JPH0724306A - 複合超微粒子の製造方法 - Google Patents
複合超微粒子の製造方法Info
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- JPH0724306A JPH0724306A JP19280093A JP19280093A JPH0724306A JP H0724306 A JPH0724306 A JP H0724306A JP 19280093 A JP19280093 A JP 19280093A JP 19280093 A JP19280093 A JP 19280093A JP H0724306 A JPH0724306 A JP H0724306A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ナノメータオーダーの複合超微粒子を構成す
る異種の超微粒子の結合形態を制御することができると
共に、比較的に安価に製造することができる複合超微粒
子の製造方法を提供すること。 【構成】 二種類の超微粒子をそれぞれ別に発生させる
第一工程と、第一工程で発生させた超微粒子をそれぞれ
電気的に逆の極性に荷電する第二工程と、第二工程で荷
電した超微粒子をガス雰囲気中において混合する第三工
程とからなる複合超微粒子の製造方法。
る異種の超微粒子の結合形態を制御することができると
共に、比較的に安価に製造することができる複合超微粒
子の製造方法を提供すること。 【構成】 二種類の超微粒子をそれぞれ別に発生させる
第一工程と、第一工程で発生させた超微粒子をそれぞれ
電気的に逆の極性に荷電する第二工程と、第二工程で荷
電した超微粒子をガス雰囲気中において混合する第三工
程とからなる複合超微粒子の製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加圧あるいは減圧を含
むガス雰囲気中でのナノメータスケールの超微粒子の複
合化に関するものである。
むガス雰囲気中でのナノメータスケールの超微粒子の複
合化に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ナノメータスケールのレベルでの
物質の取り扱いが触媒、電子デバイス、機能材料等種々
の分野において重要となっている。例えば、ナノメータ
レベルでの薄膜の構築は電子デバイス等において重要な
技術であり、現在ではかなり一般化した技術でもある。
物質の取り扱いが触媒、電子デバイス、機能材料等種々
の分野において重要となっている。例えば、ナノメータ
レベルでの薄膜の構築は電子デバイス等において重要な
技術であり、現在ではかなり一般化した技術でもある。
【０００３】一方、ナノメータスケールの超微粒子は、
金属系、非金属系を問わず上記したような多種多様な分
野でその利用価値が高く評価されており、特に金属系超
微粒子は、通常のバルク状金属には見られない特異な性
質や、バルク状金属の特性を更に強調した特性、例えば
磁気特性の向上、化学反応性の増大、光の選択吸収や低
温焼結性等を発現することから、新しい機能性素材とし
て注目されている。
金属系、非金属系を問わず上記したような多種多様な分
野でその利用価値が高く評価されており、特に金属系超
微粒子は、通常のバルク状金属には見られない特異な性
質や、バルク状金属の特性を更に強調した特性、例えば
磁気特性の向上、化学反応性の増大、光の選択吸収や低
温焼結性等を発現することから、新しい機能性素材とし
て注目されている。
【０００４】このような金属系超微粒子の特性は、金属
系超微粒子にセラミックス系超微粒子等の非金属系超微
粒子を結合させて複合超微粒子化することにより、飛躍
的に向上させることが可能であると共に、従来の単一物
質の超微粒子には無い新規な機能を有する物質を創製す
る可能性を秘めている。
系超微粒子にセラミックス系超微粒子等の非金属系超微
粒子を結合させて複合超微粒子化することにより、飛躍
的に向上させることが可能であると共に、従来の単一物
質の超微粒子には無い新規な機能を有する物質を創製す
る可能性を秘めている。
【０００５】具体的には、異種超微粒子により形成され
る超微細ヘテロ界面の利用、例えば半導体、センサー等
への応用、また、セラミックスの構造をミクロに制御す
ることによる高機能化の付与等の応用が考えられる。そ
こで、このような複合超微粒子を製造する方法として、
二元合金をアークプラズマ溶解し、各合金元素を同時に
