JPH07224999A - 薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置 - Google Patents

薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置

Info

Publication number
JPH07224999A
JPH07224999A JP1556894A JP1556894A JPH07224999A JP H07224999 A JPH07224999 A JP H07224999A JP 1556894 A JP1556894 A JP 1556894A JP 1556894 A JP1556894 A JP 1556894A JP H07224999 A JPH07224999 A JP H07224999A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chemical
container
chemical liquid
container body
central block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP1556894A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhiko Shinomiya
和 彦 四ノ宮
Seigo Ishioka
岡 征 悟 石
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Valqua Industries Ltd
Nihon Valqua Kogyo KK
Original Assignee
Nippon Valqua Industries Ltd
Nihon Valqua Kogyo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Valqua Industries Ltd, Nihon Valqua Kogyo KK filed Critical Nippon Valqua Industries Ltd
Priority to JP1556894A priority Critical patent/JPH07224999A/ja
Publication of JPH07224999A publication Critical patent/JPH07224999A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
  • Medical Preparation Storing Or Oral Administration Devices (AREA)
  • Weting (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】部品点数を減少させると同時に、振動が生じて
も薬液が漏洩したりすることがなく、しかも作業の自動
化を図る部品を組付ける上で、設置スペースを充分確保
することが可能な薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し
入れ装置を提供する。 【構成】フランジ部20がライニングされた容器本体1
2に形成された開口部の周囲を囲むように配置される樹
脂製の中央ブロック16と、この中央ブロック16を両
側から狭持して該中央ブロック16を容器本体12に固
定する一対の金属製押さえ部材17、18とを備え、中
央ブロック16の内部には容器本体12内に通じる2個
以上の薬液通路22が形成され、各薬液通路22の途中
には、この開放あるいは閉塞を選択的に行う弁装置19
が金属製押さえ部材17、18の一方に固定されて配置
されていることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は薬液貯蔵および搬送用容
器の薬液出し入れ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、半導体デバイスを製造する分野
では、各種高純度の薬液が使用されている。
【0003】これら高純度の薬液を貯蔵あるいは搬送す
るための薬液専用容器では、ステンレス等からなる鋼板
の内面全てがフッ素樹脂でライニングされ、これにより
耐化学薬品性が向上されるとともに、貯留する薬品の高
純度品質を維持できるようになっている。
【0004】このような容器では、例えば図5に示した
ように、内部に薬液を注入したり、あるいは薬液を抽出
したりするため、容器本体1に装着される蓋体2には、
通常、2個以上の開口部が形成されている。そして、こ
れらの開口部には、フランジ3が設置され、さらにこの
フランジ3に短管4、溶液の流れを停止するバルブ5、
