JPH07260492A - Angular velocity detector - Google Patents

Angular velocity detector

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Publication number
JPH07260492A
JPH07260492A JP6049562A JP4956294A JPH07260492A JP H07260492 A JPH07260492 A JP H07260492A JP 6049562 A JP6049562 A JP 6049562A JP 4956294 A JP4956294 A JP 4956294A JP H07260492 A JPH07260492 A JP H07260492A
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JP
Japan
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wire
angular velocity
vibration
coriolis force
detecting device
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP6049562A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shinkichi Shimizu
信吉 清水
Shigemi Kurashima
茂美 倉島
Michiko Endou
みち子 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Publication of JPH07260492A publication Critical patent/JPH07260492A/en
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Abstract

PURPOSE:To increase the amplitude of vibration of a wire for enhancing the sensitivity of a detector detecting Coriolis force, and separate the drive signal of the wire and an angular velosity detection signal in a simple configuration. CONSTITUTION:An angular velosity detector is provided with a pick-up part 2 for detecting Coriolis force generated in a direction at right angle to the vibration of a wire 1 according to the level of angular velocity when the angular velocity is applied around the input shaft of the wire 1 while the wire 1 where a tension is applied is vibrating in a secondary resonance frequency. Then, the wire 1 consisting of a magnetostriction material whose length changes according to magnetic field is used, a coil 3 for drive for generating magnetic filed is installed around the wire 1, and the pickup part 2 detects, without any contact, the vibration displacement generated due to Coriolis force which is generated when the wire 1 is vibrated by the passage of a current of the secondary resonance frequency of the wire 1 for the coil 3 for drive.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、振動体としてワイヤを
用いた場合に、このワイヤに加わる角速度の大きさに応
じて発生するコリオリの力を検知することにより角速度
を検出するための角速度検出装置に関する。さらに詳し
くいえば、本発明は、振動している物体、すなわち、振
動体の長さ方向の軸の回りに角速度が加わった場合に、
この振動体の振動方向と直交する方向にコリオリの力が
生ずる力学的現象を利用して、振動体としてのワイヤの
2次共振を用いることによりコリオリの力を検知する角
速度検出装置に関するものである。この種の角速度検出
装置の主要部は、回転体をもたない振動ジャイロとよば
れる角速度センサにより構成される。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an angular velocity detection for detecting an angular velocity by detecting the Coriolis force generated according to the magnitude of the angular velocity applied to the wire when the wire is used as the vibrating body. Regarding the device. More specifically, the present invention relates to a vibrating object, that is, when an angular velocity is applied around the longitudinal axis of the vibrating body,
The present invention relates to an angular velocity detecting device for detecting a Coriolis force by using a secondary resonance of a wire as a vibrating body by utilizing a mechanical phenomenon in which a Coriolis force is generated in a direction orthogonal to a vibration direction of the vibrating body. . The main part of this type of angular velocity detecting device is composed of an angular velocity sensor called a vibrating gyro having no rotating body.

【0002】このような角速度センサは、近年、例え
ば、自動車のナビゲーション・システムや、ビデオカメ
ラの手振れ防止装置や、車両の走行状態に合わせて自動
車のサスペンションの状態を変えることにより乗り心地
および操縦安定性を向上させるための車両用サスペンシ
ョン制御装置に用いられる。
In recent years, such an angular velocity sensor has been used, for example, in a navigation system of an automobile, a camera shake preventing device of a video camera, or by changing the state of a suspension of an automobile in accordance with the running state of the vehicle to provide a comfortable ride and stable steering. It is used in a vehicle suspension control system to improve the vehicle performance.

【0003】[0003]

【従来の技術】ここでいう振動ジャイロとは、「振動し
ている物体に角速度が加わると、振動方向と垂直の方向
にコリオリの力が生じる」という力学的現象を利用した
回転体をもたないジャイロのことを意味する。この振動
ジャイロの研究は、1950年代に、スペリー社製の
「ジャイロトロン」という名称の音叉形振動ジャイロに
始まっている。その後、振動体として、ワイヤ、角柱、
円柱等と各種の形式のものが研究・開発されてきたが、
現在入手可能なジャイロは、東京計器(株)およびワト
ソン社製の音叉形ジャイロのみである。なお、このよう
な音叉形ジャイロや、ワイヤの振動方式による振動ジャ
イロのような振動ジャイロの理論の詳細は、「実施例」
の項で述べることとする。
2. Description of the Related Art A vibrating gyroscope as used herein has a rotating body that utilizes a mechanical phenomenon that "When angular velocity is applied to a vibrating object, Coriolis force is generated in a direction perpendicular to the vibrating direction." It means no gyro. Research on this vibrating gyro began in the 1950s with a tuning fork type vibrating gyro called "gyrotron" manufactured by Sperry. After that, as a vibrating body, wire, prism,
Although various types such as cylinders have been researched and developed,
The currently available gyros are only tuning fork type gyros manufactured by Tokyo Keiki Co., Ltd. and Watson. For details of the theory of such a tuning fork gyro or a vibration gyro such as a vibration gyro by a wire vibration method, see "Examples".
Will be described in section.

【0004】図6は、従来の振動ジャイロを利用した角
速度検出装置の一例を示すブロック図である。ここで
は、各種の振動ジャイロの中で、振動体としてワイヤを
用いた方式の角速度センサを有する角速度検出装置の構
成(例えば、ハニウェル社製の振動ジャイロ)を例示す
ることとする。図6においては、適当な張力をかけて所
定の長さ(例えば、2インチ)のベリリウム銅線のワイ
ヤ100を張り、その半分の長さの部分に駆動用磁石1
10を配置する。さらに、ワイヤ100の残り半分の長
さの部分に対し上記の駆動用磁石110と直角に検出用
バイアス磁石120を配置する。さらに、振動用のワイ
ヤ100の中心に、このワイヤ100とは直角の方向に
ケーブル115を接続する。このような構造により、ワ
イヤの振動方式による振動ジャイロを利用した角速度セ
ンサが構成される。
FIG. 6 is a block diagram showing an example of a conventional angular velocity detecting device using a vibration gyro. Here, among various types of vibration gyros, a configuration of an angular velocity detection device having an angular velocity sensor using a wire as a vibrating body (for example, a vibration gyro manufactured by Honeywell) will be exemplified. In FIG. 6, a wire 100 of beryllium copper wire having a predetermined length (for example, 2 inches) is applied by applying an appropriate tension, and the driving magnet 1 is attached to a half of the wire 100.
Place 10 Further, the detection bias magnet 120 is arranged at a right angle to the drive magnet 110 with respect to the remaining half length of the wire 100. Further, a cable 115 is connected to the center of the vibration wire 100 in a direction perpendicular to the wire 100. With such a structure, an angular velocity sensor using a vibration gyro by a wire vibration method is configured.

