JPH07244528A - 直線駆動装置 - Google Patents
直線駆動装置Info
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- JPH07244528A JPH07244528A JP3558394A JP3558394A JPH07244528A JP H07244528 A JPH07244528 A JP H07244528A JP 3558394 A JP3558394 A JP 3558394A JP 3558394 A JP3558394 A JP 3558394A JP H07244528 A JPH07244528 A JP H07244528A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、簡便にして、安定した高精度な指
向制御を実現し得るようにすることにある。 【構成】第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂで検
出する被駆動体２０の２位置の変位量のうち、第１の変
位センサ２２ａの検出信号に基づいて第１のアクチュエ
ータ２１ａを駆動して２位置の一方の変位を制御し、第
１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂの双方の検出信
号に基づいて２位置の他方の駆動軸と略直交する軸回り
の回転角を制御することにより、被駆動体２０の指向方
向を制御するように構成して、所期の目的を達成したも
のである。
向制御を実現し得るようにすることにある。 【構成】第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂで検
出する被駆動体２０の２位置の変位量のうち、第１の変
位センサ２２ａの検出信号に基づいて第１のアクチュエ
ータ２１ａを駆動して２位置の一方の変位を制御し、第
１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂの双方の検出信
号に基づいて２位置の他方の駆動軸と略直交する軸回り
の回転角を制御することにより、被駆動体２０の指向方
向を制御するように構成して、所期の目的を達成したも
のである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば波長等の光の
成分を観測する干渉計に係り、特に、その駆動鏡を直線
的に駆動するのに用いる直線駆動装置に関する。
成分を観測する干渉計に係り、特に、その駆動鏡を直線
的に駆動するのに用いる直線駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】干渉計は、図２に示すように観測光の入
射光路上に周知のビームスプリッタ１が配設され、この
ビームスプリッタ１の反射光路には固定鏡２が配設され
る。また、ビームスプリッタ１の透過光路上には、後述
する直線駆動装置を介して駆動鏡３が直線駆動自在に配
設される。そして、ビームスプリッタ１の他の光路上に
は、光検出器４が配設される。これにより、観測光は、
ビームスプリッタ１で反射されて固定鏡２に導かれ、こ
の固定鏡２で反射された反射光が再びビームスプリッタ
１を透過して光検出器４に入射される。同時に、ビーム
スプリッタ１を透過した観測光は、駆動鏡３で反射され
た後、再びビームスプリッタ１で反射されて光検出器４
に入射される。ここで、駆動鏡３は、詳細を後述する上
記直線駆動装置により駆動軸上に指向制御されると共
に、駆動軸方向（矢印方向）に直線的に駆動される。こ
の結果、光検出器４には、固定鏡２からの光と、駆動鏡
３からの光が干渉縞として入力され、電圧信号として検
出される。この光検出器４で検出した電圧信号は、演算
部５に導かれてフーリエ変換（ＦＦＴ）され、ここに観
測光の光成分が検出される。
射光路上に周知のビームスプリッタ１が配設され、この
ビームスプリッタ１の反射光路には固定鏡２が配設され
る。また、ビームスプリッタ１の透過光路上には、後述
する直線駆動装置を介して駆動鏡３が直線駆動自在に配
