JPH07253375A - Method and apparatus for detection of eccentricity - Google Patents
Method and apparatus for detection of eccentricityInfo
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- JPH07253375A JPH07253375A JP4362194A JP4362194A JPH07253375A JP H07253375 A JPH07253375 A JP H07253375A JP 4362194 A JP4362194 A JP 4362194A JP 4362194 A JP4362194 A JP 4362194A JP H07253375 A JPH07253375 A JP H07253375A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えばタービン等の回
転体の軸の偏心量を検出する方法および装置に係り、特
に設置時に種々の調整を行なうことなく、回転体の偏心
量、および必要に応じて偏心の方向を高精度に検出でき
るようにした偏心検出方法および装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for detecting the amount of eccentricity of the shaft of a rotating body such as a turbine, and particularly to the amount of eccentricity of the rotating body without making various adjustments during installation. The present invention relates to an eccentricity detection method and device capable of detecting the direction of eccentricity with high accuracy.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、例えばタービン等の回転体の
軸の偏心量を検出する方法としては、渦電流を検出する
ギャップセンサを用いる方法が主流である。この検出方
法は、回転体の軸に対して垂直に設置した渦電流センサ
により、その軸の偏心量を測定する方法である。2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for detecting the amount of eccentricity of a shaft of a rotating body such as a turbine, a method using a gap sensor for detecting an eddy current has been mainstream. This detection method is a method of measuring the amount of eccentricity of the axis by an eddy current sensor installed perpendicularly to the axis of the rotating body.
【０００３】しかしながら、この種の渦電流センサは、
検出精度がよいのではあるが、それを用いた検出方法で
は、以下のような種々の問題がある。 （ａ）設置時のギャップ調整が難しい。 （ｂ）ギャップを広げると、センサ自体が大型になって
しまう。 （ｃ）渦電流を用いているため、複数のセンサ同志を近
接して設置することができない。 （ｄ）１方向の偏心についてしか検出することができな
い。 （ｅ）センサから変換器までの距離をとることができ
ず、変換器もセンサ毎に調整することが必要となる。However, this type of eddy current sensor is
Although the detection accuracy is good, the detection method using it has the following various problems. (A) It is difficult to adjust the gap during installation. (B) If the gap is widened, the sensor itself becomes large. (C) Since multiple eddy currents are used, it is not possible to place multiple sensors in close proximity to each other. (D) Only eccentricity in one direction can be detected. (E) The distance from the sensor to the converter cannot be maintained, and the converter also needs to be adjusted for each sensor.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
渦電流センサを用いた検出方法においては、検出精度が
よいものの、設置時に種々の調整を行なわなければなら
ないという問題があった。As described above, the conventional detection method using the eddy current sensor has a problem in that although the detection accuracy is good, various adjustments must be made at the time of installation.
【０００５】本発明の目的は、設置時に種々の調整を行
なうことなく、回転体の偏心量、および必要に応じて偏
心の方向を高精度に検出することが可能な高信頼度の偏
心検出方法および装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a highly reliable eccentricity detection method capable of detecting the amount of eccentricity of a rotating body and, if necessary, the direction of eccentricity, without making various adjustments during installation. And to provide a device.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、まず、請求項１に係る発明では、タービン等の回
転体の軸の偏心量を検出する方法において、回転体に設
けられた測定歯車の位置を検出する位置検出手段を備
え、当該位置検出手段による初期状態時の検出信号と回
転状態時の検出信号との時間ずれを比較することによ
り、回転体の偏心量を検出するようにしている。In order to achieve the above object, first, in the invention according to claim 1, in a method of detecting the amount of eccentricity of the shaft of a rotating body such as a turbine, the rotating body is provided on the rotating body. A position detecting means for detecting the position of the measurement gear is provided, and the eccentric amount of the rotating body is detected by comparing the time lag between the detection signal in the initial state and the detection signal in the rotating state by the position detecting means. I have to.