【0005】さらに、このような角速度センサには、ワ
イヤ100を振動させるための駆動回路と、振動中のワ
イヤ100に角速度を加えることにより生じるコリオリ
の力を検知するための検知回路とが設けられる。なお、
場合によっては、これらの駆動回路と検知回路も含めて
角速度センサとよぶこともある。上記の駆動回路は、ワ
イヤ100に対し予め定められた周波数の電流を供給す
る発振器132と、この発振器132からの供給電圧の
振幅を調整する振幅制御回路130とを有する。
Further, such an angular velocity sensor is provided with a drive circuit for vibrating the wire 100 and a detection circuit for detecting the Coriolis force generated by applying the angular velocity to the vibrating wire 100. . In addition,
In some cases, the drive circuit and the detection circuit are also referred to as an angular velocity sensor. The drive circuit includes an oscillator 132 that supplies a current having a predetermined frequency to the wire 100, and an amplitude control circuit 130 that adjusts the amplitude of the voltage supplied from the oscillator 132.

【0006】また一方で、上記の検知回路は、検出用バ
イアス磁石120からの検知信号を取り出して増幅する
検出信号増幅器134と、この検出信号増幅器134の
出力をデモジュレータ(復調器)用基準信号発生器13
8の出力と比較して適切なレベルの直流電圧を生成する
デモジュレータ136と、このデモジュレータ136の
出力側に接続されるバッファ140とを有する。
On the other hand, the above detection circuit takes out a detection signal from the detection bias magnet 120 and amplifies it, and an output of this detection signal amplifier 134 to a demodulator reference signal. Generator 13
8 has a demodulator 136 that generates a DC voltage of an appropriate level as compared with the output of 8 and a buffer 140 connected to the output side of the demodulator 136.

【0007】ここで、上記発振器132により、振動用
のワイヤ100に2次共振周波数のモードの電流が供給
されると、このワイヤ100は、駆動用磁石110との
相互作用により図6に示すようなモードで振動する(図
6中にハッチングで示す)。このモードの振動状態で、
ワイヤ100の長さ方向の軸(入力軸)の回りに角速度
を入力として与えると、ワイヤ100は、発振器132
による駆動振動方向と直角の方向にコリオリの力を受
け、この駆動振動方向に対し垂直に振動する。検出用バ
イアス磁石120の磁束の方向は、駆動用磁石110と
直角であるから、ワイヤ100は、入力された角速度に
より、検出用バイアス磁石120の磁束を横切る方向に
振動し、この検出用バイアス磁石120の部分を横切る
ワイヤ100内に電磁誘導の原理によって電流が流れ
る。この電磁誘導の原理により流れた電流の電流値は、
発振器132からの駆動周波数により変調されているた
め、デモジュレータ136により同期整流して直流電圧
により復調される。この復調され直流電圧の出力電圧値
を評価することにより、入力された角速度が検出され
る。
Here, when the oscillator 132 supplies a current in the mode of the secondary resonance frequency to the vibration wire 100, the wire 100 interacts with the driving magnet 110, as shown in FIG. It vibrates in various modes (shown by hatching in FIG. 6). In the vibration state of this mode,
When an angular velocity is applied as an input about the longitudinal axis (input axis) of the wire 100, the wire 100 is connected to the oscillator 132.
Receives a Coriolis force in a direction perpendicular to the driving vibration direction and vibrates perpendicularly to the driving vibration direction. Since the direction of the magnetic flux of the detection bias magnet 120 is perpendicular to the drive magnet 110, the wire 100 vibrates in the direction crossing the magnetic flux of the detection bias magnet 120 due to the input angular velocity, and the detection bias magnet 120. A current flows in the wire 100 across the portion 120 by the principle of electromagnetic induction. The current value of the current that flows according to this electromagnetic induction principle is
Since it is modulated by the driving frequency from the oscillator 132, it is synchronously rectified by the demodulator 136 and demodulated by the DC voltage. The input angular velocity is detected by evaluating the output voltage value of the demodulated DC voltage.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】図6に示した構成の角
速度センサにおいては、振動ジャイロの感度を上げるた
めには、ワイヤ100の振動の振幅を大きくする必要が
ある。しかしながら、この図6の角速度センサは、ケー
ブル115そのものに電流を流すような構造になってい
るため、通常のモータを駆動する場合と同じように、ワ
イヤ100の振動の振幅が大きくなるにつれてこのワイ
ヤ100の振動を発生させるための駆動が難しくなると
いう問題が生じてくる。
In the angular velocity sensor having the structure shown in FIG. 6, it is necessary to increase the vibration amplitude of the wire 100 in order to increase the sensitivity of the vibration gyro. However, since the angular velocity sensor shown in FIG. 6 has a structure in which a current is passed through the cable 115 itself, as in the case of driving a normal motor, the wire 100 increases as the amplitude of vibration increases. There arises a problem that driving for generating the vibration of 100 becomes difficult.

【0009】さらに、駆動用のケーブル(図6のケーブ
ル115)と角速度検出用のケーブルとが同一になって
いるため、ワイヤ100の駆動信号と角速度検出信号と
が混在するおそれが出てくる。これを回避するために、
ワイヤ駆動信号と角速度検出信号とを互いに弁別するこ
とが必要になり、このような信号弁別のために角速度検
出信号を取り出す回路が複雑になり、回路全体が高価な
ものになるという問題も生じてくる。
Further, since the drive cable (cable 115 in FIG. 6) and the angular velocity detection cable are the same, the drive signal of the wire 100 and the angular velocity detection signal may be mixed. To avoid this,
It is necessary to discriminate the wire drive signal and the angular velocity detection signal from each other, and the circuit for extracting the angular velocity detection signal is complicated for such signal discrimination, which causes a problem that the entire circuit becomes expensive. come.