設される。そして、ビームスプリッタ１の他の光路上に
は、光検出器４が配設される。これにより、観測光は、
ビームスプリッタ１で反射されて固定鏡２に導かれ、こ
の固定鏡２で反射された反射光が再びビームスプリッタ
１を透過して光検出器４に入射される。同時に、ビーム
スプリッタ１を透過した観測光は、駆動鏡３で反射され
た後、再びビームスプリッタ１で反射されて光検出器４
に入射される。ここで、駆動鏡３は、詳細を後述する上
記直線駆動装置により駆動軸上に指向制御されると共
に、駆動軸方向（矢印方向）に直線的に駆動される。こ
の結果、光検出器４には、固定鏡２からの光と、駆動鏡
３からの光が干渉縞として入力され、電圧信号として検
出される。この光検出器４で検出した電圧信号は、演算
部５に導かれてフーリエ変換（ＦＦＴ）され、ここに観
測光の光成分が検出される。
【０００３】図３は、このような従来の直線駆動装置を
示すもので、図中６は、上記駆動鏡３が支持される被駆
動体である。この被駆動体６には、例えば電磁石で形成
される浮上支持用第１及び第２のアクチュエータ７ａ，
７ｂが駆動軸方向に所定の間隔を有して対向配置され、
この第１及び第２のアクチュエータ７ａ，７ｂにより駆
動軸上に浮上支持される。
示すもので、図中６は、上記駆動鏡３が支持される被駆
動体である。この被駆動体６には、例えば電磁石で形成
される浮上支持用第１及び第２のアクチュエータ７ａ，
７ｂが駆動軸方向に所定の間隔を有して対向配置され、
この第１及び第２のアクチュエータ７ａ，７ｂにより駆
動軸上に浮上支持される。
【０００４】そして、上記被駆動体６には、第１及び第
２の変位センサ８ａ，８ｂが駆動軸方向に上記第１及び
第２のアクチュエータ７ａ，７ｂに対応して所定の間隔
に対向配置される。この第１及び第２の変位センサ８
ａ，８ｂは、その出力端にセンサ処理回路９ａ，９ｂが
それぞれ接続され、被駆動体６との間隔（ギャップ長）
の変位を検出して、その検出信号をセンサ処理回路９
ａ，９ｂにそれぞれ出力する。センサ処理回路９ａ，９
ｂは、その出力端に第１及び第２の変位制御部１０ａ，
１０ｂが接続され、入力した検出信号に基づいて被駆動
体６の変位量を算出して、第１及び第２の変位制御部１
０ａ，１０ｂに出力する。第１及び第２の変位制御部１
０ａ，１０ｂは、その出力端に上記第１及び第２のアク
チュエータ７ａ，７ｂが接続され、入力した検出信号に
基づいて補償用駆動信号を生成して、第１及び第２のア
クチュエータ７ａ，７ｂを駆動制御し、被駆動体６を駆
動軸と略直交する方向の位置決めを行い指向制御する。
２の変位センサ８ａ，８ｂが駆動軸方向に上記第１及び
第２のアクチュエータ７ａ，７ｂに対応して所定の間隔
に対向配置される。この第１及び第２の変位センサ８
ａ，８ｂは、その出力端にセンサ処理回路９ａ，９ｂが
それぞれ接続され、被駆動体６との間隔（ギャップ長）
の変位を検出して、その検出信号をセンサ処理回路９
ａ，９ｂにそれぞれ出力する。センサ処理回路９ａ，９
ｂは、その出力端に第１及び第２の変位制御部１０ａ，
１０ｂが接続され、入力した検出信号に基づいて被駆動
体６の変位量を算出して、第１及び第２の変位制御部１
０ａ，１０ｂに出力する。第１及び第２の変位制御部１
０ａ，１０ｂは、その出力端に上記第１及び第２のアク
チュエータ７ａ，７ｂが接続され、入力した検出信号に
基づいて補償用駆動信号を生成して、第１及び第２のア
クチュエータ７ａ，７ｂを駆動制御し、被駆動体６を駆
動軸と略直交する方向の位置決めを行い指向制御する。
【０００５】なお、上記第１及び第２のアクチュエータ
７ａ，７ｂは、被駆動体６の駆動軸回りに所定の間隔を
有して複数組が配設され、その他の組においても、上述
したように変位制御系が略同様に構成されるもので、こ
こでは便宜上、その説明を省略する。
７ａ，７ｂは、被駆動体６の駆動軸回りに所定の間隔を
有して複数組が配設され、その他の組においても、上述
したように変位制御系が略同様に構成されるもので、こ
こでは便宜上、その説明を省略する。
【０００６】また、被駆動体６には、駆動軸方向変位検
出用変位センサ１１が対向配置され、この変位センサ１