【０００７】一方、請求項２に係る発明では、タービン
等の回転体の軸の偏心量を検出する装置において、回転
体に設けられた測定歯車の位置を検出する位置検出手段
と、位置検出手段による初期状態時の検出信号を記憶す
る記憶手段と、位置検出手段による回転状態時の検出信
号と、記憶手段に記憶された検出信号との時間ずれを比
較し、当該比較値に基づいて回転体の偏心量を算出する
偏心量演算手段とを備えて成る。On the other hand, in the invention according to claim 2, in a device for detecting the amount of eccentricity of the shaft of a rotating body such as a turbine, a position detecting means for detecting the position of a measuring gear provided on the rotating body, and a position detecting means. The storage means for storing the detection signal in the initial state by the position detection means, the detection signal in the rotation state by the position detection means, and the detection signal stored in the storage means are compared with each other in terms of time, and based on the comparison value, the rotor is rotated. And an eccentricity amount calculation means for calculating the eccentricity amount.
【０００８】また、請求項３に係る発明では、上記請求
項２に記載の偏心検出装置本体を、回転体に対してＸ−
Ｙ方向にそれぞれ配置し、各方向の偏心量に基づいて、
回転体の偏心の方向および偏心量を算出する手段を付加
して成る。Further, in the invention according to claim 3, the eccentricity detecting device main body according to claim 2 is attached to the X-axis with respect to the rotating body.
They are respectively arranged in the Y direction, and based on the eccentricity amount in each direction,
A means for calculating the direction of eccentricity and the amount of eccentricity of the rotating body is added.
【０００９】さらに、請求項４に係る発明では、上記請
求項２に記載の偏心検出装置本体を、回転体を挟んで対
向する位置にそれぞれ配置し、各々の偏心量を差動入力
として加算演算することにより、回転体の最終的な偏心
量を算出する手段を付加して成る。Further, in the invention according to claim 4, the eccentricity detection device main body according to claim 2 is arranged at a position opposed to each other with the rotating body interposed therebetween, and each eccentricity amount is used as a differential input for addition calculation. By doing so, a means for calculating the final amount of eccentricity of the rotating body is added.
【００１０】[0010]
【作用】従って、請求項１および請求項２に係る発明の
偏心検出方法および装置においては、回転体に設けられ
た測定歯車の位置を検出する位置検出手段を備えて、そ
の初期状態と回転状態での各検出信号の時間ずれを比較
することにより、その比較値から回転体の偏心量を高精
度に検出することができる。Therefore, in the eccentricity detecting method and device according to the first and second aspects of the present invention, the eccentricity detecting method is provided with the position detecting means for detecting the position of the measuring gear provided on the rotating body, and the initial state and the rotating state thereof are provided. By comparing the time lags of the respective detection signals in, the eccentricity amount of the rotating body can be detected with high accuracy from the comparison value.
【００１１】また、請求項３に係る発明の偏心検出装置
においては、上記の偏心検出装置本体を、回転体に対し
てＸ−Ｙ方向にそれぞれ配置することにより、各方向の
偏心量から回転体の偏心量および偏心の方向を併せて検
出することができる。Further, in the eccentricity detecting device of the invention according to claim 3, the eccentricity detecting device main body is arranged in the XY direction with respect to the rotating body, so that the eccentricity amount in each direction is changed. The eccentricity amount and the direction of eccentricity can be detected together.
【００１２】さらに、請求項４に係る発明の偏心検出装
置においては、上記の偏心検出装置本体を、回転体を挟
んで対向する位置にそれぞれ配置し、各々の偏心量を差
動入力として加算演算することにより、回転体の微小な
偏心量を検出することができる、すなわち回転体の偏心
量をより一層高精度に検出することができる。Further, in the eccentricity detecting device of the invention according to claim 4, the above-mentioned eccentricity detecting device main bodies are respectively arranged at positions facing each other with the rotating body sandwiched therebetween, and the respective eccentricity amounts are subjected to an addition operation as a differential input. By doing so, the minute eccentricity of the rotating body can be detected, that is, the eccentricity of the rotating body can be detected with higher accuracy.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。 （第１の実施例）図１は、本発明の第１の実施例による
偏心検出装置の構成例を示す概要図である。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of an eccentricity detection device according to a first embodiment of the present invention.
