JPH07270705A - Hologram disk and positioning method therefor - Google Patents

Hologram disk and positioning method therefor

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JPH07270705A
JPH07270705A JP5697494A JP5697494A JPH07270705A JP H07270705 A JPH07270705 A JP H07270705A JP 5697494 A JP5697494 A JP 5697494A JP 5697494 A JP5697494 A JP 5697494A JP H07270705 A JPH07270705 A JP H07270705A
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JP
Japan
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hologram
disk
pitch
hologram disk
eccentricity
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JP5697494A
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Japanese (ja)
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Kazuya Taki
和也 滝
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Brother Industries Ltd
Original Assignee
Brother Industries Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
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  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To provide a hologram disk capable of adjusting eccentricity with high accuracy, and a positioning method therefor. CONSTITUTION:Plural hologram facets 12a to 12f for deflecting a light beam to perform scanning are arranged in the circumferential direction on the hologram disk 10, and aligning patterns 14a to 14f are formed on the outside thereof. The eccentricity is made minimum by adjusting so that the pitch of an enlarged image obtained by observing the aligning pattern or the number of fringes per unit length may be nearly constant to the rotation of the hologram disk 10, because the pitch of the patterns 14a to 14f in the radial direction is changed according to the radius. Thereafter, the hologram disk 10 is regularly fixed to a rotary shaft.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光ビームを走査するた
めのホログラムディスクおよびその位置決め方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hologram disk for scanning a light beam and a method for positioning the hologram disk.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザプリンタ等の光走査装置にホログ
ラムディスクを用いたときの構成を図12に示す。ホロ
グラムディスク101がモータ102の回転軸103に
固定され、回転する。このホログラムディスク101に
半導体レーザ105からのレーザ光110を照射する
と、レーザ光110はホログラムディスク101で回折
され、回折光112は感光体ドラム115上の光スポッ
ト120として収束する。ホログラムディスク101の
回転に伴い光スポット120は感光体ドラム115上を
走査する。ここで、図13に示すように、ホログラムデ
ィスク101の回転中心がモータ102の回転軸103
の回転中心に対し偏心が生じると、その偏心量に応じて
ホログラムディスク101へのレーザ光110の入射位
置にも相対的にずれが生じる。ホログラムディスク10
1に形成されたホログラムは場所により空間周波数が異
なる。このため、レーザ光110の入射位置が相対的に
ずれると空間周波数の違いにより回折角が変化し、回折
光112の出射方向が周期的に変動する。これにより、
レーザプリンタ等において走査線間隔の不均一を生じ、
印刷した画像の画質が劣化する。
2. Description of the Related Art FIG. 12 shows the configuration when a hologram disk is used in an optical scanning device such as a laser printer. The hologram disk 101 is fixed to the rotation shaft 103 of the motor 102 and rotates. When the hologram disc 101 is irradiated with the laser beam 110 from the semiconductor laser 105, the laser beam 110 is diffracted by the hologram disc 101, and the diffracted beam 112 converges as a light spot 120 on the photosensitive drum 115. As the hologram disk 101 rotates, the light spot 120 scans on the photosensitive drum 115. Here, as shown in FIG. 13, the rotation center of the hologram disk 101 is the rotation shaft 103 of the motor 102.
When the eccentricity is generated with respect to the rotation center of, the incident position of the laser light 110 on the hologram disk 101 is relatively displaced depending on the amount of the eccentricity. Hologram disc 10
The hologram formed in No. 1 has a different spatial frequency depending on the location. Therefore, when the incident position of the laser light 110 is relatively displaced, the diffraction angle is changed due to the difference in spatial frequency, and the emitting direction of the diffracted light 112 is periodically changed. This allows
Non-uniform scanning line spacing occurs in laser printers,
The quality of the printed image deteriorates.

