JPH07234196A - 金属洗浄過程の評価方法並びに評価装置 - Google Patents
金属洗浄過程の評価方法並びに評価装置Info
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- JPH07234196A JPH07234196A JP4982694A JP4982694A JPH07234196A JP H07234196 A JPH07234196 A JP H07234196A JP 4982694 A JP4982694 A JP 4982694A JP 4982694 A JP4982694 A JP 4982694A JP H07234196 A JPH07234196 A JP H07234196A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 洗浄液中において、洗浄液と異なる導電率の
付着物のある金属板を含む２枚の金属板を隙間を存して
対向配置し、これら金属板に特定の周波数の正弦波交流
を流してインピーダンスを測定し、このインピーダンス
の値からそれと相関する前記金属板間に残存する付着物
の濃度を求め、金属洗浄過程を評価する。前記金属板は
隙間への入口を残して絶縁体で囲繞しておくことが好ま
しい。 【効果】 金属の洗浄中に付着物の残留量が連続的に測
定できるため、洗浄装置の性能、洗浄剤の能力および洗
浄液の老化度合いなどを迅速に判定することができる。
また、測定装置を簡単に組み立てることができ、また自
動測定も容易なため、誰でも簡単に金属洗浄過程を連続
的に評価することができる。
付着物のある金属板を含む２枚の金属板を隙間を存して
対向配置し、これら金属板に特定の周波数の正弦波交流
を流してインピーダンスを測定し、このインピーダンス
の値からそれと相関する前記金属板間に残存する付着物
の濃度を求め、金属洗浄過程を評価する。前記金属板は
隙間への入口を残して絶縁体で囲繞しておくことが好ま
しい。 【効果】 金属の洗浄中に付着物の残留量が連続的に測
定できるため、洗浄装置の性能、洗浄剤の能力および洗
浄液の老化度合いなどを迅速に判定することができる。
また、測定装置を簡単に組み立てることができ、また自
動測定も容易なため、誰でも簡単に金属洗浄過程を連続
的に評価することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属洗浄過程の評価方法
並びに評価装置に関する。現在、特定フロン等のオゾン
層破壊物質の規制強化にともない、代替洗浄技術への転
換が要求されているが、新しい洗浄剤や洗浄技術を開発
するためにはそれらの洗浄能力を的確、かつ簡単に評価
する方法が必要となる。本発明の評価方法並びに評価装
置はそのような目的に最適であり、さらに、実際の金属
部品洗浄工程においても、適正な洗浄条件の決定や、洗
浄液の劣化の判定に有効である。
並びに評価装置に関する。現在、特定フロン等のオゾン
層破壊物質の規制強化にともない、代替洗浄技術への転
換が要求されているが、新しい洗浄剤や洗浄技術を開発
するためにはそれらの洗浄能力を的確、かつ簡単に評価
する方法が必要となる。本発明の評価方法並びに評価装
置はそのような目的に最適であり、さらに、実際の金属
部品洗浄工程においても、適正な洗浄条件の決定や、洗
浄液の劣化の判定に有効である。
【０００２】
【従来の技術】現在実施されている金属部品洗浄の評価
方法としては、（ａ）目視検査による方法、（ｂ）洗浄
前後の重量変化を計測する方法、（ｃ）濡れ性検査、
（ｄ）水滴の接触角を測定する方法、（ｅ）表面分析
法、（ｆ）残存する油分を抽出し秤量する方法、（ｇ）
残存する油分を抽出し分光光度計で測定する方法、など
がある。
方法としては、（ａ）目視検査による方法、（ｂ）洗浄
前後の重量変化を計測する方法、（ｃ）濡れ性検査、
（ｄ）水滴の接触角を測定する方法、（ｅ）表面分析
法、（ｆ）残存する油分を抽出し秤量する方法、（ｇ）
残存する油分を抽出し分光光度計で測定する方法、など
がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このうち（ａ）は最も
簡単な評価方法であるが、定量的な評価は難しく、しか
