JPH07270353A - センサ素子リフレッシュ方法およびそのリフレッシュ機能を有する排ガス分析装置 - Google Patents
センサ素子リフレッシュ方法およびそのリフレッシュ機能を有する排ガス分析装置Info
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- JPH07270353A JPH07270353A JP6063177A JP6317794A JPH07270353A JP H07270353 A JPH07270353 A JP H07270353A JP 6063177 A JP6063177 A JP 6063177A JP 6317794 A JP6317794 A JP 6317794A JP H07270353 A JPH07270353 A JP H07270353A
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- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】被測定ガス中の吸着物質により被毒されたセン
サ素子表面の付着物質を除去し、簡単にリフレッシュさ
せるセンサ素子リフレッシュ方法およびこのリフレッシ
ュ機能を有する排ガス分析装置を提供する。 【構成】被測定ガスからセンサ素子５−１、５−２を遮
断した状態で、センサ素子の温度を一定の周期で複数回
上下させることにより、センサ素子表面をリフレッシュ
させるセンサ素子リフレッシュ手段を、排ガス分析装置
に設ける。
サ素子表面の付着物質を除去し、簡単にリフレッシュさ
せるセンサ素子リフレッシュ方法およびこのリフレッシ
ュ機能を有する排ガス分析装置を提供する。 【構成】被測定ガスからセンサ素子５−１、５−２を遮
断した状態で、センサ素子の温度を一定の周期で複数回
上下させることにより、センサ素子表面をリフレッシュ
させるセンサ素子リフレッシュ手段を、排ガス分析装置
に設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、煙道内の燃焼排ガス等
の被測定ガス中の成分ガス濃度を測定するのに使用され
る排ガス分析装置におけるセンサ素子表面の付着物質を
除去するセンサ素子のリフレッシュ方法およびリフレッ
シュ機能を有する排ガス分析装置に関するものである。
の被測定ガス中の成分ガス濃度を測定するのに使用され
る排ガス分析装置におけるセンサ素子表面の付着物質を
除去するセンサ素子のリフレッシュ方法およびリフレッ
シュ機能を有する排ガス分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、煙道内の燃焼排ガス等の被測
定ガス中の成分ガス濃度を測定するのに使用される装置
として、少なくともセンサ素子を有する排ガス分析装置
が知られている。この排ガス分析装置に使用されるセン
サ素子としては、半導体式ガスセンサ、接触燃焼式ガス
センサ、固体電解質ガスセンサ等が知られている。
定ガス中の成分ガス濃度を測定するのに使用される装置
として、少なくともセンサ素子を有する排ガス分析装置
が知られている。この排ガス分析装置に使用されるセン
サ素子としては、半導体式ガスセンサ、接触燃焼式ガス
センサ、固体電解質ガスセンサ等が知られている。
【０００３】そして、これらのセンサ素子で、被測定ガ
スのセンサ素子表面への吸着によるセンサ素子抵抗変化
（半導体式ガスセンサ）や、被測定ガスのセンサ素子表
面での化学反応熱によるセンサ素子抵抗変化（接触燃焼
式ガスセンサ）や、センサ素子の起電力変化（固体電解
質ガスセンサ）を検出することにより、被測定ガス中の
成分ガス濃度を換算して求めることができる。
スのセンサ素子表面への吸着によるセンサ素子抵抗変化
（半導体式ガスセンサ）や、被測定ガスのセンサ素子表
面での化学反応熱によるセンサ素子抵抗変化（接触燃焼
式ガスセンサ）や、センサ素子の起電力変化（固体電解
質ガスセンサ）を検出することにより、被測定ガス中の
成分ガス濃度を換算して求めることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の排ガス
分析装置における測定では、被測定ガス中の硫黄化合
物、ダスト、炭化水素等がセンサ素子表面上あるいは電
