JPH07273493A - 搭載機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】大型化することなく高精度に電子部品を搭載す
ること。 【構成】電子部品１を真空ポンプ９の吸引力ｆｐにより
吸着保持する搭載ノズル３０を、圧縮バネ３３を有する
吸着ノズル３１と該吸着ノズル３１に同心的に配置した
副吸着ノズル３２とで構成し、前記吸着ノズル３１と前
記副吸着ノズル３２がモ−タ１４の駆動力により所望の
高さまで降下し、その後は、制御装置１２から出る前記
吸着ノズル３１が前記真空ポンプ９の吸引力ｆｐを解除
する指令に基づいて前記圧縮バネ３３のバネ力ｆｓによ
り降下するように、駆動要素を切替える手段を設けたこ
とを特徴とする搭載機。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は搭載機に係わり、特に、
電子部品を保持した搭載ノズルをプリント基板上に駆動
し、保持を解除することによってプリント基板上の所望
箇所に電子部品を搭載する搭載機に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の搭載機における部品搭載部を図８
に示す一例に基づいて説明する。

【０００３】部品搭載部は、真空吸着（保持）した電子
部品１を基板４上に搭載するノズル部２０，該ノズル部
２０を保持するベ−ス１３，該ベ−ス１３を上下動させ
るモ−タ１４，該モ−タ１４及び真空ポンプ９を制御す
る制御装置１２等により構成されている。

【０００４】前記ノズル部２０は、吸着ノズル２１、該
吸着ノズル２１を支持するノズル支持部２２、該ノズル
支持部２２を固定する保持体２５により構成され、保持
体２５及びア−ム２６を介してベ−ス１３に接続されて
いる。該ベ−ス１３は、ブロック５ａ，レ−ル５ｂから
なるリニアガイド５により保持され、ナット６によりボ
−ルねじ７を保持する架台８に接続されており、該ボ−
ルねじ７の上部にモ−タ１４が接続されている。

【０００５】前記吸着ノズル２１は、前記ノズル支持部
２２の外周に設けたガイド２４及び前記保持体２５に設
けた圧縮バネ２３により保持されており、該ガイド２４
は、吸着ノズル２１の外周に設けたストッパ２７により
保持されている。真空ポンプ９は、該保持体２５に連通
する連通管１１を介して、前記吸着ノズル２１，前記ノ
ズル支持部２２，前記保持体２５により構成される空間
１５を減圧し、電子部品１は吸着ノズル２１先端に吸着
する。

【０００６】該ノズル部２０が基板４上の所望個所に到
達すると、該制御装置１２から、モ−タ１４により架台
８に保持されたボ−ルねじ７が回転しナット６により固
定されたベ−ス１３が所定の距離（距離Ｈとする。）を
下降する指令が出され、吸着ノズル２１に吸着した電子
部品１のリ−ド２が基板４上のはんだペ−スト３に接触
する。その際、該ノズル部２０が停止する際に発生する
上下方向の振動による衝撃が、該吸着ノズル２１の上方
に設けた圧縮バネ２３により吸収された後、真空ポンプ
９の動作を停止する指令が該制御装置１２から出され、
吸着を解除し電子部品１を搭載する。

【０００７】なお、特公平３−５０４３８号公報では、
該ノズル部の部品押付け弾性力を生じさせる弾性伝導部
すなわち、ばねを設け、搭載部品の厚さ寸法に応じて該
部品押付け弾性力を補正する押付け弾性力補正手段を備
えた搭載機が提案されている