流路を90°屈曲させるL形配管6(あるいはL型配管
6の先端部にバルブ5を接続する場合もある)、フレキ
シブルホース7、さらには盲プラグ8、圧力計9など、
必要に応じた配管類が各々接続されている。
【0005】例えば、1m3 タンクにおいて、薬液の注
入・抽出用として3個のフレキシブルホース7を接続し
て配管経路を延ばす場合には、蓋体2に3個の開口部を
形成し、これら開口部にフランジ3を設置し、さらにバ
ルブ5とL形配管6とを各々接続し、その端部にフレキ
シブルホース7を接続するようにしていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
用いられる多種の配管類は全て内面がフッ素樹脂でライ
ニングされ、これにより薬液の高純度品質が低下しない
ように考慮されている。
【0007】しかしながら、上記のように多数の配管類
を接続する場合には、狭いスペースにおいて接続する箇
所が多くなる。このため、このような接続構造では、ボ
ルトの締付不足などに起因して、これら接続箇所から薬
液が漏れ出る危険性が高くなる。また、毒物・劇物の搬
送容器では、蓋体2の上部の付属装置の損傷を防止する
ため、防護枠で保護するように法規で規制されている
が、蓋体2にこの防護枠を取り付けると、例えば薬液を
自動で注入あるいは排出するためのバルブ自動化装置を
取り付ける場合などに設置スペースの余裕が少なく、枠
の高さを増さなければならなくなる。
【0008】さらに、従来の手段で例えばフレキシブル
ホース7を接続する場合には、先端側の重量が重くなる
ため、振動等により接合部から薬液が漏れ易くなる。し
たがって、このような振動による漏れを確実に防止する
には、ボルトの増し締めを繰り返し行う必要がある。も
し、こうした箇所から薬液が漏洩すると、ステンレス等
からなる容器本体1を腐食させるばかりか、危険物、劇
物、毒物等が外部に漏れ出る結果となり、好ましくな
い。
【0009】本発明は上記実情に鑑み、薬液注入・抽出
用の各種接続部品の部品点数を減少させ、構造がコンパ
クトであると同時に、振動が生じても薬液が漏洩したり
することがなく、しかも作業の自動化を図る部品を組付
ける上で、設置スペースを充分確保することが可能な薬
液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置を提供する
ことを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入
れ装置は、フランジ部を具備し、このフランジ部が容器
本体に形成された開口部の周囲を囲むように配置される
樹脂製の中央ブロックと、この樹脂製の中央ブロックを
両側から狭持して該中央ブロックを前記容器本体に固定
する一対の金属製押さえ部材とを備え、前記中央ブロッ
クの内部には前記容器本体内に通じる2個以上の薬液通
路が形成され、前記各薬液通路の途中には、この開放あ
るいは閉塞を選択的に行う弁装置が前記金属製押さえ部
材の一方に固定されて配置されていることを特徴として
いる。
【0011】
【作用】上記構成による本発明によれば、中央ブロック
を金属製押さえ部材を介して容器本体に形成された開口
部に固定することにより、容器本体の外部と連通する複
数の薬液通路を形成することができ、しかも、この薬液
通路は、弁装置を開閉操作することにより遮断あるいは
開放することができる。
【0012】また、容器本体の内部に形成される薬液通
路は、全て樹脂で覆われたものとなるため、耐化学薬品
性に富んだ薬液通路となる。さらに、この薬液通路を備
えた中央ブロックは、金属製押さえ部材で保持され、こ
の金属製押さえ部材を介して容器本体の開口部に取付け
られるので、中央ブロックが樹脂製品であっても容器本
体に対する取付け性、並びにその後の姿勢の保持が良好
である。さらに、この容器本体の開口部に接触する部分
にも、樹脂からなる中央ブロックのフランジ部が配置さ
れるため、容器本体との取付部においても、耐化学薬品
性は充分である。
【0013】
【実施例】以下に、本発明に係る薬液貯蔵および搬送用
容器の薬液出し入れ装置の実施例を図面を参照しながら
説明する。
【0014】図1は本発明の一実施例による薬液出し入
れ装置を備えた薬液貯蔵および搬送用容器の部分断面図
である。図2は同実施例による薬液出し入れ装置を概略
的に示した斜視図である。
【0015】この薬液貯蔵および搬送用容器11は、具
体的には薬液専用のタンクであり、この容器本体12の
上部には、1つの開口部13が形成されている。容器本
体12は、ステンレス等の耐蝕性に富んだ鋼板から形成
されており、内面はフッ素樹脂で被覆されている。
【0016】この被覆に使用されるフッ素樹脂として
は、PTFE、フッ化ビニリデン(PVDF)あるいは
四フッ化エチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテ
ルとの共重合体であるPFA、四フッ化エチレンと六フ
ッ化プロピレンとの共重合体であるFEP、四フッ化エ
チレンとエチレンとの共重合体であるETFEなどが用
いられる。これらのうち、ライナーとしての信頼性の高
さからPTFEが最も好ましい。
【0017】これらフッ素樹脂からなるライナー部14
は、容器本体12の内面全体に渡って形成されている
が、開口部13では、その末端が外面側にも延出され、
環状の接合用ライナー面14aが形成されている。
【0018】この接合用ライナー面14aよりも外周側
には、ボルト挿通孔47が複数個、形成されている。一
方、このような容器本体12の開口部13には、薬液出
し入れ装置15が装着される。
【0019】この薬液出し入れ装置15は、概略的には
図2に示したように、全体がフッ素樹脂からなる中央ブ
ロック16と、この中央ブロック16の両側に配置され
るステンレス等からなる金属製押さえ部材17、18
と、金属製押さえ部材18内に装着される3つの弁装置
19、19、19と、中央ブロック16の下面に装着さ
れる金属あるいは樹脂からなるスペーサ30と、からな
っている。
【0020】中央ブロック16は、略凸状に形成され、
底部に円板状または角板状のフランジ部20が形成され
ている。このフッ素樹脂からなるフランジ部20は、薬
液出し入れ装置15を容器本体12の開口部13に装着
したとき、上記接合用ライナー面14aに当接される。
さらに、中央ブロック16のフランジ部20の上部に
は、肉厚の土台部21が形成されている。
【0021】一方、土台部21で支持される中央部に
は、容器本体12の薬液貯留空間に開口する3つの独立
した略L字状の薬液通路22、22、22を有する板状
のブロック体主部23が立設されている。このブロック
体主部23に形成された3つの薬液通路22、22、2
2の上部側は、円筒状のボス部24、24、24の内部
通路により構成されている。これらボス部24も勿論、
フッ素樹脂から形成されている。
【0022】上記金属製押さえ部材17は、中央ブロッ
ク16のブロック体主部23に対面する板状部分25
と、下方のフランジ部を構成する半円状の脚部分26と
からなっている。
【0023】板状部分25には、前記3つのボス部2
4、24、24と対応する位置に、孔27、27、27
が形成され、これらの孔27の径は、ボス部24の外径
と略等しい。また、この孔27には、後述するようにボ
ス部24が挿通される。
【0024】さらに、金属製押さえ部材17に形成され
た孔27の周囲にはボルト挿通孔28が複数個、形成さ
れている。脚部分26は、板状部分25に溶接により一
体化されている。また、脚部分26の周面部には、所定
間隔おきにボルト挿通孔45が形成されている。
【0025】他方の金属製押さえ部材18は、一方の金
属製押さえ部材17と略同様に形成されており、この金
属製押さえ部材18は、板状部分31と、半円状の脚部
分32とからなっている。
【0026】板状部分31には、ボス部24、24、2
4に対応する位置に孔33、33、33が形成されてい
る。また、脚部分32の周面部には、所定間隔おきにボ
ルト挿通孔46が形成されている。
【0027】さらに、金属製押さえ部材18に形成され
た3つの孔33には、図1に示したように、各々弁装置
19が装着される。弁装置19は、圧縮空気により作動
するもので、シリンダ室34、34、34を画成し金属
製押さえ部材18の板状部分31に固定されるケーシン
グ35、35、35には、圧縮空気の導入口50が各々
に形成されている。また、中央ブロック16の薬液通路
22の途中に出没自在に配置される弁体36は、ベロー
ズ37を一体に備えており、ベローズ37の自由端部
は、ケーシング35の側面と中央ブロック16の端面間
で狭持される。この弁体36はフッ素樹脂から形成され
ているが、ベローズの代わりにフッ素樹脂製のダイヤフ
ラムを備えた弁体としても良く、寸法の制約などにより
適宜選択される。
【0028】弁体36内には、ケーシング35の中央貫
通孔に挿通された軸38の一端が固定部材39を介して
固定されている。また、この軸38には空気を逃がすた
めの空気通路51が形成されている。さらに、軸38の
外周側で前記ベローズ37に囲まれる範囲には、スプリ
ング40が介装されている。
【0029】弁体36は、図1に示した状態では、スプ
リング40の押圧力によって遮断されている状態を示し
ている。さらに、ケーシング35の開口端側の周壁に
は、ピストン42の抜け止めとしてピン43が挿通され
ており、このピン43によりピストン42のケーシング
35からの抜けが防止されている。
【0030】なお、実施例では、3つある弁装置19は
全て同一構造のものが採用されているが、必要に応じて
違う構造にしても良い。いずれにおいても、この薬液通
路22が開口すると、容器本体12内への薬液の注入あ
るいは抽出が可能となる。