極上に不可逆的に吸着・付着したり化学反応を起こした
りするために、使用時間の経過とともにセンサ感度が低
下する問題があった。
分析装置における測定では、被測定ガス中の硫黄化合
物、ダスト、炭化水素等がセンサ素子表面上あるいは電
極上に不可逆的に吸着・付着したり化学反応を起こした
りするために、使用時間の経過とともにセンサ感度が低
下する問題があった。
【０００５】上述した問題を解消するために、従来は、
頻繁にガス校正を実施したり、フィルタを設置する等の
対策を施しているが、これらの対策では、校正ガスボン
ベの交換周期が極端に短くなったり、フィルタで充分に
吸着物質を除去できなかったり、フィルタがすぐ詰まっ
たり、応答時間が遅くなったりするなどの更なる問題が
発生していた。
頻繁にガス校正を実施したり、フィルタを設置する等の
対策を施しているが、これらの対策では、校正ガスボン
ベの交換周期が極端に短くなったり、フィルタで充分に
吸着物質を除去できなかったり、フィルタがすぐ詰まっ
たり、応答時間が遅くなったりするなどの更なる問題が
発生していた。
【０００６】本発明の目的は上述した課題を解消して、
被測定ガス中の吸着物質により被毒されたセンサ素子表
面の付着物質を除去し、簡単にリフレッシュさせるセン
サ素子リフレッシュ方法およびこのリフレッシュ機能を
有する排ガス分析装置を提供しようとするものである。
被測定ガス中の吸着物質により被毒されたセンサ素子表
面の付着物質を除去し、簡単にリフレッシュさせるセン
サ素子リフレッシュ方法およびこのリフレッシュ機能を
有する排ガス分析装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のセンサ素子リフ
レッシュ方法は、被測定ガスからセンサ素子を遮断した
状態で、センサ素子の温度を複数回上下させることによ
り、センサ素子表面の付着物質を除去することを特徴と
するものである。
レッシュ方法は、被測定ガスからセンサ素子を遮断した
状態で、センサ素子の温度を複数回上下させることによ
り、センサ素子表面の付着物質を除去することを特徴と
するものである。
【０００８】また、本発明のリフレッシュ機能を有する
排ガス分析装置は、煙道内の燃焼排ガス等の被測定ガス
中の成分ガス濃度を測定するための、少なくともセンサ
素子を有する排ガス分析装置において、被測定ガスから
センサ素子を遮断した状態で、センサ素子の温度を複数
回上下させる等のリフレッシュ方法により、センサ素子
表面の付着物質を除去するセンサ素子リフレッシュ手段
を設けたことを特徴とするものである。
排ガス分析装置は、煙道内の燃焼排ガス等の被測定ガス
中の成分ガス濃度を測定するための、少なくともセンサ
素子を有する排ガス分析装置において、被測定ガスから
センサ素子を遮断した状態で、センサ素子の温度を複数
回上下させる等のリフレッシュ方法により、センサ素子
表面の付着物質を除去するセンサ素子リフレッシュ手段
を設けたことを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】上述した構成において、センサ素子の温度を複
数回上下させることで、その昇温過程で、センサ素子表
面に吸着・付着していた物質が、急激に熱エネルギーを
与えられることにより、燃焼等の化学反応を起こして脱
離していき、センサ素子表面がリフレッシュされること
になる。また、リフレッシュ中はセンサ素子にエア、窒
素ガス等の吸着物質を含まないガスを導入しているた
め、吸着物質がセンサ素子表面に吸着・付着することが
ない。そのため、非常に簡単にセンサ素子表面のリフレ
ッシュが可能となり、長期にわたって安定したセンサ特
性を得ることができる。
数回上下させることで、その昇温過程で、センサ素子表
面に吸着・付着していた物質が、急激に熱エネルギーを
与えられることにより、燃焼等の化学反応を起こして脱
離していき、センサ素子表面がリフレッシュされること
になる。また、リフレッシュ中はセンサ素子にエア、窒
素ガス等の吸着物質を含まないガスを導入しているた
め、吸着物質がセンサ素子表面に吸着・付着することが
ない。そのため、非常に簡単にセンサ素子表面のリフレ
ッシュが可能となり、長期にわたって安定したセンサ特
性を得ることができる。
【００１０】ここで、センサ素子の温度を複数回上下さ