【0003】このようなホログラムディスク101にお
いて、モータ102の回転軸103への取り付け時の偏
心を小さくするため、従来は図14に示すようにホログ
ラムディスク101のレーザ光を偏向させるホログラム
パターンが形成されているホログラムファセット121
の内側に位置調整用ホログラム123が形成されてい
た。ここで、位置調整用ホログラム123は、図15に
示すようにホログラムディスク101の中心軸上にピン
ホールマスク133を設け、中心軸に平行な平行光13
1を参照光として照射する。このとき、ピンホールマス
ク133のピンホール130を通過した光は、物体波で
ある球面波132となる。この平行光131と球面波1
32との干渉で位置調整用ホログラム123を記録す
る。位置決めを行うときは図14に示すように、記録時
の光と同じ波長で回転軸103に平行な再生平行光12
5を位置調整用ホログラム123に照射し、回折光が回
転中心軸103の上に点像127を再生する。そして、
ホログラムディスク101を回転させ点像127の軌跡
を一点に収束させることにより偏心の調整を行ってい
た。
In such a hologram disc 101, in order to reduce the eccentricity when the motor 102 is attached to the rotary shaft 103, a hologram pattern for deflecting the laser light of the hologram disc 101 is conventionally formed as shown in FIG. Hologram facet 121
The position adjusting hologram 123 was formed inside the. Here, the position adjusting hologram 123 is provided with a pinhole mask 133 on the central axis of the hologram disc 101 as shown in FIG.
Irradiate 1 as the reference light. At this time, the light passing through the pinhole 130 of the pinhole mask 133 becomes a spherical wave 132 which is an object wave. This parallel light 131 and spherical wave 1
The position adjusting hologram 123 is recorded by interference with 32. When performing the positioning, as shown in FIG. 14, a reproduction parallel light beam 12 having the same wavelength as that of the recording light beam and parallel to the rotation axis 103 is used.
5 is irradiated on the position adjusting hologram 123, and the diffracted light reproduces the point image 127 on the rotation center axis 103. And
The eccentricity is adjusted by rotating the hologram disk 101 to converge the locus of the point image 127 into one point.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図15
に示した位置調整用ホログラム123の記録時にピンホ
ール130の位置ずれや記録時の平行光131に回転中
心軸からの傾きがあると、図14に示す位置合わせ時に
点像127の像が回転中心軸103から離れた位置に再
生され、この点像127が回転中心軸103上に位置す
るように調整するとかえって偏心が生じるという問題が
あった。さらに、位置合わせ時に再生平行光125に回
転中心軸103からの傾きがあると、やはり点像127
の像が回転中心軸103から離れた位置に再生され、こ
の点像127が回転中心軸上に位置するように調整する
とかえって偏心や面振れが増大するという問題があっ
た。
However, as shown in FIG.
If the position error of the pinhole 130 is recorded during recording of the position adjusting hologram 123 and the parallel light 131 during recording is tilted from the center axis of rotation, the image of the point image 127 becomes the center of rotation during alignment shown in FIG. If the point image 127 is reproduced at a position away from the axis 103 and the point image 127 is adjusted so as to be located on the rotation center axis 103, there is a problem that decentering occurs. Furthermore, if the reproduced parallel light 125 has an inclination from the rotation center axis 103 during alignment, the point image 127 is still present.
Image is reproduced at a position distant from the rotation center axis 103, and if the point image 127 is adjusted so as to be located on the rotation center axis, there is a problem that eccentricity and surface runout increase.

【0005】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、高精度に偏心調整を行うことが
可能なホログラムディスクおよびその位置決め方法を提
供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a hologram disc capable of highly accurately adjusting the eccentricity and a positioning method thereof.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のホログラムディスクでは、光ビームを走査さ
せるための複数のホログラムファセットが配置されたホ
ログラムディスクであって、半径によりピッチが異なる
位置合わせパターンが形成されている。このとき、前記
位置合わせパターンの半径方向のピッチが単調に増加あ
るいは減少していてもよい。また、前記位置合わせパタ
ーンが前記ホログラムファセットよりも外側に形成され
ていてもよい。
In order to achieve this object, a hologram disc of the present invention is a hologram disc in which a plurality of hologram facets for scanning a light beam are arranged, and a position at which a pitch varies depending on a radius. A matching pattern is formed. At this time, the radial pitch of the alignment pattern may monotonically increase or decrease. Further, the alignment pattern may be formed outside the hologram facet.

【0007】また、本発明のホログラムディスクの位置
決め方法では、ホログラムディスク上の所定部分に形成
された位置合わせパターンを観察する工程と、ホログラ
ムディスクの位置決めを行う工程と、前記位置決め後に
前記ホログラムディスクを回転駆動軸に固定する工程と
を含む。このとき、前記観察工程において、位置合わせ
パターンのピッチあるいは数を検出する。
Further, in the hologram disc positioning method of the present invention, a step of observing an alignment pattern formed on a predetermined portion of the hologram disc, a step of positioning the hologram disc, and a step of positioning the hologram disc after the positioning are performed. Fixing to the rotary drive shaft. At this time, the pitch or the number of alignment patterns is detected in the observation step.

【0008】[0008]

【作用】上記の構成を有する本発明のホログラムディス
クおよびその位置決め方法において、ホログラムディス
クに形成され、半径によりピッチが異なる位置合わせパ
ターンを観察し、このとき、位置合わせパターンのピッ
チあるいは数を検出する。このピッチあるいは単位長さ
当りのパターンの数がホログラムディスク上の所定の複
数の観察位置においてほぼ同じとなるようにホログラム
ディスクの位置決めを行い、その後回転軸に固定する。
In the hologram disc and its positioning method of the present invention having the above-mentioned structure, the alignment patterns formed on the hologram disc and having different pitches depending on the radius are observed, and at this time, the pitch or the number of the alignment patterns is detected. . The hologram disk is positioned so that the number of patterns per pitch or unit length becomes substantially the same at a plurality of predetermined observation positions on the hologram disk, and then fixed to the rotary shaft.