【００１４】すなわち、本実施例の偏心検出装置は、図
１に示すように、タービン等の回転体の軸１に設けられ
た測定歯車２と、位置検出手段である電磁ピックアップ
３および検出回路４と、記憶手段であるＲＡＭ５および
ＲＯＭ６と、偏心量演算手段である中央処理回路（以
下、ＣＰＵと称する）７とから構成している。That is, as shown in FIG. 1, the eccentricity detecting apparatus of this embodiment has a measuring gear 2 provided on a shaft 1 of a rotating body such as a turbine, an electromagnetic pickup 3 as a position detecting means, and a detecting circuit 4. And RAM 5 and ROM 6 which are storage means, and a central processing circuit (hereinafter referred to as CPU) 7 which is eccentricity amount calculation means.
【００１５】ここで、測定歯車２は、例えばクランク角
度信号発生用のロータ（通常、シグナル・ディスクプレ
ートと称している）等を用いることができる。また、電
磁ピックアップ３は、測定歯車２の位置に対応したパル
ス信号を出力するものである。Here, as the measuring gear 2, for example, a rotor for generating a crank angle signal (usually called a signal disc plate) or the like can be used. The electromagnetic pickup 3 outputs a pulse signal corresponding to the position of the measuring gear 2.
【００１６】さらに、検出回路４は、電磁ピックアップ
３からの出力パルス信号に基づいて、測定歯車２の位置
を検出するものである。一方、ＲＡＭ５は、検出回路４
による初期状態時の検出信号を記憶するものである。Further, the detection circuit 4 detects the position of the measurement gear 2 based on the output pulse signal from the electromagnetic pickup 3. On the other hand, the RAM 5 includes the detection circuit 4
The detection signal in the initial state is stored.
【００１７】また、ＲＯＭ６は、ＣＰＵ７における所定
の偏心量演算処理アルゴリズムを、あらかじめプログラ
ムとして記憶しているものである。さらに、ＣＰＵ７
は、ＲＯＭ６に記憶されているプログラムに従って、検
出回路４による回転状態時の検出信号と、ＲＡＭ５に記
憶された検出信号との時間ずれを比較し、この比較値に
基づいて回転体の軸１の偏心量を算出するものである。The ROM 6 stores in advance a predetermined eccentricity amount calculation processing algorithm in the CPU 7 as a program. Furthermore, CPU7
Compares the time lag between the detection signal in the rotating state by the detection circuit 4 and the detection signal stored in the RAM 5 according to the program stored in the ROM 6, and based on this comparison value, The amount of eccentricity is calculated.
【００１８】次に、本実施例の偏心検出装置における偏
心検出方法について、図２および図３を用いて説明す
る。図１において、回転体の軸１に設けられた測定歯車
２が回転すると、その歯の位置にあわせて電磁ピックア
ップ３から、図２に示すような波形のパルス信号が出力
され、検出回路４により検出される。Next, an eccentricity detection method in the eccentricity detection device of this embodiment will be described with reference to FIGS. In FIG. 1, when the measuring gear 2 provided on the shaft 1 of the rotating body rotates, the electromagnetic pickup 3 outputs a pulse signal having a waveform as shown in FIG. To be detected.
【００１９】まず、初期状態時（スタート時）に、１回
転した時のパルス信号が、データとしてＲＡＭ５に記憶
される（図２（ａ）の波形）。すなわち、その時間が１
回転での比率としてＲＡＭ５に記憶される。First, in the initial state (at the start), the pulse signal for one rotation is stored in the RAM 5 as data (waveform in FIG. 2A). That is, the time is 1
The rotation ratio is stored in the RAM 5.
【００２０】そして、回転体の軸１が回転を始めると、
１回転の周期で偏心を起こす。すると、検出されるデー
タに偏心が起きると、それに従って図２（ｂ）に示すよ
うに、パルス信号の検出間隔が異なってくる。この時の
検出回路４からの検出信号と、上記初期状態時（スター
ト時）に検出信号であるＲＡＭ５内の記憶信号を同じ時
間にスケーリングしたものと比較を行なうと、それぞれ
のパルス信号について、時間のずれを検出することがで
きる。When the shaft 1 of the rotating body starts rotating,
Eccentricity occurs in one rotation cycle. Then, when the detected data is eccentric, the detection intervals of the pulse signals differ accordingly, as shown in FIG. Comparing the detection signal from the detection circuit 4 at this time with the one obtained by scaling the storage signal in the RAM 5 which is the detection signal at the initial state (at the start) to the same time, the time for each pulse signal is compared. The deviation can be detected.