せるとは、例えば被測定ガスの測定温度 (接触燃焼セン
サの場合、例えば３００℃) を中心として±１０℃の温
度範囲を、その温度範囲の上限と下限との間を１０秒で
１往復する周期で、４〜５回温度を上下させることをい
う。なお、導入ガスを交互に切り替える場合の高温ガス
または還元ガスへの切り替え直後は、瞬間的に化学平衡
が吸熱方向すなわち吸着物質が脱離する方向に傾くた
め、より効果的なセンサ素子のリフレッシュを行うこと
ができる。
せるとは、例えば被測定ガスの測定温度 (接触燃焼セン
サの場合、例えば３００℃) を中心として±１０℃の温
度範囲を、その温度範囲の上限と下限との間を１０秒で
１往復する周期で、４〜５回温度を上下させることをい
う。なお、導入ガスを交互に切り替える場合の高温ガス
または還元ガスへの切り替え直後は、瞬間的に化学平衡
が吸熱方向すなわち吸着物質が脱離する方向に傾くた
め、より効果的なセンサ素子のリフレッシュを行うこと
ができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明のセンサ素子リフレッシュ方法
をＣＯセンサ素子を例にとって説明するための図であ
る。図１に示す例において、１はＣＯセンサブロック、
２はセンサブロック１内に設けたガス導入路、３はセン
サブロック１内に設けたガス導出路、４はＣＯセンサ、
５−１、５−２はガス導入路２およびガス導出路３の間
に設けられたＣＯセンサ４のＣＯセンサ素子、６−１、
６−２はセンサブロック１内に設けたヒータ、７はセン
サブロック１内に設けた熱電対、そして８はセンサリー
ド、９はヒータリード、１０は熱電対リードである。
をＣＯセンサ素子を例にとって説明するための図であ
る。図１に示す例において、１はＣＯセンサブロック、
２はセンサブロック１内に設けたガス導入路、３はセン
サブロック１内に設けたガス導出路、４はＣＯセンサ、
５−１、５−２はガス導入路２およびガス導出路３の間
に設けられたＣＯセンサ４のＣＯセンサ素子、６−１、
６−２はセンサブロック１内に設けたヒータ、７はセン
サブロック１内に設けた熱電対、そして８はセンサリー
ド、９はヒータリード、１０は熱電対リードである。
【００１２】図１に示す構成のＣＯセンサ素子におい
て、本発明のＣＯセンサ素子への温度の急激な上下変化
は、ヒータ６−１、６−２にヒータリード９を介して外
部から供給されるヒータ電圧またはヒータ電流を変化さ
せることにより達成できる。また、ＣＯセンサ４にセン
サリード８を介して外部から供給される電圧または電流
を変化させることによっても達成できる。他の方法とし
ては、ガス導入路２からガス導出路３に向かって外部か
ら低温ガスと高温ガスとを交互に導入して、ＣＯセンサ
素子５−１、５−２と低温ガスまたは高温ガスとを接触
させることにより、さらには外部から酸化ガス又は不活
性ガスと還元ガスとを交互に導入して、ＣＯセンサ素子
５−１、５−２と酸化ガス又は不活性ガスと還元ガスと
を接触させることにより、ＣＯセンサ素子への温度の急
激な上下変化を達成できる。
て、本発明のＣＯセンサ素子への温度の急激な上下変化
は、ヒータ６−１、６−２にヒータリード９を介して外
部から供給されるヒータ電圧またはヒータ電流を変化さ
せることにより達成できる。また、ＣＯセンサ４にセン
サリード８を介して外部から供給される電圧または電流
を変化させることによっても達成できる。他の方法とし
ては、ガス導入路２からガス導出路３に向かって外部か
ら低温ガスと高温ガスとを交互に導入して、ＣＯセンサ
素子５−１、５−２と低温ガスまたは高温ガスとを接触
させることにより、さらには外部から酸化ガス又は不活
性ガスと還元ガスとを交互に導入して、ＣＯセンサ素子
５−１、５−２と酸化ガス又は不活性ガスと還元ガスと
を接触させることにより、ＣＯセンサ素子への温度の急
激な上下変化を達成できる。
【００１３】上述した例のうち、温度変化をガスの切り
替えにより実施した場合は、供給電圧または供給電流を
変化させた場合と比較して、センサ素子表面の温度を急
激に変化させることができ、昇温時に瞬間的に化学平衡
が旧熱方向すなわち吸着物質が脱離する方向に傾くた
め、好ましい例である。なお、酸化ガスとしては、工場
エア、計装エア、大気エア等のエア、また、不活性ガス
は窒素ガス等を使用する。また、還元ガスとしては、酸