【0010】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、振動体としてのワイヤの振動の振幅を大きく
して角速度センサの感度を増大させると共に、簡単な構
成でワイヤの駆動信号と角速度検出用の検出信号とを容
易に分離することが可能な角速度検出装置を提供するこ
とを目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above problems, and increases the amplitude of vibration of a wire as a vibrating body to increase the sensitivity of an angular velocity sensor, and at the same time, provides a drive signal for a wire with a wire drive signal. It is an object of the present invention to provide an angular velocity detecting device that can easily separate a detection signal for angular velocity detection.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明の角速度検出装置では、所定の張力をかけ
て張られた振動体としてのワイヤが2次共振周波数のモ
ードで振動している状態で、ワイヤの長さ方向の軸の回
りに角速度が加わった場合、この角速度の大きさに応じ
てワイヤの振動方向と直交する方向に発生するコリオリ
の力を検知するために、磁界によりその長さが変化する
磁歪材料を用いてワイヤを作製し、かつ、ワイヤの周囲
に磁界を発生させる駆動用コイルを設置する。さらに、
本発明の角速度検出装置は、この駆動用コイルに対しワ
イヤの2次共振周波数の電流を流してこのワイヤを2次
共振のモードで振動させることにより、上記コリオリの
力を検知するようにしている。
In order to solve the above problems, in the angular velocity detecting device of the present invention, the wire as the vibrating body stretched by applying a predetermined tension vibrates in the mode of the secondary resonance frequency. When an angular velocity is applied around the wire length axis in this state, the magnetic field is detected in order to detect the Coriolis force generated in the direction orthogonal to the vibration direction of the wire according to the magnitude of this angular velocity. A wire is manufactured using a magnetostrictive material whose length changes by, and a driving coil for generating a magnetic field is installed around the wire. further,
The angular velocity detection device of the present invention detects the Coriolis force by causing a current having a secondary resonance frequency of the wire to flow through the drive coil to vibrate the wire in the secondary resonance mode. .

【0012】好ましくは、本発明の角速度検出装置は、
上記コリオリの力を検知するためのピックアップ部を備
えており、このピックアップ部は、ワイヤに対し非接触
方式にて検出を行う構成にしている。さらに、好ましく
は、上記のピックアップ部は、任意の発光素子と、この
発光素子から発光される光を受光するための受光素子と
を含み、ワイヤ中でコリオリの力による振動変位が生じ
る部分に対し、発光素子から発光される光を透過または
反射させた後に受光素子により検出される光に基づき、
角速度を検出するようになっている。
Preferably, the angular velocity detecting device of the present invention is
A pickup unit for detecting the Coriolis force is provided, and the pickup unit is configured to detect the wire in a non-contact manner. Further, preferably, the pickup section includes an arbitrary light emitting element and a light receiving element for receiving light emitted from the light emitting element, and a portion of the wire where vibration displacement due to Coriolis force occurs , Based on the light detected by the light receiving element after transmitting or reflecting the light emitted from the light emitting element,
It is designed to detect angular velocity.

【0013】さらに、好ましくは、上記のピックアップ
部は、コリオリの力によるワイヤの振動変位に応じて、
ワイヤに磁石を取り付けるかまたは磁石材料を塗布した
後に着磁を行った部分に生じる磁界の変化を磁気的に検
出するようにしている。
Further, preferably, the above-mentioned pick-up portion is arranged to respond to the vibration displacement of the wire due to the Coriolis force.
A change in the magnetic field generated in a portion magnetized after attaching a magnet to the wire or applying a magnet material is magnetically detected.

【0014】[0014]

【作用】本発明の角速度検出装置においては、発振器等
からの供給電圧が比較的少ない場合でも、振動体のワイ
ヤの振動の振幅を比較的大きくしてこのワイヤ振動を容
易に発生させるために、従来のケーブルに電流を流す駆
動回路系の代わりに、磁界を発生させる駆動用コイル
(代表的には、空芯コイル)をワイヤの周囲に設置す
る。さらに、本発明の角速度検出装置では、従来の駆動
用ケーブルに相当する振動体のワイヤとして磁歪材料を
用い、空芯コイルにケーブルの2次共振周波数の電流を
流し、ワイヤを共振させることにより、容易に大きな共
振が得られ、振動ジャイロとしたときの感度が増大す
る。
In the angular velocity detecting device of the present invention, even when the voltage supplied from the oscillator or the like is relatively small, the amplitude of the vibration of the wire of the vibrating body is made relatively large to easily generate the wire vibration. Instead of a conventional drive circuit system for passing a current through a cable, a drive coil (typically an air core coil) for generating a magnetic field is installed around the wire. Further, in the angular velocity detecting device of the present invention, a magnetostrictive material is used as a wire of a vibrating body corresponding to a conventional drive cable, and a current having a secondary resonance frequency of the cable is passed through the air-core coil to resonate the wire, A large resonance can be easily obtained, and the sensitivity of the vibration gyro increases.

【0015】さらにまた、上記コリオリの力の検知方法
として、ワイヤの変位を非接触で検出することにより、
コリオリの成分の信号出力が大きくとれるので、相対的
に振動ジャイロの感度を上げることができる。かくし
て、本発明では、振動体として磁歪材料からなるワイヤ
を用い、このワイヤの駆動源として、ワイヤの周囲に空
芯コイル等の駆動用コイルを設置しているので、ワイヤ
の振動の振幅が大きく取れて振動ジャイロの感度が増大
する。さらに、駆動用コイルがワイヤから離れて設置さ
れるので、ワイヤの駆動信号と角速度検出用の検出信号
とを容易に分離することが可能になる。
Further, as a method of detecting the Coriolis force, by detecting the displacement of the wire in a non-contact manner,
Since a large signal output of the Coriolis component can be obtained, the sensitivity of the vibration gyro can be relatively increased. Thus, in the present invention, a wire made of a magnetostrictive material is used as a vibrating body, and a drive coil such as an air-core coil is installed around the wire as a drive source of this wire, so that the amplitude of vibration of the wire is large. The sensitivity of the vibration gyro increases. Furthermore, since the drive coil is installed away from the wire, it becomes possible to easily separate the drive signal of the wire and the detection signal for angular velocity detection.

