とする磁気シールドX線管。
  3. 【請求項3】 電子線発生手段から発生する電子線がタ
    ーゲットに衝突することによりX線を発生するととも
    に、前記電子線が外部磁気の影響を受けないように電子
    線の経路がシールド材で囲まれている磁気シールドX線
    管であって、前記シールド材は磁気シールドX線管を全
    体的に囲んでいる外壁部の一部を構成するとともに、前
    記X線が外部に容易に放射し得るようにX線の吸収が非
    常に小さい窓を有する放射口が形成されていることを特
    徴とする磁気シールドX線管。
  4. 【請求項4】 電子線発生手段から発生する電子線がタ
    ーゲットに衝突することによりX線を発生するととも
    に、前記電子線が外部磁気の影響を受けないように電子
    線の経路がシールド材で囲まれている磁気シールドX線
    管であって、前記シールド材は磁気シールドX線管を全
    体的に囲んでいる外壁部の周囲に巻き付けられていると
    ともに、前記X線が外部に容易に放射し得るようにX線
    の吸収が非常に小さい窓を有する放射口が形成されてい
    ることを特徴とする磁気シールドX線管。
JP7469094A 1994-04-13 1994-04-13 磁気シールドx線管 Pending JPH07282753A (ja)

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JP7469094A JPH07282753A (ja) 1994-04-13 1994-04-13 磁気シールドx線管

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JP7469094A JPH07282753A (ja) 1994-04-13 1994-04-13 磁気シールドx線管

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JP7469094A Pending JPH07282753A (ja) 1994-04-13 1994-04-13 磁気シールドx線管

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JP (1) JPH07282753A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005043149A1 (ja) * 2003-10-30 2005-05-12 Tok Engineering Co., Ltd. ハイブリッド型異物検知装置とそのトレサビリティ用システム
DE102010008551B4 (de) * 2010-02-19 2020-02-06 Siemens Healthcare Gmbh Röntgensystem

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005043149A1 (ja) * 2003-10-30 2005-05-12 Tok Engineering Co., Ltd. ハイブリッド型異物検知装置とそのトレサビリティ用システム
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