素を含んだ一酸化炭素等の可燃性ガスを使用する。
替えにより実施した場合は、供給電圧または供給電流を
変化させた場合と比較して、センサ素子表面の温度を急
激に変化させることができ、昇温時に瞬間的に化学平衡
が旧熱方向すなわち吸着物質が脱離する方向に傾くた
め、好ましい例である。なお、酸化ガスとしては、工場
エア、計装エア、大気エア等のエア、また、不活性ガス
は窒素ガス等を使用する。また、還元ガスとしては、酸
素を含んだ一酸化炭素等の可燃性ガスを使用する。
【００１４】図２は本発明のリフレッシュ機能を有する
排ガス分析装置の一例を、半導体式ＮＯｘセンサをセン
サ素子として使用した排ガス分析装置を例にとって説明
するための図である。図２に示す例において、２１は図
１に示す例と同様の構成のＮＯｘセンサ、２２は煙道２
３中の被測定ガスを導入する被測定ガス導入路、２４は
測定に使用した被測定ガスを煙道２３へ戻す被測定ガス
排出路、２５は逆止弁、２６はガスを加熱するプレヒー
タであり、上述した各部材により発信器２７を構成して
いる。
排ガス分析装置の一例を、半導体式ＮＯｘセンサをセン
サ素子として使用した排ガス分析装置を例にとって説明
するための図である。図２に示す例において、２１は図
１に示す例と同様の構成のＮＯｘセンサ、２２は煙道２
３中の被測定ガスを導入する被測定ガス導入路、２４は
測定に使用した被測定ガスを煙道２３へ戻す被測定ガス
排出路、２５は逆止弁、２６はガスを加熱するプレヒー
タであり、上述した各部材により発信器２７を構成して
いる。
【００１５】また、３１は発信器２７からの信号からＮ
Ｏｘ濃度を求めるとともに、各部の制御を行う受信器で
ある。さらに、３２はドレインフィルタ、３３はミスト
セパレータ、３４は減圧弁、３５は流量計、３６はＮＯ
ガスボンベ、３７はＣＯ等の可燃ガスボンベ、３８は校
正ガス切替用電磁弁、３９はリフレッシュガス切替用電
磁弁、４０はプレヒータ切替用電磁弁、４１はストップ
弁である。なお、図２に示す例において、上述した各部
は、実線で示す配管により接続されているとともに、点
線で示す制御ができるようにリード等により電気的に接
続されている。
Ｏｘ濃度を求めるとともに、各部の制御を行う受信器で
ある。さらに、３２はドレインフィルタ、３３はミスト
セパレータ、３４は減圧弁、３５は流量計、３６はＮＯ
ガスボンベ、３７はＣＯ等の可燃ガスボンベ、３８は校
正ガス切替用電磁弁、３９はリフレッシュガス切替用電
磁弁、４０はプレヒータ切替用電磁弁、４１はストップ
弁である。なお、図２に示す例において、上述した各部
は、実線で示す配管により接続されているとともに、点
線で示す制御ができるようにリード等により電気的に接
続されている。
【００１６】図２に示す例では、受信器３１からの制御
により、ＮＯｘセンサ２１に供給する電圧または電流を
制御するか、ＮＯｘセンサ２１のヒータに供給する電圧
または電流を制御するか、リフレッシュガス切替用電磁
弁３９およびプレヒータ切替用電磁弁４０を連動させて
切り替えることにより、ＮＯｘセンサ２１のリフレッシ
ュ動作を行うことができる。また、図２に示す例では、
すべてのリフレッシュ機能を説明するため、好ましいリ
フレッシュ手段をすべて記載したが、必要に応じてこれ
らのリフレッシュ手段のうちの１つを備えていれば、本
発明を達成できることはいうまでもない。
により、ＮＯｘセンサ２１に供給する電圧または電流を
制御するか、ＮＯｘセンサ２１のヒータに供給する電圧
または電流を制御するか、リフレッシュガス切替用電磁
弁３９およびプレヒータ切替用電磁弁４０を連動させて
切り替えることにより、ＮＯｘセンサ２１のリフレッシ
ュ動作を行うことができる。また、図２に示す例では、
すべてのリフレッシュ機能を説明するため、好ましいリ
フレッシュ手段をすべて記載したが、必要に応じてこれ
らのリフレッシュ手段のうちの１つを備えていれば、本
発明を達成できることはいうまでもない。
【００１７】図３は図２に示す構造の排ガス分析装置に
おけるリフレッシュ時のタイミングチャートの一例を示
している。図３に示す例では、リフレッシュを開始する
１時間前にプレヒータ電源を入れて、プレヒータ２６を
充分に加熱しておき、リフレッシュ時にリフレッシュガ
ス切替用電磁弁３９により可燃性ガス（ここではＣＯガ
ス）を流し、配管によるタイムラグを考慮した時間経過