【０００８】。

【発明が解決しようとする課題】上記従来の搭載機にお
いては、以下のような問題が生じる。

【０００９】電子部品１を吸着したノズル部２０は、基
板４上の所望箇所に該電子部品１を搭載するためにモ−
タ１４により下降するが、ボ−ルねじ７とベ−ス１３，
該ベ−ス１３とア−ム２６との垂直度は機械的に形成さ
れているため精度にばらつきがある。従って、下降の際
に該ノズル部２０先端が振動し、吸着した該電子部品１
が搭載時にリ−ドピッチ幅方向に動く現象が生じる。前
記電子部品１のリ−ドピッチは０．３ｍｍ程度まで狭小
化してきており、それに伴いはんだペ−スト３のパタ−
ン間隔もより微細に形成されているため、吸着ノズル２
１に吸着した電子部品１のリ−ド２がリ−ドピッチ幅方
向に動くことにより、いわゆるブリッジが発生する不具
合が生じ、搭載精度の低下による不良基板の発生が顕著
となってきた。

【００１０】従って、ノズル部２０の下降時に発生する
リ−ドピッチ幅方向の振動を減少させるために、図８に
示すように、吸着ノズル２１をノズル支持部２２，ガイ
ド２４及びストッパ２７等により強固に保持する必要が
生じ、該ノズル部２０周辺の重量が増加する。更に、重
量化した上記ノズル部２０を上下動させるためにベ−ス
１３や架台８等の搭載機全体の剛性を高める必要が生
じ、装置全体が大型化する。

【００１１】本発明の目的は、大型化することなく基板
上に電子部品を高精度に搭載することができる搭載機を
提供するものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明による搭載機の特
徴とするところは、弾性体を有する吸着ノズルと該吸着
ノズルに同心的に配置した副吸着ノズルとから成る搭載
ノズルを搭載部に設け、電子部品を吸着した搭載ノズル
の基板上面への駆動を、該基板から任意の位置までは駆
動手段の駆動力により行い、該任意位置から前記電子部
品を搭載すべき基板の所定箇所までは上記弾性体の弾性
力により行う、駆動要素を切り換える手段を設けたこと
にある。

【００１３】

【作用】本発明によれば、弾性体を有する吸着ノズル
と、該吸着ノズルに同心的に配置した副吸着ノズルとか
ら成る搭載ノズルを搭載部に設け、電子部品を吸着した
搭載ノズルの基板上面への駆動を、該基板から任意の位
置までは駆動手段の駆動力により行い、該任意の位置か
ら前記電子部品を搭載すべき基板までは弾性体の弾性力
により行う、駆動要素を切り換える手段を設けたため、
該搭載ノズルの下降時に発生するリ−ドピッチ幅方向の
振動が搭載の最終段階で減少し、ブリッジが発生しな
い。従って、該搭載部を軽量化でき搭載機全体の剛性を
高める必要がないため装置の小型化を図ることができる
とともに、電子部品を高精度に搭載することができる。

【００１４】

【実施例】図１，図２，図３に本発明の一実施例を示
す。図１及び図２に示す本実施例は、弾性体を有する吸
着ノズルと該吸着ノズルに同心的に配置した副吸着ノズ
ルとからなる搭載ノズルを搭載部に設け、電子部品を吸
着した搭載ノズルの基板上面への駆動を、該基板から任
意の位置までは駆動手段の駆動力により行い、該任意の
位置から前記電子部品を搭載すべき基板の所定箇所まで
は弾性体の弾性力により行う、駆動要素を切り換える手
段を設けたものであり、前記駆動手段としてサ−ボモ−
タ、前記弾性体として圧縮バネを使用している。

【００１５】図１に搭載前の搭載ノズル、図２に搭載時
の搭載ノズルの要部を示す。図３には該搭載ノズルのス
トロ−クパタ−ンを示す。なお、図８に示す従来例と同
一部分には同一符号を付け説明を省略する。

【００１６】図８に示す従来例と同様に、部品搭載部
は、真空吸着（保持）した電子部品１を基板４上に搭載
するノズル部３０，該ノズル部３０を駆動するベ−ス１
３，該ベ−ス１３を動作させるモ−タ１４，該モ−タ１
４及び真空ポンプ９を制御する制御装置１２等により構
成されている。