１の出力端には、駆動制御部６が接続される。変位セン
サ１１は、被駆動体６の駆動軸方向の移動量を検出して
駆動制御部１２に出力する。この駆動制御部１２には、
駆動用のアクチュエータ１３が接続され、入力した検出
信号に応じた直線駆動信号を生成して、アクチュエータ
１３を駆動し、被駆動体６を駆動軸方向に直線駆動す
る。
出用変位センサ１１が対向配置され、この変位センサ１
１の出力端には、駆動制御部６が接続される。変位セン
サ１１は、被駆動体６の駆動軸方向の移動量を検出して
駆動制御部１２に出力する。この駆動制御部１２には、
駆動用のアクチュエータ１３が接続され、入力した検出
信号に応じた直線駆動信号を生成して、アクチュエータ
１３を駆動し、被駆動体６を駆動軸方向に直線駆動す
る。
【０００７】上記構成において、被駆動体６は、図４に
示すように指向制御時、第１及び第２の変位センサ８
ａ，８ｂで駆動軸上の２位置の変位が検出され、この第
１及び第２の変位センサ８ａ，８ｂの検出信号がセンサ
処理回路９ａ，９ｂを介して第１及び第２の変位制御部
１０ａ，１０ｂに入力される。ここで、第１及び第２の
変位制御部１０ａ，１０ｂは、２位置の変位に基づい
て、各駆動信号を生成して、第１及び第２のアクチュエ
ータ７ａ，７ｂを駆動制御し、被駆動体６を駆動軸上に
指向制御する。
示すように指向制御時、第１及び第２の変位センサ８
ａ，８ｂで駆動軸上の２位置の変位が検出され、この第
１及び第２の変位センサ８ａ，８ｂの検出信号がセンサ
処理回路９ａ，９ｂを介して第１及び第２の変位制御部
１０ａ，１０ｂに入力される。ここで、第１及び第２の
変位制御部１０ａ，１０ｂは、２位置の変位に基づい
て、各駆動信号を生成して、第１及び第２のアクチュエ
ータ７ａ，７ｂを駆動制御し、被駆動体６を駆動軸上に
指向制御する。
【０００８】同時に、被駆動体６は、変位センサ１１の
検出信号に基づいて駆動制御部１２を介してアクチュエ
ータ１３が駆動制御され、駆動軸上を直線的な駆動され
る。しかしながら、上記直線駆動装置では、第１及び第
２の変位センサ８ａ，８ｂで被駆動体６の駆動軸上の２
位置における変位を検出して、２位置に配設した第１及
び第２のアクチュエータ７ａ，７ｂを駆動制御して指向
する制御系構造を採っている構成上、相互の制御系が干
渉して被駆動体６の重心回りの回転角の周波数帯域が制
限され、高精度な指向制御が困難となるという問題を有
する。
検出信号に基づいて駆動制御部１２を介してアクチュエ
ータ１３が駆動制御され、駆動軸上を直線的な駆動され
る。しかしながら、上記直線駆動装置では、第１及び第
２の変位センサ８ａ，８ｂで被駆動体６の駆動軸上の２
位置における変位を検出して、２位置に配設した第１及
び第２のアクチュエータ７ａ，７ｂを駆動制御して指向
する制御系構造を採っている構成上、相互の制御系が干
渉して被駆動体６の重心回りの回転角の周波数帯域が制
限され、高精度な指向制御が困難となるという問題を有
する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来の直線駆動装置では、制御系が干渉して、高精度な指
向制御に悪影響を及ぼすという問題を有する。この発明
は上記の事情に鑑みてなされたもので、構成簡易にし
て、安定した高精度な指向制御を実現し得るようにした
直線駆動装置を提供することを目的とする。
来の直線駆動装置では、制御系が干渉して、高精度な指
向制御に悪影響を及ぼすという問題を有する。この発明
は上記の事情に鑑みてなされたもので、構成簡易にし
て、安定した高精度な指向制御を実現し得るようにした
直線駆動装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、被駆動体を
直線駆動自在に浮上支持するものであって、前記被駆動
体の駆動軸方向の少なくとも第１及び第２の位置の２箇
所を浮上支持する浮上手段と、前記駆動軸上に浮上支持
される被駆動体を駆動軸方向に直線駆動する直線駆動手
段と、前記浮上手段に前記被駆動体を介して対向配置さ
れ、前記被駆動体の駆動軸と略直交する方向の変位を検
出する少なくとも２個の変位センサと、この変位センサ