【００２１】これより、ＣＰＵ７では、図３に示すよう
な原理に従って、最大のパルス信号のずれ時間（Δｔ
max ）を測定することで、回転体の軸１の偏心量（Δｘ
max ）が算出される。From this, in the CPU 7, the maximum pulse signal deviation time (Δt) according to the principle as shown in FIG.
By measuring ( max ), the amount of eccentricity of the shaft 1 of the rotating body (Δx
max ) is calculated.
【００２２】すなわち、図３において、偏心φでの速度
ｖ0 は、 ｖ0 ＝２πｔ／Ｔ 偏心Δｘでの速度ｖ´は、 ｖ´＝２（πｔ＋Δｘ）／Ｔ よって、最大時間ずれは、 Δｔmax ＝Ｔ／Ｎ｛１−πｒ／（πｔ＋Δｘ）｝ となる。That is, in FIG. 3, the speed v 0 at the eccentricity φ is v 0 = 2πt / T The speed v ′ at the eccentricity Δx is v ′ = 2 (πt + Δx) / T Therefore, the maximum time difference is Δt. max = T / N {1-πr / (πt + Δx)}.
【００２３】ただし、ｒ：回転体の軸１の半径、Ｔ：周
期、Ｎ：測定歯車２の数。上述したように、本実施例で
は、タービン等の回転体の軸１に設けられた測定歯車２
の位置に対応したパルス信号を出力する電磁ピックアッ
プ３と、電磁ピックアップ３からの出力パルス信号に基
づいて、測定歯車２の位置を検出する検出回路４と、検
出回路４による初期状態時の検出信号を記憶するＲＡＭ
５と、ＲＯＭ６に記憶されているプログラムに従って、
検出回路４による回転状態時の検出信号と、ＲＡＭ５に
記憶された検出信号との時間ずれを比較し、この比較値
に基づいて回転体の軸１の偏心量を算出するＣＰＵ７と
を備え、電磁ピックアップ３および検出回路４による初
期状態時の検出信号と回転状態時の検出信号との時間ず
れを比較することにより、回転体の軸１の偏心量を検出
するようにしたものである。Where r is the radius of the shaft 1 of the rotating body, T is the period, and N is the number of measuring gears 2. As described above, in this embodiment, the measuring gear 2 provided on the shaft 1 of the rotating body such as the turbine.
Electromagnetic pickup 3 which outputs a pulse signal corresponding to the position, a detection circuit 4 which detects the position of the measurement gear 2 based on the output pulse signal from the electromagnetic pickup 3, and a detection signal in the initial state by the detection circuit 4. RAM to store
5 and the program stored in the ROM 6,
A CPU 7 is provided which compares a time lag between a detection signal in the rotating state by the detection circuit 4 and a detection signal stored in the RAM 5 and calculates an eccentricity amount of the shaft 1 of the rotating body based on the comparison value. The eccentric amount of the shaft 1 of the rotating body is detected by comparing the time lag between the detection signal in the initial state and the detection signal in the rotating state by the pickup 3 and the detection circuit 4.
【００２４】従って、従来では、検出器の調整が微妙で
あり、校正や渦電流のため軸の磁化等に弱かったのに対
して、本実施例では、次のような種々の効果が得られる
ものである。Therefore, in the prior art, the adjustment of the detector was delicate and weak in the magnetization of the shaft due to the calibration and the eddy current, whereas in the present embodiment, the following various effects can be obtained. It is a thing.