【0009】このとき、前記位置合わせパターンの半径
方向のピッチが単調に増加あるいは減少していることに
より偏心方向を容易に検出することができる。また、前
記位置合わせパターンを前記ホログラムファセットより
も外側に形成することによりホログラムファセットの露
光光学系に妨害を与えない位置に位置合わせパターンの
露光光学系を配置することができる。
At this time, since the radial pitch of the alignment pattern monotonically increases or decreases, the eccentric direction can be easily detected. Further, by forming the alignment pattern on the outer side of the hologram facet, it is possible to arrange the exposure optical system of the alignment pattern at a position that does not interfere with the exposure optical system of the hologram facet.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0011】本発明を好適に適用したホログラムディス
ク10は、図1に示すように光ビームを偏向走査するた
めの複数のホログラムファセット12a、12b、12
c、12d、12e、12fが円周方向に沿って配置さ
れている。ホログラムファセット12a〜fには、レー
ザ光の走査、集光に必要なホログラムパターンが表面の
凹凸の形で形成されている。その外側には位置合わせパ
ターン14a、14b、14c、14d、14e、14
fが設けられている。
A hologram disk 10 to which the present invention is preferably applied has a plurality of hologram facets 12a, 12b, 12 for deflecting and scanning a light beam as shown in FIG.
c, 12d, 12e and 12f are arranged along the circumferential direction. Hologram patterns required for scanning and focusing laser light are formed on the hologram facets 12a to 12f in the form of surface irregularities. The alignment patterns 14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14
f is provided.

【0012】このようなホログラムディスク10の作製
方法については、図2を用いて説明する。まず、同図
(a)に示すように、ガラス等の基板21の上にフォト
レジスト22を回転塗布法により塗布し、球面波や平面
波等の所定の波面を有する例えば波長442nmのHe-Cdレー
ザ光25、26を照射し、干渉させ、ホログラムファセ
ット12aの露光を行う。このとき、必要な部分27だ
け露光されるように露光はマスク23を通して行われ
る。
A method of manufacturing such a hologram disc 10 will be described with reference to FIG. First, as shown in FIG. 1A, a photoresist 22 is applied onto a substrate 21 such as glass by a spin coating method, and a He-Cd laser having a predetermined wavefront such as a spherical wave or a plane wave with a wavelength of 442 nm is used. The lights 25 and 26 are irradiated and interfered with each other to expose the hologram facet 12a. At this time, the exposure is performed through the mask 23 so that only the necessary portion 27 is exposed.

【0013】同様にして、同図(b)に示すようにマス
ク31を通してホログラムファセット12aの露光部分
27の外側の部分30に位置合わせパターン14aの露
光を行う。このとき、例えば、参照光として平行光32
を、物体光33として円筒レンズ34からの出射光を用
い、この2つの光32、33を干渉させることにより位
置合わせパターンの露光を行う。これにより作製される
干渉縞のパターンは場所によりピッチの異なる直線格子
状となる。また、これにより外側の部分30に露光を行
う光学系はホログラムファセット12aを露光する光学
系に妨害を与えない位置に配置することが可能となる。
Similarly, as shown in FIG. 2B, the alignment pattern 14a is exposed to the portion 30 outside the exposed portion 27 of the hologram facet 12a through the mask 31. At this time, for example, the parallel light 32 is used as the reference light.
The light emitted from the cylindrical lens 34 is used as the object light 33, and the two patterns 32 and 33 are caused to interfere with each other to expose the alignment pattern. The pattern of the interference fringes produced by this is a linear lattice pattern with different pitches depending on the location. Further, this makes it possible to dispose the optical system that exposes the outer portion 30 at a position that does not interfere with the optical system that exposes the hologram facet 12a.

【0014】次に基板21を所定の角度だけ中心軸36
を中心として回転させ同様にホログラムファセット12
bと位置合わせパターン14bの露光を行う。以下同様
にして順次ホログラムファセット12c、12d、12
e、12fおよび、位置合わせパターン14c、14
d、14e、14fの露光を順次行う。ここで、ホログ
ラムファセット12a〜fを露光する光学系と位置合わ
せパターン14a〜fを露光する光学系はすべてのホロ
グラムファセット12a〜fおよび位置合わせパターン
14a〜fの露光が終了するまで固定されているため、
ホログラムファセット12a〜12fと位置合わせパタ
ーン14a〜14fはそれぞれ同一中心軸36に対し相
対的な位置が固定されて形成されている。すなわち、ホ
ログラムファセット12a〜12fの回転中心と位置合
わせパターン14a〜14fの回転中心とは常に一致し
ている。このため、位置合わせパターン14a〜fを用
いて偏心を最小とすることにより、ホログラムファセッ
ト12a〜fに対しても偏心が常に最小となる。
Next, the substrate 21 is moved to the central axis 36 at a predetermined angle.
Rotate around the
b and the alignment pattern 14b are exposed. Similarly, the hologram facets 12c, 12d, 12
e, 12f and the alignment patterns 14c, 14
Exposures d, 14e, and 14f are sequentially performed. Here, the optical system that exposes the hologram facets 12a to f and the optical system that exposes the alignment patterns 14a to f are fixed until the exposure of all the hologram facets 12a to f and the alignment patterns 14a to f is completed. For,
The hologram facets 12a to 12f and the alignment patterns 14a to 14f are formed such that their relative positions are fixed with respect to the same central axis 36. That is, the center of rotation of the hologram facets 12a to 12f and the center of rotation of the alignment patterns 14a to 14f always match. Therefore, by minimizing the eccentricity by using the alignment patterns 14a to 14f, the eccentricity is also minimized to the hologram facets 12a to 12f.