の一方の検出値に基づいて前記被駆動体の第１の位置の
変位を制御し、前記２個の変位センサの双方の検出値に
基づいて前記第２の位置の駆動軸と略直交する軸回りの
回転角を制御する指向制御手段とを備えて直線駆動装置
を構成したものである。
直線駆動自在に浮上支持するものであって、前記被駆動
体の駆動軸方向の少なくとも第１及び第２の位置の２箇
所を浮上支持する浮上手段と、前記駆動軸上に浮上支持
される被駆動体を駆動軸方向に直線駆動する直線駆動手
段と、前記浮上手段に前記被駆動体を介して対向配置さ
れ、前記被駆動体の駆動軸と略直交する方向の変位を検
出する少なくとも２個の変位センサと、この変位センサ
の一方の検出値に基づいて前記被駆動体の第１の位置の
変位を制御し、前記２個の変位センサの双方の検出値に
基づいて前記第２の位置の駆動軸と略直交する軸回りの
回転角を制御する指向制御手段とを備えて直線駆動装置
を構成したものである。
【００１１】
【作用】上記構成によれば、指向制御手段は、２個の変
位センサで検出する被駆動体の第１及び第２の位置の変
位量のうち、変位センサの一方の検出値に基づいて第１
の位置の変位を制御し、変位センサの双方の検出値に基
づいて第２の位置の駆動軸と略直交する軸回りの回転角
を制御することにより、被駆動体の指向方向を制御す
る。これにより、第１及び第２の位置の変位を制御する
制御系の干渉が防止され、安定した高精度な指向制御が
可能となる。
位センサで検出する被駆動体の第１及び第２の位置の変
位量のうち、変位センサの一方の検出値に基づいて第１
の位置の変位を制御し、変位センサの双方の検出値に基
づいて第２の位置の駆動軸と略直交する軸回りの回転角
を制御することにより、被駆動体の指向方向を制御す
る。これにより、第１及び第２の位置の変位を制御する
制御系の干渉が防止され、安定した高精度な指向制御が
可能となる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の実施例について、図面を参
照して詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係
る赤外線検出装置を示すもので、前記駆動鏡３が支持さ
れる被駆動体２０には、例えば電磁石で形成される浮上
支持用の第１及び第２のアクチュエータ２１ａ，２１ｂ
が駆動軸方向の２位置に所定の間隔を有して対向配置さ
れ、この第１及び第２のアクチュエータ２１ａ，２１ｂ
により駆動軸上に浮上支持される。
照して詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係
る赤外線検出装置を示すもので、前記駆動鏡３が支持さ
れる被駆動体２０には、例えば電磁石で形成される浮上
支持用の第１及び第２のアクチュエータ２１ａ，２１ｂ
が駆動軸方向の２位置に所定の間隔を有して対向配置さ
れ、この第１及び第２のアクチュエータ２１ａ，２１ｂ
により駆動軸上に浮上支持される。
【００１３】そして、上記被駆動体２０には、第１及び
第２の変位センサ２２ａ，２２ｂが駆動軸方向に上記第
１及び第２のアクチュエータ２１ａ，２１ｂに対応して
所定の間隔に対向配置される。この第１及び第２の変位
センサ２２ａ，２２ｂは、被駆動体２０との間隔（ギャ
ップ長）の変位を検出するものであって、そのうち第１
の変位センサ２２ａは、その出力端が第１及び第２のセ
ンサ処理回路２３ａ，２３ｂにそれぞれ接続される。他
方の第２の変位センサ２２ｂの出力端は、第２のセンサ
処理回路２３ｂに接続される。
第２の変位センサ２２ａ，２２ｂが駆動軸方向に上記第
１及び第２のアクチュエータ２１ａ，２１ｂに対応して
所定の間隔に対向配置される。この第１及び第２の変位
センサ２２ａ，２２ｂは、被駆動体２０との間隔（ギャ
ップ長）の変位を検出するものであって、そのうち第１
の変位センサ２２ａは、その出力端が第１及び第２のセ
ンサ処理回路２３ａ，２３ｂにそれぞれ接続される。他
方の第２の変位センサ２２ｂの出力端は、第２のセンサ
処理回路２３ｂに接続される。
【００１４】第１のセンサ処理回路２３ａは、その出力
