JPH07235851A - 圧電部品の電極構造 - Google Patents
圧電部品の電極構造Info
- Publication number
- JPH07235851A JPH07235851A JP4784394A JP4784394A JPH07235851A JP H07235851 A JPH07235851 A JP H07235851A JP 4784394 A JP4784394 A JP 4784394A JP 4784394 A JP4784394 A JP 4784394A JP H07235851 A JPH07235851 A JP H07235851A
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- Japan
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- electrode
- crystal
- piezoelectric
- electrode pads
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】製造容易にして、共振周波数の調整時に圧電基
板にひずみが発生しない構造を有する圧電部品を提供す
る。 【構成】薄板の圧電基板に励振電極と該励振電極から延
びる電極リード部を付着し、該電極リード部の先端にパ
ッケージの外部電極と電気的に接続するための電極パッ
ドを付着した圧電素子に於いて、前記電極パッドから前
記圧電基板の周縁部近傍まで引き出し電極を延設し、該
引き出し電極の先端に前記圧電素子の共振周波数を測定
するための共振周波数測定用電極パッドを設け、圧電素
子にひずみが発生することなく共振周波数を正確に測定
するための圧電部品の電極構造とする。
板にひずみが発生しない構造を有する圧電部品を提供す
る。 【構成】薄板の圧電基板に励振電極と該励振電極から延
びる電極リード部を付着し、該電極リード部の先端にパ
ッケージの外部電極と電気的に接続するための電極パッ
ドを付着した圧電素子に於いて、前記電極パッドから前
記圧電基板の周縁部近傍まで引き出し電極を延設し、該
引き出し電極の先端に前記圧電素子の共振周波数を測定
するための共振周波数測定用電極パッドを設け、圧電素
子にひずみが発生することなく共振周波数を正確に測定
するための圧電部品の電極構造とする。
Description
【０００１】
【産業上利用分野】本発明は大量生産による圧電素子の
電極構造、殊に圧電素子の共振周波数を測定するための
電極構造に関する。
電極構造、殊に圧電素子の共振周波数を測定するための
電極構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電部品製造工程は、圧電素子を大型圧
電基板に複数個配置する所謂バッチ処理にて製造するも
のとし、励振電極と該励振電極から延びる電極リード部
を付着した後に、圧電素子単体に分離してパッケージに
機械的保持及び電気的接続するのが一般的であった。
電基板に複数個配置する所謂バッチ処理にて製造するも
のとし、励振電極と該励振電極から延びる電極リード部
を付着した後に、圧電素子単体に分離してパッケージに
機械的保持及び電気的接続するのが一般的であった。
【０００３】前記圧電素子、例えば水晶振動子の構造は
図２（ａ），（ｂ）の平面図、Ａ―Ａ′断面図に示す如
く、薄さ約８０μｍの水晶基板１に機械加工、又はエッ
チングによって薄さ約１０〜１５μｍとした薄板状の励
振部２を形成してから励振電極３，４と電極リード部
５，６を付着し、該電極リード部５，６先端に電極パッ
ド７，８を設けたものである。更に、この水晶振動子９
をパッケージ内に収納し、前記電極パッド７，８からパ
ッケージの外部電極まで金又はアルミニウム等の導電性
ワイヤで電気的に接続（ワイヤボンディング）する（図
示しない）のが一般的である。水晶振動子９を接着剤で
パッケージに固定するので導電性ワイヤを接続し易いよ
うに前記水晶基板１の中央部近傍に前記電極パッド７，
８を配置するのが一般的である。前記励振電極３，４、
電極リード部５，６及び電極パッド７，８は、金、銀、
クロム、ニッケル、アルミニウム等の導電性材料を単層
或は複層にスパッタリングや真空蒸着等の薄膜形成技術
により同時に形成しているので、同じ薄さ（一般に、１
μｍ以下）となっている。
図２（ａ），（ｂ）の平面図、Ａ―Ａ′断面図に示す如
く、薄さ約８０μｍの水晶基板１に機械加工、又はエッ
チングによって薄さ約１０〜１５μｍとした薄板状の励
振部２を形成してから励振電極３，４と電極リード部