【0016】[0016]

【実施例】以下添付図面(図1〜図4)を用いて本発明
の角速度検出装置の実施例を詳細に説明する。図1は、
本発明の一実施例による角速度検出装置の構成を示すブ
ロック図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the angular velocity detecting device of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings (FIGS. 1 to 4). Figure 1
1 is a block diagram showing a configuration of an angular velocity detecting device according to an embodiment of the present invention.

【0017】図1においては、適当な張力をかけて、あ
る一定の長さの磁歪材料からなるワイヤ1を張り、その
半分の長さの部分に空芯コイル等の駆動用コイル3を設
置する。この駆動用コイル3は、ワイヤ1から空間的に
離れた状態で配置される。さらに、ワイヤ1の残り半分
の長さの部分に、このワイヤ1から空間的に離れた状態
でピックアップ部2が配置される。このピックアップ部
2は、ワイヤ1の長さ方向の軸(入力軸)の回りに角速
度が加わった場合、この角速度の大きさに応じてワイヤ
の振動方向と直交する方向に発生するコリオリの力によ
って生じるようなワイヤの変位を非接触で検出するため
のものである。ピックアップ部2をこのような構成にす
れば、コリオリの成分の信号の出力が大きくとれるの
で、相対的に振動ジャイロの感度を上げることができ
る。
In FIG. 1, a wire 1 made of a magnetostrictive material having a certain length is stretched by applying an appropriate tension, and a driving coil 3 such as an air-core coil is installed at a half length thereof. . The drive coil 3 is arranged in a state of being spatially separated from the wire 1. Further, the pickup unit 2 is arranged in a portion of the remaining half of the wire 1 so as to be spatially separated from the wire 1. When an angular velocity is applied around the longitudinal axis (input shaft) of the wire 1, the pickup unit 2 is caused by Coriolis force generated in a direction orthogonal to the vibration direction of the wire according to the magnitude of the angular velocity. It is for non-contact detection of displacement of the wire that may occur. If the pickup unit 2 is configured in this way, a large signal output of the Coriolis component can be obtained, so that the sensitivity of the vibration gyro can be relatively increased.

【0018】ここで、この振動ジャイロの動作原理を詳
細に説明することとする。いま、質量mなる質点が、慣
性座標系に対して一定の角速度Ω(ベクトル量)で回転
する場合、回転座標系に設置された角速度センサが検出
する質点に作用する力Fは、 F=m・α−mΩ×(Ω×r)−2mΩ×v (1) と表される。
Here, the operating principle of this vibrating gyro will be described in detail. Now, when a mass point of mass m rotates at a constant angular velocity Ω (vector amount) with respect to the inertial coordinate system, the force F acting on the mass point detected by the angular velocity sensor installed in the rotating coordinate system is F = m -(Alpha) -m (ohm) * ((ohm) * r) -2m (ohm) * v (1) It is represented.

【0019】式(1)の右辺第1項は、加速度α(ベク
トル量)による力、第2項は遠心力(rは質点の動径ベ
クトル)、第3項はコリオリの力(vは質点の速度ベク
トル)を表している。また、式(1)中の“×”は、ベ
クトルの外積を表している。いま、この右辺第3項にみ
に着目すると、質点に作用する力は、速度ベクトルvと
角速度ベクトルΩに直交し、かつ、一軸方向の速度のみ
を与えたとき、コリオリの力は角速度に比例するという
ことができる。したがって、式(1)中の式(1)中の
右辺第1項および第2項を無視できるように振動ジャイ
ロを作製し、質点にvなる速度をもたすことができれ
ば、この質点に作用する力から、入力された角速度を知
ることができる。
The first term on the right side of the equation (1) is the force due to the acceleration α (vector amount), the second term is the centrifugal force (r is the radial vector of the mass point), and the third term is the Coriolis force (v is the mass point). Of the velocity vector). Further, “×” in the equation (1) represents a vector cross product. Now, focusing on only the third term on the right side, the force acting on the mass point is orthogonal to the velocity vector v and the angular velocity vector Ω, and when only the velocity in one axis is given, the Coriolis force is proportional to the angular velocity. It can be said that Therefore, if a vibrating gyro is manufactured so that the first term and the second term on the right-hand side of the equation (1) in the equation (1) can be neglected and a velocity of v can be given to the mass point, this mass point can be acted on. The input angular velocity can be known from the force.

【0020】いま、このような速度vとして、直線速度
の代わりに振動速度を用い、この振動速度および入力角
速度に垂直な面内で作用しているコリオリの力、また
は、このコリオリの力をばねで受け、変位として検出す
るようにしたものが振動ジャイロである。したがって、
このような振動ジャイロの構成要素は、図6で述べたよ
うに、ワイヤ等の振動体と、この振動体を駆動する駆動
要素と、コリオリの力を検知するための角速度検出要素
といったような3要素からなっている。このため、上記
の振動ジャイロは、回転体を有するジャイロと異なり、
構造が非常に簡単である。その上、振動ジャイロには、
軸受等の摩耗部分が存在しないため、安価で長寿命のジ
ャイロを作製することができる。ただし、振動ジャイロ
の感度は、一般に、回転体を有するジャイロに比べて低
いため、前述のように、従来は、振動の振幅を大きくす
る必要があった。この不都合に対処するために、図1の
本発明の実施例では、上記のとおり、振動体として磁歪
材料からなるワイヤ1を用い、このワイヤ1の駆動源と
して、ワイヤの周囲に空芯コイル等の駆動用コイル3を
設置している。
As the velocity v, the vibration velocity is used instead of the linear velocity, and the Coriolis force acting in a plane perpendicular to the vibration velocity and the input angular velocity, or the Coriolis force is springed. A vibration gyro is a device that is received by and is detected as a displacement. Therefore,
As described in FIG. 6, the components of such a vibration gyro include a vibrating body such as a wire, a driving element for driving the vibrating body, and an angular velocity detecting element for detecting the Coriolis force. It consists of elements. Therefore, the vibrating gyro is different from the gyro having a rotating body.
The structure is very simple. Moreover, the vibrating gyro
Since there are no worn parts such as bearings, it is possible to manufacture an inexpensive gyro with a long life. However, since the sensitivity of the vibration gyro is generally lower than that of the gyro having a rotating body, conventionally, it was necessary to increase the amplitude of vibration as described above. In order to deal with this inconvenience, in the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, as described above, the wire 1 made of a magnetostrictive material is used as the vibrating body, and the driving source of the wire 1 is an air-core coil or the like around the wire. The driving coil 3 is installed.