端に第１の変位制御部２４ａが接続され、第１の変位セ
ンサ２２ａの検出信号に２位置の一方の変位量を算出し
て第１の変位制御部２４ａに出力する。第１の変位制御
部２４ａは、その出力端に上記第１のアクチュエータ２
１ａが接続され、入力した変位量に基づいて変位補償用
駆動信号を生成して第１のアクチュエータ２１ａを駆動
して駆動軸と直交する方向の変位を補償する。
端に第１の変位制御部２４ａが接続され、第１の変位セ
ンサ２２ａの検出信号に２位置の一方の変位量を算出し
て第１の変位制御部２４ａに出力する。第１の変位制御
部２４ａは、その出力端に上記第１のアクチュエータ２
１ａが接続され、入力した変位量に基づいて変位補償用
駆動信号を生成して第１のアクチュエータ２１ａを駆動
して駆動軸と直交する方向の変位を補償する。
【００１５】他方、第２のセンサ処理回路２３ｂは、そ
の出力端に第２の変位制御部２４ｂが接続され、入力し
た第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂからの検出
信号に基づいて駆動軸と略直交する軸回りの回転角を算
出して第２の変位制御部２４ｂに出力する。第２の変位
制御部２４ｂは、その出力端に上記第２のアクチュエー
タ２１ｂが接続されており、入力した駆動軸と略直交す
る軸回りの回転角に応じた回転補償用駆動信号を生成し
て第２のアクチュエータ２１ｂを駆動制御し、２位置の
他方の回転角を補償する。この第２の変位制御部２４ｂ
は、例えば上記第１の変位制御部２４ａに比して応答速
度が高められ、第１のアクチュエータ２１ａの駆動によ
る影響を補償するように第２のアクチュエータ２１ｂを
駆動して被駆動体２０の回転角を制御する。
の出力端に第２の変位制御部２４ｂが接続され、入力し
た第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂからの検出
信号に基づいて駆動軸と略直交する軸回りの回転角を算
出して第２の変位制御部２４ｂに出力する。第２の変位
制御部２４ｂは、その出力端に上記第２のアクチュエー
タ２１ｂが接続されており、入力した駆動軸と略直交す
る軸回りの回転角に応じた回転補償用駆動信号を生成し
て第２のアクチュエータ２１ｂを駆動制御し、２位置の
他方の回転角を補償する。この第２の変位制御部２４ｂ
は、例えば上記第１の変位制御部２４ａに比して応答速
度が高められ、第１のアクチュエータ２１ａの駆動によ
る影響を補償するように第２のアクチュエータ２１ｂを
駆動して被駆動体２０の回転角を制御する。
【００１６】なお、上記第１及び第２のアクチュエータ
２１ａ，２１ｂは、被駆動体２０の駆動軸回りに所定の
間隔を有して複数組が配設され、その他の組において
も、上述したように変位制御系が略同様に構成されるも
ので、ここでは便宜上、その説明を省略する。
２１ａ，２１ｂは、被駆動体２０の駆動軸回りに所定の
間隔を有して複数組が配設され、その他の組において
も、上述したように変位制御系が略同様に構成されるも
ので、ここでは便宜上、その説明を省略する。
【００１７】また、被駆動体６には、駆動軸方向変位検
出用変位センサ２５が対向配置され、この変位センサ２
５の出力端には、駆動制御部２６が接続される。変位セ
ンサ２５は、被駆動体６の駆動軸方向の移動量を検出し
て駆動制御部１６に出力する。この駆動制御部２６に
は、駆動用のアクチュエータ２７が接続され、入力した
検出信号に応じた直線駆動信号を生成して、アクチュエ
ータ２７を駆動し、被駆動体２０を駆動軸方向に直線駆
動する。
出用変位センサ２５が対向配置され、この変位センサ２
５の出力端には、駆動制御部２６が接続される。変位セ
ンサ２５は、被駆動体６の駆動軸方向の移動量を検出し
て駆動制御部１６に出力する。この駆動制御部２６に
は、駆動用のアクチュエータ２７が接続され、入力した
検出信号に応じた直線駆動信号を生成して、アクチュエ
ータ２７を駆動し、被駆動体２０を駆動軸方向に直線駆
動する。
【００１８】上記構成において、第１及び第２のアクチ
ュエータ２１ａ，２１ｂが駆動されて被駆動体２０が浮