蒸発させ、異種物質の蒸気を同一空間内で凝縮させる方
法が、活性プラズマ−金属反応法として提案されている
（日本金属学会誌(1989)第53巻第９号第 936〜945 頁参
照）。
る超微細ヘテロ界面の利用、例えば半導体、センサー等
への応用、また、セラミックスの構造をミクロに制御す
ることによる高機能化の付与等の応用が考えられる。そ
こで、このような複合超微粒子を製造する方法として、
二元合金をアークプラズマ溶解し、各合金元素を同時に
蒸発させ、異種物質の蒸気を同一空間内で凝縮させる方
法が、活性プラズマ−金属反応法として提案されている
（日本金属学会誌(1989)第53巻第９号第 936〜945 頁参
照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た活性プラズマ−金属反応法によると、複合超微粒子の
結合形態、即ち、複合超微粒子を構成する超微粒子の個
数や、その結合比率等を制御することが極めて困難であ
り、任意の結合形態を有する複合超微粒子を効率良く製
造することができないという問題に加えて、アークプラ
ズマを発生させる為の装置や、アークプラズマを所定の
温度に保つ為の加熱エネルギーにコストが掛かり、製造
コストが非常に高くなるという問題があった。
た活性プラズマ−金属反応法によると、複合超微粒子の
結合形態、即ち、複合超微粒子を構成する超微粒子の個
数や、その結合比率等を制御することが極めて困難であ
り、任意の結合形態を有する複合超微粒子を効率良く製
造することができないという問題に加えて、アークプラ
ズマを発生させる為の装置や、アークプラズマを所定の
温度に保つ為の加熱エネルギーにコストが掛かり、製造
コストが非常に高くなるという問題があった。
【０００７】本発明は以上の問題点に鑑みて、ナノメー
タオーダーの複合超微粒子を構成する異種の超微粒子の
結合形態を制御することができると共に、比較的に安価
に製造することができる複合超微粒子の製造方法を提供
することを目的とするものである。
タオーダーの複合超微粒子を構成する異種の超微粒子の
結合形態を制御することができると共に、比較的に安価
に製造することができる複合超微粒子の製造方法を提供
することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明に係る複合超微粒子の製造方法は、二種類の超
微粒子をそれぞれ別に発生させる第一工程と、第一工程
で発生させた超微粒子をそれぞれ電気的に逆の極性に荷
電する第二工程と、第二工程で荷電した超微粒子をガス
雰囲気中において混合する第三工程とからなる製造方法
である。
の本発明に係る複合超微粒子の製造方法は、二種類の超
微粒子をそれぞれ別に発生させる第一工程と、第一工程
で発生させた超微粒子をそれぞれ電気的に逆の極性に荷
電する第二工程と、第二工程で荷電した超微粒子をガス
雰囲気中において混合する第三工程とからなる製造方法
である。
【０００９】また、好ましくは、前記第三工程の後に、
混合した超微粒子を交流電界中を通過させる第四工程を
設けると良い。更に、前記第一工程で発生させる二種類
の超微粒子の内、少なくとも一方を前記第三工程又は第
四工程で製造される複合超微粒子とすることによって、
各工程を繰り返して実施しても良い。
混合した超微粒子を交流電界中を通過させる第四工程を
設けると良い。更に、前記第一工程で発生させる二種類
の超微粒子の内、少なくとも一方を前記第三工程又は第
四工程で製造される複合超微粒子とすることによって、
各工程を繰り返して実施しても良い。
【００１０】本発明において対象となる超微粒子は、粒
径が概ね 0.1μｍ（ 100ｎｍ）以下の粒子であり、望ま
しくは数ｎｍから数十ｎｍ程度の大きさの超微粒子であ
る。複合超微粒子を製造するためには、まずその構成粒
子となりうる超微粒子を第一工程で製造する必要があ
る。この構成粒子として必要な条件は、第一に集合して
いない分散状の超微粒子であること、第二に可能な限り
均一な粒径を有していることである。
径が概ね 0.1μｍ（ 100ｎｍ）以下の粒子であり、望ま
しくは数ｎｍから数十ｎｍ程度の大きさの超微粒子であ
る。複合超微粒子を製造するためには、まずその構成粒
子となりうる超微粒子を第一工程で製造する必要があ
る。この構成粒子として必要な条件は、第一に集合して
いない分散状の超微粒子であること、第二に可能な限り
均一な粒径を有していることである。