【００２５】（ａ）電磁ピックアップ３という、極めて
故障率が低いものを使用しているため、高い信頼性を得
ることができる。 （ｂ）電磁ピックアップ３と測定歯車２との間の距離
を、厳密に設定する必要がないため、無調整で装置の取
り付けを行なうことができ、また校正する必要もない。(A) Since the electromagnetic pickup 3 having an extremely low failure rate is used, high reliability can be obtained. (B) Since the distance between the electromagnetic pickup 3 and the measurement gear 2 does not need to be set strictly, the device can be attached without adjustment and calibration is not necessary.
【００２６】（ｃ）センサである電磁ピックアップ３か
らの信号は単純なパルス信号であるため、簡単に取り扱
うことができ、特に難しい変換器を使用する必要がな
い。 （ｄ）もともと電磁ピックアップ３は回転数の検出で使
用されているため、そのまま回転数計としても利用する
ことができる。(C) Since the signal from the electromagnetic pickup 3 which is a sensor is a simple pulse signal, it can be easily handled and it is not necessary to use a particularly difficult converter. (D) Since the electromagnetic pickup 3 is originally used for detecting the number of revolutions, it can be used as it is as a revolution counter.
【００２７】以上により、設置時に種々の調整を行なう
ことなく、回転体の軸１の偏心量を高精度に検出するこ
とが可能な高信頼度の偏心検出方法および装置を得るこ
とができる。As described above, it is possible to obtain a highly reliable eccentricity detection method and apparatus capable of detecting the eccentricity amount of the shaft 1 of the rotating body with high accuracy without making various adjustments at the time of installation.
【００２８】（第２の実施例）図４は、本発明の第２の
実施例による偏心検出装置の構成例を示す概要図であ
る。(Second Embodiment) FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration example of an eccentricity detection device according to a second embodiment of the present invention.
【００２９】すなわち、本実施例の偏心検出装置は、図
４に示すように、前記第１の実施例の偏心検出装置本体
を２個１１，１２を、回転体の軸１に対してＸ−Ｙ方向
にそれぞれ配置し、各方向の偏心量に基づいて、回転体
の軸１の偏心の方向および偏心量を算出する構成として
いる。That is, in the eccentricity detecting device of this embodiment, as shown in FIG. 4, two eccentricity detecting device main bodies 11 and 12 of the first embodiment are attached to the axis 1 of the rotating body at X-. It is arranged in each of the Y directions, and the direction and the amount of eccentricity of the shaft 1 of the rotating body are calculated based on the amount of eccentricity in each direction.
【００３０】以上のように構成した本実施例の偏心検出
装置においては、回転体の軸１に対してＸ−Ｙ方向にそ
れぞれ配置した２個の偏心検出装置本体１１，１２によ
り、各方向の偏心量が、前記第１の実施例の場合と同様
にして算出される。この場合、各方向に対する偏心成分
は、Δｘx ・ｃｏｓθ、Δｘy ・ｓｉｎθでそれぞれ表
わされる。In the eccentricity detecting device of the present embodiment constructed as described above, two eccentricity detecting device bodies 11 and 12 respectively arranged in the XY directions with respect to the axis 1 of the rotating body are used to detect the respective directions. The amount of eccentricity is calculated in the same manner as in the case of the first embodiment. In this case, the eccentricity component for each direction is represented by Δx x · cos θ and Δx y · sin θ, respectively.
【００３１】これにより、回転体の軸１の偏心量Δｘと
偏心の方向θが、Δｘ＝（Δｘx 2＋Δｘy 2 ）、θと
して算出することができる。従って、本実施例において
は、前記第１の実施例の場合と同様の効果が得られるこ
とはもちろんのこと、これに加えて、従来では計測不可
能であった回転体の軸１の偏心方向も検出することがで
き、より多くの情報を得ることが可能となる。Thus, the amount of eccentricity Δx of the shaft 1 of the rotating body and the direction of eccentricity θ can be calculated as Δx = (Δx x 2 + Δx y 2 ), θ. Therefore, in this embodiment, the same effects as in the case of the first embodiment can be obtained, and in addition to this, in addition to this, the eccentric direction of the shaft 1 of the rotating body, which cannot be measured in the related art, is obtained. Can also be detected, and more information can be obtained.