後にプレヒータ切替用電磁弁４０をプレヒータ側に切替
えて、この高温の可燃性ガスをＮＯｘセンサ２１に供給
してＮＯｘセンサ２１を高温にする動作と、リフレッシ
ュガス切替用電磁弁３９によりエアを流し、配管による
タイムラグを考慮した時間経過後にプレヒータ切替用電
磁弁４０をプレヒータと逆側に切替えて、このエアをＮ
Ｏｘセンサ２１に供給してＮＯｘセンサ２１を低温にす
る動作を、５秒毎にそれぞれ４回繰り返すことにより、
リフレッシュ動作を行っている。なお、本例では、リフ
レッシュ動作終了後、校正ガスによる校正を常に行うよ
う構成している。
おけるリフレッシュ時のタイミングチャートの一例を示
している。図３に示す例では、リフレッシュを開始する
１時間前にプレヒータ電源を入れて、プレヒータ２６を
充分に加熱しておき、リフレッシュ時にリフレッシュガ
ス切替用電磁弁３９により可燃性ガス（ここではＣＯガ
ス）を流し、配管によるタイムラグを考慮した時間経過
後にプレヒータ切替用電磁弁４０をプレヒータ側に切替
えて、この高温の可燃性ガスをＮＯｘセンサ２１に供給
してＮＯｘセンサ２１を高温にする動作と、リフレッシ
ュガス切替用電磁弁３９によりエアを流し、配管による
タイムラグを考慮した時間経過後にプレヒータ切替用電
磁弁４０をプレヒータと逆側に切替えて、このエアをＮ
Ｏｘセンサ２１に供給してＮＯｘセンサ２１を低温にす
る動作を、５秒毎にそれぞれ４回繰り返すことにより、
リフレッシュ動作を行っている。なお、本例では、リフ
レッシュ動作終了後、校正ガスによる校正を常に行うよ
う構成している。
【００１８】図４は本発明のリフレッシュ機能を有する
排ガス分析装置の他の例を、接触燃焼式ＣＯセンサをセ
ンサ素子として使用したＣＯ分析装置を例にとって説明
するための図である。図４において、図２に示す例と同
一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。
図４に示す例において、図２に示す例と異なるのは、セ
ンサ素子としてＣＯセンサ２０を使用するため、ＣＯガ
スボンベがひとつだけで校正用ＣＯガスとリフレッシュ
用ＣＯガスを供給でき、図２の校正ガス切替用電磁弁３
８（やＮＯガスボンベ３６）を設置する必要がない点で
ある。図４に示す構造の排ガス分析装置におけるリフレ
ッシュ時のタイミングチャートの一例を図５に示す。図
５に示すリフレッシュ動作は、基本的には図３に示すリ
フレッシュ動作と同一である。
排ガス分析装置の他の例を、接触燃焼式ＣＯセンサをセ
ンサ素子として使用したＣＯ分析装置を例にとって説明
するための図である。図４において、図２に示す例と同
一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。
図４に示す例において、図２に示す例と異なるのは、セ
ンサ素子としてＣＯセンサ２０を使用するため、ＣＯガ
スボンベがひとつだけで校正用ＣＯガスとリフレッシュ
用ＣＯガスを供給でき、図２の校正ガス切替用電磁弁３
８（やＮＯガスボンベ３６）を設置する必要がない点で
ある。図４に示す構造の排ガス分析装置におけるリフレ
ッシュ時のタイミングチャートの一例を図５に示す。図
５に示すリフレッシュ動作は、基本的には図３に示すリ
フレッシュ動作と同一である。
【００１９】実際に、リフレッシュ機能を有する接触燃
焼式ＣＯ分析装置およびリフレッシュ機能を有するジル
コニア式Ｏ2 分析装置を準備し、これらの排ガス分析装
置により１０ｐｐｍＣＯおよび１％Ｏ2 のガスをそれぞ
れ測定して、本発明のリフレッシュ動作の効果を確認し
た。図６（ａ）にリフレッシュを行わなかった場合のＣ
Ｏ分析装置におけるＣＯ出力と時間との関係を、図６
（ｂ）にリフレッシュを定期的に行ったＣＯ分析装置に
おけるＣＯ出力と時間との関係を示す。
焼式ＣＯ分析装置およびリフレッシュ機能を有するジル
コニア式Ｏ2 分析装置を準備し、これらの排ガス分析装
置により１０ｐｐｍＣＯおよび１％Ｏ2 のガスをそれぞ
れ測定して、本発明のリフレッシュ動作の効果を確認し
た。図６（ａ）にリフレッシュを行わなかった場合のＣ
Ｏ分析装置におけるＣＯ出力と時間との関係を、図６
（ｂ）にリフレッシュを定期的に行ったＣＯ分析装置に
おけるＣＯ出力と時間との関係を示す。
【００２０】また、図７（ａ）にリフレッシュを行わな