【0031】スペーサ30は、ステンレスや硬質樹脂等
から形成され、周面部にはボルト挿通孔44が複数個、
形成されている。なお、このボルト挿通孔44は、前記
金属製押さえ部材17、18に形成したボルト挿通孔4
5、46および容器本体12に形成したボルト挿通孔4
7に対応する位置に形成されており、中央孔30aの内
径は前記中央ブロック16の土台部21の外径と略等し
い。
【0032】本実施例による薬液貯蔵用容器の薬液出し
入れ装置15の各構成要素は上記のように形成されてい
るが、以下にこれらの組付けの一例および作用について
説明する。
【0033】先ず、中空ブロック16のブロック体主部
23の上方からスペーサ30を装着し、このスペーサ3
0をフランジ部20の上面に当接させる。その後、中央
ブロック16の両側に2つの金属製押さえ部材17、1
8を組付ける。
【0034】フッ素樹脂からなる中央ブロック16と、
一方の金属製押さえ部材17とを組付けるには、先ず金
属製押さえ部材17の孔27内にボス部24を挿入す
る。次いで、これらボス部24の円筒部分を加熱し機械
的に打ち曲げする。こうしていわゆるフレアー加工した
部分を金属製押さえ部材17の外面側に密接させる。こ
のとき、折り返した部分が完全な環状を呈するようにし
なければならない。
【0035】これにより、金属製押さえ部材17の外周
側には、環状でフッ素樹脂からなる接合用ライナー面4
9が突出して形成される。また、金属製押さえ部材17
の孔27内に中央ブロック16の薬液通路22が配置さ
れる。
【0036】一方の金属製押さえ部材17と中央ブロッ
ク16とを組付けた後に、他方の金属製押さえ部材18
を対向させ、これら3部材17、16、18をボルトに
より固定する。
【0037】こうして3部材を一体化させた後に、金属
製押さえ部材18の各孔33に弁装置19を装着する。
弁装置19を金属製押さえ部材18に装着する場合に
は、適宜箇所にOリングが介装され、ボルトにより固定
する。
【0038】このようにして組付けられた薬液出し入れ
装置15は、容器本体12の開口部13上に載置され、
脚部分26、32から容器本体12内に挿通される複数
のボルト60、60により容器本体12の開口部13上
に固定される。
【0039】このとき、中央ブロック16に形成したフ
ランジ部20は、容器本体12に形成された接合用ライ
ナー面14aに当接した状態で固定される。したがっ
て、ボルト締めすると、フッ素樹脂からなる接合部は、
互いに圧接され適宜な変形を受けるので、シール効果が
充分あり、薬液等の漏洩は生じない。しかしながら、よ
りシール性を高めるため、Oリングなどのシール材を介
在させても良い。
【0040】また、上記のように薬液出し入れ装置15
を装着したなら、金属製押さえ部材17の接合用ライナ
ー面49に、フレキシブルホース51のフランジ部を直
接突き合わせて接続することができる。なお、薬液出し
入れ装置15の組付けについては、上述のような順番に
限定されるものではない。
【0041】また、上記のように所定の配管接続作業が
終了したなら、弁装置19のシリンダ室34内に導入口
50から圧縮空気を供給する。すると、ピストン42並
びに弁体36が右方向に移動し、かつスプリング40が
圧縮される。これにより、薬液通路22が開口する。し
たがって、この開口した薬液通路22を介して薬液を注
入したり、抽出したりすることが可能となる。
【0042】また、導入口50から圧縮空気を排出すれ
ば、スプリング40の付勢力によりピストン42および
弁体36は元位置に復帰し、薬液通路22が遮断され
る。なお、弁体36の移動により生じるベローズ37内
の空気圧の変動は、軸38内に形成された空気通路51
を介して調整される。
【0043】このような圧縮空気による弁体の開閉機構
は自動化に必要であるが、軸38に手動ハンドルを取り
付けて手動操作で開閉する開閉機構を設けることもで
き、両用することが望ましい。
【0044】また、毒物、劇物等を貯蔵したこの貯蔵容
器11を搬送用として用いる場合には、薬液出し入れ装
置15の周囲を囲繞するように、図3に示したようなハ
ット状の防護枠61の取付けが必要であるが、図5の従
来例では高さが約400mmであるのに対し本実施例に
よれば高さ約300mmにまとめることができる。
【0045】このような防護枠61を容器本体12の上
部に設置することにより薬液出し入れ装置15の損傷を
防止することができる。本実施例によれば、薬液出し入
れ装置15に弁装置19が内装具備されているので、不
純物等の侵入を防止して貯蔵することができる。
【0046】さらに、薬液を貯蔵した状態で、他の場所
に搬送する場合であっても、薬液の漏洩を防止できると
同時に容器本体12内への不純物の侵入を阻止できる。
しかも、このような薬液出し入れ装置15によれば、使
用する配管部品の部品点数ならびに接続箇所を少なくす