も細孔内や隙間などの内部を評価することはできない。
また、（ｂ）から（ｇ）は洗浄終了後にはじめて可能な
試験であり、適当な洗浄時間を知るためには、何度も試
験を行う必要がある。また、（ｅ）〜（ｇ）は操作がか
なり煩雑である。このように、現状では、洗浄評価技術
に関する公知技術として、細孔や隙間部を含む部品の洗
浄評価を洗浄中に連続的に行える方法はない。本発明
は、被洗浄物に付着した物質と洗浄液の導電率が異なる
場合に、その違いを利用して特定の周波数におけるイン
ピ−ダンスの絶対値の変化から残存付着物量を推定し、
任意の形状の細孔や隙間を有する試料を対象としてもそ
の金属洗浄過程を連続的に評価できる方法と装置を提供
することを目的とする。
簡単な評価方法であるが、定量的な評価は難しく、しか
も細孔内や隙間などの内部を評価することはできない。
また、（ｂ）から（ｇ）は洗浄終了後にはじめて可能な
試験であり、適当な洗浄時間を知るためには、何度も試
験を行う必要がある。また、（ｅ）〜（ｇ）は操作がか
なり煩雑である。このように、現状では、洗浄評価技術
に関する公知技術として、細孔や隙間部を含む部品の洗
浄評価を洗浄中に連続的に行える方法はない。本発明
は、被洗浄物に付着した物質と洗浄液の導電率が異なる
場合に、その違いを利用して特定の周波数におけるイン
ピ−ダンスの絶対値の変化から残存付着物量を推定し、
任意の形状の細孔や隙間を有する試料を対象としてもそ
の金属洗浄過程を連続的に評価できる方法と装置を提供
することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の金属洗浄過程の
評価方法は前記目的を達成するべく、洗浄液中におい
て、洗浄液と異なる導電率の付着物のある金属板を含む
２枚の金属板を隙間を存して対向配置し、これら金属板
に特定の周波数の正弦波交流を流してインピーダンスを
測定し、このインピーダンスの値からそれと相関する前
記金属板間に残存する付着物の濃度を求めることを特徴
とする。尚、前記対向配置される金属板をこれら金属板
間の隙間への入口を残して絶縁体で囲繞した状態でイン
ピーダンスを測定することが好ましい。また、前記イン
ピーダンスの測定に用いる正弦波交流の周波数は、金属
の溶解等の反応および物質移動に関わるインピーダンス
成分をほとんど含まない程度に高く、超音波洗浄器等の
洗浄装置の発振周波数よりも低い程度、例えば１ｋＨｚ
〜５ｋＨｚ程度にすることが好ましい。また、前記イン
ピーダンスの測定回路に商用電源や超音波発振器等の洗
浄装置のノイズを除去するための帯域通過フィルタを備
えることが好ましい。また、前記評価方法に用いる本発
明の金属洗浄過程の評価装置は、二枚の金属板を隙間を
存して対向配置させるとともに該隙間への入口を残して
これら金属板を絶縁体で囲繞してなる測定セルに、イン
ピーダンスの測定回路を接続したことを特徴とする。
評価方法は前記目的を達成するべく、洗浄液中におい
て、洗浄液と異なる導電率の付着物のある金属板を含む
２枚の金属板を隙間を存して対向配置し、これら金属板
に特定の周波数の正弦波交流を流してインピーダンスを
測定し、このインピーダンスの値からそれと相関する前
記金属板間に残存する付着物の濃度を求めることを特徴
とする。尚、前記対向配置される金属板をこれら金属板
間の隙間への入口を残して絶縁体で囲繞した状態でイン
ピーダンスを測定することが好ましい。また、前記イン
ピーダンスの測定に用いる正弦波交流の周波数は、金属
の溶解等の反応および物質移動に関わるインピーダンス
成分をほとんど含まない程度に高く、超音波洗浄器等の
洗浄装置の発振周波数よりも低い程度、例えば１ｋＨｚ
〜５ｋＨｚ程度にすることが好ましい。また、前記イン
ピーダンスの測定回路に商用電源や超音波発振器等の洗
浄装置のノイズを除去するための帯域通過フィルタを備
えることが好ましい。また、前記評価方法に用いる本発
明の金属洗浄過程の評価装置は、二枚の金属板を隙間を
存して対向配置させるとともに該隙間への入口を残して
これら金属板を絶縁体で囲繞してなる測定セルに、イン
ピーダンスの測定回路を接続したことを特徴とする。
【０００５】
【作用】洗浄液中において、洗浄液と異なる導電率の付
着物のある金属板を含む２枚の金属板を隙間を存して対