【0015】露光後、現像を行うと同図(c)に示すよ
うにフォトレジスト22によってホログラムファセット
12a〜fおよび位置合わせパターン14a〜fが形成
される。これを原盤として、同図(d)に示すようにNi
電鋳を行い、表面にNi膜38を形成後、同図(e)に示
すように原盤からNi電鋳膜38を剥離することにより表
面にホログラムパターンが形成されたNiスタンパ38が
製造される。このスタンパ38を金型40の一部として
同図(f)に示すように樹脂41を流し込み射出成形を
行うことにより同図(g)に示すようなホログラムディ
スク10が製造される。なお、射出成形に用いられる樹
脂としてはアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ
オレフィン樹脂等が用いられる。
After exposure and development, hologram 22 forms hologram facets 12a-f and alignment patterns 14a-f by photoresist 22, as shown in FIG. Using this as the master disc, as shown in FIG.
After electroforming, a Ni film 38 is formed on the surface, and then the Ni electroformed film 38 is peeled from the master as shown in FIG. 2E, whereby a Ni stamper 38 having a hologram pattern formed on the surface is manufactured. . By using this stamper 38 as a part of the mold 40 and injecting a resin 41 as shown in FIG. 2F, injection molding is performed, whereby the hologram disk 10 as shown in FIG. As the resin used for injection molding, acrylic resin, polycarbonate resin, polyolefin resin or the like is used.

【0016】上記ホログラムディスク10における本実
施例の位置決め方法を、図3を用いて説明する。まず、
回転駆動手段、例えばモータ41の回転軸43にホログ
ラムディスク10を仮固定する。そして、ホログラムデ
ィスク10に形成されている位置合わせパターン、例え
ば14aを像拡大手段、例えば顕微鏡45と拡大像検出
手段、例えばCCDカメラ46等によって観察する。
A method of positioning the hologram disk 10 according to this embodiment will be described with reference to FIG. First,
The hologram disk 10 is temporarily fixed to a rotation drive means, for example, a rotation shaft 43 of a motor 41. Then, the alignment pattern, for example, 14a formed on the hologram disk 10 is observed by an image magnifying means, for example, a microscope 45 and a magnified image detecting means, for example, a CCD camera 46.

【0017】図4に観察される拡大像のようすを示す。
位置合わせパターン14a〜fは場所によってピッチが
異なる直線格子状であるため、その拡大像は、図4
(a)に示すようになる。ここで、ホログラムディスク
10を回転させると、位置合わせパターン14a〜fも
回転し拡大像も同図(b)に示すように回転し、またピ
ッチも変化する。
FIG. 4 shows the appearance of the magnified image observed.
Since the alignment patterns 14a to 14f are in the shape of a linear lattice having different pitches depending on the location, the magnified image is shown in FIG.
As shown in (a). Here, when the hologram disk 10 is rotated, the alignment patterns 14a to 14f are also rotated, the enlarged image is also rotated as shown in FIG. 7B, and the pitch is also changed.

【0018】ここで、例えば、ホログラムディスク10
を回転軸43に仮固定したときに偏心があると、同図
(a)に対応した格子位置すなわち、縞が縦方向となる
位置において、ピッチが変化し同図(c)あるいは
(d)のような拡大像が観察される。ここで、位置合わ
せパターン14a〜fがその半径方向のピッチが場所、
すなわち半径によって単調に増加あるいは減少するよう
に形成されている場合は、拡大像のピッチあるいは単位
長さ当りの縞の数を計測することにより偏心方向を決定
できる。すなわち、例えば外周側ほどピッチが狭くなる
ような位置合わせパターン14a〜fが形成されている
とすると、同図(c)に示すようにピッチが減少すれば
内側へ、逆に同図(d)に示すようにピッチが増加すれ
ば外側へ偏心していることがわかる。
Here, for example, the hologram disk 10
If there is eccentricity when is temporarily fixed to the rotary shaft 43, the pitch changes at the lattice position corresponding to FIG. 7A, that is, the position where the stripes are in the vertical direction, and the pitch of FIG. Such a magnified image is observed. Here, the alignment patterns 14a to 14f have a radial pitch at a location,
That is, in the case where it is formed so as to monotonically increase or decrease depending on the radius, the eccentric direction can be determined by measuring the pitch of the magnified image or the number of stripes per unit length. That is, for example, assuming that the alignment patterns 14a to 14f are formed such that the pitch becomes narrower toward the outer peripheral side, as shown in FIG. 7C, if the pitch decreases, the position becomes inward, and conversely, FIG. It can be seen that as the pitch increases, it is eccentric to the outside, as shown in FIG.