５，６を付着し、該電極リード部５，６先端に電極パッ
ド７，８を設けたものである。更に、この水晶振動子９
をパッケージ内に収納し、前記電極パッド７，８からパ
ッケージの外部電極まで金又はアルミニウム等の導電性
ワイヤで電気的に接続（ワイヤボンディング）する（図
示しない）のが一般的である。水晶振動子９を接着剤で
パッケージに固定するので導電性ワイヤを接続し易いよ
うに前記水晶基板１の中央部近傍に前記電極パッド７，
８を配置するのが一般的である。前記励振電極３，４、
電極リード部５，６及び電極パッド７，８は、金、銀、
クロム、ニッケル、アルミニウム等の導電性材料を単層
或は複層にスパッタリングや真空蒸着等の薄膜形成技術
により同時に形成しているので、同じ薄さ（一般に、１
μｍ以下）となっている。
【０００４】ところが、水晶振動子９の共振周波数は水
晶基板１の形状、励振部２の加工状態及び励振電極３，
４を付着する厚みによって決定するので、夫々のばらつ
きにより前記共振周波数にばらつきが発生するという問
題がある。この共振周波数のばらつきを無くすため、該
共振周波数を調整する工程が必要となる。
晶基板１の形状、励振部２の加工状態及び励振電極３，
４を付着する厚みによって決定するので、夫々のばらつ
きにより前記共振周波数にばらつきが発生するという問
題がある。この共振周波数のばらつきを無くすため、該
共振周波数を調整する工程が必要となる。
【０００５】前記水晶振動子９の共振周波数の調整方法
は、電極パッド７，８に共振周波数測定機器の入力端子
に接続したプローブを押し当てて、前記共振周波数を測
定しながら励振部２に金、銀、クロム、ニッケル、アル
ミニウム等の導電性材料をスパッタリング、或は真空蒸
着等の薄膜形成技術により所定量だけ付着する方法とし
て、所望する周波数に達したところで薄膜の形成をスト
ップする。
は、電極パッド７，８に共振周波数測定機器の入力端子
に接続したプローブを押し当てて、前記共振周波数を測
定しながら励振部２に金、銀、クロム、ニッケル、アル
ミニウム等の導電性材料をスパッタリング、或は真空蒸
着等の薄膜形成技術により所定量だけ付着する方法とし
て、所望する周波数に達したところで薄膜の形成をスト
ップする。
【０００６】しかしながら、上述した如き従来の水晶振
動子９では電極パッド７，８が水晶基板１の中央部近傍
に存在するため、プローブを電極パッド７，８に押し当
てることによって図３に示す如く、ひずみが発生（電極
パッド７，８から同心円状の干渉縞１０が確認可能）し
てそのひずみが励振部２に到達した状態、又は前記ひず
みが大きいときは水晶基板１全体が変形した状態で共振
周波数を測定することとなるため前記水晶振動子９の正
確な共振周波数を測定できないという欠陥がある。その
ため、蒸着に過不足が生じて周波数のばらつきが大きく
なり、歩留まりが低下するという欠陥があった。
動子９では電極パッド７，８が水晶基板１の中央部近傍
に存在するため、プローブを電極パッド７，８に押し当
てることによって図３に示す如く、ひずみが発生（電極
パッド７，８から同心円状の干渉縞１０が確認可能）し
てそのひずみが励振部２に到達した状態、又は前記ひず
みが大きいときは水晶基板１全体が変形した状態で共振
周波数を測定することとなるため前記水晶振動子９の正
確な共振周波数を測定できないという欠陥がある。その
ため、蒸着に過不足が生じて周波数のばらつきが大きく
なり、歩留まりが低下するという欠陥があった。
【０００７】更に、例えば電極パッドを励振部にひずみ
がかからないように該励振部から離した位置として水晶
振動子の基板端部に設けた場合、前記電極パッドとパッ
ケージの外部電極との導電性ワイヤにより電気的接続
（ワイヤボンディング）をするときに水晶基板の端部が
欠けたり、電極リード部が長くなるため水晶振動子のイ
ンピーダンスが大きくなるという欠陥があった。
がかからないように該励振部から離した位置として水晶
振動子の基板端部に設けた場合、前記電極パッドとパッ
ケージの外部電極との導電性ワイヤにより電気的接続
（ワイヤボンディング）をするときに水晶基板の端部が
欠けたり、電極リード部が長くなるため水晶振動子のイ
ンピーダンスが大きくなるという欠陥があった。
【０００８】
【発明の目的】本発明は上述した如き従来の圧電部品の
欠陥を除去すべくなされたものであって、製造容易にし
て、共振周波数の調整時に圧電基板にひずみが発生しな
い構造を有する圧電部品を提供することを目的とする。
欠陥を除去すべくなされたものであって、製造容易にし
て、共振周波数の調整時に圧電基板にひずみが発生しな