【００３２】（第３の実施例）図５は、本発明の第３の
実施例による偏心検出装置の構成例を示す概要図であ
る。(Third Embodiment) FIG. 5 is a schematic diagram showing a configuration example of an eccentricity detecting device according to a third embodiment of the present invention.
【００３３】すなわち、本実施例の偏心検出装置は、図
５に示すように、前記第１の実施例の偏心検出装置本体
を２個１３，１４を、回転体の軸１を挟んで対向する位
置にそれぞれ配置し、各々の偏心量を差動入力（パルス
発生時間の差をとる）として加算演算することにより、
回転体の軸１の最終的な偏心量を算出する構成としてい
る。That is, in the eccentricity detecting device of the present embodiment, as shown in FIG. 5, the two eccentricity detecting device bodies 13 and 14 of the first embodiment are opposed to each other with the shaft 1 of the rotating body interposed therebetween. By arranging each at a position and adding each eccentric amount as a differential input (taking the difference in pulse generation time),
The configuration is such that the final eccentricity amount of the shaft 1 of the rotating body is calculated.
【００３４】以上のように構成した本実施例の偏心検出
装置においては、回転体の軸１に対してＸ−Ｙ方向にそ
れぞれ配置した２個の偏心検出装置本体１３，１４によ
り、各方向の偏心量が、前記第１の実施例の場合と同様
にして算出される。In the eccentricity detecting device of the present embodiment constructed as described above, two eccentricity detecting device bodies 13 and 14 respectively arranged in the XY directions with respect to the axis 1 of the rotating body are used to detect the respective directions. The amount of eccentricity is calculated in the same manner as in the case of the first embodiment.
【００３５】この場合、電磁ピックアップ３からの出力
が丁度逆相になるため、偏心検出装置本体（ａ）１３と
（ｂ）１４の時間を計測することにより、前記第１の実
施例の場合と同様に偏心量を算出することができる。In this case, since the output from the electromagnetic pickup 3 is just in the opposite phase, the time of the eccentricity detector main bodies (a) 13 and (b) 14 is measured, which is different from the case of the first embodiment. Similarly, the amount of eccentricity can be calculated.
【００３６】これにより、回転体の軸１の偏心量が極め
て小さい、もしくは測定歯車２の半径が大きい時等に、
Δｔを２倍に時間で検出することができる。なお、実際
には、測定時の測定歯車２の時間ずれが起きる可能性が
あるが、これは初期状態時（スタート時）に記憶したデ
ータにより補正して修正するようにすれば、何等支障は
ない。As a result, when the eccentricity of the shaft 1 of the rotating body is extremely small or the radius of the measuring gear 2 is large,
It is possible to double Δt in time and detect it. Actually, a time lag of the measurement gear 2 at the time of measurement may occur, but if this is corrected and corrected by the data stored in the initial state (at the time of start), no problem will occur. Absent.
【００３７】従って、本実施例においては、前記第１の
実施例の場合と同様の効果が得られることはもちろんの
こと、これに加えて、回転体の軸１の微小な偏心量を検
出することができる、すなわち回転体の軸１の偏心量を
より一層高精度に検出することが可能となる。Therefore, in this embodiment, the same effects as in the case of the first embodiment can be obtained, and in addition to this, the minute eccentricity of the shaft 1 of the rotating body is detected. That is, the eccentric amount of the shaft 1 of the rotating body can be detected with higher accuracy.
【００３８】尚、本発明は上記各実施例に限定されるも
のではなく、次のようにしても同様に実施できるもので
ある。 （ａ）第４の実施例として、図６にその概要図を示すよ
うに、前記第２の実施例と第３の実施例とを組み合わせ
た構成とすることにより、より一層精度の高いセンシン
グを行なうことが可能となる。なお、図６において、１
５，１６，１７，１８は、前記第１の実施例の偏心検出
装置本体をそれぞれ示している。The present invention is not limited to the above embodiments, but can be implemented in the same manner as described below. (A) As a fourth embodiment, as shown in the schematic diagram of FIG. 6, by combining the second embodiment and the third embodiment, more accurate sensing can be achieved. It becomes possible to do it. In FIG. 6, 1
Reference numerals 5, 16, 17, and 18 respectively denote the eccentricity detection device main body of the first embodiment.