【0019】従って、このような偏心が減少するように
ホログラムディスク10の位置を図示しない偏心調整機
構により調整し、再びホログラムディスク10を回転さ
せて拡大像を観察する。ここで、偏心調整機構はホログ
ラムディスク面内においてホログラムディスク10を回
転駆動軸43に対し、平行移動させる移動手段を有して
いる。このような移動手段としては、マイクロメータ機
構、移動シリンダ機構、移動ピン機構、リニアモータ機
構等が用いられる。
Therefore, the position of the hologram disk 10 is adjusted by an eccentricity adjusting mechanism (not shown) so as to reduce such eccentricity, and the hologram disk 10 is rotated again to observe an enlarged image. Here, the eccentricity adjusting mechanism has moving means for moving the hologram disk 10 in parallel with the rotation drive shaft 43 in the hologram disk plane. As such moving means, a micrometer mechanism, a moving cylinder mechanism, a moving pin mechanism, a linear motor mechanism, etc. are used.

【0020】このような工程を繰り返して、ホログラム
ディスク10の回転に対し、拡大像のピッチがほぼ不変
となるようにすることにより偏心を最小とすることがで
きる。その後、ホログラムディスク10を回転軸43に
本固定する。固定方法としては特に限定しないが、ネジ
止め、接着剤、例えば紫外線硬化樹脂等による接着等を
用いればよい。
The eccentricity can be minimized by repeating the above steps so that the pitch of the magnified image becomes almost invariable with the rotation of the hologram disk 10. After that, the hologram disk 10 is permanently fixed to the rotation shaft 43. The fixing method is not particularly limited, but screwing, adhesion with an adhesive, for example, an ultraviolet curable resin or the like may be used.

【0021】また、上述の実施例では、拡大像の縞が縦
方向となったときのピッチのみ計測すればよいため、ホ
ログラムディスク10の回転は連続的に行う必要はな
く、例えばステップ状に回転させてもよい。拡大像にお
いて、ピッチあるいは単位長さ当りの縞の本数は画像処
理により自動計測が可能であり、この計測値によって偏
心調整機構を制御することにより、ホログラムディスク
10の位置決めを自動で短時間、高精度に行うことがで
きる。例えば、計測した縞の本数と基準値との減算を行
うことにより偏心方向および偏心量を計算できるため、
偏心調整機構の制御を行うための制御値を容易に求める
ことができる。
Further, in the above-described embodiment, since it is necessary to measure only the pitch when the stripes of the enlarged image are in the vertical direction, it is not necessary to rotate the hologram disk 10 continuously, and for example, it is rotated stepwise. You may let me. In a magnified image, the number of stripes per pitch or unit length can be automatically measured by image processing, and the eccentricity adjustment mechanism is controlled by this measurement value to automatically position the hologram disk 10 for a short time and at a high position. Can be done with precision. For example, since the eccentric direction and the eccentric amount can be calculated by subtracting the measured number of stripes from the reference value,
A control value for controlling the eccentricity adjusting mechanism can be easily obtained.

【0022】以上、本発明の一実施例を図1乃至図4を
用いて詳細に説明したが、本発明は以上詳述した実施例
に限定されるものではなく、その主旨を逸脱しない範囲
で種々の変更を加えることができる。
Although one embodiment of the present invention has been described in detail above with reference to FIGS. 1 to 4, the present invention is not limited to the embodiment described in detail above, and within the scope of the invention. Various changes can be made.

【0023】上述の実施例では、ホログラムファセット
数は6枚であったが、これに限定されるわけではない。
例えば、2枚、7枚、8枚等でもよい。また、位置合わせ
パターンの位置もホログラムファセット12a〜fの外
側全周にわたり形成されている必要はない。例えば、図
5に示すようにその一部のみに位置合わせパターン51
a、51b、51c、、51d、51e、51fを形成
してもよい。このときは先の実施例でも述べたように、
位置決め時にホログラムディスク10をステップ的に回
転させればよい。
In the above embodiment, the number of hologram facets was 6, but the number is not limited to this.
For example, it may be 2, 7, 8 or the like. Further, the position of the alignment pattern does not have to be formed over the entire outer circumference of the hologram facets 12a to 12f. For example, as shown in FIG.
a, 51b, 51c, 51d, 51e, 51f may be formed. At this time, as described in the previous embodiment,
The hologram disk 10 may be rotated stepwise during positioning.