い構造を有する圧電部品を提供することを目的とする。
【０００９】
【発明の概要】上述の目的を達成するため本発明に係わ
る表面実装型圧電部品の構造は、薄板の圧電基板に励振
電極と該励振電極から延びる電極リード部を付着し、該
電極リード部の先端にパッケージの外部電極と電気的に
接続するための電極パッドを付着した圧電素子に於い
て、前記電極パッドから前記圧電基板の周縁部近傍まで
引き出し電極を延設し、該引き出し電極の先端に前記圧
電素子の共振周波数を測定するための共振周波数測定用
電極パッドを設け、圧電素子にひずみが発生することな
く共振周波数を正確に測定するための圧電部品の電極構
造とする。
る表面実装型圧電部品の構造は、薄板の圧電基板に励振
電極と該励振電極から延びる電極リード部を付着し、該
電極リード部の先端にパッケージの外部電極と電気的に
接続するための電極パッドを付着した圧電素子に於い
て、前記電極パッドから前記圧電基板の周縁部近傍まで
引き出し電極を延設し、該引き出し電極の先端に前記圧
電素子の共振周波数を測定するための共振周波数測定用
電極パッドを設け、圧電素子にひずみが発生することな
く共振周波数を正確に測定するための圧電部品の電極構
造とする。
【００１０】
【発明の実施例】以下、本発明を実施例を示す図面に基
づいて詳細に説明する。図１は、本発明に係わる圧電部
品の一実施例の構成を示す平面図である。
づいて詳細に説明する。図１は、本発明に係わる圧電部
品の一実施例の構成を示す平面図である。
【００１１】即ち、水晶基板１の周縁部近傍に向けて電
極パッド７，８から引き出し電極１１，１２を延設し、
該引き出し電極１１，１２の先端に共振周波数測定用電
極パッド１３，１４を設け、該共振周波数測定用電極パ
ッド１３，１４に共振周波数測定用のプローブを押し当
てて、水晶振動子９の共振周波数を測定するものであ
る。
極パッド７，８から引き出し電極１１，１２を延設し、
該引き出し電極１１，１２の先端に共振周波数測定用電
極パッド１３，１４を設け、該共振周波数測定用電極パ
ッド１３，１４に共振周波数測定用のプローブを押し当
てて、水晶振動子９の共振周波数を測定するものであ
る。
【００１２】上述した如く構成することにより、該水晶
振動子９の励振部２から離れた位置にある共振周波数測
定用電極パッド１３，１４にプローブを押し当てること
となるため、前記励振部２にひずみがかかる、或は変形
することがなくなり、前記水晶振動子９の正確な共振周
波数を測定することが可能となる。
振動子９の励振部２から離れた位置にある共振周波数測
定用電極パッド１３，１４にプローブを押し当てること
となるため、前記励振部２にひずみがかかる、或は変形
することがなくなり、前記水晶振動子９の正確な共振周
波数を測定することが可能となる。
【００１３】前記引き出し電極１１，１２と共振周波数
測定用電極パッド１３，１４は、励振電極３，４と電極
リード部５，６及び電極パッド７，８と共にスパッタリ
ングや真空蒸着等の薄膜形成技術により同時に形成する
ものとし、その薄さは一般に１μｍ以下で、材料は金、
銀、ニッケル、クロム、アルミニウム等の導電性材料と
する。
測定用電極パッド１３，１４は、励振電極３，４と電極
リード部５，６及び電極パッド７，８と共にスパッタリ
ングや真空蒸着等の薄膜形成技術により同時に形成する
ものとし、その薄さは一般に１μｍ以下で、材料は金、
銀、ニッケル、クロム、アルミニウム等の導電性材料と
する。
【００１４】尚、共振周波数測定用電極パッド１３，１
４の位置は該共振周波数測定用電極パッド１３，１４に
プローブを押し当てても水晶振動子９の励振部２にひず
みがかからない位置ならどこでもよいものとする。
４の位置は該共振周波数測定用電極パッド１３，１４に
プローブを押し当てても水晶振動子９の励振部２にひず
みがかからない位置ならどこでもよいものとする。
【００１５】以上、水晶振動子をバッチ処理にて製造す
る方法に適用したが、前記水晶振動子を個別に製造して
から共振周波数を調整する製造方法に本発明を適用して
もよいことは明白である。更に、水晶基板の薄さが８０
μｍの水晶振動子のみならず８０μｍより薄い水晶基板
に適用できる。
る方法に適用したが、前記水晶振動子を個別に製造して
から共振周波数を調整する製造方法に本発明を適用して
もよいことは明白である。更に、水晶基板の薄さが８０
μｍの水晶振動子のみならず８０μｍより薄い水晶基板
に適用できる。
【００１６】以上本発明を薄板の水晶基板を用いた多重
モードフィルタ共振子を例として説明したが、本発明は
これのみに限定されるものではなく、励振部を加工しな