かった場合のＯ2 分析装置におけるＯ2 出力と時間との
関係を、図７（ｂ）にリフレッシュを定期的に行ったＯ
2 分析装置におけるＯ2 出力と時間との関係を示す。図
６および図７の結果から、リフレッシュを定期的に行う
とＣＯ出力もＯ2 出力も変動しないのに対し、リフレッ
シュを行わないとＣＯ出力は低下しＯ2 出力は上昇し、
いずれの場合も変動してしまい、このことからリフレッ
シュの効果を確認することができた。
かった場合のＯ2 分析装置におけるＯ2 出力と時間との
関係を、図７（ｂ）にリフレッシュを定期的に行ったＯ
2 分析装置におけるＯ2 出力と時間との関係を示す。図
６および図７の結果から、リフレッシュを定期的に行う
とＣＯ出力もＯ2 出力も変動しないのに対し、リフレッ
シュを行わないとＣＯ出力は低下しＯ2 出力は上昇し、
いずれの場合も変動してしまい、このことからリフレッ
シュの効果を確認することができた。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、センサ素子の温度を一定の周期で複数回上下
させているため、その昇温過程で、センサ素子表面に吸
着・付着していた物質が、急激に熱エネルギーを与えら
れることにより、燃焼等の化学反応を起こして脱離して
いき、センサ素子表面がリフレッシュされることにな
る。また、リフレッシュ中はセンサ素子にエア、窒素ガ
ス等の吸着物質を含まないガスを導入しているため、吸
着物質がセンサ素子表面に吸着・付着することがない。
そのため、非常に簡単にセンサ素子表面のリフレッシュ
が可能となり、長期にわたって安定したセンサ特性を得
ることができる。
によれば、センサ素子の温度を一定の周期で複数回上下
させているため、その昇温過程で、センサ素子表面に吸
着・付着していた物質が、急激に熱エネルギーを与えら
れることにより、燃焼等の化学反応を起こして脱離して
いき、センサ素子表面がリフレッシュされることにな
る。また、リフレッシュ中はセンサ素子にエア、窒素ガ
ス等の吸着物質を含まないガスを導入しているため、吸
着物質がセンサ素子表面に吸着・付着することがない。
そのため、非常に簡単にセンサ素子表面のリフレッシュ
が可能となり、長期にわたって安定したセンサ特性を得
ることができる。
【図１】本発明のセンサ素子リフレッシュ方法を説明す
るための図である。
るための図である。
【図２】本発明のリフレッシュ機能を有する排ガス分析
装置の一例を示す図である。
装置の一例を示す図である。
【図３】図２に示す装置のリフレッシュ時のタイミング
チャートの一例を示す図である。
チャートの一例を示す図である。
【図４】本発明のリフレッシュ機能を有する排ガス分析
装置の他の例を示す図である。
装置の他の例を示す図である。
【図５】図４に示す装置のリフレッシュ時のタイミング
チャートの一例を示す図である。
チャートの一例を示す図である。
【図６】ＣＯ分析装置における時間とＣＯ出力との関係
を示す図である。
を示す図である。
【図７】Ｏ2 分析装置における時間とＯ2 出力との関係
を示す図である。
を示す図である。
１ ＣＯセンサブロック、２ ガス導入路、３ ガス導
出路、４ ＣＯセンサ、５−１、５−２ ＣＯセンサ素
子、６−１、６−２ ヒータ、２０ ＣＯセンサ、２１
ＮＯｘセンサ、２６ プレヒータ、３１ 受信器、３
８ 校正ガス切替用電磁弁、３９ リフレッシュガス切
替用電磁弁、４０ プレヒータ切替用電磁弁
出路、４ ＣＯセンサ、５−１、５−２ ＣＯセンサ素
子、６−１、６−２ ヒータ、２０ ＣＯセンサ、２１
ＮＯｘセンサ、２６ プレヒータ、３１ 受信器、３
８ 校正ガス切替用電磁弁、３９ リフレッシュガス切
替用電磁弁、４０ プレヒータ切替用電磁弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 27/38 27/41 27/409
Claims (8)
- 【請求項１】被測定ガスからセンサ素子を遮断した状態
で、センサ素子の温度を複数回上下させることにより、
センサ素子表面の付着物質を除去することを特徴とする
排ガス分析装置のセンサ素子リフレッシュ方法。 - 【請求項２】前記センサ素子の温度の制御を、センサ素
子を有するセンサ素子部に設けたヒータのヒータ電圧ま
たはヒータ電流を変化させて行う請求項１記載のセンサ