向配置し、これら金属板に特定の周波数の正弦波交流を
流してインピーダンスを測定する。このインピ−ダンス
の絶対値と残存付着物量の相関をあらかじめ求めてお
き、その相関を利用して洗浄中に連続的に残存付着物量
を測定する。このインピーダンスの測定に二枚の金属板
を隙間を存して対向配置させるとともに該隙間への入口
を残してこれら金属板を絶縁体で囲繞してなる測定セル
を用いれば、付着物のある金属板を周囲から遮断できる
ので、金属板の残存付着物量を正確に測定できる。
着物のある金属板を含む２枚の金属板を隙間を存して対
向配置し、これら金属板に特定の周波数の正弦波交流を
流してインピーダンスを測定する。このインピ−ダンス
の絶対値と残存付着物量の相関をあらかじめ求めてお
き、その相関を利用して洗浄中に連続的に残存付着物量
を測定する。このインピーダンスの測定に二枚の金属板
を隙間を存して対向配置させるとともに該隙間への入口
を残してこれら金属板を絶縁体で囲繞してなる測定セル
を用いれば、付着物のある金属板を周囲から遮断できる
ので、金属板の残存付着物量を正確に測定できる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。図１及び図２は本実施例の金属洗浄過程の評価方
法に用いた評価装置の概要構造を示したものである。洗
浄装置１内の洗浄液２中には、２枚の金属板３，３を、
略コ字状に切り抜いた絶縁材料の板４を介して密着させ
て隙間５を形成させ、この隙間５および隙間５への入口
５ａ以外を絶縁材料６で被覆した測定セル７が配置され
ている。尚、隙間５の内部は除去対象となる物質が満た
される。この測定セル７にはインピーダンスの測定回路
１０が接続されている。詳しくは、２枚の金属板３，３
を結ぶ電気回路１１には、金属の溶解等の反応および物
質移動に関与しない程度に高く、超音波洗浄器等の洗浄
装置の発振周波数よりも低い発振周波数の正弦波交流発
振器１２および電気回路１１を流れる電流値を計測する
抵抗１３が介設されている。この抵抗１３の両端から取
りだした信号線１４，１４はボルテージフォロワ１５、
帯域通過フィルタ１６、増幅器１７の順に直列に接続さ
れている。また、２枚の金属板３，３から取りだした信
号線１８，１８はボルテージフォロワ１９、帯域通過フ
ィルタ２０、増幅器２１の順に直列に接続されている。
また、増幅器１７，２１の出力線１７ａ，１７ａ，２１
ａ，２１ａはＡ／Ｄ変換器２２を介してマイクロコンピ
ュータ２３に接続されている。
する。図１及び図２は本実施例の金属洗浄過程の評価方
法に用いた評価装置の概要構造を示したものである。洗
浄装置１内の洗浄液２中には、２枚の金属板３，３を、
略コ字状に切り抜いた絶縁材料の板４を介して密着させ
て隙間５を形成させ、この隙間５および隙間５への入口
５ａ以外を絶縁材料６で被覆した測定セル７が配置され
ている。尚、隙間５の内部は除去対象となる物質が満た
される。この測定セル７にはインピーダンスの測定回路
１０が接続されている。詳しくは、２枚の金属板３，３
を結ぶ電気回路１１には、金属の溶解等の反応および物
質移動に関与しない程度に高く、超音波洗浄器等の洗浄
装置の発振周波数よりも低い発振周波数の正弦波交流発
振器１２および電気回路１１を流れる電流値を計測する
抵抗１３が介設されている。この抵抗１３の両端から取
りだした信号線１４，１４はボルテージフォロワ１５、
帯域通過フィルタ１６、増幅器１７の順に直列に接続さ
れている。また、２枚の金属板３，３から取りだした信
号線１８，１８はボルテージフォロワ１９、帯域通過フ
ィルタ２０、増幅器２１の順に直列に接続されている。
また、増幅器１７，２１の出力線１７ａ，１７ａ，２１
ａ，２１ａはＡ／Ｄ変換器２２を介してマイクロコンピ
ュータ２３に接続されている。
【０００７】図３は２枚の金属板３，３と隙間５内部の
物質によって構成される測定セル７の電気的等価回路を
示したものである。図中、Ｚ1 およびＺ2 はそれぞれ２
枚の金属板３，３と隙間５内部の物質の界面で起こる反
応および物質移動に関わるインピ−ダンスを表し、Ｃd1
およびＣd2は電気二重層容量を表す。またＲs は隙間５
内部の物質の抵抗を表す。以上の電気的等価回路で表さ