【００１７】前記ノズル部３０は、吸着ノズル３１、該
吸着ノズル３１に同心的に配置した副吸着ノズル３２、
該副吸着ノズル３２を固定している保持体２５により構
成され、ア−ム２６を介してベ−ス１３に接続されてい
る。

【００１８】該吸着ノズル３１は、該保持体２５に設け
た圧縮バネ３３により保持されており、該吸着ノズル３
１の外周には、該保持体２５により固定された副吸着ノ
ズル３２が設けてある。電子部品１をノズル部３０に吸
着する場合は、上記真空ポンプ９により該保持体２５に
連通する連通管１１を介して、前記吸着ノズル３１，前
記副吸着ノズル３２，前記保持体２５により構成される
空間１５を減圧する。この時、真空ポンプ９による吸引
力を吸引力ｆｐ，圧縮バネ３３のバネ力をバネ力ｆｓと
すると、吸引力ｆｐは上向きに、バネ力ｆｓは下向きに
作用している。上記制御装置１２が吸引力ｆｐ＞バネ力
ｆｓとなるよう吸引力ｆｐの値を指令すると、吸着ノズ
ル３１が上方に動き、該副吸着ノズル３２に内接して先
端が該副吸着ノズル３２の先端と同一平面上になり、電
子部品１を吸着する。電子部品１は見かけ上、副吸着ノ
ズル３２のみに吸着されており、ノズル部３０が副吸着
ノズル３２のみで構成されているようにみえる。

【００１９】以後のノズル部３０の搭載動作を、図３に
示す搭載ノズルの下降タイムチャ−トを使って詳細に説
明する。

【００２０】図３は、真空ポンプ９の吸引力ｆｐ，圧縮
バネ３３のバネ力ｆｓ，搭載ノズルの下降距離及び駆動
要素の関係を示したものである。

【００２１】電子部品１は、制御装置１２により上記真
空ポンプ９の連通管１１に設けた電磁弁１０の動作をＯ
Ｎにすることにより、ノズル部３０に吸着されている。
該電子部品１を吸着したノズル部３０が基板４上の所望
個所に到達した時点を時刻ｔ０とすると、時刻ｔ１にお
いて、ノズル部３０は所定の距離（距離Ｈ１）を降下し
停止する。時刻ｔ１におけるノズル部３０の先端位置
は、下降距離を示すチャ−トでは点Ｂ１で示している。
ノズル部３０の下降中に電磁弁１０の動作をＯＦＦにす
る指令が上記制御装置１２から出されると、空間１５内
の圧力は少し遅延し常圧に向かって徐々に上昇するが、
点Ｂ１においては、吸引力ｆｐにより電子部品１は上記
吸着ノズル３１に吸着保持されている。

【００２２】吸引力ｆｐがバネ力ｆｓよりも小さくなる
時点を時刻ｔ２とし、時刻ｔ２におけるノズル部３０の
先端位置を、下降距離を示すチャ−トでは点Ｂ２で示
す。吸引力ｆｐがバネ力ｆｓより小さくなり、吸着ノズ
ル３１が圧縮バネ３３のバネ力ｆｓにより押し下げられ
ると、該吸着ノズル３１に電子部品１が吸着したまま該
吸着ノズル３１が下降し、時刻ｔ３においてリ−ド２が
はんだペ−スト３に接触する。下降距離を示すチャ−ト
では、リ−ド２がはんだペ−スト３上に接触する点を点
Ｂ３で示している。

【００２３】すなわち、時刻ｔ０から時刻ｔ２までは、
図１に示すようにノズル部３０は副吸着ノズル３２のみ
で構成され、電子部品１が該副吸着ノズル３２により吸
着されているように見える。また、時刻ｔ２以降は、図
２に示すようにノズル部３０が副吸着ノズル３２と該吸
着ノズル３１とで構成され、電子部品１は該吸着ノズル
３１のみにより吸着保持されているように見える。