【0021】ここで、再び図1において、上記の駆動要
素に相当する駆動回路は、ワイヤ1に対し予め定められ
た周波数の電流を供給する発振器5と、この発振器5の
出力のモニタ信号に基づいて発振器5からの供給電圧の
振幅を調整する振幅制御回路4とを有する。また一方
で、上記の角速度検出要素に相当する検知回路は、前述
のピックアップ部2と、このピックアップ部2からの検
出信号を取り出して増幅する検出信号増幅器6と、この
検出信号増幅器6の出力をデモジュレータ(復調器)用
基準信号発生器8の出力と比較して適切なレベルの直流
電圧を生成するデモジュレータ7と、このデモジュレー
タ7の出力側に接続されるバッファ9とを有する。
Here, referring again to FIG. 1, a drive circuit corresponding to the above-mentioned drive element is based on an oscillator 5 for supplying a current of a predetermined frequency to the wire 1 and a monitor signal output from the oscillator 5. And an amplitude control circuit 4 for adjusting the amplitude of the voltage supplied from the oscillator 5. On the other hand, the detection circuit corresponding to the angular velocity detecting element described above includes the pickup unit 2, the detection signal amplifier 6 for extracting and amplifying the detection signal from the pickup unit 2, and the output of the detection signal amplifier 6. The demodulator (demodulator) has a demodulator 7 that generates a DC voltage of an appropriate level in comparison with the output of the reference signal generator 8, and a buffer 9 connected to the output side of the demodulator 7.

【0022】ここで、上記発振器4により、振動用のワ
イヤ1に2次共振周波数のモードの電流が供給される
と、このワイヤ1は、駆動用コイル3との相互作用によ
り図1に示すようなモードで振動する(図1中にハッチ
ングで示す)。このモードの振動状態で、ワイヤ1の長
さ方向の軸(入力軸)の回りに角速度を入力として与え
ると、ワイヤ1は、発振器4による駆動振動方向と直角
の方向にコリオリの力を受け、この駆動振動方向に対し
垂直に振動する。この振動によるワイヤの変位は、ピッ
クアップ部2により非接触方式で検出される。このよう
にして検出された信号は、従来の場合と同じように、検
出信号増幅器6により増幅された後にデモジュレータ7
内で同期整流して直流電圧により復調される。この復調
された直流電圧は、バッファ9を介して出力される。こ
の出力電圧値を評価することにより、入力された角速度
が検出される。
When the oscillator 4 supplies a current in the mode of the secondary resonance frequency to the vibrating wire 1, the wire 1 interacts with the driving coil 3 as shown in FIG. It vibrates in various modes (shown by hatching in FIG. 1). When an angular velocity is applied as an input about the longitudinal axis (input axis) of the wire 1 in the vibration state of this mode, the wire 1 receives the Coriolis force in the direction perpendicular to the driving vibration direction of the oscillator 4, It vibrates perpendicularly to this driving vibration direction. The displacement of the wire due to this vibration is detected by the pickup unit 2 in a non-contact manner. The signal thus detected is amplified by the detection signal amplifier 6 and then demodulator 7 as in the conventional case.
It is synchronously rectified inside and demodulated by DC voltage. The demodulated DC voltage is output via the buffer 9. The input angular velocity is detected by evaluating this output voltage value.

【0023】ここで、本発明のワイヤ1に関係した磁歪
について説明する。磁歪とは、一般に、強磁性体等が磁
化されたときに外形が変形する現象を指している。磁歪
定数λは、長さlの磁歪材料がδlだけ伸びたときに、
δl/lで表される。この磁歪材料としては、飽和時の
磁歪定数λs が25×10-6程度のアモルファス金属
(例えば、アライド・シグナル社製の“メトグラス 2
605S−2”、繊維状の構成を有する)や、磁歪定数
λs が27×10-6程度のパーマロイ(Ni−Fe)
や、約800×10-6の高い磁歪定数λs (磁界が24
0kA/mのとき)を有する超磁歪材料からなる線材が
用いられる。なお、上記のアモルファス金属およびパー
マロイの組成や製造方法等に関しては、特公昭55−1
9976号公報に開示されている。
The magnetostriction related to the wire 1 of the present invention will be described. Magnetostriction generally refers to a phenomenon that the outer shape is deformed when a ferromagnetic material or the like is magnetized. The magnetostriction constant λ is defined as follows:
It is represented by δl / l. As the magnetostrictive material, an amorphous metal having a magnetostriction constant λs of about 25 × 10 −6 at saturation (for example, “Metgrass 2 manufactured by Allied Signal Co., Ltd.”) is used.
605S-2 ″, which has a fibrous structure) and a permalloy (Ni-Fe) having a magnetostriction constant λs of about 27 × 10 −6.
Or a high magnetostriction constant λs of about 800 × 10 -6 (the magnetic field is 24
A wire made of a giant magnetostrictive material having a value of 0 kA / m) is used. The composition and manufacturing method of the above-mentioned amorphous metal and permalloy are described in JP-B-55-1.
It is disclosed in Japanese Patent Publication No. 9976.