【００３９】（ｂ）上記各実施例では、回転体の軸１に
設けられた測定歯車２の位置を検出する位置検出手段と
して、電磁ピックアップを用いる場合について説明した
が、これに限らず、位置検出手段として、その他の手段
を用いることも可能である。(B) In each of the above embodiments, the case where the electromagnetic pickup is used as the position detecting means for detecting the position of the measuring gear 2 provided on the shaft 1 of the rotating body has been described, but the position detecting means is not limited to this. It is also possible to use other means as the detection means.
【００４０】[0040]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、回
転体に設けられた測定歯車の位置を検出する位置検出手
段と、位置検出手段による初期状態時の検出信号を記憶
する記憶手段と、位置検出手段による回転状態時の検出
信号と、記憶手段に記憶された検出信号との時間ずれを
比較し、当該比較値に基づいて回転体の偏心量を算出す
る偏心量演算手段とを備えて偏心検出装置本体を構成
し、さらに必要に応じて、上記偏心検出装置本体を、回
転体に対してＸ−Ｙ方向にそれぞれ配置し、各方向の偏
心量に基づいて、回転体の偏心の方向および偏心量を算
出する手段を備えるか、あるいは上記偏心検出装置本体
を、回転体を挟んで対向する位置にそれぞれ配置し、各
々の偏心量を差動入力として加算演算することにより、
回転体の最終的な偏心量を算出する手段を備え、位置検
出手段による初期状態時の検出信号と回転状態時の検出
信号との時間ずれを比較することにより、回転体の偏心
量を検出するようにしたので、設置時に種々の調整を行
なうことなく、回転体の偏心量、および必要に応じて偏
心の方向を高精度に検出することが可能な高信頼度の偏
心検出方法および装置が提供できる。As described above, according to the present invention, the position detecting means for detecting the position of the measuring gear provided on the rotating body, and the storing means for storing the detection signal in the initial state by the position detecting means. An eccentricity calculation means for comparing the time lag between the detection signal in the rotating state by the position detection means and the detection signal stored in the storage means, and calculating the eccentricity amount of the rotating body based on the comparison value. The eccentricity detection device main body is arranged, and if necessary, the eccentricity detection device main body is arranged in the XY direction with respect to the rotating body, and the eccentricity of the rotating body is determined based on the eccentricity amount in each direction. By providing a means for calculating the direction and the amount of eccentricity, or by disposing the eccentricity detection device main body at positions facing each other with the rotating body interposed therebetween, by performing an addition calculation of each eccentricity amount as a differential input,
A means for calculating the final eccentricity amount of the rotating body is provided, and the eccentricity amount of the rotating body is detected by comparing the time lag between the detection signal in the initial state and the detection signal in the rotating state by the position detecting means. Therefore, a highly reliable eccentricity detection method and device capable of accurately detecting the amount of eccentricity of the rotating body and the direction of eccentricity as needed without making various adjustments at the time of installation are provided. it can.
【図１】本発明による偏心検出方法および装置の第１の
実施例を示す概要図。FIG. 1 is a schematic diagram showing a first embodiment of an eccentricity detection method and device according to the present invention.
【図２】同第１の実施例における検出波形の一例を示す
図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a detected waveform in the first embodiment.
【図３】同第１の実施例における測定原理を説明するた
めの概念図。FIG. 3 is a conceptual diagram for explaining a measurement principle in the first embodiment.
【図４】本発明による偏心検出装置の第２の実施例を示
す概要図。FIG. 4 is a schematic diagram showing a second embodiment of the eccentricity detection device according to the present invention.
【図５】本発明による偏心検出装置の第３の実施例を示
す概要図。FIG. 5 is a schematic view showing a third embodiment of the eccentricity detection device according to the present invention.
【図６】本発明による偏心検出装置の第４の実施例を示
す概要図。FIG. 6 is a schematic view showing a fourth embodiment of the eccentricity detection device according to the present invention.