【００２４】図２に示すように圧縮バネ３３により吸着
ノズル３１が距離Ｈ２だけ下降し、基板４上のはんだペ
−スト３にリ−ド２が接触すると、上記制御装置１２に
より真空ポンプ９の動作を停止する指令が出され、吸引
力ｆｐが０となり吸着が解除され搭載終了となる。

【００２５】本実施例によれば、ノズル部３０の降下時
には、図１に示すように電子部品１が吸着ノズル３１と
副吸着ノズル３２とで吸着保持されておりモ−タ１４に
より下降する。電子部品１の搭載時は、図２に示すよう
に副吸着ノズル３３が時刻ｔ１以降停止したままであ
り、吸着ノズル３１のみが圧縮バネ３３のバネ力ｆｓと
真空ポンプ９の吸引力ｆｐとのつりあいにより静かに降
下するため、電子部品１のリ−ド２がはんだペ−スト３
上に接触する際に、モ−タ１４の駆動力がノズル部３０
を介してはんだペ−スト３に伝わらない。

【００２６】すなわち、駆動要素を切り換える手段を設
けたことにより、吸着ノズル３１を強固に保持しなくと
もノズル部３０の下降時に発生するリ−ドピッチ幅方向
の振動が減少するため搭載部周辺を軽量化でき、従っ
て、ベ−ス１３や架台８等の搭載機全体の剛性を高める
必要がないため装置全体の小型化を図ることができると
ともに、ブリッジが発生しない高精度な搭載を行うこと
ができる。

【００２７】図４，図５に本発明の他の実施例を示す。
本実施例は、図１，図２に示す実施例と同様に、弾性体
を有する吸着ノズルと該吸着ノズルに同心的に配置した
副吸着ノズルとからなる搭載ノズルを搭載部に設け、電
子部品を吸着した搭載ノズルの基板上面への駆動を、該
基板から任意の位置までは駆動手段の駆動力により行
い、該任意の位置から前記電子部品を搭載すべき基板の
所定箇所までは弾性体の弾性力により行う、駆動要素を
切り換える手段を設けたものであり、更に、該吸着ノズ
ルと該副吸着ノズルとで独立した真空排気系を設けたも
のである。なお、図８に示す従来例と同一部分には同一
符号を付け説明を省略する。

【００２８】部品搭載部は、真空吸着（保持）した電子
部品１を基板４上に搭載するノズル部４０，該ノズル部
４０を駆動するベ−ス１３，該ベ−ス１３を動作させる
モ−タ１４，該モ−タ１４及び真空ポンプ９ａ，真空ポ
ンプ９ｂを制御する制御装置１２等により構成されてお
り、前記ノズル部４０は、吸着ノズル４１、該吸着ノズ
ル４１に同心的に配置した副吸着ノズル４２とにより構
成され、該副吸着ノズル４２を固定している保持体２５
により、ア−ム２６を介してベ−ス１３に接続されてい
る。

【００２９】該吸着ノズル４１の外周には、該保持体２
５により固定された副吸着ノズル４２が設けてあり、該
吸着ノズル４１の外壁，該副吸着ノズル４２の内壁及び
該保持体２５により形成される空間４５に圧縮バネ４３
を設け、圧縮バネ４３の上端は該保持体２５に接続し、
下端は該吸着ノズル４１に設けたバネ固定部４７に接続
している。該保持体２５に設けた圧縮バネ４３によりバ
ネ固定部４７を支持することにより該吸着ノズル４１は
保持されており、該バネ固定部４７には小孔４６が設け
てある。