【0024】特に、図2の斜視図に示すように、振動体
としてのワイヤ(場合によっては、振動ワイヤと記す)
1に関し、長方形断面(幅h:厚さb)の線材を用いる
ことにより、線材の振動方向を一定にすれば、振動ジャ
イロに必要な振動方向の一方向性を確実に規定すること
ができる。さらに、発振器5により、振動ワイヤ内に2
次共振のモード(第2高調波)の定在波を立たせるよう
な周波数の電流を供給すると、磁歪効果により振動ワイ
ヤが振動し、振動ワイヤ内に2次モードの定在波が発生
する。この2次モードの振動状態において、ワイヤ1の
入力軸の回りに角速度を与えると、ワイヤ1は、駆動方
向と直交する方向にコリオリの力を受け、ワイヤ1の振
動する方向と垂直の方向に振動変位を起こし、ワイヤ1
のピックアップ部2の部分にコリオリの力が発生する。
In particular, as shown in the perspective view of FIG. 2, a wire as a vibrating body (in some cases, referred to as a vibrating wire)
Regarding No. 1, by using a wire rod having a rectangular cross section (width h: thickness b), if the vibration direction of the wire rod is made constant, it is possible to reliably define the unidirectionality of the vibration direction required for the vibration gyro. In addition, the oscillator 5 allows 2
When a current having a frequency that makes the standing wave of the second resonance mode (second harmonic) stand, the vibrating wire vibrates due to the magnetostriction effect, and the standing wave of the second mode is generated in the vibrating wire. When an angular velocity is applied around the input shaft of the wire 1 in the vibration mode of the secondary mode, the wire 1 receives the Coriolis force in the direction orthogonal to the driving direction, and the wire 1 moves in the direction perpendicular to the vibrating direction of the wire 1. Oscillating displacement causes wire 1
Coriolis force is generated in the pickup section 2 of.

【0025】ここで、非接触方式のピックアップ部2の
1つの例は、任意の発光素子と、この発光素子から発光
される光を受光するための受光素子とを有する。この場
合、ワイヤ1中で振動変位を起こす部分に対し、この発
光素子から発光される光を透過または反射させた後に受
光素子により検出される光に基づき、この角速度を検出
するような構成になっている。具体的には、発光素子お
よび受光素子として、半導体レーザとフォトダイオード
との組み合わせが考えられる。
Here, one example of the non-contact type pickup unit 2 has an arbitrary light emitting element and a light receiving element for receiving the light emitted from this light emitting element. In this case, the angular velocity is detected based on the light detected by the light receiving element after transmitting or reflecting the light emitted from this light emitting element to the portion of the wire 1 where the vibration displacement occurs. ing. Specifically, a combination of a semiconductor laser and a photodiode can be considered as the light emitting element and the light receiving element.

【0026】さらに、非接触方式のピックアップ部2の
別の例は、ワイヤ1を前もって磁化しておいてから、こ
の磁化された部分の磁界の変位を磁気的に検出するため
の磁気検出手段、例えば、磁気抵抗素子やホール素子や
ピックアップコイルのような磁気センサから構成され
る。図3は、図1の振動ワイヤの設計手順を説明するた
めの図である。
Further, another example of the non-contact type pickup section 2 is a magnetism detecting means for magnetically detecting the displacement of the magnetic field of the magnetized portion after magnetizing the wire 1 in advance. For example, it is composed of a magnetic sensor such as a magnetoresistive element, a Hall element, or a pickup coil. FIG. 3 is a diagram for explaining a design procedure of the vibrating wire of FIG. 1.

【0027】図3においては、ワイヤ1のタイプとし
て、アモルファス金属(例えば、アライド・シグナル社
製の“メトグラス 2605S−2”)を用いている。
さらに、ワイヤ1の長さ(1:エル)は、3cmに設定
する。さらに、図3に示すように、ワイヤ1の線密度を
ρ(kg/m)、断面2次モーメントIをI=(1/1
2)・b・h3 、断面積AをA=b・hとして表すと、
第2高調波の周波数は、 f=ω/2π=(7.853/l)2 ・(EI/ρA)1/2 /2π (2) と表される。
In FIG. 3, an amorphous metal (for example, "Metgrass 2605S-2" manufactured by Allied Signal Co., Ltd.) is used as the type of the wire 1.
Further, the length of the wire 1 (1: L) is set to 3 cm. Further, as shown in FIG. 3, the linear density of the wire 1 is ρ (kg / m) and the moment of inertia of area I is I = (1/1
2) · b · h 3 , the cross-sectional area A is expressed as A = b · h,
The frequency of the second harmonic is expressed as f = ω / 2π = (7.853 / l) 2 · (EI / ρA) 1/2 / 2π (2).

【0028】この式(2)に基づき、ワイヤ1の幅hが
0.1mmの場合と0.5mmの場合について、図3に
示すように、第2高調波の周波数fを計算により求める
と、それぞれ、f=8.6MHz、および、19MHz
が得られる。ただし、いずれの場合でも、ワイヤ1の厚
さbは25μm、飽和時の磁歪定数λs は27×1
-6、密度は、7.18kg/mm3 、ヤング率Eは1
30GPa(=130×109 ×0.102kgf/m
2 )とする。さらに、このような第2高調波の周波数の
振動を発生させるために、空芯コイルを使用している。
上記の第2高調波の周波数の値は、通常入手可能な磁歪
材料により無理なく実現できるオーダーであると考えら
れる。
Based on this equation (2), the width h of the wire 1 is
Fig. 3 shows the case of 0.1 mm and the case of 0.5 mm.
As shown, the frequency f of the second harmonic is calculated.
And f = 8.6 MHz and 19 MHz, respectively
Is obtained. However, in any case, the thickness of the wire 1
The thickness b is 25 μm, and the magnetostriction constant λs at saturation is 27 × 1.
0 -6, Density is 7.18 kg / mm3, Young's modulus E is 1
30 GPa (= 130 × 109× 0.102 kgf / m
2). In addition, the frequency of such second harmonic
An air-core coil is used to generate vibration.
The value of the frequency of the second harmonic above is the magnetostriction that is usually available.
Considered to be an order that can be easily realized depending on the material
Be done.

【0029】さらに、ここで使用した磁歪材料は、アラ
イド・シグナル社製の“メトグラス2605S−2”の
ような鉄系のアモルファス金属であり、この磁歪材料の
飽和磁界は、図4の直流ヒステリシスループ(B−H曲
線:Bは磁束密度、Hは磁界を表す)に示すように、
0.1Oe(8A/m)であり、さほど高い値ではな
い。ここで、比較のために、コバルト系のアモルファス
金属の直流ヒステリシスループも表示しておくこととす
る。このコバルト系のアモルファス金属は、鉄系のアモ
ルファス金属に比べて飽和磁界が低い値になるが、飽和
磁束密度(単位はテスラ(T))も小さいため、飽和時
の磁歪定数λs が鉄系のアモルファス金属よりも小さく
なる。
Further, the magnetostrictive material used here is an iron-based amorphous metal such as "Metgrass 2605S-2" manufactured by Allied Signal Co., and the saturation magnetic field of this magnetostrictive material is the DC hysteresis loop of FIG. (B-H curve: B represents magnetic flux density and H represents magnetic field)
The value is 0.1 Oe (8 A / m), which is not so high. For comparison, a DC hysteresis loop of cobalt-based amorphous metal is also displayed. The saturation magnetic field of this cobalt-based amorphous metal is lower than that of the iron-based amorphous metal, but since the saturation magnetic flux density (unit is Tesla (T)) is small, the magnetostriction constant λs at saturation is the same as that of the iron-based amorphous metal. It is smaller than amorphous metal.