【符号の説明】 １…回転体の軸、２…測定歯車、３…電磁ピックアッ
プ、４…検出回路、５…ＲＡＭ、６…ＲＯＭ、７…ＣＰ
Ｕ、１１，１２…偏心検出装置本体、１３，１４…偏心
検出装置本体、１５，１６，１７，１８…偏心検出装置
本体。[Explanation of Codes] 1 ... Shaft of rotary body, 2 ... Measuring gear, 3 ... Electromagnetic pickup, 4 ... Detection circuit, 5 ... RAM, 6 ... ROM, 7 ... CP
U, 11, 12 ... Eccentricity detection device main body, 13, 14 ... Eccentricity detection device main body, 15, 16, 17, 18 ... Eccentricity detection device main body.
Claims (4)
する方法において、 前記回転体に設けられた測定歯車の位置を検出する位置
検出手段を備え、当該位置検出手段による初期状態時の
検出信号と回転状態時の検出信号との時間ずれを比較す
ることにより、前記回転体の偏心量を検出するようにし
たことを特徴とする偏心検出方法。1. A method for detecting the amount of eccentricity of a shaft of a rotating body such as a turbine, comprising position detecting means for detecting the position of a measuring gear provided on the rotating body, the position detecting means at the initial state. An eccentricity detection method characterized in that an eccentricity amount of the rotating body is detected by comparing a time lag between a detection signal and a detection signal in a rotating state.
する装置において、 前記回転体に設けられた測定歯車の位置を検出する位置
検出手段と、 前記位置検出手段による初期状態時の検出信号を記憶す
る記憶手段と、 前記位置検出手段による回転状態時の検出信号と、前記
記憶手段に記憶された検出信号との時間ずれを比較し、
当該比較値に基づいて前記回転体の偏心量を算出する偏
心量演算手段と、 を備えて成ることを特徴とする偏心検出装置。2. A device for detecting the amount of eccentricity of a shaft of a rotating body such as a turbine, and position detecting means for detecting the position of a measuring gear provided on the rotating body, and detection in an initial state by the position detecting means. Comparing the time difference between the storage means for storing the signal, the detection signal in the rotating state by the position detection means, and the detection signal stored in the storage means,
An eccentricity detection device comprising: an eccentricity amount calculation means for calculating an eccentricity amount of the rotating body based on the comparison value.
を、前記回転体に対してＸ−Ｙ方向にそれぞれ配置し、 前記各方向の偏心量に基づいて、前記回転体の偏心の方
向および偏心量を算出する手段を付加して成ることを特
徴とする偏心検出装置。3. The eccentricity detection device main body according to claim 2 is arranged in each of the XY directions with respect to the rotating body, and the eccentricity direction of the rotating body is determined based on the eccentricity amount in each direction. And an eccentricity detection device, characterized by comprising means for calculating an eccentricity amount.
を、前記回転体を挟んで対向する位置にそれぞれ配置
し、 前記各々の偏心量を差動入力として加算演算することに
より、前記回転体の最終的な偏心量を算出する手段を付
加して成ることを特徴とする偏心検出装置。4. The eccentricity detection device main body according to claim 2 is arranged at a position facing each other with the rotating body interposed therebetween, and the eccentricity amount is added as a differential input to perform an addition operation, thereby performing the rotation. An eccentricity detection device, characterized in that means for calculating the final eccentricity of the body is added.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4362194A JPH07253375A (en) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | Method and apparatus for detection of eccentricity |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4362194A JPH07253375A (en) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | Method and apparatus for detection of eccentricity |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07253375A true JPH07253375A (en) | 1995-10-03 |
Family
ID=12668925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4362194A Pending JPH07253375A (en) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | Method and apparatus for detection of eccentricity |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07253375A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018168068A1 (en) * | 2017-03-13 | 2018-09-20 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | Center misalignment detection device and center misalignment detection method |
| JP2018151244A (en) * | 2017-03-13 | 2018-09-27 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | Misalignment detection device and misalignment detection method |
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| CN109470122A (en) * | 2018-12-20 | 2019-03-15 | 天津天海同步科技有限公司 | A kind of three slot measurement method of new gear, measuring device and its application method |
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-
1994
- 1994-03-15 JP JP4362194A patent/JPH07253375A/en active Pending
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