【００３０】電子部品１をノズル部４０に吸着する場合
は、上記真空ポンプ９ａにより、該保持体２５に連通す
る連通管１１ａを介して該吸着ノズル４１と保持体２５
により形成される空間４４を減圧する。また、上記真空
ポンプ９ｂにより前記副吸着ノズル４２の側壁を連通す
る連通管１１ｂを介して圧縮バネ４３を設けた上記空間
４５を減圧する。真空ポンプ９ａの吸引力を吸引力ｆｐ
１とし、真空ポンプ９ｂの吸引力を吸引力ｆｐ２とする
と、吸引力ｆｐ１，吸引力ｆｐ２は上向きに、バネ力ｆ
ｓは下向きに作用しているため、上記制御装置１２が吸
引力ｆｐ２＞バネ力ｆｓとなるよう吸引力ｆｐ２の値を
指令する。該制御装置１２が吸引力ｆｐ２の値を指令す
ると、吸着ノズル４１が上方に動き、該副吸着ノズル４
２に内接して先端が該副吸着ノズル４２の先端と同一平
面上になる。また、上記制御装置１２が真空ポンプ９ａ
に吸引力ｆｐ１の値を指令し、電子部品１は及び副吸着
ノズル４２により吸着保持される。

【００３１】図１に示す実施例と同様に、電子部品１は
見かけ上、副吸着ノズル４２のみに吸着されており、ノ
ズル部４０が副吸着ノズル４２のみで構成されているよ
うにみえる。

【００３２】該電子部品１を吸着したノズル部４０は基
板４上の所望個所に到達し、モ−タ１４により所定の距
離（距離Ｈ１）を降下し停止する。この時、該電子部品
１は吸引力ｆｐ１及び吸引力ｆｐ２により吸引されてい
る。

【００３３】ノズル部４０の下降中に、真空ポンプ９ｂ
の連通管１１ｂに設けた電磁弁１０ｂの動作をＯＦＦに
する指令が上記制御装置１２から出されると、空間４５
内の圧力は常圧に向かって徐々に変化する。

【００３４】吸引力ｆｐ２がバネ力ｆｓより小さくな
り、吸着ノズル４１が圧縮バネ４３により距離Ｈ２だけ
押し下げられると、吸引力ｆｐ１により電子部品１が吸
着したまま該吸着ノズル４１が下降し、電子部品１のリ
−ド２がはんだペ−スト３に接触すると、上記制御装置
１２により真空ポンプ９ａの動作を停止し吸引力ｆｐ１
を０として吸着を解除、搭載が終了する。

【００３５】本実施例によれば、ノズル部４０の降下時
には、図４に示すように電子部品１が吸着ノズル４１と
副吸着ノズル４２とで吸着保持されており、モ−タ１４
の駆動力により下降する。電子部品１の搭載時は、まず
真空ポンプ９ｂを停止し、圧縮バネ４３のバネ力ｆｓと
真空ポンプ９ｂによる吸引力ｆｐ２とのつりあいにより
吸着ノズル４１のみが降下するため、電子部品１のリ−
ド２がはんだペ−スト３上に接触する際に、モ−タ１４
の駆動力がノズル部４０を介してはんだペ−スト３に伝
わらない。従って、はんだペ−スト３への衝撃力を緩和
できブリッジが発生しない。また、真空ポンプ９ａによ
る吸引力ｆｐ１が電子部品１に働いているため、電子部
品１を確実に吸着して吸着ノズル４１が降下する。従っ
て、信頼性の高い高精度な搭載を行なうことができる。

【００３６】すなわち、駆動要素を切り換える手段を設
けたことにより、吸着ノズル４１を強固に保持しなくと
もノズル部４０の下降時に発生するリ−ドピッチ幅方向
の振動が減少するため搭載部周辺を軽量化でき、従っ
て、ベ−ス１３や架台８等の搭載機全体の剛性を高める
必要がないため装置全体の小型化を図ることができると
ともに、ブリッジが発生しない高精度な搭載を行うこと
ができる。