【００１１】ガス中あるいは減圧下での超微粒子の製造
方法は種々提案されているが、前記した条件を満足する
超微粒子の製造方法として、本発明者等が先に考案し
た、抵抗線を利用した簡便な方法がある。これは、抵抗
線の表面に線状の超微粒子素材を巻き付けるか、又は、
粉末状の超微粒子素材を付着させ、この抵抗線に通電す
ることによって、抵抗線を発熱させ、前記超微粒子素材
を融解、蒸発させた後、凝縮により超微粒子を発生させ
る方法である（特開平3-178332号公報参照）。
方法は種々提案されているが、前記した条件を満足する
超微粒子の製造方法として、本発明者等が先に考案し
た、抵抗線を利用した簡便な方法がある。これは、抵抗
線の表面に線状の超微粒子素材を巻き付けるか、又は、
粉末状の超微粒子素材を付着させ、この抵抗線に通電す
ることによって、抵抗線を発熱させ、前記超微粒子素材
を融解、蒸発させた後、凝縮により超微粒子を発生させ
る方法である（特開平3-178332号公報参照）。
【００１２】次に、ガス雰囲気中に分散状態で発生させ
た超微粒子を第二工程で荷電する。その方法として、一
般的には減圧下でのグロー放電或いはコロナ放電が主に
利用されるが、荷電効率が良好であれば何れの方法でも
良い。また、必ずしも発生させた全ての超微粒子を荷電
する必要は無い。
た超微粒子を第二工程で荷電する。その方法として、一
般的には減圧下でのグロー放電或いはコロナ放電が主に
利用されるが、荷電効率が良好であれば何れの方法でも
良い。また、必ずしも発生させた全ての超微粒子を荷電
する必要は無い。
【００１３】荷電装置を経た超微粒子は無荷電粒子或い
は異常荷電粒子を除く為に偏向電極間に通されることが
好ましいが、製造される複合超微粒子の精製純度を高純
度にする必要が無い場合は必ずしも必要はない。以上の
方法により、互いに反対の極性を有する二種類の荷電超
微粒子が製造される。
は異常荷電粒子を除く為に偏向電極間に通されることが
好ましいが、製造される複合超微粒子の精製純度を高純
度にする必要が無い場合は必ずしも必要はない。以上の
方法により、互いに反対の極性を有する二種類の荷電超
微粒子が製造される。
【００１４】次に、これらの荷電超微粒子を第三工程で
混合するのであるが、各々の超微粒子がガス中に浮遊し
ている状態であれば、撹拌あるいは二重ノズル等による
機械的混合が可能である。また、一方が減圧下にあって
も二重ノズル等による混合が可能である。
混合するのであるが、各々の超微粒子がガス中に浮遊し
ている状態であれば、撹拌あるいは二重ノズル等による
機械的混合が可能である。また、一方が減圧下にあって
も二重ノズル等による混合が可能である。
【００１５】両者が減圧下にある場合は、第四工程で適
切な交流電界中を通過させることにより、各々の荷電超
微粒子が有する静電気力を利用して混合を促進すること
ができる。また、この交流電界中を通過させる方法は、
超微粒子がガス中に浮遊している場合にも適用できる。
切な交流電界中を通過させることにより、各々の荷電超
微粒子が有する静電気力を利用して混合を促進すること
ができる。また、この交流電界中を通過させる方法は、
超微粒子がガス中に浮遊している場合にも適用できる。
【００１６】これらの過程で必要とされることは、反対
の極性を有する二種類の超微粒子を互いに近接させるこ
とである。従って、第三工程における機械的混合方法と
第四工程における電気的混合方法を併用すると、より一
層好ましい。以上の各工程を経ることにより、二種類の
超微粒子を結合させて複合超微粒子を製造するのである
が、最終的に結合しなかった単一物質の超微粒子は、そ
の電気的特性が異なるので、偏向電極等を使用して容易
に取り除くことができる。
の極性を有する二種類の超微粒子を互いに近接させるこ
とである。従って、第三工程における機械的混合方法と
第四工程における電気的混合方法を併用すると、より一
層好ましい。以上の各工程を経ることにより、二種類の
超微粒子を結合させて複合超微粒子を製造するのである
が、最終的に結合しなかった単一物質の超微粒子は、そ
の電気的特性が異なるので、偏向電極等を使用して容易
に取り除くことができる。
【００１７】
【作 用】本発明に係る複合超微粒子の製造方法は以上
の構成を有しており、第一工程において発生させた二種
類の超微粒子を、第二工程でそれぞれ電気的に逆の極性
に荷電することによって、第三工程において混合する際
に、互いの静電気力によって二種類の超微粒子は引き合