上されると、第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂ
が、駆動軸の２位置における変位を検出して、その検出
信号を第１及び第２のセンサ処理回路２３ａ，２３ｂに
出力する。ここで、第２のセンサ処理回路２３ｂは、第
１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂの双方の検出信
号が入力され、これら検出信号に基づいて被駆動体２０
の駆動軸上の２位置の他方において駆動軸と略直交する
軸回りの回転角を算出して第２の変位制御部２４ｂに出
力する。第２の変位制御部２４ｂは、入力した回転角に
基づいた回転角補償用駆動信号を生成して、第２のアク
チュエータ２１ｂを駆動制御し、２位置の他方における
駆動軸と略直交する軸回りの回転角を制御する。
ュエータ２１ａ，２１ｂが駆動されて被駆動体２０が浮
上されると、第１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂ
が、駆動軸の２位置における変位を検出して、その検出
信号を第１及び第２のセンサ処理回路２３ａ，２３ｂに
出力する。ここで、第２のセンサ処理回路２３ｂは、第
１及び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂの双方の検出信
号が入力され、これら検出信号に基づいて被駆動体２０
の駆動軸上の２位置の他方において駆動軸と略直交する
軸回りの回転角を算出して第２の変位制御部２４ｂに出
力する。第２の変位制御部２４ｂは、入力した回転角に
基づいた回転角補償用駆動信号を生成して、第２のアク
チュエータ２１ｂを駆動制御し、２位置の他方における
駆動軸と略直交する軸回りの回転角を制御する。
【００１９】また、第１のセンサ処理回路２３ａは、第
１の変位センサ２２ａの検出信号が入力され、この検出
信号に基づいた変位量を算出して第１の変位制御部２４
ａに出力する。第１の変位制御部２４ａは、入力した変
位量に基づいて変位補償用駆動信号を生成して、第１の
アクチュエータ２１ａを駆動制御し、被駆動体２０の駆
動軸上の２位置の一方の変位を補償する。第２の位置の
回転角を第１の位置の変位制御よりも速い応答で制御す
る。
１の変位センサ２２ａの検出信号が入力され、この検出
信号に基づいた変位量を算出して第１の変位制御部２４
ａに出力する。第１の変位制御部２４ａは、入力した変
位量に基づいて変位補償用駆動信号を生成して、第１の
アクチュエータ２１ａを駆動制御し、被駆動体２０の駆
動軸上の２位置の一方の変位を補償する。第２の位置の
回転角を第１の位置の変位制御よりも速い応答で制御す
る。
【００２０】この際、被駆動体２０は、その駆動軸方向
の移動量が変位センサ２５で検出され、その検出信号が
駆動制御部２６に入力される。この駆動制御部２６は、
入力した検出信号に基づいて直線駆動信号を生成して、
アクチュエータ２７を駆動し、被駆動体２０を駆動軸方
向に直線駆動する。
の移動量が変位センサ２５で検出され、その検出信号が
駆動制御部２６に入力される。この駆動制御部２６は、
入力した検出信号に基づいて直線駆動信号を生成して、
アクチュエータ２７を駆動し、被駆動体２０を駆動軸方
向に直線駆動する。
【００２１】このように、上記直線駆動装置は、第１及
び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂで検出する被駆動体
２０の２位置の変位量のうち、第１の変位センサ２２ａ
の検出信号に基づいて第１のアクチュエータ２１ａを駆
動して２位置の一方の変位を制御し、第１及び第２の変
位センサ２２ａ，２２ｂの双方の検出信号に基づいて２
位置の他方の駆動軸と略直交する軸回りの回転角を制御
することにより、被駆動体２０の指向方向を制御するよ
うに構成した。これによれば、第１及び第２のアクチュ
エータ２１ａ，２１ｂで形成する２位置の変位を制御す
る２制御系の干渉を効果的に防止することができて、被
駆動体２０の安定した高精度な指向制御が実現される。
び第２の変位センサ２２ａ，２２ｂで検出する被駆動体
２０の２位置の変位量のうち、第１の変位センサ２２ａ