【００３７】また、真空排気系を個別に設けたことによ
り、吸着ノズル４１が電子部品を確実に吸着したまま下
降するため、部品搭載時の信頼性を高めることができ
る。

【００３８】図６，図７に本発明の更に他の実施例を示
す。

【００３９】図６に示す本実施例は、図４，図５に示す
実施例における弾性体を吸着ノズルに複数段設けたもの
である。図６に搭載前の搭載ノズル、図７に搭載時の搭
載ノズルの要部を示す。なお、図４，図５に示す実施例
と同一部分には同一符号を付け説明を省略する。

【００４０】上述の図１から図５に示す各実施例におい
ては、基板４上に設けたはんだペ−スト３に加わる力
は、電子部品１を吸着した吸着ノズル３１，４１に設け
た圧縮バネ２３，３３によるバネ力ｆｓのみとなるが、
バネ力ｆｓが大きいと電子部品１のリ−ド２がはんだペ
−スト３上に接触する際に与える衝撃力が大きくなり、
ブリッジが発生することが考えられる。従って、図６お
よび図７に示す本実施例は、図１から図５に示す各実施
例に比べ、基板上に設けたはんだペ−ストに伝わるバネ
による押圧力を緩和する構成としたものである。

【００４１】部品搭載部は、真空吸着（保持）した電子
部品１を基板４上に搭載するノズル部５０，該ノズル部
５０を駆動するベ−ス１３，該ベ−ス１３を動作させる
モ−タ１４，該モ−タ１４及び真空ポンプ９ａ，真空ポ
ンプ９ｂを制御する制御装置１２等により構成されてお
り、前記ノズル部５０は、吸着ノズル５１、該吸着ノズ
ル５１と同心的に配置した副吸着ノズル５２、該副吸着
ノズル５２を固定している保持体２５により構成され、
ア−ム２６を介してベ−ス１３に接続されている。

【００４２】該吸着ノズル５１の外周には、該保持体２
５により固定された副吸着ノズル５２が設けてあり、該
吸着ノズル５１の外部にはバネ固定部４７ａ，バネ固定
部４７ｂが上下動自在に設けられており、それぞれ該吸
着ノズル５１に設けたストッパ５４，ストッパ５５によ
り保持されている。また、該副吸着ノズル５２の内部に
は、該バネ固定部４７ａと該バネ固定部４７ｂとの間に
位置するようストッパ５６が設けてある。

【００４３】圧縮バネ５３ａは、該吸着ノズル５１の外
壁，該副吸着ノズル５２の内壁，該保持体２５及び上記
バネ固定部４７ａにより形成される空間４５ａに位置
し、上端を該保持体２５に接続し下端をバネ固定部４７
ａに接続している。また、圧縮バネ５３ｂは、該吸着ノ
ズル５１の外壁，該副吸着ノズル５２の内壁，該バネ固
定部４７ａ及び上記バネ固定部４７ｂにより形成される
空間４５ｂに位置し、上端を該副吸着ノズル５２に設け
たストッパ５６に接続し下端はバネ固定部４７ｂに接続
している。なお、該バネ固定部４７ａ，４７ｂには小孔
５６が設けてある。 電子部品１をノズル部５０に吸着
する場合は、上記真空ポンプ９ａにより、該保持体２５
に連通する連通管１１ａを介して、空間４５を減圧す
る。また、上記真空ポンプ９ｂにより前記副吸着ノズル
５２の側壁を連通する連通管１１ｂを介して圧縮バネ５
３ａを設けた空間４５ａを、更に、ばね固定部４７ａに
設けた小孔５６を介して圧縮バネ５３ｂを設けた空間４
５ｂを減圧する。