い、結合して複合化される。
の構成を有しており、第一工程において発生させた二種
類の超微粒子を、第二工程でそれぞれ電気的に逆の極性
に荷電することによって、第三工程において混合する際
に、互いの静電気力によって二種類の超微粒子は引き合
い、結合して複合化される。
【００１８】また、第四工程を設けた場合には、逆の極
性に荷電した超微粒子が交流電界中を通過する際に、互
いに逆向きに蛇行しながら通過することになるので、二
種類の超微粒子が互いに接近する確率が高くなり、結合
が促進される。更に、第一工程で発生させる二種類の超
微粒子の内、少なくとも一方を前記第三工程又は第四工
程で製造される複合超微粒子とすることによって、三種
類以上の超微粒子素材から成る複合超微粒子を製造する
ことが可能となる。
性に荷電した超微粒子が交流電界中を通過する際に、互
いに逆向きに蛇行しながら通過することになるので、二
種類の超微粒子が互いに接近する確率が高くなり、結合
が促進される。更に、第一工程で発生させる二種類の超
微粒子の内、少なくとも一方を前記第三工程又は第四工
程で製造される複合超微粒子とすることによって、三種
類以上の超微粒子素材から成る複合超微粒子を製造する
ことが可能となる。
【００１９】
【実施例】次に図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。図１に示す本発明の実施例１では、一方の超微粒子
素材Ａとして塩化ナトリウムを使用し、他方の超微粒子
素材Ｂとして銀を使用した。なお、塩化ナトリウムと銀
を使用したのはその結晶性向と電子顕微鏡による像強度
の差から結合形態が観察し易いからである。
る。図１に示す本発明の実施例１では、一方の超微粒子
素材Ａとして塩化ナトリウムを使用し、他方の超微粒子
素材Ｂとして銀を使用した。なお、塩化ナトリウムと銀
を使用したのはその結晶性向と電子顕微鏡による像強度
の差から結合形態が観察し易いからである。
【００２０】先ず、第一工程で使用する装置として、塩
化ナトリウムの超微粒子を発生させる為の超微粒子発生
装置１と、銀の超微粒子を発生させる為の超微粒子発生
装置２とを設けている。これらの超微粒子発生装置１，
２は、特開平3-178332号公報によって本発明者等が先に
提案したものであり、一方の超微粒子発生装置１の抵抗
線の表面に塩化ナトリウムを付着させ、他方の超微粒子
発生装置２の抵抗線の表面に銀線を断続的に巻き付け、
これらの抵抗線に通電することによって、抵抗線を発熱
させ、超微粒子素材Ａ，Ｂを別々に融解、蒸発させた
後、凝縮により超微粒子を発生させる装置である。
化ナトリウムの超微粒子を発生させる為の超微粒子発生
装置１と、銀の超微粒子を発生させる為の超微粒子発生
装置２とを設けている。これらの超微粒子発生装置１，
２は、特開平3-178332号公報によって本発明者等が先に
提案したものであり、一方の超微粒子発生装置１の抵抗
線の表面に塩化ナトリウムを付着させ、他方の超微粒子
発生装置２の抵抗線の表面に銀線を断続的に巻き付け、
これらの抵抗線に通電することによって、抵抗線を発熱
させ、超微粒子素材Ａ，Ｂを別々に融解、蒸発させた
後、凝縮により超微粒子を発生させる装置である。
【００２１】この第一工程では、各々の超微粒子発生装
置１，２により、それぞれ大気圧下において図３の電子
顕微鏡写真に示す塩化ナトリウム超微粒子と、図４の電
子顕微鏡写真に示す銀超微粒子を発生させた。これらの
超微粒子は、いずれも分散した状態にあり、塩化ナトリ
ウム超微粒子は立方結晶状を示しているのに対し、銀超
微粒子は楕円状を示している。
置１，２により、それぞれ大気圧下において図３の電子
顕微鏡写真に示す塩化ナトリウム超微粒子と、図４の電
子顕微鏡写真に示す銀超微粒子を発生させた。これらの
超微粒子は、いずれも分散した状態にあり、塩化ナトリ
ウム超微粒子は立方結晶状を示しているのに対し、銀超
微粒子は楕円状を示している。
【００２２】次に、第二工程で使用する装置として、塩
化ナトリウム超微粒子を負極性に荷電する為の粒子荷電
装置３と、銀超微粒子を正極性に荷電する為の粒子荷電
装置４とを設けている。これらの粒子荷電装置３，４
は、グロー放電又はコロナ放電によって、二種類の超微
粒子にそれぞれ逆の極性の電荷を与える装置である。こ
の第二工程で荷電された塩化ナトリウム超微粒子と銀超
微粒子は、次の第三工程において、機械的混合装置５に
よって撹拌される。本実施例では、大径の外管の中に小