【0030】さらに、上記の鉄系のアモルファス金属に
対し、所定の0.1Oeの飽和磁界を与えるために必要
な空芯コイルの巻数nを計算する。この場合、ワイヤ1
の半分の長さの部分(l/2=1.5cm)を1Aの電
流Iで駆動するものとする。ここで、Hs =nIで表さ
れる飽和磁界Hs の計算式に基づいて巻数nを計算する
と、12ターンの値が得られる。すなわち、この程度の
巻数の空芯コイルを用意すれば、ワイヤ1内に第2高調
波の周波数を発生させることができる。
Further, the number of turns n of the air-core coil required to apply a predetermined saturation magnetic field of 0.1 Oe to the iron-based amorphous metal is calculated. In this case wire 1
It is assumed that a half of the length (1/2 = 1.5 cm) is driven by a current I of 1 A. Here, when the number of turns n is calculated based on the calculation formula of the saturation magnetic field Hs represented by Hs = nI, a value of 12 turns is obtained. That is, if an air-core coil having this number of turns is prepared, the frequency of the second harmonic can be generated in the wire 1.

【0031】図5は、本発明の角速度センサの出力特性
の一例を示す図である。ここでは、角速度検出用のピッ
クアップ部2として、半導体レーザとフォトダイオード
との組み合わせを使用し、ワイヤ1の振動変位を非接触
方式により検出している。この検出された信号は、ワイ
ヤ駆動用の周波数により変調されているために、デモジ
ュレータ7により同期整流を行って直流に変換する必要
がある。このようにして直流に変換された信号は、図5
に示すように、入力された回転角速度(単位はdeg/
sec)に比例した直流の出力電圧(単位はボルト
(V))として角速度センサから取り出すことができ
る。この図5のグラフ上の○印は、角速度センサの直線
性が保証される範囲を示すものである。この図5から明
らかなように、本発明の磁歪材料を用いた振動ワイヤを
有する角速度センサの直線性は、充分に広い範囲で保証
される。
FIG. 5 is a diagram showing an example of output characteristics of the angular velocity sensor of the present invention. Here, a combination of a semiconductor laser and a photodiode is used as the pickup unit 2 for detecting the angular velocity, and the vibration displacement of the wire 1 is detected by a non-contact method. Since the detected signal is modulated by the frequency for driving the wire, it is necessary to perform synchronous rectification by the demodulator 7 and convert it into direct current. The signal converted into direct current in this way is shown in FIG.
As shown in, the input rotational angular velocity (unit is deg /
It can be taken out from the angular velocity sensor as a direct current output voltage (unit: volt (V)) proportional to (sec). A circle mark on the graph of FIG. 5 indicates a range in which the linearity of the angular velocity sensor is guaranteed. As is clear from FIG. 5, the linearity of the angular velocity sensor having the vibrating wire using the magnetostrictive material of the present invention is guaranteed in a sufficiently wide range.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、振
動体として磁歪材料からなるワイヤを用い、このワイヤ
の駆動源として、ワイヤの周囲に空芯コイル等の駆動用
コイルを設置しているので、振動の制御が容易になり、
振動の振幅が大きく取れる。したがって、角速度センサ
の感度が飛躍的に増大する。さらに、駆動用コイルがワ
イヤから離れて設置されるので、ワイヤの駆動信号と角
速度検出用の検出信号とを容易に分離することが可能に
なり、信号の処理が容易になるという利点が生じる。
As described above, according to the present invention, a wire made of a magnetostrictive material is used as a vibrating body, and a driving coil such as an air core coil is installed around the wire as a driving source of the wire. Since it is easy to control vibration,
Large vibration amplitude can be obtained. Therefore, the sensitivity of the angular velocity sensor is dramatically increased. Furthermore, since the drive coil is installed away from the wire, it is possible to easily separate the drive signal of the wire and the detection signal for angular velocity detection, which has the advantage of facilitating signal processing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例による角速度検出装置の構成
を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an angular velocity detecting device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の振動ワイヤの構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the vibrating wire of FIG.

【図3】図1の振動ワイヤの設計手順を説明するための
図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining a design procedure of the vibrating wire of FIG.

【図4】本発明の角速度センサに使用されるアモルファ
ス金属の直流ヒステリシスループを示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a DC hysteresis loop of amorphous metal used in the angular velocity sensor of the present invention.

【図5】本発明の角速度センサの出力特性の一例を示す
図である。
FIG. 5 is a diagram showing an example of output characteristics of the angular velocity sensor of the present invention.

【図6】従来の振動ジャイロを利用した角速度検出装置
の一例を示すブロック図である。
FIG. 6 is a block diagram showing an example of a conventional angular velocity detection device using a vibration gyro.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ワイヤ 2…ピックアップ部 3…駆動用コイル 4…振幅制御回路 5…発振器 6…検出信号増幅器 7…デモジュレータ 8…デモジュレータ用基準信号発生器 9…バッファ 1 ... Wire 2 ... Pickup part 3 ... Driving coil 4 ... Amplitude control circuit 5 ... Oscillator 6 ... Detection signal amplifier 7 ... Demodulator 8 ... Demodulator reference signal generator 9 ... Buffer