ることができる。
【0047】したがって、漏洩の原因となる箇所が少な
くなる。また、この薬液貯蔵および搬送用容器11によ
れば、薬液出し入れ装置15と容器本体12との間は、
2つの金属製押さえ部材17、18を介して固定される
ので、構造がコンパクトであるとともに薬液出し入れ装
置15の取付けが簡単で、しかもフッ素樹脂からなる中
央ブロック16が破損されたりする虞はない。
【0048】さらに、容器本体12と金属製押さえ部材
17、18との接合部は、樹脂からなるフランジ部20
が介在されるので、薬液搬送中に貯蔵容器11に振動が
加わったとしても、薬液が漏洩したりすることはない。
また、上述したように、フランジ部20にOリング等の
シール材を併用することもできる。
【0049】さらに、所定場所に搬送した後には、金属
製押さえ部材17の接続用ライナー面49に、薬液排出
用のフレキシブルホース51を接続し、金属製押さえ部
材17の別の孔にフレキシブルホースを接続して容器本
体12内にクリーン窒素ガスを充填すれば、フレキシブ
ルホース51から内部の薬液を取り出すことができる。
【0050】したがって、所定場所の固定設置されたス
トレージタンク等に容易に移し代えることができる。ま
た、本実施例によれば、薬液出し入れ装置15における
液注入口および液抽出口を、縦方向ではなく横方向に延
ばすことができるので、薬液出し入れ装置15の上部に
バルブ自動化装置を取り付ける場合などの設置スペース
を確保することができる。
【0051】以上、本発明の第1の実施例について説明
したが、本発明は上記実施例に何ら限定されない。例え
ば、上記実施例は、タンクの開口部に設置される薬液出
し入れ装置について説明したが、他の容器などにも転用
可能である。さらに、上記実施例では、薬液通路22を
3つ有する薬液出し入れ装置15について説明したが、
この薬液通路は4つ以上あるいは2つであっても良い。
その場合、ボス部24を千鳥状に配置したり平行に配置
することができる。
【0052】また、上記実施例では、3つの出し入れ口
を三角形をなす位置に設置した例について説明したが、
本発明はこれに限定されない。例えば、3つの出し入れ
口を横方向に並べて配置しても良い。
【0053】また、上記実施例の弁装置19は圧縮空気
で自動操作されるものであるが、上述したように、手動
の開閉機構を設けても良い。図4は、このように自動お
よび手動で開閉する弁装置70を備えた薬液出し入れ装
置71を設置した薬液貯蔵および搬送用容器91を示し
たものである。
【0054】この第2の実施例では、弁装置70の他は
図1のものと略同様に形成されている。以下、このよう
な本発明の第2の実施例について説明する。
【0055】この実施例の弁装置70は、圧縮空気によ
り自動で開閉する操作機構と、ハンドル72を回動させ
ることで手動で開閉する操作機構とが具備されている。
金属製押さえ部材18の板状部分31の端面には、0リ
ング73を介してケーシング74、74、74がそれぞ
れ取付けられている。また、これらのケーシング74に
は、圧縮空気の導入口75が形成されている。さらにケ
ーシング74の他端にはOリング73を介して取付け板
78が設置されている。ケーシング74内の軸38の外
周にはピストン76が嵌合され、このピストン76は止
め具77により図における右方向への移動が阻止されて
いる。
【0056】一方、上記取付け板78の外方には、軸3
8に対して摺動自在に筒状部材79が配設されている。
筒状部材79の外周部には雄ネジが形成され、この雄ネ
ジには、プラスチック球等のハンドル72を一体に備え
た回動部材81の雌ネジが螺合されている。
【0057】さらに、筒状部材79と軸38との間に
は、カラー82が介装されている。また、軸38の端部
には板体83を介してナット84が螺合され、このナッ
ト84により回動部材81の抜けが防止されている。
【0058】このような弁装置70を備えた薬液出し入
れ装置71では、図4の状態で弁体36はスプリンング
40の付勢力で閉成されている。また、板体83はスプ
リング40の付勢力で回動部材81の端面に押圧されて
いる。
【0059】この状態から、弁体36を圧縮空気により
自動で開成させる場合には、上記実施例と同様に導入口
75から圧縮空気を導入すれば良い。すると、ピストン
76、弁体36並びに軸38が右方向に移動する。この
とき、軸38は、筒状部材79から突出する。このと
き、図の左方ではスプリング40が圧縮される。これに
より薬液通路22が開口することになる。したがって、
この開口した薬液通路22を介して薬液を注入したり抽
出したりすることが可能となる。
【0060】また、導入口75から圧縮空気を排出すれ
ば、スプリング40の付勢力によりピストン76並びに
弁体36が図4に示した元位置に復帰し薬液通路22が
遮断される。
【0061】一方、弁体36が閉成した状態から圧縮空