れる測定セル７に高周波数の正弦波交流を流すと、Ｚ1
とＣd1で構成される並列回路、およびＺ2 とＣd2で構成
される並列回路のインピーダンスはほとんど０となり、
測定セル７のインピーダンスは隙間５内部の物質の抵抗
Ｒs となる。電気回路１１に流れる電流を抵抗１３、ボ
ルテージフォロワ１５、帯域通過フィルタ１６、増幅器
１７、Ａ／Ｄ変換器２２、マイクロコンピュータ２３で
求め、金属板３，３間の電圧をボルテージフォロワ１
９、帯域通過フィルタ２０、増幅器２１、Ａ／Ｄ変換器
２２、マイクロコンピュータ２３で求める。得られた電
流と電圧から高速フーリエ変換等により隙間５内部の物
質の抵抗Ｒs を算出する。尚、インピーダンスの測定回
路は前記実施例のものに限定されるものではなく、ＦＦ
Ｔアナライザー等、結果的にインピーダンスを測定でき
るものであればその構成は任意である。
物質によって構成される測定セル７の電気的等価回路を
示したものである。図中、Ｚ1 およびＺ2 はそれぞれ２
枚の金属板３，３と隙間５内部の物質の界面で起こる反
応および物質移動に関わるインピ−ダンスを表し、Ｃd1
およびＣd2は電気二重層容量を表す。またＲs は隙間５
内部の物質の抵抗を表す。以上の電気的等価回路で表さ
れる測定セル７に高周波数の正弦波交流を流すと、Ｚ1
とＣd1で構成される並列回路、およびＺ2 とＣd2で構成
される並列回路のインピーダンスはほとんど０となり、
測定セル７のインピーダンスは隙間５内部の物質の抵抗
Ｒs となる。電気回路１１に流れる電流を抵抗１３、ボ
ルテージフォロワ１５、帯域通過フィルタ１６、増幅器
１７、Ａ／Ｄ変換器２２、マイクロコンピュータ２３で
求め、金属板３，３間の電圧をボルテージフォロワ１
９、帯域通過フィルタ２０、増幅器２１、Ａ／Ｄ変換器
２２、マイクロコンピュータ２３で求める。得られた電
流と電圧から高速フーリエ変換等により隙間５内部の物
質の抵抗Ｒs を算出する。尚、インピーダンスの測定回
路は前記実施例のものに限定されるものではなく、ＦＦ
Ｔアナライザー等、結果的にインピーダンスを測定でき
るものであればその構成は任意である。
【０００８】金属の洗浄工程で最も多いのはプレス工程
や、切削工程で付着した油の除去であるが、一般に油の
抵抗率は洗浄液の抵抗率よりもはるかに高い値を示す。
したがって、洗浄過程において、隙間５内部の物質が油
から洗浄液に置換されていくと、その置換された量に対
応して抵抗Ｒs が低下する。したがって、隙間５内部の
油の量と抵抗Ｒs の関係をあらかじめ求めておけば、洗
浄中に連続して油の残存量を測定することができるわけ
である。以上の説明によって明らかなように、本発明の
金属洗浄過程の連続的評価方法は、残存する付着物の量
を洗浄中に連続的に、しかも簡単に測定できるという長
所を有する。
や、切削工程で付着した油の除去であるが、一般に油の
抵抗率は洗浄液の抵抗率よりもはるかに高い値を示す。
したがって、洗浄過程において、隙間５内部の物質が油
から洗浄液に置換されていくと、その置換された量に対
応して抵抗Ｒs が低下する。したがって、隙間５内部の
油の量と抵抗Ｒs の関係をあらかじめ求めておけば、洗
浄中に連続して油の残存量を測定することができるわけ
である。以上の説明によって明らかなように、本発明の
金属洗浄過程の連続的評価方法は、残存する付着物の量
を洗浄中に連続的に、しかも簡単に測定できるという長
所を有する。
【０００９】次に、本発明の金属洗浄過程の評価方法並
びに評価装置による具体的な実験例を説明する。 （実験例）残存する油の量と特定の周波数におけるイン
ピーダンスの絶対値の相関を知るために、洗浄時間を種
々に変え、インピーダンスを測定した後ただちに測定セ
ル７を取り出し、測定セル７の隙間５に残存する油の量
を測定した。洗浄装置には超振動洗浄装置（日本テクノ
株式会社製）を用い、洗浄液２には室温の地下水に０．
５％ドデシルベンゼンスルフォン酸ナトリウムと０．５
％オルソケイ酸ナトリウムを溶解したものを使用した。
隙間５を形成する金属板３，３には厚さ１ｍｍのＳＵＳ
３０４ステンレス鋼板を用い、絶縁材料の板４には厚さ
２ｍｍのフッ素ゴム板を用いた。また、絶縁材料６には
エポキシ樹脂を使用した。隙間５の入口は２ｍｍ×５ｍ
ｍ、奥行きは１０ｍｍとし、１０ｍｍ×５ｍｍの金属面