径の内管を収容した二重ノズルによる撹拌を採用してお
り、一方の荷電超微粒子が浮遊している内管のガスを、
この内管のノズルから外管内に送り出すことにより、他
方の荷電超微粒子が浮遊している外管のガスと混合させ
た。
化ナトリウム超微粒子を負極性に荷電する為の粒子荷電
装置３と、銀超微粒子を正極性に荷電する為の粒子荷電
装置４とを設けている。これらの粒子荷電装置３，４
は、グロー放電又はコロナ放電によって、二種類の超微
粒子にそれぞれ逆の極性の電荷を与える装置である。こ
の第二工程で荷電された塩化ナトリウム超微粒子と銀超
微粒子は、次の第三工程において、機械的混合装置５に
よって撹拌される。本実施例では、大径の外管の中に小
径の内管を収容した二重ノズルによる撹拌を採用してお
り、一方の荷電超微粒子が浮遊している内管のガスを、
この内管のノズルから外管内に送り出すことにより、他
方の荷電超微粒子が浮遊している外管のガスと混合させ
た。
【００２３】更に二種類の超微粒子の混合を促進させる
ために、本実施例では第四工程を設けており、第三工程
で既に結合済みの複合超微粒子と、未結合の二種類の荷
電超微粒子とが混合した状態で、電気的混合装置６に導
入される。本実施例の電気的混合装置６では、電界強度
20ｋＶ／ｍ、周波数１Ｈｚの交流電界を発生させてお
り、反対の極性を有する二種類の荷電超微粒子を、静電
気力によって結合し得る距離まで互いに接近させる確率
を高めている。
ために、本実施例では第四工程を設けており、第三工程
で既に結合済みの複合超微粒子と、未結合の二種類の荷
電超微粒子とが混合した状態で、電気的混合装置６に導
入される。本実施例の電気的混合装置６では、電界強度
20ｋＶ／ｍ、周波数１Ｈｚの交流電界を発生させてお
り、反対の極性を有する二種類の荷電超微粒子を、静電
気力によって結合し得る距離まで互いに接近させる確率
を高めている。
【００２４】この第四工程を経た後に、無荷電粒子及び
異常荷電粒子を除去する為の特別な手段を取らずに撮影
した複合超微粒子Ｃの電子顕微鏡写真を、図５及び図６
に示す。これら何れの電子顕微鏡写真においても、銀超
微粒子は像強度が強く、明確に確認できるのに対し、塩
化ナトリウム超微粒子は像強度が弱く、幾つかの粒子で
はその立方結晶状を確認できるが、その他の幾つかの粒
子では像が薄くなっている為、特に微小な超微粒子で
は、その輪郭を確認するのが難しいものも見られる。し
かし、詳細に観察すると、複合化後の銀超微粒子の形状
が、塩化ナトリウム超微粒子との付着結合により、図４
に示される銀超微粒子の形状とは異なり、その一部が欠
けたように変形していることからも、塩化ナトリウム超
微粒子の存在が確認できる。
異常荷電粒子を除去する為の特別な手段を取らずに撮影
した複合超微粒子Ｃの電子顕微鏡写真を、図５及び図６
に示す。これら何れの電子顕微鏡写真においても、銀超
微粒子は像強度が強く、明確に確認できるのに対し、塩
化ナトリウム超微粒子は像強度が弱く、幾つかの粒子で
はその立方結晶状を確認できるが、その他の幾つかの粒
子では像が薄くなっている為、特に微小な超微粒子で
は、その輪郭を確認するのが難しいものも見られる。し
かし、詳細に観察すると、複合化後の銀超微粒子の形状
が、塩化ナトリウム超微粒子との付着結合により、図４
に示される銀超微粒子の形状とは異なり、その一部が欠
けたように変形していることからも、塩化ナトリウム超
微粒子の存在が確認できる。
【００２５】その結果、得られた複合超微粒子Ｃの大部
分が、塩化ナトリウム超微粒子１個と銀超微粒子１個と
から成る構成粒子２個のものと、塩化ナトリウム超微粒
子１個と銀超微粒子２個とから成る構成粒子３個のもの
との二種類に限定されていることが分かる。即ち、本実
施例では、二種類の異種超微粒子を使用して、構成粒子
が２個或いは３個に限定され、しかも、その結合形態も
規定された複合超微粒子Ｃを製造することができたので
ある。また、構成粒子３個の場合、２個の銀超微粒子は
直接には結合せず、塩化ナトリウム超微粒子を介して結
合していることが分かる。但し、電子顕微鏡写真では塩
化ナトリウム超微粒子の像が薄くなっているので、一部
の複合超微粒子Ｃでは、銀超微粒子が僅かの間隙をおい
て対になっているように見える。
分が、塩化ナトリウム超微粒子１個と銀超微粒子１個と
から成る構成粒子２個のものと、塩化ナトリウム超微粒
子１個と銀超微粒子２個とから成る構成粒子３個のもの