【００４４】真空ポンプ９ａの吸引力を吸引力ｆｐ１と
し、真空ポンプ９ｂの吸引力を吸引力ｆｐ２とすると、
吸引力ｆｐ１，吸引力ｆｐ２は上向きに働いている。一
方、縮バネ５３ａと圧縮バネ５３ｂのバネ力を各々バネ
力ｆｓ１及びバネ力ｆｓ２とすると、搭載ノズル５１に
作用するバネ力は下向きとなる。従って、上記制御装置
１２が吸引力ｆｐ２＞バネ力ｆｓ１＋バネ力ｆｓ２とな
るよう吸引力ｆｐ２の値を指令すると、吸着ノズル５１
が上方に動き、該副吸着ノズル５２に内接して先端が該
副吸着ノズル５２の先端と同一平面上になり、吸引力ｆ
ｐ２は小孔５６を介して電子部品１の上部に作用する。
また、上記制御装置１２が真空ポンプ９ａに吸引力ｆｐ
１の値を指令することにより、電子部品１は吸着ノズル
５１及び副吸着ノズル５２により確実に吸着保持され
る。

【００４５】従って、上述の各実施例と同様に、電子部
品１は見かけ上、副吸着ノズル５２のみに吸着されてお
り、ノズル部５０が副吸着ノズル５２のみで構成されて
いるようにみえる。

【００４６】該電子部品１を吸着したノズル部５０が基
板４上の所望個所に到達した時点を時刻ｔ０とすると、
時刻ｔ１において、ノズル部５０はモ−タ１４により所
定の距離（距離Ｈ１）を降下し停止する。この時、該電
子部品１は吸引力ｆｐ１及び吸引力ｆｐ２により吸引さ
れている。

【００４７】ノズル部５０の下降中に真空ポンプ９ｂの
連通管１１ｂに設けた電磁弁１０ｂの動作をＯＦＦにす
る指令が上記制御装置１２から出され、空間４５ａ内の
圧力は常圧に向かって徐々に変化する。従って、吸引力
ｆｐ２がバネ力ｆｓ、すなわち、バネ力ｆｓ１とバネ力
ｆｓ２より小さくなり、吸着ノズル５１が圧縮バネ５３
ａにより押し下げられ、ストッパ５６によりバネ固定部
４７ａの下降が停止し、バネ力ｆｓ１が吸着ノズル５１
に伝わらなくなる。更に、小孔５６を通じて空間４５ｂ
内の圧力が常圧に向かって徐々に上昇すると、圧縮バネ
５５ｂにより吸着ノズル５１が押し下げられ、吸引力ｆ
ｐ１により電子部品１が吸着したまま該吸着ノズル５１
が下降し、図７に示すように、リ−ド２がはんだペ−ス
ト３に接触する。圧縮バネ５３ｂにより吸着ノズル５１
が距離Ｈ２だけ下降し、基板４上のはんだペ−スト３に
リ−ド２が接触すると、上記制御装置１２から真空ポン
プ９ａの動作を停止する指令が出され、吸引力ｆｐ１が
０となり吸着が解除され搭載終了となる。

【００４８】本実施例によれば、ノズル部５０の降下時
には、図６に示すように電子部品１が吸着ノズル５１と
副吸着ノズル５２とで吸着保持されており、モ−タ１４
の駆動力により下降する。電子部品１の搭載時は、まず
真空ポンプ９ｂを停止し圧縮バネ５３ａのバネ力ｆｓ１
と真空ポンプ９ｂの吸引力ｆｐ２とのつりあいにより吸
着ノズル５１のみが降下し、次いで、図７に示すよう
に、圧縮バネ５３ｂのバネ力ｆｓ２により吸着ノズル５
１が更に降下するが、真空ポンプ９ａによる吸引力ｆｐ
１が電子部品１に働いているため、電子部品１を確実に
吸着して吸着ノズル５１が降下し、電子部品１のリ−ド
２がはんだペ−スト３上に接触する際に、モ−タ１４の
駆動力がノズル部５０を介してはんだペ−スト３に伝わ
らず、ばね力ｆｓ２のみが伝わるため、上述の各実施例
よりもはんだペ−スト３への衝撃力を更に緩和でき、ブ
リッジが発生しない。また、真空ポンプ９ａによる吸引
力ｆｐ１が電子部品１に働いているため、電子部品１を
確実に吸着して吸着ノズル５１が降下する。従って、信
頼性の高い高精度な搭載を行うことができる。