【0024】また、ホログラムファセット12a〜fと
位置合わせパターン14a〜fとは同数である必要はな
い。例えば、図6に示すように位置合わせパターンを90
゜おきに作製してもよい。このときも、ホログラムファ
セット12a〜12fを露光する光学系と位置合わせパ
ターン53a、53b、53c、53dを露光する光学
系はすべてのホログラムファセット12a〜fおよび位
置合わせパターン53a〜dの露光が終了するまで固定
されているため、ホログラムファセット12a〜12f
と位置合わせパターン53a〜dはそれぞれ同一中心軸
に対し相対的な位置が固定されて形成される。このとき
は、対向する位置合わせパターン53aと53cおよび
53bと53dとの拡大像を比較することにより、直交
する2方向について効率的に偏心調整を行うことができ
る。
Also, it is not necessary that the hologram facets 12a-f and the alignment patterns 14a-f be of the same number. For example, as shown in FIG.
It may be prepared every °. Also at this time, the exposure of all the hologram facets 12a to f and the alignment patterns 53a to d is completed in the optical system that exposes the hologram facets 12a to 12f and the optical system that exposes the alignment patterns 53a, 53b, 53c, and 53d. Since it is fixed up to, hologram facets 12a-12f
The alignment patterns 53a to 53d are formed such that their relative positions with respect to the same central axis are fixed. At this time, by comparing the magnified images of the facing alignment patterns 53a and 53c and 53b and 53d, the eccentricity can be efficiently adjusted in two orthogonal directions.

【0025】また、位置合わせパターンはホログラムフ
ァセットの外側に設けられている必要はない。例えば、
図7(a)に示すようにホログラムファセット12a〜
fの内側に位置合わせパターン55a〜fが形成されて
いてもよい。また、同図(b)に示すようにホログラム
ファセット12a〜fの間に位置合わせパターン57a
〜fが形成されていてもよい。これにより、ホログラム
ディスク10を小型にすることができる。
Also, the alignment pattern need not be provided outside the hologram facets. For example,
As shown in FIG. 7A, the hologram facets 12a ...
The alignment patterns 55a to 55f may be formed inside f. Further, as shown in FIG. 7B, the alignment pattern 57a is provided between the hologram facets 12a to 12f.
~ F may be formed. Thereby, the hologram disk 10 can be downsized.

【0026】また、位置合わせパターンは直線格子状に
限定されるわけではない。例えば、ピッチが半径位置に
より異なっていれば図8に示す拡大像のように湾曲して
いてもよい。このようなパターンは図2(b)におい
て、円筒レンズ34の代わりに球面レンズあるいはピン
ホールを用いることにより形成できる。
The alignment pattern is not limited to the linear grid pattern. For example, if the pitch differs depending on the radial position, it may be curved like the enlarged image shown in FIG. Such a pattern can be formed by using a spherical lens or a pinhole instead of the cylindrical lens 34 in FIG.

【0027】また、位置合わせパターンの半径方向のピ
ッチは必ずしも単調に増加あるいは減少している必要は
なく、図9のようなパターンでもよい。このとき、偏心
量が比較的小さければ、82あるいは84の近傍の拡大
像を観察すればよい。
The radial pitch of the alignment pattern does not necessarily have to monotonically increase or decrease, and a pattern as shown in FIG. 9 may be used. At this time, if the amount of eccentricity is relatively small, an enlarged image near 82 or 84 may be observed.

【0028】また、位置合わせパターンの半径方向のピ
ッチの大きさについては特に限定しない。この半径方向
のピッチはホログラムディスク10の位置決め精度と像
拡大手段における拡大率によって適切に定められる。例
えば0.5μm〜10μm程度の間に選ばれる。また、図2
(b)の露光時に平行光32は回転軸36に平行である
必要はない。例えば、回転軸36に対し、より外側から
斜めに入射させてもよい。これにより、ホログラムファ
セット12a〜fの露光光学系への妨害がさらに小さく
なり、ホログラムファセット12a〜fの露光光学系を
より自由に配置することができる。なお、円筒レンズ3
4の位置、傾き等についても特に限定されず、従来例の
ような回転軸36に対する制約もない。従って、位置合
わせパターン14a〜fの露光時の配置ずれは、位置合
わせパターン12a〜fのピッチ等が全体的に変化する
のみであり、これによりホログラムディスク10の位置
決めに悪影響を及ぼすことがなく、高精度の位置決めが
可能となる。
The size of the pitch of the alignment pattern in the radial direction is not particularly limited. The radial pitch is appropriately determined by the positioning accuracy of the hologram disk 10 and the magnification of the image magnifying means. For example, it is selected in the range of about 0.5 μm to 10 μm. Also, FIG.
The parallel light 32 does not need to be parallel to the rotation axis 36 during the exposure of (b). For example, the light may be obliquely incident on the rotating shaft 36 from the outer side. Thereby, the interference of the hologram facets 12a to 12f with the exposure optical system is further reduced, and the exposure optical system of the hologram facets 12a to 12f can be arranged more freely. The cylindrical lens 3
The position, inclination, etc. of No. 4 are not particularly limited, and there is no restriction on the rotary shaft 36 as in the conventional example. Therefore, the positional displacement of the alignment patterns 14a to 14f during exposure only changes the pitch of the alignment patterns 12a to 12f as a whole, and this does not adversely affect the positioning of the hologram disk 10. Highly accurate positioning is possible.