の検出信号に基づいて第１のアクチュエータ２１ａを駆
動して２位置の一方の変位を制御し、第１及び第２の変
位センサ２２ａ，２２ｂの双方の検出信号に基づいて２
位置の他方の駆動軸と略直交する軸回りの回転角を制御
することにより、被駆動体２０の指向方向を制御するよ
うに構成した。これによれば、第１及び第２のアクチュ
エータ２１ａ，２１ｂで形成する２位置の変位を制御す
る２制御系の干渉を効果的に防止することができて、被
駆動体２０の安定した高精度な指向制御が実現される。
【００２２】なお、上記実施例では、指向制御方式とし
て、被駆動体２０の駆動軸上の２位置において、駆動軸
と略直交する方向の変位量を検出して駆動軸に対する指
向を制御した状態で、駆動軸方向に直線駆動する方式に
適用した場合で説明したが、これに限ることなく、指向
方向として、さらに駆動軸回りの回転角を加えた指向制
御方式においても適用可能である。
て、被駆動体２０の駆動軸上の２位置において、駆動軸
と略直交する方向の変位量を検出して駆動軸に対する指
向を制御した状態で、駆動軸方向に直線駆動する方式に
適用した場合で説明したが、これに限ることなく、指向
方向として、さらに駆動軸回りの回転角を加えた指向制
御方式においても適用可能である。
【００２３】また、上記実施例では、変位検出手段とし
て、被駆動体２０の駆動軸上の２位置に第１及び第２の
変位センサ２２ａ，２２ｂを配設して、駆動軸上の２位
置の変位を検出するように構成した場合で説明したが、
これに限ることなく、被駆動体２０の２位置以上の変位
を検出するように構成しても良い。
て、被駆動体２０の駆動軸上の２位置に第１及び第２の
変位センサ２２ａ，２２ｂを配設して、駆動軸上の２位
置の変位を検出するように構成した場合で説明したが、
これに限ることなく、被駆動体２０の２位置以上の変位
を検出するように構成しても良い。
【００２４】さらに、上記実施例では、干渉計の駆動鏡
３を駆動する被駆動体２０を直線駆動するように構成し
た場合で説明したが、これに限ることなく、その他、被
駆動体を浮上させて、所望の方向に指向制御した状態
で、駆動軸方向に直線的に駆動駆動する各種の被駆動体
において適用可能である。よって、この発明は、上記実
施例に限ることなく、その他、この発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々の変形を実施し得ることは勿論である。
３を駆動する被駆動体２０を直線駆動するように構成し
た場合で説明したが、これに限ることなく、その他、被
駆動体を浮上させて、所望の方向に指向制御した状態
で、駆動軸方向に直線的に駆動駆動する各種の被駆動体
において適用可能である。よって、この発明は、上記実
施例に限ることなく、その他、この発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々の変形を実施し得ることは勿論である。
【００２５】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、構成簡易にして、安定した高精度な指向制御を実現
し得るようにした直線駆動装置を提供することができ
る。
ば、構成簡易にして、安定した高精度な指向制御を実現
し得るようにした直線駆動装置を提供することができ
る。
【図１】この発明の一実施例に係る直線駆動装置を示し
た図。
た図。
【図２】この発明の適用されるマイケルソン干渉計を説
明するために示した図。
明するために示した図。
【図３】従来の直線駆動装置を示した図。
【図４】図３の指向制御動作を説明するために示した
図。
図。
１…ビームスプリッタ。 ２…固定鏡。 ３…駆動鏡。 ４…光検出器。 ５…演算部。 ２０…被駆動体。 ２１ａ，２１ｂ…第１及び第２のアクチュエータ。 ２２ａ，２２ｂ…第１及び第２の変位センサ。 ２３ａ，２３ｂ…第１及び第２のセンサ処理回路。 ２４ａ，２４ｂ…第１及び第２の変位制御部。 ２５…変位センサ。 ２６…駆動制御部。 ２７…アクチュエータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｄ 3/12 ３０４ 7609−3Ｈ