気ではなく、手動で開成させる場合には、ハンドル72
を一方向に回動させれば良い。すると、回動部材81が
筒状部材79の雄ネジに案内されて図の右方向に移動す
る。このとき、筒状部材79は勿論移動不能であるが、
回動部材81とともに軸38も一体に右方向に移動す
る。よって、ピストン76並びに弁体36が図の右方に
移動し薬液通路22が開口することになる。
【0062】他方、弁体36が開成した状態から手動で
閉成させる場合には、ハンドル72を他方向に回動させ
れば良い。すると、今まで筒状部材79の先端側に位置
していた回動部材81が、この筒状部材79のネジ部に
案内されて取付け板78に接近するように移動する。回
動部材81がこのように図の左方に移動すると、スプリ
ング40に引っ張られて軸38が左方に移動する。よっ
て、弁体36が左方向に移動し、薬液通路22が閉成す
ることになる。
【0063】したがって、このような圧縮空気および手
動で開閉することのできる弁装置70を備えた薬液出し
入れ装置71によっても、薬液の貯蔵、注入あるいは抽
出を行うことができる。
【0064】なお、この実施例では、取付け板78を3
つ別体に配設しているが、各弁装置70に一つの取付け
板を兼用させても良い。また手動の操作機構は実施例に
特に限定されない。
【0065】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る薬液
貯蔵用容器の薬液出し入れ装置によれば、中央ブロック
を2つの金属製押さえ部材で狭持して容器本体の開口部
に固定することにより、容器本体の内部に通じしかも弁
装置によって開閉自在な薬液通路を形成することができ
るので、部品点数を少なくすることができるとともに、
漏洩が生じ易い接続箇所を少なくすることができる。ま
た、これにより不純物が侵入する虞も少なくなる。
【0066】さらに、多数の配管類を接続する必要がな
いので、容器本体上に他の機器を取り付けるための設置
スペースを広く確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の第1の実施例に係る薬液出し入
れ装置を備えた薬液貯蔵および搬送用容器の断面図であ
る。
【図2】図2は同実施例による薬液出し入れ装置の要部
を概略的に示す分解斜視図である。
【図3】図3は同実施例で採用された防護枠の上面図で
ある。
【図4】図4は本発明の第2の実施例に係る薬液出し入
れ装置を備えた薬液貯蔵および搬送用容器の断面図であ
る。
【図5】図5は従来の薬液貯蔵および搬送用容器に具備
された薬液出し入れ装置を示す側面図である。
【符号の説明】
11、91 薬液貯蔵および
搬送用容器 12 容器本体 13 開口部 15、71 薬液出し入れ装
置 16 中央ブロック 17、18 金属製押さえ部
材 19、70 弁装置 20 フランジ部 22 薬液通路 70 弁装置

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】フランジ部を具備し、このフランジ部が容
    器本体に形成された開口部の周囲を囲むように配置され
    る樹脂製の中央ブロックと、この樹脂製の中央ブロック
    を両側から狭持して該中央ブロックを前記容器本体に固
    定する一対の金属製押さえ部材とを備え、前記中央ブロ
    ックの内部には前記容器本体内に通じる2個以上の薬液
    通路が形成され、前記各薬液通路の途中には、この開放
    あるいは閉塞を選択的に行う弁装置が前記金属製押さえ
    部材の一方に固定されて配置されていることを特徴とす
    る薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置。
JP1556894A 1994-02-09 1994-02-09 薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置 Withdrawn JPH07224999A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1556894A JPH07224999A (ja) 1994-02-09 1994-02-09 薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1556894A JPH07224999A (ja) 1994-02-09 1994-02-09 薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07224999A true JPH07224999A (ja) 1995-08-22

Family

ID=11892354

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1556894A Withdrawn JPH07224999A (ja) 1994-02-09 1994-02-09 薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07224999A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000342657A (ja) * 1999-03-30 2000-12-12 Taisho Pharmaceut Co Ltd ミノキシジル製剤製造設備
JP2013172692A (ja) * 2012-02-27 2013-09-05 Samson Co Ltd 加熱殺菌装置
US11521886B2 (en) 2014-12-25 2022-12-06 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus and substrate support

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000342657A (ja) * 1999-03-30 2000-12-12 Taisho Pharmaceut Co Ltd ミノキシジル製剤製造設備
JP2013172692A (ja) * 2012-02-27 2013-09-05 Samson Co Ltd 加熱殺菌装置
US11521886B2 (en) 2014-12-25 2022-12-06 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus and substrate support

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6032691A (en) Valve assembly
US5188151A (en) Flow diverter valve
KR20160038890A (ko) 액체를 충진 및 분배하기 위한 장치 및 방법
RU2257317C2 (ru) Сливной кран из пластика для транспортно-складских резервуаров для жидкостей
KR20100065339A (ko) 유체 분배용 방법 및 장치
JP2010510501A (ja) 外付けのパイプ検査ツールおよびそれを用いた検査方法
US10960416B2 (en) Fluid injection device and method of making the same
US20070137703A1 (en) Double-walled flexible dispenser sump connection system
ITTO990106A1 (it) Sistema di contenimento, in particolare per l'industria di lavorazione di materiali semiconduttori.
US6755207B1 (en) Venturi based liquid transfer apparatus
JPS6367072B2 (ja)
US4905501A (en) Jig for leak check
JPH07224999A (ja) 薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置
TW571045B (en) Transportation and storage of ultra-high purity products
JPH11349049A (ja) 保護ケ―ス入り袋の弁装置
US5791376A (en) Quick disconnect valve system for abrasive slurries
WO2005066535A1 (ja) 流体継手及び継手一体型集積ユニット
JP6749689B2 (ja) 飲料の供給装置
GR3029637T3 (en) Container for storing liquids
KR100973707B1 (ko) 유체공급장치
JPH07223695A (ja) 薬液貯蔵および搬送用容器の薬液出し入れ装置
US6098848A (en) Method and apparatus for connecting a fluid reservoir with pipelines
JP5079393B2 (ja) 流体機器ユニット構造
US7240573B2 (en) Sampling device and sampling method
EP1213520A2 (en) Valve box

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20010508