との二種類に限定されていることが分かる。即ち、本実
施例では、二種類の異種超微粒子を使用して、構成粒子
が２個或いは３個に限定され、しかも、その結合形態も
規定された複合超微粒子Ｃを製造することができたので
ある。また、構成粒子３個の場合、２個の銀超微粒子は
直接には結合せず、塩化ナトリウム超微粒子を介して結
合していることが分かる。但し、電子顕微鏡写真では塩
化ナトリウム超微粒子の像が薄くなっているので、一部
の複合超微粒子Ｃでは、銀超微粒子が僅かの間隙をおい
て対になっているように見える。
【００２６】次に、図２に示す本発明の実施例２は、実
施例１の製造方法によって製造された複合超微粒子Ｃを
粒子荷電装置３で荷電すると共に、別の超微粒子素材Ｄ
を超微粒子発生装置２によって融解、蒸発させた後、粒
子荷電装置４によって荷電し、それぞれ反対の極性に荷
電された荷電複合超微粒子と荷電超微粒子を、機械的混
合装置５及び電気的混合装置６によって結合させ、三種
類の超微粒子素材からなる複合超微粒子Ｅを製造する方
法である。
施例１の製造方法によって製造された複合超微粒子Ｃを
粒子荷電装置３で荷電すると共に、別の超微粒子素材Ｄ
を超微粒子発生装置２によって融解、蒸発させた後、粒
子荷電装置４によって荷電し、それぞれ反対の極性に荷
電された荷電複合超微粒子と荷電超微粒子を、機械的混
合装置５及び電気的混合装置６によって結合させ、三種
類の超微粒子素材からなる複合超微粒子Ｅを製造する方
法である。
【００２７】このように、既成の複合超微粒子Ｃを第一
工程で発生させる二種類の超微粒子の内、少なくとも一
方に適用することにより、三種類以上の超微粒子素材か
ら成る複合超微粒子を製造することができ、更に上述し
た各工程を複数回繰り返すことにより、より複雑な複合
超微粒子を製造することが可能となる。
工程で発生させる二種類の超微粒子の内、少なくとも一
方に適用することにより、三種類以上の超微粒子素材か
ら成る複合超微粒子を製造することができ、更に上述し
た各工程を複数回繰り返すことにより、より複雑な複合
超微粒子を製造することが可能となる。
【００２８】
【発明の効果】本発明に係る複合超微粒子の製造方法
は、二種類の超微粒子をそれぞれ別に発生させる第一工
程と、第一工程で発生させた超微粒子をそれぞれ電気的
に逆の極性に荷電する第二工程と、第二工程で荷電した
超微粒子をガス雰囲気中において混合する第三工程とか
らなるので、以下の効果を奏することができる。
は、二種類の超微粒子をそれぞれ別に発生させる第一工
程と、第一工程で発生させた超微粒子をそれぞれ電気的
に逆の極性に荷電する第二工程と、第二工程で荷電した
超微粒子をガス雰囲気中において混合する第三工程とか
らなるので、以下の効果を奏することができる。
【００２９】第一工程において発生させた二種類の超微
粒子を、第二工程でそれぞれ電気的に逆の極性に荷電す
ることによって、第三工程において混合する際に、互い
の静電気力によって二種類の超微粒子を結合させ、複合
化することができ、更に、第二工程におけるそれぞれの
超微粒子の荷電状態を制御することによって、複合超微
粒子を構成する超微粒子の個数及びその結合形態を制御
することができるので、電子材料、機能材料等として有
用なナノメータスケールで制御された新規材料の製造が
可能となる。具体的には、異種超微粒子により形成され
る超微細ヘテロ界面の利用、例えば半導体、センサー等
への応用、また、セラミックスの構造をミクロに制御す
ることによる高機能化の付与等、様々な工業分野で多大
に貢献することができる。また、比較的に簡単な装置と
方法により、目的とする複合超微粒子を効率良く製造す
ることができるので、従来の活性プラズマ−金属反応法
による複合超微粒子の製造方法に比して安価に製造する
ことができる。
粒子を、第二工程でそれぞれ電気的に逆の極性に荷電す
ることによって、第三工程において混合する際に、互い
の静電気力によって二種類の超微粒子を結合させ、複合
化することができ、更に、第二工程におけるそれぞれの
超微粒子の荷電状態を制御することによって、複合超微
粒子を構成する超微粒子の個数及びその結合形態を制御
することができるので、電子材料、機能材料等として有
用なナノメータスケールで制御された新規材料の製造が
可能となる。具体的には、異種超微粒子により形成され
る超微細ヘテロ界面の利用、例えば半導体、センサー等
への応用、また、セラミックスの構造をミクロに制御す
ることによる高機能化の付与等、様々な工業分野で多大