【0029】また、偏心調整時に必ずしもホログラムデ
ィスク10を回転させる必要はない。例えば、図10に
示すように複数の像拡大手段74、75、76と拡大像
検出手段77、78、79等を用いて、複数の位置合わ
せパターンを同時に計測することによりホログラムディ
スク10を回転させなくても偏心調整を行うことができ
る。すなわち、回転駆動軸43に対し偏心がほぼ0とな
るように予め形成された基準円を複数の像拡大手段7
4、75、76と拡大像検出手段77、78、79で観
察し、基準円の位置が拡大像の中央に位置するように、
各像拡大手段74、75、76と拡大像検出手段77、
78、79の位置を調整しておく。これにより、拡大像
検出手段で観察される拡大像の半径方向のピッチがすべ
て同一となるようにホログラムディスク10の位置を調
整することにより偏心量を最小とすることができる。
Further, it is not always necessary to rotate the hologram disk 10 when adjusting the eccentricity. For example, as shown in FIG. 10, the hologram disc 10 is rotated by simultaneously measuring a plurality of alignment patterns using a plurality of image magnifying means 74, 75, 76 and magnified image detecting means 77, 78, 79 and the like. Eccentricity adjustment can be performed without it. That is, the reference circle previously formed so that the eccentricity with respect to the rotary drive shaft 43 becomes substantially zero is provided with a plurality of image magnifying means 7.
4, 75, 76 and the magnified image detecting means 77, 78, 79 so that the reference circle is positioned at the center of the magnified image.
Each image magnifying means 74, 75, 76 and magnified image detecting means 77,
Adjust the positions of 78 and 79. As a result, the eccentricity can be minimized by adjusting the position of the hologram disc 10 so that the radial pitches of the magnified images observed by the magnified image detecting means are all the same.

【0030】また、ホログラムディスク固定時の回転駆
動軸は、モータの回転軸と固定あるいは一体に形成され
ている必要はない。すなわち、図11(a)に示すよう
にホログラムディスク10に回転駆動軸43を固定後、
同図(b)に示すように回転駆動軸43をモータ41の
回転軸42に固定してもよい。
Further, the rotary drive shaft for fixing the hologram disk does not need to be fixed or integrally formed with the rotary shaft of the motor. That is, as shown in FIG. 11A, after fixing the rotary drive shaft 43 to the hologram disc 10,
The rotary drive shaft 43 may be fixed to the rotary shaft 42 of the motor 41 as shown in FIG.

【0031】なお、ホログラムファセット12a〜fの
ホログラムパターンについては特に限定されない。例え
ば2つの球面波の干渉、あるいは球面波と平面波との干
渉によって得られるパターンでもよい。また、干渉時の
波面に適当な収差を加えてもよい。また、計算機合成ホ
ログラム(CGH)からの出射光を干渉させてもよい。
The hologram pattern of the hologram facets 12a to 12f is not particularly limited. For example, it may be a pattern obtained by the interference of two spherical waves or the interference of a spherical wave and a plane wave. Further, appropriate aberration may be added to the wavefront at the time of interference. Further, the light emitted from the computer generated hologram (CGH) may be interfered with each other.

【0032】また、ホログラムの作製方法としては射出
成形に限定されるわけではない。例えば、光重合硬化樹
脂を塗布したシートや基板をスタンパに密着させ紫外線
を照射することにより硬化させ複製を製造するいわゆる
2P法(フォトポリメリゼーション法)を用いてもよい。
Further, the method for producing the hologram is not limited to injection molding. For example, a so-called 2P method (photopolymerization method) may be used in which a sheet or substrate coated with a photopolymerization-curing resin is brought into close contact with a stamper to be cured by irradiation with ultraviolet rays to produce a duplicate.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のホログラムディスクおよびその位置決め方法にお
いて、ホログラムディスクに形成された位置合わせパタ
ーンを観察することによりホログラムディスクの位置決
めを行い、偏心量が最小となるように調整後回転駆動軸
に固定するため、短時間で高精度の偏心調整を容易に行
うことができる。
As is apparent from the above description, in the hologram disc and the positioning method thereof according to the present invention, the hologram disc is positioned by observing the alignment pattern formed on the hologram disc, and the eccentricity is reduced. Since it is fixed to the rotary drive shaft after adjustment so as to be the minimum, highly accurate eccentricity adjustment can be easily performed in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のホログラムディスクの一実施例を示す
要部平面図である。
FIG. 1 is a plan view of essential parts showing an embodiment of a hologram disc of the present invention.

【図2】本発明のホログラムディスクの製造方法を説明
する要部断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part for explaining the method for manufacturing a hologram disc of the present invention.