【００４９】すなわち、駆動要素を切替える手段を設け
たことにより、吸着ノズル５１を強固に保持しなくとも
ノズル部５０の下降時に発生するリ−ドピッチ幅方向の
振動が減少するため搭載部周辺を軽量化でき、従って、
ベ−ス１３や架台８等の搭載機全体の剛性を高める必要
がないため装置全体の小型化を図ることができるととも
に、ブリッジが発生しない高精度な搭載を行うことがで
きる。

【００５０】また、真空排気系を個別に設けたことによ
り、吸着ノズル５１が電子部品を確実に吸着したまま下
降するため、部品搭載時の信頼性を高めることができ
る。

【００５１】なお、上述の各実施例においては、上記制
御装置１２によりノズル部３０，４０，５０の下降中に
電磁弁１０，１０ａ，１０ｂの動作指令が出るとして説
明したが、ノズル部３０，４０，５０が一時停止してか
ら動作指令を出してもよい。

【００５２】

【発明の効果】本発明によれば、装置の小型化を図るこ
とができるとともに、電子部品を高精度に搭載すること
ができる搭載機を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明搭載機の一実施例を示す搭載部の概略図
である。

【図２】図１に示す実施例における電子部品搭載時の要
部を示す図である。

【図３】図１及び図２に示す実施例における搭載時のタ
イムチャ−トである。

【図４】本発明搭載機の他の実施例を示す搭載部の概略
図である。

【図５】図４に示す実施例における電子部品搭載時の要
部を示す図である。

【図６】本発明搭載機の更に他の実施例を示す搭載部の
概略図である。

【図７】図６に示す実施例における電子部品搭載時を示
す図である。

【図８】従来の搭載機における部品搭載部を示す図であ
る。

【符号の説明】

１…電子部品、２…リ−ド、３…はんだペ−スト、４…
基板、５…リニアガイド、５ａ…ブロック、５ｂ…レ−
ル、６…ナット、７…ボ−ルねじ、８…架台、９，９
ａ，９ｂ…真空ポンプ、１０，１０ａ，１０ｂ…電磁
弁、１１，１１ａ，１１ｂ…連通管、１２…制御装置、
１３…ベ−ス、１４…モ−タ、１５，４５…空間、２０
…ノズル部、２１…吸着ノズル、２２…副吸着ノズル、
２３…圧縮バネ２４…ガイド、２５…保持体、２６…ア
−ム、２７…ストッパ、３０…ノズル部、３１…吸着ノ
ズル、３２…副吸着ノズル、３３…圧縮バネ、４０…ノ
ズル部、４１…吸着ノズル、４２…副吸着ノズル、４３
…圧縮バネ、４４，４５…空間、４６…小孔、４７，４
７ａ，４７ｂ…バネ固定部、５０…ノズル部、５１…吸
着ノズル、５２…副吸着ノズル、５３…圧縮バネ、５
４，５５，５６…ストッパ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子部品を保持した搭載ノズルを基板上面
   に駆動し、保持を解除することによって基板上に電子部
   品を搭載するものにおいて、 該電子部品を真空排気系の動作により吸着保持する搭載
   ノズルを弾性体を有する吸着ノズルと該吸着ノズルに同
   心的に配置した副吸着ノズルとで構成し、 前記吸着ノズルと前記副吸着ノズルが駆動手段の駆動力
   により所望の高さまで降下し、その後は、前記吸着ノズ
   ルが前記真空排気系の解除に基づいて前記弾性体の弾性
   力により降下するように駆動要素を切り換える手段を設
   けたことを特徴とする搭載機。