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の張力をかけて張られた振動体とし
てのワイヤ(1)を有し、該ワイヤ(1)が2次共振周
波数のモードで振動している状態で、該ワイヤ(1)の
長さ方向の軸の回りに角速度が加わったときに、該角速
度の大きさに応じて該ワイヤの振動方向と直交する方向
に発生するコリオリの力を検知することにより、該角速
度を検出するための角速度検出装置において、 前記ワイヤ(1)が、磁界によりその長さが変化する磁
歪材料からなり、 該ワイヤ(1)の周囲に磁界を発生させる駆動用コイル
(3)を設置し、該駆動用コイル(3)に対し該ワイヤ
(1)の2次共振周波数の電流を流して該ワイヤ(1)
を2次共振のモードで振動させることにより、前記コリ
オリの力を検知することを特徴とする角速度検出装置。
1. A wire (1) as a vibrating body stretched by applying a predetermined tension, the wire (1) being vibrated in a mode of a secondary resonance frequency. ), The angular velocity is detected by detecting the Coriolis force generated in the direction orthogonal to the vibration direction of the wire according to the magnitude of the angular velocity when the angular velocity is applied around the longitudinal axis. In the angular velocity detecting device for achieving the above, the wire (1) is made of a magnetostrictive material whose length is changed by a magnetic field, and a driving coil (3) for generating a magnetic field is installed around the wire (1), A current having a secondary resonance frequency of the wire (1) is applied to the drive coil (3) to cause the wire (1) to flow.
The angular velocity detecting device is characterized in that the Coriolis force is detected by vibrating in a secondary resonance mode.
【請求項2】 前記ワイヤ(1)の磁歪材料として、ア
モルファス金属が用いられる請求項1記載の角速度検出
装置。
2. The angular velocity detection device according to claim 1, wherein an amorphous metal is used as the magnetostrictive material of the wire (1).
【請求項3】 前記ワイヤ(1)が、繊維状の構成を有
する請求項1または2記載の角速度検出装置。
3. The angular velocity detection device according to claim 1, wherein the wire (1) has a fibrous structure.
【請求項4】 前記ワイヤ(1)の磁歪材料として、強
磁性のパーマロイからなる合金が用いられる請求項1記
載の角速度検出装置。
4. The angular velocity detecting device according to claim 1, wherein an alloy made of ferromagnetic permalloy is used as the magnetostrictive material of the wire (1).
【請求項5】 前記ワイヤ(1)の磁歪材料として、超
磁歪材料が用いられる請求項1記載の角速度検出装置。
5. The angular velocity detecting device according to claim 1, wherein a giant magnetostrictive material is used as the magnetostrictive material of the wire (1).
【請求項6】 前記所定の張力をかけて張られた振動体
としてのワイヤ(1)を有し、該ワイヤ(1)が2次共
振周波数のモードで振動している状態で、該ワイヤ
(1)の長さ方向の軸の回りに角速度が加わったとき
に、該角速度の大きさに応じて該ワイヤの振動方向と直
交する方向に発生するコリオリの力を検知するためのピ
ックアップ部(2)を備える角速度検出装置において、 前記ワイヤ(1)が、磁界によりその長さが変化する磁
歪材料からなり、 該ワイヤ(1)の周囲に磁界を発生させる駆動用コイル
(3)を設置し、 該駆動用コイル(3)に対し該ワイヤ(1)の2次共振
周波数の電流を流して該ワイヤ(1)を2次共振のモー
ドで振動させたときに発生する前記コリオリの力により
生じ、かつ、該ワイヤ(1)の振動方向と直交する方向
に生じる振動変位を検出するために、前記ピックアップ
部(2)は、前記ワイヤに対し非接触方式にて検出を行
うことを特徴とする角速度検出装置。
6. A wire (1) as a vibrating body stretched by applying a predetermined tension, the wire (1) being vibrated in a mode of a secondary resonance frequency. 1) A pickup unit (2) for detecting a Coriolis force generated in a direction orthogonal to the vibration direction of the wire according to the magnitude of the angular velocity when the angular velocity is applied around the longitudinal axis. ), The wire (1) is made of a magnetostrictive material whose length is changed by a magnetic field, and a driving coil (3) for generating a magnetic field is installed around the wire (1), Caused by the Coriolis force generated when a current having a secondary resonance frequency of the wire (1) is caused to flow through the drive coil (3) to vibrate the wire (1) in a secondary resonance mode, In addition, the vibration direction of the wire (1) is In order to detect the vibration displacement generated in the intersecting direction, the pickup unit (2) detects the wire in a non-contact manner, the angular velocity detecting device.
【請求項7】 前記ピックアップ部(2)が、 任意の発光素子と、該発光素子から発光される光を受光
するための受光素子とを含み、 前記ワイヤ(1)中で前記振動変位が生じる部分に対
し、該発光素子から発光される光を透過または反射させ
た後に前記受光素子により検出される光に基づき、該角
速度を検出する請求項6記載の角速度検出装置。
7. The pickup section (2) includes an arbitrary light emitting element and a light receiving element for receiving light emitted from the light emitting element, and the vibration displacement occurs in the wire (1). The angular velocity detecting device according to claim 6, wherein the angular velocity is detected based on the light detected by the light receiving element after transmitting or reflecting the light emitted from the light emitting element to the portion.
【請求項8】 前記ピックアップ部(2)が、 前記ワイヤ(1)に磁石を取り付けた後に着磁を行った
部分と、 該ワイヤ(1)の振動方向と直交する方向の振動変位に
応じて、前記の着磁された部分に生じる磁界の変化を磁
気的に検出するための磁気検出手段とを含む請求項6記
載の角速度検出装置。
8. The pickup part (2) is magnetized after the magnet is attached to the wire (1), and the picked-up part (2) is responsive to a vibration displacement in a direction orthogonal to a vibration direction of the wire (1). 7. The angular velocity detecting device according to claim 6, further comprising: a magnetic detecting means for magnetically detecting a change in a magnetic field generated in the magnetized portion.
【請求項9】 前記ピックアップ部(2)が、 前記ワイヤ(1)に磁石材料を塗布した後に着磁を行っ
た部分と、 該ワイヤ(1)の振動方向と直交する方向の振動変位に
応じて、前記の着磁された部分に生じる磁界の変位を磁
気的に検出するための磁気検出手段とを含む請求項6記
載の角速度検出装置。
9. The pick-up part (2) is responsive to a portion where the wire (1) is magnetized after being coated with a magnetic material and a vibration displacement in a direction orthogonal to a vibration direction of the wire (1). 7. An angular velocity detecting device according to claim 6, further comprising: a magnetic detecting means for magnetically detecting a displacement of a magnetic field generated in the magnetized portion.
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