が対向するようにした。油には、４０℃における粘度
が、９．７ｃＳｔ、引火点が１７０℃の鉱油を用いた。
また、残存した鉱油はノルマルヘキサンに溶解して採取
し、ノルマルヘキサンおよび水を蒸発させてから瓶量し
た。
びに評価装置による具体的な実験例を説明する。 （実験例）残存する油の量と特定の周波数におけるイン
ピーダンスの絶対値の相関を知るために、洗浄時間を種
々に変え、インピーダンスを測定した後ただちに測定セ
ル７を取り出し、測定セル７の隙間５に残存する油の量
を測定した。洗浄装置には超振動洗浄装置（日本テクノ
株式会社製）を用い、洗浄液２には室温の地下水に０．
５％ドデシルベンゼンスルフォン酸ナトリウムと０．５
％オルソケイ酸ナトリウムを溶解したものを使用した。
隙間５を形成する金属板３，３には厚さ１ｍｍのＳＵＳ
３０４ステンレス鋼板を用い、絶縁材料の板４には厚さ
２ｍｍのフッ素ゴム板を用いた。また、絶縁材料６には
エポキシ樹脂を使用した。隙間５の入口は２ｍｍ×５ｍ
ｍ、奥行きは１０ｍｍとし、１０ｍｍ×５ｍｍの金属面
が対向するようにした。油には、４０℃における粘度
が、９．７ｃＳｔ、引火点が１７０℃の鉱油を用いた。
また、残存した鉱油はノルマルヘキサンに溶解して採取
し、ノルマルヘキサンおよび水を蒸発させてから瓶量し
た。
【００１０】図４および図５はそれぞれ、正弦波交流発
振器１２の発振周波数を１ｋＨｚとしたとき、および５
ｋＨｚとしたときの油残留量とインピーダンスの絶対値
（Ｚ）の関係を示したものである。いずれの周波数にお
いても、油残留量とインピーダンスの絶対値の相関係数
は０．９９５以上の値を示し、きわめてよい相関が得ら
れた。図４および図５に示した結果の再現性は良好であ
り、また、洗浄装置を超音波洗浄装置に変えても油残留
量とインピーダンスの絶対値の間には同様な相関が得ら
れた。以上の結果から、油の残留量とインピーダンスの
絶対値の間の相関をあらかじめ求めておけば、インピー
ダンスの測定値から洗浄中に連続的に油の残留量を推定
できることが明かとなった。
振器１２の発振周波数を１ｋＨｚとしたとき、および５
ｋＨｚとしたときの油残留量とインピーダンスの絶対値
（Ｚ）の関係を示したものである。いずれの周波数にお
いても、油残留量とインピーダンスの絶対値の相関係数
は０．９９５以上の値を示し、きわめてよい相関が得ら
れた。図４および図５に示した結果の再現性は良好であ
り、また、洗浄装置を超音波洗浄装置に変えても油残留
量とインピーダンスの絶対値の間には同様な相関が得ら
れた。以上の結果から、油の残留量とインピーダンスの
絶対値の間の相関をあらかじめ求めておけば、インピー
ダンスの測定値から洗浄中に連続的に油の残留量を推定
できることが明かとなった。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、金属の洗浄中に付着物
の残留量が連続的に測定できるため、洗浄装置の性能、
洗浄剤の能力および洗浄液の老化度合いなどを迅速に判
定することができる。また、測定に用いる部品は、一般
的なものであるため、測定装置を簡単に組み立てること
ができ、また自動測定も容易なため、誰でも簡単に金属
洗浄過程を連続的に評価することができる。
の残留量が連続的に測定できるため、洗浄装置の性能、
洗浄剤の能力および洗浄液の老化度合いなどを迅速に判
定することができる。また、測定に用いる部品は、一般
的なものであるため、測定装置を簡単に組み立てること
ができ、また自動測定も容易なため、誰でも簡単に金属
洗浄過程を連続的に評価することができる。
【図１】本発明評価装置の一実施例の構成図
【図２】前記装置のＡ部拡大五面図
【図３】前記装置の測定セルの電気的等価回路図
【図４】油残留量と周波数１ｋＨｚのインピーダンスの
絶対値（Ｚ）との関係を示した線図
絶対値（Ｚ）との関係を示した線図
【図５】油残留量と周波数５ｋＨｚのインピーダンスの
絶対値（Ｚ）との関係を示した線図
絶対値（Ｚ）との関係を示した線図
１ 洗浄装置 ２ 洗浄液 ３ 金属板 ４ 絶縁材料の板 ５ 隙間 ５ａ 入口 ６ 絶縁材料 ７ 測定セル １０ インンピーダンスの測定回路 １１ 電気回路 １２ 正弦波交流発振器 １３ 抵抗 １５ ボルテージフォロワ １６ 帯域通過フィルタ １７ 増幅器 １９ ボルテージフォロワ ２０ 帯域通過フィルタ ２１ 増幅器 ２２ Ａ／Ｄ変換器 ２３ マイクロコンピュータ