素子リフレッシュ方法。 - 【請求項３】前記センサ素子の温度の制御を、センサ素
子への供給電圧または供給電流を変化させて行う請求項
１記載のセンサ素子リフレッシュ方法。 - 【請求項４】前記センサ素子の温度の制御を、センサ素
子を有するセンサ素子部に、低温ガスと高温ガスとを交
互に導入することにより行う請求項１記載のセンサ素子
リフレッシュ方法。 - 【請求項５】前記センサ素子の温度制御を、センサ素子
を有するセンサ素子部に、酸化ガス又は不活性ガスと還
元ガスとを交互に導入することにより行う請求項１記載
のセンサ素子リフレッシュ方法。 - 【請求項６】前記酸化ガスが、工場エア、計装エア、大
気エア等のエアであり、不活性ガスが窒素ガスである請
求項５記載のセンサ素子リフレッシュ方法。 - 【請求項７】前記還元ガスが、酸素を含んだ一酸化炭素
等の可燃性ガスである請求項５記載のセンサ素子リフレ
ッシュ方法。 - 【請求項８】煙道内の燃焼排ガス等の被測定ガス中の成
分ガス濃度を測定するための、少なくともセンサ素子を
有する排ガス分析装置において、請求項１〜７のいずれ
かに記載のリフレッシュ方法により、センサ素子表面の
付着物質を除去するセンサ素子リフレッシュ手段を設け
たことを特徴とするリフレッシュ機能を有する排ガス分
析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06317794A JP3177089B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | センサ素子リフレッシュ方法およびそのリフレッシュ機能を有する排ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06317794A JP3177089B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | センサ素子リフレッシュ方法およびそのリフレッシュ機能を有する排ガス分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270353A true JPH07270353A (ja) | 1995-10-20 |
| JP3177089B2 JP3177089B2 (ja) | 2001-06-18 |
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ID=13221716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06317794A Expired - Lifetime JP3177089B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | センサ素子リフレッシュ方法およびそのリフレッシュ機能を有する排ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3177089B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU186865U1 (ru) * | 2018-09-20 | 2019-02-06 | Егор Владимирович Широких | Газоанализатор горючих газов |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102363171B1 (ko) | 2020-03-02 | 2022-02-15 | 최시영 | 환자용 가리개 |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP06317794A patent/JP3177089B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU186865U1 (ru) * | 2018-09-20 | 2019-02-06 | Егор Владимирович Широких | Газоанализатор горючих газов |
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