Claims (2)
- 【請求項１】 被駆動体を直線駆動自在に浮上支持する
ものであって、前記被駆動体の駆動軸方向の少なくとも
第１及び第２の位置の２箇所を浮上支持する浮上手段
と、 前記駆動軸上に浮上支持される被駆動体を駆動軸方向に
直線駆動する直線駆動手段と、 前記浮上手段に前記被駆動体を介して対向配置され、前
記被駆動体の駆動軸と略直交する方向の変位を検出する
少なくとも２個の変位センサと、 この変位センサの一方の検出値に基づいて前記被駆動体
の第１の位置の変位を制御し、前記２個の変位センサの
双方の検出値に基づいて前記第２の位置の駆動軸と略直
交する軸回りの回転角を制御する指向制御手段とを具備
した直線駆動装置。 - 【請求項２】 前記指向制御手段は、第１の位置の変位
の制御に先立って第２の位置の回転角を制御してなるこ
とを特徴とする請求項１記載の直線駆動装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3558394A JPH07244528A (ja) | 1994-03-07 | 1994-03-07 | 直線駆動装置 |
| EP95301394A EP0671614A1 (en) | 1994-03-07 | 1995-03-03 | A device for supporting and linearly moving a movable member |
| EP98110960A EP0869340A3 (en) | 1994-03-07 | 1995-03-03 | A device for supporting and linearly moving a movable member |
| US08/399,025 US5671058A (en) | 1994-03-07 | 1995-03-06 | Device for supporting linearly moving a movable member and a controlling system for the device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3558394A JPH07244528A (ja) | 1994-03-07 | 1994-03-07 | 直線駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07244528A true JPH07244528A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=12445798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3558394A Pending JPH07244528A (ja) | 1994-03-07 | 1994-03-07 | 直線駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07244528A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6392848B1 (en) | 1998-03-20 | 2002-05-21 | Fujitsu Limited | Head carriage assembly and disk device incorporating thereof |
-
1994
- 1994-03-07 JP JP3558394A patent/JPH07244528A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6392848B1 (en) | 1998-03-20 | 2002-05-21 | Fujitsu Limited | Head carriage assembly and disk device incorporating thereof |
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