いで水晶基板全体を振動する水晶振動子、モノリシック
・クリスタル・フィルタ（ＭＣＦ）を含む共振子や、水
晶以外の薄板の圧電基板を用いた如何なる圧電素子に適
用可能である。
モードフィルタ共振子を例として説明したが、本発明は
これのみに限定されるものではなく、励振部を加工しな
いで水晶基板全体を振動する水晶振動子、モノリシック
・クリスタル・フィルタ（ＭＣＦ）を含む共振子や、水
晶以外の薄板の圧電基板を用いた如何なる圧電素子に適
用可能である。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、以上説明した如く構成するも
のであるから、圧電素子の共振周波数調整時にプローブ
を押し当てても、圧電基板の励振部にひずみがかかる、
或は変形することなく前記圧電素子の正確な共振周波数
の測定が可能となるため、圧電部品の共振周波数異常を
無くして歩留まり向上となり、圧電部品の低価格化に効
果を発揮する。更に、前記圧電部品を搭載する電子機器
の低価格化に効果を発揮する。
のであるから、圧電素子の共振周波数調整時にプローブ
を押し当てても、圧電基板の励振部にひずみがかかる、
或は変形することなく前記圧電素子の正確な共振周波数
の測定が可能となるため、圧電部品の共振周波数異常を
無くして歩留まり向上となり、圧電部品の低価格化に効
果を発揮する。更に、前記圧電部品を搭載する電子機器
の低価格化に効果を発揮する。
【図１】本発明に係わる圧電素子の一実施例を示す平面
図
図
【図２】（ａ）及び（ｂ）は従来の圧電素子を示す平面
図及び断面図
図及び断面図
【図３】共振周波数の測定のときにひずみの発生状態を
示す平面図
示す平面図
１………水晶基板 ２………励振部 ３，４………励振電極 ５，６………電極リード部 ７，８………電極パッド ９………水晶振動子 １１，１２………引き出し電極 １３，１４………共振周波数測定用電極パッド
Claims (1)
- 【請求項１】薄板の圧電基板に励振電極と該励振電極か
ら延びる電極リード部を付着し、該電極リード部の先端
にパッケージの外部電極と電気的に接続するための電極
パッドを付着した圧電素子に於いて、前記電極パッドか
ら前記圧電基板の周縁部近傍まで引き出し電極を延設
し、該引き出し電極の先端に前記圧電素子の共振周波数
を測定するための共振周波数測定用電極パッドを設けた
ことを特徴とする圧電部品の電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4784394A JPH07235851A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 圧電部品の電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4784394A JPH07235851A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 圧電部品の電極構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07235851A true JPH07235851A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=12786658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4784394A Pending JPH07235851A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 圧電部品の電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07235851A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1164004A (ja) * | 1997-06-13 | 1999-03-05 | Denso Corp | 角速度センサと角速度センサ装置 |
-
1994
- 1994-02-21 JP JP4784394A patent/JPH07235851A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1164004A (ja) * | 1997-06-13 | 1999-03-05 | Denso Corp | 角速度センサと角速度センサ装置 |
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