に貢献することができる。また、比較的に簡単な装置と
方法により、目的とする複合超微粒子を効率良く製造す
ることができるので、従来の活性プラズマ−金属反応法
による複合超微粒子の製造方法に比して安価に製造する
ことができる。
【００３０】なお、前記第三工程の後に、混合した超微
粒子を交流電界中を通過させる第四工程を設けた場合に
は、二種類の超微粒子が静電気力によって結合し得る距
離まで互いに接近する確率が高くなり、複合化を促進す
ることができる。更に、前記第一工程で発生させる二種
類の超微粒子の内、少なくとも一方を前記第三工程又は
第四工程で製造される複合超微粒子とすることによっ
て、三種類以上の超微粒子素材から成る、より複雑な構
造の複合超微粒子を製造することが可能となる。
粒子を交流電界中を通過させる第四工程を設けた場合に
は、二種類の超微粒子が静電気力によって結合し得る距
離まで互いに接近する確率が高くなり、複合化を促進す
ることができる。更に、前記第一工程で発生させる二種
類の超微粒子の内、少なくとも一方を前記第三工程又は
第四工程で製造される複合超微粒子とすることによっ
て、三種類以上の超微粒子素材から成る、より複雑な構
造の複合超微粒子を製造することが可能となる。
【図１】本発明の実施例１における複合超微粒子の製造
方法を示すブロック図である。
方法を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施例２における複合超微粒子の製造
方法を示すブロック図である。
方法を示すブロック図である。
【図３】本発明の第一工程において発生させた塩化ナト
リウム超微粒子の電子顕微鏡写真である。
リウム超微粒子の電子顕微鏡写真である。
【図４】本発明の第一工程において発生させた銀超微粒
子の電子顕微鏡写真である。
子の電子顕微鏡写真である。
【図５】本発明の第四工程において複合化した複合超微
粒子の電子顕微鏡写真である。
粒子の電子顕微鏡写真である。
【図６】本発明の第四工程において複合化した複合超微
粒子の電子顕微鏡写真である。
粒子の電子顕微鏡写真である。
１ 超微粒子発生装置 ２ 超微粒子発
生装置 ３ 粒子荷電装置 ４ 粒子荷電装
置 ５ 機械的混合装置 ６ 電気的混合
装置 Ａ 超微粒子素材 Ｂ 超微粒子素
材 Ｃ 複合超微粒子 Ｄ 超微粒子素
材 Ｅ 複合超微粒子
生装置 ３ 粒子荷電装置 ４ 粒子荷電装
置 ５ 機械的混合装置 ６ 電気的混合
装置 Ａ 超微粒子素材 Ｂ 超微粒子素
材 Ｃ 複合超微粒子 Ｄ 超微粒子素
材 Ｅ 複合超微粒子
Claims (3)
- 【請求項１】 二種類の超微粒子をそれぞれ別に発生さ
せる第一工程と、第一工程で発生させた超微粒子をそれ
ぞれ電気的に逆の極性に荷電する第二工程と、第二工程
で荷電した超微粒子をガス雰囲気中において混合する第
三工程とからなる複合超微粒子の製造方法。 - 【請求項２】 前記第三工程の後に、混合した超微粒子
を交流電界中を通過させる第四工程を設けたことを特徴
とする請求項１に記載の複合超微粒子の製造方法。 - 【請求項３】 前記第一工程で発生させる二種類の超微
粒子の内、少なくとも一方を前記第三工程又は第四工程
で製造される複合超微粒子としたことを特徴とする請求
項１又は請求項２に記載の複合超微粒子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5192800A JP2526398B2 (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 複合超微粒子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5192800A JP2526398B2 (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 複合超微粒子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724306A true JPH0724306A (ja) | 1995-01-27 |
| JP2526398B2 JP2526398B2 (ja) | 1996-08-21 |
Family