Claims (5)
- 【請求項１】 洗浄液中において、洗浄液と異なる導電
率の付着物のある金属板を含む２枚の金属板を隙間を存
して対向配置し、これら金属板に特定の周波数の正弦波
交流を流してインピーダンスを測定し、このインピーダ
ンスの値からそれと相関する前記金属板間に残存する付
着物の濃度を求めることを特徴とする金属洗浄過程の評
価方法。 - 【請求項２】 前記対向配置される金属板をこれら金属
板間の隙間への入口を残して絶縁体で囲繞した状態でイ
ンピーダンスを測定することを特徴とする請求項１に記
載の金属洗浄過程の評価方法。 - 【請求項３】 前記インピーダンスの測定に用いる正弦
波交流の周波数が、金属の溶解等の反応および物質移動
に関わるインピーダンス成分をほとんど含まない程度に
高く、超音波洗浄器等の洗浄装置の発振周波数よりも低
いことを特徴とする請求項１または２に記載の金属洗浄
過程の評価方法。 - 【請求項４】 前記インピーダンスの測定回路に商用電
源や超音波発振器等の洗浄装置のノイズを除去するため
の帯域通過フィルタを備えることを特徴とする請求項１
乃至３の何れかに記載の金属洗浄過程の評価方法。 - 【請求項５】 二枚の金属板を隙間を存して対向配置さ
せるとともに該隙間への入口を残してこれら金属板を絶
縁体で囲繞してなる測定セルに、インピーダンスの測定
回路を接続したことを特徴とする金属洗浄過程の評価装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4982694A JP2732029B2 (ja) | 1994-02-23 | 1994-02-23 | 金属洗浄過程の評価方法並びに評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4982694A JP2732029B2 (ja) | 1994-02-23 | 1994-02-23 | 金属洗浄過程の評価方法並びに評価装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07234196A true JPH07234196A (ja) | 1995-09-05 |
| JP2732029B2 JP2732029B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=12841909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4982694A Expired - Lifetime JP2732029B2 (ja) | 1994-02-23 | 1994-02-23 | 金属洗浄過程の評価方法並びに評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2732029B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012112751A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Mitsubishi Electric Corp | 対象物の構成金属および対象物までの距離を検知するセンサおよび方法 |
-
1994
- 1994-02-23 JP JP4982694A patent/JP2732029B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012112751A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Mitsubishi Electric Corp | 対象物の構成金属および対象物までの距離を検知するセンサおよび方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2732029B2 (ja) | 1998-03-25 |
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