【図3】本発明のホログラムディスクの位置決め方法を
説明する要部側面図である。
FIG. 3 is a side view of the main parts for explaining the method of positioning the hologram disc according to the present invention.

【図4】位置合わせパターンの拡大像を示す模式図であ
る。
FIG. 4 is a schematic diagram showing an enlarged image of an alignment pattern.

【図5】本発明のホログラムディスクの他の実施例を示
す要部平面図である。
FIG. 5 is a main part plan view showing another embodiment of the hologram disc of the present invention.

【図6】本発明のホログラムディスクの他の実施例を示
す要部平面図である。
FIG. 6 is a main part plan view showing another embodiment of the hologram disc of the present invention.

【図7】本発明のホログラムディスクの他の実施例を示
す要部平面図である。
FIG. 7 is a main part plan view showing another embodiment of the hologram disc of the present invention.

【図8】位置合わせパターンの他の実施例を示す模式図
である。
FIG. 8 is a schematic view showing another embodiment of the alignment pattern.

【図9】位置合わせパターンの他の実施例を示す模式図
である。
FIG. 9 is a schematic view showing another embodiment of the alignment pattern.

【図10】本発明の位置決め方法の他の実施例を示す要
部側面図である。
FIG. 10 is a side view of essential parts showing another embodiment of the positioning method of the present invention.

【図11】本発明の位置決め方法の他の実施例を示す要
部側面図である。
FIG. 11 is a side view of essential parts showing another embodiment of the positioning method of the present invention.

【図12】ホログラムを用いた光走査装置の一例を示す
要部側面図である。
FIG. 12 is a side view of essential parts showing an example of an optical scanning device using a hologram.

【図13】ホログラムを用いた光走査装置における偏心
を説明する要部側面図である。
FIG. 13 is a side view of a main part for explaining eccentricity in an optical scanning device using a hologram.

【図14】従来のホログラムディスクの位置合わせ方法
を示す要部斜視図である。
FIG. 14 is a perspective view of a main part showing a conventional method of aligning a hologram disc.

【図15】従来のホログラムディスクの作製方法を示す
要部斜視図である。
FIG. 15 is a perspective view of a main part showing a method for manufacturing a conventional hologram disc.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 ホログラムディスク 12a〜f ホログラムファセット 14a〜f 位置合わせパターン 43 回転駆動軸 45 顕微鏡(像拡大手段) 46 CCDカメラ(拡大像検出手段) 10 Hologram Disc 12a-f Hologram Facet 14a-f Positioning Pattern 43 Rotation Drive Axis 45 Microscope (Image Magnifying Means) 46 CCD Camera (Magnifying Image Detecting Means)

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光ビームを走査させるための複数のホロ
グラムファセットが配置されたホログラムディスクにお
いて、半径によりピッチが異なる位置合わせパターンが
形成されていることを特徴とするホログラムディスク。
1. A hologram disc in which a plurality of hologram facets for scanning a light beam are arranged, wherein alignment patterns having different pitches depending on the radius are formed.
【請求項2】 請求項1に記載のホログラムディスクに
おいて、前記位置合わせパターンの半径方向のピッチが
単調に増加あるいは減少することを特徴とするホログラ
ムディスク。
2. The hologram disc according to claim 1, wherein the radial pitch of the alignment pattern monotonically increases or decreases.
【請求項3】 請求項1に記載のホログラムディスクに
おいて、前記位置合わせパターンが前記ホログラムファ
セットよりも外側に形成されていることを特徴とするホ
ログラムディスク。
3. The hologram disc according to claim 1, wherein the alignment pattern is formed outside the hologram facet.
【請求項4】 ホログラムディスク上の所定部分に形成
形成された位置合わせパターンを観察する工程と、ホロ
グラムディスクの位置決めを行う工程と、前記位置決め
後に前記ホログラムディスクを回転駆動軸に固定する工
程とを含むことを特徴とするホログラムディスクの位置
決め方法。
4. A step of observing an alignment pattern formed on a predetermined portion of the hologram disk, a step of positioning the hologram disk, and a step of fixing the hologram disk to a rotary drive shaft after the positioning. A method for positioning a hologram disc, comprising:
【請求項5】 請求項4に記載のホログラムディスクの
位置決め方法において、前記観察工程において、位置合
わせパターンのピッチあるいは数を検出することを特徴
とするホログラムディスクの位置決め方法。
5. The hologram disc positioning method according to claim 4, wherein the pitch or the number of alignment patterns is detected in the observation step.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100349940B1 (en) * 2000-09-29 2002-08-24 삼성전자 주식회사 Apparatus for scanning with a rotatable hologram disc
WO2016051627A1 (en) * 2014-09-30 2016-04-07 株式会社Jvcケンウッド Hologram generation apparatus and hologram generation method

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JP2016071101A (en) * 2014-09-30 2016-05-09 株式会社Jvcケンウッド Hologram creation device and hologram creation method

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