JPH07220892A - Static eliminator - Google Patents
Static eliminatorInfo
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- JPH07220892A JPH07220892A JP1386194A JP1386194A JPH07220892A JP H07220892 A JPH07220892 A JP H07220892A JP 1386194 A JP1386194 A JP 1386194A JP 1386194 A JP1386194 A JP 1386194A JP H07220892 A JPH07220892 A JP H07220892A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、静電気を帯びた物体の
除電を行う除電器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a static eliminator for eliminating static electricity from an object.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体デバイスは静電気により破壊され
やすいため、その保管や製造工程において、静電気を除
去する必要がある。このため、従来、上記半導体デバイ
スの製造工程等においては、図３に示すような原理の除
電器が使用されていた。2. Description of the Related Art Since semiconductor devices are easily destroyed by static electricity, it is necessary to eliminate static electricity during storage and manufacturing processes. Therefore, conventionally, a static eliminator based on the principle as shown in FIG. 3 has been used in the manufacturing process of the semiconductor device.
【０００３】図３において、１は商用交流電源（１００
Ｖ）、２は電源スイッチ、３は昇圧トランス、４は高圧
ケーブルである。５は、接地電極６および放電電極７か
ら成る除電電極であり、放電電極７は高圧ケーブル４の
導体部分を介して昇圧トランス３の一端に接続されてい
る。また、接地電極６は高圧ケーブル４の接地線を介し
て昇圧トランス３の他端と接続され、接地されている。
また、８は、除電電極５と非接触な状態に対向された半
導体デバイス等の帯電物体である。In FIG. 3, 1 is a commercial AC power supply (100
V), 2 is a power switch, 3 is a step-up transformer, and 4 is a high-voltage cable. Reference numeral 5 is a static elimination electrode composed of a ground electrode 6 and a discharge electrode 7. The discharge electrode 7 is connected to one end of the step-up transformer 3 via the conductor portion of the high voltage cable 4. The ground electrode 6 is connected to the other end of the step-up transformer 3 via the ground wire of the high voltage cable 4 and is grounded.
Reference numeral 8 denotes a charged object such as a semiconductor device which is opposed to the static elimination electrode 5 in a non-contact state.
【０００４】上記構成において、電源スイッチ２がオン
状態になっている時は、電源１からの出力電圧（交流１
００Ｖ）が昇圧トランス３を介して昇圧され、放電電極
７に正または負の高電圧（例えば７ｋＶ）が交互に印加
される。そして、放電電極７と接地電極６との間にコロ
ナ放電が発生し、除電電極５の周囲の空気が正および負
のイオンに交互にイオン化される。そして、帯電物体８
の帯電電荷の極性に応じていずれかの極性のイオンが帯
電物体８に引き寄せられ、帯電物体８の帯電電荷と再結
合し、帯電電荷が中和される。In the above structure, when the power switch 2 is in the ON state, the output voltage from the power source 1 (AC 1
00V) is stepped up via the step-up transformer 3, and a positive or negative high voltage (for example, 7 kV) is alternately applied to the discharge electrode 7. Then, corona discharge is generated between the discharge electrode 7 and the ground electrode 6, and the air around the static elimination electrode 5 is alternately ionized into positive and negative ions. Then, the charged object 8
Depending on the polarity of the charged electric charge of, the ion of any polarity is attracted to the charged object 8 and recombines with the charged electric charge of the charged object 8 to neutralize the charged electric charge.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、昇圧トラン
ス３の２次側回路に過電流が流れるのを防止するための
安全策として、昇圧トランス３として一般的にリーケー
ジトランスが使用される。しかしながら、このリーケー
ジトランスは漏れリアクタンスが大であり、非線形性を
有しているので、負荷の変化、すなわち除電電極５の長
さ、形状、および高圧ケーブル４の長さや構造等の変化
により２次側電圧が変動する。また、除電器を使用する
地域により電源１の周波数は５０Ｈｚまたは６０Ｈｚの
いずれかになるが、上述した２次側電圧は、このような
周波数の変化によっても変動する。このような２次側電
圧の変動は除電器の除電能力を低下させる場合があるた
め、除電器メーカーにおいて、品質管理上の問題となっ
ていた。本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもの
であり、昇圧トランスとしてリーケージトランス等を使
用する場合においても、除電電極および高圧ケーブルの
形態や使用地域にかかわらず安定した２次側電圧を得る
ことができる除電器を提供することを目的としている。A leakage transformer is generally used as the step-up transformer 3 as a safety measure for preventing an overcurrent from flowing in the secondary side circuit of the step-up transformer 3. However, this leakage transformer has a large leakage reactance and has non-linearity. Therefore, the leakage transformer is secondary due to changes in load, that is, changes in the length and shape of the static elimination electrode 5, and the length and structure of the high voltage cable 4. Side voltage fluctuates. Further, the frequency of the power source 1 is either 50 Hz or 60 Hz depending on the region where the static eliminator is used, but the above-mentioned secondary side voltage also fluctuates due to such frequency changes. Such fluctuations in the secondary side voltage may reduce the static elimination capability of the static eliminator, which has been a quality control issue for static eliminator manufacturers. The present invention has been made in view of the above circumstances, and even when a leakage transformer or the like is used as the step-up transformer, a stable secondary voltage is obtained regardless of the form of the static elimination electrode and the high-voltage cable or the usage area. The purpose is to provide a static eliminator that can do this.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、調整用トランスと、昇圧トランスと、放
電電極と、接地電極とを有する除電器であって、前記放
電電極は、除電すべき対象物に対向するように配置され
るとともに前記昇圧トランスの２次側コイルの一端に結
合され、前記接地電極は、前記放電電極近傍に配置され
るとともに、前記昇圧トランスの２次側コイルの他端と
ともに接地され、前記調整用トランスは、１次側コイル
の両端が交流電源に接続されるとともに２次側コイルの
両端およびその途中の箇所に接続端子が設けられてお
り、前記昇圧トランスの１次側コイルの一端は前記調整
用トランスの２次側コイルの一端たる接続端子に接続さ
れ、前記昇圧トランスの１次側コイルの他端は前記調整
用トランスの２次側コイルにおける残りの接続端子のう
ち任意のものに接続し得るようにしたことを特徴として
いる。In order to solve the above problems, the present invention is a static eliminator having an adjusting transformer, a step-up transformer, a discharge electrode, and a ground electrode, wherein the discharge electrode comprises: The ground electrode is arranged so as to face the object to be discharged and is coupled to one end of the secondary coil of the step-up transformer, the ground electrode is arranged near the discharge electrode, and the secondary side of the step-up transformer is arranged. The adjustment transformer is grounded together with the other end of the primary side coil connected to an AC power source, and the secondary side coil is provided with connection terminals at both ends and a portion in the middle thereof. One end of the primary coil of the transformer is connected to a connection terminal that is one end of the secondary coil of the adjusting transformer, and the other end of the primary coil of the step-up transformer is the secondary side of the adjusting transformer. It is characterized in that it has adapted to connect to any of the remaining connection terminals in yl.
【０００７】[0007]
【作用】上記構成によれば、調整用トランスの２次側コ
イルに設けられた任意の接続端子間に昇圧トランスの１
次側コイルを接続することが可能である。そして、交流
電源電圧が調整用トランスおよび昇圧トランスを介して
昇圧され、放電電極と接地電極間において放電が起こ
り、除電すべき対象物の帯電電荷と結合可能なイオンが
発生する。よって、昇圧トランスとしてリーケージトラ
ンス等が使用された場合においても、交流電源の周波
数、除電電極（放電電極および接地電極）の長さや形
状、また、使用される高圧ケーブルの長さや構造等に基
づいて調整用トランスの接続端子を選ぶようにすれば、
昇圧トランスの２次側電圧の変動分を補償することが可
能であり、放電の性能がばらつくことを防ぐことができ
る。According to the above construction, the boost transformer 1 is connected between arbitrary connection terminals provided on the secondary coil of the adjusting transformer.
It is possible to connect the secondary coil. Then, the AC power supply voltage is boosted through the adjusting transformer and the boosting transformer, discharge is generated between the discharge electrode and the ground electrode, and ions that can be combined with the charged charges of the object to be discharged are generated. Therefore, even when a leakage transformer or the like is used as the step-up transformer, it is based on the frequency of the AC power supply, the length and shape of the static elimination electrode (discharge electrode and ground electrode), and the length and structure of the high-voltage cable used. If you select the connection terminal of the adjustment transformer,
It is possible to compensate for the variation of the secondary side voltage of the step-up transformer and prevent the discharge performance from varying.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
いて説明する。図１は、本発明の一実施例における除電
器の構成を示す図であり、図３各部と共通する部分には
同一の符号を付し、その説明を省略する。図１におい
て、１０は電源装置、１２は除電電極であり、両者は同
軸ケーブル１１により接続されている。ここで、高圧ケ
ーブルとして同軸ケーブル１１を使用した理由は、クリ
ーンルーム等において人体に感電する危険を回避するた
めである。また、昇圧トランス３としては、リーケージ
トランスが使用されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a static eliminator according to an embodiment of the present invention. Parts common to those in FIG. 3 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. In FIG. 1, 10 is a power supply device, 12 is a static elimination electrode, and both are connected by a coaxial cable 11. Here, the reason why the coaxial cable 11 is used as the high-voltage cable is to avoid the risk of electric shock to a human body in a clean room or the like. A leakage transformer is used as the step-up transformer 3.
【０００９】次に、除電電極１２の構成を、その具体的
な構造を示す図（図２）を併せて参照しながら説明す
る。図２において、（Ａ）は正面図、また（Ｂ）は、正
面図（Ａ）のＸ−Ｘ’方向における断面図である。図
１，２に示すように、同軸ケーブル１１の中心導体部分
の先端部分における所定の長さ分が高圧電極１３として
使用されている。次に、図２における符号１７は、絶縁
材料により中空円筒形状に構成された結合リングであ
り、その表面が真鍮等の導体で被覆されている。そし
て、該導体には針状の放電電極１４が突出している。Next, the structure of the static elimination electrode 12 will be described with reference to the drawing (FIG. 2) showing its specific structure. In FIG. 2, (A) is a front view, and (B) is a cross-sectional view in the XX ′ direction of the front view (A). As shown in FIGS. 1 and 2, a predetermined length of the tip portion of the central conductor portion of the coaxial cable 11 is used as the high voltage electrode 13. Next, reference numeral 17 in FIG. 2 is a coupling ring made of an insulating material in a hollow cylindrical shape, the surface of which is covered with a conductor such as brass. A needle-shaped discharge electrode 14 projects from the conductor.
【００１０】上記結合リング１７は所定間隔毎に複数設
けられ、その中空部分を絶縁性被覆１６で覆われた高圧
電極１３が貫通している。すなわち、高圧電極１３と各
放電電極１４とは、上述した絶縁部分を介して容量的に
結合している。また、１８は、高圧電極１３および放電
電極１４が突出した各結合リング１７を被覆するモール
ド部である。また、１９は、モールド部１８を覆うよう
に設けられた別のモールド部であり、図２に示すような
形態で接地電極１５が固定されるとともに、除電電極１
２を一体化して保護する役目を担っている。A plurality of the coupling rings 17 are provided at predetermined intervals, and the hollow portion thereof penetrates the high-voltage electrode 13 covered with the insulating coating 16. That is, the high voltage electrode 13 and each discharge electrode 14 are capacitively coupled via the above-mentioned insulating portion. Further, reference numeral 18 denotes a mold portion that covers each coupling ring 17 from which the high voltage electrode 13 and the discharge electrode 14 project. Numeral 19 is another mold part provided so as to cover the mold part 18, and the ground electrode 15 is fixed in the form as shown in FIG.
It plays the role of integrating the two and protecting them.
【００１１】次に、図１に示す電源装置１０において、
２０は、電源１と昇圧トランス３の１次側コイルとの間
に介挿された調整用トランスである。調整用トランス２
０の２次側コイルには、図に示すように複数の接続タッ
プ２１〜２３が設けられており、これらのタップのいず
れかと、昇圧トランス３の１次側コイルの一端３1 とが
接続されるようになっている。Next, in the power supply device 10 shown in FIG.
Reference numeral 20 is an adjusting transformer inserted between the power supply 1 and the primary coil of the step-up transformer 3. Adjustment transformer 2
0 of the secondary coil has a plurality of connection taps 21 to 23 are provided as shown in FIG, and any of these taps, one end 3 1 of the primary coil of the step-up transformer 3 is connected It has become so.
【００１２】仮に、昇圧トランス３の１次側コイルの一
端３1 がタップ２１に接続された場合、調整用トランス
２０の変圧比は１対１になり、昇圧トランス３の１次側
コイルには電源１の出力電圧である交流１００Ｖが印加
される。また、上記一端３1がタップ２２に接続された
場合、同トランス２０の変圧比は１対０．９になり、昇
圧トランス３の１次側コイルには交流９０Ｖが印加され
る。また、該一端３1がタップ２３に接続された場合、
同トランス２０の変圧比は１対０．８になり、昇圧トラ
ンス３の１次側コイルには交流８０Ｖが印加される。If one end 3 1 of the primary side coil of the step-up transformer 3 is connected to the tap 21, the transformer ratio of the adjusting transformer 20 becomes 1: 1 and the primary side coil of the step-up transformer 3 has AC 100V, which is the output voltage of the power supply 1, is applied. Further, the one end 3 1 when connected to the tap 22, the transformation ratio of the transformer 20 is a one-to-0.9, the primary side coil of the step-up transformer 3 AC 90V is applied. Further, when the end 3 1 is connected to the tap 23,
The transformation ratio of the transformer 20 is 1: 0.8, and AC 80V is applied to the primary coil of the step-up transformer 3.
【００１３】昇圧トランス３の１次側コイルの一端３1
をいずれのタップに接続するかは、製造元において、出
荷先の仕様に合わせて出荷時に決定するようになってい
る。これは、客先の使用用途により、必要な除電電極１
２の長さ（放電電極１４の個数に対応する）、または、
必要な同軸ケーブル１１の長さ等が異なるとともに、使
用地域により電源１の周波数が異なるためである。そこ
で、あらかじめ実験を行い、昇圧トランス３の２次側電
圧の変動を補償するために必要な条件、すなわち、「除
電電極１２の長さがＡｃｍ〜Ｂｃｍまで、同軸ケーブル
１１の長さがＣｃｍ〜Ｄｃｍまでで、周波数がＥＨｚで
あればタップ２１を使用する」というような条件をまと
めた対応表が作成されている。そして、出荷先の仕様が
この対応表と照らし合わせされ、選択されたタップに昇
圧トランス３の１次側コイルの一端３1 が接続されて出
荷される。One end 3 1 of the primary coil of the step-up transformer 3.
Which tap is to be connected to is determined by the manufacturer at the time of shipping in accordance with the specifications of the shipping destination. This is the required static elimination electrode 1 depending on the customer's intended use.
2 lengths (corresponding to the number of discharge electrodes 14), or
This is because the required length of the coaxial cable 11 is different and the frequency of the power source 1 is different depending on the area of use. Therefore, an experiment is conducted in advance, and a condition necessary for compensating the fluctuation of the secondary side voltage of the step-up transformer 3, that is, "the length of the static elimination electrode 12 is from Acm to Bcm and the length of the coaxial cable 11 is from Ccm to A correspondence table summarizing conditions such as "up to Dcm and using the tap 21 if the frequency is EHz" is created. The shipment destination specification is against this correspondence table, and shipped end 3 1 of the primary coil of the step-up transformer 3 to a tap selected is connected.
【００１４】実際の使用にあたっては、除電電極１２の
下方にこれと非接触な状態に帯電物体を対置して電源ス
イッチ２をオン状態にすることにより、電源１の出力電
圧が調整用トランス２０および昇圧トランス３を介して
所定のレベル、例えば７ｋＶに昇圧される。そして、低
周波の高電圧が同軸ケーブル１１を介して高圧電極１３
に印加される。そして、該高圧電極１３と容量結合され
た放電電極１４と接地電極１５との間でコロナ放電が発
生し、除電電極１２の周囲の空気がイオン化されて帯電
物体の帯電電荷が中和される。ここで、上述した出荷時
の調整により、いずれの出荷先においても昇圧トランス
３の２次側電圧のレベルはほぼ一定に保たれるので、製
品品質がばらつくことがなく、高い信頼性が得られる。In actual use, a charged object is placed below the static elimination electrode 12 so as to be in non-contact with the static elimination electrode 12, and the power switch 2 is turned on. The voltage is boosted to a predetermined level, for example, 7 kV, via the boosting transformer 3. Then, the low frequency high voltage is applied to the high voltage electrode 13 via the coaxial cable 11.
Applied to. Then, corona discharge is generated between the discharge electrode 14 capacitively coupled to the high-voltage electrode 13 and the ground electrode 15, and the air around the static elimination electrode 12 is ionized to neutralize the charge of the charged object. Here, the level of the secondary side voltage of the step-up transformer 3 is kept substantially constant at any of the shipping destinations by the above-mentioned adjustment at the time of shipping, so that the product quality does not vary and high reliability is obtained. .
【００１５】なお、上記実施例においては、調整用トラ
ンス２０の２次側コイルに設けられた各タップは、１次
側電圧を維持または１０パーセント刻みに２段階低下さ
せることが可能なように設けられているが、これに限る
ものではなく、除電器の製造仕様に合わせて１次側電圧
を低下あるいは上昇させる側に任意の個数設けることが
可能である。In the above embodiment, each tap provided on the secondary coil of the adjusting transformer 20 is provided so that the primary voltage can be maintained or reduced by two steps in 10% steps. However, the present invention is not limited to this, and it is possible to provide an arbitrary number on the side where the primary side voltage is lowered or raised according to the manufacturing specifications of the static eliminator.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、２次側コイルに複数の接続端子が設けられた調整用
トランスが設けられるので、昇圧トランスとしてリーケ
ージトランス等が使用された場合においても昇圧トラン
スの２次側電圧の変動分を補償することが可能であり、
除電電極および高圧ケーブルの形態や使用地域にかかわ
らず安定した２次側電圧を得ることができる。As described above, according to the present invention, since the adjusting transformer having the plurality of connection terminals on the secondary coil is provided, when the leakage transformer or the like is used as the step-up transformer. Even in the case of, it is possible to compensate for the fluctuation of the secondary side voltage of the step-up transformer,
It is possible to obtain a stable secondary voltage regardless of the form of the static elimination electrode and the high-voltage cable or the usage area.
【図１】本発明の一実施例における除電器の構成を示す
ブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a static eliminator according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１における除電電極１２の具体的な構造を示
す図である。FIG. 2 is a diagram showing a specific structure of a static elimination electrode 12 in FIG.
【図３】従来例の除電器の構成を示すブロック図であ
る。FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a conventional static eliminator.
１ 交流電源 ３ 昇圧トランス １４ 放電電極 １５ 接地電極 ２０ 調整用トランス ２１〜２３ タップ（接続端子） 1 AC power supply 3 Step-up transformer 14 Discharge electrode 15 Ground electrode 20 Adjustment transformer 21-23 Tap (connection terminal)
Claims (1)
電電極と、接地電極とを有する除電器であって、 前記放電電極は、除電すべき対象物に対向するように配
置されるとともに前記昇圧トランスの２次側コイルの一
端に結合され、 前記接地電極は、前記放電電極近傍に配置されるととも
に、前記昇圧トランスの２次側コイルの他端とともに接
地され、 前記調整用トランスは、１次側コイルの両端が交流電源
に接続されるとともに２次側コイルの両端およびその途
中の箇所に接続端子が設けられており、 前記昇圧トランスの１次側コイルの一端は前記調整用ト
ランスの２次側コイルの一端たる接続端子に接続され、
前記昇圧トランスの１次側コイルの他端は前記調整用ト
ランスの２次側コイルにおける残りの接続端子のうち任
意のものに接続し得るようにしたことを特徴とする除電
器。1. A static eliminator having an adjusting transformer, a step-up transformer, a discharge electrode, and a ground electrode, wherein the discharge electrode is arranged so as to face an object to be neutralized and the booster is provided. Coupled to one end of a secondary coil of the transformer, the ground electrode is disposed in the vicinity of the discharge electrode, and is grounded together with the other end of the secondary coil of the step-up transformer, and the adjustment transformer is a primary coil. Both ends of the side coil are connected to an AC power source, and connection terminals are provided at both ends of the secondary side coil and a portion in the middle thereof. One end of the primary side coil of the step-up transformer is a secondary side of the adjustment transformer. It is connected to the connection terminal that is one end of the side coil,
The static eliminator characterized in that the other end of the primary coil of the step-up transformer can be connected to any one of the remaining connection terminals of the secondary coil of the adjusting transformer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1386194A JPH07220892A (en) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | Static eliminator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1386194A JPH07220892A (en) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | Static eliminator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07220892A true JPH07220892A (en) | 1995-08-18 |
Family
ID=11845050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1386194A Withdrawn JPH07220892A (en) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | Static eliminator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07220892A (en) |
-
1994
- 1994-02-07 JP JP1386194A patent/JPH07220892A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010508 |