ID=16297203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5192800A Expired - Lifetime JP2526398B2 (ja) | 1993-07-07 | 1993-07-07 | 複合超微粒子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2526398B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07132223A (ja) * | 1993-11-09 | 1995-05-23 | Agency Of Ind Science & Technol | 微粒子複合体の製造方法 |
| JP2008532760A (ja) * | 2005-03-17 | 2008-08-21 | カン ホ アン | 超微粒子製造装置および方法 |
| JP2009509741A (ja) * | 2005-09-28 | 2009-03-12 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 微小反応室における反応の実施方法 |
| JP2012101301A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ナノサイズ粒子、ナノサイズ粒子を含むリチウムイオン二次電池用負極材料、リチウムイオン二次電池用負極、リチウムイオン二次電池、ナノサイズ粒子の製造方法 |
| JP2012102354A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ナノサイズ粒子、ナノサイズ粒子を含むリチウムイオン二次電池用負極材料、リチウムイオン二次電池用負極、リチウムイオン二次電池、ナノサイズ粒子の製造方法 |
| JP2012101958A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ナノサイズ粒子、ナノサイズ粒子を含むリチウムイオン二次電池用負極材料、リチウムイオン二次電池用負極、リチウムイオン二次電池、ナノサイズ粒子の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034509A (ja) * | 1973-07-30 | 1975-04-02 | ||
| JPS62213839A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-19 | Hoechst Gosei Kk | 均一に被覆された複合体粒子の製造方法 |
-
1993
- 1993-07-07 JP JP5192800A patent/JP2526398B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP4926178B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2012-05-09 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 微小反応室における反応の実施方法 |
| JP2012101301A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ナノサイズ粒子、ナノサイズ粒子を含むリチウムイオン二次電池用負極材料、リチウムイオン二次電池用負極、リチウムイオン二次電池、ナノサイズ粒子の製造方法 |
| JP2012102354A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ナノサイズ粒子、ナノサイズ粒子を含むリチウムイオン二次電池用負極材料、リチウムイオン二次電池用負極、リチウムイオン二次電池、ナノサイズ粒子の製造方法 |
| JP2012101958A (ja) * | 2010-11-08 | 2012-05-31 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ナノサイズ粒子、ナノサイズ粒子を含むリチウムイオン二次電池用負極材料、リチウムイオン二次電池用負極、リチウムイオン二次電池、ナノサイズ粒子の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2526398B2 (ja) | 1996-08-21 |
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |